KR20050064863A - Organic electro luminescence device and fabrication method thereof - Google Patents

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    • H05B33/12Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
    • H05B33/22Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the chemical or physical composition or the arrangement of auxiliary dielectric or reflective layers

Abstract

본 발명에 의한 유기전계발광소자 제조방법은, 기판 상에 제 1전극, 유기전계발광층, 제 2전극이 순차적으로 적층되는 유기전계발광소자의 제조방법에 있어서,In the method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention, in the method of manufacturing an organic light emitting display device in which a first electrode, an organic light emitting layer, and a second electrode are sequentially stacked on a substrate,

상기 제 1전극과 접하는 면의 기판 상에 미세 입자가 분산되어 포함된 포토레지스트가 도포되는 단계와; 상기 미세 입자가 포함된 포토레지스트가 노광되어 상기 미세 입자 이외의 포토레지스트가 경화되는 단계와; 상기 경화되지 않은 미세 입자를 제거하고, 식각을 수행하여 기판 상에 오목부 패턴이 형성되는 단계와; 상기 포토레지스트를 제거하고, 식각에 의해 소정의 오목부 패턴이 형성된 상기 기판이 노출되는 단계와; 상기 오목부 패턴이 노출된 기판 상에 상기 제 1전극, 유기전계발광층, 제 2전극을 순차적으로 형성하는 단계가 포함되는 것을 특징으로 한다. Applying a photoresist comprising fine particles dispersed on a substrate on a surface in contact with the first electrode; Exposing the photoresist including the fine particles to cure photoresists other than the fine particles; Removing the uncured fine particles and etching to form a recess pattern on the substrate; Removing the photoresist and exposing the substrate having a predetermined recess pattern by etching; And sequentially forming the first electrode, the organic light emitting layer, and the second electrode on the substrate to which the recess pattern is exposed.

이와 같은 본 발명에 의하면, 오목부 패턴에 의해 유기발광층으로부터 기판으로 입사되는 광의 입사각 크기가 증가됨으로써, 외부로 방출되는 빛의 양이 크게 증가되어 외부 발광 효율이 향상되며, 높은 광효율로 인해 저전류 구동이 가능해지고, 그에 따라 소자의 열화 현상이 늦어지기 때문에 결과적으로 색좌표의 변동 또한 최소화되는 장점이 있다.According to the present invention, by increasing the incident angle of the light incident from the organic light emitting layer to the substrate by the concave portion pattern, the amount of light emitted to the outside is greatly increased to improve the external light emitting efficiency, low current due to high light efficiency As a result, driving is possible, and thus deterioration of the device is delayed, resulting in minimization of color coordinate variation.

Description

유기전계발광소자 및 그 제조방법{Organic Electro luminescence Device and fabrication method thereof}Organic electroluminescent device and its manufacturing method {Organic Electro luminescence Device and fabrication method

본 발명은 유기전계발광소자(Organic Electro luminescence Device : 유기 EL 소자)에 관한 것으로, 특히 양극과 접하는 면의 유리기판 상에 다수의 오목부 패턴이 형성된 유기전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescent device, and more particularly, to an organic electroluminescent device in which a plurality of concave portions patterns are formed on a glass substrate in contact with an anode, and a method of manufacturing the same.

최근 표시장치의 대형화에 따라 공간 점유가 적은 평면표시소자의 요구가 증대되고 있는데, 이러한 평면표시소자 중 하나로서 유기전계발광소자의 기술이 빠른 속도로 발전하고 있으며, 이미 여러 시제품들이 발표된 바 있다.Recently, as the size of the display device increases, the demand for a flat display device having less space is increasing. As one of the flat display devices, the technology of the organic light emitting display device is rapidly developing, and several prototypes have been announced. .

상기 유기 EL 소자는 ITO와 같은 투명전극인 양극과 일함수가 낮은 금속(Ca, Li, Al : Li, Mg : Ag 등)을 사용한 음극 사이에 유기 박막층이 있는 구조로 되어 있으며, 이와 같은 유기 EL 소자에 순방향의 전압을 가하면 양극과 음극에서 각각 정공과 전자가 주입되고, 주입된 정공과 전자는 결합하여 엑시톤(exciton)을 형성하고, 엑시톤이 발광 재결합(radiative recombination)을 하게 되는데 이를 전기발광 현상이라 한다. The organic EL device has a structure in which an organic thin film layer is provided between a cathode, which is a transparent electrode such as ITO, and a cathode using a metal having low work function (Ca, Li, Al: Li, Mg: Ag, etc.). When a forward voltage is applied to the device, holes and electrons are injected from the anode and the cathode, respectively, and the injected holes and electrons combine to form excitons, and the excitons undergo radiative recombination. This is called.

여기서, 상기 유기 박막층의 재료는 저분자 또는 고분자 물질로 구분할 수 있으며 저분자 물질은 진공 증착법을 사용하고, 고분자 물질은 스핀 코팅 방법으로 기판 상에 박막을 형성한다. 또한, 낮은 전압에서 소자를 동작시키기 위해 유기 박막층의 두께는 약 1000Å 정도로 매우 얇게 제작하는데, 박막이 균일하며 핀 홀(pin hole)과 같은 결함이 없어야 한다. The material of the organic thin film layer may be classified into a low molecular weight or a high molecular material. The low molecular material uses a vacuum deposition method, and the high molecular material forms a thin film on a substrate by a spin coating method. In addition, in order to operate the device at low voltage, the organic thin film layer is manufactured to be very thin, about 1000 kW. The thin film must be uniform and free from defects such as pin holes.

