KR200491236Y1

KR200491236Y1 - Heater Temperature Controller

Info

Publication number: KR200491236Y1
Application number: KR2020190003067U
Authority: KR
Inventors: 장정환
Original assignee: 주식회사 토르
Priority date: 2019-07-22
Filing date: 2019-07-22
Publication date: 2020-03-09

Abstract

본 고안은 파이프나 튜브를 통해 수송되는 매체에 일정한 온도가 유지되도록 하는 복수의 히터재킷 온도를 조절하는 장치에 관한 것으로, 기체나 액체를 수송하는 파이프 또는 튜브에 복수의 채널별로 설치된 히터재킷(180)의 온도를 제어하는 TCU(Temperature Control Unit)(140)의 출력단에 일단이 연결 설치된 무접점릴레이(SSR)와, 상기 무접점릴레이(SSR)의 타단과 메인스위치를 거쳐 인가되는 전원의 과전압 및 과전류를 차단하는 퓨즈(Fuse) 사이에 설치되어 인가되는 전원을 차단시키는 차단스위치(SW1~SW6)와, 상기 메인스위치를 거쳐 인가되는 전원의 전류 값을 감지하는 주 변류기(110)와, 상기 주 변류기(110)를 거쳐 각 히터재킷(180)으로 인가되는 전원의 전류 값을 감지하는 개별 변류기모듈(200)을 포함하여 이루어진 것이다. 본 고안은 채널무접점릴레이(SSR)의 불량으로 히터재킷에 무단으로 전원이 인가되는 것을 차단하여 히터재킷의 망실 및 해당 공정으로부터 파급될 수 있는 문제를 해결할 수 있고, 채널별 하이알람릴레이(High Alarm Relay) 작동에 의한 제어로부터 TCU의 제어로 히터 온도를 제어할 수 있으므로 릴레이를 제거할 수 있어 채널별 하이알람릴레이로 인한 2차적인 피해를 최소화할 수 있으며, 로우알람(Low Alarm) 사용 때에 별도의 조치 없이 TCU설정 값 변경만으로도 사용할 수 있으며, 히터재킷의 각 채널마다 개별 변류기를 설치하여 인가되는 전류 값을 통신으로 확인할 수 있어 오작동이나 히터의 구간 단선을 쉽게 식별할 수 있고, 히터재킷의 각 채널별로 온도 조절이 가능하여 히터재킷으로 인가되는 전력을 절감한 것이다.The present invention relates to a device for controlling a plurality of heater jacket temperature to maintain a constant temperature in a medium transported through a pipe or tube, the heater jacket 180 is provided for each channel in a pipe or tube for transporting gas or liquid (180) And an overvoltage of a power source applied through a contactless relay (SSR) having one end connected to an output terminal of a TCU (Temperature Control Unit) 140 for controlling the temperature of the sensor, and the other end of the contactless relay (SSR) and a main switch. A disconnect switch SW1 to SW6 installed between the fuses blocking the overcurrent to cut off the applied power, a main current transformer 110 for sensing a current value of the power applied through the main switch, and the main It includes a separate current transformer module 200 for sensing the current value of the power applied to each heater jacket 180 via the current transformer 110. The present invention can solve the problem that the heater jacket is lost due to the failure of the channel contact relay (SSR) and the spread of the heater jacket and the related process, and the high alarm relay for each channel (High) Since the heater temperature can be controlled by the control of the TCU from the control by the Alarm Relay operation, the relay can be removed to minimize the secondary damage caused by the high alarm relay for each channel, and when using the Low Alarm It can be used by simply changing the TCU set value without any action, and it is possible to check the current value applied by installing a separate current transformer for each channel of the heater jacket through communication to easily identify malfunction or disconnection of the heater section. The temperature can be adjusted for each channel, saving the power applied to the heater jacket.

Description

Heater Temperature Controller

본 고안은 히터의 온도를 조절하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 파이프나 튜브를 통해 수송되는 매체에 일정한 온도가 유지되도록 하는 복수의 히터재킷의 온도를 조절하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device for controlling the temperature of the heater, and more particularly to a device for controlling the temperature of the plurality of heater jacket to maintain a constant temperature in the medium transported through the pipe or tube.

일반적으로 반도체, 액정 제조 공정 또는 기타 화학제품 제조 공정에서, 파이프 또는 튜브, 밸브 몸체 등을 통과하여 수송되는 액체나 기체는 특정 온도로 유지되지 못하는 경우 파우더 형태로 고체화되어 파이프나 튜브 또는 밸브 몸체를 막히게 하는 문제가 발생한다. 예컨대, 저압화학증착공정(Low Pressure Chemical Vapor Deposition, LPCVD)이나 또는 알루미늄 식각을 위한 플라즈마 식각과 같은 반도체 공정의 경우에 반응 챔버로부터 배출되는 가스 중에 암모니아클로라이드가스(NH4Cl) 또는 알루미늄클로라이드(AlCl3)와 같은 반응 부산물을 수송하는 파이프를 상온에서 유지하는 경우에는 암모니아클로라이드가스는 고화 침전되어 파이프의 벽면에 들러붙게 된다. 따라서 파이프의 내벽은 고화 침전된 파우더로 침적되게 되고 파이프 또는 튜브의 내벽이 막히게 됨으로써 정상 유로를 막아 컨덕턴스를 감소시켜 공정에 필요한 압력을 유지할 수가 없다.In general, in a semiconductor, liquid crystal manufacturing process, or other chemical manufacturing process, liquids or gases transported through pipes, tubes, valve bodies, etc., are solidified in powder form when they cannot be maintained at a specific temperature, thereby The problem of clogging arises. For example, in a semiconductor process such as low pressure chemical vapor deposition (LPCVD) or plasma etching for aluminum etching, ammonia chloride gas (NH 4 Cl) or aluminum chloride (AlCl 3) When the pipes carrying the same reaction by-products are maintained at room temperature, ammonia chloride gas solidifies and precipitates and sticks to the wall of the pipe. Therefore, the inner wall of the pipe is deposited with solidified precipitated powder and the inner wall of the pipe or tube is clogged to block the normal flow path, thereby reducing the conductance to maintain the pressure required for the process.

