KR20050005043A - Air pressure levitating conveyer - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A pneumatic conveyor is provided to increase the productivity, and to cut down manufacturing cost by stably lifting and transferring the fragile member such as the semiconductor wafer with even pressure. CONSTITUTION: A pneumatic conveyor is composed of plural manifolds(10), blocks(20) and rollers(30) installed in the upper parts and the sides of the manifolds. Plural restrictors are formed in the upper part of the manifold, and plural air pockets are mounted in the upper part of the manifold to evenly supply air from the restrictors of the manifold. A large and thin plate is lifted by using the air pockets, and transferred by using the rollers. The large and thin plates are arranged in multiple rows, and compressed air is supplied evenly to the plates by using the air pump. An air passage(11) is formed in the lower part of the manifold to flow compressed air from the air pump.

Description

공압 컨베이어{AIR PRESSURE LEVITATING CONVEYER}Pneumatic Conveyor {AIR PRESSURE LEVITATING CONVEYER}

본 발명은 면적이 넓으면서 두께가 얇은 판형 부재를 이송시키는 컨베이어에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 이송시 발생되는 부재의 파손과 변형을 줄일 수 있도록 부재 전체에 실질적 균일한 압력을 가하여 소정 높이로 부상시키고 부상된 부재를 이송시키는 공압 컨베이어에 관한 것이다.The present invention relates to a conveyor for conveying a thin plate-shaped member having a large area, and more particularly, to a predetermined height by applying a substantially uniform pressure to the entire member so as to reduce breakage and deformation of the member. And a pneumatic conveyor for conveying the floated member.

공압 컨베이어는 압축공기의 압력을 이용하여 물체를 부상시킨 후 적절한 가감속장치를 사용하여 부상된 물체를 이송하는 장비로서, 제품 및 원료의 이송에 널리 사용되고 있으며, 제품 및 원자재의 형상에 따라 다양한 공압 컨베이어 구조가 개발되어 있다.A pneumatic conveyor is a device that transfers an injured object by using an appropriate acceleration / deceleration device after injuring an object by using the pressure of compressed air.It is widely used for conveying products and raw materials, and various pneumatic pressures depending on the shape of products and raw materials. Conveyor structures have been developed.

독일특허 제19917143 A1호는 이송시키려는 판형 부재의 부상을 위하여 원형의 구멍과 유량조절장치를 가지는 구조로 되어 있다. 그런데, 이 발명에서는 원형의 구멍으로부터 거리가 멀어질수록 공기의 압력이 떨어지므로 부재밑면에 일정한 압력을 발생시킬 수 없었다. 이에 따라, 부재가 위와 같은 불균형한 압력에 의해 변형되고, 경우에 따라 컨베이어몸체에 부딪혀 파손되는 문제점이 있었다.German Patent No. 19917143 A1 has a structure having a circular hole and a flow control device for the floating of the plate member to be conveyed. By the way, in this invention, since the pressure of air falls as the distance from a circular hole becomes large, it was not able to generate a constant pressure on the bottom surface of a member. Accordingly, there is a problem that the member is deformed by such an unbalanced pressure, and in some cases, the member hits the conveyor body and is broken.

다른 예로서 일본특허출원번호 제1999021713호에는, 분말과 같은 원자재를 이송하기 위한 공압 컨베이어가 개시되어 있다. 이 장치는 U형상의 굽은 판과 이를 부상시키기 위한 공기채널 및 구멍을 구비하고 있다. 그러나 이 발명에서 제시하고 있는 구조는 굽은 판에 한하여 적용이 가능하므로 판형 부재를 이송하는 경우에는 적합하지 않다.As another example, Japanese Patent Application No. 1999021713 discloses a pneumatic conveyor for transferring raw materials such as powder. The device has a U-shaped bent plate with air channels and holes for floating it. However, the structure proposed in the present invention can be applied only to a curved plate, so it is not suitable for conveying a plate member.

