KR200488144Y1 - Apparatus for cold spray coating - Google Patents

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KR200488144Y1
KR200488144Y1 KR2020170004258U KR20170004258U KR200488144Y1 KR 200488144 Y1 KR200488144 Y1 KR 200488144Y1 KR 2020170004258 U KR2020170004258 U KR 2020170004258U KR 20170004258 U KR20170004258 U KR 20170004258U KR 200488144 Y1 KR200488144 Y1 KR 200488144Y1
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이강호
박정남
조태영
신재섭
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Abstract

본 고안은, 원료를 공급하기 위한 원료공급부(10)와, 상기 원료의 이송을 위한 이송가스를 공급하기 위한 이송가스 공급부(20)와, 상기 원료와 상기 이송가스를 가속시키기 위한 가속가스를 공급하기 위한 가속가스 공급부(30)와, 상기 원료공급부(10)로부터 공급된 원료와 상기 이송가스 공급부(20)로부터 공급된 이송가스가 유입되어 이송되는 이송관(40) 및 상기 가속가스 공급부(30)으로부터 공급된 가속가스가 유입되어 이송되는 가속가스 공급관(50)을 포함하는 공급노즐부(60)와, 상기 공급노즐부(60)로부터 원료, 이송가스 및 가속가스를 공급받아 챔버(80) 내에 설치된 기판으로 원료를 분사하기 위한 분사노즐부(70)와, 상기 분사노즐부(70)로부터 분사된 원료가 기판에 충돌하여 코팅층이 형성되는 공간을 제공하는 챔버(80)와, 상기 분사노즐부(70)로부터 공급된 원료가 챔버(80) 내로 가속되어 이송될 수 있게 하고 상기 챔버(80) 내의 이송가스와 가속가스를 펌핑하여 외부로 배출되게 하기 위한 펌프(90)를 포함하는 저온 분사 코팅 장치에 관한 것이다. 본 고안에 의하면, 원료의 역류 없이 분사할 수 있어 원료가 역류되는 현상을 억제할 수 있고, 원료의 흐름성과 코팅 효율을 높일 수가 있다.The present invention relates to a feeder for feeding a raw material, a feed gas feeder for feeding a feed gas for feeding the raw material, an accelerating gas for accelerating the raw material and the feed gas, An acceleration gas supply unit 30 for supplying the raw gas supplied from the raw material supply unit 10 and a transfer gas 40 and an acceleration gas supply unit 30 for transferring the transfer gas fed from the transfer gas supply unit 20, A supply nozzle unit 60 including an accelerating gas supply pipe 50 through which the accelerating gas supplied from the supply nozzle unit 60 is introduced and transported; A chamber 80 for providing a space in which a raw material ejected from the ejection nozzle unit 70 collides with a substrate to form a coating layer; From the portion 70 Geupdoen allow material to be transferred is accelerated into the chamber 80, and relates to a low-temperature spray coating apparatus comprising a pump 90 to be pumped to feed gas and accelerating the gas in the chamber 80 is discharged to the outside. According to the present invention, it is possible to suppress the phenomenon that the raw material can be injected without backflow of the raw material, and the raw material can flow backward, and the flowability of the raw material and the coating efficiency can be increased.

Description

저온 분사 코팅 장치{Apparatus for cold spray coating}[0001] Apparatus for cold spray coating [0002]

본 고안은 저온 분사 코팅 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 원료의 역류 없이 분사할 수 있어 원료가 역류되는 현상을 방지할 수 있고, 원료의 흐름성과 코팅 효율을 높일 수가 있으며, 저온으로 원료가 분사되어 코팅층이 형성되므로 원료가 상호 반응하지 않고 코팅층의 조직이 변동되지 않으며, 코팅재(원료) 상호 간 또는 기판과 코팅재 사이에 고온 확산 또는 융착 등의 현상이 일어나지 않는 저온 분사 코팅 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a low-temperature spray coating apparatus, and more particularly, to a low-temperature spray coating apparatus capable of spraying without backflow of a raw material, preventing backflow of raw materials, increasing flow rate of raw materials and coating efficiency, The present invention relates to a low temperature spray coating apparatus which does not cause mutual reaction of raw materials and does not change the structure of a coating layer and does not cause high temperature diffusion or fusing between coating materials (raw materials) or between a substrate and a coating material.

분사코팅법으로 용융분사 코팅법(용사코팅법, thermal spray coating)이 이용되고 있다. Spray coating method (thermal spray coating) is used.

용융분사 코팅법은 코팅할 재료를 미리 고온에서 용융시킨 후 기판의 표면에 분사하는 방법이므로, 용융하여 분사하기 때문에 코팅재가 용이하게 코팅될 수 있다. 그러나, 고온으로 용융시킬 경우 재료가 반응하거나, 기판과 코팅층의 열팽창계수 차이에 의해 목표로 하는 코팅층이 얻어지지 않는 등의 문제가 발생할 수 있다.The melt spray coating method is a method in which a material to be coated is melted at a high temperature in advance and then sprayed onto the surface of the substrate, so that the coating material can be easily coated because it is melted and injected. However, when the material is melted at a high temperature, the material may react, or a target coating layer may not be obtained due to a difference in thermal expansion coefficient between the substrate and the coating layer.

이러한 문제를 해소하기 위해 저온분사 코팅법이 제안되게 되었으며, 저온 분사 코팅법은 용융분사 코팅법과는 달리 재료가 반응하거나 재료의 조직이 변동되지 않는 상온 또는 이와 유사한 온도인 저온 영역에서 코팅될 재료를 분사하여 코팅하는 방법이다.In order to solve this problem, a low temperature spray coating method has been proposed. In contrast to the melt spray coating method, the low temperature spray coating method is applied to a material to be coated at a low temperature region, which is a room temperature or a similar temperature, Followed by spraying.

그러나, 저온으로 분사 코팅할 경우 분사되는 재료들의 코팅 작업성이 저하되는 문제가 있다. 용사코팅법으로 재료를 코팅할 경우에는 재료가 고온으로 용융되어 분사되므로, 재료 상호 간은 물론이고 기판과 코팅재와의 사이에 고온 확산 또는 융착되는 현상이 일어나서 기판의 표면에 견고한 코팅층을 얻을 수 있다.However, there is a problem that coating workability of materials to be sprayed is lowered when spray coating is performed at a low temperature. When the material is coated by the spray coating method, the material is melted and injected at a high temperature, so that a high temperature diffusion or fusing phenomenon occurs between the substrate and the coating material as well as between the materials, and a solid coating layer can be obtained on the surface of the substrate .

