KR20050070491A

KR20050070491A - 설비 상황의 실시간 동적 감시 시스템

Info

Publication number: KR20050070491A
Application number: KR1020030100083A
Authority: KR
Inventors: 이재남
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2003-12-30
Filing date: 2003-12-30
Publication date: 2005-07-07

Abstract

본 발명은 설비 상황의 실시간 동적 감시 시스템에 관한 것으로서, 종래에는 반도체 제조 설비에서 이상이 발생하였을 경우 모니터나 경광등을 이용하여 표시하므로 작업자가 인식하지 못하여 방치하는 문제가 있었다. 본 발명에 따른 실시간 동적 감시 시스템은, 설비 이상이 발생하였을 때 그에 해당하는 에러 코드를 에러 코드 출력부에서 출력하고, 복호기에서 에러 코드를 해독하여 에러 코드에 해당하는 출력 정보를 선택하고, 선택된 출력 정보에 맞는 음성 데이터를 음성 저장/출력부에서 출력한다. 출력된 음성 데이터는 무선 모듈에 의하여 작업자에게 전송되며, 작업자는 이어폰을 통하여 음성 데이터를 수신한다. 본 발명에 따르면, 설비 상황을 실시간으로 작업자에게 직접 알려주기 때문에, 작업자는 작업 위치나 작업 형태에 상관없이 설비 이상을 감지할 수 있으므로 효율적인 설비 운용이 가능하다.

Description

설비 상황의 실시간 동적 감시 시스템 {Real-Time Dynamic Monitoring System For Equipment Conditions}

본 발명은 반도체 제조 설비에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 반도체 제조 설비의 설비 상황을 실시간으로 무선 음성 출력 장치를 통하여 작업자에게 알려주는 동적 감시 시스템에 관한 것이다.

반도체 제조 현장에서 설비의 가동 손실은 대부분 설비의 순간 정지 또는 작업자의 인식 부족에 따른 방치로 인하여 발생하고 있다. 특히 반도체 제조 공정처럼 24시간 3교대로 생산 운영이 이루어지는 설비에서는 위와 같은 설비 가동률 저하가 곧 부적합 품질로 인한 비용 손실로 이어진다.

따라서, 반도체 제조 공정에서는 설비의 이상 현상이 발생하였을 경우 즉시 이를 작업자에게 알려주기 위한 장치를 갖추고 있다. 도 1은 종래 기술에 따른 반도체 제조 설비의 이상 현상 출력 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다. 도 1에 도시된 바와 같이 종래의 반도체 제조 설비(10)는 이상 현상 출력 장치로서 모니터(20)와 같은 1차 표시 장치 또는 경광등(22), 타워 램프(tower lamp)와 같은 2차 표시 장치를 사용하고 있다.

또는 네트워크 시스템을 구축하고 메시지 소켓(message socket) 통신을 사용하여 상위 서버(server)로 설비 이상 데이터를 취합한 후, 서버를 통하여 에러 표시 기능을 사용하고 있다.

이러한 종래 기술의 설비 상황 감시 시스템은 작업자가 인식하기 어렵거나 또는 구축 비용이 과다하게 소요되는 문제점이 있다.

즉, 모니터 또는 경광등과 같은 표시 장치를 이용하는 방식은 작업자가 충분히 주의를 기울이지 않을 경우, 설비의 이상 현상 발생을 인식하지 못하고 방치할 수 있는 가능성이 매우 크다. 예컨대, 작업자가 모니터나 경광등이 보이지 않는 위치에 있을 경우, 또는 모니터나 경광등이 보이는 위치에 있더라도 다른 작업을 수행하느라 보지 못할 경우, 작업자가 설비의 이상 현상 발생을 인식하기는 매우 어렵다.

또한, 네트워크 시스템을 이용하는 방식은 시스템 구축에 따른 비용이 매우 높기 때문에 효율적인 방식이라 할 수 없다.

따라서, 본 발명의 목적은 반도체 제조 공정에서 설비에 이상이 발생하였을 경우, 작업자의 위치나 작업 형태에 관계없이 작업자에게 직접 설비 이상 발생을 실시간으로 알려 줄 수 있는 동적 감시 시스템을 제공하기 위한 것이다.

이러한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 반도체 제조 설비의 설비 상황을 실시간으로 무선 음성 출력 장치를 통하여 작업자에게 알려주는 동적 감시 시스템을 제공한다.

본 발명에 따른 설비 상황의 실시간 동적 감시 시스템은, 반도체 제조 설비에서 이상 현상이 발생하였을 경우 그에 해당하는 에러 코드를 출력하는 에러 코드 출력부와, 에러 코드에 대응하는 음성 데이터를 출력하여 작업자에게 전송하는 무선 음성 출력 장치와, 음성 데이터를 수신하는 이어폰을 포함한다.

본 발명에 따른 실시간 동적 감시 시스템에 있어서, 무선 음성 출력 장치는 에러 코드 출력부에서 출력된 에러 코드를 해독하여 에러 코드에 해당하는 출력 정보를 선택하는 복호기와, 각종 설비 상황에 따른 음성 데이터를 저장하며 복호기에서 선택한 출력 정보에 맞는 음성 데이터를 출력하는 음성 저장/출력부와, 음성 저장/출력부에서 출력한 음성 데이터를 무선으로 전송하는 무선 모듈을 포함하는 것이 바람직하며, 음성 데이터를 출력하는 스피커를 더 포함할 수 있다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하도록 한다. 첨부 도면은 발명의 명확한 이해를 돕기 위해 주요 부분만을 개략적으로 도시하고 있다.