또 다른 예는 유럽특허 출원번호 제0905064 A1에 개시된 공압 컨베이어로서, 다수의 반도체칩을 이송시키기 위한 공압 컨베이어이다. 이 발명에서는 반도체칩이 이송되는 통로에 수개의 구멍을 형성하고 이 구멍을 통해 압축공기를 공급하여 반도체 칩을 이송시킨다. 그러나, 이 발명 역시 통로에 형성된 작은 구멍을 통해 압축공기를 공급하므로 두께가 얇으면서 넓은 면적을 갖는 부재에 적용할 경우, 앞에 설명한 바와 같이 균일하지 않은 압력분포로 인한 문제점이 예상된다.Another example is a pneumatic conveyor disclosed in European Patent Application No. 0905064 A1, which is a pneumatic conveyor for transferring a plurality of semiconductor chips. In the present invention, several holes are formed in a passage through which the semiconductor chips are transferred, and compressed air is supplied through the holes to transfer the semiconductor chips. However, this invention also supplies compressed air through a small hole formed in the passage, so when applied to a member having a thin area and a large area, a problem due to uneven pressure distribution as described above is expected.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 넓은 면적을 갖는 부재에 균일한 압력을 가하여 부상시키고 별도의 이송장치를 통해 이송시킴으로써 반도체 웨이퍼와 같이 파손되기 쉬운 부재를 안전하게 이송시킬 수 있는 공압 컨베이어를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made in view of the above-described problems, by applying a uniform pressure to a member having a large area to rise and transport through a separate transfer device pneumatic pressure that can safely transport the fragile member, such as a semiconductor wafer The purpose is to provide a conveyor.

도 1은 종래 공압 컨베이어의 사용상태 단면도이고,1 is a cross-sectional view of a state of use of a conventional pneumatic conveyor,

도 2는 본 발명 공압 컨베이어에 따른 한 실시예의 사시도를 도시한 것이며,Figure 2 shows a perspective view of one embodiment according to the present invention pneumatic conveyor,

도 3은 도 2에 도시된 본 발명에 따른 부상수단의 부분단면도를 도시한 것이고,Figure 3 shows a partial cross-sectional view of the floating means according to the invention shown in Figure 2,

도 4는 도 3에 도시된 부상수단의 다른 실시예를 도시한 것이며,Figure 4 shows another embodiment of the floating means shown in Figure 3,

도 5a와 5b는 본 발명의 한 실시예에 따른 사용상태를 개략적으로 나타낸 것이고,5a and 5b schematically show a state of use according to an embodiment of the present invention,

도 6은 본 발명에 따른 다른 실시예의 사시도를 도시한 것이며,6 shows a perspective view of another embodiment according to the invention,

도 7은 도 6에 도시된 실시예에 따른 공기분사노즐과 진공흡착부를 갖는 노즐장치를 도시한 것이고,FIG. 7 illustrates a nozzle apparatus having an air spray nozzle and a vacuum suction unit according to the embodiment of FIG. 6.

도 8은 도 7에 도시된 노즐장치의 다른 실시예를 도시한 것이다.FIG. 8 shows another embodiment of the nozzle device shown in FIG. 7.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>

10 : 매니폴드 11 : 공기통로10: manifold 11: air passage

12 : 리스트릭터 13 : 지지벽12: List 13: Support Wall

20 : 블록 30 : 롤러20: block 30: roller

31 : 벨트 40 : 노즐장치31: belt 40: nozzle device

41 : 진공라인 42 : 가속공기노즐41: vacuum line 42: accelerated air nozzle

43 : 감속공기노즐 44 : 흡착판43: reduced air nozzle 44: adsorption plate

45 : 결합홈 55 : 직선형전동기45: coupling groove 55: linear motor

60 : 가이드부재 61 : 안내홈60: guide member 61: guide groove

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 판형 부재를 이송시키기 위한 공압 컨베이어로서, 복수개의 리스트릭터(Restrictor)가 윗면에 형성된 매니폴드와; 이 매니폴드 위에 설치되어 매니폴드의 리스트릭터로부터 공급된 공기를 전체 단면에 걸쳐 실질적으로 균일한 압력으로 상방으로 공급되도록 하는 복수개의 공기포켓과; 이 복수개의 공기포켓에 의해 띄워진 판형 부재를 이송시키는 이송장치를 포함한다.The present invention for achieving the above object is a pneumatic conveyor for conveying a plate-like member, a plurality of restrictors (Restrictor) formed on the upper surface; A plurality of air pockets installed on the manifold to supply air supplied from the restrictor of the manifold upwardly at a substantially uniform pressure over the entire cross section; And a conveying device for conveying the plate member floated by the plurality of air pockets.

