KR200465886Y1

KR200465886Y1 - Cross cover for Upper Pneumatics Assembly in Chemical Mechanical Polishing Machine

Info

Publication number: KR200465886Y1
Application number: KR2020120007901U
Authority: KR
Inventors: 전용준
Original assignee: 전용준
Priority date: 2012-06-04
Filing date: 2012-09-05
Publication date: 2013-03-15

Abstract

본 고안은 화학기계적 연마장치의 상부 공압제어 어셈블리 보호커버에 관한 것으로서, 상세하게는 화학기계적 연마장치의 상부 고압제어 어셈블리의 보호커버에 원터치버튼을 부착시켜서 결합 및 분리가 용이하게 하고, 나아가 원터치버튼의 부착부분을 조절하여 그 부착갯수를 줄여서 전체적으로 종래의 부착력을 그대로 유지하면서도 보호커버의 탈부착시간을 90% 이상 단축시킨 화학기계적 연마장치의 상부 공압제어 어셈블리 보호커버에 관한 것이다.The present invention relates to a protective cover of the upper pneumatic control assembly of the chemical mechanical polishing apparatus, and in particular, by attaching a one-touch button to the protective cover of the upper high-pressure control assembly of the chemical mechanical polishing apparatus to facilitate the coupling and separation, furthermore, one-touch button The upper pneumatic control assembly protection cover of the chemical mechanical polishing apparatus that reduces the number of attachment by adjusting the attachment portion of the chemical mechanical polishing apparatus to reduce the detachment time of the protective cover by more than 90% while maintaining the conventional attachment force as a whole.

Description

Cross cover for Upper Pneumatics Assembly in Chemical Mechanical Polishing Machine}

본 고안은 화학기계적 연마장치의 상부 공압제어 어셈블리 보호커버에 관한 것으로서, 상세하게는 화학기계적 연마장치의 상부 고압제어 어셈블리의 보호커버에 원터치버튼을 부착시켜서 결합 및 분리가 용이하게 하고, 나아가 원터치버튼의 부착부분을 조절하여 그 부착갯수를 줄여서 전체적으로 종래의 부착력을 그대로 유지하면서도 보호커버의 탈부착시간을 90% 이상 단축시킨 화학기계적 연마장치의 상부 공압제어 어셈블리 보호커버에 관한 것이다.The present invention relates to a protective cover of the upper pneumatic control assembly of the chemical mechanical polishing apparatus, and in detail, by attaching a one-touch button to the protective cover of the upper high-pressure control assembly of the chemical mechanical polishing apparatus to facilitate the coupling and separation, furthermore, the one-touch button The upper pneumatic control assembly protection cover of the chemical mechanical polishing apparatus that reduces the number of attachment by adjusting the attachment portion of the chemical mechanical polishing apparatus to reduce the detachment time of the protective cover by more than 90% while maintaining the conventional attachment force as a whole.

최근의 반도체 분야의 흐름은 고집적화, 고기능화의 추세에 따르고 있다. 즉, 고집적화에 따른 선폭의 감소로 필요로 하는 용량의 메모리 셀(cell)을 구현하기 위하여는 3차원적 입체구조를 가지는 커패시터 (capacitor)등으로 구성된 셀을 필요로 하게 되었고, 그에 따라 주변부(periphery)의 회로와 메모리 셀간의 높이 차이가 발생되며, 층간 절연막(inter layer dielectric)의 증착후 미세 구조가 밀집된 지역과 주변부 회로간에 발생되는 단차로 인하여 이후의 공정 진행을 어렵게 하는 문제점이 있다.
The recent trend in the semiconductor field is following the trend of high integration and high functionalization. In other words, in order to realize a memory cell having a capacity required by the reduction of the line width due to the high integration, a cell composed of a capacitor having a three-dimensional solid structure is needed, and accordingly, a peripheral portion is required. The height difference between the circuit and the memory cell is generated, and there is a problem that it is difficult to proceed with the subsequent process due to the step difference between the region where the microstructure is dense and the peripheral circuit after the deposition of the interlayer dielectric.

이와 같은 국소적인 영역별로 단차가 존재할 경우, 리소그래피(lithography) 공정에서 표면의 평탄도 불량으로 초점심도(Depth of Focus)의 여유 (margin)가 적어 모든 영역에서의 정확한 패턴의 정의가 어렵게 된다. 따라서, 층간절연막을 증착한 이후의 표면의 평탄도는 반도체 집적 기술의 발전과 더불어 반드시 해결하여야 하는 과제가 되고 있다. If there is a step for each of these local areas, the margin of focus is low due to poor surface flatness in the lithography process, so that it is difficult to define an accurate pattern in all areas. Therefore, the flatness of the surface after the deposition of the interlayer insulating film is a problem that must be solved with the development of semiconductor integrated technology.

이와같이 표면의 평탄도 문제를 해결하기 위하여 등장한 것이 기계적인 연마방식과 화학적인 연마방식을 접목시킨 화학기계적연마(Chemical Mechanical Polishing, CMP)장치이다. 이는 층간절연막의 평탄화 뿐만아니라 소자 분리(isolation)용 트렌치(trench)의 갭필링(gap filling), 텅스텐 플러그(W-plug) 형성 및 배선을 위한 다마신(damascene) 공정에도 본격적으로 적용이 되고 있다.In order to solve the surface flatness problem, a chemical mechanical polishing (CMP) device combining a mechanical polishing method and a chemical polishing method has emerged. This has been applied to the damascene process for gap filling, tungsten plug formation and wiring of trenches for isolation, as well as planarization of the interlayer insulating film. .

