KR20050050389A - Method for preparing adsorbents for removing acid gases and method for removing acid gases with the adsorbent prepared by the same - Google Patents

Method for preparing adsorbents for removing acid gases and method for removing acid gases with the adsorbent prepared by the same Download PDF

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Abstract

본 발명은 산성기체 제거용 흡착제의 제조방법 및 산성기체의 제거방법에 관한 것으로, 구체적으로 산화아연을 준비하는 단계, 금속전구체를 산화아연에 담지하는 단계, 이후 수열 조건하에서 열처리하여 층상이중수산화물을 함유한 형태의 흡착제를 제조하는 단계 및 상기 흡착제를 고온 소성하여 복합산화물을 함유한 형태의 흡착제를 제조하는 단계를 포함하는 것으로 이루어진 흡착제 제조방법 및 산성기체의 제거 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for preparing an acid gas removal adsorbent and a method for removing an acid gas, specifically preparing a zinc oxide, supporting a metal precursor in zinc oxide, and then heat treating the layered double hydroxide under hydrothermal conditions. The present invention relates to a method for preparing an adsorbent and a method for removing an acidic gas, comprising the steps of preparing an adsorbent in a containing form and preparing an adsorbent in a form containing a complex oxide by calcining the adsorbent at high temperature.

본 발명에 따른 산성기체 흡착제의 제조방법에 의해 제조된 흡착제는 층상이중수산화물 또는 복합산화물 형태를 포함하여 종래 산화아연에 의해 제조된 흡착제에 비해 향상된 흡착 속도 및 흡착 용량을 나타내어 석유화학 공정 등에 부생하는 산성기체 및 반도체 공정의 폐기체에 포함된 산성기체 화합물 등의 제거에 효과적으로 사용할 수 있다.The adsorbent prepared by the method for preparing an acidic gas adsorbent according to the present invention exhibits an improved adsorption rate and adsorption capacity compared to an adsorbent prepared by zinc oxide, including a layered double hydroxide or complex oxide form, resulting in petrochemical processes. It can be effectively used for the removal of acidic gas compounds and the like contained in the waste gas of the acidic gas and the semiconductor process.

Description

산성기체 제거용 흡착제의 제조방법 및 산성기체의 제거방법{METHOD FOR PREPARING ADSORBENTS FOR REMOVING ACID GASES AND METHOD FOR REMOVING ACID GASES WITH THE ADSORBENT PREPARED BY THE SAME} METHODS FOR PREPARING ADSORBENTS FOR REMOVING ACID GASES AND METHOD FOR REMOVING ACID GASES WITH THE ADSORBENT PREPARED BY THE SAME}

본 발명은 산성기체 제거용 흡착제의 제조방법 및 상기 제조방법에 의해 제조된 흡착제를 이용한 산성기체의 제거방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for preparing an acid gas removal adsorbent and a method for removing acid gas using the adsorbent prepared by the method.

산성기체는 염화수소, 황화수소, 염소, 이산화황 등의 황산화물(SOx), 일산화질소 등의 질소산화물(NOx) 등을 총칭하는 것으로, 공기 중에 누출시 인체에 극히 유해함은 물론 환경에 악영향을 주고 부식을 유발하는 등 반드시 제거 되어야 할 물질이다. 이러한 산성기체는 석유화학 유분에 포함되어 있으며, 석유화학 공장에서 배출되며, 또한 에칭 공정 등의 반도체 제조 공정에서 배출되는데, 그 사용량 및 배출량이 날로 늘어나 이를 제거하는 기술은 매우 중요하다.Acid gas is a generic term for sulfur oxides (SO x ) such as hydrogen chloride, hydrogen sulfide, chlorine, sulfur dioxide, and nitrogen oxides (NO x ) such as nitrogen monoxide. It is a substance that must be removed, such as causing corrosion. These acid gases are contained in petrochemical fractions, are discharged from petrochemical plants, and are also discharged from semiconductor manufacturing processes such as etching processes.

종래의 산성기체를 제거하기 위한 방법으로 습식 방법과 건식 방법으로 나누어서 고려할 수 있다.As a method for removing a conventional acid gas can be considered divided into a wet method and a dry method.

먼저, 습식 방법으로는, 가성소다 용액을 이용한 스크러버(Scrubber) 방식이 있으며, 또한 아민류 및 수산화물 같은 염기용액에 산성기체 성분을 함유한 물질을 통과시켜 중화제거하는 방법이 있다(국내특허출원 제2001-0053250, 미국특허 제4,234,388호). 그러나, 상기 습식 방법은 다량의 폐수를 방출하게 되므로, 이 폐수의 후처리가 어렵고 이에 필요한 장치가 복잡하며 대규모화될 뿐만 아니라 이들 장치 및 이들의 관리에 소요되는 비용이 크다는 문제점이 있다. 또한, 상기 폐수를 배출하는 배관에 누수의 위험성이 상존하는 등의 관리상의 문제점이 있어 왔다.First, as a wet method, there is a scrubber method using a caustic soda solution, and there is also a method of neutralizing and removing a material containing an acidic gas component through a base solution such as amines and hydroxides (Domestic Application No. 2001). -0053250, US Pat. No. 4,234,388). However, since the wet method releases a large amount of wastewater, it is difficult to post-treat the wastewater, and the apparatus required for this is complicated and large-scaled, and there is a problem that these apparatuses and their management are expensive. In addition, there have been management problems such as the risk of leakage in the pipe for discharging the waste water.