이하, 본 발명의 실시예를 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 사용상태 사시도를 도시한 것으로서, 본 발명의 공압 컨베이어는 수개의 매니폴드(10)와 이 매니폴드(10)의 상부와 측면에 각각 설치되는 블록(20)과 롤러(30)로 이루어져 있다.2 is a perspective view illustrating a state of use according to an embodiment of the present invention, in which the pneumatic conveyor of the present invention is provided with several manifolds 10 and blocks 20 installed on upper and side surfaces of the manifolds 10, respectively. ) And the roller 30.

매니폴드(10)는 컨베이어의 길이방향을 따라 형성되며 판형 부재(100)의 너비방향으로 균일하게 압축공기를 분사할 수 있도록 컨베이어의 폭방향으로 다열로 설치된다. 압축공기는 별도로 구비된 공기펌프(도시되어 있지 않음)로부터 매니폴드(10)로 공급된다.Manifold 10 is formed along the longitudinal direction of the conveyor is installed in multiple rows in the width direction of the conveyor so as to spray compressed air uniformly in the width direction of the plate-shaped member 100. Compressed air is supplied to the manifold 10 from a separately provided air pump (not shown).

매니폴드(10)의 하부에는 도 3에 도시된 바와 같이 공기펌프로부터 공급된 압축공기가 이동되는 공기통로(11)가 형성되어 있으며, 윗면에는 상기 공기통로(11)를 따라 공급된 압축공기가 배출되는 리스트릭터(12)가 일정간격으로 형성되어 있다. 한편, 상기 리스트릭터(12)가 형성된 매니폴드(10)의 윗면에는 상향 돌출된 지지벽(13)이 사방으로 형성되어 있다. 상기 지지벽(13)에 의해 둘러쌓인 공간에는 리스트릭터(12)를 각각 격리시켜 공기포켓을 형성하는 'ㄷ'자 형상의 블록(20)이 리스트릭터(12)의 수만큼 배열 설치된다.An air passage 11 through which the compressed air supplied from the air pump is moved is formed in the lower part of the manifold 10, and the compressed air supplied along the air passage 11 is provided on the upper surface of the manifold 10. The discharger 12 discharged is formed at regular intervals. On the other hand, the support wall 13 protruding upward is formed on the upper surface of the manifold 10 on which the restrictor 12 is formed. In the space enclosed by the support wall 13, 'c' shaped blocks 20 which form an air pocket by isolating the restrictors 12 are arranged as many as the number of the restrictors 12.

블록(20)은 블록(20)에 의해 형성되는 가상면의 중앙에 각각의 리스트릭터(12)가 위치되도록 배열되는 것이 바람직하다. 이와 같이 매니폴드(10) 위에 설치되어 공기포켓을 형성하는 블록(20)의 형태는 도 4의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이 박스형 혹은 판형도 가능하다. 다만, 지지벽(13)에 의해 형성된 공간을 상기 리스트릭터(12)의 수만큼 동일한 면적으로 배분할 수 있으면 충분하다. 한편, 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이 블록(20)이 판형일 때에는 매니폴드(10)에 고정 결합되는 것이 용이하지 않으므로, 이 경우에는 매니폴드(10)의 지지벽(13)에 판형의 블록이 고정 결합될 수 있도록 끼움 홈을 형성시키는 것이 바람직하다. 한편, 각 공기포켓의 단면적은 공기압이 균일하게 형성되도록 결정되며, 각 공기포켓에는 2개 이상의 리스트릭터(12)가 제공될 수 있다.The block 20 is preferably arranged such that each of the restrictors 12 is positioned at the center of the virtual surface formed by the block 20. As such, the shape of the block 20 installed on the manifold 10 to form an air pocket may be a box or plate as shown in FIGS. 4A and 4B. However, it is sufficient that the space formed by the support wall 13 can be distributed in the same area as the number of the restrictors 12. On the other hand, as shown in (b) of FIG. 4, when the block 20 is plate-shaped, it is not easy to be fixedly coupled to the manifold 10, in this case, to the support wall 13 of the manifold 10 It is preferable to form fitting grooves so that the plate-shaped blocks can be fixedly coupled. On the other hand, the cross-sectional area of each air pocket is determined so that the air pressure is formed uniformly, two or more restrictors 12 may be provided in each air pocket.