화학기계적연마장치에서의 기계적인 연마는 실리콘 웨이퍼와 표면에 일정한 거칠기를 가지는 폴리싱패드를 접촉시키고 이를 서로 상대적으로 움직이게 함으로서 마찰을 일으키는 것에 의하여 이루어지고, 상기 화학적인 연마는 슬러리라는 화학물질을 폴리싱패드와 웨이퍼 사이에 투입하여 웨이퍼의 절연막과 슬러리가 반응하게 하는 것에 의해 이루어지도록 되어 있다. Mechanical polishing in a chemical mechanical polishing apparatus is performed by contacting a silicon wafer with a polishing pad having a certain roughness on a surface and causing friction by moving it relative to each other. The chemical polishing is performed by polishing a chemical called slurry into a polishing pad. And between the wafer and the wafer to make the insulating film and the slurry of the wafer react.

여기서, 화학기계적연마장치에서 폴리싱패드가 부착된 폴리싱헤드부에는 질소의 가압 및 진공의 공급을 조절하는 상부 공압제어 어셈블리(Upper Pneumatics Assembly)가 설치되어 있다. Here, an upper pneumatic control assembly for controlling pressurization of nitrogen and supply of vacuum is installed in the polishing head portion to which the polishing pad is attached in the chemical mechanical polishing apparatus.

상부 공압제어 어셈블리에는 질소의 공급과 진공의 조절을 위한 각종 설비로 구성되어 있는데, 화학기계적연마장치는 그 특성상 다량의 슬러지와 순수를 사용하게 되고, 이로 인하여 슬러지와 순수가 상부 공압제어 어셈블리의 내부로 유입되는 것을 방지하기 위하여 상부 공압제어 어셈블리의 외부에는 투명한 보호커버를 설치한다.The upper pneumatic control assembly is composed of various equipment for supplying nitrogen and controlling vacuum. The chemical mechanical polishing device uses a large amount of sludge and pure water due to its characteristics, so that the sludge and pure water are inside the upper pneumatic control assembly. A transparent protective cover is installed on the outside of the upper pneumatic control assembly in order to prevent the inflow into the air.

도 1은 종래의 보호커버의 사시도이고, 도 2는 보호커버를 구성하는 다면체부와 곡률부의 사시도로서, 도 1과 도 2에서 보는 바와 같이 종래의 보호커버는 다면체부(10), 곡률부(20) 및 결합부(30)로 구성되어 있다. 이들 사이의 결합은 이들의 연결부분에 형성된 결합공에 십자형태의 나사(12)등의 결합수단을 결합시키는 방식으로 이루어진다. 1 is a perspective view of a conventional protective cover, Figure 2 is a perspective view of the polyhedral portion and the curvature portion constituting the protective cover, as shown in Figures 1 and 2, the conventional protective cover is a polyhedral portion 10, the curvature portion ( 20) and the engaging portion 30. The coupling between them is made in such a manner as to couple the coupling means such as the screw 12 of the cross shape to the coupling hole formed in the connection portion thereof.

문제는 나사(12)를 이용하여 체결을 하게 됨으로 인하여, 보호커버를 제거하거나 결합시킬 필요가 있는 경우에는 일일이 나사(12)를 분해 및 결합시커야 하므로 많은 시간이 소요되었다. 이는 결과적으로 화학기계적설비의 가동시간을 줄이게 되어서 반도체 공정의 생산효율을 저하시키는 문제가 있었다.Since the problem is to fasten using the screw 12, when it is necessary to remove or combine the protective cover, it takes a lot of time because the screw 12 must be disassembled and combined. As a result, there is a problem of reducing the production time of the semiconductor process by reducing the operating time of the chemical mechanical equipment.

나아가 금속성의 나사(12)를 사용함으로 인하여 시간의 경과에 따라 순수와 슬러지에 노출된 나사에 녹이 발생하게 되고, 이는 작은 파티클 하나도 최소화시켜야 하는 반도체 제조공정에 있어서 심각한 품질상의 문제를 발생시킬 수 있다.Further, the use of the metallic screw 12 causes rust to occur in the screw exposed to pure water and sludge over time, which may cause serious quality problems in the semiconductor manufacturing process where even a small particle should be minimized. .

본 고안은 상기된 문제점을 해결하기 위하여 고안된 것으로서, 본 고안은 화학기계적 연마장치의 상부 고압제어 어셈블리의 보호커버에 원터치버튼을 부착시켜서 결합 및 분리가 용이하게 하고, 나아가 원터치버튼의 부착부분을 조절하여 그 부착갯수를 줄여서 전체적으로 종래의 부착력을 그대로 유지하면서도 보호커버의 탈부착시간을 90% 이상 단축시킬 수 있는 화학기계적 연마장치의 상부 공압제어 어셈블리 보호커버를 제공함을 그 목적으로 한다.The present invention is devised to solve the above problems, the present invention is attached to the protective cover of the upper high-pressure control assembly of the chemical mechanical polishing apparatus by attaching the one-touch button to facilitate the coupling and separation, further adjusting the attachment portion of the one-touch button The purpose of the present invention is to provide a protective cover for the upper pneumatic control assembly of a chemical mechanical polishing apparatus which can reduce the detachment time of the protective cover by 90% or more while maintaining the overall attachment force by reducing the number of attachments thereof.