이러한 상기 유기 박막층은 단일 물질로 제작할 수 있으나, 일반적으로 여러 유기물질의 다층 구조를 주로 사용한다. 또한, 발광층에서 발광 전이가 효과적으로 일어나도록 형광 색소 또는 인광 색소를 도핑한다. 이 경우 주재료(host)에서 생성된 엑시톤이 도핑된 색소로 효과적으로 전달되도록 하는 것이 중요하다. The organic thin film layer may be made of a single material, but generally uses a multilayer structure of several organic materials. In addition, the fluorescent dye or the phosphorescent dye is doped so that the light emitting transition effectively occurs in the light emitting layer. In this case, it is important to ensure that the excitons produced by the host are effectively transferred to the doped pigment.

유기 EL 소자를 다층 박막 구조로 제작하는 이유는 유기 물질의 경우 정공과 전자의 이동도가 크게 차이가 나므로 정공 전달층(HTL)과 전자 전달층(ETL)을 사용하면 정공과 전자가 유기 발광층(EML)으로 효과적으로 전달될 수 있기 때문이다. 이렇게하여 상기 유기 발광층에서 정공과 전자의 밀도가 균형을 이루도록 하면 발광 효율이 높아지게 된다.The reason why the organic EL device is manufactured in a multilayer thin film structure is that the mobility of holes and electrons varies greatly in the case of an organic material. Therefore, when the hole transport layer (HTL) and the electron transport layer (ETL) are used, holes and electrons are formed in the organic light emitting layer ( EML) can be effectively delivered. In this way, when the density of holes and electrons is balanced in the organic light emitting layer, the light emission efficiency is increased.

또한, 경우에 따라서는 양극과 정공 전달층 상에 전도성 고분자 또는 Cu-PC 등의 정공 주입층(HIL)을 추가로 삽입하여 정공 주입의 에너지 장벽을 낮추며, 더 나아가 음극과 전자 전달층 사이에 LiF 등의 약 5 ~ 10Å 정도의 얇은 완충층(전자 주입층(EIL))을 추가하여 전자 주입의 에너지 장벽을 줄여서 발광 효율을 증가시키고 구동 전압을 낮춘다. In some cases, a hole injection layer (HIL), such as a conductive polymer or Cu-PC, is additionally inserted on the anode and the hole transport layer to lower the energy barrier of hole injection, and furthermore, between the LiF and the cathode transport layer. A thin buffer layer (electron injection layer (EIL)) of about 5-10 kHz, etc. is added to reduce the energy barrier of electron injection, thereby increasing luminous efficiency and lowering the driving voltage.

이러한 유기 EL 소자는 플라즈마 디스플레이(PDP)나 무기전계발광소자에 비해 낮은 전압(ex, 10V 이하)으로 구동할 수 있는 장점이 있으며, 넓은 시야각, 고속 응답성, 고 콘트라스트(contrast) 등의 뛰어난 특징을 가지고 있으므로, 그래픽 디스플레이의 픽셀(pixel), 텔레비전 영상 디스플레이나 표면 광원(surface light source)의 픽셀로서 사용될 수 있다.The organic EL device has an advantage of being able to drive at a lower voltage (ex 10V or less) than a plasma display (PDP) or an inorganic electroluminescent device, and has excellent features such as a wide viewing angle, high speed response, and high contrast. It can be used as a pixel of a graphic display, a pixel of a television image display or a surface light source.

또한, 플라스틱과 같이 휠 수 있는(flexible) 투명 기판 위에도 소자를 형성할 있고, 매우 얇고 가볍게 만들 수 있으며, 색감이 좋기 때문에 차세대 평면표시소자에 적합한 소자이고, 또한 액정표시장치(LCD)에 비해 백라이트(back light)가 필요치 않아 전력소모가 적다.In addition, since the device can be formed on a flexible transparent substrate such as plastic, it can be made very thin and light, and the color is good, it is suitable for the next-generation flat panel display device, and it is also a backlight compared to LCD. (No back light), low power consumption.

도 1은 종래의 유기 EL 소자의 구조를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing the structure of a conventional organic EL device.

도 1을 참조하면, 종래의 유기 EL 소자는 기판(1), 제 1전극(2), 정공 주입층(3), 정공 수송층(4), 유기 발광층(6), 전자 수송층(7), 전자 주입층(8) 및 제 2전극(9)이 포함된다.Referring to FIG. 1, a conventional organic EL device includes a substrate 1, a first electrode 2, a hole injection layer 3, a hole transport layer 4, an organic light emitting layer 6, an electron transport layer 7, and an electron. An injection layer 8 and a second electrode 9 are included.

여기서, 상기 기판(1)은 일반적으로 유리를 사용하지만 구부릴 수 있는 플라스틱이나 PET 필름 등을 사용할 수 있다. 상기 유기 EL 소자의 제조는 고온 공정을 요구하지 않기 때문에 100℃의 공정 온도를 견딜 수 있는 기판이 유용하며, 이것은 대부분의 열 플라스틱을 포함한다. Here, the substrate 1 generally uses glass, but may be bent plastic or PET film. Since the production of the organic EL device does not require a high temperature process, a substrate capable of withstanding a process temperature of 100 ° C. is useful, which includes most thermal plastics.

