KR200477660Y1 - Leak detecting apparatus of pipeline for semiconductor fabrication - Google Patents

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KR200477660Y1
KR200477660Y1 KR2020150000522U KR20150000522U KR200477660Y1 KR 200477660 Y1 KR200477660 Y1 KR 200477660Y1 KR 2020150000522 U KR2020150000522 U KR 2020150000522U KR 20150000522 U KR20150000522 U KR 20150000522U KR 200477660 Y1 KR200477660 Y1 KR 200477660Y1
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semiconductor
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박성원
송종화
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주식회사 지앤씨
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Abstract

본 고안은 반도체 생산설비의 배관 내부에 누수가 있는지를 탐지하기 위한 누수탐지장치에 관한 것이다.
본 고안에 따른 반도체 생산설비의 배관 누수탐지장치는 내압성을 지니고 긴 원통형으로 내부에 압축유체가 저장되며 상부에는 배출부가 형성된 봄베, 봄베의 배출부에 결합 되어 배출되는 유량을 조절하는 레귤레이터, 레귤레이터를 경유하여 배출되는 유체가 반도체 배관으로 주입되도록 연결되는 주입부, 주입부에 설치되어 반도체 배관 내의 압력을 측정하는 압력게이지 및 봄베가 적재되고 바퀴가 구비되는 대차를 포함하고, 주입부는 적어도 두 개 이상이 병렬로 구비되며 각각의 주입부에는 차단밸브가 구성되어 각각의 주입부가 개별적으로 유체의 흐름을 개폐할 수 있도록 구성된다.The present invention relates to a leak detection device for detecting the presence of leaks in the piping of a semiconductor production facility.
According to the present invention, there is provided a piping leak detection device for a semiconductor production facility, comprising: a bomb having a pressure resistance, a long cylindrical shape, a compressed fluid stored therein, and a discharge portion formed at an upper portion thereof; a regulator for regulating a flow rate discharged from the discharge portion of the bomb; A pressure gauge installed in the injection unit for measuring the pressure in the semiconductor piping, and a bogie loaded with the bomb, and the injection unit has at least two or more injection pipes And a shut-off valve is provided in each of the injection portions, so that each of the injection portions can individually open and close the flow of the fluid.

Description

반도체 생산설비의 배관 누수탐지장치 {Leak detecting apparatus of pipeline for semiconductor fabrication}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a piping leak detection apparatus for a semiconductor production facility,

본 고안은 반도체 생산설비의 배관 내 누수를 탐지하기 위한 누수탐지장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a leak detection apparatus for detecting a leak in a piping of a semiconductor production facility.

일반적으로 전자기기에 널리 사용되는 반도체는 그 제조하는 공정이 크게 회로설계, 마스크제작, 노광(lithography), 식각(etch), 확산(diffusion), 박막(thin film), 세정, 연마, 조립 및 시험으로 이뤄지게 된다. Generally, semiconductors widely used in electronic devices are widely used in various fields such as circuit design, mask fabrication, lithography, etch, diffusion, thin film, cleaning, polishing, .

상기된 절차를 따라 반도체를 만드는 반도체공정은 정밀하고 엄격한 작업을 거쳐야 하는 특성을 가지고 있어, 공기 중의 입자뿐만 아니라 온도, 습도, 조도, 기류 및 공기압등에 관해서 일정한 규정에 따른 밀폐된 공간인 클린룸(cleen room)에 다양한 반도체 설비가 동원되어 생산이 되고 있다.The semiconductor manufacturing process of the semiconductor according to the procedure described above is characterized in that it is required to perform a precise and rigorous work so that the clean room, which is an enclosed space according to a certain regulation in terms of temperature, humidity, cleen room) with various semiconductor facilities.

반도체공정을 위해 사용되는 설비중에는 다양한 배관시설이 포함되는데 가스배관, 황산이나 불산등의 화학물질이 이동하는 화학물질 배관, 냉각수 배관, 공조배관등 모두 단결정 규소를 얇게 잘라 표면을 매끈하게 다듬은 웨이퍼(wafer)를 가공하기 위해 필요한 것들이다. 반도체 생산시설에서는 상기된 배관들의 누수 여부를 수시로 점검하여야 하며 배관의 교체작업 후 또는 새로운 배관의 설치시에도 누수 여부의 테스트는 반드시 거쳐야 할 중요한 작업이다.Among the facilities used for semiconductor processing, various piping facilities are included, including gas piping, chemical piping where chemical substances such as sulfuric acid and hydrofluoric acid move, piping for cooling water, air conditioning piping, etc., all of which are made of thin silicon wafer, wafer. In the semiconductor production facility, it is necessary to frequently check whether the above-mentioned piping is leaked or not, and it is an important task to test whether or not to leak the piping after replacing the piping or installing new piping.