이송수단인 롤러(30)는 위와 같이 다열로 배치된 매니폴드(10) 중, 가장자리에 위치한 매니폴드(10)의 외측에 일정간격으로 배열 설치된다. 이들 롤러(30)는, 예를 들어 구동장치(도시되어 있지 않음)와 연결된 벨트(31)에 의해 모두 동일한 방향으로 회전된다. 롤러(30)는 매니폴드(10)에 결합된 지지대에 회전가능하게 축결합되며, 롤러(30)의 내측에는 벨트(31)와 면접촉하는 풀리(도시되지 않음)가 결합되어 있다.The roller 30, which is a conveying means, is arranged at regular intervals on the outside of the manifold 10 located at the edge of the manifolds 10 arranged in a row as described above. These rollers 30 are all rotated in the same direction by, for example, a belt 31 connected with a driving device (not shown). The roller 30 is rotatably axially coupled to a support coupled to the manifold 10, and a pulley (not shown) in surface contact with the belt 31 is coupled to the inside of the roller 30.

도 5a와 5b는 위와 같은 방법으로 구성된 매니폴드(10)의 사용상태 단면 및 측면도를 나타낸 것으로, 매니폴드(10)의 내부에는 공기펌프를 통해 압축공기가 공급된다. 공기펌프에 의해 공급된 압축공기는 공기통로(11)를 통해 매니폴드(10) 내부를 따라 이동되고, 매니폴드(10)의 윗면에 형성된 수개의 리스트릭터(12)를 통해 일정한 유량의 압축 공기가 외부로 배출된다. 리스트릭터(12)를 통해 배출된 압축공기는 블록(20)으로 둘러 싸여진 공간(이하, '공기포켓' 이라 함)에 축적된다. 이때, 상기 공기포켓의 공기축적은 매니폴드(10)의 내부압력과 실질적으로 같아질 때까지 이루어진다.5A and 5B are cross-sectional views and side views of a state of use of the manifold 10 configured as described above, and the compressed air is supplied to the inside of the manifold 10 through an air pump. The compressed air supplied by the air pump is moved along the inside of the manifold 10 through the air passage 11, and the compressed air at a constant flow rate through several restrictors 12 formed on the upper surface of the manifold 10. Is discharged to the outside. Compressed air discharged through the restrictor 12 is accumulated in a space surrounded by the block 20 (hereinafter, referred to as an “air pocket”). At this time, the air accumulation of the air pocket is made until substantially equal to the internal pressure of the manifold (10).

이때, 상기 공기포켓의 상부에는 판형 부재(100)가 얹어져 있으므로, 판형 부재(100)를 기준으로 판형 부재(100)의 윗쪽과 판형 부재(100)의 아랫쪽 공기포켓과 압력차이가 발생된다. 따라서, 이러한 압력차에 의해 발생된 힘이 매니폴드(10) 위에 얹어진 판형 부재(100)를 위로 부상하게 만든다. 한편, 블록(20)에 의해 형성된 공기포켓은 종래와 다른 작용효과를 가져오는데 이를 설명하면 다음과 같다.At this time, since the plate-shaped member 100 is mounted on the upper portion of the air pocket, a pressure difference is generated between the upper portion of the plate-shaped member 100 and the lower air pocket of the plate-shaped member 100 based on the plate-shaped member 100. Thus, the force generated by this pressure difference causes the plate-shaped member 100 mounted on the manifold 10 to rise upward. On the other hand, the air pocket formed by the block 20 has a different effect than the conventional one described as follows.

종래기술은 도 1에 도시된 바와 같이 매니폴드(10) 내부에 있는 압축공기가 지름이 작은 리스트릭터를 통해 배출된 후 바로 이 리스트릭터 위에 얹어진 판형 부재에 압력을 가하는 구조였다. 때문에, 판형 부재에 작용되는 압력분포는 도 1과 같은 형태를 나타나게 된다. 따라서 압력을 받는 부분이 매우 극소부분에 한정되어 강성이 약한 얇은 판형 부재의 경우 변형이 크게 발생된다.As shown in FIG. 1, the compressed air inside the manifold 10 is discharged through a small diameter restrictor, and a pressure is applied to the plate member immediately mounted on the restrictor. Therefore, the pressure distribution acting on the plate-like member will appear as shown in FIG. Therefore, the portion under pressure is very limited to a very small portion, and deformation is large in the case of a thin plate-shaped member having a weak rigidity.

