KR20040077006A

KR20040077006A - Vacuum cassette with center guide

Info

Publication number: KR20040077006A
Application number: KR1020030012370A
Authority: KR
Inventors: 양종현
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2003-02-27
Filing date: 2003-02-27
Publication date: 2004-09-04

Abstract

PURPOSE: A vacuum cassette for transferring a wafer is provided to align a wafer on a centroid of a tray in a process for loading/unloading process and prevent the mis-alignment in a wafer transferring process by installing a center guide in the tray for loading the wafer. CONSTITUTION: A vacuum cassette includes a plurality of trays(12) for loading a plurality of wafers and a plurality of center guides(20) adhered around each tray. In addition, the center guides are used for maintaining each centroid of the wafers in a process for loading/unloading the wafers. The center guides are installed at both sides of lower ends of the trays.

Description

Vacuum cassette for wafer transfer {VACUUM CASSETTE WITH CENTER GUIDE}

본 발명은 웨이퍼의 이송을 위한 진공 카세트에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 반도체 장비의 엔드스테이션에 설치되는 웨이퍼의 이송을 위한 진공 카세트에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum cassette for transferring wafers, and more particularly, to a vacuum cassette for transferring wafers installed in an end station of semiconductor equipment.

진공 카세트(Vacuum cassette)는 엔드스테이션(Endstation)에 위치하며 웨이퍼를 인-에어(In-air)단에서 인-벡(In-vac)단으로 또는 역으로 이동시켜 디스크와 카세트에 로드/언로드시키는 기능을 수행하는 어셈블리이다.Vacuum cassettes are located at the endstation and move wafers from the in-air end to the in-vac end or vice versa to load / unload discs and cassettes. An assembly that performs a function.

도 1에서 보이는 바와 같이 종래 진공 카세트는 웨이퍼의 로드/언로드 공정 도중에 적절한 안전기능을 수행할 수 있는 구성이 없다. 따라서 인-에어 로봇의 정렬(Align)이 조금만 틀어져도 곧바로 웨이퍼가 정상위치를 벗어나 양 옆으로 삐져나와 에지검출센서(edge detect sensor)에 감지됨으로써 관련 에러가 지속적으로 발생하고 있고, 심한 경우 웨이퍼의 낙하로 인해 스크래치 및 파손의 위험이 내재되어 있다.As shown in FIG. 1, the conventional vacuum cassette does not have a configuration capable of performing an appropriate safety function during a wafer load / unload process. Therefore, even if the alignment of the in-air robot is slightly distorted, the wafer immediately protrudes out of the normal position and is detected by the edge detect sensor, causing a related error continuously. The risk of scratching and breakage is inherent due to falling.

따라서 종래 진공 카세트(특히 AXCELIS NV-GSD/HE)는 인-에어 로봇 정렬을 항상 정밀하게 유지하는 방법으로 에러를 최소화하도록 하고 있으나, 여러 요인으로 인해 불량으로 인한 손실이 발생되고 있다.Therefore, the conventional vacuum cassette (especially AXCELIS NV-GSD / HE) is to minimize the error in a way to always maintain the precise alignment of the in-air robot, but due to a number of factors are caused by the loss.

본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 웨이퍼의 로드/언로드시 웨이퍼가 양 옆으로 삐져나오지 않고 중심으로 위치되도록 할 수 있는 새로운 형태의 웨이퍼의 이송을 위한 진공 카세트를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a problem, and an object thereof is to provide a vacuum cassette for transferring a new type of wafer which can be positioned at the center of the wafer during loading / unloading of the wafer. .

도 1은 종래 진공 카세트의 문제점을 설명하기 위한 도면;1 is a view for explaining a problem of a conventional vacuum cassette;

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 카세트를 설명하기 위한 도면;2 is a view for explaining a vacuum cassette according to a preferred embodiment of the present invention;

도 3a 및 도 3b는 도 2에서 센터 가이드의 형상을 구제척으로 설명하기 위한 도면;3A and 3B are views for explaining the shape of the center guide in FIG.

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 카세트를 사용하여 웨이퍼의 로딩/언로딩을 설명하기 위한 도면이다.4 is a view for explaining the loading / unloading of a wafer using a vacuum cassette according to a preferred embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 : 진공 카세트 12 : 트레이10 vacuum cassette 12 tray

20 : 센터 가이드 100 : 웨이퍼20: center guide 100: wafer

200 : 인-에어 로봇 300 : 웨이퍼 에지 검출센서200: in-air robot 300: wafer edge detection sensor

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 본 발명은 반도체 제조장비에 설치되어 웨이퍼의 이송을 위한 진공 카세트를 제공한다. 이 진공 카세트는 웨이퍼가 로딩되는 트레이 및 상기 트레이의 주변에 부착되어 웨이퍼의 로딩/언로딩시 웨이퍼가 중심을 유지하도록 하는 센터 가이드를 구비한다.According to a feature of the present invention for achieving the above object, the present invention is provided in a semiconductor manufacturing equipment to provide a vacuum cassette for the transfer of wafers. The vacuum cassette has a tray into which the wafer is loaded and a center guide attached to the periphery of the tray to maintain the center of the wafer during loading / unloading of the wafer.

