KR20050014954A - Apparatus for isolating working area in the cleanroom and Method for the same - Google Patents
Apparatus for isolating working area in the cleanroom and Method for the sameInfo
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 제조 공정이 수행되는 청정실(cleanroom) 내의 작업 공간을 분리하는 장치 및 분리 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 장비의 이동, 설치 또는 작업 공간의 변경에 기인한 생산 설비 배치의 변경을 용이하게 하는 분리 장치 및 작업 공간을 분리하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and a separation method for separating a work space in a clean room in which a semiconductor manufacturing process is performed. More particularly, the present invention relates to a change in the arrangement of production equipment due to the movement, installation, or change of a work space. A separation device for facilitating and a method for separating a work space.
현재 반도체 제조 공정에서는 추가적인 생산 설비의 도입 및 새로운 생산 설비로의 변경등 여러 요인에 의해 지속적으로 장비의 설치 및 이동이 행해지고 있다. 특히, 새로운 장치를 도입은 청정실 내의 작업영역을 구분하는 파티션(partition)의 철거 및 설치의 반복을 불러오게 한다. 새로운 생산 설비를 도입하기 위해서는 먼저 설비가 위치할 공간을 확보한 다음, 공정지역(process area)과 서비스지역(service area)간의 파티션을 제거하고 임시 분리용 비닐 파티션을 설치한 다음, 생산 설비를 반입하여 장치의 셋-업(set-up)을 진행한다. 생산 설비의 반입 과정에서 반입 및 설치가 완료되면 임시 분리용 비닐 파티션을 제거하고, 기존의 제거된 파티션을 장착한다.In the current semiconductor manufacturing process, the installation and movement of equipment is continuously performed by various factors such as the introduction of additional production equipment and the change to new production equipment. In particular, the introduction of a new device leads to the repetition of the removal and installation of partitions separating the work areas in the clean room. To introduce a new production facility, first secure space for the facility, then remove the partition between the process area and the service area, install a temporary vinyl partition, and then import the production facility. To set up the device. When the import and installation are completed during the import of the production equipment, the temporary separating vinyl partition is removed and the existing removed partition is fitted.
이러한 종래 방법에 따른 일련의 작업 과정은 하기의 다수의 원인에 기인하여 청정실내의 공기(air)를 오염시키는 결과를 초래한다.A series of working procedures according to this conventional method results in the contamination of air in the clean room due to the following many causes.
첫째, 작업시간이 1시간 이상 소요됨에 따른 서비스지역으로부터 공정지역으로의 파티클들의 유입은 청정실내의 공기의 오염을 유발한다.First, the inflow of particles from the service area to the process area as the working time takes more than 1 hour causes pollution of air in the clean room.
종래의 임시 분리용 비닐 파티션은 일정한 높이와 폭을 가진 비닐로서 기존의 파티션이 제거된 부분에 적합한 정도로 절단되고, 임시 분리용 비닐 파티션의 외곽을 테이프로 고정되어 설치된다. 이러한 설치에는 과도한 작업시간이 소요되며, 작업이 진행되는 시간에 상응하여 서비스지역의 파티클들이 공정지역으로 유입된다. 따라서, 웨이퍼의 작업 공간이 되고 청정실 내에서 청정도가 고도로 유지되어야 하는 공정지역은 오염되며, 수율의 저하가 발생하게 된다.The conventional temporary separating vinyl partition is a vinyl having a constant height and width, cut to an extent suitable for the portion where the existing partition is removed, and fixed to the outside of the temporary separating vinyl partition by tape. This installation takes excessive work time, and the particles in the service area flow into the process area in correspondence with the time during which work is performed. Therefore, the process area that becomes the working space of the wafer and in which the cleanliness is to be maintained in the clean room is highly contaminated, and the yield decreases.
둘째, 임시 분리용 비닐 파티션이 설치되어 있다 하더라도, 비닐 파티션의 외곽을 테이프로 고정하는 까닭에 시간이 경과되면 테이프의 접착력이 떨어져 비닐 파티션에 의한 작업영역의 분리 부분에서 공기가 유입/유출되어 공정지역의 오염이 발생한다.Second, even if a temporary partition vinyl partition is installed, the tape is fixed to the outside of the vinyl partition over time, so the adhesive force of the tape decreases and air flows in and out of the separation area of the work area by the vinyl partition. Local pollution occurs.
