KR200402007Y1 - Clean room air shower system for Tray and Pallet - Google Patents

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KR200402007Y1
KR200402007Y1 KR20-2005-0026320U KR20050026320U KR200402007Y1 KR 200402007 Y1 KR200402007 Y1 KR 200402007Y1 KR 20050026320 U KR20050026320 U KR 20050026320U KR 200402007 Y1 KR200402007 Y1 KR 200402007Y1
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air shower
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clean room
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KR20-2005-0026320U
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신대건
태경응
강신영
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주식회사 대한피엔씨
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    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/02Cleaning by the force of jets, e.g. blowing-out cavities
    • B08B5/023Cleaning travelling work
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24FAIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/167Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed

Abstract

본 고안은 Tray 및 Pallet용 클린룸 에어샤워시스템에 관한 것으로, 에어샤워 챔버의 좌우 양측 벽과 천장에 장착된 다수의 에어노즐을 통해 상기 에어샤워 챔버 내로 공기를 분사하여 내부에 투입된 대상물을 세정하는 구성에 있어서, 상기 에어샤워 챔버의 입구와 출구 및 에어샤워 챔버의 바닥판에는 그로부터 분리되어 Tray 및 Pallet를 이송할 수 있도록 이송대가 설치되고, 상기 이송대를 작동시켜주기 위한 이송구동원이 결합되어 이루어진 것을 특징으로 하는 것으로서, 본 장치에 의하면, 대상물이 상기 이송대에 거치되면 이송대에 의하여 에어샤워 챔버 내로 이송되어 에어샤워 챔버의 육면으로부터의 모든 세정을 가능케 함으로써 클린룸으로 반출입되는 대상물에 대하여 그 반출입 전 상기 에어샤워 챔버 내에 수용되는 Tray와 Pallet 등과 같은 각종 투입장비의 전체 부위에 대한 오염물질의 원활한 세정이 이루어지며 대상물의 반입부터 반출까지 자동으로 이루어져 그 세정효율 및 작업생산성을 현저히 향상시킬 수 있게 되는 효과가 있다.The present invention relates to a clean room air shower system for trays and pallets, and sprays air into the air shower chamber through a plurality of air nozzles mounted on both the left and right walls and the ceiling of the air shower chamber to clean the object injected therein. In the configuration, the inlet and outlet of the air shower chamber and the bottom plate of the air shower chamber is separated from it and a transport table is installed to transport the tray and pallet, and the transport drive source for operating the transport table is made According to the present invention, when the object is mounted on the conveying table, the object is conveyed into the air shower chamber by the conveying table so that all objects can be cleaned from the six sides of the air shower chamber, thereby allowing the object to be carried in and out of the clean room. Various kinds of trays and pallets accommodated in the air shower chamber before carrying in and out Smooth cleaning of contaminants is performed on the entire part of the input equipment, and it is possible to automatically improve the cleaning efficiency and work productivity by automatically bringing in and out of the object.

Description

트레이 및 파레트용 클린룸 에어샤워시스템 {Clean room air shower system for Tray and Pallet}Clean room air shower system for trays and pallets

본 고안은 Tray 및 Pallet용 클린룸 에어샤워시스템에 관한 것으로, 특히 대상물의 접지면을 포함한 에어샤워 챔버의 육면으로부터의 모든 세정을 가능케 함으로써 클린룸으로 반출입되는 각종 오염물질을 수반한 모든 대상물에 대하여 그 반출입 전 상기 에어샤워 챔버 내에 수용되는 Tray 및 Pallet 등과 같은 대상물의 반입부터 반출까지 자동으로 이루어져 그 세정효율 및 작업생산성을 현저히 향상시킬 수 있게 한 Tray 및 Pallet용 클린룸 에어샤워시스템에 관한 것이다.     The present invention relates to a clean room air shower system for trays and pallets. In particular, the present invention enables all cleaning from the ground of the air shower chamber, including the ground plane of the object, to all objects with various contaminants brought into and out of the clean room. The present invention relates to a clean room air shower system for trays and pallets, which automatically improves cleaning efficiency and work productivity by automatically importing and exporting objects such as trays and pallets accommodated in the air shower chamber before carrying in and out thereof.