이와 같은 본 발명에 따른 웨이퍼의 이송을 위한 진공 카세트는 그 바람직한 실시예에서 상기 센터 가이드는 상기 트레이의 하단부의 양쪽에 각각 설치될 수 있다.Such a vacuum cassette for transferring a wafer according to the present invention, in the preferred embodiment, the center guide may be installed on both sides of the lower end of the tray, respectively.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 본 발명은 반도체 장비의 엔드스테이션에 위치하고, 웨이퍼를 인-에어(In-air)단에서 인-벡(In-vac)단으로 또는 역으로 이동시켜 디스크와 카세트에 로드/언로드시키는 웨이퍼의 이송을 위한 진공 카세트에 있어서, 웨이퍼가 로딩되는 다수개의 트레이 및 상기 다수개의 트레이 각각의 하단부의 양쪽에 설치되는 한쌍의 센터 가이드를 구비하여 웨이퍼의 로딩/언로딩시 웨이퍼가 중심을 유지하도록 한다.According to another aspect of the present invention for achieving the above object, the present invention is located in the end station of the semiconductor equipment, the wafer is placed from the in-air end to the in-vac end or inverse A vacuum cassette for transferring wafers to be loaded / unloaded to disks and cassettes, the method comprising: a plurality of trays on which wafers are loaded and a pair of center guides installed at both ends of each of the plurality of trays; Allows the wafer to remain centered during loading / unloading.

이하, 본 발명에 따른 센터 가이드를 갖는 진공 카세트를 첨부된 도면 2 내지 도 4에 의거하여 상세히 설명한다. 이때 도 2 내지 도 4에 있어서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.Hereinafter, a vacuum cassette having a center guide according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 2 to 4. In this case, the same reference numerals are given to components that perform the same function in FIGS. 2 to 4.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 카세트를 설명하기 위한 도면이고, 도 3a 및 도 3b는 도 2에서 센터 가이드의 형상을 구제척으로 설명하기 위한 도면들이다.2 is a view for explaining a vacuum cassette according to a preferred embodiment of the present invention, Figures 3a and 3b is a view for explaining the shape of the center guide in FIG.

도 2 내지 도 3b를 참조하면, 본 발명에 따른 진공 카세트(10)는 웨이퍼(100)를 수용하기 위한 트레이(12)에 특별히 설계된 센터 가이드(20)를 갖는다. 이 센터 가이드(20)는 웨이퍼의 로딩/언로딩시 웨이퍼가 트레이의 중심에 안착되도록 함으로 인-에어 로봇의 웨이퍼 이송시 발생되는 미세한 정렬미스를 방지한다.2 to 3B, the vacuum cassette 10 according to the present invention has a center guide 20 specially designed in a tray 12 for receiving a wafer 100. The center guide 20 prevents fine alignment misses generated during wafer transfer of the in-air robot by allowing the wafer to settle in the center of the tray during loading / unloading of the wafer.

이와 같은 본 발명에 따른 진공 카세트(10)는 기본적으로 반도체 제조장치에 설치되어 웨이퍼를 이송시키는데 적용되고, 다양한 형태의 센터 가이드(20)를 설치할 수 있다. 기본적으로 센터 가이드(20)는 웨이퍼(100)가 로딩되는 트레이(12)의 주변에 부착되어 웨이퍼(100)의 로딩/언로딩시 웨이퍼(100)가 중심을 유지하도록 한다. 이와 같은 센터 가이드(20)는 트레이(12)의 하단부의 양쪽에 각각 설치시킬 수 있다. 도 3a 및 도 3b에 보인 바와 같이 센터 가이드(20)는 웨이퍼(100)가 안착되는 트레이(12)의 위치에 대해 경사지게 형성되어 웨이퍼(100)의 로딩시 웨이퍼(100)가 트레이(12)의 중심으로 슬라이딩되어 놓이도록 한다. 구체적으로 이 센터 가이드(20)는 진공 카세트(10)에 복수개로 설치되는 트레이(12)의 양쪽 하단부에 약 5mm 정도의 폭으로 설치되고, 인-에어 로봇이 진공 카세트(10)로 웨이퍼(100)를 로딩할 때 약간의 여유(range)를 두어 잘못된 정렬(miss align)시에도 센터 가이드(20)를 따라 슬라이딩되어 안착되는 것이다.Such a vacuum cassette 10 according to the present invention is basically installed in the semiconductor manufacturing apparatus is applied to transfer the wafer, it is possible to install the center guide 20 of various forms. Basically, the center guide 20 is attached to the periphery of the tray 12 on which the wafer 100 is loaded, so that the wafer 100 is centered when loading / unloading the wafer 100. Such a center guide 20 can be installed on both sides of the lower end of the tray 12, respectively. As shown in FIGS. 3A and 3B, the center guide 20 is formed to be inclined with respect to the position of the tray 12 on which the wafer 100 is seated so that when the wafer 100 is loaded, the wafer 100 is moved to the tray 12. Slid to the center. Specifically, the center guide 20 is installed at both lower ends of the tray 12 installed in plural in the vacuum cassette 10 with a width of about 5 mm, and the in-air robot is used as the vacuum cassette 10 for the wafer 100. ), A slight range is left when loading so that it slides along the center guide 20 even in the case of a misalignment.