이러한 상기 기판(1) 위에 제 1전극(anode, 양극)(2) 물질이 증착된다. 제 1전극(2) 물질로는 높은 일함수(high work function)를 갖는 여러 금속이 선택될 수 있다. 일반적으로 인듐 틴 옥사이드(ITO)는 비교적으로 높은 일함수를 가지며, 그 자체로도 투명하기 때문에 많이 사용된다.A first electrode (anode) 2 material is deposited on the substrate 1. As the material of the first electrode 2, various metals having a high work function may be selected. Indium tin oxide (ITO) is generally used because it has a relatively high work function and is transparent in itself.

상기 제 1전극(2) 위에는 정공 주입층(3)이 형성된다. 상기 정공 주입층(3)으로 사용되는 물질은 금속 즉, 제 1전극(2)으로부터 정공이 유기막내로 진입하는 것이 방해 받지 않도록 상기 물질의 전자띠(valance band)가 제 1전극의 훼르미 준위(fermi level)와 큰 차이가 나지 않아야 하며, 동시에 상기 물질은 금속과의 접착력(adhesion)이 좋아야 한다. The hole injection layer 3 is formed on the first electrode 2. The material used as the hole injection layer 3 is made of metal, that is, an electron band (valance band) of the material so that the entrance of holes from the first electrode 2 into the organic film is not disturbed. There should be no significant difference from the fermi level, and at the same time the material should have good adhesion to the metal.

다음으로 상기 정공 주입층(3) 위에 정공 수송층(4)이 형성된다. 상기 정공 수송층(4)으로 사용되는 물질은 제 1전극으로 흔히 쓰이는 ITO의 일함수와 물질의 전자띠와의 값이 큰 차이가 없는 물질을 사용한다. Next, a hole transport layer 4 is formed on the hole injection layer 3. As the material used for the hole transport layer 4, a material having no significant difference between the work function of ITO, which is commonly used as the first electrode, and the electron band of the material is used.

상기와 같은 정공 주입층(3) 및 정공 수송층(4)은 하나의 층으로서 정공주입/ 수송층을 이룰 수도 있다. The hole injection layer 3 and the hole transport layer 4 as described above may form a hole injection / transport layer as one layer.

상기 정공 수송층(4) 위에는 유기 발광층(6)이 형성된다. 제 1, 2전극(1, 9)에서 각기 주입된 정공과 전자가 결합하여 형성된 액시톤이 기저상태로 떨어지면서 발광하게 되는 층으로서 정공 수송층(4)과 전자 수송층(7) 각각의 전도띠와 전자띠의 차이(band gap)에 의해 발광색이 결정된다. The organic emission layer 6 is formed on the hole transport layer 4. Axons formed by combining holes and electrons injected from the first and second electrodes 1 and 9, respectively, fall into a ground state and emit light, and conduction bands of the hole transport layer 4 and the electron transport layer 7, respectively, The emission color is determined by the band gap of the electron band.

상기 유기 발광층(6) 위에는 전자 수송층(7) 및 전자 주입층(8)이 연속적으로 형성되거나, 또는 전자주입/ 수송층이 형성된다. 녹색 발광의 경우에 유기 발광층으로 사용한 Alq3이 뛰어난 전자수송능력을 갖기 때문에 전자주입/ 수송층을 쓰지 않는 경우도 많다.The electron transport layer 7 and the electron injection layer 8 are continuously formed on the organic light emitting layer 6, or the electron injection / transport layer is formed. In the case of green light emission, Alq3, which is used as the organic light emitting layer, has an excellent electron transport ability, so that an electron injection / transport layer is often not used.

다음으로 전자 주입층(8) 위에 제 2전극(9)이 형성된다. 상기 제 2전극으로 사용되는 금속으로는 낮은 일함수(low work function)를 갖는 물질이 사용되는 데, 일반적으로 전극의 일함수가 작을수록 전자 주입이 용이하게 되나 동시에 반응성이 높아지므로 안정도 면에 있어 어려움이 있다. 상기 제 2전극으로는 MgAg, CaAl 등이 많이 쓰인다.Next, a second electrode 9 is formed on the electron injection layer 8. As the metal used as the second electrode, a material having a low work function is used. Generally, the smaller the work function of the electrode, the easier the electron injection but the higher the reactivity. There is difficulty. MgAg, CaAl, and the like are often used as the second electrode.

그러나, 상기와 같은 종래의 유기 EL 소자 구조의 경우, 상기 유기 발광층을 포함한 유기 EL층(3, 4, 6, 7, 8)의 굴절률은 일반적으로 1.7 정도 인데 반해, 상기 양극으로서의 제 1전극(2)의 굴절률은 1.8 ~ 2.1이고, 유리 기판(1)의 굴절률은 1.46정도로, 상기 기판(1) 및 제 1전극(2)의 굴절률이 크기 때문에, 상기 유기 발광층(6)에서 빛이 생성되어도 상기 기판(1) 및 제 1전극(2)에서의 광 커플링 현상으로 인해, 외부 발광 효율이 내부 발광 효율의 20% 가량 밖에 되지 않는다는 문제점이 있다.However, in the conventional organic EL device structure as described above, the refractive index of the organic EL layers 3, 4, 6, 7, and 8 including the organic light emitting layer is generally about 1.7, whereas the first electrode as the anode ( The refractive index of 2) is 1.8 to 2.1, the refractive index of the glass substrate 1 is about 1.46, and since the refractive indexes of the substrate 1 and the first electrode 2 are large, even if light is generated in the organic light emitting layer 6 Due to the optical coupling phenomenon in the substrate 1 and the first electrode 2, there is a problem that the external light emitting efficiency is only about 20% of the internal light emitting efficiency.

