KR200429815Y1 - 원료 공급병의 병마개 구조체 - Google Patents

원료 공급병의 병마개 구조체 Download PDF

Info

Publication number
KR200429815Y1
KR200429815Y1 KR2020060020398U KR20060020398U KR200429815Y1 KR 200429815 Y1 KR200429815 Y1 KR 200429815Y1 KR 2020060020398 U KR2020060020398 U KR 2020060020398U KR 20060020398 U KR20060020398 U KR 20060020398U KR 200429815 Y1 KR200429815 Y1 KR 200429815Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
raw material
bottle
joint
chemical
pump
Prior art date
Application number
KR2020060020398U
Other languages
English (en)
Inventor
밍-룬 차이
Original Assignee
밍-룬 차이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 밍-룬 차이 filed Critical 밍-룬 차이
Priority to KR2020060020398U priority Critical patent/KR200429815Y1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR200429815Y1 publication Critical patent/KR200429815Y1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D25/00—Details of other kinds or types of rigid or semi-rigid containers
    • B65D25/38—Devices for discharging contents
    • B65D25/40—Nozzles or spouts
    • B65D25/42—Integral or attached nozzles or spouts
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D47/00—Closures with filling and discharging, or with discharging, devices
    • B65D47/04—Closures with discharging devices other than pumps
    • B65D47/06—Closures with discharging devices other than pumps with pouring spouts or tubes; with discharge nozzles or passages
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Vacuum Packaging (AREA)

Abstract

본 고안의 병마개는 하나의 기압 조인트, 하나의 원료배출 조인트 및 하나의 원료회수 조인트를 구비하고, 기압 조인트는 불활성 가스를 통하여 공급원과 연결되며, 원료배출 조인트 및 원료회수 조인트는 펌프와 연결되어, 펌프 또는 불활성 가스를 이용하여 화학 원료를 생산가공설비로 수송하게 되며, 원료공급시스템이 원료 공급을 중지하는 설정상태에 이르면, 원료회수 조인트를 거쳐 화학원료를 원료병으로 되돌려 보냄으로써 화학원료가 즉시 원료병으로 회수되어 사용할 수 있는 것을 특징으로 한다.