그러나, 저온 분사 코팅법의 경우에는 용사코팅법과는 달리 코팅재의 온도가 저온이므로 코팅재 상호간 또는 기판과 코팅재 사이에 고온 확산 또는 융착 등의 현상을 기대하기는 어렵다. 이러한 문제점을 극복하기 위하여 저온 분사 코팅법을 실시할 때에는 코팅재의 속도를 극대화시켜 코팅재의 운동에너지가 코팅재 상호간 또는 기판과 코팅재 사이의 결합력을 제공할 수 있도록 할 필요가 있다.However, in the case of the low-temperature spray coating method, unlike the spray coating method, since the temperature of the coating material is low, it is difficult to expect a phenomenon such as high temperature diffusion or fusion between the coating materials or between the substrate and the coating material. In order to overcome these problems, it is necessary to maximize the speed of the coating material so that the kinetic energy of the coating material can provide a bonding force between the coating materials or between the substrate and the coating material when performing the low temperature spray coating method.

대한민국 공개특허공보 제10-2011-0077779호Korean Patent Publication No. 10-2011-0077779

본 고안이 해결하고자 하는 과제는 원료의 역류 없이 분사할 수 있어 원료가 역류되는 현상을 억제할 수 있고, 원료의 흐름성과 코팅 효율을 높일 수가 있으며, 저온으로 원료가 분사되어 코팅층이 형성되므로 원료가 상호 반응하지 않고 코팅층의 조직이 변동되지 않으며, 코팅재(원료) 상호 간 또는 기판과 코팅재 사이에 고온 확산 또는 융착 등의 현상이 일어나지 않는 저온 분사 코팅 장치를 제공함에 있다. The problem to be solved by the present invention is to suppress the phenomenon of backflow of raw materials because the raw materials can be sprayed without backflow of raw materials, and flowability and coating efficiency of raw materials can be increased. Since the raw material is sprayed at a low temperature to form a coating layer, Temperature coagulation coating apparatus in which mutual reaction does not occur and the structure of the coating layer is not changed and a phenomenon such as high temperature diffusion or fusion is not caused between the coating materials (raw materials) or between the substrate and the coating material.

본 고안은, 원료를 공급하기 위한 원료공급부(10)와, 상기 원료의 이송을 위한 이송가스를 공급하기 위한 이송가스 공급부(20)와, 상기 원료와 상기 이송가스를 가속시키기 위한 가속가스를 공급하기 위한 가속가스 공급부(30)와, 상기 원료공급부(10)로부터 공급된 원료와 상기 이송가스 공급부(20)로부터 공급된 이송가스가 유입되어 이송되는 이송관(40) 및 상기 가속가스 공급부(30)으로부터 공급된 가속가스가 유입되어 이송되는 가속가스 공급관(50)을 포함하는 공급노즐부(60)와, 상기 공급노즐부(60)로부터 원료, 이송가스 및 가속가스를 공급받아 챔버(80) 내에 설치된 기판으로 원료를 분사하기 위한 분사노즐부(70)와, 상기 분사노즐부(70)로부터 분사된 원료가 기판에 충돌하여 코팅층이 형성되는 공간을 제공하는 챔버(80)와, 상기 분사노즐부(70)로부터 공급된 원료가 챔버(80) 내로 가속되어 이송될 수 있게 하고 상기 챔버(80) 내의 이송가스와 가속가스를 펌핑하여 외부로 배출되게 하기 위한 펌프(90)를 포함하는 저온 분사 코팅 장치를 제공한다.The present invention relates to a feeder for feeding a raw material, a feed gas feeder for feeding a feed gas for feeding the raw material, an accelerating gas for accelerating the raw material and the feed gas, An acceleration gas supply unit 30 for supplying the raw gas supplied from the raw material supply unit 10 and a transfer gas 40 and an acceleration gas supply unit 30 for transferring the transfer gas fed from the transfer gas supply unit 20, A supply nozzle unit 60 including an accelerating gas supply pipe 50 through which the accelerating gas supplied from the supply nozzle unit 60 is introduced and transported; A chamber 80 for providing a space in which a raw material ejected from the ejection nozzle unit 70 collides with a substrate to form a coating layer; From the portion 70 Geupdoen allow material to be transferred is accelerated into the chamber 80 and provides a low-temperature spray coating apparatus comprising a pump 90 to be pumped to feed gas and accelerating the gas in the chamber 80 is discharged to the outside.

상기 원료공급부(10)로부터 공급된 원료와 상기 이송가스 공급부(20)로부터 공급된 이송가스가 이송관(40)에서 합류되어 혼합되고, 상기 이송관(40)을 통해 원료와 이송가스가 혼합된 상태로 이송되며, 원료와 이송가스가 혼합된 상태로 이송되다가 상기 가속가스 공급관(50)을 통해 이송된 가속가스가 합류되면서 가속되어 상기 분사노즐부(70)로 유입되며, 상기 가속가스 공급관(50) 말단이 상기 이송관(40) 말단보다 분사노즐부(70) 쪽으로 더 삽입되게 설치되어 있는 것이 바람직하다. The raw material supplied from the raw material supply unit 10 and the transfer gas supplied from the transfer gas supply unit 20 are mixed and mixed in the transfer pipe 40 and the raw material and the transfer gas are mixed through the transfer pipe 40 And the accelerated gas transferred through the accelerating gas supply pipe 50 is accelerated while being mixed with the raw material and the transfer gas and is introduced into the injection nozzle unit 70, 50 may be inserted into the injection nozzle unit 70 more than the end of the transfer pipe 40.

상기 원료와 이송가스의 이송관(40)은 수평면에 대하여 수직 방향으로 아래로 향하게 구비되어 상기 원료와 상기 이송가스가 합류관(65)의 중심부를 향해 수직하게 입사될 수 있다.The feed pipe 40 of the raw material and the feed gas may be vertically downwardly directed to the horizontal plane so that the feed and the feed gas may be vertically incident toward the center of the confluent pipe 65.

상기 원료와 이송가스의 이송관(40)이 수평면에 대하여 하방향으로 경사지게 구비되어 상기 원료와 상기 이송가스가 합류관(65)의 중심부를 향하게 비스듬하게 입사될 수 있다.The feed pipe 40 of the raw material and the feed gas may be inclined downward with respect to the horizontal plane so that the raw material and the feed gas may be incident obliquely toward the center of the confluent pipe 65.

상기 가속가스 공급관(50)을 통해 유입되는 가속가스의 유량이 상기 이송가스의 유량보다 큰 것이 바람직하다.The flow rate of the accelerating gas flowing through the accelerating gas supply pipe 50 is preferably larger than the flow rate of the conveying gas.