즉, 상기 유기발광층(6)에서 발광되는 빛의 약 80% 가량이 외부로 방출되지 못하는 것이며, 이는 실제 소자를 구동함에 있어서 구동 전압의 증가 및 짧은 발광 수명 등의 문제점을 유발한다는 단점이 있다. That is, about 80% of the light emitted from the organic light emitting layer 6 is not emitted to the outside, which causes disadvantages such as an increase in driving voltage and short light emitting lifetime in driving the actual device.

본 발명은 양극과 접하는 면의 기판 상에 다수의 오목부 패턴을 형성하여 상기 양극과 기판 사이 계면의 면적을 확장하고, 상기 오목부 패턴에 의해 유기발광층으로부터 상기 기판으로의 광의 입사각의 크기를 증가시킴으로써, 외부로 방출되는 빛의 양을 크게 증가시켜 외부 발광 효율을 향상시키는 유기전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.According to the present invention, a plurality of recess patterns are formed on a substrate on a surface in contact with an anode, thereby expanding an area of an interface between the anode and the substrate, and increasing the size of an incident angle of light from the organic light emitting layer to the substrate by the recess patterns. The present invention relates to an organic light emitting display device and a method for manufacturing the same, which greatly increase the amount of light emitted to the outside to improve external light emission efficiency.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 유기전계발광소자는, 기판 상에 제 1전극, 유기전계발광층, 제 2전극이 순차적으로 적층되는 구조를 갖는 유기전계발광소자에 있어서, 상기 제 1전극과 접하는 면의 기판 상에 다수의 오목부 패턴이 형성되어 있음을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, an organic light emitting display device according to the present invention is an organic light emitting display device having a structure in which a first electrode, an organic light emitting layer, and a second electrode are sequentially stacked on a substrate, wherein the first electrode and A plurality of recessed pattern is formed on the board | substrate of the surface which abuts.

여기서, 상기 기판은 유기기판 또는 폴리머(polymer) 기판이고, 상기 제 1전극은 양극으로서 투명한 인듐-틴-옥사이드(ITO) 전극이 사용되며, 제 2전극은 음극으로서 일함수가 낮은 금속 재질의 전극이 사용됨을 특징으로 한다.The substrate may be an organic substrate or a polymer substrate, and the first electrode may be a transparent indium-tin-oxide (ITO) electrode as an anode, and the second electrode may be a metal electrode having a low work function as a cathode. Is used.

또한, 상기 유기전계발광층은 하나 이상의 다층으로 구성된다.In addition, the organic light emitting layer is composed of one or more multilayers.

또한, 본 발명에 의한 유기전계발광소자 제조방법은, 기판 상에 제 1전극, 유기전계발광층, 제 2전극이 순차적으로 적층되는 유기전계발광소자의 제조방법에 있어서,In addition, the method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention is a method of manufacturing an organic light emitting display device, in which a first electrode, an organic light emitting layer, and a second electrode are sequentially stacked on a substrate.

상기 제 1전극과 접하는 면의 기판 상에 미세 입자가 분산되어 포함된 포토레지스트가 도포되는 단계와; 상기 미세 입자가 포함된 포토레지스트가 노광되어 상기 미세 입자 이외의 포토레지스트가 경화되는 단계와; 상기 경화되지 않은 미세 입자를 제거하고, 식각을 수행하여 기판 상에 오목부 패턴이 형성되는 단계와; 상기 포토레지스트를 제거하고, 식각에 의해 소정의 오목부 패턴이 형성된 상기 기판이 노출되는 단계와; 상기 오목부 패턴이 노출된 기판 상에 상기 제 1전극, 유기전계발광층, 제 2전극을 순차적으로 형성하는 단계가 포함되는 것을 특징으로 한다.Applying a photoresist comprising fine particles dispersed on a substrate on a surface in contact with the first electrode; Exposing the photoresist including the fine particles to cure photoresists other than the fine particles; Removing the uncured fine particles and etching to form a recess pattern on the substrate; Removing the photoresist and exposing the substrate having a predetermined recess pattern by etching; And sequentially forming the first electrode, the organic light emitting layer, and the second electrode on the substrate to which the recess pattern is exposed.

이 때, 상기 식각은 건식 또는 습식 식각방법에 의하며, 상기 미세한 입자는 노광에 의해 경화되지 않는 나노 크기(nano-size)의 물질이며, 상기 미세한 입자를 제거하는 것은, 소정의 용제(solvent)를 통해 상기 미세한 입자를 녹임에 의해 이루어짐을 특징으로 한다. At this time, the etching is a dry or wet etching method, the fine particles are nano-sized (nano-size) material that is not cured by exposure, removing the fine particles, a predetermined solvent (solvent) Characterized by melting the fine particles through.

또한, 상기 제 1전극은 오목부 패턴이 노출된 기판 상에 스퍼터링 방식으로 형성되며, 제 1전극막의 두께 변동을 최소화하는 평탄화 단계가 더 포함되는 것을 특징으로 한다. In addition, the first electrode is formed on the substrate to which the recess pattern is exposed by a sputtering method, and further comprising a planarization step of minimizing the thickness variation of the first electrode film.

