KR20050057722A

KR20050057722A - Valve apparatus

Info

Publication number: KR20050057722A
Application number: KR1020030089383A
Authority: KR
Inventors: 타기요시오
Original assignee: 엠알엠 주식회사
Priority date: 2003-12-10
Filing date: 2003-12-10
Publication date: 2005-06-16
Also published as: KR100698835B1

Abstract

본 발명은, 개폐동작의 반복에 의해 다이어프램을 구성하는 원반부의 일부에만 부하가 걸려서 열화되지 않기 때문에, 그 원반부에 큰 압력이 작용한 경우에도 변형되는 것을 효과적으로 방지할 수 있는 신규한 밸브를 제공한다.The present invention provides a novel valve that can effectively prevent deformation even when a large pressure is applied to the disc because the load is not deteriorated due to a load being applied only to a part of the disc forming the diaphragm by repeating the opening and closing operation. do.

일측의 관로(2)에 개구(12)를 통하여 연통되어 내부에 유체가 유입됨과 동시에, 타측의 관로(3)에 연통되어 이루어진 유체 유입실(10)과, 상기 개구(12)를 개폐하는 축부(7a)와 이 축부(7a)의 중도부에서 방사상으로 퍼지고, 외주는 상기 유체 유입실(10)의 벽에 고정되어 구성됨으로써 그 유체 유입실(10)을 구분함과 동시에 상기 축부(7a)의 중심측에서 외주 방향에 걸쳐 파형으로 성형되어 이루어진 원반부(7b)를 갖춘 다이어프램(7)을 갖춘 밸브장치(1)이며, 상기 원반부(7b)에 의해 구분되어 유체가 유입되지 않는 공간내에는, 상기 축부(7a)에 의한 상기 개구(12)의 폐쇄시 및 개방시에 그 원반부(7b)에 당접하거나 근접하는 변형규제부재(18, 19, 20, 21)가 마련되어 이루어진다. A fluid inflow chamber 10 is formed in communication with the conduit 2 on one side through the opening 12 and in communication with the conduit 3 on the other side, and a shaft portion for opening and closing the opening 12. (7a) and radially spread from the middle portion of the shaft portion (7a), the outer circumference is fixed to the wall of the fluid inlet chamber 10 to distinguish the fluid inlet chamber (10) and at the same time the shaft portion (7a) Is a valve device (1) having a diaphragm (7) having a disk portion (7b) formed in a wave shape from the center side to the outer circumferential direction, and separated by the disk portion (7b) in a space where no fluid is introduced. Is provided with deformation restricting members 18, 19, 20, 21 abutting or approaching the disk portion 7b at the time of closing and opening of the opening 12 by the shaft portion 7a.

Description

Valve apparatus

본 발명은, 유체가 흐르는 관로의 도중에 장착되며, 그 유체의 흐름을 정지 또는 그 정지상태를 해제하기 위하여 사용되는 밸브장치에 관한 것으로, 특히 다이어프램이 구성요소로 되어 있는 밸브 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a valve device which is mounted in the middle of a pipeline through which a fluid flows and which is used to stop or release the flow of the fluid, and more particularly, to a valve device having a diaphragm as a component.

종래에는, 도 6에 나타낸 바와 같이 내부에 다이어프램(101)이 내장된 밸브장치(100)가 제조되고 있다. 이 밸브 장치(100)는, 각각 도시하지 않은 도관에 접속되는 일측 및 타측의 관로(102)(103)가 형성된 몸통(104)을 구비하고 있다. Conventionally, as shown in FIG. 6, the valve apparatus 100 in which the diaphragm 101 was built is manufactured. This valve device 100 is provided with the trunk | tube 104 in which the pipelines 102 and 103 of the one side and the other side connected to the conduit which are not shown in figure are formed, respectively.

이 몸통(104)의 중심에는 상기 일측의 관로(102)에 개구(105)를 통하여 연통되어 이루어짐과 동시에, 이 유체 유입실(106)에는 상기 다이어프램(101)이 마련되어 있다. 이 다이어프램(101)은 상기 개구(105)를 개폐하는 축부(101a)와, 이 축부(101a)와 일체로 성형되어 이루어짐과 동시에 그 축부(101a)로부터 방사상으로 퍼진 얇은 형태의 원반부(101b)와, 이 원반부(101b)의 외주에 성형된 링형의 후육부(101c)로 구성되어 있다. 또한, 이 원반부(101b)는 상기 축부(101a)로부터 상기 후육부(101c)에 걸쳐 약간 경사져 있다.The diaphragm 101 is provided in the fluid inflow chamber 106 at the center of the body 104 by being communicated with the pipe 102 on the one side through the opening 105. The diaphragm 101 is formed by being integrally formed with the shaft portion 101a for opening and closing the opening 105 and the thin disk portion 101b radially spread from the shaft portion 101a. And a ring-shaped thick portion 101c formed on the outer circumference of the disc portion 101b. In addition, the disk portion 101b is slightly inclined from the shaft portion 101a to the thick portion 101c.

또, 상기 몸통(104)에는 케이스(107)가 고정되며, 이 케이스(107)의 중심에는 이동축(108)이 회동 가능하게 취부되어 있다. 이 이동축(108)의 상단에는 그 이동축(108)을 회동 조작하기 위하여 작업자가 파지하는 조작 핸들(109)이 취부되고, 또 하단면에는 오목부(109a)가 형성되어 있다. In addition, a case 107 is fixed to the body 104, and a moving shaft 108 is attached to the center of the case 107 so as to be rotatable. An operating handle 109 gripped by an operator is attached to the upper end of the moving shaft 108, and a concave portion 109a is formed on the lower surface thereof.

그리고, 상기 다이어프램(101)을 구성하는 축부(101a)는 기단측이 이 오목부(109a)에 삽입되어 있다. The proximal end of the shaft portion 101a constituting the diaphragm 101 is inserted into the recess 109a.

또, 상기 몸체(104)의 일단측 내측과 상기 케이스(107)의 타단측 내측간에는 중심에 상기 이동축(108)의 일단축이 삽통된 삽통공(110a)이 형성되어 이루어짐과 동시에, 상기 다이어프램(101)을 구성하는 후육부(101c)를 몸통(104)에 형성된 단차면(104a)에 의해 협지하는 협지링(110)이 마련되어 있다. 또, 상기 이동축(108)의 외주면에는 이 일측의 나사(107a)에 나합하는 타측의 나사(108b)가 형성되어 있다.In addition, the diaphragm is formed between an inner side of one end of the body 104 and an inner side of the other end of the case 107, and an insertion hole 110a through which an end shaft of the moving shaft 108 is inserted is formed at the center thereof. The gripping ring 110 which sandwiches the thick part 101c which comprises 101 by the step surface 104a formed in the trunk | drum 104 is provided. The outer circumferential surface of the movable shaft 108 is provided with a screw 108b on the other side, which is screwed to the screw 107a on one side.

