KR200497518Y1 - Motor rotor - Google Patents

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KR200497518Y1
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리차드 리 하킨
시바발란 카일라삼
울리케 마르티나 스키너
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Abstract

모터 로터 및 방법이 개시되어 있다. 모터 로터는, 자석 캐리어와, 자석 캐리어에 의해 지지되는 자석과, 자석을 둘러싸는 슬리브와, 자석 캐리어와 슬리브 사이의 공동 내에 자석을 밀봉하도록 위치된 제 1 및 제 2 원주방향 시일을 포함한다. 이러한 방식으로, 자석은 시일과 함께 자석 캐리어 및 슬리브를 재사용함으로써 캡슐화되어, 자석이 작동하는 환경 내의 화학물질로부터 유체적으로 격리되거나 보호된다. 이것은 환경 내의 해로운 화학물질에 의해 야기되는 자석에 대한 손상을 방지하는 것을 돕는다.A motor rotor and method are disclosed. The motor rotor includes a magnet carrier, a magnet supported by the magnet carrier, a sleeve surrounding the magnet, and first and second circumferential seals positioned to seal the magnet within a cavity between the magnet carrier and the sleeve. In this way, the magnet is encapsulated by reusing the magnet carrier and sleeve with a seal, thereby fluidically isolating or protecting the magnet from chemicals within the environment in which it operates. This helps prevent damage to the magnet caused by harmful chemicals in the environment.

Description

모터 로터{MOTOR ROTOR}Motor rotor {MOTOR ROTOR}

본 고안은 모터 로터 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a motor rotor and method.

모터가 알려져 있다. 전기 모터에서, 비회전 부분 또는 스테이터에 대해 회전하는 로터 조립체가 제공된다. 모터의 일 구성에서, 스테이터는 하나 이상의 자석을 갖는 로터 조립체를 둘러싸는 하나 이상의 코일을 포함한다. 코일의 활성화는 로터 조립체가 스테이터 내에서 회전하게 한다.The motor is known. In an electric motor, a rotor assembly is provided that rotates relative to a non-rotating portion or stator. In one configuration of the motor, the stator includes one or more coils surrounding a rotor assembly having one or more magnets. Activation of the coil causes the rotor assembly to rotate within the stator.

미국 특허공개공보 제2007/0140833호US Patent Publication No. 2007/0140833

모터는 유용하지만, 그 작동은 예상치 못한 결과를 초래할 수 있다. 따라서, 개선된 로터를 제공하는 것이 요망된다.Motors are useful, but their operation can have unexpected results. Accordingly, it is desirable to provide an improved rotor.

제 1 태양에 따르면, 자석 캐리어(magnet carrier)와, 자석 캐리어에 의해 지지되는 자석과, 자석을 둘러싸는 슬리브(sleeve)와, 자석 캐리어와 슬리브 사이의 공동(void) 내에 자석을 밀봉하도록 위치된 제 1 및 제 2 원주방향 시일을 포함하는 모터 로터가 제공된다. 제 1 태양은, 환경 내의 화학물질이 로터를 공격하거나 로터의 성능을 저하시킬 수 있는 공격적인 화학적 환경에서 모터를 작동하는 경우에 일어나는 것과 같이 도전적인 환경(challenging environment)에서 모터를 작동하는 경우에, 그 성능을 유지하기 위해 그러한 환경으로부터 자석을 밀봉하는 것이 바람직할 수 있다는 것을 인식하고 있다.According to a first aspect, there is provided a magnet carrier, a magnet supported by the magnet carrier, a sleeve surrounding the magnet, and positioned to seal the magnet within a void between the magnet carrier and the sleeve. A motor rotor is provided that includes first and second circumferential seals. A first aspect is that when operating a motor in a challenging environment, such as occurs when operating the motor in an aggressive chemical environment where chemicals in the environment can attack the rotor or degrade the performance of the rotor, It is recognized that it may be desirable to seal the magnet from such environments to maintain its performance.

따라서, 로터가 제공된다. 로터는 전기 모터용일 수 있다. 로터는 자석 캐리어 또는 홀더를 포함할 수 있다. 로터는 또한 자석 캐리어에 의해 지지되거나 자석 캐리어에 고정된 하나 이상의 자석을 포함할 수 있다. 로터는 또한 그 내부에 자석을 둘러싸거나 수용할 수 있는 슬리브 또는 하우징을 포함할 수 있다. 로터는 또한 적어도 하나, 바람직하게는 한쌍의 원주방향 또는 환형 시일을 포함할 수 있다. 시일은 자석 캐리어와 슬리브 사이에 생성된 공동 또는 개구부 내에 자석을 밀봉하도록 위치될 수 있다. 이러한 방식으로, 자석은 시일과 함께 자석 캐리어 및 슬리브를 재사용함으로써 캡슐화되어, 작동하는 환경 내의 화학물질로부터 유체적으로 격리되거나 보호된다. 이것은 환경 내의 해로운 화학물질에 의해 야기되는 자석에 대한 손상을 방지하는 것을 돕는다.Accordingly, a rotor is provided. The rotor may be for an electric motor. The rotor may include a magnetic carrier or holder. The rotor may also include one or more magnets supported by or secured to a magnet carrier. The rotor may also include a sleeve or housing that may surround or accommodate magnets therein. The rotor may also comprise at least one, preferably a pair of circumferential or annular seals. The seal may be positioned to seal the magnet within a cavity or opening created between the magnet carrier and the sleeve. In this way, the magnets are encapsulated by reusing the magnet carrier and sleeve with a seal, fluidically isolated or protected from chemicals in the operating environment. This helps prevent damage to the magnet caused by harmful chemicals in the environment.