본 고안에 의한 화학기계적 연마장치의 상부 공압제어 어셈블리 보호커버는 The upper pneumatic control assembly protective cover of the chemical mechanical polishing apparatus according to the present invention

화학기계적 연마장치의 상부에 설치되어 폴리싱 헤드부의 공압을 조절하는 상부 공압제어 어셈블리의 외부에 설치되는 보호커버로서,A protective cover installed on the upper side of the chemical mechanical polishing apparatus and installed outside the upper pneumatic control assembly for adjusting the pneumatic pressure of the polishing head.

상기 보호커버는 The protective cover

내부에 상부 공압제어 어셈블리를 수용하며, 하부면과 상부 공압제어 어셈블리의 중심을 향하는 면이 개방된 다면체 형상의 4개의 다면체부; Four polyhedral parts of the polyhedral shape that accommodates the upper pneumatic control assembly therein, the lower surface and the surface toward the center of the upper pneumatic control assembly is open;

인접한 다면체부를 연결하기 위하여 상기 다면체부의 양측면에 접하는 곡률부; 및 A curvature portion in contact with both sides of the polyhedron portion for connecting an adjacent polyhedron portion; And

상기 다면체부와 곡률부의 접하는 부분에 설치되어, 일부는 다면체부와 접하고 일부는 곡률부와 접하여 다면체부와 곡률부를 연결하는 길이 방향으로 연장된 막대형상의 결합부를 포함하며,It is provided in the contact portion of the polyhedral portion and the curvature portion, a portion of the contact with the polyhedral portion and a portion includes a rod-shaped coupling portion extending in the longitudinal direction connecting the polyhedral portion and the curvature portion,

상기 결합부와 다면체부의 연결부분 및 상기 결합부와 곡률부의 연결부분에는 적어도 하나 이상의 원터치 버튼이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.At least one one-touch button is formed at the connection portion of the coupling portion and the polyhedron portion and the connection portion of the coupling portion and the curvature portion.

본 고안의 다른 바람직한 특징에 의하면, 결합부와 다면체부의 연결부분에는 원터치버튼이 2개 형성되어 있고, 결합부와 곡률부의 연결부분에는 원터치버튼이 3개 형성되어 있다.According to another preferred feature of the present invention, two one-touch buttons are formed at the connection portion of the coupling portion and the polyhedron portion, and three one-touch buttons are formed at the connection portion of the coupling portion and the curvature portion.

본 고안의 다른 바람직한 특징에 의하면, 원터치버튼은 플러그와 상기 플러그와 결합하는 소켓으로 구성되어 있으며, 상기 소켓의 길이가 상기 소켓의 내경의 2-4배이다.According to another preferred feature of the present invention, the one-touch button is composed of a plug and a socket for engaging the plug, the length of the socket is 2-4 times the inner diameter of the socket.

본 고안의 다른 바람직한 특징에 의하면, 원터치버튼은 합성수지재질로 만든다.According to another preferred feature of the present invention, the one-touch button is made of synthetic resin material.

본 고안의 다른 바람직한 특징에 의하면, 결합부의 상부면에는 원터치버튼의 소켓이 부착되어 있으며, 다면체부의 상부면에는 결합부의 상부면에 형성된 소켓에 대응하는 지점에 형성된 이탈방지홈에 플러그가 부착되어 있다.According to another preferred feature of the present invention, the upper surface of the coupling portion is attached to the socket of the one-touch button, the upper surface of the polyhedron portion is attached to the separation prevention groove formed at the point corresponding to the socket formed on the upper surface of the coupling portion. .

본 고안에 의한 보호커버는 드라이버를 이용하여 나사를 돌려서 결합 내지 분리시킬 필요가 없이, 단순히 손으로 원터치버튼을 눌러서 결합 및 분리가 가능하므로, 별도의 연장이 없이 보호커버를 간편하고 신속하게 결합 및 분리가 가능하다.The protective cover according to the present invention does not need to be combined or separated by turning a screw using a screwdriver, and thus can be combined and separated by simply pressing a one-touch button with a hand. It can be separated.

본 고안에 의한 보호커버는 원터치버튼이 설치되는 부분을 조절하여서 전체적으로 원터치버튼이 부착되는 지점을 하나의 보호커버를 기준으로 종래의 96개에서 40개로 대폭 줄이면서도 종래의 부착력을 그대로 유지할 수 있으므로, 보호커버의 분리 및 결합시간을 단축시킬 수 있다. The protective cover according to the present invention can maintain the conventional adhesive force while significantly reducing the point where the one-touch button is attached to the entire one-touch button is installed from 96 to 40, based on one protective cover. It is possible to shorten the time of separating and attaching the protective cover.

결과적으로 보호커버의 분리 및 단축시간을 90%이상 단축시킬 수 있으며, 이는 화학기계적 연마장치의 가동효율을 향상시키는 것이 되어, 전체적으로 반도체 공정의 생산성 향상에 기여하게 된다.As a result, the separation and shortening time of the protective cover can be shortened by 90% or more, which improves the operating efficiency of the chemical mechanical polishing apparatus, thereby contributing to the overall productivity improvement of the semiconductor process.