따라서, 이 밸브 장치(100)에서는 상기 조작 핸들(109)을 파지하여 상기 이동축(108)을 회동(시계 방향)시키면, 이 이동축(108)은 도 6의 하측으로 이동한다. 이에 따라 상기 다이어프램(101)을 구성하는 축부(101a)가 하강하여 상기 개구(105)가 폐쇄된다. 이러한 조작에 의해 거기까지 일측의 관로(102)에서 상기 개구(105)를 통하여 유체 유입실(106)내로 유입되어, 이 유체 유입실(106)에서 타측의 관로(103)로 유입되어 있던 유체의 흐름이 저지된다.Therefore, in this valve apparatus 100, when the said operation handle 109 is gripped and the said movement shaft 108 rotates (clockwise), this movement shaft 108 will move to the lower side of FIG. Accordingly, the shaft portion 101a constituting the diaphragm 101 descends to close the opening 105. By this operation, the fluid flows into the fluid inflow chamber 106 through the opening 105 in one of the conduits 102, and the fluid flows from the fluid inflow chamber 106 into the conduit 103 on the other side. The flow is blocked.

그러나, 이와 같이 개폐되는 종래의 밸브장치(100)에 있어서, 상술한 개폐동작이 이루어질 때에는 상기 다이어프램(101)을 구성하는 축부(101a)는 이동시켜지지만, 상기 후육부(101c)는 고정되어 있으므로 원반부(101b)의 일부(축부(101a)의 외주부위)에만 부하가 걸리게 되어 개폐동작이 여러 회 반복되므로 그 부하가 걸린 부위에만 열화(劣化)되어, 최종적으로는 균열 또는 파단되어 유체가 유출될 우려가 있다. 따라서, 이러한 원반부(101b)의 열화를 방지하기 위하여 그 원반부(101b)를 파형으로 성형하는 방법을 고려할 수가 있다. 원반부(101b)를 이와 같이 파형으로 성형하므로써 축부(101a)의 이동에 따른 부하가 일부에만 걸리지 않도록 하여 내구성이 향상된다.However, in the conventional valve device 100 which is opened and closed in this way, when the opening and closing operation described above is performed, the shaft portion 101a constituting the diaphragm 101 is moved, but the thick portion 101c is fixed. The load is applied only to a part of the disc portion 101b (the outer circumferential portion of the shaft portion 101a), and the opening and closing operation is repeated several times. Therefore, it deteriorates only at the load-loaded portion, and finally, cracks or fractures result in fluid leakage. There is a concern. Therefore, in order to prevent such deterioration of the disk portion 101b, a method of forming the disk portion 101b into a waveform can be considered. By shaping the disk portion 101b into a waveform like this, durability is improved by preventing the load due to the movement of the shaft portion 101a from being partially applied.

그러나, 이와 같이 다이어프램(101)의 원반부(101b)를 파형으로 성형하면, 그 원반부(101b)에 유체의 압력이 크게 작용했을 때 특히, 상기 개구(105)를 폐쇄한 경우의 일명 햄머 현상이 생긴 경우에는, 그때까지 파형이었던 원반부(101b)가 도 7에 나타낸 바와 같이 단면 원호상으로 변형되며, 상술한 개폐동작을 반복해도 원래의 형상으로 복귀되지 않아, 결과적으로는 역시 개폐동작시에 일부에만 부하가 걸려 열화되는 것을 막을 수가 없다. 따라서, 본 발명은 상술한 종래의 밸브 장치가 갖는 과제를 해결하기 위하여 제안된 것으로, 개폐동작의 반복에 의해 다이어프램을 구성하는 원반부의 일부에만 부하가 걸려 열화되지 않음과 동시에, 그 원반부에 큰 압력이 작용했을 경우에는 변형을 효과적으로 방지할 수 있는 신규한 밸브장치의 제공을 목적으로 한다. However, when the disk portion 101b of the diaphragm 101 is formed into a wave shape, when the fluid pressure is largely applied to the disk portion 101b, a so-called hammer phenomenon especially when the opening 105 is closed. In this case, the disk portion 101b, which has been corrugated up to that time, is deformed into a circular arc in cross section as shown in Fig. 7, and does not return to its original shape even if the above-described opening and closing operation is repeated. Only part of the load is applied to prevent deterioration. Accordingly, the present invention has been proposed in order to solve the problems of the conventional valve device described above, and the load is applied to only a part of the disk portion constituting the diaphragm by repetition of the opening and closing operation. It is an object of the present invention to provide a novel valve device capable of effectively preventing deformation when pressure is applied.

본 발명은, 상기 목적을 달성하기 위하여 제안된 것으로, 제 1의 발명(청구항 1에 기재된 발명)은, 일측의 관로에 개구를 통하여 연통되어 내부에 유체가 유입됨과 동시에, 타측의 관로에 연통되어 이루어진 유체유입실과, 상기 개구를 개폐하는 축부와 이 축부의 중심부에서 방사상으로 퍼지고 외주는 상기 유체 유입실의 벽에 고정되어 이루어지므로써 그 유체유입실을 구분함과 동시에, 상기 축부의 중심측으로부터 외주방향에 걸쳐 파형으로 성형되어 이루어진 원반부를 갖춘 다이어프램을 갖춘 밸브 장치이며, 상기 원반부에 의해 구분되어 유체가 유입되지 않는 공간내에는 상기 축부에 의한 상기 개구의 개폐시 및 개방시에 그 원반부에 당접 또는 변형규제부재가 마련되어 이루어진 것을 특징으로 한다.The present invention has been proposed in order to achieve the above object, and the first invention (invention described in claim 1) communicates with one pipeline through an opening to allow fluid to flow therein and at the same time with another pipeline. The fluid inlet chamber, the shaft opening / closing the opening and the central portion of the shaft opening radially and the outer circumference is fixed to the wall of the fluid inlet chamber, thereby distinguishing the fluid inlet chamber from the central side of the shaft section. A valve device having a diaphragm having a disk portion formed in a wave shape over the outer circumferential direction, the disk portion at the time of opening and closing of the opening by the shaft portion in the space which is divided by the disk portion and does not flow fluid It characterized in that the contact or deformation regulation member is provided.