일 실시예에 있어서, 제 1 및 제 2 원주방향 시일은 자석의 축방향 단부에 위치된다. 따라서, 시일은 자석의 양 단부에 위치되거나 배치될 수 있다.In one embodiment, the first and second circumferential seals are located at the axial ends of the magnet. Accordingly, the seal may be positioned or disposed at both ends of the magnet.

일 실시예에 있어서, 자석은 제 1 및 제 2 원주방향 시일 사이에서 축방향으로 연장된다. 따라서, 자석은 시일들 사이에 제공될 수 있다.In one embodiment, the magnet extends axially between the first and second circumferential seals. Accordingly, magnets can be provided between the seals.

일 실시예에 있어서, 자석 캐리어 및 슬리브는 제 1 및 제 2 원주방향 시일을 지나서 축방향으로 연장된다. 따라서, 자석 캐리어 및/또는 슬리브는 시일을 유지하기 위해 시일을 지나서 축방향으로 연장될 수 있다.In one embodiment, the magnet carrier and sleeve extend axially past the first and second circumferential seals. Accordingly, the magnetic carrier and/or sleeve may extend axially past the seal to maintain the seal.

일 실시예에 있어서, 자석 캐리어는 자석 캐리어 상의 축방향 위치에 자석을 위치시키도록 배치된 환형 숄더(annular shoulder)를 갖는다. 따라서, 자석 캐리어는 그 외측면으로부터 반경방향으로 직립하는 숄더 또는 돌출부를 가질 수 있으며, 자석은 자석 캐리어 상의 축방향으로 선택된 위치에 자석을 위치시키도록 숄더 또는 돌출부에 맞닿는다. 이것은 자석을 코일과 정렬시키는 것을 돕는다.In one embodiment, the magnet carrier has an annular shoulder positioned to position the magnet in an axial position on the magnet carrier. Accordingly, the magnet carrier may have a shoulder or protrusion extending radially from its outer surface, and the magnet abuts the shoulder or protrusion to position the magnet at an axially selected position on the magnet carrier. This helps align the magnet with the coil.

일 실시예에 있어서, 제 1 원주방향 시일은 환형 숄더에 근접하게 위치된다. 따라서, 환형 숄더는 제 1 시일에 인접하게 배치되어 제 1 시일을 위치시키는 것을 도울 수 있다.In one embodiment, the first circumferential seal is located proximate the annular shoulder. Accordingly, the annular shoulder may be disposed adjacent the first seal to assist in positioning the first seal.

일 실시예에 있어서, 환형 숄더는 제 1 원주방향 시일을 수용하도록 치수설정된 제 1 원주방향 리세스(recess)를 한정한다. 따라서, 환형 숄더는 원주방향 시일이 안착될 수 있는 자석 캐리어의 외측면 상에 원주방향 홈의 일부분을 적어도 부분적으로 한정하거나 제공할 수 있다.In one embodiment, the annular shoulder defines a first circumferential recess dimensioned to receive a first circumferential seal. Accordingly, the annular shoulder can at least partially define or provide a portion of a circumferential groove on the outer surface of the magnetic carrier into which the circumferential seal can be seated.

일 실시예에 있어서, 자석 캐리어는 제 2 원주방향 시일을 수용하도록 치수설정된 제 2 원주방향 리세스를 한정한다. 자석 캐리어의 외측면 상에 추가적인 원주방향 홈을 제공하는 것은 시일을 제 위치에 유지하는 것을 돕는다.In one embodiment, the magnet carrier defines a second circumferential recess dimensioned to receive a second circumferential seal. Providing additional circumferential grooves on the outer surface of the magnetic carrier helps keep the seal in place.

일 실시예에 있어서, 슬리브는 제 1 및 제 2 원주방향 시일에 의해 유지된다. 따라서, 슬리브는 원주방향 시일 상에 위치되거나 원주방향 시일에 의해 제 위치에 유지되어 슬리브, 자석 및 시일을 제 위치에 유지할 수 있다.In one embodiment, the sleeve is retained by first and second circumferential seals. Accordingly, the sleeve can be placed on the circumferential seal or held in place by the circumferential seal to keep the sleeve, magnet, and seal in place.

일 실시예에 있어서, 슬리브 및 자석 캐리어는 제 1 및 제 2 원주방향 시일을 압축하도록 치수설정된다. 따라서, 시일은 슬리브와 자석 캐리어 사이에 압축 또는 압착되어 이들을 제 위치에 유지하고 자석의 밀봉을 향상시킬 수 있다.In one embodiment, the sleeve and magnetic carrier are dimensioned to compress the first and second circumferential seals. Accordingly, a seal can be compressed or pressed between the sleeve and the magnet carrier to keep them in place and improve the sealing of the magnet.

일 실시예에 있어서, 제 1 및 제 2 원주방향 시일은 포팅 화합물 시일(potting compound seal) 및 O-링 시일 중 적어도 하나를 포함한다.In one embodiment, the first and second circumferential seals include at least one of a potting compound seal and an O-ring seal.