또한 원터치버튼을 합성수지로 제작하게 되어서, 순수와 슬러지에 노출되더라도 녹이 스는 문제가 발생하지 않고, 이는 결과적으로 최종 제품인 반도체의 품질향상에 직접적으로 기여하게 된다.In addition, since one-touch buttons are made of synthetic resin, rust does not occur even when exposed to pure water and sludge, which contributes directly to the quality improvement of the final product semiconductor.

도 1은 종래의 보호커버의 사시도,
도 2는 보호커버를 구성하는 다면체부와 곡률부의 사시도,
도 3은 본 고안에 의한 보호커버의 사시도,
도 4는 본 고안에 의한 다면체부의 사시도,
도 5는 본 고안에 의한 곡률부의 사시도,
도 6은 본 고안에 의한 결합부의 정면도,
도 7은 본 고안에 의한 원터치버튼의 단면도,
이다.1 is a perspective view of a conventional protective cover,
2 is a perspective view of a polyhedron portion and a curvature portion constituting the protective cover,
3 is a perspective view of a protective cover according to the present invention,
4 is a perspective view of a polyhedron according to the present invention;
5 is a perspective view of a curvature unit according to the present invention;
6 is a front view of the coupling portion according to the present invention,
7 is a cross-sectional view of the one-touch button according to the present invention,
to be.

본 고안에 의한 보호커버는 화학기계적 연마장치의 상부에 위치하여 폴리싱 헤드의 질소공급 및 진공을 조절하는 상부 공압제어 어셈블리의 외부에 설치되어, 화학기계적 연마장치에서 사용되는 슬리지와 순수로부터 상부 공압제어 어셈블리를 보호하는 역할을 한다.The protective cover according to the present invention is located on the upper side of the chemical mechanical polishing apparatus and installed outside the upper pneumatic control assembly that controls the nitrogen supply and vacuum of the polishing head, and the upper pneumatic from the sludge and pure water used in the chemical mechanical polishing apparatus. It serves to protect the control assembly.

도 3은 본 고안에 의한 보호커버의 사시도이다. 보호커버는 4개의 다면체부와 이들을 연결하는 4개의 곡률부가 결합하여 하나의 보호커버를 형성하는데, 도 3에서는 설명의 편리를 위하여 두 개의 다면체부와 하나의 곡률부만을 도시하였다.3 is a perspective view of a protective cover according to the present invention. The protective cover combines four polyhedral parts and four curvatures connecting them to form one protective cover. In FIG. 3, only two polyhedral parts and one curvature part are shown for convenience of description.

도 3에서 보는 바와 같이 본 고안에 의한 보호커버는 다면체부(100), 곡률부(200) 및 결합부(300)를 포함한다. 이하 각 구성요소별로 설명한다.
As shown in FIG. 3, the protective cover according to the present invention includes a polyhedron part 100, a curvature part 200, and a coupling part 300. Hereinafter, each component will be described.

도 4는 본 고안에 의한 다면체부의 사시도이다. 도 3과 도 4에서 보는 바와 같이, 본 고안에서의 다면체부(100)는 전체적으로 다면체의 형상을 가지고 있으며 그 내부에는 상부 공압제어 어셈블리의 일부가 수용된다. 다면체부(100)의 형상에 대해서는 특별한 제한은 없으며, 상부 공압제어 어셈블리를 수용하기에 적합한 형상으로 제작하면 되는데, 육면체 형상으로 제작하는 것이 가장 바람직하다.
4 is a perspective view of a polyhedron according to the present invention. As shown in Figures 3 and 4, the polyhedron portion 100 in the present invention has a shape of a polyhedron as a whole, a portion of the upper pneumatic control assembly is accommodated therein. The shape of the polyhedron portion 100 is not particularly limited, and may be manufactured in a shape suitable for accommodating the upper pneumatic control assembly, which is most preferably manufactured in a hexahedral shape.

다면체부(100)의 인접한 2개의 면은 개방된 형상을 가진다. 이는 다면체부(100)가 화학기계적 연마장치에 설치되기 위하여 다면체부(100)의 하부면과 상부 공압제어 어셈블리의 중심을 향하는 면은 개방된 형상으로 제작한다.Two adjacent faces of the polyhedral portion 100 have an open shape. The polyhedron portion 100 is manufactured in an open shape in order to be installed in the chemical mechanical polishing apparatus, the lower surface of the polyhedron portion 100 and the surface facing the center of the upper pneumatic control assembly.

다면체부(100)에는 결합부(300)와 결합하기 위하여 결합부(300)와 접하는 부분에 플러그(410)가 부착되기 위한 결합공(110)이 형성된다. 이는 다면체부(100)에서 상부 공압제어 어셈블리의 중심을 향하는 개방된 면을 중심으로 그 양측면에 형성된다. 본 고안에서는 하나의 다면체부(100)에 결합공(110)이 6개만 형성된다.In the polyhedral portion 100, a coupling hole 110 is formed to attach the plug 410 to a portion in contact with the coupling portion 300 so as to be coupled to the coupling portion 300. It is formed on both sides of the polyhedral portion 100 with respect to the open face toward the center of the upper pneumatic control assembly. In the present invention, only six coupling holes 110 are formed in one polyhedron portion 100.