이 제 1의 발명에 따르면, 원반부는 다이어프램의 중심측에서 외주방향에 걸쳐 파형으로 성형되어 있기 때문에, 그 다이어프램이 개폐동작을 반복해도, 그 원반부의 일부에만 부하가 걸리지 않아 열화되어 균열 또는 파단될 우려를 방지할 수 있을 뿐 아니라, 개구의 폐쇄에 따른 이 원반부에 고압력이 작용하였을 경우에도, 원반부는 상기 변형규제부에 의해 변형이 규제되기 때문에, 장기간에 걸쳐 당초의 형상(파형)을 유지할 수가 있다. 또, 본 발명에 따르면, 원반부의 두께를 더 얇은 것으로 하여 종래의 휨량보다 큰 것으로 할 수도 있다.According to the first aspect of the invention, the disk portion is formed in a waveform from the center side of the diaphragm to the outer circumferential direction, so that even if the diaphragm repeats the opening and closing operation, only a part of the disk portion is not loaded and deteriorates to crack or break. In addition to preventing concerns, even when a high pressure acts on the disc due to the closing of the opening, the disc is restricted from deformation by the deformation restricting portion, thereby maintaining the original shape (waveform) for a long time. There is a number. Moreover, according to this invention, it can also make it thinner than the conventional curvature amount by making thickness of a disk part thinner.

또, 제 2의 발명(청구항 2에 기재된 발명)은, 상기 제 1의 발명에 있어서, 상기 변형규제부재는 상기 다이어프램을 구성하는 축부의 외주에 고정되어 링형태로 성형된 고정링과, 이 고정링의 외측에 마련된 복수의 이동링으로 구성되고, 상기 고정링의 외주에는 계합부가 형성되며, 상기 이동링은 가장 내측에 마련된 내측이동링과, 가장 외측에 마련된 외측 이동링과, 상기 내측 이동링과 외측 이동링간에 마련된 단수 또는 복수의 중간 이동링으로 이루어지고, 상기 내측이동링에는 상기 고정링의 외주에 형성된 계합부에 계합되는 내측 계합부와 외측 계합부가 형성되며, 상기 이동링에는 상기 중간 이동링에 형성된 외측 계합부에 계합되는 내측 계합부가 형성되어 상기 개구를 폐쇄하는 방향으로의 축부의 이동에 따른 고정링의 이동에 의해 상기 모든 이동링의 일단이 상기 원반부에 당접 또는 근접하도록 구성되어 이루어지는 것을 특징으로 한다.According to a second invention (invention according to claim 2), in the first invention, the deformation restricting member is fixed to an outer circumference of the shaft portion constituting the diaphragm and is formed in a ring shape, and the fixing It is composed of a plurality of movable ring provided on the outer side of the ring, the engaging portion is formed on the outer periphery of the fixed ring, the movable ring is an inner movable ring provided on the innermost, the outer movable ring provided on the outermost, the inner movable ring It consists of a single or a plurality of intermediate moving ring provided between the outer and the outer ring, the inner ring is formed in the inner engaging portion and the outer engaging portion engaged with the engaging portion formed on the outer periphery of the fixed ring, the movable ring in the intermediate The inner engaging portion is formed to engage the outer engaging portion formed in the movable ring, and all of the said One end of the movable ring is characterized in that it is configured to abut or close to the disc.

이 제 2의 발명에 따르면, 개구를 폐쇄하는 방향으로의 다이어프램의 이동에 따른 고정링의 이동에 의해 상기 모든 이동링의 일단이 상기 원반부에 당접 또는 근접하도록 구성되어졌기 때문에 원반부에 높은 압력이 작용했을 경우에도, 원반부는 상기 이동링의 일단에 의해 변형되지 않는다. 또한, 이 제 2의 발명에 있어서는 상기 이동링은 다이어프램을 구성하는 축부로부터 외측에 걸쳐 차례로 길게 되어 있어도 좋다.According to this second invention, high pressure is applied to the disc because one end of all the movable rings is configured to abut or approach the disc by the movement of the fixing ring according to the movement of the diaphragm in the direction of closing the opening. Even when this action is carried out, the disc portion is not deformed by one end of the movable ring. In addition, in this 2nd invention, the said moving ring may be extended in order from the shaft part which comprises a diaphragm in order from the outer side.

제 3의 발명(청구항 3에 기재된 발명)은, 상기 제 2의 발명에 있어서, 상기 이동링은 모두 동일한 길이로 성형되어 있고, 그 이동링의 타단측에는 상기 다이어프램을 구성하는 축부의 중심축에서 각 당접면에 상기 이동링의 타단면이 당접하도록 구성되어 이루어진 것을 특징으로 한다.In 3rd invention (invention of Claim 3), in the said 2nd invention, all the said moving rings are shape | molded by the same length, and the other end side of the said moving ring is each formed in the central axis of the shaft part which comprises the said diaphragm Characterized in that the other end surface of the moving ring is configured to abut on the contact surface.

이 제 3의 발명에 따르면, 이동링은 모두 길이가 동일하게 되어 있으므로, 제조상 간단하며, 또 크기가 다른 경우에도 복수의 이동링의 어느 한가지를 이용할 수가 있다.According to this third invention, since the moving rings are all the same in length, they are simple in manufacturing and any one of the plurality of moving rings can be used even when the sizes are different.

이하, 본 발명의 일실시 형태에 따른 밸브 장치에 대하여, 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고, 이 실시 형태는 본 발명을 수동조작에 의해 개폐하는 밸브 장치에 적용한 것이다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the valve apparatus which concerns on one Embodiment of this invention is demonstrated in detail with reference to an accompanying drawing. This embodiment applies the present invention to a valve device that opens and closes by manual operation.

이 실시형태에 따른 밸브 장치(1)는, 모두 도 1에 나타낸 바와 같이 일측 및 타측의 관로(2)(3)가 형성된 몸통(4)과, 이 몸통(4)에 고정되어 있는 케이스(5)와 이 케이스(5)의 중심에 회동 가능하게 마련되어 있는 이동축(6)과, 이 이동축(6)의 일단(도 1중 하단)에 고정된 다이어프램(7)을 갖추고 있다.As shown in FIG. 1, the valve device 1 according to the present embodiment has a body 4 in which one side and the other conduit 2 and 3 are formed, and a case 5 fixed to the body 4. ) And a moving shaft 6 rotatably provided at the center of the case 5, and a diaphragm 7 fixed to one end (lower part in FIG. 1) of the moving shaft 6.

