KR200340507Y1 - Chemical temperature riser_ - Google Patents

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Abstract

본 고안은 반도체 제조에서 습식공정에 이용되는 약액을 소정온도로 승온시키기 위한 약액 승온기를 개시한다.The present invention discloses a chemical liquid warmer for raising the chemical liquid used in the wet process in semiconductor manufacturing to a predetermined temperature.

본 고안은 길이방향으로 가운데 구멍이 형성된 밀폐된 용기와, 용기의 일단에 약액의 유입 및 유출을 위해 마련되는 입구 및 출구와, 용기의 구멍에 탈착가능하도록 삽입되어 용기 내부의 약액을 승온시키는 히터를 포함하는 약액 승온기를 제공한다.The present invention is a closed container having a central hole in the longitudinal direction, an inlet and an outlet provided for inflow and outflow of the chemical liquid at one end of the container, and a heater inserted into the hole of the container to detachably heat the chemical liquid inside the container. It provides a drug temperature riser comprising a.

본 고안에 따르면, 통상적으로 제품수명이 짧은 히터와 용기를 별도의 부품으로 구성하여 히터의 수명이 다했을 때 히터만을 교체하여 약액 승온기를 사용할 수 있으므로 비용절감 효과가 크다.According to the present invention, a heater and a container having a short product life are usually configured as separate parts, and thus only a heater can be used to replace the heater when the life of the heater expires, thereby increasing the cost saving effect.

또한, 용기 중심부에 열원을 공급하는 히터가 장착되므로 열효율을 증대되어 승온시간 단축 및 용기의 온도를 안정적으로 조절할 수 있다.In addition, since a heater for supplying a heat source in the center of the container is mounted, the heat efficiency is increased, thereby reducing the temperature raising time and stably adjusting the temperature of the container.

Description

약액 승온기Chemical temperature riser

본 고안은 반도체 제조 공정에 이용되는 약액 승온기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 용기의 가운데 구멍에 히터를 탈착가능하게 결합하여 승온 효율을 높일 수 있으며, 히터만을 부분교체할 수 있도록 한 약액 승온기에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical temperature increaser used in a semiconductor manufacturing process, and more particularly, to a chemical liquid temperature increaser that can increase a temperature increase efficiency by detachably coupling a heater to a center hole of a container, and to replace only a heater. will be.

일반적으로 반도체 제조공정에서 웨이퍼를 습식 세척(wet cleaning)하거나 습식 식각(wet etching)하는 공정에서는 각종 약액(chemical)을 이용하는데 이와같은 약액은 통상적으로 고온으로 승온시켜 사용한다.In general, in the process of wet cleaning or wet etching a wafer in a semiconductor manufacturing process, various chemicals are used, and such chemicals are generally used at elevated temperatures.

웨이퍼 세정 또는 식각 공정에 이용되는 약액으로는 황산(H2SO4), 인산(H3PO4), SC1, SC2 등이 있으며, 이들은 후술하는 약액 승온기에 의해 60℃∼170℃로 충분히 가열된 상태로 사용된다.Chemical liquids used in the wafer cleaning or etching process include sulfuric acid (H 2 SO 4 ), phosphoric acid (H 3 PO 4 ), SC1, SC2, and the like. Used as a state.

도 1은 일반적인 약액 순환장치를 개략적으로 도시한 것이다.Figure 1 schematically shows a general chemical liquid circulation device.

도시된 바와 같이, 약액 순환 장치(1)의 구조는 약액이 저장되는 내부용기(2)와 외부용기(3)로 구성되며, 내부용기(2)에는 약액이 가득 채워져 세척 또는 식각공정을 수행하기 위한 웨이퍼가 약액에 의해 잠겨지도록 한다. 외부용기(3)는 여분의 약액이 저장되어 내부용기(2)에 약액을 공급하고 내부용기(2)를 넘쳐 흐르는 약액을 저장한다.As shown, the structure of the chemical liquid circulation device 1 is composed of an inner container 2 and an outer container 3 in which the chemical liquid is stored, and the inner container 2 is filled with the chemical liquid to perform a washing or etching process. Allow the wafer to be submerged by the chemical. The outer container 3 stores the excess chemical liquid to supply the chemical liquid to the inner container 2 and to store the chemical liquid flowing over the inner container 2.