일반적으로, 반도체 칩 등과 같은 초정밀 제품을 생산하는 공장 등에는 반출입되는 대상물에 대한 고정도의 청정상태를 유지하기 위한 클린룸이 설치되어 있고, 상기 클린룸의 출입구에는 작업자 또는 투입설비 등의 대상물에 수반되어 있는 먼지 등이 오염물질을 사전 세정하기 위한 에어샤워시스템(에어샤워 챔버)이 마련되어 있다. 상기 에어샤워시스템은 클린룸에 대상물이 수용되기 전에 공기분사장치에 의한 1차적 세정을 거치도록 함으로써 클린룸의 직접적인 오염을 방지하여 상기 클린룸의 유지관리에 소요되는 비용을 절감할 수 있게 해줄 뿐만 아니라, 생산제품의 수율 및 생산성을 향상시켜 제조원가를 최소화할 수 있는 이점을 발휘케 한다.     In general, a factory for producing ultra-precision products such as semiconductor chips is provided with a clean room for maintaining a high-precision clean state of the incoming and outgoing objects, and the entrance and exit of the clean room accompanies objects such as workers or input equipment. An air shower system (air shower chamber) is provided for pre-cleaning contaminants such as dust. The air shower system can reduce the cost of maintenance of the clean room by preventing the direct contamination of the clean room by performing the first cleaning by the air spray device before the object is accommodated in the clean room. Rather, it improves the yield and productivity of the product, thereby minimizing the manufacturing cost.

상기의 에어샤워시스템이 적용되는 분야로는, 상기한 반도체 칩 등과 같은 초정밀 전자부품 제조공장은 물론, 국내외 정보산업회사, 병원, 제약회사, 농수산 식품 등의 생명공학연구소 등의 다양한 업종이 있으며, 향후 그 응용분야가 계속적으로 늘어나고 있는 추세이다.Areas to which the air shower system is applied include not only high precision electronic component manufacturing plants such as semiconductor chips, but also various industries such as domestic and overseas information industry companies, hospitals, pharmaceutical companies, and biotechnology research institutes such as agricultural and fishery foods. Its application field is continuously increasing in the future.

이러한 기존의 에어샤워시스템의 구성 예로는, 투입 대상물 표면에 부착된 각종 오염물질을 강제적으로 제거하기 위한 다수의 공기분사장치(에어노즐)가 에어샤워 챔버 내의 양측벽과 천장 등 3면에 설치되고 이들이 각각 개별적으로 방향 조절될 수 있도록 되어 있고 대상물의 세정을 위해 에어샤워 챔버 내에 작업자가 동행하여 대상물을 이동시키도록 되어 있는 것이 통상적이다.     In the conventional configuration of such an air shower system, a plurality of air injectors (air nozzles) for forcibly removing various contaminants adhering to the surface of an input object are installed on three sides such as walls and ceilings on both sides of the air shower chamber. Each of them is individually directionally adjustable and it is common for an operator to accompany and move the object within the air shower chamber for cleaning the object.

따라서, 종래의 에어샤워시스템에 의하면, 에어샤워 챔버 내 투입 대상물외의 작업자에 대한 이물질 제거 과정이 이루어져 필요 이상의 공간이 필요하며 작업자의 영향에 의하여 그 오염물질의 충분한 제거가 이루어지지 못하여 후속의 클린룸을 쉽게 오염시킬 우려가 있으며, 병원의 바이오클린룸(Bio Clean Room)에서는 피시술자를 위험에 노출시킬 수 있으며, 이로 인한 클린룸의 유지관리 비용을 상승시키는 문제점, 노동력 손실 및 생물학적 위험(Biohazard)을 초래할 수 있다.     Therefore, according to the conventional air shower system, a foreign material removal process is performed on the workers other than the object to be put in the air shower chamber, which requires more space than necessary and sufficient cleanup of the contaminants is not possible due to the influence of the operator. In the hospital's Bio Clean Room, which may expose the subject to risk, thereby increasing the cost of maintaining the clean room, resulting in labor loss and biohazard. Can cause.

