KR20030087226A

KR20030087226A - Net for combination

Info

Publication number: KR20030087226A
Application number: KR1020020025198A
Authority: KR
Inventors: 박유춘; 이태원; 박재영
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2002-05-08
Filing date: 2002-05-08
Publication date: 2003-11-14

Abstract

PURPOSE: A coupling nut is provided to prevent parts from being wasted by effectively removing damaged coupling portions. CONSTITUTION: A coupling nut(100) is formed at an outer portion thereof with a female screw section(110). A screw hole(120) having a female screw section is formed at an inner portion of the coupling nut(100). Two holes(132) are formed at a front of the coupling nut in order to insert tools into the two holes(132). The coupling nut(100) is used for coupling a ceramic injector(220) to an aluminum body(210) of a distribution ring. The coupling nut(100) is inserted into a hole(212) formed in the aluminum body(210). The hole(212) is formed with a female screw section so that the coupling nut(100) is screw-coupled into the hole(212). In a state that the coupling nut(100) is coupled to the aluminum body(210), a bolt section(222) of the ceramic injector(220) is screw-coupled into the screw hole(120).

Description

Fastening Nuts {NET FOR COMBINATION}

본 발명은 모제와 부재의 나사 체결을 위한 체결용 너트에 관한 것이다.The present invention relates to a fastening nut for screwing a mother material and a member.

일반적인 기계요소들은 동종 또는 이종 소재의 체결시 사이즈와 결합력, 체결 소재의 강도, 체결시 결합위치의 정확도 등을 중요한 제작 기준이었다. 그러나열악한(고온, 다습, plasma)환경에 노출이 되었을 때는 이러한 결합요소들을 제작한 소재의 특성에 따라서 많은 문제들이 발생하게 되었다. 특히 이종소재의 결합시 고온, 또는 많은 에너지를 받은 이종 결합소재들의 물성 차이에 의한 응력 발생으로 결합 요소들이 파손이 됨으로써 기계요소들을 더 이상 사용할 수 없게 되는 경우가 발생했다. 부분적으로 파손된 체결부위를 제거하여 다시 사용하기도 하나 제거하는 과정에서 나사산의 변형이나 사이즈 변화로 발생할 수 있는 여러 가지 문제들이 있다.General mechanical elements were important manufacturing criteria such as size and binding force when fastening homogeneous or dissimilar materials, strength of fastening material, and accuracy of fastening position when fastening. However, when exposed to poor (high temperature, high humidity, plasma) environment, many problems occurred depending on the characteristics of the material from which these coupling elements were made. In particular, when the dissimilar materials are bonded, mechanical elements can no longer be used due to breakage of the coupling elements due to stress generation due to high temperature or difference in physical properties of the heterogeneous bonded materials that receive a lot of energy. There are various problems that can occur due to the deformation of the thread or the change of size during the removal process.

예를 들어서 가스 분배 링(distribution ring)의 경우에 이런 나사산이나 홀 사이즈의 변형에 의해서 가스 분압이 변화되어 공정에 영향을 미치는 경우가 발생될 수 있다. 즉, 상기 가스 분배 링은 플라즈마(PLASMA)환경의 챔버(CHAMBER)내에서 사용되며, 이 가스 분배 링은 알루미늄 몸체(AL BODY)에 세라믹 인젝터(CERAMIC INJECTOR)들이 나사방식으로 체결되는 구조를 갖는다. 이 가스 분배 링의 몸체에서 세라믹 인젝터를 분리시 세라믹 인젝터의 체결부위(나사부위)가 파손이 되면서 알루미늄 몸체에 박혀 있는 상태가 되면 알루미늄 몸체 자체 또한 사용할 수가 없게 된다.For example, in the case of a gas distribution ring, a gas partial pressure may be changed by such a thread or hole size change to affect the process. That is, the gas distribution ring is used in a CHAMBER in a plasma environment, and the gas distribution ring has a structure in which ceramic injectors are screwed to the aluminum body AL BODY. When the ceramic injector is detached from the body of the gas distribution ring, when the fastening part (screw part) of the ceramic injector is damaged and is embedded in the aluminum body, the aluminum body itself cannot be used.