이를 위해서 반도체 제조장치 등에서는 히터재킷을 공정 튜브의 가스 배출통로인 가스배출관의 외측에 부착하고, 히터재킷에 전원을 공급하여 가열하면 가스배출관 내부를 일정 온도로 유지되도록 하여 가스배출관 내부에 공정 후의 잔여가스 및 부산물 가스가 고착되는 것을 방지한다. 이때, 히터재킷의 가열온도를 측정하기 위해 가스배출관과 히터재킷 사이에 열전대소자가 삽입된다. 열전대소자에서 검출된 온도신호는 온도제어부로 피드백시켜 히터재킷의 발열량을 제어하는 신호로 이용되어 히터재킷의 온도를 설정된 값으로 유지시킬 수 있다.To this end, in the semiconductor manufacturing apparatus, the heater jacket is attached to the outside of the gas discharge pipe, which is the gas discharge passage of the process tube, and when the power is supplied to the heater jacket and heated, the inside of the gas discharge pipe is maintained at a constant temperature. Prevents residual and by-product gases from sticking. At this time, a thermocouple element is inserted between the gas discharge pipe and the heater jacket to measure the heating temperature of the heater jacket. The temperature signal detected by the thermocouple device is fed back to the temperature controller to be used as a signal for controlling the amount of heat generated by the heater jacket to maintain the temperature of the heater jacket at a set value.

또한, 히터재킷을 제어하는 컨트롤러는 TCU(Temperature Control Unit)가 1:1로 매칭되어 설치된다. 그리고 TCU는 온도설정용 컨트롤러로서 가열하고자 하는 대상물체의 온도를 TC라는 센서로부터 수신하여 이를 설정온도와 비교하는 기능을 수행한다. 따라서 대상물체의 온도가 설정온도와 일치하지 않으면, TCU의 출력단에서 채널무접점릴레이(SSR)로 제어신호를 출력하고, 채널무접점릴레이(SSR)는 출력단을 통해 히터재킷을 가열할 수 있게 전원을 출력한다. 이러한 TCU는 내부에 히터재킷의 온도제어를 위한 회로가 설계되어 있고, 제어용 프로그램을 이용하여 제어신호의 입출력이 이루어진다.In addition, the controller for controlling the heater jacket is installed by matching the TCU (Temperature Control Unit) 1: 1. The TCU serves as a controller for setting a temperature and receives a temperature of an object to be heated from a sensor called TC and compares it with the set temperature. Therefore, if the temperature of the object does not match the set temperature, the control signal is output from the output terminal of the TCU to the channel solid state relay (SSR), and the channel solid state relay (SSR) is used to heat the heater jacket through the output terminal. Outputs The TCU has a circuit for controlling the temperature of the heater jacket inside, and the input and output of the control signal is made using a control program.

종래의 TCU의 제어로 작동되는 채널무접점릴레이(SSR) 내부에 설치된 트라이액의 손상으로 인한 통전 등의 불량에 의한 고장 발생 때에 TCU를 통한 채널무접점릴레이 제어가 아닌 회로에 설계된 안전장치로 마련된 하이알람릴레이(High Alarm Relay) 제어로 작동되어 반복적인 하이알람릴레이의 접점을 사용하게 되므로 채터링(Chattering) 현상이 발생되고, 이는 하이알람릴레이의 열화로 이어져 화재 발생 및 2차적인 피해가 발생하는 요인으로 작용하였다.When a failure occurs due to a poor current such as a current caused by damage to a triac installed in a channel solid state relay (SSR) operated by a control of a conventional TCU, a safety device designed for a circuit is provided, not a channel solid state relay control through a TCU. It is operated by high alarm relay control and uses contact point of repetitive high alarm relay, so chattering occurs, which leads to deterioration of high alarm relay, resulting in fire and secondary damage. It acted as a factor.

또한, 상기 문제를 초기에 발견하여 TCU출력단에 설치된 채널스위치를 오프(off)시켜도 채널무접점릴레이(SSR)를 통해 히터재킷에 전원이 무단 공급되고, 이로 인하여 히터재킷의 온도상승으로 이어져 히터재킷 손상 등 2차적인 피해가 발생하는 요인으로 작용하였다.In addition, even when the above problem is detected early and the channel switch installed in the TCU output terminal is turned off, the power is supplied to the heater jacket through the channel contact relay (SSR), which leads to a temperature rise of the heater jacket, resulting in a heater jacket. Secondary damage, such as damage, was a factor.

또한, 컨트롤러에 하이알람릴레이(High Alarm Relay)는 배관온도나 오토튜닝 때에도 작동할 수 있어 하이알람릴레이의 트립(Trip) 발생으로 인한 단락(Short)이 발생되는 문제와 더불어 채널무접점릴레이(SSR) 또는 퓨즈(Fuse)가 망실되는 문제도 있었다.In addition, the high alarm relay in the controller can operate during piping temperature or autotuning, causing short circuits due to tripping of the high alarm relay, as well as channel contact relay (SSR). ) Or a fuse was also lost.

또한, 하이알람을 로우알람(Low Alarm)으로 사용할 경우에 결선을 변경하거나 별도의 조치가 필요하고 많은 비용과 시간이 소요되는 문제도 있었다. 더욱이 복수 채널로 구분된 히터재킷으로 인가되는 전원에 대하여 단일의 통합 변류기(CT)의 전류 값을 감지하므로 각 채널마다 인가되는 전류 값을 감시하지 못할 뿐만 아니라 각 채널의 히터재킷의 고장이나 변화를 알기 어렵고 통신이 불가능한 문제도 있었다.In addition, when the high alarm is used as a low alarm, there is a problem in that it is necessary to change the wiring or take additional measures, and it takes a lot of cost and time. Furthermore, since the current value of a single integrated current transformer (CT) is sensed for the power applied to the heater jacket divided into channels, it is not only possible to monitor the current value applied to each channel but also to troubleshoot or change the heater jacket of each channel. There were also problems that were difficult to understand and impossible to communicate with.

