KR20040070918A - Color Filter Panel for Liquid Crystal Display Device and Method of Fabricating the same - Google Patents

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KR20040070918A
KR20040070918A KR1020030007153A KR20030007153A KR20040070918A KR 20040070918 A KR20040070918 A KR 20040070918A KR 1020030007153 A KR1020030007153 A KR 1020030007153A KR 20030007153 A KR20030007153 A KR 20030007153A KR 20040070918 A KR20040070918 A KR 20040070918A
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강창모
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Abstract

PURPOSE: A color filter substrate of an LCD(Liquid Crystal Display) and a method for manufacturing the color filter substrate are provided to prevent the generation of poor domain and trap of contaminant between color filters. CONSTITUTION: A color filter substrate of an LCD includes a color filter part(120), a black matrix(122), a transparent electrode(124), and an alignment film(126). The color filter part includes red, green and blue color filters(120a,120b,120c) sequentially and repeatedly arranged. Adjacent color filters have a predetermined overlay between them. The black matrix is formed in the overlay region of the color filter part and has the same thickness as the thickness of the color filter part. The transparent electrode formed on the color filter part and black matrix. The alignment film is formed on the transparent electrode.

Description

액정표시장치용 컬러필터 기판 및 그 제조방법{Color Filter Panel for Liquid Crystal Display Device and Method of Fabricating the same}Color filter panel for liquid crystal display device and manufacturing method thereof {Color Filter Panel for Liquid Crystal Display Device and Method of Fabricating the same}

본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 특히 액정표시장치용 컬러필터 기판 및 그의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly, to a color filter substrate for a liquid crystal display device and a manufacturing method thereof.

최근에, 액정표시장치는 소비전력이 낮고 휴대성이 양호한 기술집약적이며 부가가치가 높은 차세대 첨단 표시장치 소자로 각광받고 있다.Recently, liquid crystal displays have been spotlighted as next-generation advanced display devices with low power consumption, good portability, technology-intensive, and high added value.

상기 액정표시장치는 투명 전극이 형성된 두 기판 사이에 액정을 주입하여, 상기 액정의 이방성에 따른 빛의 굴절률 차이를 이용해 영상효과를 얻는 방식으로 구동된다.The liquid crystal display is driven by injecting a liquid crystal between two substrates on which a transparent electrode is formed, and obtaining an image effect by using a difference in refractive index of light according to the anisotropy of the liquid crystal.

현재에는, 각 화소를 개폐하는 스위칭 소자인 박막트랜지스터(Thin Film Transistor ; TFT)가 화소마다 배치되는 능동행렬방식 액정표시장치(AM-LCD ; Active Matrix Liquid Crystal Display)가 해상도 및 동영상 구현능력이 우수하여 가장 주목받고 있다.Currently, an active matrix liquid crystal display (AM-LCD), in which thin film transistors (TFTs), which are switching elements that open and close each pixel, is disposed for each pixel, has an excellent resolution and video performance. The most attention is.

도 1은 일반적인 액정표시장치의 일부영역에 대한 입체도이다.1 is a stereoscopic view of a part of a general liquid crystal display device.

도시한 바와 같이, 서로 일정간격 이격되어 상부 및 하부 기판(10, 30)이 대향하고 있고, 이 상부 및 하부 기판(10, 30) 사이에는 액정층(50)이 개재되어 있다.As shown in the figure, the upper and lower substrates 10 and 30 face each other with a predetermined distance therebetween, and the liquid crystal layer 50 is interposed between the upper and lower substrates 10 and 30.

상기 하부 기판(30) 상부에는 다수 개의 게이트 및 데이터 배선(32, 34)이 서로 교차되어 있고, 이 게이트 및 데이터 배선(32, 34)이 교차되는 지점에 박막트랜지스터(T)가 형성되어 있으며, 게이트 및 데이터 배선(32, 34)이 교차되는 영역으로 정의되는 화소 영역(P)에는 박막트랜지스터(T)와 연결된 화소 전극(46)이 형성되어 있다.A plurality of gates and data lines 32 and 34 cross each other on the lower substrate 30, and a thin film transistor T is formed at a point where the gates and data lines 32 and 34 cross each other. A pixel electrode 46 connected to the thin film transistor T is formed in the pixel area P defined as an area where the gate and the data lines 32 and 34 intersect.

도면으로 상세히 도시하지는 않았지만, 박막트랜지스터(T)는 게이트 전압을 인가받는 게이트 전극과, 데이터 전압을 인가받는 소스 및 드레인 전극과, 게이트 전압과 데이터 전압 차에 의해 전압의 온/오프를 조절하는 채널(ch ; channel)로 구성된다.Although not shown in detail in the drawing, the thin film transistor T is a channel for controlling voltage on / off by a gate electrode receiving a gate voltage, a source and drain electrode receiving a data voltage, and a difference between the gate voltage and the data voltage. (ch; channel).

그리고, 상부 기판(10) 하부에는 컬러필터층(12), 공통 전극(16)이 차례대로 형성되어 있다.The color filter layer 12 and the common electrode 16 are sequentially formed below the upper substrate 10.

도면으로 상세히 도시하지 않았지만, 컬러필터층(12)은 특정한 파장대의 빛만을 투과시키는 컬러필터와, 컬러필터의 경계부에 위치하여 액정의 배열이 제어되지 않는 영역 상의 빛을 차단하는 블랙매트릭스로 구성된다.Although not shown in detail in the drawing, the color filter layer 12 is composed of a color filter for transmitting only light of a specific wavelength band and a black matrix positioned at a boundary of the color filter to block light on an area where the arrangement of liquid crystals is not controlled.