또 다른 예로써, AMT ULTIMA의 탑 노즐의 경우, 가운데 홀 부위에 세라믹 튜브가 삽입되는데, 분리하는 과정에서 나사가 파손되어 노즐 자체를 사용할 수 없게 되는 경우가 발생하게 된다. 이러한 문제가 발생하는 부품들(AL BODY 나 GAS DISTRIBUTION RING, 노즐) 등은 고가품이기 때문에 교체에 많은 비용이 발생하게 된다.As another example, in the case of the top nozzle of the AMT ULTIMA, a ceramic tube is inserted into the center hole, which causes the screw to be broken so that the nozzle itself cannot be used. Parts that have this problem (AL BODY or GAS DISTRIBUTION RING, NOZZLE) are expensive and expensive to replace.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 파손된 체결부위를 효과적으로 제거함으로서 나머지 부품이 망실되는 것을 방지할 수 있는 새로운 형태의 부품 체결을 위한 너트를 제공하는데 있다.The present invention is to solve such a conventional problem, an object of the present invention is to provide a nut for fastening a new type of component that can prevent the remaining parts are lost by effectively removing the broken fastening portion.

도 1 및 도 2는 가스 분배 링의 알루미늄 몸체와 세라믹 인젝터의 체결에 사용되는 본 발명의 체결용 너트를 보여주는 도면들이다.1 and 2 show the fastening nut of the invention for use in fastening the aluminum body of the gas distribution ring and the ceramic injector.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

110 : 수나사부110: male thread

120 : 나사홀120: screw hole

130 : 정면130: front

132 : 홈132: home

210 : 몸체210: body

220 : 세라믹 인젝터220: ceramic injector

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 제1나사홀을 갖는 모재와 수나사부를 갖는 부재를 나사결합 방식으로 체결하기 위한 너트는 상기 모재의 제1나사홀에 결합될 수 있도록 외주면에 수나사부가 형성된 그리고 상기 부재의 수나사부가 결합될 수 있도록 내주면에 암나사부가 형성된 제2나사홀을 갖는다.According to a feature of the present invention for achieving the above object, a nut for fastening the base material having a first screw hole and the member having a male screw portion in a screwing manner is provided on the outer circumferential surface to be coupled to the first screw hole of the base material. It has a second screw hole in which a male thread portion is formed and a female thread portion is formed in the inner circumferential surface so that the male thread portion of the member can be engaged.

본 발명에서 상기 인서트 너트는 상기 제1나사홀에 결합되도록 공구를 끼울 수 있는 공구체결홈을 더 포함할 수 있다.In the present invention, the insert nut may further include a tool fastening groove for inserting a tool to be coupled to the first screw hole.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부도면 도 1 내지 도 2에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호를 병기한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, FIGS. In addition, in the drawings, the same reference numerals are denoted together for components that perform the same function.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 체결용 너트(100)는 이중 체결 구조를 갖는 볼트식 너트 구조로써, 외주면에 수나사부(110)가 형성되어 있고, 내주면에는 암나사부가 형성된 나사홀(120)이 형성되어 있다. 그리고 너트(100)의 정면(130)에는 공구를 끼울 수 있는 2개의 홈(132)이 형성되어 있다.1 and 2, the fastening nut 100 according to the embodiment of the present invention is a bolt-type nut structure having a double fastening structure, the male screw portion 110 is formed on the outer peripheral surface, the female thread portion on the inner peripheral surface The formed screw hole 120 is formed. And the front surface 130 of the nut 100 is formed with two grooves 132 for fitting the tool.