본 고안과 관련된 선행기술로서, 특허문헌1은 기체 또는 액체가 유입되어 흐르는 파이프의 표면을 에워싸서 상기 파이프의 온도를 소정의 온도로 유지하는 단열 히터 재킷에 있어서, 상기 단열 히터 재킷은 상기 파이프에 열을 제공하는 열선을 구비하되, 열선을 복수의 병렬 구조로 구성해서 실리콘 파이퍼 글래스 외피로 감싸 제작된 히팅 패드와; 상기 히팅 패드의 열선 위에 장착되어 히팅 패드의 온도를 감지하는 단일 또는 복수의 온도 센서; 상기 히팅 패드를 에워싸는 형태로서 다중 메틸비닐산회실리카 용액을 혼합하여 금형에 성형된 실리콘 러버; 및 상기 온도 센서가 감지하는 온도를 입력받아 복수의 병렬 연결된 열선 중 특정 열선의 오동작 유무를 판단하여 오동작 발생 시에 병렬화된 다른 열선을 턴온시켜 대체 동작하도록 제어하는 콘트롤러를 포함한 단열 히터 재킷이 개시되어 있다.As a prior art related to the present invention, Patent Document 1 is a heat insulation heater jacket that surrounds the surface of the pipe flowing gas or liquid flows to maintain the temperature of the pipe at a predetermined temperature, wherein the heat insulation heater jacket is connected to the pipe A heating pad having a heating wire for providing heat, wherein the heating pad is formed of a plurality of parallel structures and wrapped with a silicon piper glass shell; A single or a plurality of temperature sensors mounted on a heating wire of the heating pad to sense a temperature of the heating pad; A silicone rubber molded into a mold by mixing the multiple methylvinylic acid silica solution as a form surrounding the heating pad; And a controller for receiving a temperature detected by the temperature sensor and determining a malfunction of a specific heating wire among a plurality of parallel-connected heating wires and turning on another paralleled heating wire in case of a malfunction to control the replacement of the heating wire. have.

또한, 특허문헌2는 반도체 설비의 챔버 내 가스를 배출시키기 위한 진공 배출관의 외주면에 설치된 히팅 자켓(Heating jacket)을 제어하고, 히팅 자켓의 구성 부분과 연결된 복수의 채널을 구비하는 히팅 자켓 제어 장치에 있어서, 상기 히팅 자켓에 설치된 온도 센서에서 측정된 온도 데이터를 입력받기 위한 센서 입력 모듈; 상기 각 채널을 통해 입력되는 히팅 자켓의 전류의 크기를 변경시키기 위한 변류기(Current Transformer) 모듈; 상기 히팅 자켓 제어 장치를 전반적으로 제어하며, 상기 센서 입력 모듈에 입력된 온도 데이터를 이용하여 상기 히팅 자켓의 상태 정보를 디스플레이하도록 제어하고, 상기 변류기 모듈을 통해 입력되는 전류값을 실시간 감시하여 상기 히팅 자켓의 이상 유무 및 과전류 여부를 진단하는 제어부; 상기 제어부의 제어에 따라 상기 히팅 자켓의 상태 정보를 디스플레이하고, 상기 히팅 자켓을 제어하기 위한 설정신호 또는 표시된 상태 정보를 설정하기 위한 설정신호를 입력받아 상기 제어부에 전달하기 위한 터치 패널; 상기 제어부의 제어에 따라 알람(alarm)을 출력하기 위한 경보 출력 모듈; 및 상기 제어부의 제어에 따라 상기 히팅 자켓을 구동시키기 위한 구동부를 포함하되, 상기 제어부는 상기 터치 패널을 통해 사용자가 히팅 자켓의 구동 시간을 설정할 수 있는 타이머 기능을 제공하는 히팅 자켓 제어 장치가 개시되어 있다.In addition, Patent Literature 2 controls a heating jacket provided on an outer circumferential surface of a vacuum discharge pipe for discharging gas in a chamber of a semiconductor device, and includes a heating jacket control device having a plurality of channels connected to components of the heating jacket. A sensor input module for receiving temperature data measured by a temperature sensor installed in the heating jacket; Current transformer module for changing the magnitude of the current of the heating jacket input through each channel; Overall control of the heating jacket control device, controlling to display the status information of the heating jacket by using the temperature data input to the sensor input module, and by monitoring the current value input through the current transformer module in real time A control unit for diagnosing whether the jacket is abnormal and whether there is an overcurrent; A touch panel for displaying state information of the heating jacket under control of the controller, receiving a setting signal for controlling the heating jacket or a setting signal for setting the displayed state information, and transmitting the received signal to the controller; An alarm output module for outputting an alarm under control of the controller; And a driving unit for driving the heating jacket under control of the control unit, wherein the control unit is provided with a heating jacket control device providing a timer function through which the user can set a driving time of the heating jacket through the touch panel. have.

대한민국 등록실용신안공보 제20-0390710호(2005.07.22. 공고)Republic of Korea Utility Model Registration Publication No. 20-0390710 (August 22, 2005) 대한민국 등록특허공보 제10-1319530호(2013.10.21. 공고)Republic of Korea Patent Publication No. 10-1319530 (2013.10.21.

본 고안은 상기 문제를 해결하기 위하여, 해당 채널의 채널무접점릴레이와 퓨즈 사이에 수동의 온/오프스위치를 채용하여 TCU의 제어로 작동되는 채널무접점릴레이의 불량이나 고장 발생 때에 전원이 히터재킷으로 인가되는 것을 강제로 차단시키기 위한 것이 목적이다.In order to solve the problem, the present invention employs a manual on / off switch between the channel solid state relay and the fuse of the corresponding channel, so that the power is supplied to the heater jacket when a defect or failure of the channel solid state relay operated by the control of the TCU occurs. The purpose is to forcibly block the application.

또한, 본 고안은 해당 채널의 TCU의 출력단에 채널스위치를 채용하여 각 채널별 채널무접점릴레이로 접속 연결되는 배선으로 인가되는 전원을 차단시켜 채널무접점릴레이의 불량이나 고장 발생 때에 전원이 히터재킷으로 인가되는 것을 강제로 차단시키기 위한 것이 다른 목적이다.In addition, the present invention adopts a channel switch at the output terminal of the TCU of the corresponding channel to cut off the power applied to the wiring connected by the channel contact relay for each channel, so that the power is supplied to the heater jacket when a defect or failure of the channel contact relay occurs. Another purpose is to forcibly block the application.

또한, 본 고안은 TCU 제어로 하이알람릴레이를 제거하여 하이알람릴레이의 오작동을 방지하고 로우알람으로 사용할 때 별도의 조치 없이 TCU설정 값의 변경만으로도 사용가능하도록 하는 것이 또 다른 목적이다.In addition, the present invention is to remove the high alarm relay by the TCU control to prevent the malfunction of the high alarm relay and when used as a low alarm to be used only by changing the TCU setting value without additional measures.

또한, 본 고안은 각 채널의 히터재킷으로 인가되는 전류 값을 각각 감지할 수 있도록 함으로써 통신으로 해당하는 히터재킷의 구간 단선 감지와 멀티 온도조절이 가능하도록 한 것이 또 다른 목적이다.In addition, the present invention is to enable the sensing of the current value applied to the heater jacket of each channel, respectively, it is another object to enable the disconnection detection and multi-temperature control of the corresponding heater jacket by communication.