그리고, 상부 및 하부 기판(10, 30)의 각 외부면에는 편광축과 평행한 빛만을 투과시키는 상부 및 하부 편광판(52, 54)이 위치하고, 하부 편광판(54) 하부에는 별도의 광원인 백라이트(back light)가 배치되어 있다.In addition, upper and lower polarizers 52 and 54 for transmitting only light parallel to the polarization axis are positioned on each outer surface of the upper and lower substrates 10 and 30, and a backlight, which is a separate light source, is provided below the lower polarizer 54. light) is placed.

이러한 액정표시장치는 풀컬러 구현을 위해 적(Red), 녹(Green), 청(Blue) 삼원색으로 구성된 컬러필터를 필요로 한다.Such a liquid crystal display requires a color filter composed of red, green, and blue primary colors to realize full color.

이하, 도 2a, 2b는 종래의 컬러필터 기판에 대한 도면으로서, 도 2a는 평면도이고, 도 2b는 상기 도 2a의 절단선 I-I에 따라 절단된 단면도이다.2A and 2B are views of a conventional color filter substrate, and FIG. 2A is a plan view, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along the cutting line I-I of FIG. 2A.

도 2a에서, 화소 영역(P)을 개구부(62)로 하는 블랙매트릭스(64)가 형성되어 있고, 블랙매트릭스(64)를 컬러별 경계부로 하여 개구부(62)에는 적, 녹, 청 컬러필터(66a, 66b, 66c)가 차례대로 반복배열되어 구성된 컬러필터(66)가 형성되어 있다.In FIG. 2A, a black matrix 64 having the pixel region P as the opening 62 is formed, and the red, green, and blue color filters are formed in the opening 62 with the black matrix 64 as a boundary for each color. A color filter 66 composed of 66a, 66b, and 66c repeatedly arranged in sequence is formed.

상기 컬러필터(66)를 덮는 영역에는 투명 전극(68) 및 배향막(70)이 차례대로 형성되어 있다.In the region covering the color filter 66, the transparent electrode 68 and the alignment layer 70 are sequentially formed.

도 2b에서는, 기판(60) 상에 서로 이격되게 블랙매트릭스(64)가 형성되어 있고, 상기 블랙매트릭스(64)를 컬러별 경계부로 하여 적, 녹, 청 컬러필터(66a, 66b, 66c)가 차례대로 형성되어 컬러필터(66)를 이루고, 컬러필터(66)를 덮는 영역에는 투명 전극(68) 및 배향막(70)이 차례대로 형성되어 있다.In FIG. 2B, black matrices 64 are formed on the substrate 60 so as to be spaced apart from each other, and red, green, and blue color filters 66a, 66b, 66c are formed using the black matrix 64 as a boundary for each color. It is formed in order to form the color filter 66, and the transparent electrode 68 and the alignment film 70 are sequentially formed in the area covering the color filter 66.

상기 컬러필터(66)는 감광성 컬러안료를 이용하여, 노광, 현상 공정을 포함한 사진식각공정(photolithography)에 의해 컬러단위로 패터닝되어 이루어지고, 투명 전극(68) 및 배향막(70)이 컬러필터(66) 상에 형성되는 적층 구조를 가지기 때문에, 컬러별 컬러필터(66)의 간격으로 정의되는 오버레이(II ; overlay) 정도가 컬러필터 기판 수율과 밀접하게 연관된다.The color filter 66 is patterned in color units by photolithography, including an exposure and development process using a photosensitive color pigment, and the transparent electrode 68 and the alignment layer 70 are formed of a color filter ( Because of the laminated structure formed on the surface 66), the degree of overlay (II) defined by the interval of the color filter 66 for each color is closely related to the yield of the color filter substrate.

도 3a, 3b는 컬러필터의 오버레이 특성에 대한 SEM(scanning electronmicroscope)사진 도면으로서, 도 3a는 컬러필터의 오버레이가 넓은 경우이고, 도 3b는 컬러필터의 오버레이가 좁은 경우에 대한 것이다.3A and 3B are scanning electron microscope (SEM) photographs of the overlay characteristics of the color filter. FIG. 3A is a case where the overlay of the color filter is wide, and FIG. 3B is a case where the overlay of the color filter is narrow.

도 3a에서와 같이, 컬러필터의 오버레이가 넓은 경우 컬러필터 단차를 따라 투명 전극 물질 및 배향막이 형성되므로, 배향막의 러빙(rubbing) 공정시 러빙포가 컬러필터 패턴간 외벽에 압력을 주어 배향막 잔여물질과 같은 오염물질이 유발됨에 따라, 마치 은하수와 같은 휘점무리에 의해 도메인 불량이 발생되는 문제점이 있었다.As shown in FIG. 3A, when the overlay of the color filter is wide, the transparent electrode material and the alignment layer are formed along the color filter step, and thus, during the rubbing process of the alignment layer, the rubbing cloth pressurizes the outer wall between the color filter patterns, thereby providing As the same contaminants are induced, there is a problem in that a domain defect is generated by a bright spot like a milky way.

상기 도메인 불량에 대해서 좀 더 상세히 설명하면, 전술한 도메인이란 액정 방향자가 일정하거나 연속적으로 달라져 불연속성이 없는 영역을 의미하는 것으로, 배향불량이나 정전기에 의해 액정의 분포가 달라질 경우 빛의 굴절이 국부적으로 틀어지게 되어 휘점무리로 보일 수 있다.In more detail with respect to the domain failure, the above-described domain refers to a region in which the liquid crystal director is constant or continuously different and there is no discontinuity. When the distribution of the liquid crystal is changed due to misalignment or static electricity, the refraction of light locally occurs. It can be distorted and appear to be a bright spot.