이러한 공정지역의 오염은 파티클의 농도, 온도 또는 습도 등에서 공정지역의 환경 변경점을 발생시키고, 환경 변경점의 발생에 의해 주변 생산 설비의 가동은 중단되고, 공정진행중인 웨이퍼의 오염을 초래하여 생산성의 저하를 가져온다.Such contamination in the process area generates environmental changes in the process area in terms of particle concentration, temperature, or humidity, and operation of nearby production facilities is stopped due to the occurrence of environmental changes, resulting in contamination of wafers in process, resulting in reduced productivity. Bring.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 제1 목적은 작업공간의 분리에 의해 발생하는 청정실 내의 오염을 방지하고, 작업공간의 분리를 빠르고 간편하게 실시할 수 있는 작업 공간 분리 장치를 제공하는데 있다.A first object of the present invention for solving the above problems is to provide a workspace separation device that can prevent contamination in the clean room caused by the separation of the workspace, and can perform the separation of the workspace quickly and simply.
본 발명의 제2 목적은 상술한 작업 공간 분리 장치를 이용하여 작업 공간을 분리하는 방법을 제공하는데 있다.It is a second object of the present invention to provide a method for separating a work space using the above-mentioned work space separating apparatus.
상기 제1 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 소정의 폭과 높이를 가지는 분리막; 상기 분리막의 상부에 고정된 와이어 레일; 체결수단을 통해 상기 와이어 레일와 체결되며 상기 분리막을 필터 하부의 체결부에 고정시키기 위한 고정 수단; 및 상기 분리막의 측면에 부착되어 상기 분리막을 고정하기 위한 고정 클립을 포함하는 것을 특징으로 하는 작업 공간 분리 장치를 제공한다.The present invention for achieving the first object, the separation membrane having a predetermined width and height; A wire rail fixed on the separator; Fastening means for fastening with the wire rail through fastening means and for fixing the separator to a fastening portion under the filter; And it is attached to the side of the separator provides a workspace separation apparatus comprising a fixing clip for fixing the separator.
상기 제2 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 생산 설비의 예정 위치가 되는 공간을 확보하는 단계; 분리막, 상기 분리막의 측면에 부착된 고정 클립, 상기 분리막의 상부에 고정된 와이어 레일 및 상기 와이어 레일와 체결되며 상기 분리막을 필터 하부의 체결부에 고정시키기 위한 탈 부착 클립을 포함하는 작업 공간 분리 장치를 설치한 단계; 상기 확보된 공간에 상응하는 파티션을 제거하는 단계; 상기 생산 설비를 반입하여 상기 예정 위치에 상기 생산 설비를 위치시키는 단계; 상기 파티션을 재설치하는 단계; 및 상기 작업 공간 분리 장치를 제거하는 단계를 포함하는 작업 공간 분리 방법을 제공한다.The present invention for achieving the second object, the step of securing a space to be a predetermined position of the production facility; Separator, a fixing clip attached to the side of the separator, a wire rail fixed to the upper portion of the separator and the work space separation device including a removable clip for fastening the wire rail and fixing the separator to the fastening portion of the filter lower portion Installed steps; Removing a partition corresponding to the reserved space; Importing the production equipment and placing the production equipment at the predetermined position; Reinstalling the partition; And removing the work space separating apparatus.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
실시예 1Example 1
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 작업 공간 분리 장치의 평면도이다.1 is a plan view of a workspace separation apparatus according to a first embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 작업 공간을 분리하기 위한 분리막(101)은 분리되고 차단되는 공간에 적합하게 절단되어 준비된다. 바람직하게는 상기 분리막은(101) 분리된 공간의 환경을 육안으로 확인할 수 있으며, 파티클을 발생시키지 않는 무진비닐로 한다.Referring to FIG. 1, a separation membrane 101 for separating a work space is prepared by being cut into a space suitable for being separated and blocked. Preferably, the separation membrane 101 can visually check the environment of the separated space, and is made of dust-free vinyl that does not generate particles.