본 고안은 상기 목적을 달성하기 위하여, 기체나 액체를 수송하는 파이프 또는 튜브에 복수의 채널별로 설치되어 발열하는 히터재킷의 온도를 제어하는 히터 온도 조절장치에 있어서, 외부에서 인가된 교류전원을 메인스위치를 거쳐 공급하는 전원공급부; 상기 메인스위치를 거쳐 인가된 교류전원의 전류를 일정 크기의 전류로 변경시키는 주 변류기; 상기 메인스위치를 거쳐 인가된 교류전원에 포함된 노이즈성분을 감쇠시킨 후 TCU에 전원을 공급하는 노이즈필터; 상기 메인스위치 및 주 변류기를 통해 입력된 교류전원의 전류 값을 측정하여 가시적인 데이터로 표시하는 전류계; 상기 히터재킷의 온도를 설정된 온도로 가열하고, 히터재킷의 온도제어를 위한 회로 및 프로그램이 설계되어 있는 TCU; 상기 TCU의 제어신호로 채널릴레이를 스위칭시켜 히터재킷으로 인가되는 전원을 단속하는 구동부; 상기 주 변류기를 거쳐 각 채널별 히터재킷으로 인가되는 교류전원의 전류와 비례하는 전류를 감지하여 TCU로 출력하는 개별 변류기모듈; 상기 각 채널별 히터재킷에 설치되어 히터재킷의 온도를 감지하여 TCU로 출력하는 센서모듈; 상기 TCU의 제어로 각 채널별 히터재킷의 각종 작동 정보를 시청각으로 표시하고, 히터재킷의 제어를 위한 각종 설정 값을 입력하는 조작패널, 및 상기 TCU의 제어신호로 각 채널별 히터재킷의 설정된 고온 또는 저온에 따른 알람램프 및 부저를 작동시키는 알람모듈을 포함하여 이루어진 히터 온도 조절장치를 제공한 것이 특징이다.The present invention, in order to achieve the above object, in the heater temperature control device for controlling the temperature of the heater jacket which is installed by a plurality of channels in the pipe or tube for transporting gas or liquid, and generates heat, the main AC power applied from the outside A power supply unit supplied through a switch; A main current transformer for changing the current of the AC power applied through the main switch to a current having a predetermined magnitude; A noise filter which attenuates noise components included in the AC power applied through the main switch and supplies power to the TCU; An ammeter for measuring current values of AC power inputted through the main switch and the main current transformer and displaying the visible data; A TCU that heats the temperature of the heater jacket to a set temperature and is designed a circuit and a program for controlling the temperature of the heater jacket; A driving unit for switching the channel relay with the control signal of the TCU to control the power applied to the heater jacket; An individual current transformer module for detecting a current proportional to the current of an AC power applied to the heater jacket for each channel through the main current transformer and outputting the current to the TCU; A sensor module installed in the heater jacket for each channel to detect a temperature of the heater jacket and output the same to the TCU; Control panel for controlling the TCU to display various operation information of the heater jacket for each channel visually, and input various setting values for the control of the heater jacket, and the set high temperature of the heater jacket for each channel by the control signal of the TCU Or it provides a heater temperature control device comprising an alarm module for operating the alarm lamp and the buzzer according to the low temperature.

또한, 본 고안에서, 상기 각 채널별 채널무접점릴레이와, 메인스위치를 거쳐 인가되는 전원의 과전압 및 과전류를 차단하는 퓨즈 사이에 설치되어 채널무접점릴레이로 인가되는 R상의 교류전원을 강제 차단시키는 차단스위치를 포함할 수 있다.In addition, in the present invention, it is installed between the channel contact relay for each channel and the fuse to block the overvoltage and overcurrent of the power applied through the main switch to forcibly cut off the AC power of the R phase applied to the channel contact relay It may include a disconnect switch.

또한, 본 고안에서, 상기 각 채널별로 TCU의 출력단에 채널스위치가 구성되되, 각 채널별 채널무접점릴레이와, 메인스위치를 거쳐 인가되는 전원의 과전압 및 과전류를 차단하는 퓨즈 사이에 채널스위치의 제1접점이 설치되고, 상기 메인스위치와 각 채널별 히터재킷의 히터 사이에 채널스위치의 제2접점이 설치되어 채널무접점릴레이로 인가되는 R상 및 T상의 교류전원을 모두 차단시킬 수 있다.In addition, in the present invention, a channel switch is configured at the output terminal of the TCU for each channel, and a channel switch is provided between a channel contact relay for each channel and a fuse for blocking the overvoltage and overcurrent of the power applied through the main switch. One contact point may be provided, and a second contact point of the channel switch may be installed between the main switch and the heater of the heater jacket for each channel to block both the R-phase and T-phase AC power applied to the channel contact relay.

또한, 본 고안에서, 상기 TCU는 각 채널별 히터재킷에서 센서모듈이 감지한 온도신호로부터 고온 또는 저온신호를 알람모듈에 제어신호로 출력할 수 있다.In addition, in the present invention, the TCU may output a high or low temperature signal to the alarm module as a control signal from the temperature signal detected by the sensor module in the heater jacket for each channel.

본 고안에 따르면, 채널무접점릴레이(SSR)의 불량으로 히터재킷에 무단으로 전원이 인가되는 것을 차단하여 히터재킷의 망실 및 해당 공정으로부터 파급될 수 있는 문제를 해결할 수 있고, 채널별 하이알람릴레이(High Alarm Relay) 작동에 의한 제어로부터 TCU의 제어로 히터 온도를 제어할 수 있으므로 릴레이를 제거할 수 있어 채널별 하이알람릴레이로 인한 2차적인 피해를 최소화할 수 있으며, 로우알람(Low Alarm) 사용 때에 별도의 조치 없이 TCU설정 값 변경만으로도 사용할 수 있으며, 히터재킷의 각 채널마다 개별 변류기를 설치하여 인가되는 전류 값을 통신으로 확인할 수 있어 오작동이나 히터의 구간 단선을 쉽게 식별할 수 있고, 히터재킷의 각 채널별로 온도 조절이 가능하여 히터재킷으로 인가되는 전력을 절감할 수 있는 이점이 있다.According to the present invention, it is possible to solve the problem of the loss of the heater jacket and the process that can be spread from the process by blocking the unauthorized power supply to the heater jacket due to the defect of the channel contact relay (SSR), and the high alarm relay for each channel. Since the heater temperature can be controlled by the control of the TCU from the control by the (High Alarm Relay) operation, the relay can be removed to minimize the secondary damage caused by the high alarm relay for each channel, and the Low Alarm It can be used by simply changing the TCU set value without any action in use, and it is possible to check the current value applied by installing individual current transformers for each channel of the heater jacket. Temperature can be adjusted for each channel of the jacket to reduce the power applied to the heater jacket.