이에 누수 여부를 측정할 배관에 압축가스나 액화가스 저장용의 내압성 고압가스 용기인 봄베(bombe)를 연결하여 유체(流體)를 가압하고 배관 내부의 압력변화를 측정하는 방법으로 반도체설비의 배관 내의 누수 여부를 테스트하여 왔다. 하지만, 무거운 봄베를 운반하기에 불편함이 있었고, 다수의 배관이 설치되어 운용되는 반도체 설비의 특성상 개개의 배관별로 유체를 가압하고 일정시간의 경과를 기다려 압력변화를 측정하는 작업을 수행하는데에는 긴 시간이 소요된다는 단점이 있었다.In this method, a bombe, which is a high pressure gas pressure vessel for storing compressed gas or liquefied gas, is connected to a pipe to be leaked or leaked to pressurize the fluid and measure the pressure change inside the pipe, I have been testing whether to leak. However, it is inconvenient to carry heavy bombs, and due to the characteristics of the semiconductor equipment in which a plurality of pipes are installed and operated, it is necessary to pressurize the fluid for each individual pipe, measure the pressure change And it takes time.

대한민국 공개특허 제10-2006-0028940호 '반도체 제조 설비의 배관 누수 감지장치'에서는 반도체 배관 하부에 형성된 누수감지센서부, 감지된 누수정보가 전송되는 엠프부 및 전송된 누수정보를 수신하여 알람을 발생시키는 중앙감지장치부로 구성되어 반도체 배관의 누수발생을 즉시 인지할 수 있도록 하는 기술이 게시되어 있으나, 그 설치비용면에서 경제성이 현저히 떨어지고 뿐만 아니라 위와 같은 설비가 되어 있는 배관일지라도 교체 또는 신설 후에는 추가적으로 배관 내부의 누수 여부를 테스트하는 작업을 필요로 하여 왔다. 이에 이동하기 편리하고 그 측정절차가 간결하면서도 정확한 측정결과를 도출하고 누수 여부를 측정하는 시간을 단축할 수 있는 기술이 지속적으로 요구되어 왔다.
Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2006-0028940 '' A piping leakage detection device for a semiconductor manufacturing facility '' comprises a leakage detection sensor section formed below a semiconductor piping, an amplifier section for transmitting sensed leakage information, A central sensing unit for detecting the leakage of the semiconductor piping immediately after the replacement of the piping is disclosed. However, the cost of the installation is considerably reduced in terms of the installation cost, and even if the piping has the above arrangement, In addition, there has been a need to test whether the inside of the pipe is leaking. Therefore, there is a continuing need for a technique that is convenient to move, and that can shorten the time for measuring the leak or leakage by obtaining a measurement result that is concise and accurate.

본 고안은 상기한 종래 기술의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 봄베에 이동수단을 더하여 그 이동성과 간결성을 높이고 봄베내에 저장된 압축유체를 주입하는 배출부를 다수개 병렬로 구성하여 한번의 작업으로 다수의 배관 내부 누수여부를 측정할 수 있는 누수탐지장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
The present invention has been devised to overcome the above-described problems of the prior art, and it is an object of the present invention to improve the mobility and simplicity of a bomb by adding moving means to the bomb and to form a plurality of discharge portions for injecting the compressed fluid stored in the bomb, Which is capable of measuring whether or not leakage of water in the piping can be measured.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 수단으로 본 고안에 따른 반도체 생산설비의 배관 누수탐지장치는 내압성을 지니고 긴 원통형으로 내부에 압축유체가 저장되며 상부에는 배출부가 형성된 봄베, 봄베의 배출부에 결합 되어 배출되는 유량을 조절하는 레귤레이터, 레귤레이터를 경유하여 배출되는 유체가 반도체 배관으로 주입되도록 연결되는 주입부, 주입부에 설치되어 반도체 배관 내의 압력을 측정하는 압력게이지 및 봄베가 적재되고 바퀴가 구비되는 대차를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a piping leak detection device for a semiconductor production facility, the piping leakage detection device having a pressure resistance, a long cylindrical shape, a compressed fluid stored therein, A regulator for regulating the flow rate to be discharged, an injection section connected to inject the fluid discharged through the regulator into the semiconductor piping, a pressure gauge installed in the injection section for measuring the pressure in the semiconductor piping, .