일 실시예에 있어서, 제 1 및 제 2 원주방향 시일은 합성 고무 및 불소 중합체 엘라스토머 화합물(fluoropolymer elastomer compound)을 포함한다.In one embodiment, the first and second circumferential seals include synthetic rubber and a fluoropolymer elastomer compound.

일 실시예에 있어서, 자석은 링 자석을 포함한다.In one embodiment, the magnet includes a ring magnet.

일 실시예에 있어서, 링 자석은 복수의 C자형 자석 세그먼트를 포함한다.In one embodiment, the ring magnet includes a plurality of C-shaped magnet segments.

일 실시예에 있어서, 로터는 자석을 자석 캐리어에 고정하도록 작동가능한 고정부(fixing)를 포함한다.In one embodiment, the rotor includes an operable fixing to secure the magnet to the magnet carrier.

일 실시예에 있어서, 자석은 희토류 자석(rare earth magnet)을 포함한다.In one embodiment, the magnet includes a rare earth magnet.

일 실시예에 있어서, 자석은 철 붕소 및 사마륨 코발트(samarium cobalt)를 포함하는 그룹 중 하나를 포함한다.In one embodiment, the magnet comprises one of the group comprising iron boron and samarium cobalt.

일 실시예에 있어서, 제 1 및 제 2 원주방향 시일은 자석 캐리어와 슬리브 사이의 공동 내에 자석을 기밀하게 밀봉하도록 위치된다.In one embodiment, the first and second circumferential seals are positioned to hermetically seal the magnet within the cavity between the magnet carrier and the sleeve.

제 2 태양에 따르면, 제 1 태양의 모터 로터를 포함하는 진공 펌프가 제공된다.According to a second aspect, there is provided a vacuum pump comprising the motor rotor of the first aspect.

제 3 태양에 따르면, 자석 캐리어를 제공하는 단계와, 자석 캐리어에 의해 지지되는 자석을 제공하는 단계와, 자석을 둘러싸는 슬리브를 제공하는 단계와, 자석 캐리어와 슬리브 사이의 공동 내에 자석을 밀봉하도록 제 1 및 제 2 원주방향 시일을 위치시키는 단계를 포함하는 방법이 제공된다.According to a third aspect, providing a magnet carrier, providing a magnet supported by the magnet carrier, and providing a sleeve surrounding the magnet, sealing the magnet within a cavity between the magnet carrier and the sleeve. A method is provided that includes positioning first and second circumferential seals.

일 실시예에 있어서, 상기 방법은 자석의 축방향 단부에 제 1 및 제 2 원주방향 시일을 위치시키는 단계를 포함한다.In one embodiment, the method includes positioning first and second circumferential seals at axial ends of the magnet.

일 실시예에 있어서, 자석은 제 1 및 제 2 원주방향 시일 사이에서 축방향으로 연장된다.In one embodiment, the magnet extends axially between the first and second circumferential seals.

일 실시예에 있어서, 자석 캐리어 및 슬리브는 제 1 및 제 2 원주방향 시일을 지나서 축방향으로 연장된다.In one embodiment, the magnet carrier and sleeve extend axially past the first and second circumferential seals.

일 실시예에 있어서, 상기 방법은 자석 캐리어 상의 축방향 위치에 자석을 위치시키기 위해 자석 캐리어 상의 환형 숄더에 대해 자석을 위치시키는 단계를 포함한다.In one embodiment, the method includes positioning the magnet relative to an annular shoulder on the magnet carrier to position the magnet in an axial position on the magnet carrier.

일 실시예에 있어서, 상기 방법은 제 1 원주방향 시일을 환형 숄더에 근접하게 위치시키는 단계를 포함한다.In one embodiment, the method includes positioning the first circumferential seal proximate the annular shoulder.

일 실시예에 있어서, 상기 방법은 환형 숄더에 의해 한정되고 제 1 원주방향 시일을 수용하도록 치수설정된 제 1 원주방향 리세스 내에 제 1 원주방향 시일을 수용하는 단계를 포함한다.In one embodiment, the method includes receiving a first circumferential seal within a first circumferential recess defined by an annular shoulder and dimensioned to receive the first circumferential seal.

일 실시예에 있어서, 상기 방법은 자석 캐리어에 의해 한정된 제 2 원주방향 리세스 내에 제 2 원주방향 시일을 수용하는 단계를 포함한다.In one embodiment, the method includes receiving a second circumferential seal within a second circumferential recess defined by a magnetic carrier.

일 실시예에 있어서, 상기 방법은 제 1 및 제 2 원주방향 시일로 슬리브를 유지하는 단계를 포함한다.In one embodiment, the method includes retaining the sleeve with first and second circumferential seals.

일 실시예에 있어서, 상기 방법은 제 1 및 제 2 원주방향 시일을 압축하도록 슬리브 및 자석 캐리어를 치수설정하는 단계를 포함한다.In one embodiment, the method includes dimensioning the sleeve and magnet carrier to compress the first and second circumferential seals.

일 실시예에 있어서, 제 1 및 제 2 원주방향 시일은 포팅 화합물 시일 및 O-링 시일 중 하나를 포함한다.In one embodiment, the first and second circumferential seals include one of a potting compound seal and an O-ring seal.