이와 같은 본 발명에 의하면, 이와 같은 본 발명에 의하면, 오목부 패턴에 의해 기판으로 입사되는 광의 입사각 크기가 증가됨으로써, 외부로 방출되는 빛의 양이 크게 증가되어 외부 발광 효율이 향상되며, 높은 광효율로 인해 저전류 구동이 가능해지고, 그에 따라 소자의 열화 현상이 늦어지기 때문에 결과적으로 색좌표의 변동 또한 최소화되는 장점이 있다.According to the present invention as described above, according to the present invention, by increasing the incident angle of the light incident on the substrate by the recess pattern, the amount of light emitted to the outside is greatly increased to improve the external light emission efficiency, high light efficiency As a result, low current driving is possible, and thus deterioration of the device is delayed, resulting in minimization of color coordinate variation.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 실시예를 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 의한 유기전계발광소자의 구조를 나타내는 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing the structure of an organic light emitting display device according to the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명에 의한 유기 EL 소자는 기판(200), 제 1전극(220), 정공 주입층(241), 정공 수송층(243), 유기 발광층(245), 전자 수송층(247), 전자 주입층(249) 및 제 2전극(260)이 포함되어 구성되며, 이 때 상기 제 1전극(220)과 접하는 면의 기판(200) 상에 다수의 오목부 패턴(210)이 형성되어 있음을 특징으로 한다.Referring to FIG. 2, the organic EL device according to the present invention includes a substrate 200, a first electrode 220, a hole injection layer 241, a hole transport layer 243, an organic emission layer 245, and an electron transport layer 247. And an electron injection layer 249 and a second electrode 260, and a plurality of recess patterns 210 are formed on the substrate 200 on the surface in contact with the first electrode 220. It is characterized by the presence.

여기서, 상기 기판(200)은 일반적으로 유리를 사용하지만, 폴리머(polymer) 또는 구부릴 수 있는 플라스틱이나 PET 필름 등을 사용할 수 있다. 상기 유기 EL 소자의 제조는 고온 공정을 요구하지 않기 때문에 100℃의 공정 온도를 견딜 수 있는 기판이 유용하며, 이것은 대부분의 열 플라스틱을 포함한다. In this case, the substrate 200 generally uses glass, but a polymer or a bendable plastic or PET film may be used. Since the production of the organic EL device does not require a high temperature process, a substrate capable of withstanding a process temperature of 100 ° C. is useful, which includes most thermal plastics.

또한, 상기 제 1전극(220)은 양극으로서 투명한 인듐-틴-옥사이드(ITO) 전극이 사용되며, 제 2전극(260)은 음극으로서 일함수가 낮은 금속 재질의 전극이 사용되고, 상기 유기전계발광층(240)은 도시된 바와 같이 하나 이상의 다층으로 구성될 수 있다.In addition, a transparent indium tin oxide (ITO) electrode is used as an anode, and a second electrode 260 is a metal electrode having a low work function as a cathode, and the organic light emitting layer 240 may be comprised of one or more multilayers as shown.

또한, 앞서 언급한 바와 같이 상기 기판(200)은 상기 제 1전극(220)과 접하는 면에 다수의 오목부 패턴(210)이 형성되어 있는데, 이를 통해 상기 기판(200)과 제 1전극(220) 사이의 계면의 면적이 크게 확장된다.In addition, as described above, the substrate 200 has a plurality of recess patterns 210 formed on a surface of the substrate 200 in contact with the first electrode 220, through which the substrate 200 and the first electrode 220 are formed. The area of the interface between) is greatly expanded.

이와 같이 오목부 패턴(210)이 다수 형성된 기판(200)에서는 상기 제 1전극(220) 계면과 기판(200) 사이의 굴절률 차이로 인해 광출력 효율이 줄어드는 것을 입사각 즉, 유기발광층에서 기판으로 입사되는 광의 크기를 증가시킴으로써, 외부로 방출되는 빛의 양을 크게 증가시킬 수 있다. As described above, in the substrate 200 having the concave portion pattern 210 formed therein, the light output efficiency decreases due to the difference in refractive index between the interface of the first electrode 220 and the substrate 200. By increasing the amount of light to be emitted, it is possible to greatly increase the amount of light emitted to the outside.

또한, 상기 오목부 패턴(210)은 대체로 구형 형태이므로 그 계면에서의 외부 입사광의 입사각은 거의 0도에 가깝게 유지되기 때문에, 임계각에 의한 광출력 효율의 감소를 대폭 줄일 수 있게 된다. In addition, since the recess pattern 210 is generally spherical in shape, the incident angle of the external incident light at the interface is kept close to 0 degrees, so that the reduction of the light output efficiency due to the critical angle can be greatly reduced.

종래의 경우 유기기판에 형성된 굴곡 패턴들은 제 1전극과 접하는 면의 반대면에 형성되었는데, 이는 단순히 유리기판에서 외부 방출되는 빛에 대해서만 효과가 있으며, 내부의 광 커플링 현상에 대해서는 아무런 영향을 주지 못하는 단점이 있었다. In the related art, the bending patterns formed on the organic substrate are formed on the opposite side of the surface contacting the first electrode, which is effective only for light emitted from the glass substrate and does not affect the internal optical coupling phenomenon. There was a disadvantage.