상기 분리막(101)의 상부에는 와이어 레일(103)이 위치한다. 와이어 레일(103)은 고정수단(105)에 부착되고 상기 고정수단(105)과 상대적인 운동이 가능하게 설치된다. 또한 와이어 레일(103)은 분리막(101)과 고정수단(105)을 연결하며, 작업 공간을 분리하기 위해 분리 장치를 설치시, 분리 장치가 좌우로 이동 가능하도록 한다. 이러한 고정수단(105)은 분리되고 폐쇄되는 작업공간의 폭과 높이에 따라 복수개로 준비될 수 있다.The wire rail 103 is positioned on the separation membrane 101. The wire rail 103 is attached to the fixing means 105 and is installed to allow relative movement with the fixing means 105. In addition, the wire rail 103 connects the separation membrane 101 and the fixing means 105, and when the separation device is installed to separate the work space, the separation device is movable to the left and right. The fixing means 105 may be prepared in plurality in accordance with the width and height of the workspace to be separated and closed.
또한, 고정수단(105)은 상기 와이어 레일(103)와 체결되며, 상기 분리막(101)을 에어필터 하단에 고정시킨다. 이러한 고정수단(105)는 와이어 레일(103)과 상대적 운동이 가능하게 설치된다. 바람직하게는 고정수단(105)은 에어필터 하단에 고정되며, 와이어 레일(103)이 좌우 운동이 수행되게 한다. 상기 와이어 레일(103)의 운동에 의해 분리막(101)은 작업 공간을 분리하기 위해 좌우로 이동할 수 있다.In addition, the fixing means 105 is fastened to the wire rail 103, and fixes the separation membrane 101 to the bottom of the air filter. The fixing means 105 is installed to allow relative movement with the wire rail 103. Preferably, the fixing means 105 is fixed to the bottom of the air filter, the wire rail 103 to perform the left and right movement. By the movement of the wire rail 103, the separation membrane 101 may move from side to side to separate the working space.
고정클립(107)은 상기 분리막(101)의 측면에 부착되어 상기 분리막(101)을 고정하기 위해 설치된다. 이는 분리된 작업공간을 측면에서 폐쇄하기 위한 것으로 제거된 파티션에 인접한 파티션에 고정할 수 있도록 집게 또는 핀으로 구성될 수 있다. 이러한 고정클립(107)은 분리막(101) 양측면에 복수개로 구비되며, 분리막(101)의 폭과 높이에 따라 분리된 작업공간을 폐쇄하기에 적절한 수로 배치된다.The fixing clip 107 is attached to the side of the separation membrane 101 is installed to fix the separation membrane 101. It is intended to close the separated workspace from the side and can be configured with tongs or pins to secure it to a partition adjacent to the removed partition. The fixing clip 107 is provided in plural on both sides of the separation membrane 101, it is arranged in an appropriate number to close the separated workspace according to the width and height of the separation membrane (101).
또한, 본 실시예의 작업 공간 분리 장치는 상기 분리막(101)의 측면에 측면체결수단(109)을 구비할 수 있다. 측면체결수단(109)은 분리막(101)의 측면에 고정되며, 분리된 작업공간의 폭이 넓어 하나의 분리막으로 분리된 공간을 폐쇄할 수 없는 경우에 2개 이상의 작업 공간 분리 장치를 서로 연결할 때 사용된다. 바람직하게는 인접한 다른 작업 공간 분리 장치와 탈착이 용이하도록 상기 측면체결수단(109)은 벨크로 테입(velcro tape)으로 한다.In addition, the working space separating apparatus of the present embodiment may be provided with side fastening means 109 on the side of the separation membrane (101). The side fastening means 109 is fixed to the side of the separation membrane 101, when the two or more workspace separation devices are connected to each other when the width of the separated workspace is not able to close the separated space with one separator Used. Preferably, the side fastening means 109 is made of velcro tape to facilitate detachment from other adjacent work space separation devices.
도 2는 본 실시예에 따른 고정수단을 도시한 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing the fixing means according to the present embodiment.
도 2를 참조하면, 고정수단이 분리막 및 와이어 레일을 파지하여 작업 공간의 천정부분에 배치된 에어필터(208) 하단에 고정된다. 상기 고정수단은 체결수단(202), 스프링(206) 및 홀더(204)를 구비한다.2, the fixing means is fixed to the bottom of the air filter 208 disposed on the ceiling of the working space by holding the separator and the wire rail. The fastening means has a fastening means 202, a spring 206 and a holder 204.