이에 따라 폐수가 발생되지 않는 건식 방법이 선호되고 있으며, 이러한 건식 방법은 흡착제를 충진한 충진탑에 상기 유해가스를 통과시켜 정화하는 방법으로 상기 산성기체를 함유한 유해성분의 종류에 따라 상기 흡착제의 성분을 달리하게 된다.Accordingly, a dry method in which no waste water is generated is preferred, and the dry method is a method of purifying the harmful gas by passing the harmful gas through a packed column packed with an adsorbent, depending on the type of harmful component containing the acidic gas. The ingredients will be different.

이러한 흡착제로는 산화아연(미국특허 제6,432,374호), 산화아연/산화칼슘(미국특허 제3,935,295호), 산화아연/산화알루미늄/알칼리 화합물(국내특허 제0126123호) 알칼리 금속이 들어간 알루미나(미국특허 제6,413,434호, 제6,200,544호, 제6,060,033호, 제5,595,954호, 제5,505,926호, 제4,762,537호), 산화세륨(미국특허 제4,999,174호), 산화란타늄(미국특허 제4,561,969호) 등의 산화물, 니켈, 코발트 및 철 등의 금속 혹은 금속히드리드(미국특허 제5,928,500호), 수산화스트론튬/산화철(국내특허 제0318352호), 수산화아연 및 염화금속 화합물(국내특허공개 제2000-0050484호) 등이 사용되고 있으며, 주로 산-염기 반응을 통한 흡착을 이용하여 산성기체를 제거할 수 있었다. 그러나 이러한 흡착제는 흡착 용량이 낮거나 그린 오일 등이 생성되며(알루미나 흡착제) 흡착 속도가 낮은 (산화아연/산화칼슘) 단점이 있다. Such adsorbents include zinc oxide (US Pat. No. 6,432,374), zinc oxide / calcium oxide (US Pat. No. 3,935,295), zinc oxide / aluminum oxide / alkali compound (Domestic Patent No. 0326123) and alumina containing an alkali metal (US Pat. Oxides, nickel, and the like Metals such as cobalt and iron or metal hydrides (US Pat. No. 5,928,500), strontium hydroxide / iron oxide (Domestic Patent No. 0318352), zinc hydroxide and metal chloride compounds (Domestic Patent Publication No. 2000-0050484) are used. For example, the acid gas can be removed by adsorption through an acid-base reaction. However, these adsorbents have a disadvantage of low adsorption capacity or green oil (alumina adsorbent) and low adsorption rate (zinc oxide / calcium oxide).

또한, 층상이중수산화물을 이용하여 아황산가스 등의 황산화물 (SOx) 기체를 제거하고자 한 시도가 알려져 있으나 운전 온도가 400∼900℃로 매우 높거나 층상이중수산화물 내에 산화제를 추가하거나 금속을 함유한 옥소음이온 (metal-containing oxo-anions) 등을 추가할 필요가 있어 실용적이지 못하며 제거하는 기체도 황산화물로 제한되어 있었다.In addition, attempts have been made to remove sulfur oxides (SO x ) gases such as sulfurous acid gas using layered double hydroxides, but the operation temperature is very high, such as 400 to 900 ° C. The need for the addition of metal-containing oxo-anions, etc., was impractical and the gas being removed was limited to sulfur oxides.

종래 흡착제는 원료의 물리적 혼합 및 성형으로 주로 제조되어 왔는데, 이로 인해 흡착제 성분들 간의 균일한 혼합을 얻는데 한계가 있어 성능이 만족스럽지 못하였다. 특히 각 성분의 입자의 크기가 클 경우는 각 성분들 간의 물성이 따로 발현되어 흡착제의 성능이 매우 낮다. Conventional adsorbents have been mainly produced by physical mixing and shaping of raw materials, which leads to limitations in obtaining uniform mixing between adsorbent components, resulting in unsatisfactory performance. In particular, when the particle size of each component is large, the physical properties between the components are expressed separately, so the performance of the adsorbent is very low.

본 발명의 목적은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 흡착성능 및 흡착용량이 향상된 흡착제의 제조방법, 이로 인한 흡착제 및 이를 이용한 산성기체 제거방법을 제공하는 것이다. An object of the present invention is to solve the above problems, to provide a method for producing an adsorbent with improved adsorption performance and adsorption capacity, and thereby an adsorbent and an acid gas removal method using the same.

상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 산성기체 제거용 흡착제의 제조방법, 이에 의해 제조된 흡착제 및 흡착제를 이용한 산성기체 제거방법을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a method for producing an acid gas removal adsorbent, and an acid gas removal method using the adsorbent and the adsorbent prepared thereby.

이하, 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.

본 발명은 산성기체 제거용 흡착제의 제조방법을 제공한다.The present invention provides a method for preparing an adsorbent for removing acid gas.

구체적으로, 산화아연을 준비하는 단계(단계 1),Specifically, preparing a zinc oxide (step 1),

금속 전구체로 이루어진 용액을 산화 아연 및 바인더 혼합물에 담지하는 단계(단계 2),Supporting a solution consisting of a metal precursor in a mixture of zinc oxide and a binder (step 2),

담지 후 수열 조건하에서 열처리하여 층상이중수산화물을 함유한 형태의 흡착제를 제조하는 단계(단계 3)를 포함하는 것으로 이루어진 산성기체 제거용 흡착제의 제조방법을 제공한다.It provides a method for producing an acidic gas removal adsorbent comprising the step (step 3) of preparing an adsorbent containing a layered double hydroxide by heat treatment under hydrothermal conditions after supporting.