한편 다면체부(100)에서 결합부(300)가 결합하는 부분의 상부에는 이탈방지홈(120)이 형성되어 있다. 이탈방지홈(120)에는 플러그(410)가 부착되는데, 이에 대해서는 추후에 자세히 설명한다.
On the other hand, the separation prevention groove 120 is formed in the upper portion of the coupling portion 300 is coupled to the polyhedral portion 100. The departure prevention groove 120 is attached to the plug 410, which will be described in detail later.

도 5는 본 고안에 의한 곡률부의 사시도이다. 도 3과 도 5에서 보는 바와 같이, 본 고안에서의 곡률부(200)는 다면체부(100)의 사이에 설치되어서 인접한 다면체부(100)를 연결하는 역할을 한다. 이를 위해서 다면체부(100)와 곡률부(200)는 그 측면이 서로 접하게 된다. 곡률부(200)는 원통의 1/4에 해당하는 부분이다. 곡률부(200)에는 양측면부분에 각각 3개씩의 결합공(210)이 형성되어 있다.
5 is a perspective view of a curvature unit according to the present invention. 3 and 5, the curvature portion 200 in the present invention is installed between the polyhedral portion 100 serves to connect the adjacent polyhedral portion 100. To this end, the polyhedron portion 100 and the curvature portion 200 are in contact with each other. Curvature 200 is a portion corresponding to 1/4 of the cylinder. In the curvature portion 200, three coupling holes 210 are formed at both side portions thereof.

도 6은 본 고안에 의한 결합부의 정면도이다. 도 3과 도 6에서 보는 바와 같이 결합부(300)는 곡률부(200)와 다면체부(100)를 연결하는 역할을 한다. 이를 위하여 결합부(300)는 곡률부(200)와 다면체부(100)의 접하는 부분에 설치되며, 결합부(300)의 일부는 곡률부(200)와 접하고, 결합부(300)의 일부는 다면체부(100)와 접하게 된다.6 is a front view of the coupling unit according to the present invention. As shown in FIGS. 3 and 6, the coupling part 300 serves to connect the curvature part 200 and the polyhedron part 100. To this end, the coupling part 300 is installed at the contact portion of the curvature part 200 and the polyhedron part 100, a part of the coupling part 300 is in contact with the curvature part 200, and a part of the coupling part 300 is It comes into contact with the polyhedron portion 100.

따라서 결합부(300)는 도 6과 같이 길이방향으로 연장된 막대형상으로 제작하는 것이 가장 바람직하다. Therefore, the coupling portion 300 is most preferably manufactured in the shape of a rod extending in the longitudinal direction as shown in FIG.

결합부(300)와 다면체부(100)의 결합 및 곡률부(200)와 다면체부(100)의 결합은 원터치버튼(400)을 이용하여 결합 및 분리시킨다. Coupling of the coupling part 300 and the polyhedron part 100 and coupling of the curvature part 200 and the polyhedron part 100 are combined and separated using the one-touch button 400.

이를 위하여 결합부(300)에는 다면체부(100)에 형성된 결합공(110) 및 곡률부(200)에 형성된 결합공(210)에 대응하는 위치에 결합공(310)이 형성되어 있다. 결합공(110, 210, 310)에는 원터치버튼(400)이 결합되어 있다.To this end, the coupling part 300 has a coupling hole 310 formed at a position corresponding to the coupling hole 110 formed in the polyhedron part 100 and the coupling hole 210 formed in the curvature 200. The one-touch buttons 400 are coupled to the coupling holes 110, 210, and 310.

종래에는 결합공(110, 210, 310)에 금속성의 나사를 부착시켜서 이들을 결합 및 분리시켰으나, 본 고안에서는 이를 원터치버튼(400)으로 교체하여 그 결합 및 분리가 매우 용이하고 신속하게 이루어질 수 있도록 하였다.Conventionally, by attaching a metallic screw to the coupling holes (110, 210, 310) to combine and separate them, in the present design it was replaced by a one-touch button 400 so that the coupling and separation can be made very easily and quickly. .

본 고안에서의 원터치버튼은 한번의 터치로 결합 또는 분리가 가능한 버튼을 의미한다. 본 고안에서는 이러한 기능을 수행할 수 있는 원터치버튼 사용하면 되는데, 도 7과 같은 형태의 원터치 버튼을 사용하는 것이 바람직하다. 도 7은 본 고안에 의한 원터치버튼의 단면도이다. 도 7에서 보는 바와 같이, 원터치버튼(400)은 플러그(410)와 소켓(420)으로 구성되어 있으며, 플러그(410) 또는 소켓(420) 중의 어느 하나는 결합부(300)에 설치되고, 다른 하나는 이에 대응하는 다면체부(100) 또는 곡률부(200)에 설치된다. 바람직하게는 플러그(410)는 다면체부(100) 또는 곡률부(200)에 설치되고, 소켓(420)이 결합부(300)에 설치된다. 이는 결합부(300)는 길이방향으로 연장된 막대형상이므로 다면체부(100)에 비하여 상대적으로 수월하게 소켓(420)을 설치할 수 있는 함몰부(330)를 형성할 수 있기 때문이다.One-touch button in the present design means a button that can be combined or separated with a single touch. In the present invention, the one-touch button can perform such a function, but it is preferable to use the one-touch button as shown in FIG. 7 is a cross-sectional view of the one-touch button according to the present invention. As shown in FIG. 7, the one-touch button 400 is composed of a plug 410 and a socket 420. Any one of the plug 410 or the socket 420 is installed in the coupling part 300, and the other One is installed in the polyhedron portion 100 or the curvature portion 200 corresponding thereto. Preferably, the plug 410 is installed in the polyhedron portion 100 or the curvature portion 200, and the socket 420 is installed in the coupling portion 300. This is because the coupling part 300 has a rod shape extending in the longitudinal direction, so that it is possible to form the depression 330 which can easily install the socket 420 compared to the polyhedral part 100.