가속가스 공급관(50) 말단에는 다수의 홀이 구비되고, 상기 다수의 홀을 통해 가속가스가 분출되며, 상기 다수의 홀 중에서 적어도 일부의 홀이 경사지게 구비되는 것이 바람직하다.It is preferable that a plurality of holes are provided at the end of the accelerating gas supply pipe 50, acceleration gas is sprayed through the plurality of holes, and at least a part of the holes are inclined.

경사지게 구비된 홀의 경사 각도는 5∼20°이고, 경사지게 구비된 홀이 중심부를 기준으로 방사형을 이루는 것이 바람직하다.It is preferable that the inclined angle of the inclined hole is 5 to 20 占 and the inclined hole has a radial shape with respect to the center portion.

상기 분사노즐부(70)는 원료가 유입되는 입구부터 내경이 감소하다가 일정 부위부터는 배출구까지 내경이 증가하는 형태의 노즐로 구비되는 것이 바람직하다.The injection nozzle unit 70 may include a nozzle having an inner diameter decreasing from an inlet through which the raw material flows, and an inner diameter increasing from a certain position to an outlet.

상기 기판은 세라믹 기판, 금속 기판, 금속합금 기판 또는 폴리머 기판을 포함할 수 있다.The substrate may include a ceramic substrate, a metal substrate, a metal alloy substrate, or a polymer substrate.

상기 원료는 금속 분말, 산화물 분말, 불화물 분말, 질화물 분말, 탄화물 분말 또는 이들의 혼합물을 포함할 수 있다.The raw material may include a metal powder, an oxide powder, a fluoride powder, a nitride powder, a carbide powder, or a mixture thereof.

본 고안의 저온 분사 코팅 장치에 의하면, 원료의 역류 없이 분사할 수 있어 원료가 역류되는 현상을 억제할 수 있는 장점이 있고, 원료의 흐름성과 코팅 효율을 높일 수가 있다. According to the low temperature spray coating apparatus of the present invention, it is possible to suppress the phenomenon that the raw material can be sprayed without backflow of the raw material and the backflow of the raw material can be suppressed, and the flowability of the raw material and the coating efficiency can be increased.

본 고안의 저온 분사 코팅 장치를 이용하는 경우에, 저온으로 분사되어 코팅층이 형성되므로 원료가 상호 반응하지 않고 코팅층의 조직이 변동되지 않으며, 코팅재(원료) 상호 간 또는 기판과 코팅재 사이에 고온 확산 또는 융착 등의 현상이 일어나지 않는다. When the low-temperature spray coating apparatus of the present invention is used, since the coating layer is formed by spraying at a low temperature, the raw materials do not react with each other and the structure of the coating layer does not fluctuate, and a high temperature diffusion or fusion And the like do not occur.

도 1은 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 저온 분사 코팅 장치의 일 예를 나타낸 구성도이다.
도 2는 일 예에 따른 공급노즐부를 도시한 도면이다.
도 3은 다른 예에 따른 공급노즐부를 도시한 도면이다.
도 4는 또 다른 예에 따른 공급노즐부를 도시한 도면이다.FIG. 1 is a view showing an example of a low-temperature spray coating apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.
2 is a view showing a supply nozzle unit according to an example.
3 is a view showing a supply nozzle portion according to another example.
4 is a view showing a supply nozzle portion according to yet another example.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 그러나, 이하의 실시예는 이 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 본 고안이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 고안의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, it should be understood that the following embodiments are provided so that those skilled in the art can understand the present invention without departing from the scope and spirit of the present invention. It is not. Wherein like reference numerals refer to like elements throughout.

이하에서, "저온"이라 함은 용융분사 코팅법(용사코팅법, thermal spray coating)에 의해 코팅층을 형성할 때의 온도보다 낮은 온도를 의미하는 것으로 사용한다. Hereinafter, the term "low temperature" is used to mean a temperature lower than the temperature at which the coating layer is formed by the melt spray coating (thermal spray coating).

본 고안의 바람직한 실시예에 따른 저온 분사 코팅 장치는, 원료를 공급하기 위한 원료공급부(10)와, 상기 원료의 이송을 위한 이송가스를 공급하기 위한 이송가스 공급부(20)와, 상기 원료와 상기 이송가스를 가속시키기 위한 가속가스를 공급하기 위한 가속가스 공급부(30)와, 상기 원료공급부(10)로부터 공급된 원료와 상기 이송가스 공급부(20)로부터 공급된 이송가스가 유입되어 이송되는 이송관(40) 및 상기 가속가스 공급부(30)으로부터 공급된 가속가스가 유입되어 이송되는 가속가스 공급관(50)을 포함하는 공급노즐부(60)와, 상기 공급노즐부(60)로부터 원료, 이송가스 및 가속가스를 공급받아 챔버(80) 내에 설치된 기판으로 원료를 분사하기 위한 분사노즐부(70)와, 상기 분사노즐부(70)로부터 분사된 원료가 기판에 충돌하여 코팅층이 형성되는 공간을 제공하는 챔버(80)와, 상기 분사노즐부(70)로부터 공급된 원료가 챔버(80) 내로 가속되어 이송될 수 있게 하고 상기 챔버(80) 내의 이송가스와 가속가스를 펌핑하여 외부로 배출되게 하기 위한 펌프(90)를 포함한다. The low temperature spray coating apparatus according to a preferred embodiment of the present invention includes a raw material supply unit 10 for supplying a raw material, a transfer gas supply unit 20 for supplying a transfer gas for transferring the raw material, An accelerating gas supply unit 30 for supplying an accelerating gas for accelerating the transfer gas, a transfer gas supply unit 30 for transferring the raw material supplied from the raw material supply unit 10 and the transfer gas supplied from the transfer gas supply unit 20, A supply nozzle unit 60 including an accelerating gas supply pipe 50 through which the accelerating gas supplied from the accelerating gas supply unit 30 is introduced and transferred to the supply nozzle unit 60, A spray nozzle unit 70 for spraying a raw material to a substrate provided in the chamber 80 with an accelerated gas supplied thereto and a space in which the raw material sprayed from the spray nozzle unit 70 collides with the substrate to form a coating layer, And a gas supply unit for supplying the raw material supplied from the injection nozzle unit 70 to the chamber 80 so that the raw material can be accelerated and transferred to the chamber 80 and the transfer gas and the acceleration gas in the chamber 80 are pumped out, And a pump 90 for performing the operation.