또한 본 발명은 추가로 상기 단계 3의 층상이중수산화물을 함유한 형태의 흡착제를 공기분위기 하에서 고온 소성하여 복합산화물이 포함된 형태의 흡착제를 제조하는 단계를 포함한다.In another aspect, the present invention further comprises the step of producing an adsorbent in the form of a composite oxide by calcining the adsorbent in the form containing the layered double hydroxide of step 3 under high temperature in an air atmosphere.

단계 1에서는 산화아연을 준비한다.In step 1, zinc oxide is prepared.

산화아연은 산성기체 제거용 흡착제의 주성분으로서, 산성기체와 반응하여 무해한 아연염과 산소 또는 물을 생성된다. 본 발명에서 산화아연은 흡착속도와 흡착용량을 향상시키기 위해 입자 크기가 균일하고 작은 것을 사용하는데, 구체적으로 500 ㎚ 미만의 산화아연을 사용하며, 바람직하게는 100 ㎚ 이하인 산화아연을 사용한다. 산화아연의 입자 크기가 500nm 이상인 경우, 흡착되는 분자의 확산이 매우 느려 흡착 및 제거 속도가 매우 낮은 단점이 발생한다.Zinc oxide is a main component of the acid gas removal adsorbent and reacts with acid gas to produce harmless zinc salts and oxygen or water. In the present invention, in order to improve the adsorption rate and the adsorption capacity, zinc oxide uses a uniform and small particle size. Specifically, zinc oxide of less than 500 nm is used, and preferably zinc oxide of 100 nm or less is used. When the particle size of zinc oxide is 500 nm or more, the diffusion of molecules to be adsorbed is very slow, resulting in a very low adsorption and removal rate.

산화아연의 입자 크기를 작게 하는 방법으로는 물리적인 방법 또는 화학적인 방법 모두를 사용할 수 있으며, 일예로는 과산화아연의 분해를 이용한 방법{Chemistry letter, p606-607, 2001}과 하기 단계 2에서 산화아연 및 바인더 및 층상이중수산화물 혹은 혼합산화물의 혼합물을 원심 볼밀링, 플래니터리(planetary) 볼밀링 등의 볼밀링을 이용한 물리적 방법 등을 사용할 수 있다.As a method of reducing the particle size of zinc oxide, either a physical method or a chemical method can be used. For example, oxidation using zinc peroxide decomposition {Chemistry letter, p606-607, 2001} and oxidation in step 2 below A mixture of zinc, a binder and a layered double hydroxide or a mixed oxide may be a physical method using ball milling, such as centrifugal ball milling and planetary ball milling.

단계 2에서는 금속 전구체 용액을 산화아연에 담지한다.In step 2, the metal precursor solution is supported on zinc oxide.

구체적으로, 상기 단계 1의 산화아연을 바인더와 함께 균일한 혼합물이 되도록 잘 섞은 다음, 금속 전구체를 용매에 용해시킨 후 상기 산화아연 및 바인더 혼합물에 적가하여 담지시킨다. 산화아연 및 바인더 혼합물을 만들 때는 물, 알코올 등의 용매를 사용할 수 있다. 또한, 금속 전구체 액을 산화아연과 바인더 혼합물에 가할 수도 있고 반대로 산화아연 및 바인더 혼합물을 금속 전구체 용액에 가하여 섞을 수도 있다.Specifically, the zinc oxide of step 1 is mixed well with a binder to form a uniform mixture, and then the metal precursor is dissolved in a solvent and then added dropwise to the zinc oxide and binder mixture to be supported. Solvents such as water and alcohol can be used when preparing the zinc oxide and binder mixtures. In addition, the metal precursor liquid may be added to the zinc oxide and binder mixture, and conversely, the zinc oxide and binder mixture may be added to the metal precursor solution and mixed.

상기 금속 전구체로는 마그네슘, 칼슘 및 알루미늄 화합물로 이루어진 그룹 중 선택된 하나 이상을 사용할 수 있으며, 이때, 마그네슘화합물, 칼슘화합물 및 알루미늄화합물은 질산염(nitrate), 염산염(chloride), 초산염(acetate), 황산염(sulfate) 등으로, 용매에 용해시켜 사용할 수 있는 것이면 어떤 종류의 염이라도 무관하다.As the metal precursor, one or more selected from the group consisting of magnesium, calcium, and aluminum compounds may be used, wherein the magnesium compound, the calcium compound, and the aluminum compound may be nitrate, chloride, acetate, sulfate. Any type of salt may be used as long as it can be used by dissolving in a solvent.

상기 용매는 물, 알코올 등 염을 어느 정도 녹일 수 있는 용매이면 어떠한 용매라도 무관하다. 그러나 비용 및 사용의 편의성 때문에 주로 물을 용매로 사용한다.The solvent may be any solvent as long as it can dissolve salts such as water and alcohol to some extent. However, due to cost and ease of use, water is mainly used as a solvent.

이때, 본 단계에서 산화아연:바인더:금속 전구체의 조성비는 무게비로서 30∼80% : 10∼50% : 10∼50%가 바람직하다. 산화아연의 비율이 상기 범위 미만인 경우 산성기체를 제거할 수 있는 흡착 능력이 감소하며, 비율이 상기 범위를 초과한 경우 흡착용량에서는 유리하나 제조원가가 높아지게 되며 또한 성형된 알갱이의 강도가 낮아 실제 공정에 적용할 때 부스러지기가 쉬워 실제적이지 못한 단점이 있다. 또한, 상기 금속 전구체의 비율이 상기 범위를 초과한 경우 알루미늄에 의한 그린 오일 등이 생성될 수 있으며, 상기 비율이 상기 범위 미만인 경우 금속 전구체의 첨가로 인한 효과를 기대하기 어렵다.At this time, the composition ratio of zinc oxide: binder: metal precursor is preferably 30 to 80%: 10 to 50%: 10 to 50% as the weight ratio. If the ratio of zinc oxide is less than the above range, the adsorption capacity to remove the acidic gas is reduced. If the ratio exceeds the above range, the adsorption capacity is advantageous but the manufacturing cost is high and the strength of the granulated particles is low. There is a disadvantage that it is not practical to be fragile when applied. In addition, when the ratio of the metal precursor exceeds the above range, green oil by aluminum may be produced. When the ratio is below the above range, it is difficult to expect an effect due to the addition of the metal precursor.