플러그(410)는 원통형상으로 제작되어서 소켓(420)의 삽입부(421)에 삽입되는데, 원통형상의 플러그(410)의 내부에는 막대형상의 돌기(412)가 누름부(411)의 일단에 부착되어 있으며, 돌기(412)의 외부에는 스프링(413)이 부착되어 있다.The plug 410 is manufactured to have a cylindrical shape and is inserted into the insertion portion 421 of the socket 420. A rod-shaped protrusion 412 is attached to one end of the pressing portion 411 inside the cylindrical plug 410. The spring 413 is attached to the outside of the projection 412.

돌기(412)의 일단에는 손으로 누를 수 있는 누름부(411)가 부착되고, 돌기의 타단에는 돌기의 수직방향으로 돌출된 잠김부(414)가 부착된다.
One end of the protrusion 412 is attached to the pressing portion 411 which can be pressed by hand, and the other end of the protrusion is attached to the locking portion 414 protruding in the vertical direction of the protrusion.

소켓(420)은 플러그(410)가 삽입되는 삽입부(421), 상기 삽입부(421)의 말단에 부착된 제1톱니부(422)와 제2톱니부(423)으로 구성되어 있다. 잠김부(414)는 제1톱니부(422)와 결합하여 누름부(411)를 누르는 순간에 스프링(413), 제1톱니부(422)와 제2톱니부(423)의 상호 작용에 의해 일정 각도 회전을 하게 되고, 이로 인하여 잠김부(414)는 회전을 하면서 소켓(420)에 형성된 홈(미도시)에 결합 및 분리되면서, 전체적으로 소켓(420)과 플러그(410)를 결합 및 분리시키게 된다.The socket 420 includes an insertion portion 421 into which the plug 410 is inserted, and a first tooth portion 422 and a second tooth portion 423 attached to the end of the insertion portion 421. The locking part 414 is coupled to the first tooth part 422 by the interaction of the spring 413, the first tooth part 422, and the second tooth part 423 at the moment of pressing the pressing part 411. Is rotated by a certain angle, thereby the locking portion 414 is coupled to and separated from the groove (not shown) formed in the socket 420, while rotating, the socket 420 and the plug 410 as a whole to couple and disconnect do.

원터치버튼의 작동원리에 대하여 자세히 설명한다.The operation principle of the one touch button will be described in detail.

도 8은 제1톱니부와 제2톱니부의 결합된 상태에서의 사시도이고, 도 9는 제1톱니부(a)와 제2톱니부(b)의 사시도이다. 도 9는 도 8의 A 지점을 기준으로 제1톱니부를 바라본 사시도가 도 9(a)이고, 도 8의 A 지점을 기준으로 제2톱니부를 바라본 사시도가 도 9(b)이다. 도 9(a)에서 제1톱니부(422)의 중앙에 형성된 관통홈(422-1)으로 잠김부(414)가 관통홈(422-1)의 형상에 맞추어서 삽입되면, 제2톱니부(423) 내부에 형성된 4개의 제2경사면(423-1)에 의해 잠김부(414)의 방향의 회전하고, 동시에 돌기(412)를 감싸는 스프링(413)에 의해 플러그(410)는 누름부(411) 방향으로 힘을 받게 되는데, 이 때에는 이미 잠김부(414)가 회전을 하면서 관통홈(422-1)의 방향과 직각으로 틀어져서 플러그(410)와 소켓(420)은 결합을 하게 됩니다.FIG. 8 is a perspective view in a state where the first and second teeth are coupled, and FIG. 9 is a perspective view of the first and second teeth, b. FIG. 9 is a perspective view of the first toothed part based on the point A of FIG. 8, and FIG. 9A is a perspective view of the second toothed part based on the point A of FIG. 8. In FIG. 9A, when the locking portion 414 is inserted in accordance with the shape of the through groove 422-1 by the through groove 422-1 formed in the center of the first tooth 422, the second tooth portion ( The plug 410 is pressed by the spring 413 which rotates in the direction of the locking part 414 by four second inclined surfaces 423-1 formed in the inside of the bar 423, and simultaneously wraps the protrusion 412. ), The locking part 414 is rotated at right angles to the direction of the through hole 422-1, while the plug 410 and the socket 420 are coupled to each other.

반대로 누름부(411)를 누르게 되면 돌기(412)는 제2경사면(423-1)에 의해 회전을 하게 되고, 이 경우에 잠김부(414)가 다시 관통홈(422-1)의 형상과 일치하게 되어 플러그(410)와 소켓(420)은 분리된다.On the contrary, when the pressing part 411 is pressed, the protrusion 412 is rotated by the second inclined surface 423-1, and in this case, the locking part 414 again matches the shape of the through groove 422-1. The plug 410 and the socket 420 are separated.