이와 같이 완전한 세정이 이루어지지 못한 경우, 클린룸 내로 오염물질이 반입되어 분진을 확산시키게 되므로 인하여 클린룸 내 청정도가 저하되고, 이를 회복하기 위한 설비의 유지비용이 가중됨은 물론, 불필요한 에너지 낭비와 장비 수명의 단축을 초래하게 되는 것이다.If the cleaning is not performed in this way, contaminants are introduced into the clean room to spread dust, thereby reducing the cleanliness of the clean room, increasing the maintenance cost of the equipment to recover the waste, and wasting unnecessary energy and equipment. It will lead to a shortened life.

본 고안은 상기한 바와 같은 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 그 목적은, 대상물을 에어샤워 챔버내에 자동으로 반출입하여 세정을 가능케 함으로써 클린룸으로 반출입되는 각종 오염물질을 수반한 모든 대상물에 대하여 그 반출입 전 상기 에어샤워 챔버 내에 수용되는 Tray 및 Pallet 등과 같은 각종 투입장비의 전체 부위에 대한 원활한 세정이 이루어져 그 세정효율을 현저히 향상시킬 수 있도록 된 클린룸의 에어샤워시스템을 제공함에 있다.     The present invention has been devised to solve the above problems, and the object of the present invention is to carry out the cleaning of the objects automatically in the air shower chamber to enable cleaning for all objects with various contaminants carried in and out of the clean room. It is to provide an air shower system of a clean room that can smoothly clean the entire area of the various input equipment, such as trays and pallets accommodated in the air shower chamber before carrying in and out of the air shower chamber.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 고안에 따른 클린룸의 에어샤워시스템은, 에어샤워 챔버의 전후방에 외부와 클린룸쪽으로 통하는 출입문이 각각 형성됨과 아울러 상기 에어샤워 챔버의 좌우 양측벽과 천장에 공기챔버가 각각 마련되고 상기 공기챔버 내에 송풍팬 및 필터가 설치되어 상기 각면에 장착된 다수의 에어노즐을 통해 상기 에어샤워 챔버 내로 공기를 분사하여 그 내부에 투입된 대상물을 세정하는 클린룸의 에어샤워시스템에 있어서, 상기 에어샤워 챔버와 에어샤워 챔버의 입출구의 바닥판에는 대상물이 이송 가능토록 된 이송대가 설치되고, 상기 이송대의 한 측에는 상기 이송대를 이송 작동시켜주기 위한 이송구동원이 결합되어 이루어진 것을 특징으로 한다.     In the air shower system of the clean room according to the present invention for achieving the above object, the doors to the outside and the clean room toward the front and rear of the air shower chamber, respectively, and the air chamber on the left and right sides of the air shower chamber and the ceiling And a blower fan and a filter are installed in the air chamber, and the air shower system injects air into the air shower chamber through a plurality of air nozzles mounted on each side, and cleans the object injected therein. In the air shower chamber and the bottom plate of the inlet and outlet of the air shower chamber, a transport table for transporting the object is installed, the transport drive source for activating the transport platform is coupled to one side of the transport table, characterized in that made do.

여기서, 이송대는, 바닥판과 동일면상에서 소정간격을 유지하며 그 양단이 상기 에어샤워 챔버의 양측벽 쪽을 향해 각각 지향되어 수평 배열된 로울러와 상기 각 로울러의 양단부로부터 각 로울러에 연결되어 상기 출입문의 양측벽을 따라 각각 진행 방향으로 수직 배열된 다수의 로울러와, 상기 인접측 로울러의 양단부간을 연결하며 수평 배열된 로울러를 포함하여 이루어진 것이 바람직하다.     Here, the transfer table is maintained on the same plane as the bottom plate and both ends thereof are directed toward both side walls of the air shower chamber, and are connected to each roller from the horizontally arranged rollers and both ends of the rollers. It is preferable that a plurality of rollers are arranged vertically in the advancing direction along both side walls, and the rollers are arranged horizontally while connecting the ends of the adjacent rollers.