Description

원료 공급병의 병마개 구조체{STOPPER STRUCTURE OF BOTTLE FOR SUPPLYING SOURCE MATERIAL}
도 1은 종래기술의 화학원료공급 계통도,
도 2는 종래기술의 원료공급병의 병마개 외관 입체도,
도 3은 본 고안의 병마개 외관 입체도 및
도 4는 본 고안에서 응용한 화학원료공급 계통도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10: 원료병 11: 병마개
20: 저장장치 21: 배출관
30: 펌프 40: 생산가공설비
50: 폐수통 61: 제 1 수송관로
62: 제 2 수송관로 63: 제 3 수송관로
111: 기압 조인트 112: 원료배출 조인트
113: 원료회수 조인트
본 고안은 원료공급병의 병마개 구조 개선에 관한 것으로서, 그 목적은 원료가 즉시 회수되어 사용될 수 있도록 하는 병마개 구조체에 관한 것이다.
반도체 집적회로 또는 TFT-LCD 제조공정 중, 일반적으로 노광 현상 및 식각 등의 공정을 거쳐 관련 회로를 구축하게 되는데, 감광제는 노광 공정의 주요 원료로서, 그 원리는 주로 웨이퍼(wafer) 또는 유리기판상의 절연체층 또는 도전금속층에 중합물수지, 감광화합물과 용제를 포함하여 구성되는 감광제(감광조합물)를 고르게 덮어씌우거나 또는 코팅하는 방식이다.
감광제를 덮어씌우거나 코팅한 웨이퍼 또는 유리기판은 가열 건조를 거쳐 용제를 증발시킨 후, 자외선, 전자 또는 X-선 등과 같은 방사선에 선택적으로 노출시키고, 노출시킨 웨이퍼 또는 유리기판을 다시 열에 구운 후, 구워진 웨이퍼 또는 유리기판을 현상하여 예정된 패턴이 만들어지면, 현상된 웨이퍼 또는 유리기판을 다시 식각하여 절연체층 또는 도전금속층을 벗겨내고, 잔류된 감광제층을 제거하여 미세한 패턴이 웨이퍼 또는 유리기판의 표면상에 전사되도록 하는 것이다.
생산가공설비에 있어서 감광제를 코팅하는 자동화 작업의 요구를 만족시키기 위하여 반드시 관련된 수송경로를 통하여 감광제를 생산가공설비로 수송되도록 하여야 하는데, 도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 감광제 수송경로는 주로 감광제(또는 감광제 내부의 기포를 제거하기 위한 기타 화학원료)를 담기 위한 원료병(10)이 놓이는 장소에 하나의 제 1 수송관로(61) 및 하나의 제 2 수송관로(62)를 설치하고, 제 1 수송관로(61)를 이용하여 불활성가스(예를 들어 질소) 공급원과 연결하고, 제 2 수송관로(62)를 이용하여 저장장치(20), 펌프(30) 및 생산가공설비(40)와 연결하고 있다.
화학원료를 공급하기 시작하는 사전 설치 작업 시, 불활성가스를 이용하여 원료병(10) 중의 화학원료를 제 2 수송관로(62)로 보내면, 저장장치(20) 및 배출관(21)의 작용 하에 제 2 수송관로(62) 내부의 공기가 배출되며, 제 2 수송관로(62)에 감광제(감광제 내부의 기포를 제거하기 위한 화학원료)가 가득 차게 되면, 펌프(30) 또는 불활성가스의 작용 하에 감광제를 생산가공설비(40)로 보내게 되며, 그 펌프(30)는 실제 가공 작업의 필요에 따라 미리 설정된 시간 또는 임의의 가공 단계에 의해 자동으로 일정량의 감광제(또는 감광제 내부의 기포를 제거하기 위한 기타 화학원료)를 방출하게 되는 것이다.
또한 원료병(10)이 밀봉 상태가 되도록 하기 위해, 불활성 가스를 이용하여 화학원료를 제 1 수송관로(61)로 보낼 경우, 도 2에 도시된 바와 같이, 종래의 원료병(10)은 그 병마개(11)에 하나의 제 1 수송관로(61)에 연결되는 기압 조인트(111), 및 제 2 수송관로(62)에 연결되는 원료배출 조인트(112)가 설치된 것 이외에, 화학원료가 도입될 수 있도록 하는 어떠한 구조도 없다. 따라서 방출되는 감광제는 펌프(30) 전단부의 배출구를 통하여 직접 폐수통(50)으로 방출되어 폐기물 처리를 하게 되어, 감광제(감광제 내부의 기포를 제거하기 위한 화학원료)의 낭비를 초래할 뿐만 아니라, 폐수의 처리비용이 증가하게 된다.
이점에 착안하여, 본 고안은 원료병의 병마개 구조를 개선하여, 전체적인 병마개에 원칙적으로 하나의 기압 조인트, 하나의 원료배출 조인트 및 하나의 원료회 수 조인트를 설치하고, 원료배출 조인트에 원료병 내부까지 연장되는 흡입관을 설치하여, 기압 조인트와 불활성 가스 공급원의 연결을 통하여, 원료배출 조인트를 저장장치, 펌프 및 생산가공설비로 연결한다.