바람직하게는, 주입부는 적어도 두 개 이상이 병렬로 구비되고, 각각의 주입부에는 차단밸브가 구성되어 각각의 주입부가 개별적으로 유체의 흐름을 개폐할 수 있도록 한다.Preferably, at least two injection sections are provided in parallel, and each injection section is provided with a shut-off valve so that each injection section can individually open and close the fluid flow.

바람직하게는, 주입부 각각에는 반도체 배관과 주입부의 일단을 연결하는 연결튜브를 포함한다.Preferably, each of the injection portions includes a connection tube connecting the semiconductor piping and one end of the injection portion.

바람직하게는, 대차에는 공구함을 적재할 수 있도록 구성된 공구함적재부, 대차의 이동시 조향을 편리하도록 하는 손잡이 및 대차가 정지시에 움직이지 않도록 바닥에 지지되는 받침부를 포함한다.Preferably, the bogie includes a tool box mounting portion configured to be capable of loading a tool box, a handle for facilitating steering when the bogie is moved, and a base portion supported on the floor so that the bogie does not move when stopped.

바람직하게는 대차, 봄베 및 공구함이 일체로 형성된다.
Preferably, the bogie, bomb, and tool box are integrally formed.

본 고안에 따르면 반도체 생산설비의 배관을 교체하거나 새로이 설치한 경우 혹은 주기적으로 그 내부의 누수여부를 체크하기 위하여 봄베를 이동시에 바퀴가 구비된 대차에 봄베가 적재되어 이동을 신속하고 편리하게 할 수 있게 되고, 봄베의 배출부에서 나뉘어지는 주입구가 다수개 병렬로 구비되어 동시에 다수개의 배관을 테스트 할 수 있어, 신속한 이동이 가능하며 간결한 구성으로 작업의 편리성을 높이고 누수탐지에 걸리는 시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.
According to the present invention, when a piping of a semiconductor production facility is replaced or newly installed, or in order to periodically check whether there is a leak inside the bomb, a bomb is mounted on a bogie equipped with wheels, And it is possible to test a plurality of piping at the same time by providing a plurality of injection ports which are divided in the discharge part of the bomb, so that it is possible to move quickly, and a simple configuration improves the work convenience and shortens the time for leak detection There is an effect that can be.

도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체 생산설비의 배관 누수탐지장치의 사시도.
도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체 생산설비의 배관 누수탐지장치가 다수의 배관에 연결되어 누수 여부를 탐지하는 상태를 나타낸 개략도.
도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체 생산설비의 배관 누수탐지장치의 작동상태를 나타낸 흐름도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of a piping leak detection device of a semiconductor production facility according to an embodiment of the present invention; FIG.
FIG. 2 is a schematic view showing a state in which a piping leakage detection device of a semiconductor production facility according to an embodiment of the present invention is connected to a plurality of pipelines to detect leakage.
FIG. 3 is a flowchart showing an operation state of a piping leakage detection device of a semiconductor production facility according to an embodiment of the present invention. FIG.

이하 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 토대로 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

하기에서 설명될 실시예는 본 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 고안을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것이며, 이로 인해 본 고안의 기술적인 사상 및 범주가 한정되는 것을 의미하지는 않는다.The embodiments described below are intended to be illustrative in nature to enable those skilled in the art to easily carry out the invention and that the technical idea and scope of the present invention will be limited It does not mean anything.

또한, 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있으며, 본 고안의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있고, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 함을 밝혀둔다.
In addition, the size and shape of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of explanation, and the terms defined in particular in consideration of the configuration and operation of the present invention may vary depending on the intention or custom of the user or the operator It should be noted that the definitions of these terms should be made on the basis of the contents throughout this specification.

본 고안에 따른 반도체 생산설비의 배관 누수탐지장치는 하기 되는 것과 같이 실시될 수 있다.
The piping leak detection device of the semiconductor production facility according to the present invention can be implemented as follows.

