KR20040085583A - An array substrate for In-Plane Switching mode LCD and method for fabricating of the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An array substrate for an in-plane switching mode liquid crystal display, and a method for manufacturing the same are provided to improve an aperture ratio by forming transparent common and pixel electrodes, and improve a transmittance by removing a thick insulation film between the common and pixel electrodes, thereby realizing high brightness. CONSTITUTION: Gate lines(102) are extended on a substrate(100) in one direction. A first common line(106) and a second common line(108) are separated from each other in parallel on both sides of the gate lines. Data lines(120) vertically cross the gate lines for defining a pixel area. Thin film transistors(T) are placed at cross points of the gate lines and the data lines. The thin film transistor is formed of a gate electrode(104), a semiconductor layer, a source electrode(116), and a drain electrode(118) separated from the source electrode and includes an extended part extended over the second common line. A plurality of transparent pixel electrodes(134) are formed on the pixel area, contacting with the drain electrode. A plurality of common electrodes(136) are separated from the pixel electrodes in parallel, connected with the first common line.

Description

횡전계방식 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법{An array substrate for In-Plane Switching mode LCD and method for fabricating of the same}An array substrate for In-Plane Switching mode LCD and method for fabricating of the same}

본 발명은 액정표시장치(Liquid Crystal Display Device)에 관한 것으로 특히, 고개구율(high aperture ratio)과 고화질을 구현하는 횡전계 방식(In-Plane Switching Mode) 액정표시장치용 어레이기판과 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly, to an array substrate for an in-plane switching mode liquid crystal display device that realizes high aperture ratio and high image quality, and a manufacturing method thereof. It is about.

일반적으로, 액정표시장치의 구동원리는 액정의 광학적 이방성과 분극성질을 이용한다.In general, the driving principle of the liquid crystal display device uses the optical anisotropy and polarization of the liquid crystal.

상기 액정은 구조가 가늘고 길기 때문에 분자의 배열에 방향성을 가지고 있으며, 인위적으로 액정에 전기장을 인가하여 분자배열의 방향을 제어할 수 있다.Since the liquid crystal is thin and long in structure, the liquid crystal has directivity in the arrangement of molecules, and the direction of the molecular arrangement can be controlled by artificially applying an electric field to the liquid crystal.

따라서, 상기 액정의 분자배열 방향을 임의로 조절하면, 액정의 분자배열이 변하게 되고, 광학적 이방성에 의해 상기 액정의 분자배열 방향으로 빛이 굴절하여 화상정보를 표현할 수 있다.Accordingly, if the molecular arrangement direction of the liquid crystal is arbitrarily adjusted, the molecular arrangement of the liquid crystal is changed, and light is refracted in the molecular arrangement direction of the liquid crystal due to optical anisotropy to express image information.

현재에는 박막트랜지스터와 상기 박막트랜지스터에 연결된 화소 전극이 행렬방식으로 배열된 능동행렬 액정표시장치(AM-LCD : Active Matrix LCD 이하, 액정표시장치로 약칭함)가 해상도 및 동영상 구현능력이 우수하여 가장 주목받고 있다.Currently, an active matrix liquid crystal display device (AM-LCD: below Active Matrix LCD, abbreviated as liquid crystal display device) in which a thin film transistor and pixel electrodes connected to the thin film transistor are arranged in a matrix manner has the best resolution and video performance. It is attracting attention.

상기 액정표시장치는 공통 전극이 형성된 컬러필터 기판(상부기판)과 화소 전극이 형성된 어레이기판(하부기판)과, 이 상부 및 하부기판 사이에 충진된 액정으로 이루어지는데, 이러한 액정표시장치에서는 공통 전극과 화소 전극이 상-하로 걸리는 전기장에 의해 액정을 구동하는 방식으로, 투과율과 개구율 등의 특성이 우수하다.The liquid crystal display includes a color filter substrate (upper substrate) on which a common electrode is formed, an array substrate (lower substrate) on which a pixel electrode is formed, and a liquid crystal filled between the upper and lower substrates. And a method in which the liquid crystal is driven by an electric field applied up and down by the pixel electrode, and has excellent characteristics such as transmittance and aperture ratio.

그러나, 상-하로 걸리는 전기장에 의한 액정구동은 시야각 특성이 우수하지 못한 단점을 갖고 있다. 따라서, 상기의 단점을 극복하기 위해 새로운 기술이 제안되고 있다. 하기 기술될 액정표시장치는 횡전계에 의한 액정 구동방법으로 시야각 특성이 우수한 장점을 갖고 있다.However, the liquid crystal drive by the electric field applied up-down has a disadvantage that the viewing angle characteristics are not excellent. Therefore, new techniques have been proposed to overcome the above disadvantages. The liquid crystal display device to be described below has an advantage of excellent viewing angle characteristics by a liquid crystal driving method using a transverse electric field.

도 1은 종래의 제 1 예에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판의 구성을 개략적으로 도시한 평면도이다.1 is a plan view schematically showing the configuration of an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to a first conventional example.

도시한 바와 같이, 기판(10)상에 일 방향으로 게이트 배선(14)이 형성되고 이와는 수직하게 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 데이터 배선(30)이 구성된다.As shown in the drawing, the gate wiring 14 is formed on one side of the substrate 10 and vertically intersects with the data wiring 30 to define the pixel region P. As shown in FIG.

상기 게이트 배선(14)과 평행하게 이격 하여 공통배선(16)이 구성된다.The common wiring 16 is configured to be spaced apart in parallel with the gate wiring 14.

상기 게이트 배선(14)과 데이터 배선(30)의 교차지점에는 게이트 전극(12)과 액티브층(22)과 소스 전극(26)과 드레인 전극(28)을 포함하는 박막트랜지스터(T)가 구성된다.The thin film transistor T including the gate electrode 12, the active layer 22, the source electrode 26, and the drain electrode 28 is formed at the intersection of the gate line 14 and the data line 30. .

상기 화소 영역(P)에는 공통 배선(16)에서 수직하게 연장되고 서로 이격하여구성된 다수의 공통 전극(18)과, 상기 드레인 전극(28)과 접촉하면서 상기 다수의 공통 전극(18)사이에 이와는 소정간격 이격 하여 위치하는 다수의 화소 전극(32)이 구성된다.In the pixel region P, a plurality of common electrodes 18 vertically extending from the common wiring 16 and spaced apart from each other are disposed between the plurality of common electrodes 18 while being in contact with the drain electrode 28. A plurality of pixel electrodes 32 positioned at predetermined intervals are configured.

표현되지는 않았지만, 상기 공통 전극(18)및 화소 전극(32)의 상부에는 보호막(34)이 구성되고, 보호막(미도시)의 상부에는 표면이 러빙처리된 배향막(미도시)이 구성된다.Although not represented, a passivation layer 34 is formed on the common electrode 18 and the pixel electrode 32, and an alignment layer (not shown) on which a surface is rubbed is formed on the passivation layer (not shown).

그런데, 전술한 어레이기판의 표면은 상기 화소 전극(32)과 공통 전극(18)이 서로 다른 층에 구성되기 때문에 이로 인해 단차가 심하게 발생하게 된다.However, since the pixel electrode 32 and the common electrode 18 are formed on different layers, the surface of the array substrate described above causes severe stepping.

이와 같이 단차가 형성된 기판(10)의 표면에 배향막(미도시)을 도포하고 러빙(rubbing)처리하게 되면, 상기 단차 부분에서 배향막이 뭉치는 러빙 불량을 유발하게 된다.As such, when an alignment film (not shown) is applied to the surface of the substrate 10 having the step difference and rubbed, the rubbing defect is caused by the alignment film agglomeration in the step portion.

이러한 러빙 불량이 발생한 영역에 위치한 액정은 초기 배향상태가 다른 영역과 다르기 때문에 화소의 다른 영역과 동일한 수평전계의 영향을 받는다 해도 정상적으로 배열하지 못하게 된다.Since the initial alignment state is different from other regions, the liquid crystal positioned in the region in which rubbing defects occur cannot be normally arranged even under the same horizontal electric field as other regions of the pixel.