이에 반해 본 발명에 의할 경우에는 제 1전극(220)에 의한 51%의 광 효율 증가 효과를 가져올 수 있기 때문에 상기 내부의 광 커플링 현상을 극복하여 광출력 효율을 크게 증가시키게 된다.On the contrary, according to the present invention, since the light efficiency can be increased by 51% by the first electrode 220, the light output efficiency is greatly increased by overcoming the internal optical coupling phenomenon.

이하 도 3을 참조하여 본 발명에 의한 유기전계발광소자의 제조 공정을 설명하도록 한다.Hereinafter, a manufacturing process of an organic light emitting display device according to the present invention will be described with reference to FIG. 3.

도 3a 내지 도 3e은 본 발명에 의한 유기전계발광소자의 제조공정을 나타내는 공정 단면도이다.3A to 3E are cross-sectional views illustrating a process of manufacturing the organic light emitting display device according to the present invention.

도 3a에 도시된 바와 같이, 유리 또는 폴리머(polymer), 투명 플라스틱 등의 기판(190) 상에 미세 입자(310)가 분산되어 포함된 포토레지스트(300)가 도포된다.As shown in FIG. 3A, a photoresist 300 including fine particles 310 dispersed on a substrate 190 such as glass, a polymer, a transparent plastic, or the like is coated.

여기서, 상기 미세 입자(310)는 노광에 의해 경화되지 않는 나노 크기(nano-size)의 물질로, 플라스틱 또는 고무(rubber) 등이 될 수 있다. Herein, the fine particles 310 are nano-sized materials that are not cured by exposure, and may be plastic or rubber.

즉, 일반적인 PR 재료로 사용되는 레진(resin)에, 상기 나노 크기의 플라스틱, 고무 입자들이 포함되어 상기 본 발명에 의한 포토레지스트(300)를 이루며, 이러한 포토레지스트(300)가 이후 제 1전극이 형성되는 면의 기판(190) 상에 도포되는 것이다.That is, the resin (resin) used as a general PR material, the nano-sized plastic, rubber particles are included to form a photoresist 300 according to the present invention, the photoresist 300 is a first electrode after It is applied to the substrate 190 of the surface to be formed.

다음으로 도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 미세 입자(310)가 포함된 포토레지스트(300)가 노광되어 상기 미세 입자(310) 이외의 포토레지스트(300)가 경화된다.Next, as shown in FIG. 3B, the photoresist 300 including the fine particles 310 is exposed to cure the photoresist 300 other than the fine particles 310.

즉, 상기 포토레지스트(300)는 노광에 의해 경화되는 성질을 갖는 포토레지스트이며, 단, 상기 포토레지스트에 포함된 미세 입자(310)들은 이와 같은 노광에 의해 경화되지 않는 성질을 갖는다.That is, the photoresist 300 is a photoresist having a property of being cured by exposure, except that the fine particles 310 included in the photoresist are not cured by such exposure.

다음으로는 도 3c에 도시된 바와 같이 상기 경화되지 않은 미세한 입자(310)를 제거하고, 상기 미세 입자(310)가 제거된 포토레지스트 부분(300 )을 식각한다.Next, as shown in FIG. 3C, the uncured fine particles 310 are removed and the photoresist portion 300 from which the fine particles 310 have been removed is etched.

이 때, 상기 식각은 건식 혹은 습식 식각 방식에 의해 이루어 질 수 있으며, 상기 미세 입자는 소정의 용제(solvent)를 통해 상기 미세한 입자가 용해됨으로써 제거된다. In this case, the etching may be performed by a dry or wet etching method, the fine particles are removed by dissolving the fine particles through a predetermined solvent (solvent).

이와 같은 식각 공정을 거친 뒤에는 상기 포토레지스트(300)를 제거하고, 상기 포토레지스트를 제거하게 되면 식각에 의해 소정의 오목부 패턴(210)이 형성된 기판(200)이 노출되게 된다. 즉, 최초 기판(190)은 소정의 오목부 패턴이 형성된 기판(200)으로 변경되는 것이다. 이는 도 3d에 도시되어 있다. After such an etching process, the photoresist 300 is removed, and when the photoresist is removed, the substrate 200 on which the predetermined recess pattern 210 is formed is exposed by etching. That is, the first substrate 190 is changed to the substrate 200 on which the predetermined recess pattern is formed. This is shown in Figure 3d.

이와 같이 상기 다수의 오목부 패턴(210)이 형성된 기판(200) 상에 순차적으로 제 1전극(220), 유기전계발광층(240), 제 2전극(260)이 적층 형성됨으로써 본 발명에 의한 유기전계발광소자가 형성되는 것이며, 이는 도 3e에 도시되어 있다.As described above, the first electrode 220, the organic light emitting layer 240, and the second electrode 260 are sequentially formed on the substrate 200 on which the plurality of recess patterns 210 are formed. An electroluminescent device is formed, which is shown in FIG. 3e.

이 때, 상기 제 1전극(220)은 오목부 패턴(210)이 노출된 기판(200) 상에 스퍼터링 방식으로 형성되며, 제 1전극(220)막의 두께 변동을 최소화하는 평탄화 단계(미도시)가 더 포함될 수 있다. In this case, the first electrode 220 is formed on the substrate 200 on which the recess pattern 210 is exposed by sputtering, and the planarization step of minimizing the thickness variation of the film of the first electrode 220 is performed (not shown). May be further included.