반면, 본 발명에서는 지름이 작은 리스트릭터(12) 위에 블록(20)에 의해 격리된 공기포켓이 형성되어 있다. 이 공기포켓은 앞에서 언급한 바와 같이매니폴드(10)에서 유입되는 압축공기에 의해 일정한 압력(이때, 발생되는 압력은 대기압보다 크다)을 갖는다. 그리고, 매니폴드(10)를 통해 공급되는 압축 공기량이 증가하여 공기포켓 내부의 압력이 판형 부재(100)의 자중에 의한 압력보다 커지게 되면, 상기 판형 부재(100)를 부상시킨다. 이때, 판형 부재(100)를 부상시키는 힘은 공기포켓에 채워져 있던 압축공기의 형성된 압력이므로, 도 5a 도시된 바와 같이 판형 부재에 균일하게 작용된다. 따라서, 종래와 달리 판형 부재에 전달되는 압력 구배가 발생하지 않아 판형 부재의 변형을 크게 줄일 수 있다. 상기 리스트릭터에는 매니폴드에서 공급된 압축공기가 더욱 균일한 압력으로 분사될 수 있도록 다공성 물질이 삽입될 수 있다.On the other hand, in the present invention, the air pocket isolated by the block 20 is formed on the small diameter 12. This air pocket has a constant pressure (in this case, the pressure generated is greater than atmospheric pressure) by the compressed air flowing from the manifold 10 as mentioned above. When the amount of compressed air supplied through the manifold 10 increases and the pressure inside the air pocket becomes greater than the pressure due to the weight of the plate member 100, the plate member 100 is floated. At this time, the force for floating the plate member 100 is the pressure formed in the compressed air that is filled in the air pocket, it is uniformly applied to the plate member as shown in Figure 5a. Therefore, unlike the related art, a pressure gradient transmitted to the plate member does not occur, thereby greatly reducing deformation of the plate member. The rectifier may be inserted with a porous material so that the compressed air supplied from the manifold can be injected at a more uniform pressure.

한편, 매니폴드(10)의 측면에는 앞서 설명한 바와 같이 수개의 롤러(30)가 설치되어 있는데, 그 회전궤적이 블록(20)의 끝보다 높게 설치되어 있다. 이렇게 설치되는 롤러(30)는 구동장치와 벨트에 의해 연결되어 있어, 압축공기의 압력에 의해 부상된 판형 부재를 일정방향으로 이동시킨다.On the other hand, the side of the manifold 10 is provided with several rollers 30 as described above, the rotational trajectory is provided higher than the end of the block 20. The roller 30 installed in this way is connected by a drive device and a belt, and moves the plate member floated by the pressure of compressed air in a predetermined direction.

도 6은 본 발명에 따른 다른 실시예의 사시도를 도시한 것이고, 도 7은 이에 따른 이송수단인 노즐장치를 도시한 것으로서, 전술한 실시예와 달리 본 실시예에서는 판형 부재를 이송시키는 이송수단으로 노즐장치가 사용되고 있다.Figure 6 shows a perspective view of another embodiment according to the present invention, Figure 7 shows a nozzle device that is a transfer means according to this, unlike the above embodiment in the present embodiment the nozzle as a transfer means for transferring the plate-like member The device is in use.

컨베이어의 좌우양단에는 측면에 안내홈(61)이 형성된 가이드부재(60)가 결합되어 있으며, 노즐장치(40)가 상기 안내홈(61)을 따라 자유롭게 움직인다.Guide members 60 having guide grooves 61 formed on side surfaces thereof are coupled to both left and right ends of the conveyor, and the nozzle device 40 moves freely along the guide grooves 61.