상기 몸체(4)에 형성된 일측의 관로(2)는, 선단에 도시하지 않은 일측의 도관의 단부가 삽입 고정되는 도관 삽입부(2a)가 형성되며, 상기 타측의 관로(3)는 상기 일측의 관로(2)의 길이방향으로, 중간에 칸막이부(4a)를 통하여 형성되며, 선단에는, 도시하지 않은 타측의 도관 단부가 삽입 고정되는 도관 삽입부(3a)가 형성되어 있다. 또, 이 몸통(4)의 타측(도 1중 일측 및 타측의 도관(2)(3)의 상측)에는 유체 유입실(10)이 내부에 형성된 관부(11)가 마련되며, 이 유체 유입실(10)과 상기 일측의 관로(2)는 후술하는 다이어프램(7)을 구성하는 축부에 의해 개폐되는 개구(12)에 의해 연통되어 있다. 또, 이 유체 유입실(10)은, 상기 타측의 관로(3)에도 연통되어 있다. 또, 이 관부(11)의 상단측 내주에는 하단측보다 큰 구경으로 이루어진 일측의 대구경 오목부(11a)(도 2 참조)가 형성되며, 이 일측의 대구경 오목부(11a)의 내주면에는 나사(부호는 생략)가 형성되어 있다.The conduit 2 of one side formed in the body 4 is formed with a conduit inserting portion 2a into which an end of the conduit of one side, not shown, is fixed at the tip, and the other conduit 3 of the conduit 3 In the longitudinal direction of the conduit 2, a conduit inserting portion 3a is formed in the middle via a partition portion 4a, and a conduit inserting portion 3a into which the other end of the conduit not shown is inserted is fixed. In addition, a pipe part 11 having a fluid inflow chamber 10 formed therein is provided at the other side of the body 4 (upper side of the conduits 2 and 3 on one side and the other side in FIG. 1). 10 and the said one side pipe | line 2 are connected by the opening 12 which opens and closes by the shaft part which comprises the diaphragm 7 mentioned later. The fluid inflow chamber 10 also communicates with the other conduit 3. Moreover, the one side large diameter recessed part 11a (refer FIG. 2) which consists of larger diameter than the lower end side is formed in the inner peripheral side of the upper end side of this pipe part 11, and the screw (on the inner peripheral surface of the large diameter recessed part 11a of this one side) is formed. Reference numerals are omitted).

또, 상기 케이스(5)는 중심에 이동축(6)의 상단측 중도부가 삽통되는 삽통공(5a)과 이 삽통공(5a)과 동축이면서 약간 큰 구경으로 이루어짐과 동시에, 내주에는 일측의 나사(5b)가 형성된 나사공(부호는 생략)이 형성되어 있다. 또한 이 케이스(5)의 밑면에는 상기 관부(11)에 형성된 일측의 대구경 오목부(11a)와 동일한 구경으로 이루어진 타측의 대구경 오목부(5c)(도 2 참조)가 형성되어 있다. 또한, 이 케이스(5)의 상단측 외주에는 도 1에 나타낸 바와 같이 잠금너트(13)가 고정되어 있다. 그리고, 상기 케이스(5)에는 하측으로부터 상단측이 삽입되어 상기 일측의 나사(5b)에 나합하는 이동축(6)이 회동 가능하게 마련되어 있다. 이 이동축(6)은 상기 케이스(5)에 형성된 삽통공(5a)에 하측으로부터 삽통되며, 상측으로 돌출된 소구경부(6a)와, 이 소구경부(6a)의 하측에 형성된 대구경부(6b)를 갖추고 있다. 그리고, 상기 소구경부(6a)의 상단에는 이 이동축(6)을 회동 조작하기 위하여 작업자에 의해 파지되는 동작핸들(14)이 고정되어 있다. 또, 상기 대구경(6b)의 외주에는 상기 케이스(5)에 형성된 일측의 나사(5b)에 나합하는 타측의 나사(6c)가 형성되어 있다. 또, 이 이동축(6)의 하단측은 상기 관로(11)에 형성된 상기 유체 유입실(10)내에 있으며, 그 이동축(6)의 하단면 중심에는 오목부(6d)가 형성되고, 이 이동축(6)의 외주에는 도 2에 나타낸 바와 같이 소구경부(6e)가 형성되어 있다.In addition, the case (5) consists of an insertion hole (5a) through which the upper middle side portion of the moving shaft (6) is inserted into the center, and has a slightly larger diameter while being coaxial with the insertion hole (5a). The threaded hole (reference is abbreviate | omitted) in which 5b was formed is formed. In addition, the bottom surface of this case 5 is formed with the large-diameter concave portion 5c (see FIG. 2) on the other side, which has the same diameter as the large-diameter concave portion 11a on one side formed in the pipe portion 11. In addition, the lock nut 13 is fixed to the outer periphery of this case 5 as shown in FIG. The case 5 is provided with a movable shaft 6 rotatably inserted into the upper end side from the lower side and screwed to the screw 5b on the one side. This moving shaft 6 is inserted from the lower side into the insertion hole 5a formed in the case 5, and has a small diameter portion 6a protruding upward, and a large diameter portion 6b formed below the small diameter portion 6a. Equipped) And, on the upper end of the small diameter portion (6a), the operation handle 14 is held by the operator to rotate the moving shaft (6) is fixed. In addition, on the outer circumference of the large diameter 6b, the screw 6c on the other side, which is screwed to the screw 5b on one side of the case 5, is formed. Moreover, the lower end side of this moving shaft 6 is in the said fluid inflow chamber 10 formed in the said pipe line 11, The recessed part 6d is formed in the center of the lower end surface of the moving shaft 6, and this movement On the outer circumference of the shaft 6, a small diameter portion 6e is formed as shown in FIG.