이와 같은 본 발명에 따른 진공 카세트(10)는 대표적으로 반도체 장비의 엔드스테이션에 위치하고, 웨이퍼를 인-에어(In-air)단에서 인-벡(In-vac)단으로 또는 역으로 이동시켜 디스크와 카세트에 로드/언로드시키기 위해 사용된다.Such a vacuum cassette 10 according to the present invention is typically located in the end station of the semiconductor equipment, the disk by moving the wafer from the in-air (In-air) to the in-vac (In-vac) stage or the reverse And to load / unload cassettes.

도 4를 참조하면, 진공 카세트(10)는 13장의 트레이(슬롯; slot)로 구성되어있다. 이 진공 카세트(10)는 웨이퍼의 로딩/언로딩 공정시 인-에어 로봇(200)이 위치한 상부로 이동하게 되고, 인-에어 로봇(200)의 웨이퍼 로딩에 의해 13장의 웨이퍼(100)를 수용하게 된다. 전술한 바와 같이 인-에어 로봇(200)에 의해 웨이퍼(100)가 로딩될 때, 본 발명에 따른 진공 카세트(10)는 트레이 상에 설치된 센터 가이드에 의해 웨이퍼(100)가 벗어나는 것이 방지됨으로 이를 검출하는 웨이퍼 에지 검출센서(300)에 의한 에러 발생을 미연에 방지할 수 있다.Referring to FIG. 4, the vacuum cassette 10 is composed of 13 trays (slots). The vacuum cassette 10 moves to the upper position where the in-air robot 200 is located during the loading / unloading process of the wafer, and accommodates 13 wafers 100 by the wafer loading of the in-air robot 200. Done. As described above, when the wafer 100 is loaded by the in-air robot 200, the vacuum cassette 10 according to the present invention is prevented from leaving the wafer 100 by a center guide installed on the tray. The occurrence of an error by the detected wafer edge detection sensor 300 can be prevented in advance.

상술한 바와 같은, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼의 이송을 위한 진공 카세트를 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다는 것을 이 분야의 통상적인 기술자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.As described above, although the vacuum cassette for transferring the wafer according to the preferred embodiment of the present invention has been shown in accordance with the above description and the drawings, this is merely described for example and within the scope not departing from the technical spirit of the present invention. It will be appreciated by those skilled in the art that various changes and modifications are possible.

본 발명에 의하면, 웨이퍼가 수용되는 트레이에 센터 가이드가 설치되어 웨이퍼의 로딩/언로딩시 웨이퍼가 트레이의 중심에 안착되도록 함으로 인-에어 로봇의 웨이퍼 이송시 발생되는 미세한 정렬미스를 방지할 수 있다. 따라서 에지 검출에러의 발생을 미연에 방지할 수 있으므로 불필요한 작업손실을 감소시킬 수 있다.According to the present invention, the center guide is installed on the tray in which the wafer is accommodated, so that the wafer is seated at the center of the tray during loading / unloading of the wafer, thereby preventing fine alignment misses generated during wafer transfer of the in-air robot. . Therefore, it is possible to prevent the occurrence of edge detection error in advance, thereby reducing unnecessary work loss.

Claims

In the vacuum cassette for transferring the wafer is installed in the semiconductor manufacturing equipment,

A tray into which the wafer is loaded;

And a center guide attached to the periphery of the tray to maintain the center of the wafer during loading / unloading of the wafer.

The method of claim 1,

The center guide is a vacuum cassette for the transfer of the wafer, characterized in that installed on both sides of the lower end of the tray.

Located in the end station of semiconductor equipment, vacuum cassettes for transfer of wafers that are loaded / unloaded onto disks and cassettes by moving the wafers from the in-air end to the in-vac end or vice versa. To

A plurality of trays into which the wafer is loaded;

And a pair of center guides provided on both sides of lower ends of each of the plurality of trays to maintain the center of the wafer during loading / unloading of the wafer.