실시예

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조 설비의 동적 감시 시스템을 나타내는 개략적인 구성도이다.

도 2를 참조하면, 반도체 제조 설비(10')는 각종 반도체 패키지 조립 설비, 테스트 설비, 웨이퍼 제조 설비 등의 일종이다. 반도체 제조 설비(10')의 동적 감시 시스템은 에러 코드 출력부(30)와, 무선 음성 출력 장치(40)와, 이어폰(50)으로 이루어진다.

에러 코드 출력부(30)는 설비(10')에서 이상 현상이 발생하였을 경우 그에 해당하는 에러 코드를 출력하는 부위이다. 에러 코드는 예컨대 8비트(bit) 신호로 이루어지며 각종 설비의 특성에 맞게 설정할 수 있다.

무선 음성 출력 장치(40)는 복호기(42, decoder)와, 음성 저장/출력부(44, MP3)와, 무선 모듈(46, RF module)로 이루어진다. 복호기(42)는 에러 코드 출력부(30)에서 출력된 에러 코드를 해독하여 에러 코드에 해당하는 출력 정보를 선택한다. 음성 저장/출력부(44)는 각종 설비 상황에 따른 음성 데이터를 저장하며 복호기(42)에서 선택한 출력 정보에 맞는 음성 데이터를 출력한다. 무선 모듈(46)은 음성 저장/출력부(44)에서 출력한 음성 데이터를 무선으로 전송한다.

에러 코드와 음성 데이터는 서로 일대일 대응하며, 대략 수십 가지 내지 수백 가지의 범위 내에서 설정된다. 에러 코드와 음성 데이터는 설비(10')의 종류, 특성, 이상 현상의 발생 형태, 작업자의 필요 등에 따라 적절히 설정할 수 있다. 음성 데이터는 설비 이상의 종류, 발생 지점, 조치 방법 등에 대한 정보를 포함할 수 있다.

이어폰(50)은 작업자가 장착하며 무선 음성 출력 장치(40)로부터 전송된 음성 데이터를 수신한다.

이상 설명한 바와 같이, 설비(10')에서 이상 현상이 발생하였을 때, 무선 음성 출력 장치(40)는 설비 상황을 실시간으로 작업자에게 직접 전달해 주기 때문에, 작업자는 작업 위치나 작업 형태에 상관없이 설비 이상 발생을 인지할 수 있다. 예를 들어, 작업자가 설비(10')의 좌우 측면이나 후면에서 설비 기능을 확인 점검하거나 유지 보수할 때, 모니터나 경광등을 확인하지 않더라도 본 발명의 실시간 동적 감지 시스템에 의하여 설비 상태에 대한 정보를 얻을 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 무선 모듈(46)과 이어폰(50) 대신에 스피커(48)를 사용할 수도 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 설비 상황의 실시간 동적 감시 시스템은 반도체 제조 설비에 이상이 발생하였을 경우, 무선 음성 출력 장치를 통하여 설비 상황을 실시간으로 작업자에게 직접 알려주기 때문에, 작업자는 작업 위치나 작업 형태에 상관없이 설비 이상을 감지하고 그에 대한 조치를 즉각 취할 수 있다. 따라서, 보다 효율적인 설비 운용이 가능하며, 설비 가동률 저하에 따른 비용 손실을 방지할 수 있다.

본 명세서와 도면에는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 개시하였으며, 비록 특정 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 발명의 이해를 돕기 위한 일반적인 의미에서 사용된 것이지, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예 외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.

도 1은 종래 기술에 따른 반도체 제조 설비의 이상 현상 출력 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.

<도면에 사용된 참조 번호의 설명>

10, 10': 반도체 제조 설비 20: 모니터

22: 경광등 30: 에러 코드 출력부

40: 무선 음성 출력 장치 42: 복호기(decoder)

44: 음성 저장/출력부(MP3) 46: 무선 모듈(RF module)

48: 스피커 50: 이어폰

Claims

반도체 제조 설비에서 이상 현상이 발생하였을 경우 그에 해당하는 에러 코드를 출력하는 에러 코드 출력부와, 상기 에러 코드에 대응하는 음성 데이터를 출력하여 작업자에게 전송하는 무선 음성 출력 장치와, 상기 음성 데이터를 수신하는 이어폰을 포함하는 설비 상황의 실시간 동적 감시 시스템.
제1 항에 있어서, 상기 무선 음성 출력 장치는 상기 에러 코드 출력부에서 출력된 에러 코드를 해독하여 상기 에러 코드에 해당하는 출력 정보를 선택하는 복호기와, 각종 설비 상황에 따른 음성 데이터를 저장하며 상기 복호기에서 선택한 출력 정보에 맞는 음성 데이터를 출력하는 음성 저장/출력부와, 상기 음성 저장/출력부에서 출력한 음성 데이터를 무선으로 전송하는 무선 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 설비 상황의 실시간 동적 감시 시스템.
제1 항에 있어서, 상기 음성 데이터를 출력하는 스피커를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 설비 상황의 실시간 동적 감시 시스템.