도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체 생산설비의 배관 누수탐지장치의 사시도이고, 도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체 생산설비의 배관 누수탐지장치가 다수의 배관에 연결되어 누수 여부를 탐지하는 상태를 나타낸 개략도이다.FIG. 1 is a perspective view of a piping leakage detection device of a semiconductor production facility according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic view of a piping leakage detection device of a semiconductor production facility according to an embodiment of the present invention, Or < / RTI >

도 1 내지 도 2를 참조하여 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체 생산설비의 배관 누수탐지장치는 크게 구분하여 내압성을 지니고 긴 원통형으로 내부에 압축유체가 저장되며 상부에는 배출부(120)가 형성된 봄베(100), 봄베(100)의 배출부(120)에 결합 되어 배출되는 유량을 조절하는 레귤레이터(200), 봄베(100)로부터 배출되어 레귤레이터(200)를 경유한 유체가 반도체 배관(10)으로 주입되도록 연결되는 주입부(300), 주입부(300)에 설치되어 반도체 배관 내의 압력을 측정하는 압력게이지(340)와 주입부(300)에서 유체의 흐름을 제어하는 차단밸브(330) 및 봄베(100)가 적재되고 하부에는 바퀴가(420)가 구비되어 이동할 수 있도록 한 대차(400)로 구성된다.
1 to 2, the piping leakage detection device of the semiconductor manufacturing facility according to the present invention is divided into a large-sized, pressure resistant, long cylindrical type, a compressed fluid is stored therein, and a discharge part 120 is formed A regulator 200 for regulating the flow rate of the exhaust gas discharged from the bomb 100 and the discharge unit 120 of the bombardment 100, A pressure gauge 340 installed in the injection part 300 for measuring the pressure in the semiconductor piping, a shutoff valve 330 for controlling the flow of the fluid in the injection part 300, And a bogie 400 for loading the bomb 100 and having a wheel 420 at the bottom.

아래에서는 상기된 각각의 구성을 구체적으로 자세하게 설명한다.
Each of the above-described configurations will be described in detail below.

봄베(100)는 압축가스, 액화가스등을 저장하거나 운반하기 위한 내압용기로 두꺼운 강철로 만들어진 긴 원통형으로 이음새가 없이 형성되는 용기(110) 및 상부에 유체가 배출되는 배출부(120)로 구성된다. 봄베(100)의 용기(110) 내부에 저장되고 배관(10)으로 주입되는 유체는 2원자 분자로서 공기 부피의 80%를 차지하는 기체 원소이고 무색 투명하며 유동성이 크며 화학적으로 불활성 및 비연소성을 지니고 있는 액체질소(liquid nitrogen)를 사용한다. 이는 예시적인 것으로서 본 고안이 적용되는 실시예에 따라 당해 기술분야에서 적용 가능한 다양한 유체로 구현될 수 있다.The bomb 100 is a pressure vessel for storing or transporting compressed gas, liquefied gas and the like. The vessel 100 is composed of a long cylinder-shaped seamless tube made of thick steel and a discharging portion 120 through which the fluid is discharged at an upper portion . The fluid stored in the container 110 of the bomb 100 and injected into the pipe 10 is a bivalent atom, which is a gas element accounting for 80% of the volume of the air and is colorless and transparent, has high fluidity, is chemically inert and nonflammable Liquid nitrogen is used. Which is illustrative and can be implemented in a variety of fluids applicable in the art according to embodiments to which the present invention is applied.

레귤레이터(200)는 유량조절밸브(210) 및 유량게이지(220)로 구성되며, 봄베(100)의 배출부(120)에 결합되어 봄베(100) 내부에 저장된 유체가 배출되는 양을 제어하는 목적을 지니고 있다.The regulator 200 includes a flow control valve 210 and a flow rate gauge 220 and is connected to the discharge part 120 of the cylinder 100 to control the amount of fluid discharged from the cylinder 100 .

유량조절밸브(210)는 회전형 손잡이로 형성되어 손잡이의 회전에 따라 레귤레이터(200) 내부로 통과되는 유량을 제어하는 것으로 봄베(100)에 저장된 유체가 레귤레이터(200)를 경유하여 배출되는데에 그 양을 조절할 수 있고 또한, 개폐제어의 역할도 함께하게 된다.The flow rate control valve 210 is formed of a rotating type knob and controls the flow rate of the fluid flowing into the regulator 200 according to the rotation of the handle so that the fluid stored in the cylinder 100 is discharged through the regulator 200, It is possible to adjust the amount and also to control the opening and closing.