한편 본 고안에서의 소켓(420)은 그 길이가 그 내부직경의 2-4배인 것을 특징으로 한다. 길이가 직경의 2배미만이면 소켓(420)과 플러그(410)의 결합면적이 적게 되어서 그 결합력이 작게 되어 본 고안의 소정의 목적을 달성할 수 없고, 그 길이가 너무 길면 외부로 노출되는 부분이 길어지는 문제가 있다.On the other hand, the socket 420 in the present invention is characterized in that the length is 2-4 times the inner diameter. If the length is less than two times the diameter of the socket 420 and the plug 410 is the coupling area is small and the coupling force is small to achieve the desired purpose of the present invention, if the length is too long the portion exposed to the outside There is a problem with this lengthening.

본 고안에서의 소켓(420)은 직경에 비하여 길이를 상대적으로 길게 형성시켜서 소켓(420)과 플러그(410)가 결합된 상태에서는 소켓(420)과 플러그(410)의 결합면적이 상대적으로 넓게 형성되어서 본 고안에 의한 보호커버가 상하좌우 어느방향으로 유동이 발생하여도 보호커버들을 매우 강한 힘으로 결합시킨 상태를 유지할 수 있고, 나아가 운전중에 원치않게 소켓(420)과 플러그(410)가 분리되거나 또는 사람이 실수로 소켓(420)에 플러그(410)를 끼운 상태에서 잠김부(411)를 누르지 않은 경우에도 플러그(410)의 원통부분의 측면은 소켓(420)의 삽입부(421)의 측면과 밀착되어서 이들이 쉽게 분리되는 것을 방지한다.In the present invention, the socket 420 is formed to have a relatively long length compared to the diameter, so that when the socket 420 and the plug 410 are coupled, the coupling area of the socket 420 and the plug 410 is relatively wide. The protective cover according to the present invention can maintain a state in which the protective covers are coupled with a very strong force even when the flow occurs in any of the up, down, left and right directions, and further, the socket 420 and the plug 410 are undesirably separated during operation. Alternatively, even when a person accidentally inserts the plug 410 into the socket 420, the side of the cylindrical portion of the plug 410 is the side of the insertion portion 421 of the socket 420 even when the locking portion 411 is not pressed. In close contact with them to prevent them from being easily separated.

한편 도 1과 도 2에서 보는 바와 같이, 종래의 보호커버에서는 단순히 나사를 돌려서 사용을 하게 되므로, 사람이 실수로 나사를 돌리지 않은 경우에는 보호커버 사이의 결합력이 전혀 발생하지 않고 이로 인하여 운전중 보호커버가 분리되는 경우가 있었다. On the other hand, as shown in Figure 1 and 2, in the conventional protective cover is used simply by turning the screw, if a person does not accidentally turn the screw, the coupling force between the protective cover does not occur at all, thereby protecting during operation The cover was sometimes detached.

한편 결합부의 상부면에는 이탈방지홈(120)에 부착된 플러그(410)가 결합할 수 있는 소켓(420)이 부착되어 있다. 이탈방지홈(120)에 부착된 플러그(410)는 결합부(300)에 부착된 다른 플러그들과 직각 방향으로 결합하게 되어서, 결합부(300)와 다면체부(100)의 결합을 1차원이 아닌, 2차원 방향으로의 결합이 가능하게 하고, 이로 인하여 매우 강력하게 보호커버를 구성하는 다면체부(100), 곡률부(200) 및 결합부(300)를 결합시킨다.
On the other hand, the upper surface of the coupling portion is attached to the socket 420 to which the plug 410 attached to the separation prevention groove 120 is attached. The plug 410 attached to the separation preventing groove 120 is coupled to the other plugs attached to the coupling part 300 in a direction perpendicular to each other, so that the coupling between the coupling part 300 and the polyhedron part 100 is one-dimensional. Rather, it is possible to combine in the two-dimensional direction, thereby coupling the polyhedral portion 100, curvature portion 200 and the coupling portion 300 constituting the protective cover very strongly.

종래의 보호커버에는 하나의 다면체부(100)에는 14개의 나사가 부착되고, 하나의 곡률부(200)에는 10개의 나사가 부착되어서, 4개의 다면체부(100)와 4개의 곡률부(200)가 결합한 하나의 보호커버에는 총 96개의 나사가 부착되어 있었다. 따라서 나사를 드라이버를 이용하여 분리 및 결합시키는 것이 많은 시간이 소요될 뿐 아니라, 그 나사의 개수가 많아서 실질적으로 전체 나사를 분리 및 결합시키는 데는 상당한 시간이 소요되었다.
In the conventional protective cover, one screw is attached to one polyhedron portion 100, and one screw is attached to one curvature portion 200, and four polyhedral portions 100 and four curvature portions 200 are attached. A total of 96 screws were attached to one protective cover. Therefore, it is not only time-consuming to remove and join the screws using a screwdriver, but also the number of the screws is large, and it takes a considerable time to actually remove and join the entire screw.

이에 본 고안에서는 종래의 나사를 원터치버튼(400)으로 변경하되, 그 결합공의 개수를 획기적으로 감소시켰다. Therefore, in the present invention, the conventional screw is changed to one-touch button 400, but the number of the coupling holes is drastically reduced.