또한, 도 3b에서와 같이 컬러필터의 오버레이가 좁은 경우 컬러필터 외벽이 러빙포에 의한 영향은 없으나, 컬러필터 사이에 트랩(trap)된 오염물질에 의해 오염성 및 잔상이 발생되는 문제점이 있다.In addition, when the overlay of the color filter is narrow as shown in FIG. 3B, the outer wall of the color filter is not affected by the rubbing cloth, but there is a problem in that contaminants and residual images are generated by contaminants trapped between the color filters.

이러한 문제점을 개선하기 위하여, 본 발명에서는 휘점무리에 의한 도메인 불량의 방지 및 컬러필터 간 오염물질 트랩을 방지할 수 있는 액정표시장치용 컬러필터 기판의 제조방법을 제공하고자 한다.In order to improve such a problem, the present invention is to provide a method of manufacturing a color filter substrate for a liquid crystal display device that can prevent the domain failure due to the bright spots and to prevent contaminant traps between the color filters.

이를 위하여, 본 발명에서는 컬러필터의 오버레이 영역을 블랙매트릭스 영역으로 이용하고, 상기 컬러필터와 블랙매트릭스가 동일한 두께치를 갖도록 별도의 사진식각공정없이 블랙매트릭스를 식각하는 공정을 포함하고자 한다.To this end, the present invention intends to include a process of using the overlay region of the color filter as the black matrix region and etching the black matrix without a separate photo etching process so that the color filter and the black matrix have the same thickness value.

도 1은 일반적인 액정표시장치의 일부영역에 대한 입체도.1 is a three-dimensional view of a portion of a general liquid crystal display device.

도 2a, 2b는 종래의 컬러필터 기판에 대한 도면으로서, 도 2a는 평면도이고, 도 2b는 상기 도 2a의 절단선 I-I에 따라 절단된 단면도.Figure 2a, 2b is a view of a conventional color filter substrate, Figure 2a is a plan view, Figure 2b is a cross-sectional view taken along the cutting line I-I of Figure 2a.

도 3a, 3b는 컬러필터의 오버레이 특성에 대한 SEM(scanning electron microscope)사진 도면.3A and 3B are scanning electron microscope (SEM) photographs of overlay characteristics of color filters.

도 4a, 4b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치용 컬러필터 기판에 대한 도면으로서, 도 4a는 평면도이고, 도 4b는 상기 도 4a의 절단선 IV-IV에 따라 절단된 단면도.4A and 4B are views of a color filter substrate for a liquid crystal display according to a first embodiment of the present invention. FIG. 4A is a plan view and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along the line IV-IV of FIG. 4A.

도 5a 내지 5d는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치용 컬러필터 기판의 제조 공정을 단계별로 나타낸 단면도.5A through 5D are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of a color filter substrate for a liquid crystal display device according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 6a, 6b는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 액정표시장치에 대한 도면으로서, 도 6a는 평면도이고, 도 6b는 상기 도 6a의 절단선 VII-VII에 따른 절단된 단면도.6A and 6B are views of a liquid crystal display according to a third exemplary embodiment of the present invention. FIG. 6A is a plan view and FIG. 6B is a cross-sectional view taken along the line VII-VII of FIG. 6A.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Major Parts of Drawings>

110 : 기판 120a, 120b, 120c : 적, 녹, 청 컬러필터110: substrate 120a, 120b, 120c: red, green, blue color filter

120 : 컬러필터 122 : 블랙매트릭스120: color filter 122: black matrix

124 : 투명 전극 126 : 배향막124 transparent electrode 126 alignment film

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 제 1 특징에서는 기판 상에, 서로 일정한 오버레이(overlay)를 가지며 차례대로 반복배열된 적(Red), 녹(Green), 청(Blue) 컬러필터(Color Filter)로 이루어진 컬러필터와; 상기 컬러필터의 오버레이 영역 내에 형성되며, 상기 컬러필터와 동일한 두께치를 가지는 블랙매트릭스와; 상기 컬러필터 및 블랙매트릭스를 덮는 영역에 형성된 투명 전극과; 상기 투명 전극을 덮는 영역에 형성된 배향막을 포함하는 액정표시장치용 컬러필터 기판을 제공한다.In order to achieve the above object, in the first aspect of the present invention, a red, green, and blue color filter sequentially arranged in sequence on a substrate and having a constant overlay with each other. A color filter consisting of; A black matrix formed in an overlay region of the color filter and having the same thickness as that of the color filter; A transparent electrode formed in an area covering the color filter and the black matrix; Provided is a color filter substrate for a liquid crystal display device including an alignment layer formed in a region covering the transparent electrode.

상기 블랙매트릭스는 크롬(Cr)계 금속물질인 것을 특징으로 한다.The black matrix is characterized in that the chromium (Cr) -based metal material.