유량게이지(220)는 레귤레이터(200)의 외측에서 상기 유량조절밸브(210)에 의하여 조절된 유체의 양을 측정하는 역할로, 레귤레이터(200)를 통과하여 배출되는 유체의 양을 측정하여 계기판에 표시하는 장치이다. 본 고안의 일 실시예에서는 기계식으로 유량을 측정하고 그 표시를 표시바늘의 회전량으로 나타내어 디지털장비의 오작동이나 전원연결 여부에 매이지 않고 측정가능하도록 하되 이는 예시적인 것으로서 본 고안이 적용되는 실시예에 따라 당해 기술분야에서 적용 가능한 다양하게 면적식 유량계(area flowmeter), 차압식 유량계(differential pressure type flowmeter)등의 유체의 흐름 제어 및 측정기술로 구현될 수 있다.The flow rate gauge 220 serves to measure the amount of the fluid controlled by the flow rate control valve 210 outside the regulator 200. The flow rate gauge 220 measures the amount of fluid passing through the regulator 200, . In one embodiment of the present invention, the flow rate is measured mechanically and the display is expressed as the rotation amount of the display needle so that the measurement can be performed without any malfunction of the digital equipment or the connection of the power source. However, this is an exemplary embodiment in which the present invention is applied Accordingly, various fluid flow control and measurement techniques such as an area flowmeter and a differential pressure type flowmeter applicable to the technical field can be realized.

주입부(300)는 봄베(100)에서부터 레귤레이터(200)를 경유하여 배출되는 유체를 누수 여부 측정을 하려는 배관(10)에 연결하여 주는 역할을 하는 것으로, 분기관(310), 연결튜브(320), 차단밸브(330) 및 압력게이지(340)로 구성된다.The injector 300 connects the fluid discharged from the cylinder 100 through the regulator 200 to the pipe 10 for measuring leakage or leakage. The injector 300 includes a branch pipe 310, a connection tube 320 A shut-off valve 330, and a pressure gauge 340. As shown in FIG.

분기관(310)은 레귤레이터(200)에 일단이 연결된 본관(311)과 본관(311)에서 여러갈래로 나뉘어 병렬로 배열되는 다수개의 지관(312)으로 구성되고, 하나의 봄베(100) 및 레귤레이터(200)로부터 배출되는 유체를 다수개의 배관(10)에 분배하여 주입하기 위한 장치이다.The branch pipe 310 is composed of a main pipe 311 connected at one end to the regulator 200 and a plurality of branch pipes 312 arranged in parallel at the main pipe 311. The one branch pipe 311 and the regulator (200) to a plurality of piping (10).

연결튜브(320)는 분기관(310)의 여러개로 나뉘어진 지관(312)과 각각의 배관(10)을 연결시키는 유연하고 휘어지는 성질을 갖고 일정한 길이를 지닌 튜브로 형성된다. 또한, 연결튜브(320)의 양 끝단에는 배관(10) 및 상기 분기관(310)의 지관(312)과 밀폐결합될 수 있도록 체결부재(321)가 형성된다.The connecting tube 320 is formed of a tube having a certain length and having a flexible and bending property to connect the branch tubes 312 divided into the branch tubes 310 to the respective tubes 10. Coupling members 321 are formed at both ends of the connection tube 320 so as to be hermetically sealed with the pipe 10 and the branch pipe 312 of the branch pipe 310.

차단밸브(330)는 분기관(310)의 지관(312)에 설치되어 지관(312)내로 유체가 유동하는 것을 차단하거나 개방하는 역할을 하는 개폐조작밸브로 형성된다.The shutoff valve 330 is formed in the branch pipe 312 of the branch pipe 310 and serves as an opening / closing valve for blocking or opening the flow of the fluid into the branch pipe 312.

압력게이지(340)는 지관(312)내부의 압력을 측정하여 게이지로 표시하여 주는 장치로 연결튜브(320)와 결합되는 지관(312)의 끝단과 차단밸브(330)의 사이에 위치한다.The pressure gauge 340 is a device for measuring the pressure inside the branch pipe 312 and displaying the pressure by the gauge. The pressure gauge 340 is positioned between the end of the branch pipe 312 coupled with the connection pipe 320 and the shutoff valve 330.