또한, 이송대의 이송구동원은, 모우터와 이송장치에 배치된 스프라킷과, 상기 스프라킷 간에 체결되고 상기 이송대와 연결되어 이송대를 이송시키는 체인을 포함하여 이루어진 것이 바람직하다.In addition, the conveying drive source of the conveyer, it is preferable that the sprocket disposed on the motor and the conveying device, and the chain is fastened between the sprocket and connected to the conveying table to convey the conveying table.

이하, 본 고안의 바람직한 실시 예에 따른 Tray 및 Pallet용 클린룸 에어샤워시스템을 첨부 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.     Hereinafter, a clean room air shower system for a tray and a pallet according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 3a는 본 고안에 따른 에어샤워시스템의 구조 및 그 작동을 설명하기 위한 것으로서, 도 1은 본 고안에 따른 에어샤워시스템의 외형을 도시한 정면도, 도 2는 본 고안에 따른 에어샤워시스템의 바닥판(12) 구조를 도시한 평면도, 도 3은 본 고안에 따른 에어샤워시스템에 적용된 Tray 및 Pallet 세정을 위한 이송대(100)와 그 구동 메커니즘의 결합구조를 도시한 사시도,      1 to 3a are for explaining the structure and operation of the air shower system according to the present invention, Figure 1 is a front view showing the appearance of the air shower system according to the present invention, Figure 2 is an air according to the present invention 3 is a plan view illustrating the bottom plate 12 of the shower system, FIG. 3 is a perspective view illustrating a coupling structure of a tray 100 and a driving mechanism for cleaning a tray and pallet applied to an air shower system according to the present invention;

본 고안에 따른 Tray 및 Pallet용 클린룸 에어샤워시스템은, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 전후방에 외부와 클린룸쪽으로 통하는 출입문(10)이 각각 형성되고 그 바닥판(12)상에 대상물을 이송시키는 이송대(100)가 설치된 에어샤워 챔버(도면부호 미도시)와, 상기 에어샤워 챔버의 좌우 양측벽과 천장에 각각 마련된 다수의 공기챔버(13)(14)와, 상기 에어샤워 챔버의 좌우 양측벽과 천장에 각각 장착된 다수의 에어노즐(11)을 포함하는 구성을 이룬다.     In the clean room air shower system for the tray and pallet according to the present invention, as shown in FIGS. 1 to 3, the front and rear doors 10 are formed in front and rear, respectively, and are formed on the bottom plate 12. An air shower chamber (not shown) provided with a transfer table 100 for transferring an object, a plurality of air chambers 13 and 14 respectively provided on the left and right side walls and the ceiling of the air shower chamber, and the air shower. A plurality of air nozzles 11 are mounted on both the left and right side walls and the ceiling of the chamber, respectively.

상기 공기챔버(13) 내에는, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 각 면에 장착된 다수의 에어노즐(11)을 통해 소정압의 공기가 상기 에어샤워 챔버 내로 분사될 수 있도록 하기 위한 송풍팬(16)과, 대상물에 부착된 이물질 등의 각종 오염물질을 여과시켜주기 위한 필터(17)가 각각 설치되어 있다.     In the air chamber 13, as illustrated in FIG. 1, a blower fan for allowing air of a predetermined pressure to be injected into the air shower chamber through the plurality of air nozzles 11 mounted on each surface. (16) and a filter 17 for filtering various contaminants such as foreign matters attached to the object are provided, respectively.

상기 에어노즐(11)은 상기 에어샤워링챔버의 좌우 양측벽과 천장에 각각 등간격으로 장착되어 있다.The air nozzles 11 are mounted on the left and right side walls and the ceiling of the air showering chamber at equal intervals, respectively.

상기 에어샤워 챔버의 바닥판(12)에는, 상기 바닥판(12)으로부터 이송 가능토록 된 이송대(100)와, 상기 이송대(100)의 양측에서 상기 이송대(100)를 이송작동 시켜주기 위한 이송 구동원(110)이 결합되어 있다.     In the bottom plate 12 of the air shower chamber, the transfer table 100 to be transported from the bottom plate 12 and the transfer table 100 in both sides of the transfer table 100 to operate the transfer operation Transfer drive source 110 is coupled to.