본 발명의 제 2 특징에서는, 기판 상에, 서로 일정한 오버레이를 가지며 이격된 적, 녹, 청 컬러필터로 이루어진 컬러필터를 형성하는 단계와; 상기 오버레이 영역 및 컬러필터를 덮는 기판 전면에 블랙매트릭스 물질을 형성하는 단계와; 상기 컬러필터의 표면을 노출시키는 두께치로 상기 블랙매트릭스 물질을 식각하여, 상기 오버레이 영역 내 위치하는 블랙매트릭스 물질로 이루어지는 블랙매트릭스를 형성하는 단계와; 상기 컬러필터 및 블랙매트릭스를 덮는 영역에 투명 전극을 형성하는 단계와; 상기 투명 전극을 덮는 영역에 배향막을 형성하는 단계를 포함하는 액정표시장치용 컬러필터 기판의 제조 방법을 제공한다.According to a second aspect of the present invention, there is provided a method including forming a color filter on a substrate, the color filter including red, green, and blue color filters having a constant overlay therebetween; Forming a black matrix material on the entire surface of the substrate covering the overlay region and the color filter; Etching the black matrix material to a thickness that exposes the surface of the color filter to form a black matrix made of a black matrix material positioned in the overlay region; Forming a transparent electrode in an area covering the color filter and the black matrix; It provides a method of manufacturing a color filter substrate for a liquid crystal display device comprising the step of forming an alignment film in a region covering the transparent electrode.

상기 블랙매트릭스는 크롬계 물질에서 선택되며, 상기 블랙매트릭스 물질을 식각하는 단계는, 상기 크롬계 물질을 습식식각(wet etching) 공정에 의해 이루어지고, 상기 오버레이 영역은, 화면을 구현하는 최소 영역인 화소 영역 이외의 영역과 대응되는 값으로 형성되며, 상기 배향막을 형성하는 단계에서는, 상기 배향막 물질을 도포하는 단계와, 상기 배향막 물질을 러빙(rubbing)처리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The black matrix is selected from a chromium-based material, and the etching of the black matrix material may be performed by wet etching the chromium-based material, and the overlay area may be a minimum area for realizing a screen. It is formed to a value corresponding to a region other than the pixel region, and the forming of the alignment layer may include applying the alignment layer material and rubbing the alignment layer material.

상기 컬러필터를 이루는 물질은 감광성 컬러안료에서 선택되며, 상기 컬러필터는 감광성 컬러안료를 이용한 사진식각(photolithography) 공정에 의해 이루어지는 것을 특징으로 한다.The material constituting the color filter is selected from photosensitive color pigments, and the color filters are formed by a photolithography process using photosensitive color pigments.

본 발명의 제 3 특징에서는, 서로 대향되게 배치된 제 1, 2 기판과; 상기 제 1 기판 내부면에 서로 교차되어 형성된 게이트 배선 및 데이터 배선과; 상기 게이트 배선 및 데이터 배선의 교차지점에 형성된 박막트랜지스터와; 상기 게이트 배선 및 데이터 배선의 교차영역으로 정의되는 화소 영역에 위치하며, 상기 박막트랜지스터와 연결되는 화소 전극과; 상기 화소 전극을 덮는 영역에 형성된 제 1 배향막과; 상기 제 2 기판 내부면에서, 상기 화소 영역 이외의 영역에 대응되는 영역에 위치하는 오버레이를 가지며 서로 이격되게 차례대로 배열되는 적, 녹, 청 컬러필터로 이루어진 컬러필터와; 상기 컬러필터의 오버레이 영역 내에 위치하며, 상기 컬러필터와 동일한 두께치를 가지는 블랙매트릭스와; 상기 컬러필터 및 블랙매트릭스를 덮는 영역에 형성된 공통 전극과; 상기 공통 전극을 덮는 영역에 형성된 제 2 배향막과; 상기 제 1, 2 배향막 사이에 개재된 액정층을 포함하는 액정표시장치를제공한다.According to a third aspect of the present invention, there is provided a semiconductor device comprising: first and second substrates disposed to face each other; A gate wiring and a data wiring formed on the inner surface of the first substrate to cross each other; A thin film transistor formed at an intersection point of the gate line and the data line; A pixel electrode positioned in a pixel region defined as an intersection of the gate wiring and the data wiring, and connected to the thin film transistor; A first alignment layer formed in an area covering the pixel electrode; A color filter on the inner surface of the second substrate, the color filter including an red, green, and blue color filter that has an overlay positioned in an area corresponding to an area other than the pixel area and is sequentially spaced apart from each other; A black matrix positioned in an overlay region of the color filter, the black matrix having a thickness equal to that of the color filter; A common electrode formed in an area covering the color filter and the black matrix; A second alignment layer formed in a region covering the common electrode; A liquid crystal display device including a liquid crystal layer interposed between the first and second alignment layers is provided.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

-- 제 1 실시예 --First Embodiment

도 4a, 4b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 액정표시장치용 컬러필터 기판에 대한 도면으로서, 도 4a는 평면도이고, 도 4b는 상기 도 4a의 절단선 IV-IV에 따라 절단된 단면도이다.4A and 4B are views illustrating a color filter substrate for a liquid crystal display according to a first embodiment of the present invention. FIG. 4A is a plan view and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along the line IV-IV of FIG. 4A. .

도시한 바와 같이, 화소 영역(P)별로 위치하며, 서로 일정한 오버레이(III)를 가지는 적, 녹, 청 컬러필터(120a, 120b, 120c)가 차례대로 반복배열되어 컬러필터(120)를 이루고, 상기 컬러필터(120)의 컬러별 오버레이(III) 영역에는 블랙매트릭스(122)가 형성되어 있고, 상기 컬러필터(120) 및 블랙매트릭스(122)를 덮는 영역에는 투명 전극(124) 및 배향막(126)이 차례대로 형성되어 있다.As shown, the red, green, and blue color filters 120a, 120b, and 120c, which are positioned for each pixel region P and have a constant overlay III, are sequentially arranged to form the color filter 120. A black matrix 122 is formed in an overlay III region for each color of the color filter 120, and a transparent electrode 124 and an alignment layer 126 are formed in an area covering the color filter 120 and the black matrix 122. ) Are formed in order.