도 1은 본 고안에 따른 히터 온도 조절장치를 나타낸 블록도이다.
도 2 내지 도 5는 본 고안에 따른 히터 온도 조절장치의 제1실시 예로, 전기배선도를 나타낸 것이다.
도 6 및 도 7은 본 고안에 따른 히터 온도 조절장치의 제2실시 예로, 전기배선도를 나타낸 것이다.1 is a block diagram showing a heater temperature control apparatus according to the present invention.
2 to 5 show an electric wiring diagram according to a first embodiment of the heater temperature control device according to the present invention.
6 and 7 show an electric wiring diagram according to a second embodiment of the heater temperature control apparatus according to the present invention.

이하, 본 고안에 따른 히터 온도 조절장치에 관한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings an embodiment of a heater temperature control apparatus according to the present invention will be described in detail.

도 1에서, 본 고안의 히터 온도 조절장치는 반도체 제조설비 등에서 각종 제조공정을 수행하는 동안 해당 공정에서 기체나 액체를 수송하는 파이프나 튜브 외측에 히터재킷(Heater Jacket)이 부착되고, 히터재킷은 내부의 히터로 전원이 공급 및 가열되어 파이프나 튜브 내부의 온도가 설정된 값으로 일정하게 유지되도록 함으로써 공정 중에 잔여 가스나 부산물 가스 등이 파이프나 튜브 내에 고착되지 않도록 하는 것이다.In Figure 1, the heater temperature control device of the present invention is a heater jacket (heater jacket) is attached to the outside of the pipe or tube for transporting gas or liquid in the process during the various manufacturing processes, such as semiconductor manufacturing equipment, Power is supplied to the internal heater and heated to maintain the temperature inside the pipe or tube at a set value so that residual gas or by-product gas is not stuck in the pipe or tube during the process.

본 고안의 히터 온도 조절장치는 복수의 채널, 예컨대 1~16개 채널로 구성된 히터재킷의 온도를 조절 및 감시하는 것으로, 본 고안에서는 6개 채널로 구성된 히터재킷의 온도를 조절하는 실시 예를 설명한다.The heater temperature controller of the present invention is to control and monitor the temperature of a heater jacket composed of a plurality of channels, for example, 1 to 16 channels, and the present invention describes an embodiment of controlling the temperature of a heater jacket composed of six channels. do.

본 고안의 제1실시 예로, 도 2에서, 전원공급부(100)는 R상 및 T상의 전원이 메인스위치를 거쳐 인가된다. 전원공급부(100)는 교류전력을 공급하여 히터재킷(180)의 히터를 가열시킨다. 그리고 전원공급부(100)에서 공급된 교류전력은 히터 온도 조절장치의 구성요소의 작동을 위한 전원이 된다.In the first embodiment of the present invention, in Figure 2, the power supply unit 100 is applied to the R phase and T phase power via the main switch. The power supply unit 100 supplies AC power to heat the heater of the heater jacket 180. And the AC power supplied from the power supply unit 100 is a power source for the operation of the components of the heater temperature control device.

주 변류기(110)는 전원공급부(100)의 메인스위치를 거쳐 인가된 교류전력의 전류의 크기를 변환하는 것으로, 입력된 교류전류에서 비례하는 교류전류를 얻기 위한 것이다. 더욱이 주 변류기(110)는 보호 계전이나 전류, 전력 및 에너지의 측정 정보를 제공하는 것으로, 1차 전류에 비례하는 2차 전류를 공급하고 전압, 주파수 및 전류 등의 네트워크 특성을 맞추는 것이다.The main current transformer 110 converts the current of the AC power applied through the main switch of the power supply unit 100 to obtain an AC current proportional to the input AC current. In addition, the main current transformer 110 provides protection relay or measurement information of current, power, and energy, and supplies secondary current in proportion to the primary current and adjusts network characteristics such as voltage, frequency, and current.

노이즈필터(120)는 전원공급부(100)의 메인스위치를 거쳐 인가된 교류전력에 포함된 노이즈성분을 필터링한 후에 TCU(140) 및 히터 온도 조절장치의 각 구성요소로 공급한다. 노이즈필터(120)와 병렬로 전원램프(Power Lamp)가 접속된다.The noise filter 120 filters the noise components included in the AC power applied through the main switch of the power supply unit 100 and supplies them to each component of the TCU 140 and the heater temperature controller. A power lamp is connected in parallel with the noise filter 120.

전류계(130)는 전원공급부(100)의 메인스위치를 거쳐 인가된 교류전력의 전류 값을 측정하여 표시하고, 주 변류기(110)를 거쳐 인가된 교류전력의 전류 값을 측정하여 표시하는 것이다. 따라서 전류계(130)는 전원공급부(100)에서 인가된 1차 전류에 비례하여 주 변류기(110)를 거쳐 인가된 2차 전류의 값을 가시적으로 표시한다.The ammeter 130 measures and displays the current value of the AC power applied through the main switch of the power supply unit 100, and measures and displays the current value of the AC power applied through the main current transformer 110. Therefore, the ammeter 130 visually displays the value of the secondary current applied through the main current transformer 110 in proportion to the primary current applied from the power supply unit 100.

TCU(140)는 히터재킷(180)을 제어하는 컨트롤러로, TCU(140)는 히터재킷(180)의 발열로 인하여 형성된 온도를 센서모듈(190)에서 감지된 신호를 수신하고, 조작패널(150)을 통해 설정된 온도와 비교한 후 제어신호를 출력한다. TCU(140)는 각 채널별로 TCU입출력단(TEMP01~TEMP06)에 접속된 구동부(170)에 포함된 채널무접점릴레이(SSR01~SSR06)로 제어신호를 출력하여 채널무접점릴레이(SSR01~SSR06)를 통해 히터재킷(180)을 가열할 수 있도록 전원을 출력한다. 이러한 TCU(140)는 내부에 히터재킷(180)의 온도제어를 위한 회로가 설계되어 있고, 제어용 프로그램을 이용하여 제어신호의 입출력을 수행한다.The TCU 140 is a controller for controlling the heater jacket 180, and the TCU 140 receives a signal sensed by the sensor module 190 due to the heat generated by the heater jacket 180, and the operation panel 150. After comparing with set temperature through), output control signal. The TCU 140 outputs a control signal to the channel contact relays SSR01 to SSR06 included in the driving unit 170 connected to the TCU I / O terminals TEMP01 to TEMP06 for each channel to output the channel contact relays SSR01 to SSR06. Output power to heat the heater jacket 180 through. The TCU 140 has a circuit for controlling the temperature of the heater jacket 180 therein, and performs input / output of a control signal using a control program.