상기 원료공급부(10)로부터 공급된 원료와 상기 이송가스 공급부(20)로부터 공급된 이송가스가 이송관(40)에서 합류되어 혼합되고, 상기 이송관(40)을 통해 원료와 이송가스가 혼합된 상태로 이송되며, 원료와 이송가스가 혼합된 상태로 이송되다가 상기 가속가스 공급관(50)을 통해 이송된 가속가스가 합류되면서 가속되어 상기 분사노즐부(70)로 유입되며, 상기 가속가스 공급관(50) 말단이 상기 이송관(40) 말단보다 분사노즐부(70) 쪽으로 더 삽입되게 설치되어 있는 것이 바람직하다. The raw material supplied from the raw material supply unit 10 and the transfer gas supplied from the transfer gas supply unit 20 are mixed and mixed in the transfer pipe 40 and the raw material and the transfer gas are mixed through the transfer pipe 40 And the accelerated gas transferred through the accelerating gas supply pipe 50 is accelerated while being mixed with the raw material and the transfer gas and is introduced into the injection nozzle unit 70, 50 may be inserted into the injection nozzle unit 70 more than the end of the transfer pipe 40.

상기 원료와 이송가스의 이송관(40)은 수평면에 대하여 수직 방향으로 아래로 향하게 구비되어 상기 원료와 상기 이송가스가 합류관(65)의 중심부를 향해 수직하게 입사될 수 있다.The feed pipe 40 of the raw material and the feed gas may be vertically downwardly directed to the horizontal plane so that the feed and the feed gas may be vertically incident toward the center of the confluent pipe 65.

상기 원료와 이송가스의 이송관(40)이 수평면에 대하여 하방향으로 경사지게 구비되어 상기 원료와 상기 이송가스가 합류관(65)의 중심부를 향하게 비스듬하게 입사될 수 있다.The feed pipe 40 of the raw material and the feed gas may be inclined downward with respect to the horizontal plane so that the raw material and the feed gas may be incident obliquely toward the center of the confluent pipe 65.

상기 가속가스 공급관(50)을 통해 유입되는 가속가스의 유량이 상기 이송가스의 유량보다 큰 것이 바람직하다.The flow rate of the accelerating gas flowing through the accelerating gas supply pipe 50 is preferably larger than the flow rate of the conveying gas.

가속가스 공급관(50) 말단에는 다수의 홀이 구비되고, 상기 다수의 홀을 통해 가속가스가 분출되며, 상기 다수의 홀 중에서 적어도 일부의 홀이 경사지게 구비되는 것이 바람직하다.It is preferable that a plurality of holes are provided at the end of the accelerating gas supply pipe 50, acceleration gas is sprayed through the plurality of holes, and at least a part of the holes are inclined.

경사지게 구비된 홀의 경사 각도는 5∼20°이고, 경사지게 구비된 홀이 중심부를 기준으로 방사형을 이루는 것이 바람직하다.It is preferable that the inclined angle of the inclined hole is 5 to 20 占 and the inclined hole has a radial shape with respect to the center portion.

상기 분사노즐부(70)는 원료가 유입되는 입구부터 내경이 감소하다가 일정 부위부터는 배출구까지 내경이 증가하는 형태의 노즐로 구비되는 것이 바람직하다.The injection nozzle unit 70 may include a nozzle having an inner diameter decreasing from an inlet through which the raw material flows, and an inner diameter increasing from a certain position to an outlet.

상기 기판은 세라믹 기판, 금속 기판, 금속합금 기판 또는 폴리머 기판을 포함할 수 있다.The substrate may include a ceramic substrate, a metal substrate, a metal alloy substrate, or a polymer substrate.

상기 원료는 금속 분말, 산화물 분말, 불화물 분말, 질화물 분말, 탄화물 분말 또는 이들의 혼합물을 포함할 수 있다.The raw material may include a metal powder, an oxide powder, a fluoride powder, a nitride powder, a carbide powder, or a mixture thereof.

이하에서, 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 저온 분사 코팅 장치를 더욱 구체적으로 설명한다. Hereinafter, the low temperature spray coating apparatus according to a preferred embodiment of the present invention will be described in more detail.

도 1은 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 저온 분사 코팅 장치의 일 예를 나타낸 구성도이다. 도 2는 일 예에 따른 공급노즐부를 도시한 도면이고, 도 3은 다른 예에 따른 공급노즐부를 도시한 도면이며, 도 4는 또 다른 예에 따른 공급노즐부를 도시한 도면이다.FIG. 1 is a view showing an example of a low-temperature spray coating apparatus according to a preferred embodiment of the present invention. FIG. 2 is a view showing a supply nozzle unit according to an example, FIG. 3 is a view showing a supply nozzle unit according to another example, and FIG. 4 is a view showing a supply nozzle unit according to yet another example.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 고안의 바람직한 실시예에 따른 저온 분사 코팅 장치는 원료를 공급하기 위한 원료공급부(10)와, 원료의 이송을 위한 이송가스를 공급하기 위한 이송가스 공급부(20)와, 원료와 이송가스를 가속시키기 위한 가속가스를 공급하기 위한 가속가스 공급부(30)와, 상기 원료공급부(10)로부터 공급된 원료와 상기 이송가스 공급부(20)로부터 공급된 이송가스가 유입되어 이송되는 이송관(40) 및 상기 가속가스 공급부(30)으로부터 공급된 가속가스가 유입되어 이송되는 가속가스 공급관(50)을 포함하는 공급노즐부(60)와, 상기 공급노즐부(60)로부터 원료, 이송가스 및 가속가스를 공급받아 챔버(80) 내에 설치된 기판으로 원료를 분사하기 위한 분사노즐부(70)와, 상기 분사노즐부(70)로부터 분사된 원료가 기판에 충돌하여 코팅층이 형성되는 공간을 제공하는 챔버(80)와, 상기 분사노즐부(70)로부터 공급된 원료가 챔버(80) 내로 가속되어 이송될 수 있게 하고 상기 챔버(80) 내의 이송가스와 가속가스를 펌핑하여 외부로 배출되게 하기 위한 펌프(90)를 포함한다. 1 to 4, a low temperature spray coating apparatus according to a preferred embodiment of the present invention includes a raw material supply unit 10 for supplying a raw material, a transfer gas supply unit 20 for supplying a transfer gas for transferring a raw material, An accelerating gas supply unit 30 for supplying an accelerating gas for accelerating the raw material and the transfer gas, and a transfer gas supply unit 30 for transferring the raw material supplied from the raw material supply unit 10 and the transfer gas supplied from the transfer gas supply unit 20, A supply nozzle unit 60 including an acceleration gas supply pipe 50 to which an acceleration gas supplied from the acceleration gas supply unit 30 is introduced and transferred, A spray nozzle unit 70 for spraying a raw material to a substrate provided in the chamber 80 and supplied with a raw material, a transfer gas and an accelerating gas; Form A chamber 80 for supplying the raw material supplied from the injection nozzle unit 70 to the chamber 80 so that the raw material can be accelerated into the chamber 80 and the transfer gas and the acceleration gas in the chamber 80 are pumped to the outside And a pump 90 for discharging it.