한 예로, 상기 블랙매트릭스(122)를 이루는 물질은 크롬(Cr)계 금속물질에서 선택되며, 컬러필터(120)가 형성된 기판 전면에 증착된 다음 별도의 사진식각 공정없이 식각처리로 형성될 수 있으며, 전술한 식각 공정은 습식식각(wet etching) 공정을 이용하는 것이 바람직하다.For example, the material forming the black matrix 122 may be selected from a chromium (Cr) -based metal material, deposited on the entire surface of the substrate on which the color filter 120 is formed, and then formed by etching without a separate photolithography process. In the etching process, it is preferable to use a wet etching process.

이하, 도 4b를 통해 본 실시예에 따른 컬러필터 기판의 적층 구조를 살펴보면, 기판(110) 상에 서로 일정한 오버레이(III)를 가지며, 서로 이격되게 적, 녹, 청 컬러필터(120a, 120b, 120c)로 이루어진 컬러필터(120)가 형성되어 있고, 컬러필터(120)의 오버레이(III) 영역에는, 상기 컬러필터(120)와 동일한 두께(D1)를 가지는 블랙매트릭스(122)가 형성되어 있고, 컬러필터(120) 및 블랙매트릭스(122)를 덮는 영역에는 투명 전극(124)이 형성되어 있고, 투명 전극(124) 상부에는 배향막(126)이 형성되어 있다.Hereinafter, referring to FIG. 4B, the stacked structure of the color filter substrate according to the present embodiment has a predetermined overlay III on the substrate 110 and is spaced apart from each other in red, green, and blue color filters 120a and 120b. A color filter 120 formed of 120c is formed, and a black matrix 122 having the same thickness D1 as the color filter 120 is formed in the overlay III region of the color filter 120. The transparent electrode 124 is formed in an area covering the color filter 120 and the black matrix 122, and the alignment layer 126 is formed on the transparent electrode 124.

본 실시예에서는, 컬러필터의 컬러별 오버레이 영역에 블랙매트릭스를 형성하며, 컬러필터와 블랙매트릭스를 서로 동일한 두께치로 형성하기 때문에, 투명 전극 및 배향막이 형성되기 전 기판의 평탄성을 높여, 기존과 다르게 컬러필터의 오버레이 구간에서의 불량 발생을 미연에 방지할 수 있다.In this embodiment, since the black matrix is formed in the overlay area for each color of the color filter, and the color filter and the black matrix are formed to have the same thickness value, the flatness of the substrate is increased before the transparent electrode and the alignment layer are formed. The occurrence of defects in the overlay section of the color filter can be prevented in advance.

이하, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치용 컬러필터 기판의 제조 공정을 통해 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the manufacturing process of the color filter substrate for the liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention will be described in more detail.

-- 제 2 실시예 --Second Embodiment

도 5a 내지 5d는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시장치용 컬러필터 기판의 제조 공정을 단계별로 나타낸 단면도이다.5A through 5D are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of a color filter substrate for a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 5a는, 기판(210) 상에 감광성 컬러 안료를 이용한 사진식각 공정에 의해, 적, 녹, 청 컬러필터(212a, 212b, 212c)를 차례대로 형성하여 컬러필터(212)를 형성하는 단계이다.FIG. 5A illustrates a step of forming the color filter 212 by sequentially forming the red, green, and blue color filters 212a, 212b, and 212c on the substrate 210 by a photolithography process using a photosensitive color pigment. .

이때, 상기 적, 녹, 청 컬러필터(212a, 212b, 212c)의 컬러별 간격은 오버레이(V)로 정의되며, 상기 컬러별 오버레이(V)는 컬러필터(212)의 사진식각공정 조건에 의해 조절될 수 있다.In this case, the red, green, and blue color filters 212a, 212b, and 212c are spaced by the color of the overlay (V), and the overlay for each color (V) is determined by the photolithography process conditions of the color filter (212). Can be adjusted.

본 실시예에서는, 컬러필터(212)가 형성된 기판 상에 블랙매트릭스(미도시)를 형성하기 때문에, 상기 오버레이(V)는 블랙매트릭스의 형성폭을 결정짓게 되므로, 블랙매트릭스의 형성폭에 대응되는 오버레이(V)를 설계하는 것이 중요하다.In the present embodiment, since the black matrix (not shown) is formed on the substrate on which the color filter 212 is formed, the overlay V determines the formation width of the black matrix, and thus corresponds to the formation width of the black matrix. It is important to design the overlay (V).

도 5b에서는, 상기 컬러필터(212)를 덮는 전면에 블랙매트릭스 물질(214)을 형성하는 단계이고, 도 5c에서는 상기 컬러필터(212) 표면을 노출시키는 두께치(D2)로 블랙매트릭스 물질(214)을 별도의 사진식각 공정없이 식각하여 블랙매트릭스(216)를 형성하는 단계로서, 통상적으로 컬러필터(212)는 감광성 컬러 안료를 이용한 건식식각 공정에 의해 형성되므로, 상기 블랙매트릭스(216)는 컬러필터(212)와 식각선택비를 가질 수 있는 크롬계 금속물질을 이용한 습식식각 공정에 의해 형성되는 것이 바람직하다.In FIG. 5B, the black matrix material 214 is formed on the entire surface of the color filter 212. In FIG. 5C, the black matrix material 214 has a thickness value D2 exposing the surface of the color filter 212. ) To form a black matrix 216 by etching the photo matrix without a separate photo etching process. Since the color filter 212 is typically formed by a dry etching process using a photosensitive color pigment, the black matrix 216 may be colored. It is preferably formed by a wet etching process using a chromium-based metal material which may have an etch selectivity with the filter 212.