일 실시예에 있어서, 제 1 및 제 2 원주방향 시일은 합성 고무 및 불소 중합체 엘라스토머 화합물을 포함한다.In one embodiment, the first and second circumferential seals include synthetic rubber and fluoropolymer elastomeric compounds.

일 실시예에 있어서, 자석은 링 자석을 포함한다.In one embodiment, the magnet includes a ring magnet.

일 실시예에 있어서, 링 자석은 복수의 C자형 자석 세그먼트를 포함한다.In one embodiment, the ring magnet includes a plurality of C-shaped magnet segments.

일 실시예에 있어서, 상기 방법은 자석을 자석 캐리어에 고정하는 단계를 포함한다.In one embodiment, the method includes securing a magnet to a magnetic carrier.

일 실시예에 있어서, 자석은 희토류 자석을 포함한다.In one embodiment, the magnet includes a rare earth magnet.

일 실시예에 있어서, 자석은 철 붕소 및 사마륨 코발트를 포함하는 그룹 중 하나를 포함한다.In one embodiment, the magnet comprises one of the group comprising iron boron and samarium cobalt.

일 실시예에 있어서, 제 1 및 제 2 원주방향 시일은 자석 캐리어와 슬리브 사이의 공동 내에 자석을 기밀하게 밀봉하도록 위치된다.In one embodiment, the first and second circumferential seals are positioned to hermetically seal the magnet within the cavity between the magnet carrier and the sleeve.

추가적인 특정 및 바람직한 태양은 첨부된 독립 청구항 및 종속 청구항에 기재되어 있다. 종속 청구항의 특징은 청구범위에 명시적으로 제시된 것 이외의 조합으로 그리고 적절하게 독립 청구항의 특징과 조합될 수 있다.Additional specific and preferred aspects are set forth in the appended independent and dependent claims. Features of dependent claims may be combined with features of independent claims in combinations other than those explicitly set forth in the claims and as appropriate.

장치 특징이 기능을 제공하도록 작동가능한 것으로 설명되는 경우, 이것은 그러한 기능을 제공하거나 그러한 기능을 제공하도록 적합화되거나 구성되는 장치 특징을 포함하는 것으로 이해될 것이다.When a device feature is described as being operable to provide a functionality, this will be understood to include device features that provide such functionality or are adapted or configured to provide such functionality.

이제, 본 고안의 실시예가 첨부 도면을 참조하여 추가로 설명될 것이다:
도 1a 내지 도 1d는 일 실시예에 따른 모터 로터(포괄적으로, 10)를 도시하는 도면.
Now, embodiments of the present invention will be further described with reference to the accompanying drawings:
1A-1D illustrate motor rotors (collectively 10) according to one embodiment.

실시예에 대해 보다 상세하게 논의하기 전에, 우선 개요가 제공된다. 실시예는 가혹한 화학적 환경에서 화학적 공격에 덜 민감한 전기 모터 로터 조립체를 제공한다. 특히, 실시예는 모터 로터의 자석과, 자석을 자석 캐리어에 고정하는데 사용되는 임의의 접착제가 모터가 작동하는 환경에 존재하는 화학물질에 대해 기밀하게 밀봉되는 구성체를 제공한다. 자석은 전형적으로 일체형이거나 C자형 구성요소로 형성될 수 있고 자석 캐리어 상에 수용되는 표면 링 영구 자석을 포함한다. 자석 캐리어는 모터 로터가 배치되는 환경에 존재하는 화학물질로부터의 화학적 공격으로부터 자석을 보호하기 위해 기밀 밀봉 밀폐체(hermetically sealing enclosure)의 일부를 형성한다. 일부 실시예에 있어서, 자석은 접착제를 사용하여 자석 캐리어에 고정된다. 원통형 슬리브는 자석을 둘러싸도록 동축으로 위치되어, 조립 중에 자석의 반경방향 외측면을 기계적인 손상으로부터 보호하고, 강한 원심력하에서 자석을 제 위치에 유지하는 것을 도우며, 기밀 밀봉 밀폐체의 일부를 제공한다. 자석의 양 단부에는, 또한 기밀 밀봉 밀폐체의 일부를 제공하고, 자석의 축방향 각 단부를 밀봉하고, 자석 캐리어, 슬리브 및 원주방향 시일 자체에 의해 한정된 환형 공동 내에 자석을 완전히 밀폐하는 원주방향 시일이 제공된다. 그러한 기밀 밀봉은 모터 로터의 작동 중에 링 영구 자석을 화학적 공격으로부터 보호하고, 존재하는 경우 임의의 접착제를 보호한다.Before discussing the embodiments in more detail, an overview is first provided. Embodiments provide an electric motor rotor assembly that is less susceptible to chemical attack in harsh chemical environments. In particular, embodiments provide a construction in which the magnets of the motor rotor and any adhesive used to secure the magnets to the magnet carrier are hermetically sealed against chemicals present in the environment in which the motor operates. The magnets typically include surface ring permanent magnets that may be integral or formed as C-shaped components and are received on a magnet carrier. The magnet carrier forms part of a hermetically sealing enclosure to protect the magnets from chemical attack from chemicals present in the environment in which the motor rotor is placed. In some embodiments, the magnets are secured to the magnet carrier using adhesive. The cylindrical sleeve is positioned coaxially to surround the magnet, protecting the radial outer surface of the magnet from mechanical damage during assembly, helping to hold the magnet in place under strong centrifugal forces, and providing part of an airtight seal enclosure. . At both ends of the magnet, there is also a circumferential seal providing part of a hermetic seal enclosure, sealing each axial end of the magnet and completely enclosing the magnet within an annular cavity defined by the magnet carrier, sleeve and the circumferential seal itself. This is provided. Such an airtight seal protects the ring permanent magnets from chemical attack during operation of the motor rotor and protects any adhesive, if present.