외부용기(3)는 내부용기(2)에 약액을 공급할 수 있도록 공급펌프(P), 약액 필터(F) 및 약액 승온기(4) 등이 구비되어 배관으로 연결되어 있다.The outer container 3 is provided with a supply pump P, a chemical liquid filter F, and a chemical liquid warmer 4 and the like so as to supply the chemical liquid to the inner container 2, and are connected by piping.

공급펌프(P)는 외부용기(3)에 저장된 약액을 내부용기(2)로 공급할 수 있도록 하며, 약액 필터(F)는 약액에 포함된 이물질 등을 여과하며, 약액 승온기(4)는 내부용기(2)로 공급되는 약액을 고온으로 승온시킨다.Supply pump (P) to supply the chemical liquid stored in the outer container (3) to the inner container (2), the chemical liquid filter (F) filters the foreign substances contained in the chemical liquid, and the chemical liquid warmer (4) The chemical liquid supplied to the container 2 is heated to high temperature.

도 2는 종래의 약액 승온기의 구조를 도시한 개략 사시도이다.Figure 2 is a schematic perspective view showing the structure of a conventional chemical liquid temperature increaser.

도시된 바와 같이, 약액 승온기(4)는 석영재질로 된 약액 저장기(5), 약액 저장기(5)의 일단에 형성된 석영재질의 입출구 튜브(6), 약액 저장기(5)의 외주연에 설치된 고무히터(7), 약액 저장기(5)와 고무히터(7) 사이에 설치된 온도센서(8) 및 누출 센서(9)로 구성되어 있다.As shown, the chemical liquid warmer (4) is a chemical liquid reservoir (5) made of quartz, quartz inlet and outlet tube (6) formed at one end of the chemical liquid reservoir (5), the chemical liquid reservoir (5) It consists of the rubber heater 7 installed in the periphery, the temperature sensor 8, and the leak sensor 9 provided between the chemical | medical solution reservoir 5 and the rubber heater 7.

그런데 이와 같은 종래의 약액 승온기는 약액 저장기(5), 고무히터(7), 센서(8, 9) 등이 일체형으로 구성되어 있어 수명이 짧은 고무히터(7)의 기능이 저하되거나 손상될 때 약액 승온기(4) 전체를 교체해야하는 단점이 있었다.However, such a conventional chemical liquid riser is composed of a chemical liquid reservoir (5), rubber heaters (7), sensors (8, 9) integrally when the function of the short-life rubber heater (7) is deteriorated or damaged There was a disadvantage in that the whole chemical temperature riser 4 had to be replaced.

또한, 종래의 약액 승온기는 고무히터(7)로 약액 저장기(5)를 외부에서 가열하는 구조이므로 열효율이 낮아 약액의 승온시간이 많이 소요되는 단점이 있었다.In addition, the conventional chemical liquid temperature increaser has a disadvantage in that the temperature rise time of the chemical liquid is low because the thermal efficiency is low because the structure of heating the chemical liquid reservoir 5 by the rubber heater (7).

따라서, 본 고안은 이와 같은 종래의 문제점을 해소시키기 위하여 고안된 것으로, 약액 저장기 내부로 열이 발생되는 히터가 위치하도록하여 열 효율을 높일 수 있으며, 수명이 짧은 히터만을 부분교체할 수 있도록 구성된 약액 승온기를 제공하는데 그 목적이 있다.Therefore, the present invention is designed to solve such a conventional problem, it is possible to increase the thermal efficiency by placing a heater that generates heat inside the chemical liquid reservoir, and the chemical liquid configured to replace only the heater with a short life The purpose is to provide a temperature riser.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안은 반도체 제조에서 습식공정에 이용되는 약액을 소정온도로 승온시키기 위한 약액 승온기에 있어서, 길이방향으로 가운데 구멍이 형성된 밀폐된 용기와, 용기의 일단에 약액의 유입 및 유출을 위해 마련되는 입구 및 출구와, 용기의 구멍에 탈착가능하도록 삽입되어 용기 내부의 약액을 승온시키는 히터를 포함하는 약액 승온기를 제공한다.The present invention for achieving the above object is a chemical liquid temperature increaser for raising the chemical liquid used in the wet process in the semiconductor manufacturing to a predetermined temperature, the sealed container formed with a central hole in the longitudinal direction, the inflow of the chemical liquid into one end of the container And an inlet and an outlet provided for outflow, and a heater inserted into the hole of the container and detachably inserted therein to heat the chemical liquid inside the container.