상기 노즐장치(40)는 도 7에 도시된 바와 같이 진공라인(41)과가속공기노즐(42) 및 감속공기노즐(43)이 결합 설치되어 있으며, 안내홈(61)과 결합되는 부위에는 노즐장치(40)가 안내홈(61)을 따라 자유롭게 움직이되 이탈되지 않도록 결합홈(45)이 형성되어 있다.As shown in FIG. 7, the nozzle device 40 includes a vacuum line 41, an acceleration air nozzle 42, and a deceleration air nozzle 43, which are coupled to the guide groove 61. Coupling groove 45 is formed so that the device 40 moves freely along the guide groove 61, but is not separated.

또한, 노즐장치(40)의 상부면에는 판형 부재(100)가 충격 없이 안착되면, 밀착된 주위로 외부공기가 유입 혹은 배출되지 않도록 고무재질로 된 흡착판(44)이 결합되어 있다. 상기 흡착판(44)은 진공라인(41)의 바로 상단에 결합되어 있다.In addition, when the plate member 100 is seated without impact, the upper surface of the nozzle device 40 is coupled to the adsorption plate 44 made of rubber material so that external air does not flow into or out of close contact. The adsorption plate 44 is coupled directly to the top of the vacuum line 41.

판형 부재(100)의 파지장치인 진공라인(41)은 진공펌프(도시되어 있지 않음)와 연결되어 있으며, 이송수단인 가속공기노즐(42)과 감속공기노즐(43)은 공기펌프와 연결되어 있다.The vacuum line 41 which is a holding device of the plate member 100 is connected to a vacuum pump (not shown), and the acceleration air nozzle 42 and the reduction air nozzle 43, which are transfer means, are connected to the air pump. have.

따라서, 판형 부재(100)가 흡착판(44) 위에 놓여지면, 진공라인(41)에 의해 흡착판(44)과 판형 부재(100)사이의 공간이 진공상태가 되어 판형 부재(100)가 노즐장치(40)에 단단히 고정된다. 판형 부재(100)가 노즐장치(40)에 고정되면, 노즐장치(40) 후면에 설치결합된 가속공기노즐(42)을 통해 공기가 분사되고 이에 따라 노즐장치(40)와 이 노즐장치(40)에 부착 고정된 판형 부재(100)가 전진하게 된다.Therefore, when the plate member 100 is placed on the suction plate 44, the space between the suction plate 44 and the plate member 100 is vacuumed by the vacuum line 41, and the plate member 100 is connected to the nozzle device ( 40) is firmly fixed. When the plate member 100 is fixed to the nozzle device 40, air is injected through the accelerated air nozzle 42 installed at the rear of the nozzle device 40, and thus, the nozzle device 40 and the nozzle device 40. The plate-shaped member 100 attached to and fixed) is advanced.

가속공기노즐(42)에 의해 노즐장치(40)가 전진운동을 계속하여 가이드부재(60)의 반대편 끝에 이르면, 공기흡입을 위해 정회전하던 진공펌프가 역회전하여 처음과 달리 진공라인(41)을 통해 공기가 배출한다. 이에 따라 흡착판(44)과 판형 부재(100) 사이의 진공상태는 해제되고, 판형 부재(100)는 자연스럽게 노즐장치(40)부터 이탈하게 된다. 판형 부재(100)가 노즐장치(40)로부터 이탈되면, 노즐장치(40) 전면에 설치된 감속공기노즐(43)을 통해 공기가 분사되어 노즐장치(40)가 처음 위치로 돌아오게 된다.When the nozzle device 40 continues to move forward by the accelerated air nozzle 42 and reaches the opposite end of the guide member 60, the vacuum pump which is rotated forward for air suction rotates in reverse and the vacuum line 41 is different from the beginning. Through the air exhaust. As a result, the vacuum state between the suction plate 44 and the plate member 100 is released, and the plate member 100 is naturally separated from the nozzle device 40. When the plate member 100 is separated from the nozzle device 40, air is injected through the deceleration air nozzle 43 installed on the nozzle device 40 and the nozzle device 40 returns to the initial position.

한편, 노즐장치(40)의 위와 같은 반복동작은, 가이드부재(60) 양 끝에 설치되는 리미트스위치(도시되어 있지 않음)가 노즐장치(40)의 위치를 감지하고 필요에 따라 진공펌프와 공기펌프를 작동시킴으로써 이루어진다.On the other hand, the repeating operation as described above of the nozzle device 40, the limit switch (not shown) installed at both ends of the guide member 60 detects the position of the nozzle device 40 and, if necessary, the vacuum pump and air pump By working.