대차(400)는 상기된 봄베(100), 레귤레이터(200) 및 주입부(300)를 효율적으로 적재하고 이동의 편의성을 높이기 위한 것으로, 긴 원통형으로 형성된 봄베(100)를 적재할 수 있도록 상하로 길이가 길게 형성된 몸체(410)와 몸체(410)의 하부에서 구성되어 이동을 수월하게 하는 바퀴(420), 그 상부에 손으로 잡고 조향을 편리하도록 형성되는 손잡이(430)로 구성된다.The bogie 400 is for efficiently loading the bomb 100, the regulator 200, and the injection unit 300 and for enhancing the convenience of movement. The bogie 400 is mounted on the bogie 100, A body 410 having a long length and a wheel 420 that is made up of a lower portion of the body 410 and facilitates the movement of the body 410. A handle 430 is formed on the upper portion of the body 410 to facilitate steering.

몸체(410)는 봄베(100)가 안착 되어 고정될 수 있도록 봄베(100)의 하단 및 측면을 지지하며 체결될 수 있도록 형성되고, 봄베(100)의 하중을 견디어낼 수 있도록 충분한 강성을 지닌 금속재로 형성된다.The body 410 is formed to be capable of supporting and supporting the lower end and the side surface of the bomb 100 so that the bomb 100 can be seated and fixed and is made of a metal material having sufficient rigidity to withstand the load of the bomb 100, .

바퀴(420)는 몸체(410)의 하부에서 하나의 축으로 연결된 두 개의 바퀴(420)로 구성되어 적재된 봄베(100)의 무게중심을 이용하여 이동시 큰 힘이 들지 않도록 구성되고, 이는 예시적인 것으로서 본 고안이 적용되는 실시예에 따라 당해 기술분야에서 적용 가능한 다양한 회전축 및 바퀴(420)의 구성으로 구현될 수 있다.The wheel 420 is constituted by two wheels 420 connected to the lower portion of the body 410 by one shaft and is constructed so as not to exert a great force when moving using the center of gravity of the loaded bomb 100, And may be embodied in a variety of rotational shafts and wheels 420 applicable in the art according to embodiments to which the present invention is applied.

손잡이(430)는 본 고안에 따른 반도체 생산설비의 배관 누수탐지장치를 이동시킬 시에 손으로 잡고 조향을 하며 이동할 수 있도록 하는 것으로, 몸체(410)의 상부에서 연장되어 봄베(100)가 적재되는 방향의 반대편으로 만곡되어 형성된다.The handle 430 is provided to be able to move while being steered by hand while moving the pipe leakage detection device of the semiconductor manufacturing facility according to the present invention. The handle 430 is extended from the upper part of the body 410, As shown in FIG.

받침부(450)는 대차(400)를 세워둔 상태로 보관하거나 누수탐지작업을 할 시에 견고하게 지면에 서 있을 수 있도록 바퀴(420)와 함께 대차(400)의 하중을 분산하여 지면에서 지지하여 주는 역할로, 지면과 닿는 끝단이 마찰력은 크고 마모에는 강한 성질을 띠는 PVC(polyvinyl chloride)로 형성된다. 이는 예시적인 것으로 받침부(450)는 몸체(410)와 일체로 된 금속제로 형성되어도 무방하며 본 고안이 적용되는 실시예에 따라 당해 기술분야에서 적용 가능한 다양한 방법으로 구현될 수 있다.The pedestal part 450 supports the pedestal 400 with the wheel 420 and the load of the pedestal 400 dispersed and grounded so that the pedestal 400 can stand in a standing state or stand on the ground firmly As a role, it is made of PVC (polyvinyl chloride), which has a high frictional force and strong resistance to abrasion. The support portion 450 may be formed of a metal integrally formed with the body 410 and may be implemented by various methods applicable to the related art according to an embodiment to which the present invention is applied.

공구함적재부(440) 및 공구함(440)은 대차(400)에 구비되어 배관(10)의 연결작업 또는 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체 생산설비의 배관 누수탐지장치를 사용하여 누수탐지를 하기 위하여 필요한 공구를 보관할 수 있도록 마련된 공간으로 예시적으로 본 고안의 다양한 실시예 중 하나로서 상기 되었던 봄베(100), 대차(400) 및 공구함(440)을 일체로 형성하여 그 이동을 편리하게 할 뿐만 아니라 장비의 간소화를 할 수 있다.
The tool chest mounting portion 440 and the tool chest 440 are provided in the bogie 400 so as to perform piping leakage detection using the piping leakage detection device of the semiconductor production facility according to one embodiment of the present invention, The bomb 100, the carriage 400 and the tool box 440, which have been described above as examples of the various embodiments of the present invention, can be integrally formed as one of the various embodiments of the present invention, As well as simplifying the equipment.