단계 3에서는 열처리하여 층상이중수산화물 형태의 흡착제를 제조한다.In step 3, an adsorbent in the form of a layered double hydroxide is prepared by heat treatment.

이때, 층상이중수산화물이 포함된 형태의 흡착제는, 상기 단계 2에서 제조된 물질을 수열 조건하에서 열처리하여 얻어지며, 열처리 조건은 20∼300℃에서 0.1∼168 시간 동안 수행하는 것이 바람직하다. 온도나 시간이 너무 높거나 길면 수열 반응시 층상이중수산화물 구조가 다른 구조로 변하여 흡착 성능이 감소하게 되며, 반대로 온도가 낮거나 시간이 너무 짧으면 층상이중수산화물이 형성되기 어려워 효과를 기대하기 어렵다.At this time, the adsorbent in the form containing the layered double hydroxide, is obtained by heat-treating the material prepared in step 2 under hydrothermal conditions, the heat treatment is preferably carried out for 20 to 300 ℃ for 0.1 to 168 hours. If the temperature or time is too high or too long, the layered double hydroxide structure is changed to another structure during hydrothermal reaction, and thus the adsorption performance is reduced.

추가로 첨가되는 단계 4에서는 상기 층상이중수산화물이 포함된 형태의 흡착제를 고온 소성시켜 복합산화물이 포함된 형태의 흡착제를 제조한다.In addition, in step 4, the adsorbent in the form containing the layered double hydroxide is calcined at high temperature to prepare an adsorbent in the form containing the complex oxide.

이때, 소성 조건은 100∼800℃에서 0.1∼72 시간 동안 수행한다. 온도나 시간이 너무 높거나 길면 소성 시 산화아연이 뭉치고 결정이 성장하여 흡착 성능이 감소하게 되며, 반대로 온도가 낮거나 시간이 너무 짧으면 소성 효과를 기대하기 어렵다.At this time, the firing conditions are carried out at 100 to 800 ℃ for 0.1 to 72 hours. If the temperature or time is too high or too long, the zinc oxide agglomerates and crystals grow during the firing, so that the adsorption performance is reduced.

상기 바인더는 산화아연 입자간 및 산화아연과 층상이중수산화물 혹은 혼합산화물을 결합시키기 위한 것으로, 클레이(clay), 실라카졸(silica sol), 물유리, 벤토나이트(bentonite), 보에마이트(boehmite) 및 슈도보에마이트(pseudoboehmite) 등 통상적으로 사용되는 바인더 모두를 사용할 수 있다. 그러나, 산성도가 높은 바인더는 산촉매 반응에 의한 부반응을 일으킬 수가 있으므로 적합하지 않다.The binder is for bonding zinc oxide particles, zinc oxide and layered double hydroxides or mixed oxides, and includes clay, silica sol, water glass, bentonite, boehmite, and shoe. All conventionally used binders such as pseudoboehmite can be used. However, binders with high acidity are not suitable because they can cause side reactions by acid catalysis.

상기 제조방법에 의해 제조된 흡착제는 산화아연 외에 층상이중수산화물 또는 복합산화물을 포함한 형태로서, 이는 층상이중수산화물 또는 복합산화물의 염기성 및 흡착성질로 인해 흡착공정이 효과적이며 신속하게 일어날 수 있는 장점이 있다.The adsorbent prepared by the above production method includes a layered double hydroxide or a composite oxide in addition to zinc oxide, which has an advantage that the adsorption process can be effectively and quickly occurred due to the basic and adsorbent properties of the layered double hydroxide or the composite oxide. .

상기 방법으로 제조된 흡착제를 실질적으로 적용키 위해 그 형태 및 크기를 다양하게 조절할 수 있으며, 일예로 펠렛, 정제(tablet), 분말(granule), 구형, 익스트루데이트(extrudate) 등으로 조절할 수 있다.In order to substantially apply the adsorbent prepared by the above method, the shape and size may be adjusted in various ways. For example, the adsorbent may be adjusted by pellets, tablets, granules, spheres, extrudates, and the like. .

또한, 본 발명은 본 발명의 흡착제를 이용한 산성기체의 제거방법을 제공한다.The present invention also provides a method for removing acidic gas using the adsorbent of the present invention.

구체적으로 산성기체를 본 발명의 흡착제에 접촉시켜 산성기체를 제거한다. 이때, 흡착 온도는 0℃ 이상의 온도이면 무관하며, 바람직하게는 10∼500℃, 더욱 바람직하게는 20∼400℃이며, 흡착압력은 어떠한 범위라도 무관하며, 흡착방식은 연속 반응 또는 회분식 반응 모두 수행할 수 있다.Specifically, the acidic gas is contacted with the adsorbent of the present invention to remove the acidic gas. At this time, the adsorption temperature is irrelevant if the temperature is more than 0 ℃, preferably 10 to 500 ℃, more preferably 20 to 400 ℃, the adsorption pressure is irrelevant in any range, the adsorption method is carried out both continuous reaction or batch reaction can do.