상기 제 1전극(220), 유기전계발광층(240), 제 2전극(260)이 형성되는 것을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.The first electrode 220, the organic light emitting layer 240, and the second electrode 260 are described in more detail as follows.

상기 제 1전극(220) 물질로는 높은 일함수(high work function)을 갖는 여러 금속이 선택될 수 있다. 일반적으로 ITO는 비교적으로 높은 일함수를 가지며, 그 자체로도 투명하기 때문에 제 1금속으로 많이 사용된다.As the material of the first electrode 220, various metals having a high work function may be selected. In general, ITO has a relatively high work function, and because it is transparent in itself, it is commonly used as the first metal.

상기 제 1전극(220) 위에는 정공 주입층(241)이 형성된다. 상기 정공 주입층으로 사용되는 물질은 금속 즉, 제 1전극으로부터 정공이 유기막내로 진입하는 것이 방해 받지 않도록 상기 물질의 전자띠(valance band)가 제 1전극의 훼르미 준위(fermi level)와 큰 차이가 나지 않아야 하며, 동시에 상기 물질은 금속과의 접착력(adhesion)이 좋아야 한다. The hole injection layer 241 is formed on the first electrode 220. The material used as the hole injection layer is made of a metal, that is, the band of the material has a greater than the Fermi level (fermi level) of the first electrode so as not to prevent the hole from entering the organic film from the first electrode There should be no difference and at the same time the material should have good adhesion with the metal.

다음으로 상기 정공 주입층(241) 위에 정공 수송층(243)이 형성된다. 상기 정공 수송층으로 사용되는 물질은 제 1전극으로 흔히 쓰이는 ITO의 일함수와 물질의 전자띠와의 값이 큰 차이가 없는 물질을 사용한다. Next, a hole transport layer 243 is formed on the hole injection layer 241. As the material used for the hole transport layer, a material having no significant difference between the work function of ITO, which is commonly used as the first electrode, and the electron band of the material is used.

상기와 같은 정공 주입층(241) 및 정공 수송층(243)은 하나의 층으로서 정공주입/ 수송층을 이룰 수도 있다. The hole injection layer 241 and the hole transport layer 243 as described above may form a hole injection / transport layer as one layer.

상기 정공 수송층(243) 위에는 유기 발광층(245)이 형성된다. 제 1, 2전극(220, 260)에서 각기 주입된 정공과 전자가 결합하여 형성된 액시톤이 기저상태로 떨어지면서 발광하게 되는 층으로서 정공 수송층(243)과 전자 수송층(247) 각각의 전도띠와 전자띠의 차이(band gap)에 의해 발광색이 결정된다. The organic emission layer 245 is formed on the hole transport layer 243. Axons formed by combining holes and electrons injected from the first and second electrodes 220 and 260, respectively, fall into a ground state to emit light, and each conduction band of each of the hole transport layer 243 and the electron transport layer 247 is formed. The emission color is determined by the band gap of the electron band.

상기 유기 발광층(245) 위에는 전자 수송층(247) 및 전자 주입층(249)이 연속적으로 형성되거나, 또는 전자주입/ 수송층이 형성된다. 녹색 발광의 경우에 유기 발광층으로 사용한 Alq3이 뛰어난 전자수송능력을 갖기 때문에 전자주입/ 수송층을 쓰지 않는 경우도 많다.The electron transport layer 247 and the electron injection layer 249 are continuously formed on the organic emission layer 245, or the electron injection / transport layer is formed. In the case of green light emission, Alq3, which is used as the organic light emitting layer, has an excellent electron transport ability, so that an electron injection / transport layer is often not used.

앞서 설명한 정공 주입층(241), 정공 수송층(243), 유기 발광층(245), 전자 수송층(247), 전자 주입층(249)이 상기 유기전계발광층(240)을 이루는 것이다. The hole injection layer 241, the hole transport layer 243, the organic emission layer 245, the electron transport layer 247, and the electron injection layer 249 described above form the organic light emitting layer 240.

다음으로 전자 주입층2498) 위에 제 2전극(260)이 형성된다. 상기 제 2전극으로 사용되는 금속으로는 낮은 일함수(low work function)를 갖는 물질이 사용되는 데, 일반적으로 전극의 일함수가 작을수록 전자 주입이 용이하게 되나 동시에 반응성이 높아지므로 안정도 면에 있어 어려움이 있다. 상기 제 2전극으로는 MgAg, CaAl 등이 많이 쓰인다.Next, a second electrode 260 is formed on the electron injection layer 2498. As the metal used as the second electrode, a material having a low work function is used. Generally, the smaller the work function of the electrode, the easier the electron injection but the higher the reactivity. There is difficulty. MgAg, CaAl, and the like are often used as the second electrode.

본 발명에 의한 유기전계발광소자 및 그 제조방법은, 양극과 접하는 면의 기판 상에 다수의 오목부 패턴을 형성하여 상기 양극과 기판 사이 계면의 면적을 확장하고, 상기 오목부 패턴에 의해 유기발광층에서 상기 기판으로 입사되는 광의 입사각의 크기가 증가됨으로써, 외부로 방출되는 빛의 양이 크게 증가되어 외부 발광 효율이 향상되며, 높은 광효율로 인해 저전류 구동이 가능해지고, 그에 따라 소자의 열화 현상이 늦어지기 때문에 결과적으로 색좌표의 변동 또한 최소화되는 장점이 있다. The organic light emitting display device and the method of manufacturing the same according to the present invention form a plurality of concave portion patterns on a substrate on a surface in contact with an anode to expand the area of the interface between the anode and the substrate, and the organic light emitting layer by the concave portion pattern. By increasing the size of the incident angle of the light incident on the substrate, the amount of light emitted to the outside is greatly increased to improve the external light emitting efficiency, and the low light driving is possible due to the high light efficiency, thereby deteriorating the device As a result, the variation of color coordinates is minimized as a result.