본 고안의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술 분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 다음에 설명하는 고안의 바람직한 실시예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.The above object and various advantages of the present invention will become more apparent from the preferred embodiments of the present invention described below with reference to the accompanying drawings by those skilled in the art.

도 1은 일반적인 약액 순환 장치를 도시한 개략도,1 is a schematic view showing a general chemical liquid circulation device,

도 2는 종래의 약액 승온기의 구조를 도시한 개략 사시도,Figure 2 is a schematic perspective view showing the structure of a conventional chemical liquid warmer,

도 3은 본 고안에 따른 약액 승온기를 도시한 정면도,Figure 3 is a front view showing a chemical temperature increaser according to the present invention,

도 4는 본 고안에 따른 약액 승온기를 도시한 평면도,4 is a plan view showing a chemical temperature increaser according to the present invention,

도 5는 본 고안에 따른 약액 승온기를 도시한 측면도.Figure 5 is a side view showing a chemical liquid warmer according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ><Description of the code for the main part of the drawing>

10 ; 용기 11 ; 케이스10; Container 11; case

12 ; 입구 13 ; 출구12; Inlet 13; exit

14 ; 구멍 15 ; 히터14; Hole 15; heater

16 ; 온도센서 17 ; 누출센서16; Temperature sensor 17; Leak Sensor

18 ; 할로겐램프18; Halogen lamp

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 일실시예를 예시하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings illustrating a preferred embodiment of the present invention as follows.

도 3 및 도 4는 본 고안에 따른 약액 승온기를 도시한 정면도 및 평면도이며, 도 5는 그 측면도이다. 한편, 본 고안에 따른 약액 승온기가 설치되는 약액 순환 장치는 도 1을 참조하여 설명한다.3 and 4 are a front view and a plan view showing a chemical liquid temperature riser according to the present invention, Figure 5 is a side view thereof. On the other hand, the chemical liquid circulation apparatus is installed with a chemical liquid warmer according to the present invention will be described with reference to FIG.

도시된 바와 같이, 본 고안에 따른 약액 승온기는 반도체 제조공정에서 웨이퍼를 습식 세척(wet cleaning)하거나 습식 식각(wet etching)하는 공정에 사용되는 각종 약액(chemical)을 승온시키기 위해 약액 순환 장치의 배관상에 설치된다.As shown, the chemical liquid temperature increaser according to the present invention is a pipe of the chemical liquid circulation device to increase the temperature of various chemicals used in the wet cleaning (wet cleaning) or wet etching process of the wafer in the semiconductor manufacturing process It is installed on.

웨이퍼 세정 또는 식각 공정에 이용되는 약액으로는 황산(H2SO4), 인산(H3PO4), SC1, SC2 등이 있으며, 이들은 후술하는 약액 승온기에 의해 60℃∼170℃로 충분히 가열된 상태로 사용된다.Chemical liquids used in the wafer cleaning or etching process include sulfuric acid (H 2 SO 4 ), phosphoric acid (H 3 PO 4 ), SC1, SC2, and the like. Used as a state.

약액 승온기는 외부용기(10)에 저장된 상대적으로 낮은 온도의 약액을 용기(10)로 유입하여 승온시킨 후 웨이퍼가 잠겨있는 내부용기(10)로 공급한다.The chemical liquid warmer is supplied with a relatively low temperature chemical liquid stored in the outer container 10 to the container 10 to increase the temperature, and then supplies the wafer to the inner container 10 in which the wafer is locked.

본 고안의 바람직한 실시예에 따른 약액 승온기는 케이스(11) 내부에 입구(12) 및 출구(13)가 형성된 밀폐된 용기(10)가 고정설치된다.The chemical liquid temperature increaser according to the preferred embodiment of the present invention is fixedly installed with a sealed container 10 in which an inlet 12 and an outlet 13 are formed inside the case 11.

용기(10)는 투명한 석영 재질로 이루어지며, 길이방향으로 가운데 구멍이 형성된 밀폐된 원통형상을 갖는다.The container 10 is made of a transparent quartz material, and has a closed cylindrical shape with a central hole in the longitudinal direction.

입구(12)와 출구(13)는 용기(10)의 길이방향 양단에 마련되는 것이 승온에 용이하다. 입구(12)와 출구(13)를 동일한 방향으로 하고자 할 때는 입구(12)측 배관을 연장하여 출구(13)의 반대편에 위치한 용기(10)에 입구(12)를 형성한다.It is easy for the inlet 12 and the outlet 13 to be provided at both ends of the container 10 in the longitudinal direction. When the inlet 12 and the outlet 13 are to be in the same direction, the inlet 12 is formed in the container 10 located on the opposite side of the outlet 13 by extending the inlet 12 side pipe.