흡착되어지는 산성기체 물질은 염화수소(HCl), 황화수소(H2S), 염소, 아황산가스 및 일산화질소(NO) 등의 산성기체, 유기 염화물 또는 유기 황화물이다. 특히 본 발명의 흡착방법에 의해 염화수소 및 황화수소는 더욱 효과적으로 흡착되어진다.The acid gas substances to be adsorbed are acid gases such as hydrogen chloride (HCl), hydrogen sulfide (H 2 S), chlorine, sulfur dioxide and nitrogen monoxide (NO), organic chlorides or organic sulfides. In particular, hydrogen chloride and hydrogen sulfide are adsorbed more effectively by the adsorption method of the present invention.

발생되는 산성기체의 제거방법을 실시하기 위한 정화장치의 일예는 첨부된 도 1에서 보는 바와 같다.An example of a purification apparatus for performing the method of removing the generated acidic gas is as shown in FIG.

유해가스 배출공정으로 부터 산성기체를 함유한 유해가스가 배출되며, 이들은 매우 유독하므로 흡착제가 채워진 충진탑(30)을 거쳐 대기중으로 배출된다. 상기 충진탑(30)은 상기 산성가스를 배출하는 유해가스 배출공정(10)과 유해가스 배출관(20)에 의해 연결되어 있으며, 상기 유해가스 배출관(20)의 말단부에는 송풍기(40)가 설치될 수 있으며 유해 가스 배출 공정의 압력이 대기압 이상이면 송풍기를 설치하지 않을 수도 있다. 따라서 상기 유해가스 배출공정(10)으로부터 배출되는 산성기체를 함유한 유해가스는 상기 송풍기(40)의 흡인력 혹은 유해 가스 배출 공정의 압력에 의해 상기 유해가스 배출관(20)을 따라 상기 충진탑(30)으로 도입되며, 여기에서 유해가스 중의 산성기체는 흡착제에 의해 제거된다.Hazardous gases containing acidic gases are discharged from the hazardous gas discharge process, and these are very toxic and are discharged into the atmosphere through the filling tower 30 filled with the adsorbent. The filling tower 30 is connected by the harmful gas discharge process 10 and the harmful gas discharge pipe 20 for discharging the acid gas, the blower 40 is installed at the distal end of the harmful gas discharge pipe 20 The blower may not be installed if the pressure of the noxious gas discharge process is above atmospheric pressure. Therefore, the harmful gas containing the acidic gas discharged from the harmful gas discharge process 10 is the filling tower 30 along the harmful gas discharge pipe 20 by the suction force of the blower 40 or the pressure of the harmful gas discharge process. ), Where the acid gas in the noxious gas is removed by the adsorbent.

이러한 흡착방법은 산성기체 화합물 및 유사한 물질이 포함되는 석유화학 공정 및 원유로부터 유도되는 산성기체 화합물을 제거하는데 사용할 수 있다. 산성기체 화합물을 제거할 필요가 있는 공정으로는 벤젠, 톨루엔, 크실렌등을 생산하는데 사용되는 나프타의 촉매개질 반응, 촉매 재생을 위한 옥시클로리네이션(oxichlorination) 공정, 촉매 건조, 환원 공정 등이 있다. 또한 이러한 흡착방법은 에칭 공정, 에피 공정 등의 반도체 공정에서 배출되는 폐가스의 흡착 처리에도 사용될 수 있으며 반도체 제조 공정에 사용되는 산성기체의 누출시 신속하게 흡착하여 무해한 기체만 배출하여 환경 및 인명에 피해를 주는 것을 방지할 수 있다.This adsorption method can be used to remove acidic gas compounds derived from petrochemical processes and crude oil, including acidic gas compounds and similar materials. The processes that need to remove acid gas compounds include the catalytic reforming reaction of naphtha used to produce benzene, toluene, xylene, etc. . In addition, this adsorption method can be used for the adsorption treatment of the waste gas discharged from the semiconductor process such as etching process, epi process, etc., and it quickly adsorbs in case of leakage of acid gas used in the semiconductor manufacturing process and discharges only harmless gas to damage the environment and human life. It can prevent giving.

이하 본 발명을 실시예에 의해 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by way of examples.

단, 하기 실시예는 본 발명을 예시하는 것일 뿐 본 발명의 내용이 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다.However, the following examples are merely to illustrate the present invention is not limited to the contents of the present invention.

<실시예 1> 본 발명의 흡착제의 제조Example 1 Preparation of Adsorbent of the Present Invention

(단계 1) 산화아연의 제조(Step 1) Preparation of Zinc Oxide

아연 질산염(Zn(NO3)2 6H2O) 0.1M 수용액 1000 ㎖에 수산화나트륨 0.1M 수용액 1000 ㎖를 적가하여 수산화아연 침전물을 얻고, 원심 분리 및 세척 후 과산화수소 1M 수용액 500 ㎖를 가한 다음 75℃에서 2시간 유지한 후 회전증발기를 이용하여 건조하였다. 건조 후 300℃에서 2시간 동안 열처리하여 산화아연 분말을 얻었다.Zinc hydroxide was added dropwise to 1000 ml of zinc nitrate (Zn (NO 3 ) 2 6H 2 O) 0.1 M aqueous solution, and 1000 ml of 0.1 M aqueous solution of sodium hydroxide was added dropwise to obtain 500 ml of hydrogen peroxide. After maintaining for 2 hours at dry using a rotary evaporator. After drying, heat treatment was performed at 300 ° C. for 2 hours to obtain zinc oxide powder.