그리고, 상기 이동축(6)의 하단에는 도 1에 나타낸 바와 같이 본 발명을 구성하는 다이어프램(7)이 고정되어 있다. 이 다이어프램(7)은 하단면에서 상기 개구(12)를 개폐하는 축부(7a)와, 이 축부(7a)의 중심부에서 방사상으로 퍼져 이루어진 원반부(7b)와, 이 원반부(7b)의 외주에 형성된 링형태의 후육부(7a)를 갖추고 있다. 그리고, 상기 축부(7a)의 상단에는 상기 오목부(6d)에 삽입되며 그 축부(7a)보다 구경이 작은 볼록부(7d)가 형성되어 있다. 또, 상기 원반부(7b)는 기단이 상기 이동축(6)에 형성된 소구경부(6e)의 하단 주변에 위치되어 이루어짐과 동시에, 외측에 걸쳐 서서히 구경이 커지는 파형(물결무늬모양)으로 형성되어 있으며, 상기 유체 유입실(10)을 상하(유체가 유입되는 공간과 유입되지 않는 공간)로 구분하고 있다.And the diaphragm 7 which comprises this invention is being fixed to the lower end of the said moving shaft 6 as shown in FIG. The diaphragm 7 has a shaft portion 7a for opening and closing the opening 12 at its lower end surface, a disk portion 7b radially spread from the center of the shaft portion 7a, and an outer periphery of the disk portion 7b. The thick portion 7a in the form of a ring is formed. At the upper end of the shaft portion 7a, a convex portion 7d is inserted into the recessed portion 6d and smaller in diameter than the shaft portion 7a. In addition, the disk portion 7b is formed in a wave shape (wave pattern) in which the proximal end is positioned around the lower end of the small diameter portion 6e formed on the moving shaft 6 and gradually increases in diameter over the outside. The fluid inlet chamber 10 is divided into upper and lower sides (a space into which a fluid flows and a space that does not flow).

또, 이 실시형태에 따른 밸브 장치(1)에서는, 내부에 협지링(16)이 내장되어 있다. 이 협지링(16)은, 상단측이 상기 케이스(5)에 형성된 타측의 대구경 오목부(5c)에 끼워지고, 그 외는 상기 몸체(5)의 관부(11)에 형성된 일측의 대구경 오목부(11a)에 나합되어 있으며, 하단면은 상기 다이어프램(7)을 구성하는 후육부(7c)를 타측의 대구경 오목부(5c)의 저면 사이에 협지하고 있다. 또, 상기 협지링(16)의 상단측 내주에는 윗면이 상기 케이스(5)의 밑면에 당접 또는 고정되어 있고, 밑면에는 후술하는 이동링을 구성하는 내측 이동링(19)의 상단면이 당접하는 제 1의 당접면(17a)과, 후술하는 중간 이동링(21)의 상단면이 당접하는 제 2의 당접면(17b)과, 후술하는 외측이동링(20)의 상단면이 당접하는 제 3의 당접면(17c)이 형성된 이동링 당접부재(17)가 마련되어 있다. 또, 상기 제 1의 당접면(17a)은 상기 제 2의 당접면(17b)보다 도면의 상측에 형성되며, 제 3의 당접면(17c)은 그 제 2의 당접면(17b)보다 도면의 하측에 형성되어 있다. 즉, 상기 이동링 당접부재(16)의 밑면에는 상기 제 1 내지 제 3의 당접면(17a‥‥17c)이 계단 형태로 형성되어 있다.Moreover, in the valve apparatus 1 which concerns on this embodiment, the clamping ring 16 is built in the inside. The gripping ring 16 is fitted with the large-diameter concave portion 5c of the other side formed at the upper end side of the casing 5, and the other large-diameter concave portion formed at the tube portion 11 of the body 5. 11a), the lower end surface sandwiches the thick portion 7c constituting the diaphragm 7 between the bottom face of the large-diameter recessed portion 5c on the other side. In addition, an upper surface of the gripping ring 16 is in contact with or fixed to the bottom of the case 5, and an upper surface of the gripping ring 16 abuts the upper surface of the inner moving ring 19 constituting a moving ring to be described later. A third contacting surface of the first contact surface 17a, the second contact surface 17b contacted by the upper end surface of the intermediate movable ring 21 to be described later, and the upper end surface of the outer movable ring 20 to be described later; The movable ring abutting member 17 on which abutting surface 17c is formed is provided. In addition, the first contact surface 17a is formed above the second contact surface 17b in the drawing, and the third contact surface 17c is larger than the second contact surface 17b in the drawing. It is formed on the lower side. That is, the first to third contact surfaces 17a ... 17c are formed in a stepped shape on the bottom surface of the movable ring contact member 16.