로터rotor 조립체 assembly

도 1a는 일 실시예에 따른 모터 로터(포괄적으로, 10)를 도시하는 측면도이다. 도 1b는 모터 로터(10)의 측단면도이다. 도 1c는 모터 로터(10)의 사시도이다. 도 1d는 모터 로터(10)의 다른 사시도이다. 모터 로터(10)는 자석 캐리어(20)를 포함한다. 본 예에서, 자석 캐리어(20)는 C45E 탄소강으로 형성되어 자석에 양호한 자기 회로를 제공한다. 자석 캐리어는, 이제 설명되는 바와 같이, 프로파일링된 내측면 및 외측면을 갖는 기다란 원통체이다. 자석 캐리어(20)는 로터 샤프트(도시되지 않음)를 수용하도록 형상설정된 반경방향 내측 보어(25)를 한정한다. 자석 캐리어(20)는 프로파일링된 반경방향 외측면(27)을 갖는다. 외측면(27)의 제 1 부분(27A)은 원통형이고, 축방향 단부(30)로부터, 제 1 부분(27A)으로부터 반경방향으로 직립하는 제 1 숄더(27B)까지 연장된다. 제 2 숄더(27D)는 제 1 부분(27A)으로부터 반경방향으로 직립하고, 제 1 숄더(27B)로부터 축방향으로 떨어져서 위치되고, 제 1 숄더(27B)와 함께 원주방향 홈(27C)을 한정한다. 제 2 숄더(27D)는 제 1 숄더(27B)의 높이보다 높은 높이만큼 반경방향으로 직립한다.1A is a side view showing a motor rotor (collectively 10) according to one embodiment. 1B is a side cross-sectional view of the motor rotor 10. Figure 1c is a perspective view of the motor rotor 10. Figure 1D is another perspective view of the motor rotor 10. Motor rotor 10 includes a magnet carrier 20. In this example, the magnet carrier 20 is formed of C45E carbon steel to provide a good magnetic circuit for the magnets. The magnet carrier, as will now be explained, is an elongated cylindrical body with profiled inner and outer surfaces. The magnet carrier 20 defines a radially inner bore 25 configured to receive a rotor shaft (not shown). The magnet carrier 20 has a profiled radial outer surface 27 . The first portion 27A of the outer surface 27 is cylindrical and extends from the axial end 30 to a first shoulder 27B that stands radially upright from the first portion 27A. The second shoulder 27D is radially upright from the first portion 27A, is positioned axially away from the first shoulder 27B, and together with the first shoulder 27B defines a circumferential groove 27C. do. The second shoulder 27D stands erect in the radial direction to a height higher than that of the first shoulder 27B.

모터 로터(10)는 또한 반경방향 내측면(43), 반경방향 외측면(47) 및 환형 단부(41, 49)를 갖는 원환형 링인 표면 링 영구 자석(40)을 포함한다. 본 실시예에 있어서, 표면 링 영구 자석(40)은 네오디뮴 철 붕소 또는 사마륨 코발트로 제조된다.The motor rotor 10 also includes a surface ring permanent magnet 40, which is a toroidal ring having a radially inner surface 43, a radially outer surface 47 and annular ends 41, 49. In this embodiment, the surface ring permanent magnet 40 is made of neodymium iron boron or samarium cobalt.

모터 로터(10)는 또한 축방향 단부(30)에 근접하게 그리고 홈(27C) 내에 각각 위치된 O-링 시일(52, 50)을 포함한다. 본 실시예에 있어서, O-링 시일은 바이턴(Viton; 상표)으로 제조된다. 제 1 부분(27A)에는, 선택적으로 O-링 시일(52)의 유지를 돕기 위해 축방향 단부(30)에 근접하게 얕은 홈이 제공될 수 있다.Motor rotor 10 also includes O-ring seals 52 and 50 respectively located proximate axial end 30 and within groove 27C. In this embodiment, the O-ring seal is made from Viton (trademark). The first portion 27A may optionally be provided with a shallow groove proximate the axial end 30 to assist in retaining the O-ring seal 52.

모터 로터(10)는 또한 표면 링 영구 자석(40) 및 O-링 시일(50, 52)에 동축으로 위치되고 이들을 원주방향으로 둘러싸는 슬리브(60)를 포함한다. 본 실시예에 있어서, 슬리브(60)는 내측면(63) 및 외측면(65)을 갖는 원통체로 형성된 등급 303 스테인리스강이다.Motor rotor 10 also includes a sleeve 60 positioned coaxially with and circumferentially surrounding surface ring permanent magnets 40 and O-ring seals 50, 52. In this embodiment, sleeve 60 is grade 303 stainless steel formed into a cylindrical body having an inner surface 63 and an outer surface 65.