이와 같이, 본 실시예에서는 컬러필터(212)를 형성한 다음, 컬러필터(212) 및 컬러필터(212)의 컬러별 오버레이(V) 영역내에 블랙매트릭스 물질(상기 도 5b의 214)을 형성한 다음, 별도의 사진식각 공정추가없이 컬러필터(212)의 표면을 노출시키는 두께치(D2)로 블랙매트릭스 물질(상기 도 5b의 214)을 식각처리하는 방법으로 블랙매트릭스(216)를 형성하기 때문에, 미도시한 투명 전극 및 배향막 형성 단계 전 기판의 전체적인 평탄도를 높일 수 있다.As described above, in the present embodiment, the color filter 212 is formed, and then a black matrix material (214 of FIG. 5B) is formed in the color filter 212 and the overlay color V region of the color filter 212. Next, since the black matrix 216 is formed by etching the black matrix material (214 of FIG. 5B) with a thickness value D2 exposing the surface of the color filter 212 without an additional photo etching process. In addition, the overall flatness of the substrate before the transparent electrode and the alignment layer forming step, which are not illustrated, may be increased.

또한, 상기 블랙매트릭스(216)는 컬러필터(212)의 오버레이(V) 영역에 형성되기 때문에 오버레이(V) 영역으로 오염성분이 트랩되는 것을 방지할 수 있고, 동시에 컬러필터(212)와 블랙매트릭스(216)가 이루는 평탄성에 의해 넓은 오버레이에 의해 발생되는 러빙 손상(rubbing damage) 또한 방지할 수 있다.In addition, since the black matrix 216 is formed in the overlay V region of the color filter 212, contaminants may be prevented from being trapped in the overlay V region, and at the same time, the color filter 212 and the black matrix may be prevented. The flatness of 216 can also prevent rubbing damage caused by a wide overlay.

도 5d는, 상기 컬러필터(212) 및 블랙매트릭스(216)를 덮는 영역에 투명 전극(218) 및 배향막(220)을 차례대로 형성하는 단계이다.FIG. 5D is a step of sequentially forming the transparent electrode 218 and the alignment layer 220 in a region covering the color filter 212 and the black matrix 216.

한 예로, 상기 투명 전극(218)은 ITO(indium tin oxide)로 이루어지고, 공통전극으로 이용된다.For example, the transparent electrode 218 is made of indium tin oxide (ITO) and used as a common electrode.

-- 제 3 실시예 --Third Embodiment

도 6a, 6b는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 액정표시장치에 대한 도면으로서, 도 6a는 평면도이고, 도 6b는 상기 도 6a의 절단선 VII-VII에 따른 절단된 단면도이며, 상기 제 1 실시예에 따른 컬러필터 기판의 적층 구조를 중심으로 도시하였다.6A and 6B are views of a liquid crystal display according to a third exemplary embodiment of the present invention. FIG. 6A is a plan view, and FIG. 6B is a cross-sectional view taken along the cutting line VII-VII of FIG. 6A. The stacking structure of the color filter substrate according to the embodiment is illustrated.

도 6a에서는, 제 1 방향으로 게이트 배선(312)이 형성되어 있고, 제 1 방향과 교차되는 제 2 방향으로 데이터 배선(316)이 형성되어 있으며, 상기 게이트 배선(312) 및 데이터 배선(316)이 교차되는 지점에는 박막트랜지스터(T)가 형성되어 있고, 상기 게이트 배선(312) 및 데이터 배선(316)의 교차영역으로 정의되는 화소 영역(P)에는 상기 박막트랜지스터(T)와 연결되는 화소 전극(320)이 형성되어 있다.In FIG. 6A, the gate wiring 312 is formed in the first direction, and the data wiring 316 is formed in the second direction crossing the first direction, and the gate wiring 312 and the data wiring 316 are formed. The thin film transistor T is formed at the intersection point, and the pixel electrode P is connected to the thin film transistor T in the pixel area P defined as an intersection area of the gate line 312 and the data line 316. 320 is formed.

상기 게이트 배선(312) 및 데이터 배선(316) 그리고, 박막트랜지스터(T) 영역에 걸친 빗금친 영역은 블랙매트릭스 형성부를 이루는 미도시한 컬러필터의 오버레이(VI) 영역에 해당된다.The hatched region across the gate wiring 312 and the data wiring 316 and the thin film transistor T region corresponds to the overlay VI region of the color filter, which is not shown, forming the black matrix forming portion.

도면으로 상세히 제시하지 않았지만, 컬러필터 기판 구조는 상기 제 1 실시예 구조를 적용할 수 있다.Although not shown in detail in the drawings, the color filter substrate structure may apply the structure of the first embodiment.