원료병의 병마개에 별도로 하나의 원료회수 조인트를 설치하여, 원료회수 조인트를 통해 펌프의 배출구까지 연결하고, 정상 상태에서 운전될 때 펌프 또는 불활성 가스를 통해 화학원료를 생산가공설비로 운송하고, 원료공급시스템이 화학원료의 공급을 중지하는 설정상태에 이르면 펌프를 통하여 즉시 화학원료를 원료병으로 되돌려 보내게 되어 즉시 화학원료가 회수되어 사용될 수 있도록 함으로써 화학원료의 원가, 폐기물 회수비용 및 환경위험요소를 낮추고자 하는 목적을 달성할 수 있다.
본 고안인 「원료공급병의 병마개 구조체」는 화학원료공급시스템 중 원료병의 병마개 구조를 개선하여 전체적인 원료공급시스템이 원래는 직접 폐기액으로 배출되어질 화학원료를 즉시 회수하여 사용할 수 있도록 함으로써, 화학원료의 원가, 폐기물 회수비용 및 환경위험요소를 낮추고자 하는데 있다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 전체적인 화학원료공급시스템은 기본적으로 화학원료를 담는 원료병(10)에 하나의 제 1 수송관로(61) 및 하나의 제 2 수송관로(62)를 설치하여, 제 1 수송관로(61)를 불활성 가스(예를 들어 질소가스) 공급원과 연결하고, 제 2 수송관로(62)를 저장장치(20), 펌프(30) 및 생산가공설비(40)와 연결한다.
원료병(10)의 병마개(11)에 하나의 제 1 수송관로(61)와 연결되기 위한 기압 조인트(111) 및 제 2 수송관로(62)와 연결되기 위한 원료배출 조인트(112)가 설치되는 이외에, 별도로 하나의 원료회수 조인트(113)가 설치되어 하나의 제 3 수송관로(63)와 연결되며, 제 3 수송관로(63)를 통하여 펌프(30)의 배출구까지 연결된다. 실시 시, 기압 조인트(111), 원료배출 조인트(112) 및 원료회수 조인트(113)는 원료공급시스템이 원료병(10)에 가하는 작업 압력을 견딜 수 있도록 고압관 조인트로 제작하고, 또한 원료배출 조인트(112)에 원료병 저부까지 연장되는 흡입관을 설치한다.
이에 따라, 화학원료가 공급을 시작하는 사전 단계 작업 시, 불활성 가스를 이용하여 원료병(10) 중의 화학원료를 제 2 수송관로(62)로 보내면, 저장장치(20) 및 배출관(21)의 작용 하에서 제 2 수송관로(62) 내부의 공기가 배출되며, 제 2 수송관로(62)가 화학원료로 완전히 가득 차게 되면, 펌프(30) 또는 불활성 가스의 작용 하에서 화학원료를 생산가공설비(40)로 수송하게 된다.
특히, 펌프(30)가 미리 설정된 시간 또는 임의의 가공 단계에서 화학원료를 자동으로 배출하여 화학원료 내부의 기포가 제거될 때, 펌프(30)는 즉시 화학원료를 제 3 수송관로(63) 및 원료회수 조인트(113)를 거쳐 원료병(10)으로 되돌려 보내게 되어 즉시 화학원료를 회수하여 사용할 수 있게 됨으로써 화학원료의 원가, 폐기물 회수비용 및 환경위험요소를 낮추는 목적을 달성할 수 있다.
구체적으로 실시할 때, 원료회수 조인트(113)에 밸브(도시되지 않음)를 선택적으로 설치할 수 있으며, 밸브는 사용자가 화학원료를 되돌려 보내는 시기를 조종 할 수 있도록 수동밸브로 할 수 있다. 물로 밸브는 상관된 제어회로를 통하여 화학원료를 되돌려 보내는 시기를 제어할 수 있도록 전동밸브로 설치할 수도 있다. 또한 밸브를 전혀 사용하지 않고, 펌프와 불활성 가스가 시동되는 시간차를 설정함으로써 화학원료의 회수를 조절하는 목적을 달성할 수도 있다.
상기와 같이, 본 고안은 실시 가능한 화학원료 공급병의 또 다른 병마개 구조체를 제공하고 있는바, 법에 의거하여 실용신안등록을 출원한다. 다만 이상의 실시예에 관한 설명 및 도면은 본 고안의 바람직한 실시예에 관한 것으로서, 결코 이로서 본 고안을 제한하는 것은 아니며, 따라서 본 고안의 구조, 장치, 특징 등과 유사하거나 동일한 경우 모두 본 고안의 목적 및 실용신안등록출원범위 내에 속하는 것으로 간주한다.
전술한 바와 같이, 본 고안에 따르면 원료병의 병마개에 별도로 하나의 원료회수 조인트를 설치하여, 원료회수 조인트를 통해 펌프의 배출구까지 연결하고, 정상 상태에서 운전될 때 펌프 또는 불활성 가스를 통해 화학원료를 생산가공설비로 운송하고, 원료공급시스템이 화학원료의 공급을 중지하는 설정상태에 이르면 펌프를 통하여 즉시 화학원료를 원료병으로 되돌려 보내게 되어 즉시 화학원료가 회수되어 사용될 수 있도록 함으로써 화학원료의 원가, 폐기물 회수비용 및 환경위험요소를 낮출 수 있다.