구체적으로, 본 고안에서의 보호커버에서는 하나의 다면체부(100)에 4개의 결합공을 형성하고, 하나의 곡률부(200)에는 6개의 결합공을 형성시켰다.
Specifically, in the protective cover according to the present invention, four coupling holes are formed in one polyhedral portion 100, and six coupling holes are formed in one curvature portion 200.

한편 본 고안에서의 원터치버튼(400)은 합성수지로 만드는 것이 바람직하다. 이는 슬러지와 순수를 다량으로 사용하는 화학기계적연마장치의 특성을 고려할 때, 원터치버튼(400) 자체를 합성수지로 만들어서 이들이 녹스는 것 자체를 완전히 차단하기 위함이다.
Meanwhile, the one-touch button 400 in the present invention is preferably made of synthetic resin. This is to consider the characteristics of the chemical mechanical polishing apparatus using a large amount of sludge and pure water, to make the one-touch button 400 itself as a synthetic resin to completely block the rust itself.

다음으로 본 고안에 의한 보호커버의 장착 및 분해방법에 대하여 설명한다.
Next, the mounting and disassembling method of the protective cover according to the present invention will be described.

다면체부(100)와 곡률부(200)를 맞댄 상태에서 결합부(300)를 다면체부(100)와 곡률부(200)의 연결부분에 위치시킨 상태에서 원터치버튼(400)을 눌러서 이들을 결합시킨다. 이러한 방식으로 다면체부(100)와 곡률부(200)를 순차적으로 연결시키면 된다.In combination with the polyhedron portion 100 and the curvature portion 200 in a state where the coupling portion 300 is located at the connection portion of the polyhedron portion 100 and the curvature portion 200, the one-touch button 400 is pressed to couple them. . In this manner, the polyhedron 100 and the curvature 200 may be sequentially connected.

반대로 분해시에는 원터치버튼(400)을 눌러서 결합부(300)를 제거하여 다면체부(100)와 곡률부(200)가 분리될 수 있도록 한다.
On the contrary, when disassembling, the one-touch button 400 is pressed to remove the coupling part 300 so that the polyhedron part 100 and the curvature part 200 can be separated.

따라서 본 고안에서의 보호커버는 단순히 구성요소들을 맞댄 상태에서 원터치버튼(400)을 눌러서 결합시키고 분해하면 되므로, 결합 및 분해가 매우 용이하다는 장점이 있다.
Therefore, the protective cover in the present invention is simply by pressing and pressing the one-touch button 400 in the state of the components back, there is an advantage that the coupling and disassembly is very easy.

한편 종래에 사용되는 화학기계적 연마장치에 본 고안에 의한 보호커버를 부착시켜서 사용할 경우에는 종래에 화학기계적 연마장치에 형성된 나사가 삽입되는 홈을 깨끗이 세척하고, 이 부분에 불소코팅을 하여서 추가적인 녹이 발생하는 것을 방지시킨 상태에서 본 고안에 의한 보호커버를 부착시켜서 사용하는 것이 바람직하다.On the other hand, when the protective cover according to the present invention is attached to a conventional chemical mechanical polishing apparatus and used, the groove in which the screw formed in the conventional chemical mechanical polishing apparatus is inserted is thoroughly cleaned and a fluorine coating is applied to this portion to generate additional rust. It is preferable to attach the protective cover according to the present invention in a state where it is prevented from being used.

100:다면체부
200:곡률부
300:결합부
400:원터치버튼100: polyhedron part
200: curvature part
300: coupling part
400: one-touch button

Claims

A protective cover installed on the upper side of the chemical mechanical polishing apparatus and installed outside the upper pneumatic control assembly for adjusting the pneumatic pressure of the polishing head.
The protective cover
Four polyhedral parts of the polyhedral shape that accommodates the upper pneumatic control assembly therein, the lower surface and the surface toward the center of the upper pneumatic control assembly is open;
A curvature portion in contact with both sides of the polyhedron portion for connecting an adjacent polyhedron portion; And
It is provided in the contact portion of the polyhedral portion and the curvature portion, a portion of the contact with the polyhedral portion and a portion includes a rod-shaped coupling portion extending in the longitudinal direction connecting the polyhedral portion and the curvature portion,
At least one one-touch button is formed at the connection portion of the coupling portion and the polyhedral portion and the coupling portion and the coupling portion of the curvature portion, the upper pneumatic control assembly protective cover of the chemical mechanical polishing apparatus.

2. The chemical mechanical polishing apparatus according to claim 1, wherein two one-touch buttons are formed at the connection portion of the coupling portion and the polyhedron portion, and three one-touch buttons are formed at the connection portion of the coupling portion and the curvature portion. Upper pneumatic control assembly protective cover.

The upper pneumatic control assembly of a chemical mechanical polishing apparatus according to claim 1, wherein the one-touch button is composed of a plug and a socket for engaging the plug, and the length of the socket is 2-4 times the inner diameter of the socket. Protective cover.

The upper pneumatic control assembly protective cover of the chemical mechanical polishing apparatus according to claim 1, wherein the one-touch button is made of synthetic resin.

According to claim 1, wherein the upper surface of the coupling portion is a socket of one-touch button is attached, the upper surface of the polyhedral portion is attached to the plug to the separation prevention groove formed at a point corresponding to the socket formed on the upper surface of the coupling portion The upper pneumatic control assembly protective cover of the chemical mechanical polishing apparatus.