상기 이송대(100)는, 상기 바닥판(12)에서 소정간격을 유지하며 그 양단이 상기 에어샤워 챔버의 양측벽쪽을 향해 수평 배열된 로울러(100)와, 상기 각 로울러(100)의 양단부로부터 연결되어 상기 출입문(10)의 양측벽을 따라 각각 진행 방향으로 수평 배열된 다수의 로울러(100)와, 상기 인접측 로울러(100)의 양단간을 일체로 연결하며 그 양단이 상기 에어샤워 챔버의 전후 출입문(10)쪽을 향해 지향되어 수평 배열된 로울러(101)로 이루어져 있다.     The transfer table 100 maintains a predetermined distance from the bottom plate 12 and its ends are arranged horizontally toward both side walls of the air shower chamber, and from both ends of the rollers 100. The plurality of rollers 100 are horizontally arranged in the advancing direction along both side walls of the door 10, and the two ends of the adjacent roller 100 are integrally connected, and both ends of the air shower chamber are connected to each other. It consists of rollers 101 arranged horizontally facing toward the door 10.

또한, 상기 이송대(100)의 이송구동원(110)으로는, 도 3에 도시된 바와 같이, 전동감속모우터와, 로울러 양측단에 배치된 한 쌍의 스프라킷(미도시)과, 상기 스프라킷 간에 체결되고 상기 이송대(100)의 양측단부와 연결되어 상기 이송대(100)를 이송시키며 회전하는 체인(132)을 적용한 이송구동방식을 적용할 수도 있다.     In addition, as the transfer drive source 110 of the transfer table 100, as shown in Figure 3, the electric deceleration motor, a pair of sprockets (not shown) disposed at both ends of the roller, and It is also possible to apply a transfer driving method applied to the chain 132 is fastened between the sprockets and connected to both end portions of the transfer table 100 to transfer and rotate the transfer table 100.

또한, 상기 바닥판(12)상에는, 에어샤워 챔버 내 투입 대상물이 원활히 반입될 수 있도록 Tray 및 Pallet를 안내해주는 안내선(미도시)이 형성되어 있다.      In addition, a guide line (not shown) is formed on the bottom plate 12 to guide the tray and pallet so that the object to be loaded in the air shower chamber can be carried in smoothly.

또한, 상기 로울러(100)의 구동원으로는, 도 3 및 도 3a에 도시된 바와 같이 회전구동원(110)으로서의 모우터와 상기 모우터(110)의 축간에 체결된 벨트 또는 체인 등의 동력전달매체(132)로 구성하는 것이 일반적이다.     In addition, as a driving source of the roller 100, a power transmission medium such as a belt or a chain fastened between the motor as the rotation driving source 110 and the shaft of the motor 110 as shown in FIGS. 3 and 3A. It is common to make up 132.

참고적으로, 이상에서 설명한 바와 같은 본 고안의 장치는 도면상에 도시하지는 않았으나, 적소에 센서가 구비되어 투입 대상물에 대한 에어샤워 챔버 내에서의 상황을 감지하여 그 상태에 맞도록 각 장치부가 자동 제어됨으로써, 그 대상물이 이송대(100)와 에어샤워 챔버 등이 순차적으로 작동하여 상기 대상물의 전체면에 대한 오염물질을 말끔히 제거할 수 있게 된다.     For reference, although the device of the present invention as described above is not shown in the drawings, a sensor is provided in place to detect the situation in the air shower chamber for the input object and each device unit is automatically adapted to the state. By being controlled, the object can operate the transfer table 100 and the air shower chamber, etc. sequentially to remove contaminants on the entire surface of the object.

그 일례로서, 대상물이 투입하는 경우를 들어 에어샤워의 흐름을 간략히 설명해보면 아래와 같다.     As an example, the flow of the air shower will be briefly described, for example, when the object is introduced.

먼저, 반입구측 출입문(10)의 작동스위치를 조작하여 상기 이송대(100)를 작동한 후 그 에어샤워 챔버의 내부로 Tray 및 Pallet를 자동 투입한다. 상기 Tray 및 Pallet가 에어샤워 챔버 내부로 투입되면 출입문(10)이 닫히고, 공기챔버(13) 내의 송풍팬(16)이 일정시간동안 가동된다.(도 1 참조)     First, after operating the transfer tray 100 by operating the operation switch of the entrance door 10, the tray and pallet are automatically introduced into the air shower chamber. When the tray and pallet are introduced into the air shower chamber, the door 10 is closed and the blower fan 16 in the air chamber 13 is operated for a predetermined time (see FIG. 1).