구동부(170)는 TCU(140)의 제어신호로 각 채널의 히터재킷(180)을 구동시키는 것으로, 구동부(170)에는 퓨즈를 포함하여 차단스위치(SW1~SW6), 채널무접점릴레이(SSR01~SSR06) 및 릴레이 접점(CR01-1b~CR12-1b)이 포함된다. 각 채널무접점릴레이(SSR01~SSR06) 일단에는 차단스위치(SW1~SW6)와 릴레이 접점이 접속되고, 채널무접점릴레이(SSR01~SSR06) 타단에는 TCU(140)의 입출력단자에 접속된다.The driving unit 170 drives the heater jacket 180 of each channel by the control signal of the TCU 140. The driving unit 170 includes a fuse and a disconnect switch (SW1 to SW6) and a channel contact relay (SSR01 to). SSR06) and relay contacts CR01-1b to CR12-1b. One end of each of the channel contact relays SSR01 to SSR06 is connected to the disconnect switch SW1 to SW6, and the other end of the channel contact relays SSR01 to SSR06 is connected to the input / output terminal of the TCU 140.

개별 변류기모듈(200)은 주 변류기(110)에서 변환된 전류가 각 채널별 히터재킷(180)으로 비례하는 전류가 인가되는 것을 측정한다. 개별 변류기(CT01~CT06)는 각각의 퓨즈(F01~F06) 앞단에 설치된다. 따라서 개별 변류기(CT01~CT06)는 각 히터재킷(180)의 각 히터(H01~H06)로 인가되는 전류를 감지하여 TCU(140)로 전송하여 히터(H01~H06)의 정상 작동여부를 판단할 수 있도록 한다. 또한, 개별 변류기(CT01~CT06)로 인가되는 전류 값을 확인할 수 있어 히터재킷(180)의 오작동이나 히터(H01~H06)의 구간 단선을 쉽게 식별할 수 있다.The individual current transformer module 200 measures that a current in which the current converted in the main current transformer 110 is proportional to the heater jacket 180 for each channel is applied. Individual current transformers CT01 to CT06 are installed in front of each of the fuses F01 to F06. Therefore, the individual current transformers CT01 to CT06 detect current applied to each heater H01 to H06 of each heater jacket 180 and transmit the current to the TCU 140 to determine whether the heaters H01 to H06 are normally operated. To be able. In addition, since the current value applied to the individual current transformers CT01 to CT06 can be confirmed, malfunction of the heater jacket 180 or a section disconnection of the heaters H01 to H06 can be easily identified.

히터재킷(180)은 기체나 액체를 수송하는 파이프 또는 튜브에 복수의 채널별로 설치된 TCU(140)의 제어신호로 발열하는 것이다. 센서모듈(190)은 각 채널별 히터재킷(180)에 설치되어 히터재킷(180)의 온도를 감지하여 TCU(140)로 출력한다.The heater jacket 180 generates heat by a control signal of the TCU 140 installed in a plurality of channels in a pipe or a tube for transporting gas or liquid. The sensor module 190 is installed in the heater jacket 180 for each channel to detect the temperature of the heater jacket 180 and output it to the TCU 140.

조작패널(150)은 TCU(140)의 제어로 각 히터재킷(180)의 각종 작동 정보를 시청각으로 표시하고, 히터재킷(180)의 제어를 위한 각종 설정 값을 입력하기 위한 것이다. 알람모듈(160)은 TCU(140)의 제어신호로 각 채널별 히터재킷(180)의 설정된 고온(Hi/HiHi), 저온(Low) 및 루프단선경보(LBA), 히터단선경보(HBA)에 따른 알람램프 및 부저를 작동시키는 것이다.The operation panel 150 is for visually displaying various operation information of each heater jacket 180 under the control of the TCU 140 and inputs various setting values for the control of the heater jacket 180. Alarm module 160 is a control signal of the TCU 140 to the high temperature (Hi / HiHi), low temperature (Low) and loop break alarm (LBA), heater break alarm (HBA) of the heater jacket 180 for each channel It is to activate the alarm lamp and the buzzer.

도 3a 내지 도 3c에서, 히터재킷(180)의 각 채널별로 TCU입출력단(TEMP01~TEMP06)에 입력신호와 TCU(140)의 제어신호가 출력된다. 또한, 각 채널별로 TCU(140)의 출력단에는 채널스위치(SW11~SW16)가 구성된다. 각 채널스위치(SW11~SW16)의 온 또는 오프에 따라 해당하는 채널무접점릴레이(SSR01~SSR06)의 작동으로 히터재킷(180)의 히터(H01-H06)로 인가되는 전원을 온 또는 오프시킬 수 있다. 이때, 각 채널별 히터재킷(180)으로 전원이 인가되는 것을 단속하는 채널무접점릴레이(SSR01~SSR06)가 망실되면, TCU(140)가 채널무접점릴레이(SSR01~SSR06)를 제어할 수 없어 알람신호를 발생하는 릴레이 접점으로 제어함으로서 릴레이접점 손실 및 채터링 현상을 일으킬 수 있어 릴레이가 가열되고 화재가 발생하는 등의 2차적인 문제가 발생될 수 있다. 이를 위하여 각 채널별로 구성된 고온알람타입(HiHi Ararm Type)을 일반경보가 아닌 유지경보(Hold)로 변경하여 릴레이접점으로 전원이 공급되지 않도록 할 수 있다.3A to 3C, input signals and control signals of the TCU 140 are output to the TCU input / output terminals TEMP01 to TEMP06 for each channel of the heater jacket 180. In addition, channel switches SW11 to SW16 are configured at output terminals of the TCU 140 for each channel. The power applied to the heaters H01-H06 of the heater jacket 180 can be turned on or off by operating the corresponding channel contact relays SSR01 to SSR06 according to the on or off of each channel switch SW11 to SW16. have. At this time, when the channel contact relays SSR01 to SSR06 that interrupt the power supply to the heater jacket 180 for each channel are lost, the TCU 140 cannot control the channel contact relays SSR01 to SSR06. By controlling the relay contact to generate an alarm signal, relay contact loss and chattering may occur, causing secondary problems such as relay heating and fire. To this end, the HiHi Ararm Type configured for each channel can be changed to a maintenance alarm instead of a general alarm so that power is not supplied to the relay contact.