또, 상기 다이어프램을 구성하는 원반부(7b)의 상측에는 본 발명을 구성하는 변형규제부재(부호는 생략)가 마련되어 있다. 이 변형규제부재는 모두 동일한 길이로 되어 있으며, 상기 이동축(6)에 형성된 소구경부(6e)에 고정되어 링형태로 성형된 고정링(18)과, 이 고정링(18)의 외측에 마련된 이동링(부호는 생략)으로 구성되며, 이 이동링은 가장 내측에 마련된 내측이동링(19)과, 가장 외측에 마련된 외측이동링(20)과, 상기 내측이동링(19)과 외측이동링(20)간에 마련된 중간이동링(21)으로 구성되어 있다. 그리고, 도 3에 나타낸 바와 같이 상기 고정링(18)의 상단측 외주에는 약간 구경이 큰 대구경링부(18a)가 형성되고, 이 대구경링부(18a)의 밑면은 제 1의 계합부(18b)로 이루어져 있다. 또, 상기 내측 이동링(19)의 상단측 내주에는 상기 고정링(18)에 형성된 대구경링부(18a)의 외경에 대응한 내경을 갖는 링형 오목부(19a)가 형성되며, 이 링형 오목부(19a)는, 상기 제 1의 계합부(18b)에 계합하는 제 2의 계합부(19b)를 갖고 있다. 또, 이 내측 이동링(19)의 상단측 외주에는 그 내측 이동링(19)의 하단측보다 약간 크게 이루어진 대구경링부(19c)가 형성되며, 이 대구경링부(19c)의 밑면은 제 3의 계합부(19d)로 이루어져 있다. 또, 이 내측 이동링(19)의 외측에 마련된 상기 중간 이동링(21)은 상기 내측 이동링(19)과 동일한 형상으로 형성되고, 상단측 내주에는 상기 내측 이동링(19)에 형성된 대구경링부(19)의 외경에 대응한 내경을 갖는 링형오목부(21a)가 형성되며, 이 링형 오목부(21a)는 상기 제 3의 계합부(19d)에 계합하는 제 4의 계합부(21b)를 갖고 있다. 또, 이 중간 이동링(21)의 상단측 외주에는 그 중간 이동링(21)의 하단측보다 약간 구경이 커진 대구경링부(21c)가 형성되며, 이 대구경링부(21c)의 밑면은 제 5의 계합부(21d)로 이루어져 있다. 또, 상기 중간 이동링(21)의 외측에는 상기 외측 이동링(20)이 마련되고, 이 외측 이동링(21)의 상단측 내주에는 상기 중간 이동링(21)에 형성된 대구경링부(21c)의 외경에 대응한 내경을 갖는 링형오목부(20a)가 형성되며, 이 링형오목부(20a)는 상기 제 5의 계합부(21d)에 계합하는 제 6의 계합부(내측계합부)(20b)를 갖고 있다. 또한, 상기 내측 이동링(19)에 형성된 제 2의 계합부(19b)와, 중간 이동링(21)에 형성된 제 4의 계합부(21b)와, 외측이동링(20)에 형성된 제 6의 계합부(20b)는 각각 본 발명을 구성하는 내측 계합부이며, 상기 내측 이동링(19)에 형성된 제 3의 계합부(19d)와, 중간이동링(21)에 형성된 제 5의 계합부(21d)는 각각 본 발명을 구성하는 외측 계합부이다.Moreover, the deformation | regulation restricting member (illustration is abbreviate | omitted) which comprises this invention is provided in the upper side of the disk part 7b which comprises the said diaphragm. All of the deformation restricting members have the same length, and are fixed to the small-diameter portion 6e formed on the moving shaft 6 and formed in a ring shape, and provided on the outside of the fixing ring 18. It is composed of a moving ring (not shown), the moving ring is an inner movable ring 19 provided at the innermost, the outer movable ring 20 provided at the outermost, the inner movable ring 19 and the outer movable ring It is comprised by the intermediate movable ring 21 provided between 20. As shown in FIG. 3, a slightly larger diameter ring portion 18a is formed on the outer periphery of the upper end side of the fixing ring 18, and the bottom surface of the large diameter ring portion 18a is the first engagement portion 18b. consist of. Further, a ring-shaped recess 19a having an inner diameter corresponding to the outer diameter of the large-diameter ring portion 18a formed in the fixing ring 18 is formed on the inner circumference of the upper end side of the inner movable ring 19. 19a has a 2nd engagement part 19b which engages with the said 1st engagement part 18b. In addition, on the outer circumference of the upper end side of the inner moving ring 19, a large diameter ring portion 19c is formed which is slightly larger than the lower end side of the inner moving ring 19, and the bottom surface of the large diameter ring portion 19c is formed of a third system. It consists of a matching part 19d. In addition, the intermediate moving ring 21 provided on the outer side of the inner moving ring 19 is formed in the same shape as the inner moving ring 19, the large-diameter ring portion formed in the inner moving ring 19 on the upper side inner circumference A ring-shaped recess 21a having an inner diameter corresponding to the outer diameter of 19 is formed, and the ring-shaped recess 21a connects the fourth engagement portion 21b that engages with the third engagement portion 19d. Have In addition, a large-diameter ring portion 21c is formed on the outer periphery of the upper end side of the intermediate moving ring 21 and slightly larger in diameter than the lower end side of the intermediate moving ring 21. It consists of the engaging part 21d. In addition, the outer movement ring 20 is provided on the outer side of the intermediate movement ring 21, the upper end of the outer movement ring 21 of the large diameter ring portion 21c formed in the intermediate movement ring 21 A ring-shaped recessed portion 20a having an inner diameter corresponding to the outer diameter is formed, and the ring-shaped recessed portion 20a is the sixth engaging portion (inner-engaging portion) 20b that engages with the fifth engaging portion 21d. Have In addition, the second engaging portion 19b formed on the inner movable ring 19, the fourth engaging portion 21b formed on the intermediate movable ring 21, and the sixth formed on the outer movable ring 20 The engagement portion 20b is an inner engagement portion constituting the present invention, respectively, the third engagement portion 19d formed on the inner movement ring 19 and the fifth engagement portion formed on the intermediate movement ring 21 ( 21d) are outer engaging portions constituting the present invention, respectively.

따라서, 상술한 구성에 따른 밸브장치(1)에 의하면, 다이어프램(7)을 구성하는 축부(7a)가 상승하여 상기 개구(12)가 개방되어 있는 상태에서 작업자가 상기 조작 핸들(14)을 시계 방향으로 회전 조작하면 상기 이동축(6)도 회전하면서 서서히 하강한다. 이러한 이동축(6)의 하강에 의해 다이어프램(7)을 구성하는 축부(7a)도 하강하여 결국에는 그 축부(7a)에 의해 상기 개구(12)가 폐쇄된다. 그리고, 이와 같이 축부(7a)가 하강하면 이 축부(7a)에 고정된 상기 고정링(18b)은, 상기 내측 이동링(19)의 내주에 형성된 제 2의 계합부(19b)에 계합되어 이 내측 이동링(19)도 하강되어진다. 또, 이러한 내측 이동링(19d)의 하강에 따라, 그 내측 이동링(19)에 형성된 상기 제 3의 계합부(19d)와 상기 중간 이동링(21)에 형성된 제 4의 계합부(21b)가 계합되어 이 중간 이동링(21)도 하강되어진다. 또한, 이 중간이동링(21)의 하강에 따라, 그 중간 이동링(21)에 형성된 제 5의 계합부(21d)와 상기 외측 이동링(20)도 하강되어져, 최종적으로는 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이 상기 고정링(18) 및 모든 이동링이 하강하여 파형으로 형성된 상기 원반부(7b)의 상면 주변에 위치된다, 따라서, 이러한 다이어프램(7)에 의해 상기 개구(12)가 폐쇄된 경우에 있어서, 일명 햄머 현상이 생겨 배압이 원반부(7b)에 작용한 경우에도 그 원반부(7b)의 상면 주변에는 상기 고정링(18) 및 이동링의 하단이 위치되어 있으므로 그 배압에 의해 변형되는 일이 없다.Therefore, according to the valve device 1 according to the above-described configuration, the operator watches the operation handle 14 while the shaft portion 7a constituting the diaphragm 7 is raised and the opening 12 is opened. When rotating in the direction, the moving shaft 6 also rotates and gradually descends. The lowering of the movable shaft 6 also lowers the shaft portion 7a constituting the diaphragm 7, and eventually the opening 12 is closed by the shaft portion 7a. When the shaft portion 7a is lowered in this manner, the fixing ring 18b fixed to the shaft portion 7a is engaged with the second engagement portion 19b formed on the inner circumference of the inner moving ring 19 so that The inner movable ring 19 is also lowered. In addition, as the inner movement ring 19d descends, the third engagement portion 19d formed in the inner movement ring 19 and the fourth engagement portion 21b formed in the intermediate movement ring 21. Is engaged, and this intermediate movable ring 21 is also lowered. In addition, as the intermediate movable ring 21 descends, the fifth engaging portion 21d and the outer movable ring 20 formed in the intermediate movable ring 21 are also lowered, and finally, FIGS. 1 and FIG. As shown in Fig. 2, the retaining ring 18 and all the moving rings are positioned around the upper surface of the disc portion 7b, which is formed in a wave form, so that the opening 12 is closed by this diaphragm 7. In this case, a so-called hammer phenomenon occurs and even when the back pressure acts on the disc portion 7b, the lower end of the fixing ring 18 and the moving ring is located around the upper surface of the disc portion 7b. No deformation by