따라서, 상기 단차 부분에서 주변영역 보다는 환하게 보이거나 그 반대로 어둡게 보이는 전경(disclination)이 발생하게 되어 화질의 불균일을 초래하게 된다.As a result, a disclination that appears brighter than the surrounding area or vice versa in the stepped portion may occur, resulting in non-uniformity of image quality.

이하, 도 2a 내지 도 2d의 공정 단면도를 참조하여 더욱 상세히 설명한다.Hereinafter, the process cross-sectional view of FIGS. 2A to 2D will be described in more detail.

도 2a 내지 도 2d는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ`와 Ⅲ-Ⅲ`을 따라 절단하여, 종래의 제 1 예에 따른 공정 순서로 도시한 공정 단면도이다.(Ⅱ-Ⅱ`는 박막트랜지스터의 절단선이고, Ⅲ-Ⅲ`은 공통 전극과 화소 전극의 절단선이다.)2A to 2D are sectional views taken along the line II-II 'and III-III' of FIG. 1 and showing the process steps according to the first example of the related art. (II-II 'is a cutting line of the thin film transistor. And III-III` are cut lines between the common electrode and the pixel electrode.)

도 2a에 도시한 바와 같이, 기판(10) 상에 알루미늄(Al)및 알루미늄 합금(AlNd)을 포함하는 도전성 금속그룹 중 선택된 하나를 증착하여, 게이트 전극(12)과 게이트 전극(12)과 연결되고 일 방향으로 연장된 게이트 배선(도 1 14)을 형성한다.As shown in FIG. 2A, one selected from the group of conductive metals including aluminum (Al) and aluminum alloy (AlNd) is deposited on the substrate 10 to be connected to the gate electrode 12 and the gate electrode 12. And a gate wiring (FIG. 1 14) extending in one direction.

동시에, 상기 게이트 배선(도 1의 14)과 평행하게 이격되고 일 방향으로 연장된 공통 배선(도 1의 16)과, 공통 배선(도 1의 16)에서 수직하게 연장되고 서로 이격하여 위치하는 다수의 공통 전극(18)을 형성한다.At the same time, the common wiring (16 in FIG. 1) spaced in parallel with the gate wiring (14 in FIG. 1) and extending in one direction, and the plurality of vertically extending and spaced apart from each other in the common wiring (16 in FIG. 1). The common electrode 18 of is formed.

도 2b에 도시한 바와 같이, 상기 게이트 전극(12)및 공통 전극(18)이 형성된 기판(10)의 전면에 질화 실리콘(SiNx)과 산화 실리콘(SiO2)등을 포함하는 무기절연물질그룹 중 하나를 증착하여, 게이트 절연막(20)을 형성한다.As shown in FIG. 2B, an inorganic insulating material group including silicon nitride (SiN x ), silicon oxide (SiO 2 ), and the like on the entire surface of the substrate 10 on which the gate electrode 12 and the common electrode 18 are formed. One of them is deposited to form a gate insulating film 20.

다음으로, 상기 게이트 전극(12) 상부의 게이트 절연막(20)상에 액티브층(22)과 오믹 콘택층(24)을 적층하여 형성한다.Next, the active layer 22 and the ohmic contact layer 24 are stacked on the gate insulating layer 20 on the gate electrode 12.

일반적으로, 상기 액티브층(22)은 순수 비정질 실리콘(a-Si:H)을 증착하여 형성하고, 상기 오믹 콘택층(24)은 불순물 비정질 실리콘(n+a-Si:H)을 증착하거나, 상기 액티브층(22)의 표면에 불순물 이온을 도핑(doping)하는 방식으로 형성할 수 있다.In general, the active layer 22 is formed by depositing pure amorphous silicon (a-Si: H), and the ohmic contact layer 24 is deposited by impurity amorphous silicon (n + a-Si: H), The surface of the active layer 22 may be formed by doping impurity ions.

전술한 구성에서, 상기 공통 전극(18)에 의해 상기 게이트 절연막(20)은 공통 전극의 측면에 대응하여 단차지게 구성된다.In the above-described configuration, the gate insulating film 20 is configured to be stepped to correspond to the side surface of the common electrode by the common electrode 18.

도 2c에 도시한 바와 같이, 상기 액티브층(22)과 오믹 콘택층(24)이 형성된기판(10)의 전면에 텅스텐(W), 크롬(Cr), 구리(Cu), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta)등을 포함하는 도전성 금속그룹 중 선택된 하나를 증착하고 패턴하여, 서로 소정간격 이격 되도록 소스 전극(26)과 드레인 전극(28)을 형성한다.As shown in FIG. 2C, tungsten (W), chromium (Cr), copper (Cu), molybdenum (Mo), and the like are formed on the entire surface of the substrate 10 on which the active layer 22 and the ohmic contact layer 24 are formed. One selected from a group of conductive metals including titanium (Ti), tantalum (Ta), and the like is deposited and patterned to form a source electrode 26 and a drain electrode 28 to be spaced apart from each other by a predetermined distance.

동시에, 상기 소스 전극(26)과 연결되고 상기 게이트 배선(도 1의 14)과는 수직하게 교차하는 데이터 배선(도 1의 30)을 형성하고, 상기 드레인 전극(28)과 접촉하면서 화소영역(도 1의 P)에 위치하는 다수의 화소 전극(32)을 형성한다.At the same time, a data line (30 in FIG. 1) connected to the source electrode 26 and perpendicularly intersecting with the gate line (14 in FIG. 1) is formed and is in contact with the drain electrode 28 to form a pixel region ( A plurality of pixel electrodes 32 positioned at P) of FIG. 1 are formed.

상기 다수의 화소 전극(32)은 상기 다수의 공통 전극(18)사이에 평행하게 이격하여 위치하도록 구성한다.The plurality of pixel electrodes 32 are configured to be spaced apart in parallel between the plurality of common electrodes 18.

도 2d에 도시한 바와 같이, 상기 공통 전극(18)과 화소 전극(32)이 형성된 기판(10)의 전면에 질화 실리콘(SiNx)과 산화 실리콘(SiO2)을 포함하는 무기절연물질 그룹 중 선택된 하나로 보호막(34)을 형성한다.As shown in FIG. 2D, a group of inorganic insulating materials including silicon nitride (SiN x ) and silicon oxide (SiO 2 ) on the entire surface of the substrate 10 on which the common electrode 18 and the pixel electrode 32 are formed. The protective film 34 is formed by the selected one.

이때, 상기 보호막(34)은 상기 공통 전극(18)과 화소 전극(32)의 양 측면을 타고 형성되기 때문에 각 전극의 측면에 대응하여 단차(K)지게 구성된다.In this case, since the passivation layer 34 is formed on both sides of the common electrode 18 and the pixel electrode 32, the passivation layer 34 is configured to have a step K corresponding to the side of each electrode.

이러한 단차로 인해, 도시하지는 않았지만 보호막(34)의 상부에 배향막을 도포하고 일 방향으로 러빙공정을 진행하게 되면, 상기 보호막(34)은 러빙수단이 지나가는 방향에 위치하는 각 전극(18,32)의 단차 부분(K)에서 부분적으로 뭉치게 되고 따라서, 단차 부분(K)에서 러빙불량이 발생하게 된다.Due to such a step, if not shown, when the alignment film is applied to the upper portion of the protective film 34 and the rubbing process is performed in one direction, the protective film 34 is located at each electrode 18 and 32 in the direction in which the rubbing means passes. Partially agglomerated in the stepped portion K of, thus rubbing defects occur in the stepped portion K.

이러한 러빙불량에 의해 상기 공통 전극(18)과 화소 전극(32)에 대응하는 부분에 전경이 발생하게 된다.Due to this rubbing failure, the foreground is generated in a portion corresponding to the common electrode 18 and the pixel electrode 32.

이러한 문제는 전술한 종래의 제 1 예의 구조 뿐 아니라, 이하 설명하는 종래의 제 2 예의 구조에서도 관찰된다.This problem is observed not only in the structure of the conventional first example described above, but also in the structure of the conventional second example described below.