그러나 채널무접점릴레이(SSR01~SSR06)의 오작동 등의 불량이 발생하게 되면, TCU(140)가 해당하는 채널무접점릴레이(SSR01~SSR06)를 제어할 수 없을 뿐만 아니라 해당하는 채널스위치(SW11~SW16)를 오프시키더라도 히터재킷(180)의 해당 히터(H01~H06)에 계속하여 전원이 인가되고, 이로부터 히터재킷(180)은 가열되어 파손 및 화재가 발생할 수 있다. 이때에는 전원공급부(100)의 메인스위치(M-SW)를 오프시켜 히터 온도 조절장치 및 히터재킷(180)의 히터(H01~H06)로 인가되는 모든 전원을 차단시켜야 한다. 이러한 채널무접점릴레이(SSR01~SSR06)의 불량에 의한 오작동으로 인하여 히터재킷(180)의 전체 채널로 인가되는 전원을 차단함으로써 반도체 제조설비의 해당 공정 또는 모든 공정을 정지시켜야 하는 문제가 발생된다.However, when a defect such as a malfunction of the channel contact relays SSR01 to SSR06 occurs, the TCU 140 may not control the corresponding channel contact relays SSR01 to SSR06, as well as the corresponding channel switch SW11 to SSR06. Even when SW16 is turned off, power is continuously applied to the heaters H01 to H06 of the heater jacket 180, from which the heater jacket 180 may be heated to cause breakage and fire. In this case, the main switch (M-SW) of the power supply unit 100 must be turned off to cut off all power applied to the heaters H01 to H06 of the heater temperature controller and the heater jacket 180. Due to a malfunction caused by the defects of the channelless contact relays SSR01 to SSR06, a problem occurs in that the process or all the processes of the semiconductor manufacturing equipment are stopped by shutting off power applied to all channels of the heater jacket 180.

따라서 본 고안은 채널무접점릴레이(SSR01~SSR06) 일단에 설치된 차단스위치(SW1~SW6)를 강제 오프시킴으로써 해당하는 채널무접점릴레이(SSR01~SSR06)의 작동을 정지시켜 해당하는 히터재킷(180)의 작동을 정지시킬 수 있도록 한다. 그러므로 복수 채널의 히터재킷(180) 중 해당하는 채널무접점릴레이(SSR01~SSR06)가 접속된 히터재킷(180)만 작동을 정지시킴으로써 나머지 히터재킷(180)은 작동시킬 수 있도록 하여 반도체 제조설비의 해당 공정의 정지 문제를 해결할 수 있게 된다.Therefore, the present invention stops the operation of the corresponding channel contact relays (SSR01 to SSR06) by forcibly turning off the switch switches (SW1 to SW6) installed at one end of the channel contact relays (SSR01 to SSR06), thereby providing the corresponding heater jacket 180. To stop the operation. Therefore, only the heater jacket 180 to which the corresponding channel contact relays SSR01 to SSR06 are connected among the heater jackets 180 of the plurality of channels is stopped so that the remaining heater jacket 180 can be operated to provide the semiconductor manufacturing equipment. The problem of stopping the process can be solved.

도 4a 및 도 4b에서, 각 채널별 히터재킷(180)의 센서모듈(190)에서 감지된 온도로부터 설정된 온도에 해당하는 고온접점(HIGH)과 저온접점(LOW), 그리고 트립접점(TRIP)이 해당하는 부하(CR1-CR14)와 각각 접속된다.4A and 4B, the high temperature contact point HIGH, the low temperature contact point LOW, and the trip contact point TRP corresponding to a temperature set from a temperature detected by the sensor module 190 of the heater jacket 180 for each channel are shown. It is connected with the corresponding load CR1-CR14, respectively.

도 5a 및 도 5b에서, TCU(140)의 제어신호로 각 채널별 히터재킷(180)의 설정된 고온 또는 저온에 따른 알람모듈(160)의 알람램프 및 부저를 작동시킨다. 이때, TCU(140)는 각 채널별 히터재킷(180)에 설치된 히터(H01-H06)에서 감지된 온도를 설정된 고온 또는 저온일 때에 릴레이를 거치지 않고 직접 제어신호로 알람모듈(160)을 작동시킬 수 있도록 한다.5A and 5B, the alarm lamp and the buzzer of the alarm module 160 according to the set high or low temperature of the heater jacket 180 for each channel are operated by the control signal of the TCU 140. In this case, the TCU 140 may operate the alarm module 160 as a direct control signal without passing through a relay when the temperature detected by the heaters H01-H06 installed in the heater jacket 180 for each channel is set at a high or low temperature. To be able.