또, 이와 같이 다이어프램(7)에 의해 개구(12)가 폐쇄되어 있는 상태에서 작업자에 의해 상기 작업핸들(14)이 반시계 방향으로 회전되어지면, 상기 이동축(6)은 회전되면서 상승하고, 이에 따른 다이어프램(7)을 구성하는 축부(7a)도 상승되어진다. 이러한 축부(7a)의 상승에 의해 상기 고정링(18)도 상승한다, 또, 상기 축부(7a)의 상승에 의해 상기 원반부(7b)의 중심축도 상승한다. 그 결과, 이 원반부(7b)의 상면에 의해 상기 내측 이동링(19), 중간 이동링(21) 및 외측 이동링(20)도 상승되어 결국, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이 그 내측 이동링(19)의 상단면은 상기 이동링 당접부재(16)의 밑면에 형성된 제 1의 당접면(17a)에 당접하고, 중간이동링(21)의 상단면은 상기 제 2의 당접면(17b)에 당접하고, 외측이동링(20)의 상단면은 상기 제 3의 당접면(17b)에 당접하며, 그 고정링(18), 내측이동링(19), 중간이동링(21) 및 외측이동링(20)은 그 이상 상승되지 않는다. 따라서, 이 실시형태에 따른 밸브 장치(1)에서는 상기 다이어프램(7)을 구성하는 축부(7a)의 상승에 의한 개구(12)의 개방시에, 상기 원반부(7b)에 압력이 작용했을 경우에도 그 원반부(7b)가 변형되지 않는다.In addition, when the work handle 14 is rotated counterclockwise by the operator in the state in which the opening 12 is closed by the diaphragm 7, the movable shaft 6 is raised while being rotated, Accordingly, the shaft portion 7a constituting the diaphragm 7 is also raised. The fixed ring 18 also rises due to the rise of the shaft portion 7a, and the central axis of the disc portion 7b also rises due to the rise of the shaft portion 7a. As a result, the inner movement ring 19, the intermediate movement ring 21 and the outer movement ring 20 are also raised by the upper surface of the disc portion 7b, and as a result, the inner side as shown in Figs. The upper surface of the movable ring 19 abuts on the first contact surface 17a formed on the bottom surface of the movable ring contact member 16, and the upper surface of the intermediate movable ring 21 is the second contact surface ( 17b), the upper end surface of the outer movable ring 20 abuts the third abutting surface 17b, the fixed ring 18, the inner movable ring 19, the intermediate movable ring 21 and The outer movable ring 20 does not rise any more. Therefore, in the valve apparatus 1 which concerns on this embodiment, when a pressure acts on the said disk part 7b at the time of opening of the opening 12 by the raise of the axial part 7a which comprises the said diaphragm 7, The disc 7b is not deformed.

따라서, 상술한 실시형태에 따른 밸브 장치(1)에 의하면, 얇으면서 파형으로 성형된 원반부(7b)를 갖춘 다이어프램(7)에 의한 개구(12)의 개폐동작시에 그 원반부(7b)의 일부에만 반복 부하가 걸리는 것을 방지하게 되며, 그 원반부(7b)에 균열이나 파단이 발생하는 것을 효과적으로 막을 수 있게 되어 내구성을 크게 향상시킬 수 있을 뿐 아니라, 그 원반부(7b)에 큰 압력이 작용했을 경우에도 변형되는 것을 효과적으로 방지할 수 있게 된다.Therefore, according to the valve apparatus 1 which concerns on the above-mentioned embodiment, the disk part 7b at the time of opening / closing operation | movement of the opening 12 by the diaphragm 7 with the disk part 7b shape | molded in thin and wavy shape. It is possible to prevent the repetitive load from being applied to only a part of the, and to effectively prevent cracks or fractures from occurring in the disc portion 7b, which not only greatly improves durability, but also a large pressure on the disc portion 7b. In this case, the deformation can be effectively prevented.

특히, 상기 실시형태에 따른 밸브 장치(1)에서는, 본 발명을 구성하는 이동링인 내측 이동링(19), 중간 이동링(21) 및 외측 이동링의 타단측(상측)에 다이어프램(7)을 구성하는 축부(7a)의 중심측으로부터 외측에 걸쳐 차례로 개구(12)측에 다가가는 제 1 내지 제 3의 당접면(17a)‥‥(17c)이 계단 형태로 형성되고, 이 제 1 내지 제 3의 당접면(17a)‥‥(17c)들에 상기 내측 이동링(19), 중간 이동링(21) 및 외측 이동링의 타단면(윗면)이 당접하도록 구성되어 있기 때문에 모든 이동링을 동일한 길이로 성형할 수 있어, 크기가 다른 밸브 장치를 제조하는 경우에는 이 이동링들 중 어느 한 가지를 이용할 수 있어 제조비용을 낮출 수 있게 된다.In particular, in the valve apparatus 1 which concerns on the said embodiment, the diaphragm 7 is provided in the other end side (upper side) of the inner movement ring 19, the intermediate | middle movement ring 21, and the outer movement ring which are the moving rings which comprise this invention. 1st to 3rd contact surfaces 17a ... 17c which approach the opening 12 side one by one from the center side of the shaft part 7a which comprise the outer side to the outer side are formed in step shape, Since the inner side movement ring 19, the intermediate | middle movement ring 21, and the other end surface (upper surface) of the outer side movement ring are made to contact the 3rd contact surface 17a. Since the same length can be molded, any one of these moving rings can be used when manufacturing valve devices of different sizes, thereby lowering the manufacturing cost.

또한, 상술한 실시형태에 따른 밸브 장치(1)에서는, 본 발명을 수동 조작에 의해 개폐되는 밸브장치에 적용한 것이나, 본 발명은 반드시 수동 조작에 의한 것 뿐 만 아니라, 공기에 의해 상기 이동축을 승강시켜 다이어프램(7)을 동작시키는 것이어도 좋다.Moreover, in the valve apparatus 1 which concerns on above-mentioned embodiment, although this invention was applied to the valve apparatus which opens and closes by manual operation, this invention is not only by manual operation but also raises and lowers the said moving shaft by air. The diaphragm 7 may be operated.