도 3은 종래의 제 2 예에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판의 구성을 개략적으로 도시한 단면도이다.3 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to a second conventional example.

도시한 바와 같이, 스위칭 영역(S)과 화소 영역(P)이 정의된 기판(50)의 스위칭 영역(S)에 먼저, 소정형상으로 패턴된 게이트 전극(52)이 구성된다.As shown in the figure, a gate electrode 52 patterned in a predetermined shape is first formed in the switching region S of the substrate 50 in which the switching region S and the pixel region P are defined.

상기 게이트 전극(52)이 구성된 기판(50)의 전면에 게이트 절연막(54)이 구성된다.The gate insulating film 54 is formed on the entire surface of the substrate 50 having the gate electrode 52.

게이트 전극(52) 상부의 게이트 절연막(54)상에는 액티브층(56)과 오믹 콘택층(58)이 적층되고, 오믹 콘택층(58)의 상부에는 소정간격 이격된 소스 전극(60)과 드레인 전극(62)이 구성된다.The active layer 56 and the ohmic contact layer 58 are stacked on the gate insulating layer 54 on the gate electrode 52, and the source electrode 60 and the drain electrode spaced apart from each other by a predetermined interval on the ohmic contact layer 58. 62 is configured.

상기 소스 전극(60)과 드레인 전극(62)이 구성된 기판(50)의 전면에는, 상기 드레인 전극(62)의 일부를 노출하는 보호막(64)이 구성된다.A protective film 64 exposing a part of the drain electrode 62 is formed on the entire surface of the substrate 50 including the source electrode 60 and the drain electrode 62.

상기 화소 영역(P)에는 상기 드레인 전극(62)과 접촉하는 다수의 투명한 화소 전극(66)이 구성되고, 이와는 소정간격 평행하게 이격된 다수의 투명 공통 전극(68)이 구성된다.The pixel region P includes a plurality of transparent pixel electrodes 66 in contact with the drain electrode 62, and a plurality of transparent common electrodes 68 spaced apart in parallel by a predetermined interval.

상기 공통 전극(68)과 화소 전극(66)이 구성된 기판(50)의 전면에 배향막(미도시)이 구성된다.An alignment layer (not shown) is formed on the entire surface of the substrate 50 including the common electrode 68 and the pixel electrode 66.

전술한 바와 같이 구성되는 종래의 제 2 예의 구성은 상기 공통 전극(66)과 화소 전극(68)을 투명한 도전성 금속을 형성하여 종래의 제 1 예의 구성에 비해 개구율이 개선되는 장점이 있다.The structure of the conventional second example configured as described above has the advantage that the aperture ratio is improved compared to the structure of the first example by forming the transparent conductive metal between the common electrode 66 and the pixel electrode 68.

또한, 상기 종래의 제 2 예의 구성은 상기 공통 전극(68)과 화소 전극(66)이 동일 평면상에 구성되어 있기 때문에 종래의 제 1 예와 비교하여 단차를 낮출 수 있다.In addition, in the structure of the conventional second example, since the common electrode 68 and the pixel electrode 66 are configured on the same plane, the step difference can be lowered as compared with the conventional first example.

즉, 종래의 제 1 예의 구성은 상기 공통 전극과 화소 전극이 서로 다른 층에 구성되어 있기 때문에 각 금속층의 높이의 합에 의해 단차의 높이가 높아지지만, 종래의 제 2 예의 구성은 상기 공통 전극과 화소 전극이 동일층 동일물질로 구성되기 때문에 종래에 비해 단차는 낮아 질 수 있다.That is, in the conventional first example, since the common electrode and the pixel electrode are formed in different layers, the height of the step is increased by the sum of the heights of the metal layers, but the conventional second example is the same as the common electrode. Since the pixel electrode is made of the same material as the same layer, a step may be lower than in the related art.

그러나, 러빙방향에 따른 전경이 여전히 발생하는 문제가 있다.However, there is a problem that the foreground along the rubbing direction still occurs.

본 발명은 전술한 바와 같은 문제를 해결하기 위한 목적으로 제안된 것으로, 동일 평면상에 화소 전극과 공통 전극을 투명한 금속으로 형성하되 이 두 전극은 단면적으로 라운드(round)형상으로 구성한다.The present invention has been proposed for the purpose of solving the above-mentioned problems, and the pixel electrode and the common electrode are formed of a transparent metal on the same plane, but the two electrodes have a round shape in cross section.

상기 공통 전극과 화소 전극을 라운드형상으로 구성하기 위해, 라운드 형상의 유기막 패턴을 상기 두 전극의 하부에 구성한다. 이때, 상기 두 전극의 이격영역은 상기 유기막이 존재하지 않도록 한다.In order to form the common electrode and the pixel electrode in a round shape, a round organic film pattern is formed under the two electrodes. In this case, the organic layer does not exist in the separation region of the two electrodes.

전술한 바와 같은 구성은 첫째, 상기 두 전극을 라운드 형상으로 구성하기 때문에 러빙공정시 배향막이 부분적으로 뭉치는 현상이 발생하지 않게 된다.As described above, first, since the two electrodes are configured in a round shape, a phenomenon in which the alignment layers partially aggregate during the rubbing process does not occur.

따라서, 액정의 이상배열에 의한 전경이 발생하지 않는다.Therefore, the foreground due to the abnormal arrangement of the liquid crystal does not occur.

둘째, 상기 공통 전극과 화소 전극을 투명하게 구성하는 동시에, 두 전극 사이에 유기막이 존재하지 않도록 함으로서 고개구율 및 고휘도를 구현할 수 있다.Secondly, the common electrode and the pixel electrode may be configured to be transparent, and at the same time, the organic layer may not be present between the two electrodes, thereby achieving high opening ratio and high brightness.

도 1은 종래의 제 1 예에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판의 한 화소를 개략적으로 도시한 평면도이고,1 is a plan view schematically showing one pixel of an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to a first example of the related art;

도 2a 내지 도 2d는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ`,Ⅲ-Ⅲ`를 따라 절단하여, 종래의 공정순서에 따라 도시한 공정 단면도이고,2A to 2D are sectional views taken along the line II-II` and III-III` of FIG. 1 and shown according to a conventional process sequence.

도 3은 종래의 제 2 예에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판의 한 화소를 개략적으로 도시한 단면도이고,3 is a cross-sectional view schematically showing one pixel of an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to a second example of the prior art;

도 4는 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판의 한 화소를 개략적으로 도시한 평면도이고,4 is a plan view schematically showing one pixel of an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to the present invention;

도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ`,Ⅵ-Ⅵ`를 따라 절단한 단면도이고,FIG. 5 is a cross-sectional view taken along lines VV ′ and VIV of FIG. 4;

도 6a 내지 도 6h는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ`,Ⅵ-Ⅵ`를 따라 절단하여, 본 발명의 공정 순서에 따라 도시한 공정 단면도이다.6A to 6H are cross-sectional views taken along the lines VV ′ and VIV of FIG. 4 and shown in the process sequence of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 간단한 설명><Brief description of the main parts of the drawing>

100 : 기판 102 : 게이트 배선100: substrate 102: gate wiring

104 : 게이트 전극 106 : 제 1 공통배선104: gate electrode 106: first common wiring

108 : 제 2 공통배선 114 : 액티브층108: second common wiring 114: active layer

116 : 소스 전극 118 : 드레인 전극116: source electrode 118: drain electrode

120 : 데이터 배선 134 : 화소 전극120: data wiring 134: pixel electrode

136 : 공통 전극136: common electrode

전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 액정표시장치용 어레이기판은 기판 상에 일 방향으로 연장된 게이트 배선과; 상기 게이트 배선을 사이에 두고 평행하게 이격하여 구성되고, 동일한 신호가 인가되는 제 1 공통배선과 제 2 공통배선과; 상기 게이트 배선과 수직하게 교차하여 화소영역을 정의하는 데이터 배선과; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 위치하고 게이트 전극과, 반도체층과, 소스 전극과 이와는 이격되고 상기 제 2 공통배선의 상부로 연장된 연장부를 포함하는 드레인 전극으로 구성된 박막트랜지스터와; 상기 드레인 전극과 접촉하면서 상기 화소영역 상에 구성된 다수의 투명 화소 전극과; 상기 화소 전극과 평행하게 이격 하여 구성되고 상기 제 1 공통배선과 연결된 다수의 공통 전극을 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an array substrate for a liquid crystal display device comprising: a gate wiring extending in one direction on a substrate; A first common line and a second common line configured to be spaced apart in parallel with the gate line therebetween, and to receive the same signal; A data line defining a pixel area crossing the gate line perpendicularly; A thin film transistor disposed at an intersection point of the gate line and the data line, the thin film transistor comprising a gate electrode, a semiconductor layer, and a drain electrode including an extension part spaced apart from the source electrode and extending above the second common line; A plurality of transparent pixel electrodes configured on the pixel region while in contact with the drain electrode; A plurality of common electrodes configured to be spaced apart in parallel to the pixel electrode and connected to the first common wiring are included.