도 1은 종래의 유기 EL 소자의 구조를 나타내는 단면도.1 is a cross-sectional view showing the structure of a conventional organic EL device.

도 2는 본 발명에 의한 유기전계발광소자의 구조를 나타내는 단면도.2 is a cross-sectional view showing the structure of an organic light emitting display device according to the present invention;

도 3a 내지 도 3e은 본 발명에 의한 유기전계발광소자의 제조공정을 나타내는 공정 단면도.3A to 3E are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of an organic light emitting display device according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

200 : 기판 210 : 오목부 패턴200: substrate 210: recess pattern

220 : 제 1전극 240 : 유기전계발광층220: first electrode 240: organic light emitting layer

260 : 제 2전극 300 : 포토레지스트260: second electrode 300: photoresist

310 : 미세 입자310: fine particles

Claims (9)

기판 상에 제 1전극, 유기전계발광층, 제 2전극이 순차적으로 적층되는 구조를 갖는 유기전계발광소자에 있어서,In an organic light emitting display device having a structure in which a first electrode, an organic light emitting layer, and a second electrode are sequentially stacked on a substrate, 상기 제 1전극과 접하는 면의 기판 상에 다수의 오목부 패턴이 형성되어 있음을 특징으로 하는 유기전계발광소자.The organic light emitting device, characterized in that a plurality of recess pattern is formed on the substrate of the surface in contact with the first electrode. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판은 유기기판 또는 폴리머(polymer) 기판 임을 특징으로 하는 유기전계발광소자.The substrate is an organic light emitting device, characterized in that the organic substrate or a polymer (polymer) substrate. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1전극은 양극으로서 투명한 인듐-틴-옥사이드(ITO) 전극이 사용되며, 제 2전극은 음극으로서 일함수가 낮은 금속 재질의 전극이 사용됨을 특징으로 하는 유기전계발광소자.The first electrode is a transparent indium tin oxide (ITO) electrode is used as the anode, the second electrode is an organic electroluminescent device, characterized in that the electrode of a metal material having a low work function is used as the cathode. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유기전계발광층은 하나 이상의 다층으로 구성됨을 특징으로 하는 유기전계발광소자.The organic light emitting device is characterized in that the organic light emitting device is composed of one or more multilayers. 기판 상에 제 1전극, 유기전계발광층, 제 2전극이 순차적으로 적층되는 유기전계발광소자의 제조방법에 있어서,In the method of manufacturing an organic light emitting device in which the first electrode, the organic electroluminescent layer, and the second electrode are sequentially stacked on the substrate, 상기 제 1전극과 접하는 면의 기판 상에 미세 입자가 분산되어 포함된 포토레지스트가 도포되는 단계와,Applying a photoresist containing fine particles dispersed on a substrate on a surface in contact with the first electrode; 상기 미세 입자가 포함된 포토레지스트가 노광되어 상기 미세 입자 이외의 포토레지스트가 경화되는 단계와,Exposing the photoresist including the fine particles to cure photoresists other than the fine particles; 상기 경화되지 않은 미세 입자를 제거하고, 식각을 수행하여 기판 상에 오목부 패턴이 형성되는 단계와, Removing the uncured fine particles and etching to form a recess pattern on the substrate; 상기 포토레지스트를 제거하고, 식각에 의해 소정의 오목부 패턴이 형성된 상기 기판이 노출되는 단계와,Removing the photoresist and exposing the substrate having a predetermined recess pattern by etching; 상기 오목부 패턴이 노출된 기판 상에 상기 제 1전극, 유기전계발광층, 제 2전극을 순차적으로 형성하는 단계가 포함되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법.And sequentially forming the first electrode, the organic light emitting layer, and the second electrode on the exposed substrate pattern. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 미세 입자는 노광에 의해 경화되지 않는 나노 크기(nano-size)의 물질임을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법.The fine particle is a method of manufacturing an organic light emitting device, characterized in that the nano-sized (nano-size) material that is not cured by exposure. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 미세 입자를 제거하는 것은, 소정의 용제(solvent)를 통해 상기 미세 입자를 녹임에 의해 이루어짐을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법.Removing the fine particles, the organic electroluminescent device manufacturing method, characterized in that made by melting the fine particles through a predetermined solvent (solvent). 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 제 1전극은 오목부 패턴이 노출된 기판 상에 스퍼터링 방식으로 형성되며, 제 1전극막의 두께 변동을 최소화하는 평탄화 단계가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법.The first electrode is formed by sputtering on a substrate on which the recess pattern is exposed, and further comprising a planarization step of minimizing the variation of the thickness of the first electrode film. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 식각은 건식 식각 방법 또는 습식 식각 방법에 의해 수행됨을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법.The etching is a method of manufacturing an organic light emitting device, characterized in that performed by a dry etching method or a wet etching method.
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