이제, 모터 로터(10)의 조립이 설명될 것이다. 자석 캐리어(20)가 제공되고, 표면 링 영구 자석(40)은 제 1 숄더(27B)에 맞닿을 때까지 축방향 단부(30)로부터 제 1 부분(27A)의 축방향 길이를 따라 이동된다. 외측면(27)과 내측면(43) 사이에 배치된 임의의 접착제는 표면 링 영구 자석(40)을 자석 캐리어(20)에 접착 시켜서, 표면 링 영구 자석(40)이 모터의 주변 코일(도시되지 않음)에 의해 압박될 때 자석 캐리어(20)가 회전하게 한다.Now, the assembly of the motor rotor 10 will be described. A magnet carrier 20 is provided and the surface ring permanent magnet 40 is moved along the axial length of the first portion 27A from the axial end 30 until it abuts the first shoulder 27B. Any adhesive disposed between the outer surface 27 and the inner surface 43 adheres the surface ring permanent magnet 40 to the magnet carrier 20 so that the surface ring permanent magnet 40 is connected to the peripheral coil of the motor (as shown). causes the magnet carrier 20 to rotate when pressed by the magnet carrier (20).

O-링(50)은 홈(27C) 내에 수용되고, O-링(52)은 축방향 단부(30) 위로 이동되고 표면 링 영구 자석(40)의 축방향 단부에 맞닿고, (제공되는 경우) 축방향 단부(30)에 근접한 얕은 홈에 의해 유지된다.O-ring 50 is received within groove 27C and O-ring 52 is moved over axial end 30 and abuts axial end of surface ring permanent magnet 40 (if provided) ) is maintained by a shallow groove proximal to the axial end (30).

다음에, 슬리브(60)는 축방향 단부(30)로부터, O-링(52)(표면 링 영구 자석(40)에 의해 제 위치에 유지됨) 위로, 표면 링 영구 자석(40)(제 1 숄더(27B)에 의해 제 위치에 유지됨) 위로, 그리고 O-링(50)(제 2 숄더(27D)에 의해 제 위치에 유지됨) 위로 이동된다.Next, the sleeve 60 is pulled from the axial end 30, over the O-ring 52 (held in place by the surface ring permanent magnet 40), and over the surface ring permanent magnet 40 (the first shoulder). (held in place by 27B) upward, and above O-ring 50 (held in position by second shoulder 27D).

자석 캐리어(20), 슬리브(60) 및 O-링(50, 52)의 상대적인 치수는 표면 링 영구 자석(40)의 축방향 양 단부에 기밀한 원주방향 시일을 형성하기 위해 O-링(50, 52)을 압축하도록 설정된다.The relative dimensions of the magnet carrier 20, sleeve 60, and O-rings 50, 52 are such that the O-rings 50 form an airtight circumferential seal at both axial ends of the surface ring permanent magnet 40. , 52) is set to compress.

따라서, 표면 링 영구 자석(40)은 표면 링 영구 자석(40) 자체 또는 표면 링 영구 자석(40)을 자석 캐리어(20) 상에 고정하는데 사용되는 임의의 접착제를 열화시킬 수 있는 화학물질에 의한 침입으로부터 기밀하게 밀봉된다는 것을 알 수 있다.Accordingly, the surface ring permanent magnet 40 is susceptible to exposure to chemicals that may deteriorate the surface ring permanent magnet 40 itself or any adhesive used to secure the surface ring permanent magnet 40 on the magnet carrier 20. You can see that it is airtightly sealed against intrusion.

전술한 실시예가 O-링 시일을 사용하지만, 포팅 화합물이 또한 이용될 수 있고, 그에 따라 외측면(27)의 프로파일이 변경될 수 있다는 것이 이해될 것이다. 또한, 그러한 포팅 화합물의 도포는 전형적으로 진공 조건하에서 일어난다는 것이 이해될 것이다.Although the above-described embodiment uses an O-ring seal, it will be appreciated that a potting compound could also be used, and the profile of the outer surface 27 could be altered accordingly. It will also be appreciated that application of such potting compounds typically occurs under vacuum conditions.

이전에는, 영구 자석 모터 해결책이 온화한/경부하(benign/light-duty) 진공 응용에 대한 것인 경향이 있었다. 그러한 영구 자석 모터 해결책은 저렴하고 간단한 구조로 인해 표면 링 영구 자석 모터 디자인이 주류를 이루고 있었다. 그러나, 전술한 바와 같이, 이러한 디자인에서의 자석 및 접착제 모두는 특히 중간의 가혹한(harsh duty) 진공 응용에서 화학적 공격에 취약하다.Previously, permanent magnet motor solutions tended to be for benign/light-duty vacuum applications. Surface ring permanent magnet motor designs have been the mainstream of such permanent magnet motor solutions due to their low cost and simple construction. However, as discussed above, both the magnet and adhesive in this design are susceptible to chemical attack, especially in medium harsh duty vacuum applications.

실시예는 표면 링 영구 자석 모터의 응용 적합성을 경부하 로드록(light-duty load-lock) 응용으로부터 중간의 가혹한 진공 응용으로까지 확장하도록 설계된 기밀 밀봉된 캐리어에 의해 표면 링 영구 자석 모터 디자인의 견고성 및 신뢰성을 향상시킨다.Embodiments demonstrate the robustness of surface ring permanent magnet motor designs by means of a hermetically sealed carrier designed to extend the application suitability of surface ring permanent magnet motors from light-duty load-lock applications to medium-severe vacuum applications. and improve reliability.