상기 반도체층은 비정질 실리콘(a-Si:H)인 액티브층과, 불순물이 포함된 비정질 실리콘(n+a-Si:H)인 오믹 콘택층이 적층되어 구성된 것이다.The semiconductor layer is formed by stacking an active layer of amorphous silicon (a-Si: H) and an ohmic contact layer of amorphous silicon (n + a-Si: H) containing impurities.

상기 공통 전극과 화소 전극은 단면이 라운드 형상인 것을 특징으로 한다.The common electrode and the pixel electrode may have a round cross section.

상기 제 1 공통배선과 상기 드레인 전극의 연장부 사이에 절연막이 더욱 구성되어 보조 용량부를 형성한다.An insulating film is further formed between the first common wiring and the extension of the drain electrode to form the storage capacitor.

본 발명의 다른 특징에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판은 스위칭 영역과 화소 영역이 정의된 기판과; 상기 스위칭 영역에 대응하여 구성된 게이트 전극과; 상기 게이트 전극의 상부에 구성된 게이트 절연막과; 상기 게이트 절연막의 상부에 구성된 반도체층과; 상기 반도체층의 상부에 이격하여 구성된 소스 전극과 드레인 전극과; 상기 소스 전극과 드레인 전극의 상부에 구성되고, 상기 드레인 전극의 일부를 노출하는 보호막과; 상기 화소 영역에 대응하여 위치하고, 단면이 라운드 형상인 다수의 절연패턴과; 상기 드레인 전극과 접촉하고 상기 절연 패턴을 따라 라운드 형상으로 구성된 다수의 투명 화소 전극과; 상기 화소 전극과 평행하게 이격되고, 상기 절연 패턴을 따라 라운드 형상으로 구성된 다수의 공통 전극을 포함한다.According to another aspect of the present invention, an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device includes: a substrate in which a switching region and a pixel region are defined; A gate electrode configured to correspond to the switching region; A gate insulating film formed on the gate electrode; A semiconductor layer formed on the gate insulating film; A source electrode and a drain electrode spaced apart from each other above the semiconductor layer; A protective film formed over the source electrode and the drain electrode and exposing a part of the drain electrode; A plurality of insulating patterns positioned corresponding to the pixel areas and having a round cross section; A plurality of transparent pixel electrodes in contact with the drain electrode and configured to have a round shape along the insulating pattern; A plurality of common electrodes spaced apart in parallel to the pixel electrode and configured to have a round shape along the insulating pattern.

상기 단면이 라운드 형상인 화소 전극과 공통 전극은 평면적으로 막대 형상이다.The pixel electrode and the common electrode having a round cross-section are bar-shaped in plan.

상기 절연 패턴은 상기 화소 전극과 공통 전극에 대응하여 구성된 것을 특징으로 한다.The insulating pattern may be configured to correspond to the pixel electrode and the common electrode.

본 발명의 특징에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법은 기판 상에 일 방향으로 연장된 게이트 배선과, 게이트 전극과, 게이트 배선과 평행하게 이격된 제 1 공통배선을 형성하는 단계와; 상기 게이트 배선이 형성된 기판의 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계와; 상기 게이트 절연막 상에 반도체층을 형성하는 단계와; 상기 반도체층 상에, 소스 전극과 이와는 이격된 드레인 전극과, 상기 드레인 전극과 연결되고, 상기 게이트 배선과는 수직하게 교차하여 화소영역을 정의하는 데이터 배선을 형성하는 단계와; 상기 소스 및 드레인 전극이 형성된기판의 전면에, 상기 드레인 전극의 일부와 상기 제 1 공통배선의 일부를 노출하는 보호막을 형성하는 단계와; 상기 화소영역에 대응하는 보호막의 상부에, 단면이 라운드 형상인 다수의 절연 패턴을 형성하는 단계와; 상기 드레인 전극과 접촉하면서 상기 절연 패턴을 따라 라운드 형상으로 구성된 다수의 투명 화소 전극과, 상기 제 1 공통배선과 접촉하면서 상기 절연패턴을 따라 라운드 형상으로 구성된 다수의 투명 공통 전극을 형성하는 단계를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device, including forming a gate wiring extending in one direction, a gate electrode, and a first common wiring spaced in parallel with the gate wiring; ; Forming a gate insulating film on an entire surface of the substrate on which the gate wiring is formed; Forming a semiconductor layer on the gate insulating film; Forming a data line on the semiconductor layer, a drain electrode spaced apart from the source electrode, a data line connected to the drain electrode and vertically intersecting with the gate line to define a pixel region; Forming a passivation layer on a front surface of the substrate on which the source and drain electrodes are formed, exposing a portion of the drain electrode and a portion of the first common wiring; Forming a plurality of insulating patterns having a round cross section on the passivation layer corresponding to the pixel region; Forming a plurality of transparent pixel electrodes having a round shape along the insulating pattern while in contact with the drain electrode, and forming a plurality of transparent common electrodes having a round shape along the insulating pattern while in contact with the first common wiring. do.

상기 보호막은 질화 실리콘(SiNX)과 산화 실리콘(SiO2)을 포함하는 무기절연물질 그룹 중 선택된 하나로 형성되고, 상기 절연 패턴은 감광성 유기절연물질로 형성된다.The protective layer is formed of one selected from the group of inorganic insulating materials including silicon nitride (SiN X ) and silicon oxide (SiO 2 ), and the insulating pattern is formed of a photosensitive organic insulating material.

상기 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판을 제조하는 방법은 상기 보호막의 상부에 감광성 유기절연물질을 도포하여 유기절연막을 형성하는 단계와; 상기 감광성 유기막의 이격된 상부에 다수의 투과부와 차단부가 엇갈려 구성된 마스크를 위치시키는 단계와; 상기 마스크의 상부로 빛을 조사하여 하부의 유기절연막을 노광하고 현상하여, 단면이 사각형상으로 구성된 유기막 패턴을 형성하는 단계와; 상기 단면이 사각형상인 유기막 패턴에 열을 가하여, 단면이 라운드 형상인 유기막 패턴으로 형성하는 단계를 더욱 포함한다.The method of manufacturing an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device includes forming an organic insulating film by applying a photosensitive organic insulating material on the protective film; Positioning a mask including a plurality of transmissive portions and blocking portions alternately spaced apart from each other on the photosensitive organic layer; Irradiating light on the upper portion of the mask to expose the lower organic insulating layer and developing the organic insulating pattern, the organic layer pattern having a rectangular cross section; The method may further include forming heat into the organic film pattern having a round cross section by applying heat to the organic film pattern having a rectangular cross section.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

-- 실시예 --Example

본 발명은 공통 전극과 화소 전극의 단면을 라운드 형상(round, 반원형상)으로 구성하는 것을 특징으로 한다.The present invention is characterized in that the cross-sections of the common electrode and the pixel electrode are configured in a round shape.

도 4는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판의 구성을 개략적으로 도시한 평면도이다.4 is a plan view schematically showing the configuration of an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device.