상기 저온분사 코팅 장치를 통해 기판의 표면에 원료인 분말을 저온분사 코팅(cold spray coating)하여 코팅층을 얻을 수 있다. A coating layer can be obtained by cold spray coating the raw material powder on the surface of the substrate through the low temperature spray coating apparatus.

상기 원료공급부(10)는 원료인 분말을 공급하는 역할을 한다. 상기 원료는 금속 분말, 산화물 분말, 불화물 분말, 질화물 분말, 탄화물 분말 또는 이들의 혼합물 등일 수 있다. 상기 금속 분말은 알루미늄(Al), 구리(Cu), 니켈(Ni), 아연(Zn), 주석(Sn) 등을 그 예로 들 수 있다. 상기 산화물 분말은 마그네슘(Mg), 이트륨(Y), 알루미늄(Al), 칼슘(Ca), 가돌리늄(Gd) 등의 원소와 산소(O) 성분을 포함하는 분말로서, MgO, Y2O3, Al2O3, CaO, Gd2O3 등의 산화물을 그 예로 들 수 있다. 상기 불화물 분말은 마그네슘(Mg), 이트륨(Y), 칼슘(Ca) 등의 원소와 불소(F) 성분을 포함하는 분말로서, MgF2, AlF3, YF3, CaF2 등의 불화물을 그 예로 들 수 있다. 상기 질화물 분말은 AlN, Si3N4 등을 그 예로 들 수 있다. 상기 탄화물 분말은 SiC 등을 그 예로 들 수 있다. 원료인 분말이 분사노즐부(70)를 통해 분사되어야 하는 점 등을 고려하여 수 ㎛ 이내의 크기(예컨대, 10nm∼9.9㎛)를 가지는 입자로 이루어지는 것이 바람직하다. The raw material supply part 10 serves to supply raw material powder. The raw material may be a metal powder, an oxide powder, a fluoride powder, a nitride powder, a carbide powder, or a mixture thereof. Examples of the metal powder include aluminum (Al), copper (Cu), nickel (Ni), zinc (Zn), and tin (Sn). As a powder to the oxide powder comprises a magnesium (Mg), yttrium (Y), aluminum (Al), calcium (Ca), gadolinium (Gd), etc. of the element and oxygen (O) component, MgO, Y 2 O 3, And oxides such as Al 2 O 3 , CaO, and Gd 2 O 3 . The fluoride powder is a powder containing an element such as magnesium (Mg), yttrium (Y), calcium (Ca) or the like and a fluorine (F) component and may be a fluoride such as MgF 2 , AlF 3 , YF 3 or CaF 2 . Examples of the nitride powder include AlN, Si 3 N 4 and the like. The carbide powder may be SiC or the like. (For example, 10 nm to 9.9 탆) in consideration of the fact that the raw material powder must be injected through the injection nozzle unit 70, and the like.

상기 이송가스 공급부(20)는 원료의 이송을 위한 이송가스를 공급하는 역할을 한다. 상기 이송가스는 공기(Air), 질소(N2), 아르곤(Ar), 헬륨(He) 또는 이들의 혼합물 등일 수 있다. 상기 이송가스는 원료를 이송시키기 위하여 밀어주는 역할을 한다. 상기 이송가스는 0.1∼5 slm의 유량으로 공급하는 것이 바람직하다.The transfer gas supply unit 20 serves to supply a transfer gas for transferring the raw material. The transport gas may be air, nitrogen (N 2 ), argon (Ar), helium (He) or a mixture thereof. The transport gas acts as a pusher to transport the raw material. The transport gas is preferably supplied at a flow rate of 0.1 to 5 slm.

상기 가속가스 공급부(30)는 원료와 이송가스를 가속시키기 위한 가스를 공급하는 역할을 한다. 상기 가속가스는 공기(Air), 질소(N2), 아르곤(Ar), 헬륨(He) 또는 이들의 혼합물 등일 수 있다. 상기 가속가스는 원료의 이동을 가속시켜 챔버(80) 내부에 있는 기판과의 충돌시 분말의 운동에너지를 높여주는 역할을 한다. 상기 가속가스를 사용하지 않고 이송가스만을 이용하여도 코팅은 가능하지만, 코팅 효율이 떨어지는 문제가 있다. 상기 가속가스는 10∼400 slm의 유량으로 공급하는 것이 바람직하다.The accelerating gas supply unit 30 serves to supply gas for accelerating the raw material and the transport gas. The accelerating gas may be air, nitrogen (N 2 ), argon (Ar), helium (He) or a mixture thereof. The accelerating gas accelerates the movement of the raw material so as to increase the kinetic energy of the powder upon collision with the substrate in the chamber 80. Coating is possible even if only the transport gas is used without using the accelerating gas, but there is a problem that coating efficiency is low. The accelerating gas is preferably supplied at a flow rate of 10 to 400 slm.

상기 공급노즐부(60)는 상기 원료공급부(10)로부터 공급된 원료와 상기 이송가스 공급부(20)로부터 공급된 이송가스가 유입되어 이송되는 이송관(40) 및 상기 가속가스 공급부(30)으로부터 공급된 가속가스가 유입되어 이송되는 가속가스 공급관(50)을 포함한다. 가속가스 공급관(50) 말단에는 다수의 홀이 구비되는 것이 바람직하고, 상기 다수의 홀을 통해 가속가스가 분출되게 하는 것이 바람직하며, 샤워헤드에서 물이 퍼져서 분사되는 방식과 같이 가속가스가 퍼져 나갈 수 있도록 다수의 홀 중에서 적어도 일부의 홀이 경사지게 구비되는 것이 바람직하다. 경사지게 구비된 홀(62)의 경사 각도는 5∼20°정도, 더욱 바람직하게는 7∼15°정도인 것이 바람직하다. 경사지게 구비된 홀(62)이 중심부를 기준으로 방사형을 이루게 하는 것이 바람직하다. The feed nozzle unit 60 is connected to the feed pipe 40 through which the raw material supplied from the raw material supply unit 10 and the feed gas supplied from the feed gas supply unit 20 are fed and fed, And an accelerating gas supply pipe 50 through which the supplied accelerating gas flows and is transported. It is preferable that a plurality of holes are provided at the end of the accelerating gas supply pipe 50. Acceleration gas is preferably sprayed through the plurality of holes and the accelerating gas is spread as in the case where water is sprayed from the shower head It is preferable that at least some of the plurality of holes are inclined. The inclination angle of the inclined hole 62 is preferably about 5 to 20 degrees, more preferably about 7 to 15 degrees. It is preferable that the inclined holes 62 are formed radially with respect to the central portion.