판형 부재(100)와 결착되는 노즐장치(40)의 수는 통상 2 ~ 4개 정도면 충분한데, 이는 앞에 설명한 바와 같이 판형 부재(100)가 매니폴드(10)에서 분사되는 압축공기에 의해 소정 높이로 부상된 상태이므로, 노즐장치(40)는 단순히 판형 부재(100)를 이송시키는 수단으로만 사용되기 때문이다.The number of nozzle devices 40 to be bound to the plate member 100 is usually about 2 to 4, which is sufficient as the compressed air in which the plate member 100 is injected from the manifold 10 as described above. This is because the nozzle apparatus 40 is used only as a means for conveying the plate member 100 because it is in a state of being floated at a height.

도 8은 도 7에 도시된 노즐장치의 다른 실시예를 도시한 것으로서, 노즐장치(40)가 판형 부재(100)와 결합하기 위한 수단으로 흡착판(44)과 진공라인(41)을 구비하고 있는 것은 동일하나, 이 노즐장치(40)가 판형 부재(100)를 이송시키는 수단으로 직선형전동기(55: Linear Motor)를 사용하고 있는 점이 앞의 실시예와 다르다.FIG. 8 shows another embodiment of the nozzle device shown in FIG. 7, in which the nozzle device 40 includes a suction plate 44 and a vacuum line 41 as a means for engaging the plate member 100. The same thing is different from the previous embodiment in that the nozzle device 40 uses a linear motor 55 as a means for conveying the plate member 100.

직선형전동기(55)는 노즐장치(40)의 밑면에 설치 결합되어 노즐장치(40)가 가이드부재(60)의 안내홈(61)을 따라 앞뒤로 이동할 수 있게 한다. 이때, 가이드부재(60)의 안내홈(61)에는 자장이 형성되는 평면의 고정부(stator)가 설치결합되어, 상기 직선형전동기(55)가 원활히 작동될 수 있도록 도와준다.The linear motor 55 is installed and coupled to the bottom of the nozzle device 40 to allow the nozzle device 40 to move back and forth along the guide groove 61 of the guide member 60. At this time, the guide groove 61 of the guide member 60 is installed and coupled to the flat stator (stator) of the plane in which the magnetic field is formed, thereby helping to operate the linear motor 55 smoothly.

이상에서 이송수단으로 공기분사노즐과 직선형전동기를 이용한 노즐장치에 관하여 설명하였으나, 벨트와 도르래를 이용한 무한궤도장치를 사용할 수 있다. 아울러, 판형 부재가 운반되는 이송거리에 따라 일정길이의 매니폴드를 직렬로 배치하고 이에 따른 공기공급배관을 연결하여, 매니폴드가 길어짐에 따라 발생될 수 있는 마찰손실과 이로 인한 공기압력의 저하 등을 줄일 수 있다.The nozzle apparatus using the air injection nozzle and the linear motor as the transfer means has been described above, but the endless track apparatus using the belt and the pulley can be used. In addition, by arranging a manifold of a certain length in series and connecting the air supply pipe according to the conveying distance that the plate member is transported, friction loss that can occur as the manifold is longer, resulting in lower air pressure, etc. Can be reduced.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 공압 컨베이어에 따르면, 대면적의 얇은 판의 이송이 가능하고 구조가 간단하여 제조비용이 낮으므로 많은 산업 분야의 생산라인에 적용되어 제품의 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.According to the pneumatic conveyor according to the present invention as described above, it is possible to transfer a large area of the thin plate, the structure is simple and low manufacturing cost can be applied to the production line of many industrial fields can greatly improve the productivity of the product .

이상에서 공압 컨베이어에 대한 기술사상을 첨부도면과 함께 서술하였지만 이는 본 발명의 가장 양호한 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다.The technical idea of the pneumatic conveyor has been described above with the accompanying drawings, but this is by way of example only for describing the best embodiment of the present invention and not for limiting the present invention.

또한, 이 기술분야의 통상의 지식을 가진 자이면 누구나 본 발명의 기술사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.In addition, it is obvious that any person skilled in the art can make various modifications and imitations without departing from the scope of the technical idea of the present invention.