상기와 같은 구성에 근거하여 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체 생산설비의 배관 누수탐지장치의 동작을 설명한다.
The operation of the pipe leakage detection apparatus of the semiconductor production facility according to one embodiment of the present invention will be described based on the above-described structure.

도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 반도체 생산설비의 배관 누수탐지장치의 작동상태를 나타낸 흐름도이다.FIG. 3 is a flowchart showing an operation state of a piping leakage detection device of a semiconductor production facility according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하여,3,

봄베(100), 레귤레이터(200), 주입부(300) 및 공구함(441)이 적재되어 있는 대차(400)를 이동시켜 반도체 생산설비에서 누수 여부를 측정하고자 하는 배관(10)으로 이동하여 각 배관(10)의 개방된 일단과 주입부(300)의 지관(312)을 연결하고, 다수의 배관(10)을 측정할 경우에는 각각의 배관(10)에서 개방된 일단과 다수개가 형성되어 있는 지관(312)의 개방된 끝단을 연결튜브(320)를 매개로 하여 연결하여주는 배관연결단계(S100).The bobbin 100, the regulator 200, the injection unit 300 and the tool box 441 are moved to move to the piping 10 to be measured for leakage in the semiconductor production facility, When the opened end of the pipe 10 is connected to the branch pipe 312 of the injection unit 300 and a plurality of pipes 10 are measured, one end and a plurality of open ends are formed in the respective pipes 10 (S100) for connecting the opened end of the branch pipe (312) to each other via the connecting tube (320).

누수 여부를 측정하고자 하는 배관(10)과 본 고안에 따른 반도체 생산설비의 배관 누수탐지장치의 주입부(300)에 형성된 지관(312)과의 연결이 완료되면, 레귤레이터(200)의 유량조절밸브(210)와 주입부(300)의 차단밸브(330)를 개방하여 봄베(100)에 저장된 유체가 각각의 배관(10) 내부로 주입되게 하는 레귤레이터(200) 및 차단밸브(330)개방단계(S200).When the piping 10 to be measured for leakage is connected to the branch pipe 312 formed in the injection unit 300 of the pipe leakage detection apparatus of the semiconductor production facility according to the present invention, The regulator 200 and the shutoff valve 330 are opened to allow the fluid stored in the cylinder 100 to be injected into the respective pipes 10 by opening the shutoff valve 330 of the injection unit 210 and the injection unit 300 S200).

이때, 레귤레이터(200)의 유량게이지(220)를 체크하여 배관(10)들로 충분한 유체가 주입되도록 하는 단계(S210).At this time, the flow gauge 220 of the regulator 200 is checked to inject sufficient fluid into the pipes 10 (S210).

누수탐지를 하고자 하는 대상 배관(10) 내부로 충분한 유체가 주입되었다면 레귤레이터(200)의 유량게이지(220) 및 주입부(300)의 압력게이지(340)를 폐쇄하여 유체의 공급을 중단하는 단계(S300).Closing the flow gauge 220 of the regulator 200 and the pressure gauge 340 of the injection unit 300 to stop the supply of the fluid if sufficient fluid is injected into the pipe 10 to be leaked S300).

주입부(300)의 지관(312)에서 차단밸브(330)와 연결튜브(320)의 사이에 구비된 압력게이지(340)를 통하여 유체가 공급된 배관(10) 내부의 압력변화를 측정하는 단계(S400).A step of measuring a pressure change inside the piping 10 supplied with fluid through the pressure gauge 340 provided between the shutoff valve 330 and the connection tube 320 at the branch pipe 312 of the injection unit 300 (S400).

배관(10) 내부의 압력변화를 측정하여 일정한 압력이 유지된다면 누수가 없는 것으로 판단하고, 측정된 배관(10) 내부의 압력이 낮아진다면 누수가 있는 것으로 판단하는 압력측정에 의한 누수판단 단계(S410).A leak determination step S410 of judging that there is no leakage if the pressure inside the pipe 10 is measured to determine that there is no leakage if the pressure is maintained and if there is a decrease in the pressure inside the pipe 10, ).