희토류 자석 및 접착제, 특히 네오디뮴 철 붕소의 사용은 특정 진공 응용 동안 장기간의 화학적 공격, 예를 들어 높은 농도 레벨의 수소 및 불소에 취약하다. 시간 경과에 따라 접착제 및 자석 조립체는 약화되어 성능 저하 및 궁극적으로 모터 고장을 초래할 수 있다. 이러한 고장 모드의 결과로, 유도 모터 기술이 전형적으로 중간의 가혹한 진공 응용에 사용되고, 표면 링 영구 자석 모터 기술은 특히 반도체 처리 응용 내에서 경부하 로드록 응용에만 사용되었다.The use of rare earth magnets and adhesives, especially neodymium iron boron, is susceptible to long-term chemical attack, for example, high concentration levels of hydrogen and fluorine during certain vacuum applications. Over time, the adhesive and magnet assembly can weaken, leading to reduced performance and ultimately motor failure. As a result of these failure modes, induction motor technology is typically used for medium-severe vacuum applications, and surface ring permanent magnet motor technology has been used only for light-duty loadlock applications, particularly within semiconductor processing applications.

실시예는 희토류 자석 및 접착제 모두를 화학적 공격으로부터 보호하는 기밀 밀봉된 자석 구성체를 제공한다. 이것은 중간의 가혹한 진공 응용에 대해 보다 신뢰성있는 모터 구성체를 제공하고, 따라서 보다 많은 반도체 처리 응용에서 고효율 동기 모터의 사용을 가능하게 한다.Embodiments provide a hermetically sealed magnetic construction that protects both the rare earth magnet and the adhesive from chemical attack. This provides a more reliable motor configuration for moderate to severe vacuum applications, thus enabling the use of high-efficiency synchronous motors in more semiconductor processing applications.

실시예는 하기의 구성요소를 포함한다:The example includes the following components:

1. C45E 탄소강 자석 캐리어 - 이것은 자석에 양호한 자기 회로를 제공함;1. C45E Carbon Steel Magnet Carrier – This provides a good magnetic circuit for the magnets;

2. 캐리어 상에 기계가공된 2개의 O-링 홈 - 이것은 2개의 밀봉 O-링에 신뢰성있는 위치를 제공함;2. Two O-ring grooves machined on the carrier - this provides reliable positioning of the two sealing O-rings;

3. 2개의 바이턴(상표) O-링 - 바이턴(상표)은 중간의 가혹한 진공 응용에 대해 검증된 재료임;3. Two Viton® O-Rings - Viton® is a proven material for medium to severe vacuum applications;

4. 네오디뮴 철 붕소(Nd Fe B) 자석 링 - 이것은 우수한 자석 강도를 갖는 비용 효율적인 자석 해결책을 제공함;4. Neodymium Iron Boron (Nd Fe B) Magnet Ring - This provides a cost-effective magnet solution with excellent magnet strength;

5. 등급 303 스테인리스강 보호 슬리브.5. Grade 303 stainless steel protective sleeve.

바이턴(상표) O-링의 사용은 자석 및 접착제를 위한 기밀 시일을 제공한다. 또한, O-링 압축은 보호 스테인리스강 슬리브를 제 위치에 유지하고, 따라서 외측 밀봉 표면 상에의 접착에 대한 필요성을 제거한다.The use of Viton® O-rings provides an airtight seal for the magnet and adhesive. Additionally, the O-ring compression holds the protective stainless steel sleeve in place, thus eliminating the need for adhesion on the outer seal surface.

실시예는 반도체 진공 응용에서 표면 링 영구 자석 모터의 사용을 가능하게 한다. 그러나, 이 접근법은 다른 산업 응용에서 사용될 수 있다.Embodiments enable the use of surface ring permanent magnet motors in semiconductor vacuum applications. However, this approach can be used in other industrial applications.

본 고안의 예시적인 실시예가 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 상세하게 개시되었지만, 본 고안은 정확한 실시예에 한정되지 않는다는 것과, 첨부된 청구범위 및 그 균등물에 의해 규정된 본 고안의 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 변경 및 변형이 본 기술분야에 숙련된 자에 의해 이루어질 수 있다는 것이 이해될 것이다.Although exemplary embodiments of the present invention have been disclosed in detail herein with reference to the accompanying drawings, it is understood that the present invention is not limited to the precise embodiments and that the scope of the present invention defined by the appended claims and equivalents thereof It will be understood that various changes and modifications may be made by those skilled in the art without deviation.

10 : 모터 로터 20 : 자석 캐리어
25 : 내측 보어 27 : 외측면
27A : 제 1 부분 27B : 제 1 숄더
27C : 홈 27D : 제 2 숄더
30 : 축방향 단부 40 : 영구 자석
43 : 내측면 47 : 외측면
41, 49 : 환형 단부 52, 50 : O-링 시일
60 : 슬리브 63 : 내측면
65 : 외측면
10: motor rotor 20: magnet carrier
25: inner bore 27: outer surface
27A: first part 27B: first shoulder
27C: Groove 27D: Second shoulder
30: axial end 40: permanent magnet
43: inner side 47: outer side
41, 49: annular end 52, 50: O-ring seal
60: sleeve 63: inner side
65: outer surface

Claims (18)