또, 상기 실시형태에 따른 밸브 장치(1)에서는 본 발명을 구성하는 중간 이동링을 내측 이동링과 외측 이동링 사이에 1개만 마련하였으나, 이 중간 이동링은 1개뿐 아니라 여러 개 마련해도 된다In the valve device 1 according to the above embodiment, only one intermediate moving ring constituting the present invention is provided between the inner moving ring and the outer moving ring, but not only one of the intermediate moving rings may be provided.

전술한 본 발명의 일실시형태의 설명에서도 알 수 있듯이, 본 발명에 의하면 원반부는 다이어프램의 중심측으로부터 외주방향에 걸쳐 파형으로 성형되어 이루어져 있으므로, 그 다이어프램이 개폐동작을 반복해도 그 원반부의 일부에만 부하가 걸리는 일이 없어, 열화되어 균열 또는 파단될 우려를 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 개구의 폐쇄에 따른 이 원반부에 높은 압력이 작용했을 경우에도 원반부는 변형규제부에 의해 변형이 규제되므로 장기간에 걸쳐 당초의 형상(파형)을 유지할 수가 있다. 또, 본 발명에 의하면 원반부의 두께를 더 얇게 하여 종래의 휨량보다 큰 것으로 할 수도 있다. As can be seen from the description of one embodiment of the present invention described above, according to the present invention, the disk portion is formed into a waveform from the center side of the diaphragm to the outer circumferential direction, so that even if the diaphragm repeats the opening and closing operation, The load is not applied and the risk of deterioration due to cracking or breaking can be prevented, and even when a high pressure is applied to the disk due to the closing of the opening, the disk is restricted by the deformation restricting member. The original shape (waveform) can be maintained over. Moreover, according to this invention, it can also make thickness of a disk part thinner, and to make it larger than the conventional curvature amount.

도 1은, 본 발명의 실시형태에 따른 밸브장치로, 다이어프램에 의해 개구가 폐쇄된 상태를 나타낸 단면도.1 is a cross-sectional view showing a valve device according to an embodiment of the present invention in which an opening is closed by a diaphragm.

도 2는, 도 1의 밸브장치를 구성하는 다이어프램 주변의 구성을 확대하여 나타낸 단면도.FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view showing a configuration around a diaphragm constituting the valve device of FIG. 1. FIG.

도 3은, 고정링, 내측이동링, 중간이동링, 외측이동링의 상태를 파단하여 나타낸 분해사시도.Figure 3 is an exploded perspective view showing the broken state of the fixed ring, the inner movable ring, the intermediate movable ring, the outer movable ring.

도 4는, 도 1에 나타낸 상태로부터 다이어프램에 의해 개구가 폐쇄된 상태를 나타낸 단면도.4 is a cross-sectional view showing a state in which an opening is closed by a diaphragm from the state shown in FIG.

도 5는, 도 4의 밸브 장치를 구성하는 다이어프램 주변의 구성을 확대한 단면도.FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of a configuration around a diaphragm constituting the valve device of FIG. 4. FIG.

도 6은, 종래의 밸브 장치를 나타낸 단면도.6 is a cross-sectional view showing a conventional valve device.

도 7은, 다이어프램을 구성하는 원반부의 변형된 상태를 나타낸 단면도. Fig. 7 is a cross-sectional view showing a modified state of the disk portion constituting the diaphragm.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

1 : 밸브 장치 2 : 일측 관로1: Valve device 2: One side pipeline

3 : 타측 관로 7 : 다이어프램3: other side pipeline 7: diaphragm

7a : 축부 7b : 원반부7a: shaft portion 7b: disk portion

10 : 유체 유입실 12 : 개구10: fluid inlet chamber 12: opening

17a : 제1당접면 17b : 제2당접면17a: first contact surface 17b: second contact surface

17c : 제3당접면 18 : 고정링부17c: third contact surface 18: retaining ring

18b : 제1계합부 19 : 내측 이동링18b: first engaging portion 19: inner moving ring

19b : 제2계합부 19d : 제3계합부19b: second engagement portion 19d: third engagement portion

20 : 외측 이동링 20b : 제6계합부20: outer transfer ring 20b: sixth engagement portion

21 : 중간 이동링 21b: 제4계합부21: intermediate transfer ring 21b: fourth engagement portion

21d: 제5계합부21d: fifth engagement

Claims

The fluid inflow chamber formed by communicating with one of the pipelines through an opening and being in communication with the other pipeline, radially spreading from the shaft portion closing the opening and the central portion of the shaft, has an outer circumference of the fluid inflow chamber. And a diaphragm having a disk portion which is fixed to a wall of the disk and formed at the same time as the fluid inlet chamber, and at the same time, the disk portion is formed in a wave shape from the center side of the shaft portion to the outer circumferential direction.

And a contacting or deformation restricting member is provided in the disc at the time of closing and opening of the opening by the shaft in a space separated by the disc and in which no fluid is introduced.

According to claim 1, wherein the deformation restricting member is fixed to the outer periphery of the shaft portion constituting the diaphragm formed of a ring-shaped, and a plurality of movable ring provided on the outside of the fixed ring,

An engagement portion is formed on the outer circumference of the fixing ring, and the movable ring is composed of an inner movable ring provided at the innermost side, an outer movable ring provided at the outermost side, and a single or a plurality of intermediate movable rings provided between the inner movable ring and the outer movable ring. under,

The inner moving ring is formed with an inner engaging portion and an outer engaging portion engaged with the engaging portion formed on the outer circumference of the fixed ring,

The intermediate movement ring is formed with an inner engagement portion and an outer engagement portion engaged with an outer engagement portion formed in the inner movement ring or another intermediate movement ring,

The outer movement ring is formed with an inner engagement portion engaged with the outer engagement portion formed in the intermediate movement ring,

And one end of all the movable rings is brought into contact with or close to the disc by the movement of the fixing ring according to the movement of the shaft portion in the direction of closing the opening.

The step of claim 2, wherein the movable rings are all formed to have the same length, and at the other end of the movable rings, a stepped contact surface which sequentially approaches the opening side from the center side of the shaft portion constituting the diaphragm to the outside is formed. And the other end surface of the movable ring is in contact with each of the abutting surfaces.