이하, 도 6b를 통해 본 실시예에 따른 액정표시장치의 단면구조를 살펴보면,서로 대향되게 제 1, 2 기판(310, 330)이 배치되어 있고, 상기 제 1 기판(310)의 내부면에는 게이트 절연막(312)이 형성되어 있고, 게이트 절연막(312) 상부에는 화소 영역(P)을 사이에 두고 서로 이격되게 데이터 배선(316)이 형성되어 있으며, 데이터 배선(316)을 덮는 영역에는 보호층(318)이 형성되어 있고, 보호층(318) 상부의 화소 영역(P)에는 화소 전극(320)이 형성되어 있다.Hereinafter, referring to FIG. 6B, the cross-sectional structure of the liquid crystal display according to the present exemplary embodiment is provided with first and second substrates 310 and 330 disposed to face each other, and a gate is formed on an inner surface of the first substrate 310. The insulating film 312 is formed, and the data wiring 316 is formed on the gate insulating film 312 so as to be spaced apart from each other with the pixel region P interposed therebetween, and a protective layer is formed in the region covering the data wiring 316. 318 is formed, and a pixel electrode 320 is formed in the pixel region P above the passivation layer 318.

그리고, 상기 화소 전극(320)을 덮는 영역에는 제 1 배향막(322)이 형성되어 있다.The first alignment layer 322 is formed in an area covering the pixel electrode 320.

그리고, 상기 제 2 기판(330)의 내부면의 화소 전극(320)과 대응된 위치에는 적, 녹, 청 컬러필터(332a, 332b, 332c)가 서로 일정한 오버레이(VI)를 가지며 차례대로 배열되어 컬러필터(332)를 이룬다.In addition, the red, green, and blue color filters 332a, 332b, and 332c are arranged in sequence with each other at a position corresponding to the pixel electrode 320 on the inner surface of the second substrate 330. The color filter 332 is formed.

상기 오버레이(VI)는, 이웃하는 화소 전극(320) 사이 구간 및 화소 전극(320)의 가장자리를 일정간격 덮는 영역(VIII)과 대응되는 폭을 가지는 것을 특징으로 한다.The overlayer VI has a width corresponding to a region VIII between the neighboring pixel electrodes 320 and the region VIII that covers the edge of the pixel electrode 320 at a predetermined interval.

그리고, 상기 컬러필터(332)의 오버레이(VI) 영역에는 컬러필터(332)와 동일한 두께치(D3)를 가지는 블랙매트릭스(334)가 형성되어 있고, 컬러필터(332) 및 블랙매트릭스(334)를 덮는 영역에는 공통 전극(336) 및 제 2 배향막(338)이 차례대로 형성되어 있다.In addition, a black matrix 334 having the same thickness value D3 as the color filter 332 is formed in the overlay VI region of the color filter 332, and the color filter 332 and the black matrix 334 are formed. The common electrode 336 and the second alignment layer 338 are sequentially formed in the region covering the.

상기 제 1, 2 배향막(322, 338) 사이 구간에는 액정층(350)이 개재되어 있다.The liquid crystal layer 350 is interposed between the first and second alignment layers 322 and 338.

이와 같이, 본 실시예에 따른 액정표시장치 구조에 의하면, 비화소 영역에서의 빛을 차단하는 역할을 하는 블랙매트릭스가 컬러필터의 오버레이 구간에서, 상기 컬러필터와 동일한 두께치로 형성되기 때문에, 공통 전극 및 제 2 배향막의 하부 평탄도를 높일 수 있어, 기존의 컬러필터의 오버레이 영역에서의 불량 문제를 해결할 수 있다.As described above, according to the structure of the liquid crystal display device according to the present embodiment, since the black matrix which serves to block light in the non-pixel region is formed to have the same thickness value as that of the color filter in the overlay section of the color filter, the common electrode And it is possible to increase the bottom flatness of the second alignment layer, it is possible to solve the problem of defects in the overlay area of the existing color filter.

그러나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 취지에 어긋나지 않는 한도내에서 다양하게 변경하여 실시하여도 무방하다.However, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications may be made without departing from the spirit of the present invention.

예를 들어, 전술한 제 1 기판에 형성되는 어레이 소자의 적층 구조는 다양하게 변경가능하다.For example, the stacked structure of the array element formed on the first substrate described above can be variously changed.

이와 같이, 본 발명에 따른 액정표시장치용 컬러필터 기판 및 그 제조방법에 의하면, 컬러필터의 오버레이 영역을 블랙매트릭스 형성부로 이용하기 때문에, 기존의 컬러필터 오버레이 영역에서의 오염물질 트랩을 효과적으로 방지할 수 있고, 컬러필터와 블랙매트릭스를 동일한 두께치로 형성하기 때문에, 투명 전극 및 배향막의 하부 평탄도를 높일 수 있어, 배향막의 러빙 공정시 단차에 의한 오염물질 발생을 효과적으로 방지할 수 있어 생산수율을 높일 수 있다.As described above, according to the color filter substrate for the liquid crystal display and the manufacturing method thereof according to the present invention, since the overlay region of the color filter is used as the black matrix forming unit, contaminant traps in the existing color filter overlay region can be effectively prevented. Since the color filter and the black matrix are formed to the same thickness value, the flatness of the lower portion of the transparent electrode and the alignment film can be increased, and contaminants generated by the step during the rubbing process of the alignment film can be effectively prevented, thereby increasing the production yield. Can be.