얻어진 산화아연 분말을 X-선 회절 형태로부터 확인하였고 반폭치로부터 결정의 크기는 매우 작음을 알 수 있었다. 첨부된 도 2에서 보는 바와 같이, 주사전자현미경을 통하여 입자 크기가 약 20∼50 ㎚임을 확인하였다. The obtained zinc oxide powder was confirmed from the X-ray diffraction pattern, and the half width showed that the crystal size was very small. As shown in FIG. 2, it was confirmed that the particle size was about 20 to 50 nm through a scanning electron microscope.

(단계 2) 금속 전구체의 담지(Step 2) Supporting the Metal Precursor

마그네슘 질산염 7.93 g을 증류수 20 g에 녹이고, 칼슘 질산염 7.3 g을 증류수 20 g에 녹이고, 알루미늄 질산염 7.8 g을 증류수 20 g에 녹인 후 상기 3 종류의 질산염 용액을 혼합하였다. 증류수 50 g에 상기 단계 1에서 제조된 산화아연 5 g과 클레이 2.5 g를 첨가 혼합한 후 교반하며 천천히 상기 질산염 용액을 적가하였다. 이때, 조성은 산화물 무게 기준으로 ZnO:Clay:MgO:CaO:Al2O3=5.0: 2.5:1.25:1.73:1.07이다.7.93 g of magnesium nitrate was dissolved in 20 g of distilled water, 7.3 g of calcium nitrate was dissolved in 20 g of distilled water, 7.8 g of aluminum nitrate was dissolved in 20 g of distilled water, and the above three kinds of nitrate solutions were mixed. 5 g of zinc oxide prepared in Step 1 and 2.5 g of clay were added and mixed with 50 g of distilled water, and the nitrate solution was slowly added dropwise while stirring. At this time, the composition is based on the oxide weight ZnO: Clay: MgO: CaO: Al 2 O 3 = 5.0: 2.5: 1.25: 1.73: 1.07.

나트륨 탄산염 1.6 g을 증류수 10 g에 녹인 후 상기 제조된 혼합물에 천천히 가하였다. 이렇게 준비된 혼합물을 교반하며 2.0M NaOH 수용액을 적가하여 pH가 10이 되도록 하였다.1.6 g of sodium carbonate was dissolved in 10 g of distilled water and slowly added to the mixture prepared above. The mixture thus prepared was stirred and a 2.0 M NaOH aqueous solution was added dropwise to have a pH of 10.

(단계 3) 층상이중수산화물 형성(Step 3) Formation of layered double hydroxide

얻어진 혼합물을 잘 막고 70℃에서 8시간 동안 유지하여 층상이중수산화물이 형성되도록 하였다. 생성된 층상이중수산화물의 구조는 X-선 회절형태로부터 확인할 수 있었다. 도 3의 X-선 회절 형태로부터 산화아연 외에 층상이중수산화물 구조가 형성되었음을 알 수 있었고 반폭치로부터 입자 크기는 매우 작고 잘 분산되었음을 알 수 있었다.The resulting mixture was well blocked and held at 70 ° C. for 8 hours to form a layered double hydroxide. The structure of the layered double hydroxide produced was confirmed from the X-ray diffraction pattern. From the X-ray diffraction pattern of FIG. 3, it was found that a layered double hydroxide structure was formed in addition to zinc oxide, and the half-width value showed that the particle size was very small and well dispersed.

(단계 4) 고온 소성(Step 4) High Temperature Firing

층상이중수산화물을 복합산화물로 전환하기 위해 500℃의 공기 분위기 하에서 4시간 동안 소성하였다. 이때, 층상이중수산화물의 X-선 회절 피크가 사라지고 무정형의 복합산화물이 생성되었음을 알 수 있었다 (도 4). 소성 후에도 산화아연의 결정 성장이나 뭉치는 현상이 발생하지 않음을 알 수 있었다 (도 4).In order to convert the layered double hydroxide into a composite oxide, it was calcined under an air atmosphere at 500 ° C. for 4 hours. At this time, it can be seen that the X-ray diffraction peak of the layered double hydroxide disappears and an amorphous composite oxide was formed (FIG. 4). It was found that even after firing, crystal growth or agglomeration of zinc oxide did not occur (FIG. 4).

원통형의 펠렛 형태가 되도록 흡착제를 가공하였으며 높이 5 ㎜, 밑면의 지름은 3 ㎜였다. The adsorbent was processed to form a cylindrical pellet, having a height of 5 mm and a diameter of the bottom 3 mm.

<실시예 2> 본 발명의 흡착제의 제조Example 2 Preparation of Adsorbent of the Present Invention

상기 실시예 1에서 단계 4의 고온 소성 단계를 배제하여 흡착제를 제조하였다.In Example 1, the adsorbent was prepared by excluding the high temperature firing step of step 4.

<실시예 3> 본 발명의 흡착제의 제조Example 3 Preparation of Adsorbent of the Present Invention

상기 실시예 1과 유사한 방법으로 흡착제를 제조하였으나 조성은 ZnO:Clay:MgO:Al2O3=5.0:2.5:2.5:1.05이었다.An adsorbent was prepared in a similar manner as in Example 1, but the composition was ZnO: Clay: MgO: Al 2 O 3 = 5.0: 2.5: 2.5: 1.05.

<실시예 4> 본 발명의 흡착제의 제조Example 4 Preparation of Adsorbent of the Present Invention

상기 실시예 1과 유사한 방법으로 흡착제를 제조하였으나 조성은 ZnO:Clay:CaO:Al2O3=5.0:2.5:2.5:0.76이었다.An adsorbent was prepared in a similar manner to Example 1, but the composition was ZnO: Clay: CaO: Al 2 O 3 = 5.0: 2.5: 2.5: 0.76.