상기 원료공급부(10)로부터 공급된 원료와 상기 이송가스 공급부(20)로부터 공급된 이송가스가 이송관(40)에서 합류되어 이송되다가 상기 가속가스 공급관(50)로 통해 유입된 가속가스가 합류되어 상기 분사노즐부(70) 내로 유입된다. 원료와 이송가스는 이송관(40)에서 합류하여 일정 비율로 혼합되고, 이송관(40)을 통해 원료와 이송가스가 혼합된 상태로 이송되며, 원료와 이송가스가 혼합된 상태로 이송되다가 가속가스 공급관(50)을 통해 이송된 가속가스가 합류되면서 가속되어 분사노즐부(70)로 유입되게 된다. The raw material supplied from the raw material supply unit 10 and the transfer gas supplied from the transfer gas supply unit 20 are combined and transferred in the transfer pipe 40 and the accelerated gas introduced through the accelerated gas supply pipe 50 is joined And then flows into the injection nozzle unit 70. The raw material and the transfer gas are combined and mixed at a predetermined ratio, and the raw material and the transfer gas are mixed together through the transfer pipe 40. The raw material and the transfer gas are transferred in a mixed state, The accelerated gas transferred through the gas supply pipe 50 is accelerated while being introduced into the injection nozzle unit 70.

도 3에 도시된 바와 같이, 원료와 이송가스의 이송관(40)은 수평면에 대하여 수직 방향으로 아래로 향하게 하여 원료, 이송가스 및 가속가스의 합류관(65)의 중심부를 향해 수직하게 입사되게 할 수도 있으며, 도 4에 도시된 바와 같이, 원료와 이송가스의 이송관(40)이 수평면에 대하여 하방향으로 경사지게 형성됨으로써 원료와 이송가스가 합류관(65)의 중심부를 향하게 비스듬하게 입사되게 할 수도 있다. As shown in FIG. 3, the feed pipe 40 of the raw material and the feed gas is vertically directed downward with respect to the horizontal plane so that the raw material, the feed gas, and the accelerated gas are vertically incident toward the center of the confluent pipe 65 As shown in FIG. 4, the feed pipe 40 of the raw material and the feed gas is inclined downward with respect to the horizontal plane so that the raw material and the feed gas are obliquely incident toward the center of the confluent pipe 65 You may.

원료, 이송가스 및 가속가스가 분사노즐부(70)로 함께 유입될 수 있게 원료와 이송가스의 이송관(40)과 가속가스 공급관(50)은 합류관(65)에서 하나로 합쳐지게 구성되며, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 가속가스 공급관(50) 말단이 원료와 이송가스의 이송관(40) 말단보다 분사노즐부(70) 쪽으로 더 삽입되게 설치되어 있고, 이에 따라 가속가스 공급관(50)과, 원료와 이송가스의 이송관(40)이 합쳐져서 하나의 합류관(65)에서 만남으로써 원료의 역류 없이 분사노즐부(70)로 분사할 수 있는 장점이 있고, 원료의 흐름성과 코팅 효율을 높일 수가 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 분사노즐부(70)를 기준으로 가속가스 공급관(50) 말단이 원료와 이송가스의 이송관(40) 말단과 동일한 위치에서 합류관(65)에서 합류되거나, 분사노즐부(70)를 기준으로 가속가스 공급관(50) 말단이 원료와 이송가스의 이송관(40) 말단보다 분사노즐부(70)를 기준으로 거리가 더 떨어져서 가속가스 공급관(50)과 원료와 이송가스의 이송관(40)이 합류관(65)에서 합류되는 경우에는 원류의 흐름을 방해할 수 있고 심지어 원료가 역류되는 현상이 발생할 수도 있다. 이러한 점을 고려하여 가속가스 공급관(50) 말단이 원료와 이송가스의 이송관(40) 말단보다 분사노즐부(70) 쪽으로 더 삽입되게 하여 가속가스 공급관(50) 말단이 분사노즐부(70)를 기준으로 원료와 이송가스의 이송관(40) 말단보다 거리가 가까워지도록 설치하는 것이 바람직하다. 또한, 이송가스의 유량이 가속가스의 유량보다 클 경우에는 원료가 분사노즐부(70)쪽으로 제대로 분사되지 않고 역류하는 현상이 발생할 수 있으므로, 가속가스의 유량이 이송가스의 유량보다 크게 하는 것이 바람직하다. The feed pipe 40 and the accelerating gas feed pipe 50 of the raw material and the feed gas are combined to one another in the confluent pipe 65 so that the raw material, the feed gas and the accelerated gas can be introduced together into the injection nozzle unit 70, 3 and 4, the end of the accelerating gas supply pipe 50 is installed so as to be inserted further toward the injection nozzle part 70 than the end of the feed pipe 40 for the raw material and the transfer gas, The raw material and the transfer pipe 40 of the transfer gas are combined and can be injected into the injection nozzle unit 70 without a back flow of the raw material by meeting at a single confluent pipe 65. In addition, The coating efficiency can be increased. 2, the end of the accelerating gas supply pipe 50 is joined at the joining pipe 65 at the same position as the end of the feed pipe 40 for the raw material and the feed gas based on the injection nozzle unit 70, The distal end of the accelerating gas supply pipe 50 is distanced from the end of the transfer pipe 40 of the raw material and the transfer gas with respect to the injection nozzle unit 70 with respect to the nozzle unit 70 so that the acceleration gas supply pipe 50, When the transfer pipe 40 of the transfer gas is merged at the confluent pipe 65, the flow of the raw material may be disturbed and even the raw material may flow backward. The end of the acceleration gas supply pipe 50 is inserted further into the injection nozzle unit 70 than the end of the transfer pipe 40 of the raw material and the transfer gas so that the end of the acceleration gas supply pipe 50 is connected to the injection nozzle unit 70, So that the distance between the raw material and the end of the transfer pipe 40 of the transfer gas is closer to the target. If the flow rate of the transfer gas is larger than the flow rate of the accelerating gas, the raw material may flow back without being properly injected toward the injection nozzle unit 70. Therefore, it is preferable that the flow rate of the acceleration gas is larger than the flow rate of the transfer gas Do.