Claims (8)

  1. 원료병의 병입구에 설치되어 원료병을 밀봉 상태가 되도록 하는 원료공급병의 병마개에 있어서,
    상기 병마개에 하나의 기압 조인트, 하나의 원료배출 조인트 및 하나의 원료회수 조인트가 설치되는 것을 특징으로 하는 원료공급병의 병마개.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 원료배출 조인트에 원료병 내부까지 연장되는 흡입관이 설치되는 것을 특징으로 하는 원료공급병의 병마개.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 기압 조인트는 고압관 조인트인 것을 특징으로 하는 원료공급병의 병마개.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 원료배출 조인트는 고압관 조인트인 것을 특징으로 하는 원료공급병의 병마개.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 원료회수 조인트는 고압관 조인트인 것을 특징으로 하는 원료공급병의 병마개.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 원료회수 조인트에 밸브가 설치되는 것을 특징으로 하는 원료공급병의 병마개.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 밸브는 수동밸브인 것을 특징으로 하는 원료공급병의 병마개.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 밸브는 전동밸브인 것을 특징으로 하는 원료공급병의 병마개.
KR2020060020398U 2006-07-28 2006-07-28 원료 공급병의 병마개 구조체 KR200429815Y1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020060020398U KR200429815Y1 (ko) 2006-07-28 2006-07-28 원료 공급병의 병마개 구조체

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR2020060020398U KR200429815Y1 (ko) 2006-07-28 2006-07-28 원료 공급병의 병마개 구조체

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR200429815Y1 true KR200429815Y1 (ko) 2006-10-27

Family

ID=41778199

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2020060020398U KR200429815Y1 (ko) 2006-07-28 2006-07-28 원료 공급병의 병마개 구조체

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR200429815Y1 (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3134102U (ja) ボトル用キャップ
KR102327925B1 (ko) 분리 재생 장치 및 기판 처리 장치
CN102157410A (zh) 衬底分析装置及衬底分析方法
KR101924277B1 (ko) 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
JP2009166007A (ja) 塗布液供給装置
KR100577563B1 (ko) 반도체 소자 제조장비에서의 감광액 공급방법 및 감광액공급장치
KR20030087543A (ko) 기판처리장치 및 기판처리방법
CN100385618C (zh) 晶片洁净装置的晶片保护系统以及晶片清洗工艺
JP2009129976A (ja) レジスト膜の剥離装置及び剥離方法
KR200429815Y1 (ko) 원료 공급병의 병마개 구조체
US5858466A (en) Photoresist supply system with air venting
CN114345644B (zh) 光刻胶输送系统
CN204424225U (zh) 整合水分去除与干燥的处理设备
CN1127381C (zh) 提供脉动流体的装置和方法
KR20140047636A (ko) 포토레지스트액 공급장치
JP2005081302A (ja) 超臨界流体による電子部品部材類の洗浄方法及び洗浄装置
TWI592988B (zh) 半導體乾燥設備和用於該設備之半導體乾燥用處理液體的循環與過濾方法
CN104465332B (zh) 一种基板清洗装置
CN2935213Y (zh) 一种原料供应瓶瓶盖
CN106324983A (zh) 一种新型的掩模清洗方法
CN111897187A (zh) 光刻胶涂布系统以及更换光刻胶的方法
CN111090219A (zh) 光刻胶排放系统及光刻胶排放方法
CN103111400B (zh) 光刻化学品循环系统及其方法
KR950025911A (ko) 포토 공정 도포장치의 드레인 포토레지스트 재사용 시스템
RU2801320C2 (ru) Способ и установка для производства полупроводников

Legal Events

Date Code Title Description
REGI Registration of establishment
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20071011

Year of fee payment: 3

LAPS Lapse due to unpaid annual fee