본 고안의 제2실시 예로, 도 6에서, 구동부(170)는 TCU(140)의 제어신호로 각 채널의 히터재킷(180)을 구동시키는 것으로, 구동부(170)에는 각각의 퓨즈(F01~F06)를 포함하여 도 7a 내지 도 7c에 각각 구성된 각 채널스위치(SW11~SW16)의 제1접점(SW11a~SW16a) 및 제2접점(SW11b~SW16b)이 포함된다. 그리고 채널무접점릴레이(SSR01~SSR06) 및 릴레이 접점(CR01-1b~CR17-1b)이 포함된다. 각 채널무접점릴레이(SSR01~SSR06) 일단에는 제1접점(SW11a~SW16a)이 접속되고, 채널무접점릴레이(SSR01~SSR06) 타단에는 TCU(140)의 입출력단자에 접속된다. 즉, 구동부(170)는 각 채널별로 TCU(140)의 출력단에 채널스위치(SW11~SW16)가 구성되되, 각 채널별 채널무접점릴레이(SSR01~SSR06)와, 메인스위치(M-SW)를 거쳐 인가되는 전원의 과전압 및 과전류를 차단하는 퓨즈(F01-F06) 사이에 채널스위치(SW11~SW16)의 제1접점(SW11a-SW16a)이 설치되고, 상기 메인스위치(M-SW)와 각 채널별 히터재킷(180)의 히터(H01~H06) 사이에 채널스위치(SW11~SW16)의 제2접점(SW11b-SW16b)이 설치된다. 이러한 구성은 각 채널스위치(SW11~SW16)의 절환으로 채널무접점릴레이(SSR01-SSR06)로 연결된 배선의 양단을 모두 컷오프(cutoff)시켜 인가되는 R상 및 T상의 교류전원을 모두 차단시킴으로써 안전성을 도모한 것이다. 이는 제1실시 예에 의한 각 차단스위치(SW1~SW6)의 차단으로 각 채널별 채널무접점릴레이(SSR01~SSR06)로 인가되는 R상의 교류전원만 차단하는 것보다 감전 등의 위험을 감소시킬 수 있도록 한 것이다.In a second embodiment of the present invention, in FIG. 6, the driving unit 170 drives the heater jacket 180 of each channel by the control signal of the TCU 140, and each of the fuses F01 to F06 in the driving unit 170. 7A to 7C, the first contact SW11a to SW16a and the second contact SW11b to SW16b of each of the channel switches SW11 to SW16, respectively, are included. And channel contact relays SSR01 to SSR06 and relay contacts CR01-1b to CR17-1b. One end of each of the contactless relays SSR01 to SSR06 is connected to the first contact point SW11a to SW16a, and the other end of the channelless contact relays SSR01 to SSR06 is connected to an input / output terminal of the TCU 140. That is, the driving unit 170 has channel switches SW11 to SW16 at the output terminal of the TCU 140 for each channel, and the channel contact relays SSR01 to SSR06 and the main switch M-SW for each channel. The first contacts SW11a to SW16a of the channel switches SW11 to SW16 are installed between the fuses F01-F06 that block the overvoltage and overcurrent of the power applied through the main switch M-SW and the respective channels. Second contacts SW11b to SW16b of the channel switches SW11 to SW16 are installed between the heaters H01 to H06 of the respective heater jackets 180. This configuration cuts off both ends of the wiring connected to the channel contact relays (SSR01-SSR06) by switching each of the channel switches SW11 to SW16 to cut off the applied R- and T-phase AC power supply. It was planned. This can reduce the risk of electric shock, etc., by only blocking the AC power applied to the channelless contact relays SSR01 to SSR06 for each channel by blocking the respective disconnect switches SW1 to SW6 according to the first embodiment. It would be.

이상의 설명에서 본 고안은 특정의 실시 예와 관련하여 도시 및 설명하였지만, 청구범위에 의해 나타난 고안의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 개조 및 변화가 가능하다는 것을 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 쉽게 알 수 있을 것이다.While the invention has been shown and described in connection with specific embodiments thereof, it is to be understood that various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the invention as indicated by the claims. Anyone who owns it can easily find out.

100: 전원공급부 110: 주 변류기 120: 노이즈필터 130: 전류계 140: TCU 150: 조작패널 160: 알람모듈 170: 구동부 180: 히터재킷 181: 히터 190: 센서모듈 200, CT01~CT06: 개별 변류기모듈 M-SW: 메인스위치 H01~H06: 히터 SW1~SW6: 차단스위치 SW11~SW16: 채널스위치 SSR01~SSR06: 채널무접점릴레이 TEMP01~TEMP06: TCU입출력단100: power supply unit 110: main current transformer 120: noise filter 130: ammeter 140: TCU 150: operation panel 160: alarm module 170: drive unit 180: heater jacket 181: heater 190: sensor module 200, CT01 ~ CT06: individual current transformer module M SW: Main switch H01 ~ H06: Heater SW1 ~ SW6: Disconnect switch SW11 ~ SW16: Channel switch SSR01 ~ SSR06: Channel contact relay TEMP01 ~ TEMP06: TCU I / O

Claims

In the heater temperature control device for controlling the temperature of the heater jacket which is installed in a plurality of channels in the pipe or tube for transporting gas or liquid to generate heat,
A power supply unit 100 for supplying AC power applied from the outside via the main switch M-SW;
A main current transformer 110 for changing the current of the AC power applied through the main switch M-SW into a current having a predetermined magnitude;
A noise filter 120 which attenuates noise components included in the AC power applied through the main switch M-SW and supplies power to the TCU 140;
An ammeter 130 for measuring the current value of the AC power input through the main switch (M-SW) and the main current transformer (110) and displaying it as visible data;
A TCU 140 that heats the temperature of the heater jacket 180 to a set temperature and has a circuit and a program designed for controlling the temperature of the heater jacket 180;
A driving unit 170 for controlling the power applied to the heater jacket 180 by switching channel contact relays SSR01 to SSR06 with the control signal of the TCU 140;
An individual current transformer module 200 which senses a current proportional to the current of an AC power applied to the heater jacket 180 for each channel via the main current transformer 110 and outputs the current to the TCU 140;
A sensor module 190 installed in the heater jacket 180 for each channel to detect a temperature of the heater jacket 180 and output the detected temperature to the TCU 140;
An operation panel 150 for visually displaying various operation information of the heater jacket 180 for each channel under the control of the TCU 140 and inputting various setting values for the control of the heater jacket 180;
Channel contact relay (SSR01) installed between the channelless contact relays (SSR01 to SSR06) for each channel and the fuse (F01-F06) to cut off the overvoltage and overcurrent of the power applied through the main switch (M-SW). Shut off switch (SW1 to SW6) for forcibly cutting off AC power applied to R SSR06), and
And an alarm module (160) for operating an alarm lamp and a buzzer according to a set high or low temperature of the heater jacket 180 for each channel as a control signal of the TCU 140.

delete

According to claim 1, wherein the channel switch (SW11 ~ SW16) is configured at the output terminal of the TCU 140 for each channel, the channel contact relay (SSR01 ~ SSR06) and the main switch (M-SW) for each channel The first contacts SW11a to SW16a of the channel switches SW11 to SW16 are installed between the fuses F01-F06 that block the overvoltage and overcurrent of the power applied through the main switch M-SW and the respective channels. R phase and T applied to the channel contact relays SSR01 to SSR06 by installing the second contact SW11b to SW16b of the channel switches SW11 to SW16 between the heaters H01 to H06 of the respective heater jackets 180. Heater thermostat to cut off all AC power in the phase.

The heater of claim 1, wherein the TCU 140 outputs a high or low temperature signal to the alarm module 160 as a control signal from a temperature signal detected by the sensor module 190 in each heater jacket 180 for each channel. Thermostat.