도 4의 평면도는 본 발명에 따른 공통 전극과 화소 전극의 단면구성을 설명하기 위한 하나의 예일 뿐이며, 공통 전극과 화소 전극의 구성과 보조 용량부의 구성은 다양한 형상으로 변형될 수 있다.4 is only one example for explaining a cross-sectional structure of the common electrode and the pixel electrode according to the present invention, and the configuration of the common electrode and the pixel electrode and the configuration of the auxiliary capacitor may be modified in various shapes.

도시한 바와 같이, 기판(100)상에 일 방향으로 연장된 게이트 배선(102)이 구성되고, 게이트 배선(102)과 수직하게 교차하여 화소 영역(P)을 정의하는 데이터 배선(120)을 구성한다.As shown in the drawing, a gate line 102 extending in one direction is formed on the substrate 100, and a data line 120 is formed to cross the gate line 102 to define the pixel region P. As shown in FIG. do.

게이트 배선(102)과 평행하게 이격하여 일 방향으로 연장되고, 상기 게이트 배선(102)을 사이에 두고 평행하게 이격된 제 1 공통배선(106)과 제 2 공통배선(108)을 구성한다.The first common wiring 106 and the second common wiring 108 spaced apart in parallel with the gate wiring 102 and extending in one direction and spaced apart in parallel with the gate wiring 102 interposed therebetween.

상기 두 배선(106,108)의 교차지점에는 게이트 전극(104)과 액티브층(112)과 소스 전극(116)과 드레인 전극(118)으로 구성된 박막트랜지스터(T)를 구성한다.The thin film transistor T including the gate electrode 104, the active layer 112, the source electrode 116, and the drain electrode 118 is formed at the intersection of the two wires 106 and 108.

상기 화소 영역(P)에는 상기 드레인 전극(118)과 접촉하는 다수의 화소 전극(134)이 서로 평행하게 이격하여 구성되고, 상기 제 1 공통 배선(106)과 연결되고 상기 다수의 화소 전극(134)과 평행하게 위치하도록 다수의 공통 전극(132)을 구성한다.In the pixel region P, a plurality of pixel electrodes 134 contacting the drain electrode 118 are formed to be spaced apart from each other in parallel, connected to the first common wire 106, and the plurality of pixel electrodes 134. A plurality of common electrodes 132 are configured to be positioned in parallel with each other.

이때, 상기 드레인 전극(118)은 상기 제 2 공통배선(108)의 상부로 연장되어공통배선(108)과 함께 보조 용량부(CST)를 형성한다.In this case, the drain electrode 118 extends above the second common wiring 108 to form the storage capacitor C ST together with the common wiring 108.

즉, 상기 제 1 공통배선(108)의 일부가 스토리지 제 1 전극이 되고, 이에 겹쳐지는 드레인 전극(118)의 연장부(A)가 스토리지 제 2 전극이 된다.In other words, a portion of the first common wiring 108 becomes a storage first electrode, and an extension A of the drain electrode 118 overlapping the storage electrode becomes a storage second electrode.

이때, 평면적으로 표현되지는 않았지만 상기 공통 전극(132)과 화소 전극(134)은 단면적으로 라운드 형상(반원 형상)으로 구성한다.In this case, although not expressed in plan, the common electrode 132 and the pixel electrode 134 have a round shape (semi-circular shape) in cross section.

이하, 도 5를 참조하여 상기 도 4의 평면적인 구성을 설명한다.Hereinafter, the planar configuration of FIG. 4 will be described with reference to FIG. 5.

도 5에 도시한 바와 같이, 스위칭 영역(S)과 화소 영역(P)과 보조 용량부(CST)가 정의된 기판(100)의 스위칭 영역(S)에 먼저, 소정형상으로 패턴된 게이트 전극(104)과 스토리지 캐패시터 영역(C)에 스토리지 제 1 전극(도 4의 구성에서 제 2 공통배선의 일부)(108)을 구성한다.As shown in FIG. 5, a gate electrode patterned first in a predetermined shape in the switching region S of the substrate 100 in which the switching region S, the pixel region P, and the storage capacitor C ST are defined. A storage first electrode (part of the second common wiring in the configuration of FIG. 4) 108 is formed in the 104 and the storage capacitor region C. FIG.

상기 게이트 전극(104) 및 스토리지 제 1 전극(108)이 구성된 기판(100)의 전면에 게이트 절연막(110)을 구성한다.The gate insulating layer 110 is formed on the entire surface of the substrate 100 including the gate electrode 104 and the storage first electrode 108.

게이트 전극(104) 상부의 게이트 절연막(110)상에는 액티브층(112)과 오믹 콘택층(114)을 구성하고, 오믹 콘택층(114)의 상부에는 소정간격 이격된 소스 전극(116)과 드레인 전극(118)을 구성한다.The active layer 112 and the ohmic contact layer 114 are formed on the gate insulating layer 110 on the gate electrode 104, and the source and drain electrodes 116 and the drain electrode spaced apart from each other by a predetermined interval on the ohmic contact layer 114. Constitute 118.

이때, 상기 드레인 전극(118)은 상기 스토리지 제 1 전극(108)의 상부로 연장된 연장부(A)를 포함하며, 이는 스토리지 제 2 전극의 기능을 한다.In this case, the drain electrode 118 includes an extension A extending above the storage first electrode 108, which functions as a storage second electrode.

상기 소스 전극(116)과 드레인 전극(118)이 구성된 기판(100)의 전면에는, 상기 드레인 전극(118)의 일부를 노출하는 보호막(122)을 구성한다.The passivation layer 122 exposing a part of the drain electrode 118 is formed on the entire surface of the substrate 100 including the source electrode 116 and the drain electrode 118.

상기 화소 영역(P)에 대응하는 보호막(122)의 상부에는 라운드 형상(반원 형상)의 유기막 패턴(128)을 소정간격 이격하여 다수개 구성한다.A plurality of organic film patterns 128 having a round shape (semi-circular shape) are spaced apart from each other at predetermined intervals on the passivation film 122 corresponding to the pixel region P.

상기 화소 영역(P)에는 상기 드레인 전극(118)과 접촉하면서, 상기 유기막 패턴(128)의 상부에 구성된 다수의 투명한 화소 전극(134)을 구성하고, 이와는 소정간격 평행하게 이격되고 상기 유기막 패턴(128)의 상부에 다수의 투명 공통 전극(136)을 구성한다.In the pixel region P, a plurality of transparent pixel electrodes 134 formed on the organic layer pattern 128 are formed in contact with the drain electrode 118, and are spaced apart by a predetermined interval in parallel to the organic layer. A plurality of transparent common electrodes 136 is formed on the pattern 128.

상기 화소 전극(134)과 공통 전극(136)은 각각 상기 다수의 라운드 형상의 유기막 패턴(128)에 의해 라운드 형상으로 구성될 수 있다.The pixel electrode 134 and the common electrode 136 may each be formed in a round shape by the plurality of round organic layer patterns 128.

따라서, 전술한 바와 같이 상기 공통 전극(136)과 화소 전극(134)이 라운드 형상으로 구성되었기 때문에, 이후 공정에서 배향막을 도포하고 러빙하는 공정 중, 러빙수단(미도시)은 상기 두 전극(134, 136)의 라운드 형상을 따라 유연하게 지나 갈 수 있기 때문에 종래와 같이 직각 형태의 단차 부분에 배향막이 뭉치는 러빙불량이 발생하지 않는다.Therefore, since the common electrode 136 and the pixel electrode 134 have a round shape as described above, during the process of applying and rubbing the alignment layer in a subsequent process, the rubbing means (not shown) is the two electrodes 134. , 136) can pass flexibly along the round shape, so that rubbing defects in which the alignment layer is agglomerated in the stepped portion at right angles as in the prior art do not occur.

이하, 도 6a 내지 도 6h를 참조하여 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판의 제조공정을 설명한다.Hereinafter, a manufacturing process of an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to the present invention will be described with reference to FIGS. 6A to 6H.

도 6a 내지 도 6h는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ`와 Ⅵ-Ⅵ`을 따라 절단하여, 본 발명의 공정 순서에 따라 도시한 공정 단면도이다.6A to 6H are cross-sectional views taken along the line VV ′ and VIV of FIG. 4, and according to the process sequence of the present invention.