Claims (11)

판형부재를 이송시키기 위한 공압 컨베이어로서, 윗면에 복수개의 리스트릭터(Restrictor)가 형성된 매니폴드와; 이 매니폴드 위에 설치되어 매니폴드의 리스트릭터로부터 공급된 공기를 전체 단면에 걸쳐 실질적으로 균일한 압력으로 공급되도록 하는 복수개의 공기포켓과; 이 복수개의 공기포켓에 의해 띄워진 판형 부재를 이송시키는 이송장치를 포함하는 공압 컨베이어.A pneumatic conveyor for conveying a plate member, comprising: a manifold having a plurality of restrictors formed thereon; A plurality of air pockets installed on the manifold so that the air supplied from the manifold's restrictor is supplied at a substantially uniform pressure over the entire cross section; A pneumatic conveyor comprising a conveying device for conveying a plate member floated by the plurality of air pockets. 청구항 1 에 있어서, 상기 리스트릭터에는 외부로 배출되는 공기가 일정한 속도와 압력을 갖도록 다공성 물질이 삽입되어 있는 것을 특징으로 하는 공압 컨베이어.The pneumatic conveyor according to claim 1, wherein the porous material is inserted into the restrictor so that the air discharged to the outside has a constant speed and pressure. 청구항 1 에 있어서, 상기 매니폴드는 공압 컨베이어의 길이방향으로 형성되며 윗면에 상향 돌출된 지지벽을 구비하는 것을 특징으로 하는 공압 컨베이어.The pneumatic conveyor according to claim 1, wherein the manifold is formed in a longitudinal direction of the pneumatic conveyor and has a support wall protruding upward from the upper surface. 청구항 3 에 있어서, 상기 각 공기포켓은 상기 지지벽에 결착되는 복수개의 'ㄷ'자 형상의 블록에 의하여 한정되는 각 공간인 것을 특징으로 하는 공압 컨베이어.The pneumatic conveyor according to claim 3, wherein each of the air pockets is each space defined by a plurality of 'c' shaped blocks that are fastened to the support wall. 청구항 3 에 있어서, 상기 각 공기포켓은 상기 지지벽에 결착되는 상하면이 개방된 박스형상을 갖는 복수개의 블록에 의하여 한정되는 각 공간인 것을 특징으로 하는 공압 컨베이어.The pneumatic conveyor according to claim 3, wherein each of the air pockets is a space defined by a plurality of blocks having an open upper and lower box shape bound to the support wall. 청구항 3 에 있어서, 상기 각 공기포켓은 상기 지지벽에 매니폴드의 횡방향으로 설치되는 복수개의 칸막이에 의해 한정되는 각 공간인 것을 특징으로 하는 공압 컨베이어.The pneumatic conveyor according to claim 3, wherein each of the air pockets is each space defined by a plurality of partitions provided in the transverse direction of the manifold on the support wall. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서, 상기 이송수단은 구동수단에 의해 회전되는 1개 이상의 롤러인 것을 특징으로 하는 공압 컨베이어.The pneumatic conveyor according to any one of claims 1 to 6, wherein the conveying means is one or more rollers rotated by a driving means. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서, 상기 이송수단은 판형 부재의 표면을 손상시키지 않고 이를 파지하는 파지장치와, 상기 파지장치를 일정궤도로 이송시키는 운송장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 공압 컨베이어.The pneumatic pressure device according to any one of claims 1 to 6, wherein the conveying means comprises a gripping device for holding it without damaging the surface of the plate member, and a conveying device for transferring the gripping device in a constant orbit. conveyor. 청구항 8 에 있어서, 상기 파지장치는 진공흡착부를 갖는 것을 특징으로 하는 공압 컨베이어.The pneumatic conveyor according to claim 8, wherein the holding device has a vacuum suction unit. 청구항 8 에 있어서, 상기 운송장치는 1개 이상의 공기분사노즐을 갖는 것을 특징으로 하는 공압 컨베이어.The pneumatic conveyor according to claim 8, wherein the transport device has one or more air spray nozzles. 청구항 8 에 있어서, 상기 운송장치는 직선형전동기인 것을 특징으로 하는 공압 컨베이어.The pneumatic conveyor according to claim 8, wherein the transport device is a linear motor.
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