상술한 바와 같은 구조를 갖는 체결용 너트(100)는 일예로써, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 가스 분배 링(distribution ring)의 알루미늄 몸체(210)에 세라믹 인젝터(220)를 체결하는데 사용될 수 있다.The fastening nut 100 having the structure as described above is used as an example to fasten the ceramic injector 220 to the aluminum body 210 of the gas distribution ring as shown in FIGS. 1 and 2. Can be.

즉, 상기 체결용 너트(100)는 상기 알루미늄 몸체(210)에 형성된 홀(212)에 삽입된다. 상기 홀(212)에는 암나사부가 형성되어 있어, 상기 체결용 너트(100)가 나사 결합된다. 이렇게 체결용 너트(100)가 상기 알루미늄 몸체(210)에 결합된 상태에서 상기 세라믹 인젝터(220)의 볼트부(222)가 상기 체결용 너트(100)의 나사홀(120)에 나사결합됨으로써 완료된다.That is, the fastening nut 100 is inserted into the hole 212 formed in the aluminum body 210. The hole 212 is formed with a female thread part, the fastening nut 100 is screwed. Thus, the bolt part 222 of the ceramic injector 220 is screwed into the screw hole 120 of the fastening nut 100 in a state where the fastening nut 100 is coupled to the aluminum body 210. do.

한편, 상기 가스 분배 링의 몸체(210)에서 세라믹 인젝터(220)를 분리하는 과정에서 상기 세라믹 인젝터의 체결부위(볼트부;222)가 파손 되어 상기 알루미늄 몸체(210)에 박혀 있는 상태가 되더라도, 상기 체결용 너트(100)만을 상기 알루미늄 몸체(210)로부터 분리시킴으로써 상기 알루미늄 몸체(210)에 손상을 주지 않게 된다.On the other hand, in the process of separating the ceramic injector 220 from the body 210 of the gas distribution ring, even if the fastening portion (bolt portion; 222) of the ceramic injector is damaged and embedded in the aluminum body 210, By separating only the fastening nut 100 from the aluminum body 210 is not damaged to the aluminum body 210.

이처럼, 본 발명의 체결용 너트를 적용함으로써 부러진 세라믹 인젝터를 효과적으로 상기 몸체로부터 제거하여 알루미늄 몸체를 사용할 수 있게 된다.As such, by applying the fastening nut of the present invention, it is possible to effectively remove the broken ceramic injector from the body to use the aluminum body.

이상에서, 본 발명에 따른 체결용 너트의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.In the above, the configuration and operation of the fastening nut according to the present invention has been shown in accordance with the above description and drawings, but this is only an example, and various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Of course.

이와 같은 본 발명을 적용하면 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다. 파손에 의해 발생될 수 있는 추가 망실을 막는 체결요소를 이용함으로써, 설비에 장착된 고가의 부품의 망실을 막을 수 있고,Applying the present invention as described above can obtain the following effects. By using fastening elements to prevent additional losses that may be caused by breakage, it is possible to prevent the loss of expensive components mounted on the installation,

따라서 이에 소요되는 공수의 절감은 물론 기존의 수리를 위해서 추가적으로 보유해야하는 재고의 부담을 줄일 수 있으며, 수리(repair)로 발생할 수 있는 공정상의 영향(gas 분압의 감소)을 줄일 수 있다.Therefore, it is possible to reduce the man-hours required for additional repairs as well as to reduce the labor required for this, and to reduce the process impact (reduction of gas partial pressure) that can be caused by repair (repair).

Claims

In a nut for fastening a base material having a first screw hole and a member having a male thread part by a screwing method:

And an insert nut having a second threaded hole formed at an outer circumferential surface thereof so as to be coupled to the first screw hole of the base material, and having a second threaded hole formed at an inner circumferential surface thereof so that the male threaded portion of the member can be coupled thereto. .

The method of claim 1,

The insert nut

Fastening nut further comprises a tool fastening groove for inserting the tool to be coupled to the first screw hole.