<실시예 5> 본 발명의 흡착제의 제조Example 5 Preparation of Adsorbent of the Present Invention

상기 실시예 1과 유사한 방법으로 흡착제를 제조하였으나 클레이 대신 활성백토를 바인더로 사용하였다.An adsorbent was prepared in a similar manner as in Example 1, but activated clay was used as a binder instead of clay.

<비교예 1>Comparative Example 1

실시예 1과 유사하게 흡착제를 제조하였으나 상업적으로 유통되는 산화아연을 사용하였고 전자현미경 사진으로부터 산화아연의 입자 크기가 비교적 크고 불균일(약 500nm 전후) 함을 알 수 있었다.Adsorbents were prepared similarly to Example 1, but commercially available zinc oxide was used, and electron micrographs showed that the particle size of zinc oxide was relatively large and nonuniform (around 500 nm).

산화마그네슘, 산화칼슘, 산화알루미늄은 용액으로부터 제조하는 대신 상업적으로 통용되는 산화물을 사용하였다.Magnesium oxide, calcium oxide, and aluminum oxide used commercially available oxides instead of being prepared from solutions.

<비교예 2>Comparative Example 2

실시예 2와 유사하게 흡착제를 제조하였으나 상업적으로 유통되는 산화아연을 사용하였고 전자현미경사진으로부터 산화아연의 입자 크기가 비교적 크고 불균일(약 500nm 전후)함을 알 수 있었다.Adsorbents were prepared similarly to Example 2, but commercially available zinc oxide was used, and the electron micrographs showed that the particle size of zinc oxide was relatively large and uneven (about 500 nm).

층상이중수산화물은 용액으로부터 제조하는 대신 별도의 반응기에서 제조하여 산화아연과 물리적으로 혼합하여 사용하였다.The layered double hydroxide was prepared in a separate reactor instead of being prepared from a solution, and physically mixed with zinc oxide.

<비교예 3>Comparative Example 3

실시예 3과 유사하게 흡착제를 제조하였으나 비교예 1과 같이 상업적으로 유통되는 산화아연을 사용하였다.An adsorbent was prepared in the same manner as in Example 3, but commercially available zinc oxide was used as in Comparative Example 1.

<비교예 4><Comparative Example 4>

실시예 4와과 유사하게 흡착제를 제조하였으나 산화아연과 바인더만을 사용하였고 마그네슘, 칼슘 혹은 알루미늄 화합물을 사용하지 않았다.Adsorbents were prepared similarly to Example 4, but only zinc oxide and a binder were used, and no magnesium, calcium, or aluminum compounds were used.

<실험예 1> 본 발명의 흡착제를 이용한 흡착실험Experimental Example 1 Adsorption Experiment Using Adsorbent of the Present Invention

(1) 산성기체의 흡착실험(1) adsorption experiment of acid gas

상기 실시예 1 내지 실시예 5 및 비교예 1 내지 비교예 4에서 제조된 흡착제를 사용하여 흡착 실험을 수행하였다.Adsorption experiments were performed using the adsorbents prepared in Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 to 4.

제조된 흡착제 3 g을 석영으로 된 고정층 반응기에 채운 후 200℃에서 2시간 동안 유지하여 탈수한 후 40∼300℃의 일정한 온도로 유지한 후 건조된 염화수소 기체를 20cc/min의 속도로 흘려주어 흡착용량을 측정하였다. 흡착 온도 및 흡착 시간에 따른 흡착된 산성기체의 양은 무게 증가 및 화학적 분석 방법을 통해 측정하였다. 결과는 하기 표 1에 나타내었다.3 g of the adsorbent was charged into a fixed bed reactor made of quartz, dehydrated by holding at 200 ° C. for 2 hours, and then maintained at a constant temperature of 40 to 300 ° C., followed by flowing dry hydrogen chloride gas at a rate of 20 cc / min. Dose was measured. The amount of acid gas adsorbed with adsorption temperature and adsorption time was measured by weight gain and chemical analysis. The results are shown in Table 1 below.

(2) 황 흡착 실험(2) sulfur adsorption experiment

상기 실시예 1 및 비교예 1에서 제조된 흡착제를 사용하여 황화수소의 제거 능력을 확인하였다. 흡착 기체로는 질소에 희석된 10%의 황화수소를 80cc/min의 유속으로 흘려 주었고 흡착 온도는 200℃였으며 흡착 결과는 표 1에 정리하였다.The removal capacity of hydrogen sulfide was confirmed using the adsorbents prepared in Example 1 and Comparative Example 1. As the adsorption gas, 10% hydrogen sulfide diluted in nitrogen was flowed at a flow rate of 80 cc / min, the adsorption temperature was 200 ° C., and the adsorption results are summarized in Table 1.

상기 표 1에서 보는 바와 같이, 본 발명의 실시예 1∼5의 흡착제가 비교예 1∼4의 흡착제에 비해 흡착속도 및 흡착용량이 향상됨을 확인할 수 있다. 특히, 산화아연의 크기가 균일하고 작을수록 우수한 효과를 얻을 수 있었으며, 비교예 4와 비교하여 본 발명의 층상이중수산화물 또는 복합산화물의 효과에 의해 흡착속도 및 흡착용량이 향상됨을 알 수 있다.As shown in Table 1, it can be seen that the adsorbents of Examples 1 to 5 of the present invention are improved in the adsorption rate and adsorption capacity compared to the adsorbents of Comparative Examples 1 to 4. In particular, the more uniform and smaller the size of the zinc oxide was able to obtain an excellent effect, it can be seen that the adsorption rate and adsorption capacity is improved by the effect of the layered double hydroxide or composite oxide of the present invention compared to Comparative Example 4.