Claims (8)

기판 상에, 서로 일정한 오버레이(overlay)를 가지며 차례대로 반복배열된 적(Red), 녹(Green), 청(Blue) 컬러필터(Color Filter)로 이루어진 컬러필터와;A color filter comprising red, green, and blue color filters sequentially arranged in sequence on the substrate and having repeated overlays; 상기 컬러필터의 오버레이 영역 내에 형성되며, 상기 컬러필터와 동일한 두께치를 가지는 블랙매트릭스와;A black matrix formed in an overlay region of the color filter and having the same thickness as that of the color filter; 상기 컬러필터 및 블랙매트릭스를 덮는 영역에 형성된 투명 전극과;A transparent electrode formed in an area covering the color filter and the black matrix; 상기 투명 전극을 덮는 영역에 형성된 배향막Alignment layer formed in a region covering the transparent electrode 을 포함하는 액정표시장치용 컬러필터 기판.Color filter substrate for a liquid crystal display device comprising a. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 블랙매트릭스는 크롬(Cr)계 금속물질인 액정표시장치용 컬러필터 기판.The black matrix is a chromium (Cr) -based metal material color filter substrate for a liquid crystal display device. 기판 상에, 서로 일정한 오버레이를 가지며 이격된 적, 녹, 청 컬러필터로 이루어진 컬러필터를 형성하는 단계와;Forming a color filter on the substrate, the color filter comprising a red, green, and blue color filter having a constant overlay therebetween; 상기 오버레이 영역 및 컬러필터를 덮는 기판 전면에 블랙매트릭스 물질을 형성하는 단계와;Forming a black matrix material on the entire surface of the substrate covering the overlay region and the color filter; 상기 컬러필터의 표면을 노출시키는 두께치로 상기 블랙매트릭스 물질을 식각하여, 상기 오버레이 영역 내 위치하는 블랙매트릭스 물질로 이루어지는 블랙매트릭스를 형성하는 단계와;Etching the black matrix material to a thickness that exposes the surface of the color filter to form a black matrix made of a black matrix material positioned in the overlay region; 상기 컬러필터 및 블랙매트릭스를 덮는 영역에 투명 전극을 형성하는 단계와;Forming a transparent electrode in an area covering the color filter and the black matrix; 상기 투명 전극을 덮는 영역에 배향막을 형성하는 단계Forming an alignment layer in a region covering the transparent electrode 를 포함하는 액정표시장치용 컬러필터 기판의 제조 방법.Method of manufacturing a color filter substrate for a liquid crystal display device comprising a. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 블랙매트릭스는 크롬계 물질에서 선택되며, 상기 블랙매트릭스 물질을 식각하는 단계는, 상기 크롬계 물질을 습식식각(wet etching) 공정에 의해 이루어지는 액정표시장치용 컬러필터 기판의 제조 방법.The black matrix is selected from a chromium-based material, and the etching of the black matrix material may include performing a wet etching process on the chromium-based material. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 오버레이 영역은, 화면을 구현하는 최소 영역인 화소 영역 이외의 영역과 대응되는 값으로 형성되는 액정표시장치용 컬러필터 기판의 제조 방법.The overlay region is a manufacturing method of a color filter substrate for a liquid crystal display device is formed with a value corresponding to a region other than the pixel region that is the minimum region for implementing the screen. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 배향막을 형성하는 단계에서는, 상기 배향막 물질을 도포하는 단계와, 상기 배향막 물질을 러빙(rubbing)처리하는 단계를 포함하는 액정표시장치용 컬러필터 기판의 제조 방법.The forming of the alignment layer may include applying the alignment layer material and rubbing the alignment layer material. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 컬러필터를 이루는 물질은 감광성 컬러안료에서 선택되며, 상기 컬러필터는 감광성 컬러안료를 이용한 사진식각(photolithography) 공정에 의해 이루어지는 액정표시장치용 컬러필터 기판의 제조 방법.The material constituting the color filter is selected from a photosensitive color pigment, and the color filter is a manufacturing method of a color filter substrate for a liquid crystal display device by a photolithography process using a photosensitive color pigment. 서로 대향되게 배치된 제 1, 2 기판과;First and second substrates disposed to face each other; 상기 제 1 기판 내부면에 서로 교차되어 형성된 게이트 배선 및 데이터 배선과;A gate wiring and a data wiring formed on the inner surface of the first substrate to cross each other; 상기 게이트 배선 및 데이터 배선의 교차지점에 형성된 박막트랜지스터와;A thin film transistor formed at an intersection point of the gate line and the data line; 상기 게이트 배선 및 데이터 배선의 교차영역으로 정의되는 화소 영역에 위치하며, 상기 박막트랜지스터와 연결되는 화소 전극과;A pixel electrode positioned in a pixel region defined as an intersection of the gate wiring and the data wiring, and connected to the thin film transistor; 상기 화소 전극을 덮는 영역에 형성된 제 1 배향막과;A first alignment layer formed in an area covering the pixel electrode; 상기 제 2 기판 내부면에서, 상기 화소 영역 이외의 영역에 대응되는 영역에 위치하는 오버레이를 가지며 서로 이격되게 차례대로 배열되는 적, 녹, 청 컬러필터로 이루어진 컬러필터와;A color filter on the inner surface of the second substrate, the color filter including an red, green, and blue color filter that has an overlay positioned in an area corresponding to an area other than the pixel area and is sequentially spaced apart from each other; 상기 컬러필터의 오버레이 영역 내에 위치하며, 상기 컬러필터와 동일한 두께치를 가지는 블랙매트릭스와;A black matrix positioned in an overlay region of the color filter, the black matrix having a thickness equal to that of the color filter; 상기 컬러필터 및 블랙매트릭스를 덮는 영역에 형성된 공통 전극과;A common electrode formed in an area covering the color filter and the black matrix; 상기 공통 전극을 덮는 영역에 형성된 제 2 배향막과;A second alignment layer formed in a region covering the common electrode; 상기 제 1, 2 배향막 사이에 개재된 액정층Liquid crystal layer interposed between the first and second alignment layers 을 포함하는 액정표시장치.Liquid crystal display comprising a.
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