용기(10)의 가운데 구멍에는 히터(15)가 탈착가능하게 결합된다. 히터(15)는 용기(10) 내부에 저장된 약액을 승온시키는 역할을 한다.The heater 15 is detachably coupled to the center hole of the container 10. The heater 15 serves to heat up the chemical liquid stored in the container 10.

본 고안에 따르면, 히터(15)는 자외선을 방사하는 할로겐 램프(18)로 구성한다. 할로겐 램프(18)에서 방사되는 자외선은 투명한 석영재질의 용기(10)를 관통하여 약액에 흡수되면서 약액을 가열한다.According to the present invention, the heater 15 is composed of a halogen lamp 18 that emits ultraviolet light. Ultraviolet rays emitted from the halogen lamp 18 penetrate the transparent quartz container 10 and are absorbed by the chemical liquid to heat the chemical liquid.

히터(15)는 용기(10)와 별도의 구성품으로 이루어져 있으므로 기능저하 및 파손시 히터(15)만을 교체할 수 있다.Since the heater 15 is made up of a separate component from the container 10, only the heater 15 may be replaced when the function decreases and breaks.

용기(10) 외부에는 용기(10)에 저장된 약액의 온도를 검출하기 위한 온도센서(16), 용기(10)의 파손으로 인한 약액 누수를 검출하기 위한 누출센서(17) 등이 설치되며, 케이스(11)와 용기(10)의 외주연 사이에는 용기(10)의 단열을 위한 단열재(도시하지 않음.)가 설치된다.Outside the container 10 is provided with a temperature sensor 16 for detecting the temperature of the chemical liquid stored in the container 10, a leak sensor 17 for detecting the leakage of the chemical liquid due to breakage of the container 10, the case Between 11 and the outer periphery of the container 10, a heat insulating material (not shown) for insulating the container 10 is provided.

이상, 내용은 본 고안의 바람직한 일실시예를 단지 예시한 것으로 본 고안이 속하는 분야의 당업자는 본 고안의 요지를 변경시킴이 없이 본 고안에 대한 수정 및 변경을 가할 수 있다.In the above description, only exemplary embodiments of the present invention are illustrated, and those skilled in the art to which the present invention pertains may make modifications and changes to the present invention without changing the gist of the present invention.

따라서, 본 고안에 따르면, 통상적으로 제품수명이 짧은 히터와 용기를 별도의 부품으로 구성하여 히터의 수명이 다했을 때 히터만을 교체하여 약액 승온기를 사용할 수 있으므로 비용절감 효과가 크다.Therefore, according to the present invention, a heater and a container having a short product life are usually configured as separate parts, and thus only a heater can be used to replace the heater when the life of the heater expires, thereby increasing the cost reduction effect.

또한, 용기 중심부에 열원을 공급하는 히터가 장착되므로 열효율을 증대되어 승온시간 단축 및 용기의 온도를 안정적으로 조절할 수 있다.In addition, since a heater for supplying a heat source in the center of the container is mounted, the heat efficiency is increased, thereby reducing the temperature raising time and stably adjusting the temperature of the container.

Claims (2)

반도체 제조에서 습식공정에 이용되는 약액을 소정온도로 승온시키기 위한 약액 승온기에 있어서,In the chemical liquid temperature increaser for raising the chemical liquid used in the wet process in semiconductor manufacturing to a predetermined temperature, 길이방향으로 가운데 구멍이 형성된 밀폐된 용기와;A hermetically sealed container having a central hole in the longitudinal direction; 상기 용기의 일단에 약액의 유입 및 유출을 위해 마련되는 입구 및 출구와;An inlet and an outlet provided at one end of the container for inflow and outflow of the chemical liquid; 상기 용기의 구멍에 탈착가능하도록 삽입되어 용기 내부의 약액을 승온시키는 히터를 포함하는 약액 승온기.And a heater which is inserted into the hole of the container so as to be detachable and heats the chemical in the container. 제 1 항에 있어서, 상기 히터는 자외선이 발생되는 할로겐 램프로 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 승온기.The chemical liquid warmer of claim 1, wherein the heater is made of a halogen lamp which generates ultraviolet rays.
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