또한 실시예 1 및 비교예 1의 흡착제를 이용한 황의 흡착 실험 결과, 2시간 및 10시간의 흡착 후 각각 18, 30%의 황이 흡착됨을 알 수 있었고 하기 비교예 1과 비교하여 흡착 속도 및 흡착 용량이 높음을 알 수 있다.In addition, as a result of the adsorption experiment of sulfur using the adsorbents of Example 1 and Comparative Example 1, it can be seen that after 2 and 10 hours of adsorption, 18 and 30% of sulfur is adsorbed, respectively. It can be seen that high.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 산성기체 흡착제의 제조방법에 의해 제조된 흡착제는 층상이중수산화물 또는 복합산화물 형태를 가져 종래 산화아연에 의해 제조된 흡착제에 비해 향상된 흡착 속도 및 흡착 용량을 나타내어 석유화학 공정 등에 부생하는 산성기체 및 반도체 공정의 폐기체에 포함된 산성기체 화합물 등의 제거에 효과적으로 사용할 수 있다.As described above, the adsorbent prepared by the method for producing an acidic gas adsorbent according to the present invention has a form of layered double hydroxide or complex oxide, which shows an improved adsorption rate and adsorption capacity compared to an adsorbent prepared by zinc oxide. It can be effectively used for the removal of acidic gas generated in by-products and the like and acidic gas compounds contained in the waste of semiconductor process.

도 1은 본 발명의 흡착제를 이용한 산성기체 제거방법을 실시하기 위한 정화장치의 개략 구성도를 나타낸 그림이며, 1 is a view showing a schematic configuration diagram of a purification apparatus for performing the acid gas removal method using the adsorbent of the present invention,

도 2는 본 발명의 실시예 1에서 제조된 산화아연을 전자현미경으로 관찰한 사진이다. Figure 2 is a photograph of the observation of the zinc oxide prepared in Example 1 of the present invention with an electron microscope.

도 3은 본 발명의 실시예 1에서 제조된 산화아연과 층상이중수산화물 혼합물의 X-선 회절 형태이다. 3 is an X-ray diffraction pattern of the zinc oxide and layered double hydroxide mixture prepared in Example 1 of the present invention.

도 4는 본 발명의 실시예 1에서 제조된 산화아연과 층상이중수산화물 혼합물을 소성한 후의 X-선 회절 형태이다. 4 is an X-ray diffraction pattern after calcining the zinc oxide and layered double hydroxide mixture prepared in Example 1 of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 : 유해가스 배출공정, 20 : 유해가스 배출관,10: harmful gas discharge process, 20: harmful gas discharge pipe,

30 : 충진탑, 40 : 송풍기30: filling tower, 40: blower

Claims (8)

산화아연을 준비하는 단계(단계 1),Preparing zinc oxide (step 1), 금속 전구체의 용액을 산화아연에 담지하는 단계(단계 2),Supporting a solution of a metal precursor in zinc oxide (step 2), 담지 후 수열 조건하에서 열처리하여 층상이중수산화물을 함유한 형태의 흡착제를 제조하는 단계(단계 3)를 포함하는 것으로 이루어진 산성기체 제거용 흡착제의 제조방법.A process for producing an acidic gas removal adsorbent, comprising the step (step 3) of preparing an adsorbent containing a layered double hydroxide by heat treatment under hydrothermal conditions after loading. 제 1항에 있어서, 추가로 층상이중수산화물을 고온 소성하여 복합산화물을 함유한 형태의 흡착제를 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 산성기체 제거용 흡착제의 제조방법.The method of claim 1, further comprising the step of calcining the layered double hydroxide at high temperature to produce an adsorbent in the form of a composite oxide. 제 1항에 있어서, 상기 산화 아연의 입자크기가 500 ㎚ 미만인 것을 특징으로 하는 흡착제의 제조방법.The method of claim 1 wherein the particle size of the zinc oxide is less than 500 nm. 제 1항에 있어서, 상기 단계 2의 산화아연:바인더:금속전구체의 조성비가 무게비로서 30∼80 %:10∼50%:10∼50%인 것을 특징으로 하는 흡착제의 제조방법.The method of claim 1, wherein the composition ratio of the zinc oxide: binder: metal precursor of step 2 is 30 to 80%: 10 to 50%: 10 to 50% by weight. 제 1항에 있어서, 상기 금속전구체가 마그네슘화합물, 칼슘화합물 및 알루미늄화합물로 이루어진 그룹 중 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 흡착제의 제조방법.The method of claim 1, wherein the metal precursor is at least one selected from the group consisting of magnesium compounds, calcium compounds and aluminum compounds. 제 1항 내지 5항의 제조방법에 의해 제조된 층상이중수산화물 형태 또는 복합산화물 형태의 물질을 포함하는 흡착제.An adsorbent comprising a substance in the form of a layered double hydroxide or a complex oxide prepared by the method of claim 1. 산성기체를 제 6항의 흡착제에 접촉시켜 상기 산성기체를 제거시키는 것을 특징으로 하는 산성기체의 흡착 및 제거 방법.An acid gas adsorption and removal method characterized in that the acid gas is contacted with the adsorbent of claim 6 to remove the acid gas. 제 7항에 있어서, 상기 산성기체의 흡착방법이 10∼500℃에서 수행되는 것을 특징으로 하는 산성기체의 흡착 및 제거 방법.The method of claim 7, wherein the acid gas adsorption method is carried out at 10 ~ 500 ℃.
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