상기 분사노즐부(70)는 상기 공급노즐부(60)로부터 원료, 이송가스 및 가속가스를 공급받아 상기 챔버(80) 내에 설치된 기판으로 원료를 분사하는 역할을 한다. 상기 분사노즐부(70)는 원료가 유입되는 입구부터 내경이 감소하다가 일정 부위부터는 배출구까지 내경이 증가하는 형태의 노즐 즉, 드 라발(de Laval) 노즐과 같은 초음속 노즐을 사용하는 것이 바람직하다. The injection nozzle unit 70 receives the raw material, the transfer gas, and the acceleration gas from the supply nozzle unit 60 and injects the raw material to the substrate provided in the chamber 80. The injection nozzle unit 70 may be a supersonic nozzle such as a de Laval nozzle in which the inner diameter of the injection nozzle unit 70 decreases from the inlet to the inlet of the injection nozzle unit 70 and the inner diameter of the injection nozzle unit 70 increases from the predetermined position to the discharge port.

상기 분사노즐부(70)를 좌우, 상하로 왕복하면서 이동시켜서 원료가 기판 위의 넓은 면적에서 코팅막이 형성되도록 할 수도 있다. The spray nozzle unit 70 may be reciprocated left and right and vertically so that the coating material is formed over a wide area on the substrate.

상기 챔버(80)는 분사노즐부(70)로부터 분사된 원료가 기판에 충돌하여 코팅층이 형성되는 공간을 제공한다. 상기 챔버(80) 내로 가속되게 유입된 원료는 상기 가속가스와 상기 펌프(90)에 의한 펌핑에 의해 챔버(80) 내에 설치된 기판으로 가속되면서 충돌하게 된다. 상기 분사노즐부(70)로부터 분사된 원료는 기판의 표면에 가속되면서 분사되어 충돌에너지에 의해 코팅층을 형성하게 된다. The chamber 80 provides a space in which the raw material jetted from the jet nozzle unit 70 collides with the substrate to form a coating layer. The raw material accelerated into the chamber 80 is accelerated by the acceleration gas and the pump 90 by the pump 90 while being accelerated to the substrate installed in the chamber 80. The raw material injected from the injection nozzle unit 70 is injected onto the surface of the substrate while accelerating to form a coating layer by impact energy.

상기 펌프(90)는 상기 분사노즐부(70)로부터 공급된 원료가 챔버(80) 내로 가속되어 이송될 수 있게 하고 상기 챔버(80) 내의 이송가스와 가속가스를 펌핑하여 외부로 배출되게 하는 역할을 한다. 상기 펌프(90)에 의한 펌핑에 의해 챔버(80) 내부는 대기압보다 낮은 진공 상태가 되게 되며, 이에 따라 대기압 상태에 비하여 원료가 상기 분사노즐부(70)로부터 기판으로 더욱 가속될 수가 있다. 상기 챔버(80)와 상기 펌프(90) 사이에 펌핑이 이루어지는 것을 차단하기 위한 펌핑 밸브(미도시)가 구비될 수도 있다. 펌핑은 상기 펌핑 밸브의 개방(open)과 닫음(close)을 통해 제어될 수가 있다. The pump 90 is capable of accelerating and transferring the raw material supplied from the injection nozzle unit 70 into the chamber 80 and discharging the transfer gas and the accelerated gas in the chamber 80 to the outside . The inside of the chamber 80 is evacuated to a vacuum state lower than the atmospheric pressure by the pumping by the pump 90 so that the raw material can be further accelerated from the injection nozzle unit 70 to the substrate as compared with the atmospheric pressure state. And a pumping valve (not shown) for blocking pumping between the chamber 80 and the pump 90 may be provided. The pumping can be controlled through the opening and closing of the pumping valve.

상기 기판은 알루미나(Al2O3), 알루미늄나이트라이드(AlN), 쿼츠(SiO2) 등과 같은 세라믹 기판, 금속 기판, 금속합금 기판, 폴리머 기판 등일 수 있으며, 이에 한정되는 것은 아니다.The substrate may be a ceramic substrate such as alumina (Al 2 O 3 ), aluminum nitride (AlN) or quartz (SiO 2 ), a metal substrate, a metal alloy substrate or a polymer substrate.

상기 저온 분사 코팅 장치를 이용할 경우에 기판 위에 코팅되는 막은 원하는 두께(예컨대 1~300㎛)로 형성할 수가 있는 장점이 있다. When the low temperature spray coating apparatus is used, the film coated on the substrate can be formed to have a desired thickness (for example, 1 to 300 μm).

상기 저온 분사 코팅 장치를 이용하는 경우에, 저온으로 분사되어 코팅층이 형성되므로 원료가 상호 반응하지 않고 코팅층의 조직이 변동되지 않으며, 코팅재(원료) 상호 간 또는 기판과 코팅재 사이에 고온 확산 또는 융착 등의 현상이 일어나지 않는다. In the case of using the low-temperature spray coating apparatus, since the coating layer is formed by spraying at a low temperature, the raw materials do not react with each other and the structure of the coating layer is not changed, and a high temperature diffusion or fusing between the coating materials (raw materials) The phenomenon does not occur.

이상, 본 고안의 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 고안은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 고안의 기술적 사상의 범위 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. This is possible.

10: 원료공급부
20: 이송가스 공급부
30: 가속가스 공급부
40: 원료와 이송가스의 이송관
50: 가속가스 공급관
60: 공급노즐부
65: 원료, 이송가스 및 가속가스의 합류관
70: 분사노즐부
80: 챔버
90: 펌프10:
20:
30: Acceleration gas supply part
40: feed pipe for raw material and transfer gas
50: Acceleration gas supply pipe
60: Feed nozzle part
65: Joint pipe of raw material, transfer gas and acceleration gas
70: injection nozzle part
80: chamber
90: Pump

Claims (9)