먼저, 도 6a에 도시한 바와 같이, 기판(100)상에 알루미늄(Al)및 알루미늄 합금(AlNd)을 포함하는 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나 또는 두 개의 금속을 증착하여 단층 또는 이중 금속층을 형성하고 이를 패턴하여, 일 방향으로 연장된 게이트 배선(도 1의 102)과 이와 연결된 게이트 전극(104)을 형성한다.First, as shown in FIG. 6A, one or two metals selected from conductive metal groups including aluminum (Al) and aluminum alloy (AlNd) are deposited on the substrate 100 to form a single layer or a double metal layer. By patterning, the gate wiring 102 in FIG. 1 and the gate electrode 104 connected thereto are formed.

동시에, 게이트 배선(도 1의 102)을 사이에 두고 소정간격 평행하게 이격된 제 1 공통배선(106)과 제 2 공통배선(108)을 형성한다. 이때, 상기 제 1 공통배선(106)과 상기 제 2 공통배선(108)은 서로 연결되어 한 입력단자로부터 동일한 신호를 입력받거나 경우에 따라서는, 별도로 구성하여 동일한 신호를 인가 받도록 구성할 수도 있다.At the same time, the first common wiring 106 and the second common wiring 108 spaced apart in parallel by predetermined intervals with the gate wiring 102 in between are formed. In this case, the first common wiring 106 and the second common wiring 108 may be connected to each other to receive the same signal from one input terminal, or in some cases, may be configured to receive the same signal separately.

도 6b에 도시한 바와 같이, 상기 제 1 및 제 2 공통배선(106,108)과 게이트 전극(104)이 형성된 기판(100)의 전면에 질화 실리콘(SiNX)과 산화 실리콘(SiO2)을 포함하는 무기절연물질그룹 중 선택된 하나를 증착하거나, 벤조사이클로부텐(BCB)과 아크릴(acryl)계 수지(resin)를 포함하는 유기절연물질 그룹 중 선택된 하나를 도포하여 게이트 절연막(110)을 형성한다.As shown in FIG. 6B, silicon nitride (SiN X ) and silicon oxide (SiO 2 ) are formed on the entire surface of the substrate 100 on which the first and second common wirings 106 and 108 and the gate electrode 104 are formed. The gate insulating layer 110 is formed by depositing one selected from the group of inorganic insulating materials or by applying one selected from the group of organic insulating materials including benzocyclobutene (BCB) and an acrylic resin.

이때, 경우에 따라서는 상기 무기 절연물질과 유기 절연물질을 적층하여 형성할 수도 있다.In this case, in some cases, the inorganic insulating material and the organic insulating material may be stacked.

다음으로, 상기 게이트 전극(104)상부의 게이트 절연막(110)상에 액티브층(112)과 오믹 콘택층(114)을 형성한다.Next, an active layer 112 and an ohmic contact layer 114 are formed on the gate insulating layer 110 on the gate electrode 104.

액티브층(112)은 일반적으로 순수한 비정질 실리콘(a-Si:H)을 증착하여 형성하고, 오믹 콘택층(114)은 불순물이 포함된 비정질 실리콘(n+a-Si:H)을 증착하거나 상기 액티브층(112)의 표면에 불순물 이온을 도핑하여 형성할 수 도 있다.The active layer 112 is generally formed by depositing pure amorphous silicon (a-Si: H), and the ohmic contact layer 114 deposits amorphous silicon (n + a-Si: H) containing impurities or the The surface of the active layer 112 may be formed by doping impurity ions.

도 6c에 도시한 바와 같이, 상기 오믹 콘택층(114)이 형성된 기판(100)의 전면에 안티몬(Sb), 크롬(Cr), 텅스텐(W), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 구리(Cu)등을 포함하는 도전성 금속그룹 중 선택된 하나를 증착하고 패턴하여, 상기 오믹 콘택층(114)상부에 이격된 소스 전극(116)과 드레인 전극(118)을 형성한다.As shown in FIG. 6C, antimony (Sb), chromium (Cr), tungsten (W), molybdenum (Mo), titanium (Ti), and copper are formed on the entire surface of the substrate 100 on which the ohmic contact layer 114 is formed. One selected from the group of conductive metals including Cu and the like is deposited and patterned to form source and drain electrodes 116 and 118 spaced apart on the ohmic contact layer 114.

동시에, 상기 소스 전극(116)과 연결되고 상기 게이트 배선(도 4의 102)과는 수직하게 교차하여 화소 영역(P)을 정의하는 데이터 배선(120)을 형성한다.At the same time, a data line 120 connected to the source electrode 116 and perpendicularly intersecting with the gate line 102 of FIG. 4 to define the pixel region P is formed.

이때, 상기 드레인 전극(118)은 상기 제 2 공통배선(108)의 상부로 연장된 연장부(A)를 포함한다.In this case, the drain electrode 118 includes an extension portion A extending above the second common wiring 108.

전술한 구성으로, 상기 제 2 공통배선(108)을 스토리지 제 1 전극으로 하고, 상기 드레인 전극(118)의 연장부(A)를 스토리지 제 2 전극으로 하는 보조 용량부(CST)가 형성될 수 있다.With the above-described configuration, an auxiliary capacitor C ST having the second common wiring 108 as the storage first electrode and the extension A of the drain electrode 118 as the storage second electrode may be formed. Can be.

전술한 공정 후, 상기 소스 및 드레인 전극(116,118)의 이격된 영역으로 노출된 오믹 콘택층(114)을 제거하여 하부의 액티브층(112)을 노출하는 공정을 진행한다.After the above-described process, the ohmic contact layer 114 exposed to the spaced apart regions of the source and drain electrodes 116 and 118 is removed to expose the lower active layer 112.

도 6d에 도시한 바와 같이, 상기 소스 및 드레인 전극(116,118)이 형성된 기판(100)의 전면에 질화 실리콘(SiNx)과 산화 실리콘(SiO2)을 포함하는 무기절연물질 그룹 중 선택된 하나를 증착하여 보호막(122)을 형성한다.As shown in FIG. 6D, one selected from the group of inorganic insulating materials including silicon nitride (SiN x ) and silicon oxide (SiO 2 ) is deposited on the entire surface of the substrate 100 on which the source and drain electrodes 116 and 118 are formed. The protective film 122 is formed.

다음으로, 상기 보호막(122)의 상부에 감광성 유기절연물질을 도포하여 두터운 유기절연막(124)을 형성한다.(이때, 감광성 유기 절연막은 포지티브형(positive type)이라 가정한다.)Next, a photosensitive organic insulating material is coated on the passivation layer 122 to form a thick organic insulating layer 124. (At this time, it is assumed that the photosensitive organic insulating layer is a positive type.)

이때, 상기 보호막(122)은 박막트랜지스터의 특성을 보존하기 위해 구성하는 것이다.At this time, the protective film 122 is configured to preserve the characteristics of the thin film transistor.

이에 대해 설명하면, 액티브층(비정질 실리콘으로 형성된 것)(112)은 유기막과의 계면특성이 좋지 않기 때문에, 계면에서 전자를 트랩할 수 있는 트랩준위가 발생하게 된다.In this regard, since the active layer 112 formed of amorphous silicon has poor interface characteristics with the organic film, a trap level capable of trapping electrons at the interface is generated.

이로 인해, 박막트랜지스터(T)의 동작특성이 저하되는데 이를 방지하기 위해, 상기 액티브층(112)과 계면특성이 양호한 무기막(상기 보호막)을 사용하게 되는 것이다.As a result, an operation characteristic of the thin film transistor T is lowered. In order to prevent this, an inorganic film (the protective film) having good interface characteristics with the active layer 112 is used.

도 6e에 도시한 바와 같이, 감광성 유기 절연막(124)의 상부에 다수의 투과부(D)와 차단부(E)가 교대로 구성된 마스크(200)를 위치시킨다.As shown in FIG. 6E, a mask 200 having a plurality of transmissive portions D and blocking portions E is alternately positioned on the photosensitive organic insulating layer 124.