그 다음에는, 이송대(100)의 이송 작동모우터(110)가 작동되어 상기 이송대(100)의 Tray 및 Pallet가 에어샤워 챔버의 출입문을 통하여 반출구측의 이송대까지 전진한 후 대상물이 에어샤워 챔버 내에서 완전히 출고한 후 이송대가 정지되고, 최초의 준비상태로 복귀된다.Next, the transfer operation motor 110 of the transfer table 100 is operated so that the tray and pallet of the transfer table 100 advance to the transfer table on the outlet side through the door of the air shower chamber, and then the object is moved. After leaving the air shower chamber completely, the carriage stops and returns to the original ready state.

이상에서 살펴본 바와 같은 본 고안의 Tray 및 Pallet용 클린룸 에어샤워시스템에 의하면, Tray 및 Pallet 등과 같은 대상물을 이송시킬 수 있는 이송대가 구비되어 에어샤워 챔버의 육면으로부터의 모든 세정이 가능하게 됨으로써 클린룸으로 반출입되는 각종 먼지 등의 오염물질을 수반한 모든 대상물에 대하여 그 반출입 전 상기 에어샤워 챔버 내에 수용되는 각종 투입장비에 대해서 원활히 세정할 수 있어 종전의 에어샤워시스템에 비해 세정효율을 현저히 향상시킬 수 있게 되는 효과가 있다.     According to the clean room air shower system for trays and pallets of the present invention as described above, a clean room is provided to transfer objects such as trays and pallets so that all cleaning from the six sides of the air shower chamber is possible. All objects carrying contaminants such as dust, which are carried in and out of the house, can be cleaned smoothly with respect to various input equipments accommodated in the air shower chamber before carrying in and out of the room, thereby significantly improving the cleaning efficiency compared to the conventional air shower system. It is effective to be.

본 고안은 첨부된 도면에 도시된 실시 예들을 기준하여 설명되어 있으나 이는 예시적인 것이라 할 수 있고, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 실시 예들을 생각해 낼 수 있으므로 이러한 균등한 실시 예들 또한 본 고안의 실용신안등록청구범위 내에 포함되는 것으로 보아야 함은 극히 당연한 것이다. 따라서 본 고안의 진정한 보호범위는 첨부된 청구범위에 의해서만 결정되어야 할 것이다.The present invention has been described with reference to the embodiments illustrated in the accompanying drawings, which may be regarded as exemplary, and those skilled in the art may devise various modifications and equivalent embodiments therefrom. Such equivalent embodiments are also to be seen as included within the utility model registration claims of the present invention is quite natural. Therefore, the true scope of protection of the present invention should be determined only by the appended claims.

도 1은 본 고안에 따른 에어샤워시스템의 외형을 도시한 정면도이다.1 is a front view showing the appearance of the air shower system according to the present invention.

도 2는 본 고안에 따른 에어샤워시스템의 바닥판 구조를 도시한 평면도이다.Figure 2 is a plan view showing a bottom plate structure of the air shower system according to the present invention.

도 3은 본 고안에 따른 에어샤워시스템에 적용된 Tray 및 Pallet를 위한 이송대와 그 구동 메커니즘 및 이송대의 결합구조를 도시한 사시도이다.3 is a perspective view illustrating a coupling structure for a tray and a pallet applied to an air shower system according to the present invention, a driving mechanism thereof, and a coupling of the carriage.