모터 로터를 포함하는 진공 펌프에 있어서,
상기 모터 로터는
자석 캐리어와,
상기 자석 캐리어에 의해 지지되는 자석과,
상기 자석을 둘러싸는 슬리브와,
상기 자석 캐리어와 상기 슬리브 사이의 공동 내에 상기 자석을 밀봉하도록 위치된 제 1 및 제 2 원주방향 시일을 포함하고,
상기 슬리브는 스테인리스강으로 이루어진 원통체이며,
상기 자석 캐리어는 상기 자석 캐리어 상의 축방향 위치에 상기 자석을 위치시키도록 배치된 제 1 환형 숄더와, 상기 제 1 환형 숄더로부터 축방향으로 떨어져 위치된 제 2 환형 숄더를 갖고, 상기 제 2 환형 숄더는 상기 자석 캐리어의 외측면으로부터 상기 제 1 환형 숄더의 높이보다 더 큰 높이만큼 반경방향으로 직립하며, 상기 제 1 원주방향 시일은 상기 제 1 환형 숄더와 상기 제 2 환형 숄더 사이에 위치되는
진공 펌프.
In the vacuum pump including a motor rotor,
The motor rotor is
A magnetic carrier,
A magnet supported by the magnet carrier,
a sleeve surrounding the magnet,
comprising first and second circumferential seals positioned to seal the magnet within a cavity between the magnet carrier and the sleeve;
The sleeve is a cylindrical body made of stainless steel,
The magnet carrier has a first annular shoulder arranged to position the magnet in an axial position on the magnet carrier, and a second annular shoulder positioned axially away from the first annular shoulder, the second annular shoulder stands radially upright from the outer surface of the magnet carrier to a height greater than the height of the first annular shoulder, and the first circumferential seal is located between the first annular shoulder and the second annular shoulder.
Vacuum pump.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 원주방향 시일은 상기 자석의 축방향 단부에 위치되는
진공 펌프.
According to claim 1,
The first and second circumferential seals are located at axial ends of the magnet.
Vacuum pump.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 자석은 상기 제 1 및 제 2 원주방향 시일 사이에서 축방향으로 연장되는
진공 펌프.
The method of claim 1 or 2,
The magnet extends axially between the first and second circumferential seals.
Vacuum pump.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 자석 캐리어 및 상기 슬리브는 상기 제 1 및 제 2 원주방향 시일을 지나서 축방향으로 연장되는
진공 펌프.
The method of claim 1 or 2,
wherein the magnetic carrier and the sleeve extend axially past the first and second circumferential seals.
Vacuum pump.
삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 환형 숄더는 상기 제 1 원주방향 시일을 수용하도록 치수설정된 제 1 원주방향 리세스를 한정하는
진공 펌프.
According to claim 1,
The first and second annular shoulders define a first circumferential recess dimensioned to receive the first circumferential seal.
Vacuum pump.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 자석 캐리어는 상기 제 2 원주방향 시일을 수용하도록 치수설정된 제 2 원주방향 리세스를 한정하는
진공 펌프.
The method of claim 1 or 2,
The magnet carrier defines a second circumferential recess dimensioned to receive the second circumferential seal.
Vacuum pump.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 슬리브는 상기 제 1 및 제 2 원주방향 시일에 의해 유지되는
진공 펌프.
The method of claim 1 or 2,
The sleeve is retained by the first and second circumferential seals.
Vacuum pump.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 슬리브 및 상기 자석 캐리어는 상기 제 1 및 제 2 원주방향 시일을 압축하도록 치수설정되는
진공 펌프.
The method of claim 1 or 2,
the sleeve and the magnetic carrier are dimensioned to compress the first and second circumferential seals.
Vacuum pump.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 원주방향 시일은 포팅 화합물 시일 및 O-링 시일 중 하나를 포함하는
진공 펌프.
The method of claim 1 or 2,
wherein the first and second circumferential seals include one of a potting compound seal and an O-ring seal.
Vacuum pump.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 원주방향 시일은 합성 고무 및 불소 중합체 엘라스토머 화합물을 포함하는
진공 펌프.
The method of claim 1 or 2,
The first and second circumferential seals include synthetic rubber and fluoropolymer elastomer compounds.
Vacuum pump.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 자석은 링 자석을 포함하는
진공 펌프.
The method of claim 1 or 2,
The magnet includes a ring magnet
Vacuum pump.
제 13 항에 있어서,
상기 링 자석은 복수의 C자형 자석 세그먼트를 포함하는
진공 펌프.
According to claim 13,
The ring magnet includes a plurality of C-shaped magnet segments.
Vacuum pump.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 자석은 희토류 자석을 포함하는
진공 펌프.
The method of claim 1 or 2,
The magnet includes a rare earth magnet.
Vacuum pump.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 자석은 철 붕소 및 사마륨 코발트를 포함하는 그룹 중 하나를 포함하는
진공 펌프.
The method of claim 1 or 2,
The magnet comprises one of the group comprising iron boron and samarium cobalt
Vacuum pump.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 원주방향 시일은 상기 자석 캐리어와 상기 슬리브 사이의 상기 공동 내에 상기 자석을 기밀하게 밀봉하도록 위치되는
진공 펌프.
The method of claim 1 or 2,
the first and second circumferential seals are positioned to hermetically seal the magnet within the cavity between the magnet carrier and the sleeve.
Vacuum pump.
삭제delete
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