원료를 공급하기 위한 원료공급부(10);
상기 원료의 이송을 위한 이송가스를 공급하기 위한 이송가스 공급부(20);
상기 원료와 상기 이송가스를 가속시키기 위한 가속가스를 공급하기 위한 가속가스 공급부(30);
상기 원료공급부(10)로부터 공급된 원료와 상기 이송가스 공급부(20)로부터 공급된 이송가스가 유입되어 이송되는 이송관(40) 및 상기 가속가스 공급부(30)으로부터 공급된 가속가스가 유입되어 이송되는 가속가스 공급관(50)을 포함하는 공급노즐부(60);
상기 공급노즐부(60)로부터 원료, 이송가스 및 가속가스를 공급받아 챔버(80) 내에 설치된 기판으로 원료를 분사하기 위한 분사노즐부(70);
상기 분사노즐부(70)로부터 분사된 원료가 기판에 충돌하여 코팅층이 형성되는 공간을 제공하는 챔버(80); 및
상기 분사노즐부(70)로부터 공급된 원료가 챔버(80) 내로 가속되어 이송될 수 있게 하고 상기 챔버(80) 내의 이송가스와 가속가스를 펌핑하여 외부로 배출되게 하기 위한 펌프(90)를 포함하며,
상기 원료공급부(10)로부터 공급된 원료와 상기 이송가스 공급부(20)로부터 공급된 이송가스가 이송관(40)에서 합류되어 혼합되고,
상기 이송관(40)을 통해 원료와 이송가스가 혼합된 상태로 이송되며,
원료와 이송가스가 혼합된 상태로 이송되다가 상기 가속가스 공급관(50)을 통해 이송된 가속가스가 합류관(65)에서 합류되면서 가속되어 상기 분사노즐부(70)로 유입되며,
상기 가속가스 공급관(50) 말단이 상기 이송관(40) 말단보다 분사노즐부(70) 쪽으로 더 삽입되게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 저온 분사 코팅 장치.
A raw material supply unit 10 for supplying a raw material;
A transfer gas supply unit 20 for supplying a transfer gas for transferring the raw material;
An acceleration gas supply part (30) for supplying an acceleration gas for accelerating the raw material and the transfer gas;
The feed pipe 40 through which the raw material supplied from the raw material supply unit 10 and the transfer gas supplied from the transfer gas supply unit 20 are introduced and the acceleration gas supplied from the acceleration gas supply unit 30 are introduced, A supply nozzle portion 60 including an accelerating gas supply pipe 50;
A spray nozzle unit 70 for receiving the raw material, the transfer gas and the acceleration gas from the supply nozzle unit 60 and injecting the raw material into the substrate provided in the chamber 80;
A chamber 80 for providing a space in which the raw material jetted from the jet nozzle unit 70 collides with the substrate to form a coating layer; And
And a pump 90 for allowing the raw material supplied from the injection nozzle unit 70 to be accelerated into the chamber 80 and to be delivered to the outside by pumping the transfer gas and the accelerated gas in the chamber 80 In addition,
The raw material supplied from the raw material supply unit 10 and the transfer gas supplied from the transfer gas supply unit 20 are combined and mixed in the transfer pipe 40,
The raw material and the transfer gas are transferred in a mixed state through the transfer pipe 40,
The acceleration gas transferred through the accelerating gas supply pipe 50 is accelerated while being merged at the confluent pipe 65 and is introduced into the injection nozzle unit 70,
Wherein the end of the accelerating gas supply pipe (50) is further inserted into the injection nozzle part (70) side than the end of the transfer pipe (40).
제1항에 있어서, 상기 원료와 이송가스의 이송관(40)은 수평면에 대하여 수직 방향으로 아래로 향하게 구비되어 상기 원료와 상기 이송가스가 상기 합류관(65)의 중심부를 향해 수직하게 입사되는 것을 특징으로 하는 저온 분사 코팅 장치.
2. The apparatus according to claim 1, wherein the feed pipe (40) of the raw material and the feed gas is vertically downward with respect to a horizontal plane so that the raw material and the feed gas are vertically incident toward the center of the joining pipe (65) Lt; RTI ID = 0.0 > 1, < / RTI >
제1항에 있어서, 상기 원료와 이송가스의 이송관(40)이 수평면에 대하여 하방향으로 경사지게 구비되어 상기 원료와 상기 이송가스가 상기 합류관(65)의 중심부를 향하게 비스듬하게 입사되는 것을 특징으로 하는 저온 분사 코팅 장치.
2. The apparatus according to claim 1, characterized in that the feed pipe (40) of the raw material and the feed gas is inclined downward with respect to the horizontal plane so that the raw material and the feed gas are incident obliquely toward the center of the joining pipe (65) Lt; / RTI >
제1항에 있어서, 상기 가속가스 공급관(50)을 통해 유입되는 가속가스의 유량이 상기 이송가스의 유량보다 큰 것을 특징으로 하는 저온 분사 코팅 장치.
The low temperature spray coating apparatus according to claim 1, wherein the flow rate of the accelerating gas introduced through the accelerating gas supply pipe (50) is larger than the flow rate of the transfer gas.
제1항에 있어서, 가속가스 공급관(50) 말단에는 다수의 홀이 구비되고, 상기 다수의 홀을 통해 가속가스가 분출되며, 상기 다수의 홀 중에서 적어도 일부의 홀이 경사지게 구비되는 것을 특징으로 하는 저온 분사 코팅 장치.
The accelerator according to claim 1, wherein a plurality of holes are provided at the end of the accelerating gas supply pipe (50), acceleration gas is ejected through the plurality of holes, and at least a part of the holes are sloped Low temperature spray coating apparatus.
제5항에 있어서, 경사지게 구비된 홀의 경사 각도는 5∼20°이고, 경사지게 구비된 홀이 중심부를 기준으로 방사형을 이루는 것을 특징으로 하는 저온 분사 코팅 장치.
The low-temperature spray coating apparatus according to claim 5, wherein the inclined angle of the inclined hole is 5 to 20 °, and the inclined hole has a radial shape with respect to the center.
제1항에 있어서, 상기 분사노즐부(70)는 원료가 유입되는 입구부터 내경이 감소하다가 일정 부위부터는 배출구까지 내경이 증가하는 형태의 노즐로 구비된 것을 특징으로 하는 저온 분사 코팅 장치.
The low temperature spray coating apparatus according to claim 1, wherein the injection nozzle unit (70) comprises a nozzle having an inner diameter decreasing from an inlet through which a raw material flows, and an inner diameter increasing from a certain position to an outlet.
제1항에 있어서, 상기 기판은 세라믹 기판, 금속 기판, 금속합금 기판 또는 폴리머 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 저온 분사 코팅 장치.
The low temperature spray coating apparatus according to claim 1, wherein the substrate comprises a ceramic substrate, a metal substrate, a metal alloy substrate, or a polymer substrate.
제1항에 있어서, 상기 원료는 금속 분말, 산화물 분말, 불화물 분말, 질화물 분말, 탄화물 분말 또는 이들의 혼합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 저온 분사 코팅 장치.The low temperature spray coating apparatus according to claim 1, wherein the raw material comprises a metal powder, an oxide powder, a fluoride powder, a nitride powder, a carbide powder, or a mixture thereof.
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