체결수단(202)은 바람직하게는 구동볼로 구성되며, 와이어 레일(103)과 연결되어 분리막(101)을 파지하고 있는 와이어 레일(103)의 측면운동이 가능하게 한다. 또한, 구동볼로 구성된 체결수단(202)은 홀더(204)의 하단 부분에 부착된다.Fastening means 202 is preferably composed of a drive ball, and is connected to the wire rail 103 to enable the lateral movement of the wire rail 103 holding the separation membrane 101. In addition, the fastening means 202 consisting of a drive ball is attached to the lower portion of the holder 204.
홀더(204)는 고정수단의 외형을 이루며, 바람직하게는 대략 집게 형상을 하며, 에어 필터(208) 하단에 위치하는 체결부(210)에 고정된다. 또한, 상기 체결부(210)와 탈착이 용이하도록 구성되어야 한다.The holder 204 forms the outer shape of the fixing means, preferably has a tong shape, and is fixed to the fastening portion 210 positioned at the bottom of the air filter 208. In addition, the fastening portion 210 and should be configured to facilitate the removal.
이러한 홀더(204)의 탈착의 용이성을 확보하기 위해, 홀더(204) 내부에 스프링(206)을 구비한다. 스프링(206)은 홀더(204)가 체결부(210)에 부착될 때, 홀더에 압축력을 공급하기 위한 것이다.In order to ensure ease of detachment of the holder 204, a spring 206 is provided inside the holder 204. The spring 206 is for supplying a compressive force to the holder when the holder 204 is attached to the fastening portion 210.
상술한 실시예에 따른 작업 공간 분리 장치는 간편한 형태로 작업이 진행되어 작업 공간의 분리가 단시간에 이루어지도록 한다. 또한, 분리된 공간을 용이하게 폐쇄할 수 있으므로 작업영역의 분리 부분에서 공기가 유입/유출되어 공정지역의 오염이 발생하는 현상을 방지할 수 있다.The work space separating apparatus according to the above-described embodiment allows the work to proceed in a simple form so that the work space is separated in a short time. In addition, since the separated space can be easily closed, it is possible to prevent the phenomenon of contamination of the process area due to the inflow / outflow of air in the separation portion of the work area.
실시예 2Example 2
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 작업 공간 분리 방법을 도시한 플로우 차트이다.3 is a flowchart illustrating a method of separating a workspace according to a second embodiment of the present invention.
도 3을 참조하면, 청정실 내에서 새로운 생산설비의 도입 또는 생산설비의 이동에 의해 발생하는 작업 공간 분리의 방법이 도시된다.Referring to FIG. 3, a method of separating work spaces caused by the introduction of new production equipment or the movement of production equipment in a clean room is shown.
먼저, 도입이 예정된 생산설비의 예정위치를 확보한다(단계 10). 상기 예정위치의 확보는 생산설비가 도입되고 설치될 공간을 확보하는 것이다. 청정실 내의 상황에 따라 기존의 설비를 제거할 수도 있으며, 새롭게 공간을 확장하는 경우도 있을 수 있다.Firstly, a predetermined position of a production facility to be introduced is secured (step 10). Securing the predetermined position is to secure the space in which the production equipment is introduced and installed. Depending on the situation in the clean room, existing facilities may be removed, or new spaces may be expanded.
확보된 예정위치를 다른 공간과 분리하고 폐쇄하기 위해 작업 공간 분리 장치를 설치한다(단계 20). 생산설비의 도입을 위해서는 생산 설비가 위치하는 영역인 서비스지역을 분리 및 폐쇄하여야한다. 이를 위하여, 서비스지역을 포함하고 공정지역의 일부까지 확장하여 작업 공간 분리 장치를 설치하여 작업 공간을 분리한다. 분리된 작업 공간 내에는 설비가 위치하게될 서비스지역 및 서비스지역 전면의 일부 공정지역이 포함된다. 본 단계에서는 서비스지역과 공정지역을 분리하는 기존의 파티션은 그대로 유지된 상태에 있다.A work space separating device is installed to separate and close the reserved scheduled position from the other space (step 20). In order to introduce production facilities, service areas, which are areas where production facilities are located, must be separated and closed. To this end, the work area is separated by installing a work space separating device including the service area and extending to a part of the process area. The separate working space includes the service area where the facility will be located and some process areas in front of the service area. At this stage, the existing partition separating the service area and the process area remains intact.