연속하여, 상기 마스크(200)의 상부로 빛을 조사하여, 하부의 감광성 유기절연막(124)을 노광하는 공정을 진행한다.Subsequently, light is irradiated to an upper portion of the mask 200 to expose a lower photosensitive organic insulating layer 124.

다음으로, 상기 감광성 유기 절연막(124)을 현상하는 공정을 진행하게 되면, 도 6f에 도시한 바와 같이, 상기 마스크(도 6e의 M)의 차단부(E)에 대응하는 부분에 단면적으로 사각형상의 유기막 패턴(126)이 형성된다.Next, when the process of developing the photosensitive organic insulating film 124 is progressed, as shown in FIG. 6F, the cross section is rectangular in cross section at a portion corresponding to the blocking portion E of the mask (M in FIG. 6E). The organic film pattern 126 is formed.

다음으로, 상기 사각형상의 유기막 패턴(126)에 열을 가하는 공정을 진행한다.Next, a process of applying heat to the rectangular organic film pattern 126 is performed.

도 6g에 도시한 바와 같이, 상기 열을 가하는 공정을 진행하게 되면 단면적으로 라운드 형상(반원형상)의 유기막 패턴(128)이 된다.As shown in FIG. 6G, when the heat applying step is performed, the organic film pattern 128 having a round (semi-circular) shape in cross section is obtained.

이때, 라운드 형상(반원 형상)의 유기막 패턴은 평면적으로 볼 때 서로 소정간격 이격된 다수개의 막대 형상으로 구성되며, 상기 유기절연막 패턴의 이격된 영역으로 하부의 보호막(122)이 노출된다.In this case, the organic film pattern having a round shape (semi-circular shape) is composed of a plurality of bar shapes spaced apart from each other by a predetermined distance in plan view, and the lower passivation film 122 is exposed to the spaced area of the organic insulating film pattern.

상기 노출된 보호막(122)을 식각하여 상기 드레인 전극(118)의 연장부(A)를 노출하는 제 1 콘택홀(130)과, 상기 제 1 공통배선(106)의 일부를 노출하는 제 2 콘택홀(132)을 형성한다.The exposed protective layer 122 is etched to expose the first contact hole 130 exposing the extension portion A of the drain electrode 118 and the second contact exposing a part of the first common wiring 106. The hole 132 is formed.

이때, 상기 제 1 및 제 2 콘택홀(130,132)을 형성하는 공정 중, 상기 유기막 패턴(128)의 이격거리(L)에 대응하는 영역에 보호막(122)과 그 하부의 게이트 절연막(110)을 제거하여 기판(100)을 노출시키는 공정을 진행할 수 도 있다.In this case, during the process of forming the first and second contact holes 130 and 132, the passivation layer 122 and the gate insulating layer 110 below the protective layer 122 are formed in a region corresponding to the separation distance L of the organic layer pattern 128. The removal may be performed to expose the substrate 100.

상기 콘택홀(130,132)은 상기 유기막 패턴(128)을 형성하기 전 형성할 수 도 있다.The contact holes 130 and 132 may be formed before forming the organic layer pattern 128.

도 6h에 도시한 바와 같이, 상기 유기막 패턴(128)이 형성된 기판의 전면에 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 포함하는 투명한 도전성 금속 그룹 중 선택된 하나를 증착하고 패턴하여, 상기 노출된 드레인 전극(118)과 접촉하는 다수의 화소 전극(134)과, 상기 노출된 제 1 공통 배선(106)과 접촉하면서 상기 화소 전극(134)과 평행하게 이격 하여 엇갈려 구성된 다수의 공통 전극(136)을 형성한다.As illustrated in FIG. 6H, a selected one of a transparent conductive metal group including indium tin oxide (ITO) and indium zinc oxide (IZO) is deposited on the entire surface of the substrate on which the organic layer pattern 128 is formed. And a plurality of pixel electrodes 134 contacting the exposed drain electrode 118 and the pixel electrodes 134 while being in contact with the exposed first common wiring 106 and spaced apart in parallel. A plurality of common electrodes 136 are formed.

이때, 상기 공통 전극(136)과 화소 전극(134)은 하부에 구성한 라운드 형상의 유기막 패턴(128)에 의해 라운드 형상으로 구성될 수 있다.In this case, the common electrode 136 and the pixel electrode 134 may be formed in a round shape by the round organic film pattern 128 formed below.

전술한 바와 같이, 상기 공통 전극(135)과 화소 전극(134)을 라운드 형상으로 구성하게 되면 배향막(미도시)을 도포하고 러빙하는 공정 중 러빙수단이 상기두 전극의 라운드 형상을 타고 넘어가기 쉽기 때문에 배향막이 뭉치는 현상이 발생하지 않는다.As described above, when the common electrode 135 and the pixel electrode 134 are formed in a round shape, the rubbing means may easily cross the round shape of the two electrodes during the process of applying and rubbing an alignment layer (not shown). Therefore, the phenomenon of aggregation of the alignment layers does not occur.

따라서, 러빙불량에 의한 전경(disclination)이 발생하지 않게 된다.Therefore, the disclination does not occur due to poor rubbing.

또한, 전술한 공정은 상기 공통 전극과 화소 전극의 이격영역에 대응하여 절연막이 존재하지 않는 구조로 형성되는 것이 가능하기 때문에 투과율을 개선하여 고휘도를 구현할 수 있는 장점이 있다.In addition, the above-described process may be formed in a structure in which the insulating layer does not exist in correspondence to the separation region between the common electrode and the pixel electrode, thereby improving the transmittance and thus, achieving high brightness.

따라서, 본 발명에 따른 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판은 아래와 같은 효과가 있다.Therefore, the array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device according to the present invention has the following effects.

첫째, 공통 전극과 화소 전극을 모두 투명전극으로 형성하기 때문에 종래에 비해 개구율이 개선되는 효과가 있다.First, since the common electrode and the pixel electrode are both formed as transparent electrodes, the aperture ratio is improved as compared with the related art.

둘째, 상기 화소 전극과 공통 전극을 라운드 형상으로 굴곡지게 형성하기 때문에 러빙불량이 발생하지 않아, 이로 인한 전경(disclination)발생을 방지할 수 있기 때문에 콘트라스트를 향상시키고 고화질을 구현할 수 있는 효과가 있다.Second, since the pixel electrode and the common electrode are formed to be bent in a round shape, rubbing defects do not occur, and thus, the occurrence of foreground can be prevented, thereby improving contrast and realizing high image quality.

셋째, 상기 공통 전극과 화소 전극의 이격영역에 대응하는 부분에 두터운 절연막이 존재하지 않기 때문에, 투과율이 개선되어 고 휘도를 구현할 수 있는 효과가 있다.Third, since a thick insulating film does not exist in a portion corresponding to the separation area between the common electrode and the pixel electrode, the transmittance is improved, thereby achieving high luminance.

Claims (15)