누수가 확인된 배관(10)에 대하여 보수 또는 교체작업을 하여 배관연결단계(S100)로부터 누수탐지 과정을 반복하도록 하는 보수 및 교체 단계(S500)로 나뉘어 반도체 생산설비의 배관(10) 내부의 누수 여부를 탐지하게 된다.
A repairing and replacing step S500 for repeating the leak detection process from the piping connection step S100 by performing a maintenance or replacement operation on the pipe 10 for which leakage has been confirmed, .

비록 본 고안이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어 졌지만, 고안의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정 및 변형이 가능한 것은 당업자라면 용이하게 인식할 수 있을 것이며, 이러한 변경 및 수정은 모두 첨부된 청구의 범위에 속함은 자명하다.
Although the present invention has been described in connection with the above-mentioned preferred embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the invention, It is obvious that the claims fall within the scope of the claims.

10 : 배관 100 : 봄베
110 : 용기 120 : 배출부
200 : 레귤레이터 210 : 유량조절밸브
220 : 유량게이지 300 : 주입부
310 : 분기관 311 : 본관
312 : 지관 320 : 연결튜브
321 : 체결부재 330 : 차단밸브
340 : 압력게이지 400 : 대차
410 : 몸체 420 : 바퀴
430 : 손잡이 440 : 공구함적재부
441 : 공구함 450 : 받침부10: piping 100:
110: container 120:
200: regulator 210: flow regulating valve
220: Flow rate gauge 300:
310: Branch 311: Main Building
312: branch tube 320: connecting tube
321: fastening member 330: shutoff valve
340: Pressure gauge 400: Bogie
410: body 420: wheel
430: handle 440: tool box loading section
441: Toolbox 450:

Claims (5)

반도체 배관 내부에 유체를 가압한 후 압력변화를 측정하여 배관의 누수여부를 확인하는 누수탐지장치에 있어서,
내압성을 지니고 긴 원통형으로 내부에 압축유체가 저장되며 상부에는 배출부가 형성된 봄베;
상기 봄베의 배출부에 결합 되어 배출되는 유량을 조절하는 레귤레이터;
상기 레귤레이터를 경유하여 배출되는 유체가 반도체 배관으로 주입되도록 연결하며, 상기 레귤레이터와 연결되는 본관 및 상기 본관에서 적어도 두 개 이상이 병렬로 나뉘고 차단밸브가 각각 구성되어 개별적으로 유체의 흐름을 개폐할 수 있는 지관으로 구성되는 주입부;
상기 각각의 주입부에 설치되어 반도체 배관 내의 압력을 측정하는 압력게이지;
상기 주입부 각각의 일단과 반도체 배관을 양단에 구비되는 체결부재로 연결하는 연결튜브; 및
상기 봄베가 적재되고 하나의 축으로 연결된 두 개의 바퀴가 구비되며, 공구함을 적재할 수 있도록 구성된 공구함적재부, 이동시 조향을 편리하도록 하는 손잡이, 정지시에 움직이지 않도록 바닥에 지지되는 받침부로 구성된 대차를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 생산설비의 배관 누수탐지장치.
A leak detection device for detecting a leak of a pipe by measuring a pressure change after a fluid is pressurized in a semiconductor pipe,
A cylinder having a pressure resistance and having a long cylindrical shape, a compressed fluid stored therein, and a discharge portion formed at an upper portion thereof;
A regulator coupled to the discharge portion of the bomb to regulate the discharge amount;
A main pipe connected to the regulator, at least two main pipes connected to the main pipe, and at least two of the main pipes are divided in parallel, and a shut-off valve is formed to individually open and close the flow of the fluid. An injection part composed of a branch tube;
A pressure gauge installed in each of the injection units to measure a pressure in the semiconductor piping;
A connection tube connecting one end of each of the injection portions and the semiconductor piping to each other with a coupling member provided at both ends; And
A tool box mounting part for mounting the tool box, a handle for making steering easier when moving, and a support part supported on the floor so as not to move at the time of stopping, And a bogie configured to detect the leakage of the pipeline in the semiconductor production facility.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 대차, 봄베 및 공구함이 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 생산설비의 배관 누수탐지장치.
The method according to claim 1,
Wherein the bogie, the bomb, and the tool box are integrally formed.
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