도 3a는 본 고안에 따른 에어샤워시스템에 적용된 이송대의 로울러를 구동시키기 위한 회전구동유닛의 작동 부분 확대도이다.Figure 3a is an enlarged view of the operation portion of the rotary drive unit for driving the roller of the carriage applied to the air shower system according to the present invention.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>

10 ; (에어샤워 챔버의) 출입문 11 ; 에어노즐10; Door 11 (of the air shower chamber); Air nozzle

12 ; 바닥판 13, 14 ; 공기챔버12; Sole plate 13, 14; Air chamber

15 ; 이송장치 16 ; 송풍팬15; Feeder 16; Blower fan

17 ; 필터 17; filter

100 ; 이송대(로울러) 110 ; 이송구동원(회전구동모우터)100; Feeder (roller) 110; Feed drive source (rotary drive motor)

132 ; 체인132; chain

Claims (4)

에어샤워 챔버의 전후방에 외부와 클린룸쪽으로 통하는 출입문이 각각 형성됨과 아울러 상기 에어샤워 챔버의 좌우 양측벽과 천장에 공기챔버가 각각 마련되고 상기 공기챔버 내에 송풍팬 및 필터가 설치되어 상기 각면에 장착된 다수의 에어노즐을 통해 상기 에어샤워링챔버 내로 공기를 분사하여 그 내부에 투입된 대상물을 세정하는 클린룸의 에어샤워시스템에 있어서,     Access doors are formed in front and rear of the air shower chamber toward the outside and the clean room, and air chambers are provided on the left and right side walls and the ceiling of the air shower chamber, respectively, and a blower fan and a filter are installed in the air chamber to be mounted on each side. In the air shower system of a clean room for injecting air into the air shower chamber through a plurality of air nozzles to clean the object injected therein, 상기 에어샤워 챔버의 바닥판에는 상기 바닥판으로부터 이송 가능토록 된 이송대가 설치되고, 상기 이송대의 양측에는 상기 이송대를 이송작동 시켜주기 위한 이송구동원이 결합되며,The bottom plate of the air shower chamber is provided with a transfer table for transporting from the bottom plate, the transfer drive source for operating the transfer table is coupled to both sides of the transfer table, 상기 에어샤워 챔버의 반입에서 반출까지의 과정을 소정의 구동원에 의해 구동 가능한 로울러가 배치되어 이루어진 것을 특징으로 하는 Tray 및 Pallet용 클린룸 에어샤워시스템.     A clean room air shower system for a tray and a pallet, characterized in that a roller is disposed to drive the air shower chamber from a carrying in to a carrying out by a predetermined driving source. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이송대는, 상기 바닥판과 동일면상에서 소정간격을 유지하며 그 양단이 상기 에어샤워 챔버의 양측벽쪽을 향해 각각 지향되어 수평 배열된 로울러와, 상기 각 로울러의 양단부로부터 일체로 연결되어 상기 출입문의 양측벽을 따라 각각 수평 배열된 다수의 로울러와, 상기 인접측 로울러의 양단부간을 일체로 연결하며 그 양단이 상기 에어샤워 챔버의 전후 출입문쪽을 향해 지향되어 수평 배열된 한 쌍의 로울러를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 Tray 및 Pallet용 클린룸 에어샤워시스템.The transfer table maintains a predetermined interval on the same surface as the bottom plate, and both ends of the rollers are oriented horizontally toward both side walls of the air shower chamber, and are horizontally arranged, and are integrally connected from both ends of the rollers to both sides of the door. A plurality of rollers each arranged horizontally along a wall, and a pair of rollers horizontally aligned with both ends of the adjacent rollers integrally connected to both ends thereof toward the front and rear doors of the air shower chamber. Clean room air shower system for tray and pallet. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 이송대의 이송구동원은, 전기로 작동되는 모우터로 이루어진 것을 특징으로 하는 Tray 및 Pallet용 클린룸 에어샤워시스템.The transfer drive source of the transfer table is a clean room air shower system for a tray and a pallet, characterized in that the motor is electrically operated. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 이송대의 구동원은, 모우터와, 로울러 양측단에 배치된 스프라킷과, 상기 스프라킷 간에 체결되고 상기 이송대의 양측단부와 연결되어 상기 이송대를 이송시키며 회전하는 체인을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 Tray 및 Pallet용 클린룸 에어샤워시스템.The drive source of the carriage comprises a motor, a sprocket disposed at both ends of the roller, and a chain fastened between the sprockets and connected to both ends of the carriage to transfer and move the transfer tray. Clean room air shower system for tray and pallet.
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