기판 상에 일 방향으로 연장된 게이트 배선과;A gate wiring extending in one direction on the substrate; 상기 게이트 배선을 사이에 두고 평행하게 이격하여 구성되고, 동일한 신호가 인가되는 제 1 공통배선과 제 2 공통배선과;A first common line and a second common line configured to be spaced apart in parallel with the gate line therebetween, and to receive the same signal; 상기 게이트 배선과 수직하게 교차하여 화소영역을 정의하는 데이터 배선과;A data line defining a pixel area crossing the gate line perpendicularly; 상기 게이트 배선과 데이터 배선의 교차지점에 위치하고 게이트 전극과, 반도체층과, 소스 전극과 이와는 이격되고 상기 제 2 공통배선의 상부로 연장된 연장부를 포함하는 드레인 전극으로 구성된 박막트랜지스터와;A thin film transistor disposed at an intersection point of the gate line and the data line, the thin film transistor comprising a gate electrode, a semiconductor layer, and a drain electrode including an extension part spaced apart from the source electrode and extending above the second common line; 상기 드레인 전극과 접촉하면서 상기 화소영역 상에 구성된 다수의 투명 화소 전극과;A plurality of transparent pixel electrodes configured on the pixel region while in contact with the drain electrode; 상기 화소 전극과 평행하게 이격 하여 구성되고 상기 제 1 공통배선과 연결된 다수의 공통 전극A plurality of common electrodes configured to be spaced apart from and parallel to the pixel electrode and connected to the first common wiring 을 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.Array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device comprising a. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 반도체층은 비정질 실리콘(a-Si:H)인 액티브층과, 불순물이 포함된 비정질 실리콘(n+a-Si:H)인 오믹 콘택층이 적층되어 구성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.The semiconductor layer is an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device formed by stacking an active layer of amorphous silicon (a-Si: H) and an ohmic contact layer of amorphous silicon (n + a-Si: H) containing impurities. . 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 공통 전극과 화소 전극은 단면이 라운드 형상인 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.And the common electrode and the pixel electrode have a round cross section. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 공통배선과 상기 드레인 전극의 연장부 사이에 절연막이 더욱 구성되어 보조 용량부를 형성하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.And an insulating film is further formed between the first common wiring and an extension of the drain electrode to form an auxiliary capacitor. 스위칭 영역과 화소 영역이 정의된 기판과;A substrate in which a switching region and a pixel region are defined; 상기 스위칭 영역에 대응하여 구성된 게이트 전극과;A gate electrode configured to correspond to the switching region; 상기 게이트 전극의 상부에 구성된 게이트 절연막과;A gate insulating film formed on the gate electrode; 상기 게이트 절연막의 상부에 구성된 반도체층과;A semiconductor layer formed on the gate insulating film; 상기 반도체층의 상부에 이격하여 구성된 소스 전극과 드레인 전극과;A source electrode and a drain electrode spaced apart from each other above the semiconductor layer; 상기 소스 전극과 드레인 전극의 상부에 구성되고, 상기 드레인 전극의 일부를 노출하는 보호막과;A protective film formed over the source electrode and the drain electrode and exposing a part of the drain electrode; 상기 화소 영역에 대응하여 위치하고, 단면이 라운드 형상인 다수의 절연패턴과;A plurality of insulating patterns positioned corresponding to the pixel areas and having a round cross section; 상기 드레인 전극과 접촉하고 상기 절연 패턴을 따라 라운드 형상으로 구성된 다수의 투명 화소 전극과;A plurality of transparent pixel electrodes in contact with the drain electrode and configured to have a round shape along the insulating pattern; 상기 화소 전극과 평행하게 이격되고, 상기 절연 패턴을 따라 라운드 형상으로 구성된 다수의 공통 전극A plurality of common electrodes spaced apart in parallel to the pixel electrode and configured to have a round shape along the insulating pattern; 을 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.Array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device comprising a. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 반도체층은 비정질 실리콘(a-Si:H)인 액티브층과, 불순물이 포함된 비정질 실리콘(n+a-Si:H)인 오믹 콘택층이 적층되어 구성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.The semiconductor layer is an array substrate for a transverse electric field type liquid crystal display device formed by stacking an active layer of amorphous silicon (a-Si: H) and an ohmic contact layer of amorphous silicon (n + a-Si: H) containing impurities. . 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 절연 패턴은 상기 화소 전극과 공통 전극에 대응하여 구성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판.And the insulating pattern corresponds to the pixel electrode and the common electrode. 기판 상에 일 방향으로 연장된 게이트 배선과, 게이트 전극과, 게이트 배선과 평행하게 이격된 제 1 공통배선을 형성하는 단계와;Forming a gate wiring extending in one direction, a gate electrode, and a first common wiring spaced in parallel with the gate wiring on the substrate; 상기 게이트 배선이 형성된 기판의 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계와;Forming a gate insulating film on an entire surface of the substrate on which the gate wiring is formed; 상기 게이트 절연막 상에 반도체층을 형성하는 단계와;Forming a semiconductor layer on the gate insulating film; 상기 반도체층 상에, 소스 전극과 이와는 이격된 드레인 전극과, 상기 드레인 전극과 연결되고, 상기 게이트 배선과는 수직하게 교차하여 화소영역을 정의하는 데이터 배선을 형성하는 단계와;Forming a data line on the semiconductor layer, a drain electrode spaced apart from the source electrode, a data line connected to the drain electrode and vertically intersecting with the gate line to define a pixel region; 상기 소스 및 드레인 전극이 형성된 기판의 전면에, 상기 드레인 전극의 일부와 상기 제 1 공통배선의 일부를 노출하는 보호막을 형성하는 단계와;Forming a protective film on a front surface of the substrate on which the source and drain electrodes are formed, exposing a portion of the drain electrode and a portion of the first common wiring; 상기 화소영역에 대응하는 보호막의 상부에, 단면이 라운드 형상인 다수의 절연 패턴을 형성하는 단계와;Forming a plurality of insulating patterns having a round cross section on the passivation layer corresponding to the pixel region; 상기 드레인 전극과 접촉하면서 상기 절연 패턴을 따라 라운드 형상으로 구성된 다수의 투명 화소 전극과, 상기 제 1 공통배선과 접촉하면서 상기 절연패턴을 따라 라운드 형상으로 구성된 다수의 투명 공통 전극을 형성하는 단계를Forming a plurality of transparent pixel electrodes having a round shape along the insulating pattern while being in contact with the drain electrode, and forming a plurality of transparent common electrodes having a round shape along the insulating pattern while being in contact with the first common wiring. 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.Array substrate manufacturing method for a transverse electric field type liquid crystal display device comprising. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 반도체층은 비정질 실리콘(a-Si:H)으로 형성된 액티브층과, 불순물이 포함된 비정질 실리콘(n+a-Si:H)으로 형성된 오믹 콘택층이 적층되어 형성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.The semiconductor layer is a transverse electric field liquid crystal display device formed by stacking an active layer formed of amorphous silicon (a-Si: H) and an ohmic contact layer formed of amorphous silicon (n + a-Si: H) containing impurities. Array substrate manufacturing method. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 보호막은 질화 실리콘(SiNX)과 산화 실리콘(SiO2)을 포함하는 무기절연물질 그룹 중 선택된 하나로 형성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.And the protective layer is formed of one selected from the group of inorganic insulating materials including silicon nitride (SiN X ) and silicon oxide (SiO 2 ). 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 절연 패턴은 감광성 유기절연물질로 형성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.And the insulating pattern is formed of a photosensitive organic insulating material. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 투명 공통 전극과 투명 화소 전극은 인듐-틴-옥사이드(ITO)와 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 포함하는 투명한 도전성 금속물질 그룹 중 선택된 하나로 형성된 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.And wherein the transparent common electrode and the transparent pixel electrode are formed of one selected from a group of transparent conductive metal materials including indium tin oxide (ITO) and indium zinc oxide (IZO). 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 다수의 절연패턴을 형성하는 단계는Forming the plurality of insulating patterns 상기 보호막의 상부에 유기 절연막을 형성하는 단계와;Forming an organic insulating layer on the passivation layer; 상기 유기 절연막의 이격된 상부에 다수의 투과부와 차단부가 엇갈려 구성된 마스크를 위치시키는 단계와;Placing a mask comprising a plurality of transmissive portions and blocking portions alternately spaced apart from each other on the organic insulating layer; 상기 마스크의 상부로 빛을 조사하여 하부의 유기절연막을 노광하고 현상하여, 단면이 사각형상으로 구성된 유기막 패턴을 형성하는 단계와;Irradiating light on the upper portion of the mask to expose the lower organic insulating layer and developing the organic insulating pattern, the organic layer pattern having a rectangular cross section; 상기 단면이 사각형상인 유기막 패턴에 열을 가하여, 단면이 라운드 형상인 유기막패턴을 형성하는 단계를 더욱 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.And applying heat to the organic film pattern having a rectangular cross section, thereby forming an organic film pattern having a round cross section. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 게이트 배선과 평행하게 이격된 제 2 공통배선을 형성하는 단계를 더욱 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.And forming a second common line spaced apart from and parallel to the gate line. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 상기 드레인 전극은 상기 제 2 공통배선의 상부로 연장된 연장부를 더욱 포함하는 횡전계 방식 액정표시장치용 어레이기판 제조방법.And the drain electrode further includes an extension part extending above the second common wiring.
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