작업 공간 분리 장치의 설치가 완료되면, 기존의 파티션을 제거한다(단계 30). When installation of the workspace separator is complete, remove the existing partition (step 30).
계속해서, 분리된 작업 공간내로 생산설비를 반입하고 확보된 예정위치에 생산설비를 위치시킨다(단계 40). 본 발명에 따른 작업 공간 분리 장치는 탈/부착이 용이한 수단을 구비하고 있으므로, 설치에 필요한 작업 시간을 단축할 수 있다.Subsequently, the production equipment is brought into a separate work space and the production equipment is positioned at the reserved position (step 40). Since the working space separating apparatus according to the present invention includes a means for attaching and detaching easily, the work time required for installation can be shortened.
이어서, 제거된 파티션을 재설치한다(단계 50). 분리된 작업 공간의 정위치에 설치된 생산설비의 성능 점검 및 셋-업은 파티션을 재설치한 후 또는 파티션의 재설치 이전에 할 수 있겠으나, 바람직하게는 상기 파티션의 재설치전에 한다.Then, remove the removed partition (step 50). Performance checks and set-ups of the production equipment installed in place in the separated work space may be performed after the partition is reinstalled or before the partition is reinstalled, but preferably before the partition is reinstalled.
파티션의 재설치가 완료되면, 작업 공간 분리 장치를 제거한다(단계 60). 본 실시예에 의한 작업 공간 분리 장치는 탈/부착이 용이하므로 제거시의 오염발생을 최소화 할 수 있으며, 빠른 시간에 작업이 완료될 수 있다.When the reinstallation of the partition is complete, remove the workspace separator (step 60). Working space separation apparatus according to this embodiment can be easily removed / attached to minimize the occurrence of contamination during removal, the work can be completed in a short time.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 탈/부착이 용이하고 부착후에도 이동이 가능한 작업 공간 분리 장치에 의해 청정실 내에서의 생산 설비의 이동에 따른 오염의 발생을 최소화하여 웨이퍼의 수율을 향상시키고, 청정실 내의 환경 요인들을 적절하게 조절할 수 있다.According to the present invention as described above, by the work space separation device that is easy to remove / attach and move even after attachment to minimize the occurrence of contamination due to the movement of the production equipment in the clean room to improve the yield of the wafer, Environmental factors can be adjusted accordingly.
또한, 본 발명에 따르면, 단기간에 작업 공간의 분리 및 생산설비의 반입이 수행되므로 설치에 소요되는 작업 시간을 단축할 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있다.In addition, according to the present invention, since the separation of the work space and the carrying in of production facilities are performed in a short time, the work time required for installation can be shortened, thereby improving productivity.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described above with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be variously modified and changed within the scope of the invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below I can understand that you can.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 작업 공간 분리 장치의 평면도이다.1 is a plan view of a workspace separation apparatus according to a first embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 고정수단을 도시한 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing the fixing means according to the first embodiment of the present invention.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 작업 공간 분리 방법을 도시한 플로우 차트이다.3 is a flowchart illustrating a method of separating a workspace according to a second embodiment of the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
101 : 분리막 103 : 와이어 레일101: separator 103: wire rail
105 : 고정수단 107 : 고정클립105: fixing means 107: fixing clip
109 : 측면체결수단 202 : 체결수단109: side fastening means 202: fastening means
204 : 홀더 206 : 스프링204: holder 206: spring
208 : 에어필터 210 : 체결부208: Air filter 210: Fastening part
Claims (7)
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|---|---|---|---|
| KR1020030053379A KR20050014954A (en) | 2003-08-01 | 2003-08-01 | Apparatus for isolating working area in the cleanroom and Method for the same |
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Publications (1)
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|---|---|
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
| Country | Link |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101378776B1 (en) * | 2012-08-17 | 2014-03-27 | (주)케이코아 | Safety Net of Cleanroom |
-
2003
- 2003-08-01 KR KR1020030053379A patent/KR20050014954A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR101378776B1 (en) * | 2012-08-17 | 2014-03-27 | (주)케이코아 | Safety Net of Cleanroom |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |