KR20030069775A - Semiconductor memory device capable of reading at high speed - Google Patents

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KR20030069775A
KR20030069775A KR1020020062633A KR20020062633A KR20030069775A KR 20030069775 A KR20030069775 A KR 20030069775A KR 1020020062633 A KR1020020062633 A KR 1020020062633A KR 20020062633 A KR20020062633 A KR 20020062633A KR 20030069775 A KR20030069775 A KR 20030069775A
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Abstract

본 발명은 고속 판독이 가능한 반도체 기억 장치를 제공하는 것으로, 두 개의 메모리셀 어레이 MA#00, MA#11 사이에 배치되는 센스 앰프대 SAB#0에는, 메모리셀 어레이 MA#00의 비트선쌍을 이퀄라이즈하는 이퀄라이즈 회로(20, 21)와, 메모리셀 어레이 MA#11의 비트선쌍을 이퀄라이즈하는 이퀄라이즈 회로(24, 25)에 더하여, 센스 앰프를 초기화하기 위한 이퀄라이즈 회로(22, 23)를 더 포함한다. 센스 앰프는 메모리셀 어레이 MA#00, MA#11 중 어느 하나의 워드선이 활성화 지시에 응답하여 펄스 형상의 이퀄라이즈 신호로 초기화된다. 따라서, 이전에 판독한 데이터는 센스 앰프(62, 63)에 유지되어 있으므로, 워드선의 활성화에 관계없이 센스 앰프(62, 63)에 유지되어 있는 데이터를 고속 판독하는 것이 가능해진다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a semiconductor memory device capable of high-speed reading, and equalizes bit line pairs of a memory cell array MA # 00 to a sense amplifier band SAB # 0 disposed between two memory cell arrays MA # 00 and MA # 11. In addition to the equalizing circuits 20 and 21 for rising and the equalizing circuits 24 and 25 for equalizing the bit line pairs of the memory cell array MA # 11, the equalizing circuits 22 and 23 for initializing the sense amplifiers. It further includes. In the sense amplifier, any one of the word lines of the memory cell arrays MA # 00 and MA # 11 is initialized with a pulse-like equalization signal in response to an activation instruction. Therefore, the previously read data is held in the sense amplifiers 62 and 63, so that the data held in the sense amplifiers 62 and 63 can be read at high speed regardless of the activation of the word lines.

Description

고속 판독이 가능한 반도체 기억 장치{SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE CAPABLE OF READING AT HIGH SPEED}Semiconductor memory capable of high-speed reading {SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE CAPABLE OF READING AT HIGH SPEED}

본 발명은 고속 동작이 가능한 반도체 기억 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor memory device capable of high speed operation.

최근의 컴퓨터에 주로 이용되는 반도체 기억 장치, 예컨대, 동기형 다이내믹 랜덤 액세스 메모리(SDRAM) 등은 워드선을 활성화하는 활성 커맨드(ACT 커맨드)와 센스 앰프에 축적된 값을 판독하는 리드 커맨드(RD 커맨드)의 조합으로 판독 동작을 실행한다. 복수의 컬럼 어드레스의 데이터를 연속하여 출력하는 버스트 동작을 실행하므로, 동일한 워드선에 대하여 RD 커맨드를 연속하여 입력하여도, SDRAM은 도중에서 끊기는 일없이 데이터를 출력할 수 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION A semiconductor memory device mainly used in modern computers, for example, a synchronous dynamic random access memory (SDRAM) or the like, an active command (ACT command) for activating a word line and a read command (RD command) for reading a value stored in a sense amplifier. Is performed in combination with the " Since a burst operation for continuously outputting data of a plurality of column addresses is performed, the SDRAM can output data without interruption even if an RD command is continuously input to the same word line.

단, 별도의 워드선에 연결되는 메모리셀에 대하여 기입 판독을 행하는 경우, 현재 활성화되어 있는 워드선을 비활성화한 후에 원하는 워드선을 활성화해야 한다. 그 동작에 시간이 필요하기 때문에, 판독하는 데이터가 도중에서 끊겨버려, 전송 레이트의 실효값이 저하한다.However, when writing and reading a memory cell connected to a separate word line, the desired word line must be activated after deactivating the currently active word line. Since the operation requires time, the data to be read is cut off midway, and the effective value of the transfer rate is lowered.

전송 레이트의 저하를 방지하기 위해서, SDRAM에서는, 메모리 뱅크라고 불리는 독립적으로 동작할 수 있는 부분에 메모리 영역이 분할되어 있다. 그러나, 동일한 메모리 뱅크 내의 복수의 로우 어드레스의 메모리셀에 액세스하는 경우에는, 메모리 영역을 메모리 뱅크로 분할하는 효과는 얻어지지 않았다.In order to prevent a drop in the transfer rate, in the SDRAM, a memory area is divided into parts that can be operated independently called a memory bank. However, when accessing memory cells of a plurality of row addresses in the same memory bank, the effect of dividing the memory area into memory banks has not been obtained.

도 21은 종래의 SDRAM의 센스 앰프대 주변의 구성을 나타낸 회로도이다.Fig. 21 is a circuit diagram showing a configuration around a sense amplifier stage of a conventional SDRAM.

도 21을 참조하면, 복수의 센스 앰프가 띠 형상으로 배열되는 센스 앰프대 SABX의 양편에 이 센스 앰프대를 공유하는 메모리셀 어레이 MA#00, MA#11이 배치된다. 메모리셀 어레이 MA#00은, 행렬 형상으로 배치되는 복수의 메모리셀 Cel100, Cel110, Cel101, Cel111, …을 포함한다. 각 메모리셀은 일정 전위인 셀 플레이트 전위 Vcp에 일단을 고정시킨 캐패시터(16)와, 대응하는 비트선과 캐패시터(16)의 타단 사이에 접속되어 대응하는 워드선에 접속되는 게이트를 갖는 트랜지스터(18)를 포함한다.Referring to Fig. 21, memory cell arrays MA # 00 and MA # 11 sharing this sense amplifier stage are arranged on both sides of the sense amplifier stage SABX in which a plurality of sense amplifiers are arranged in a band shape. The memory cell array MA # 00 includes a plurality of memory cells Cel100, Cel110, Cel101, Cel111,... Arranged in a matrix shape. It includes. Each memory cell has a capacitor 16 having one end fixed to the cell plate potential Vcp at a constant potential, and a transistor 18 having a gate connected to the corresponding bit line and the other end of the capacitor 16 to a corresponding word line. It includes.

센스 앰프대 SABX는 비트선쌍 BL0, /BL0에 대응하는, 센스 앰프(962), 이퀄라이즈 회로(922) 및 접속 회로(964)를 포함한다. 센스 앰프대 SABX는 비트선쌍 BL1, /BL1에 대응하는, 센스 앰프(963), 이퀄라이즈 회로(923) 및 접속 회로(965)를 더 포함한다.The sense amplifier band SABX includes a sense amplifier 962, an equalizing circuit 922, and a connection circuit 964, which correspond to bit line pairs BL0 and / BL0. The sense amplifier band SABX further includes a sense amplifier 963, an equalization circuit 923, and a connection circuit 965, corresponding to the bit line pairs BL1 and / BL1.

센스 앰프대 SABX는 신호 BLTG0의 활성화에 따라 도통하고, 비트선쌍 BL0, /BL0을 이퀄라이즈 회로(922) 및 센스 앰프(962)에 접속하여, 신호 BLTG0의 비활성화에 따라 센스 앰프(962) 및 이퀄라이즈 회로(922)를 비트선쌍 BL0, /BL0으로부터 분리하는 분리 게이트(960)와, 신호 BLTG0의 활성화에 따라 비트선쌍 BL1, /BL1을센스 앰프(963), 이퀄라이즈 회로(923)와 접속하고, 신호 BLTG0의 비활성화에 따라 센스 앰프(963) 및 이퀄라이즈 회로(923)를 비트선쌍 BL1, /BL1과 분리하는 분리 게이트(961)를 더 포함한다.The sense amplifier band SABX conducts upon activation of the signal BLTG0, and connects the bit line pairs BL0, / BL0 to the equalizing circuit 922 and the sense amplifier 962, and deactivates the sense amplifier 962 and equalization upon deactivation of the signal BLTG0. A separation gate 960 that separates the rise circuit 922 from the bit line pairs BL0 and / BL0, and the bit line pairs BL1 and / BL1 are connected to the sense amplifier 963 and the equalizing circuit 923 in response to the activation of the signal BLTG0. And a separation gate 961 that separates the sense amplifier 963 and the equalizing circuit 923 from the bit line pairs BL1 and / BL1 according to the deactivation of the signal BLTG0.

또, 센스 앰프(962) 및 이퀄라이즈 회로(922)는 메모리셀 어레이 MA#11에 포함되는 비트선쌍 BL10, /BL10에 공유되어 있다.The sense amplifier 962 and the equalizing circuit 922 are shared by the bit line pairs BL10 and / BL10 included in the memory cell array MA # 11.

이 때문에 센스 앰프대 SABX는 신호 BLTG1의 활성화에 따라 비트선쌍 BL10, /BL10을 센스 앰프(962) 및 이퀄라이즈 회로(922)에 접속하고, 신호 BLTG1의 비활성화에 따라 센스 앰프(962) 및 이퀄라이즈 회로(922)로부터 비트선쌍 BL10, /BL10을 분리하는 분리 게이트(966)와, 신호 BLTG1의 활성화에 따라 비트선쌍 BL11, /BL11을 센스 앰프(963) 및 이퀄라이즈 회로(923)와 접속하고 신호 BLTG1의 비활성화에 따라 센스 앰프(963) 및 이퀄라이즈 회로(923)로부터 비트선쌍 BL11, /BL11을 분리하는 분리 게이트(967)를 포함한다.For this reason, the sense amplifier band SABX connects the bit line pairs BL10 and / BL10 to the sense amplifier 962 and the equalizing circuit 922 in response to the activation of the signal BLTG1, and the sense amplifier 962 and equalization in response to the deactivation of the signal BLTG1. The separation gate 966 which separates the bit line pairs BL10 and / BL10 from the circuit 922, and the bit line pairs BL11 and / BL11 are connected to the sense amplifier 963 and the equalizing circuit 923 according to the activation of the signal BLTG1, The isolation gate 967 separates the bit line pairs BL11 and / BL11 from the sense amplifier 963 and the equalizing circuit 923 according to the deactivation of BLTG1.

이와 같이 센스 앰프의 레이아웃 면적을 삭감하기 때문에, 센스 앰프의 양측에 비트선쌍을 2조 마련하는 분리 센스 앰프 구성은 일반적으로 자주 사용된다.Since the layout area of the sense amplifier is reduced in this manner, a separate sense amplifier configuration in which two sets of bit line pairs are provided on both sides of the sense amplifier is generally used.

센스 앰프는 구동 신호 S0, /S0에 의해서 제어된다. 신호 S0, /S0은 블럭마다 독립된 동작을 행하기 때문에, 각 블럭의 번호를 부여하여 구별하는 것으로 한다. 따라서, 예컨대, 블럭 BLOCK0에 대응하는 구동 신호는 S0, 블럭1에 대응하는 구동 신호는 S1로 나타내어진다.The sense amplifier is controlled by the drive signals S0 and / S0. Since the signals S0 and / S0 perform independent operations for each block, it is assumed that the numbers of each block are assigned and distinguished. Thus, for example, the drive signal corresponding to block BLOCK0 is represented by S0, and the drive signal corresponding to block 1 is represented by S1.

이퀄라이즈 회로(922, 923)는 신호 BLEQ에 따라 상보인 비트선쌍을 접속하는 트랜지스터와, 신호 BLEQ에 따라 도통시켜 비트선쌍을 구성하는 두 개의 비트선을전위 VBL에 결합하는 두 개의 트랜지스터의 총 세 개의 트랜지스터를 포함한다.Equalizing circuits 922 and 923 comprise a total of three transistors for connecting a pair of complementary bit lines according to signal BLEQ, and two transistors for coupling two bit lines constituting the pair of bit lines by conducting according to signal BLEQ to potential VBL. Two transistors.

접속 회로(964, 965)는 각각 컬럼 선택선 CSL0, CSL1의 활성화에 따라 대응하는 비트선을 로컬 IO선 LIO, /LIO에 접속한다.The connection circuits 964 and 965 connect the corresponding bit lines to the local IO lines LIO and / LIO according to activation of the column select lines CSL0 and CSL1, respectively.

로컬 IO선 LIO, /LIO에 판독된 데이터는 신호 IOSW0에 따라 도통하는 접속 회로(968)에 의해서 글로벌 IO선 GIO, /GIO에 전달되어, 입출력 회로(14)에 인가된다.The data read in the local IO lines LIO and / LIO is transferred to the global IO lines GIO and / GIO by the connection circuit 968 conducting in accordance with the signal IOSW0 and applied to the input / output circuit 14.

도 22는 종래의 SDRAM의 주로 센스 앰프대의 제어에 이용되는 내부 신호를 발생하는 센스 앰프 제어 회로(1005)의 구성을 나타낸 회로도이다.Fig. 22 is a circuit diagram showing the configuration of a sense amplifier control circuit 1005 for generating an internal signal mainly used for control of a sense amplifier stage of a conventional SDRAM.

도 22를 참조하면, 제어 회로(1002)는 커맨드 CMD와 어드레스 ADDRESS를 수취하고, 커맨드로서 활성 커맨드 ACT나 프리차지 커맨드 PRE가 외부로부터 인가된 경우에 메모리 블럭 BLOCK0에 대응하는 어드레스 ADDRESS가 입력되면 이에 따라 발생되는 신호 ACT0, PRE0을 출력한다.Referring to FIG. 22, the control circuit 1002 receives a command CMD and an address ADDRESS, and when an address ADDRESS corresponding to the memory block BLOCK0 is input when an active command ACT or a precharge command PRE is applied from the outside as a command, the control circuit 1002 receives the command CMD and the address ADDRESS. Outputs the signals ACT0 and PRE0 generated accordingly.

여기서, 메모리 블럭 BLOCK0을 대표적으로 취급하므로, 이하 메모리 블럭 BLOCK0을 선택하는 신호 B0SEL에 관련되는 구성만을 나타내는 것으로 한다. 또한, 설명의 편의상, 입력되는 커맨드는 전부 뱅크0을 대상으로 하는 것으로 한다.Since the memory block BLOCK0 is represented here, only the configuration related to the signal B0SEL for selecting the memory block BLOCK0 will be described below. For convenience of explanation, all the input commands assume bank 0.

센스 앰프 제어 회로(1005)는 신호 ACT0이 H 레벨이고, 또한, 로우 어드레스 RA5, RA6이 모두 L 레벨인 것을 검지하여 출력을 L 레벨로 활성화하는 게이트 회로(1038)와, 게이트 회로(1038)의 출력을 받는 인버터(1040)와, 인버터(1040)의 출력에 따라 세트되고 신호 PRE0에 따라 리셋되는 SR 래치 회로(1042)를 포함한다. SR 래치 회로(1042)의 Q 출력으로부터는 메모리 블럭 BLOCK0의 선택을 나타내는B0SEL이 출력된다.The sense amplifier control circuit 1005 detects that the signal ACT0 is at the H level, and that the row addresses RA5 and RA6 are at the L level, and the gate circuit 1038 for activating the output at the L level and the gate circuit 1038. An inverter 1040 receiving the output and an SR latch circuit 1042 set in accordance with the output of the inverter 1040 and reset in accordance with the signal PRE0. From the Q output of the SR latch circuit 1042, B0SEL indicating the selection of the memory block BLOCK0 is output.

센스 앰프 제어 회로(1005)는 신호 B0SEL, ACT0이 모두 H 레벨이며, 또한, 신호 RA4가 L 레벨인 경우에 출력을 L 레벨로 활성화하는 게이트 회로(1012)와, 게이트 회로(1012)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(1014)와, 신호 PRE0을 받아 지연시키는 지연 회로(1028)와, 지연 회로(1028)의 출력에 따라 세트되고, 인버터(1014)의 출력에 따라 리셋되어 Q 출력으로부터 신호 BLTG1을 출력하는 SR 래치 회로(1016)를 더 포함한다.The sense amplifier control circuit 1005 has an output of the gate circuit 1012 and the gate circuit 1012 for activating the output to the L level when the signals B0SEL and ACT0 are both at the H level and the signal RA4 is at the L level. Inverter 1014 for receiving and inverting, delay circuit 1028 for receiving and delaying signal PRE0, and set according to the output of delay circuit 1028, reset in accordance with the output of inverter 1014, and reset signal BLTG1 from the Q output. It further includes an SR latch circuit 1016 to output.

센스 앰프 제어 회로(1005)는 신호 RA4, B0SEL, ACT0을 받는 NAND 회로(1018)와, NAND 회로(1018)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(1020)와, 지연 회로(1028)의 출력에 따라 세트되고, 인버터(1020)의 출력에 따라 리셋되어 Q 출력으로부터 신호 BLTG0을 출력하는 SR 래치(1022)와, 지연 회로(1028)의 출력에 따라 세트되고 신호 ACT0에 따라 리셋되어 이퀄라이즈 신호 BLEQ를 출력하는 SR 래치 회로(1024)를 더 포함한다.The sense amplifier control circuit 1005 is set in accordance with the output of the NAND circuit 1018 receiving the signals RA4, B0SEL, and ACT0, the inverter 1020 which receives the output of the NAND circuit 1018, and inverts it, and the delay circuit 1028. SR latch 1022, which is reset in accordance with the output of the inverter 1020 and outputs the signal BLTG0 from the Q output, and is set in accordance with the output of the delay circuit 1028 and reset in accordance with the signal ACT0 to output the equalized signal BLEQ. SR latch circuit 1024 is further included.

센스 앰프 제어 회로(1005)는 신호 ACT0을 받는 지연 회로(1026)와, 지연 회로(1026)의 출력을 받는 지연 회로(1030)와, 지연 회로(1030)의 출력 및 신호 B0SEL을 받는 NAND 회로(1032)와, NAND 회로(1032)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(1034)와, 인버터(1034)의 출력에 따라 세트되고 지연 회로(1028)의 출력에 따라 리셋되어 Q 출력으로부터 신호 S0을 출력하는 SR 래치 회로(1036)와, 지연 회로(1026)의 출력에 따라 세트되고 신호 PRE0에 따라 리셋되어 Q 출력으로부터 신호 RAE를 출력하는 SR 래치 회로(1044)를 더 포함한다.The sense amplifier control circuit 1005 includes a delay circuit 1026 that receives the signal ACT0, a delay circuit 1030 that receives the output of the delay circuit 1026, and a NAND circuit that receives the output of the delay circuit 1030 and the signal B0SEL ( 1032, an inverter 1034 which receives and inverts the output of the NAND circuit 1032, and is set in accordance with the output of the inverter 1034 and reset in accordance with the output of the delay circuit 1028 to output the signal S0 from the Q output. And an SR latch circuit 1036 and an SR latch circuit 1044 that is set in accordance with the output of the delay circuit 1026 and reset in accordance with the signal PRE0 to output the signal RAE from the Q output.

신호 RAE는 로우 어드레스를 디코드하는 로우 디코더(1046)를 활성화하기 위한 신호이다. 로우 디코더(1046)는 신호 RAE의 활성화에 따라서, 워드선 WL00∼WL7F 중 어느 하나를 활성화한다.Signal RAE is a signal for activating row decoder 1046 which decodes the row address. The row decoder 1046 activates any one of the word lines WL00 to WL7F in accordance with the activation of the signal RAE.

도 23은 종래의 센스 앰프대 SABX의 동작을 설명하기 위한 동작 파형도이다.Fig. 23 is an operation waveform diagram for explaining the operation of the conventional sense amplifier stage SABX.

도 21, 도 23을 참조하면, 시각 t0의 초기 상태에 있어서는, 신호 BLTG0, BLTG1은 모두 H 레벨이며, 분리 게이트(960, 961, 966, 967)는 센스 앰프(962, 963)를 대응하는 비트선에 접속한다. 이 때 신호 BLEQ가 H 레벨이므로, 이퀄라이즈 회로(922, 923)는 활성화되어 있고, 비트선쌍은 전원 전위 VDD의 2분의 1의 전위인 전위 VBL로 결합되어 있다.21 and 23, in the initial state of time t0, the signals BLTG0 and BLTG1 are all at the H level, and the isolation gates 960, 961, 966, and 967 correspond to the bits corresponding to the sense amplifiers 962 and 963. Connect to the line. At this time, since the signal BLEQ is at the H level, the equalizing circuits 922 and 923 are activated, and the bit line pairs are coupled to the potential VBL which is a potential of the power supply potential VDD.

구동 신호 S0, /S0, S1, /S1은 전위 VBL로 설정되어 있다. 또한, 컬럼 선택선 CSL0, CSL1은 L 레벨이고, 접속 회로(964, 965)는 모두 비도통 상태이며 비트선과 로컬 IO선 LIO는 분리되어 있다.The drive signals S0, / S0, S1, / S1 are set to the potential VBL. In addition, the column select lines CSL0 and CSL1 are at the L level, the connection circuits 964 and 965 are both in a non-conductive state, and the bit line and the local IO line LIO are separated.

시각 t1에 있어서, 커맨드 CMD로서 활성 커맨드 ACT가 인가되면, 신호 BLEQ와 신호 BLTG1은 모두 H 레벨로부터 L 레벨로 변화된다. 이퀄라이즈 회로(922, 923)는 비활성화되어 이퀄라이즈 동작을 중지한다. 또한, 분리 게이트(966, 967)는 비트선쌍 BL10, /BL10, BL11, /BL11을 대응하는 센스 앰프로부터 분리한다.At time t1, when the active command ACT is applied as the command CMD, both the signal BLEQ and the signal BLTG1 change from the H level to the L level. Equalizing circuits 922 and 923 are deactivated to stop the equalizing operation. In addition, the separation gates 966 and 967 separate the bit line pairs BL10, / BL10, BL11, / BL11 from the corresponding sense amplifiers.

도 22의 지연 회로(1026)에 대응하는 소정의 지연 시간 경과 후에는, 지정된 로우 어드레스에 대응하는 워드선 WL00이 활성화된다. 메모리셀 Cel100, Cel101에 포함되는 트랜지스터가 도통되고, 각 메모리셀의 전위가 대응하는 비트선으로 판독된다.After a predetermined delay time corresponding to the delay circuit 1026 of FIG. 22 has elapsed, the word line WL00 corresponding to the designated row address is activated. The transistors included in the memory cells Cel100 and Cel101 are turned on, and the potentials of the memory cells are read out to the corresponding bit lines.

또한, 지연 회로(1030)에 대응하는 지연 시간 경과 후에 구동 신호 S0, /S0이 각각 H 레벨, L 레벨로 되어 센스 앰프가 활성화된다. 센스 앰프는 활성화되어 비트선쌍의 전위차를 증폭한다.Further, after the delay time corresponding to the delay circuit 1030 has elapsed, the drive signals S0 and / S0 become H level and L level, respectively, so that the sense amplifier is activated. The sense amplifier is activated to amplify the potential difference between the bit line pairs.

시각 t2에는, 리드 커맨드 RD 및 어드레스00이 외부로부터 입력된다. 그렇게 하면, 어드레스에 대응하는 컬럼 선택선 CSL0이 H 레벨로 활성화되고, 접속 회로(964)가 도통되어 센스 앰프(962)에 의해서 증폭된 데이터가 로컬 IO선쌍으로 전달된다. 계속해서 신호 IOSW0이 H 레벨로 활성화되고, 접속 회로(968)가 도통되어 로컬 IO선쌍의 전위가 글로벌 IO선쌍을 거쳐서 입출력 회로(14)로 전달된다.At time t2, the read command RD and the address 00 are input from the outside. By doing so, the column select line CSL0 corresponding to the address is activated at the H level, the connection circuit 964 is turned on, and the data amplified by the sense amplifier 962 is transferred to the local IO line pair. Subsequently, the signal IOSW0 is activated at the H level, and the connection circuit 968 is turned on so that the potential of the local IO line pair is transmitted to the input / output circuit 14 via the global IO line pair.

시각 t3에 있어서, 프리차지 커맨드 PRE가 외부로부터 인가되면, 그 직후에는 워드선 WL00이 L 레벨로 비활성화되어, 도 22의 지연 회로(1028)에 상당하는 지연 시간 경과 후에 신호 BLTG1이 H 레벨, 신호 BLEQ가 H 레벨, 신호 S0, /S0이 이퀄라이즈 상태로 각각 설정된다.When the precharge command PRE is applied from the outside at time t3, the word line WL00 is deactivated to the L level immediately after that, and after the delay time corresponding to the delay circuit 1028 in Fig. 22 has elapsed, the signal BLTG1 is at the H level, the signal. BLEQ is set to H level, signals S0 and / S0 are equalized, respectively.

시각 t4에 있어서, 활성 커맨드 ACT 및 어드레스30이 외부로부터 입력된다. 따라서, 워드선 WL30이 H 레벨로 활성화되어, 이미 설명한 시각 t1에 있어서의 동작과 마찬가지로 메모리셀로부터 데이터가 판독되어 센스 동작이 행해진다.At time t4, the active command ACT and address 30 are input from the outside. Therefore, the word line WL30 is activated at the H level, and similarly to the operation at time t1 described above, data is read from the memory cell to perform a sense operation.

시각 t5에서는, 라이트 커맨드 WRT 및 어드레스00이 외부로부터 입력된다. 따라서, 신호 IOSW1 및 컬럼 선택선 CSL0이 H 레벨로 설정되어, 입출력 회로(14)로부터 인가되는 데이터가 글로벌 IO선 및 로컬 IO선을 거쳐서 메모리셀에 기록된다.At time t5, the write command WRT and address 00 are input from the outside. Therefore, the signal IOSW1 and the column select line CSL0 are set to the H level so that the data applied from the input / output circuit 14 is written to the memory cell via the global IO line and the local IO line.

시각 t6에 있어서는, 다시 프리차지 커맨드 PRE가 외부로부터 입력된다. 따라서, 워드선 WL30은 L 레벨로 비활성화되고, 신호 BLTG, BLEQ는 H 레벨로 설정되며 비트선쌍은 전위 VBL로 전위가 설정된다. 또한 구동 신호 S1, /S1은 모두 전위 VBL로 설정되어 대기 상태로 된다.At time t6, the precharge command PRE is input again from the outside. Therefore, the word line WL30 is deactivated to the L level, the signals BLTG and BLEQ are set to the H level, and the potential of the bit line pair is set to the potential VBL. In addition, the drive signals S1 and / S1 are both set to the potential VBL to be in a standby state.

시각 t8에 있어서, 리드 커맨드 RD 및 어드레스 01이 외부로부터 입력된다. 따라서, 컬럼 선택선 CSL1이 H 레벨로 활성화되고, 신호 IOSW0이 H 레벨로 활성화되며, 시각 t2의 경우와 마찬가지로, 센스 앰프에 의해서 증폭된 전위가 로컬 IO선 및 글로벌 IO선을 거쳐서 입출력 회로(14)로 전달된다.At time t8, the read command RD and address 01 are input from the outside. Therefore, the column select line CSL1 is activated at the H level, the signal IOSW0 is activated at the H level, and as in the case of the time t2, the potential amplified by the sense amplifier passes through the local IO line and the global IO line, and the input / output circuit 14 Is delivered.

이상 설명한 바와 같이, 동일 뱅크가 다른 워드선에 접속되는 메모리셀에 대하여, 판독, 기록을 실행하는 경우에는, 판독, 기록의 각 사이클에 대하여 커맨드 ACT, RD, PRE 또는 커맨드 ACT, WRT, PRE 세 개의 명령이 필요하게 된다. 이 경우, 연속하는 어드레스로부터의 판독을 반복하는 경우의 3배의 시간이 필요하므로, 데이터의 실효 전송 레이트를 크게 저하시켜 버린다.As described above, when reading and writing are executed for memory cells in which the same bank is connected to different word lines, the command ACT, RD, PRE, or the command ACT, WRT, PRE three for each cycle of reading and writing. Commands will be required. In this case, since the time required for repetition of reading from successive addresses is required, the effective transfer rate of data is greatly reduced.

이 문제에 대한 대책은, 종래에도, 일본 특허 출원 제2000-217069호, 일본 특허 공개 평성 제11-250653호, 일본 특허 공개 평성 제11-317072호, 일본 특허 공개 제2000-137982호 등의 공보에 나타내는 바와 같이 몇 개인가 제안되어 있다.Countermeasures against this problem are conventionally disclosed in Japanese Patent Application No. 2000-217069, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-250653, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-317072, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-137982, and the like. As shown below, several individuals have been proposed.

예컨대, 센스 앰프에 인접하여 래치 회로를 마련하고, 이 래치 회로로 센스 앰프의 데이터를 전송하여 유지되면, 센스 앰프를 초기화한 후에도 래치 회로로부터 이전 데이터의 판독을 고속으로 실행할 수 있다. 단, 래치 회로를 센스 앰프의 옆에 배치하는 것에 의한 칩 면적 증가가 단점이다.For example, if a latch circuit is provided adjacent to the sense amplifier, and the data of the sense amplifier is transmitted and held by the latch circuit, reading of previous data from the latch circuit can be performed at high speed even after the sense amplifier is initialized. However, the disadvantage is that the chip area is increased by arranging the latch circuit next to the sense amplifier.

또한, 일본 특허 공개 평성 제11-250653호 공보에 개시된 기술은 1조의 비트선쌍에 복수의 센스 앰프를 배치하는 구성을 취하고 있다. 이 기술도, 마찬가지로 칩 면적 증가의 단점이 매우 크고, 실제로 이들의 기술을 이용한 제품이 실현될 가능성은 낮다.Further, the technique disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 11-250653 has a configuration in which a plurality of sense amplifiers are arranged in a pair of bit line pairs. This technique also has a very large disadvantage of increasing chip area, and it is unlikely that a product using these techniques will be realized in practice.

또한, 일본 특허 공개 평성 제11-317072호 공보에 개시된 기술은 공유 센스 앰프 방식을 채용하는 메모리에 있어서 두 개의 방법을 제안하고 있다. 제 1 방법은 서로 센스 앰프를 공유하지 않는 복수 블럭에서 각각 한 개씩 워드선을 복수개 활성화하는 것이다. 또한, 제 2 방법은 이미 선택되어 있는 제 1 워드선을 포함하는 제 1 블럭과 같은 센스 앰프를 공유하는 제 2 블럭의 제 2 워드선이 제 1 워드선에 계속해서 선택된 경우에는 제 2 워드선의 활성화와 센스 앰프의 이퀄라이즈가 평행하게 실행되는 것이다. 그러나, 제 1 방법은 뱅크의 세분화와 같다. 또한, 제 1, 제 2 중 어느 쪽의 방법도 관리해야 할 로우 어드레스가 매우 많아지기 때문에 메모리 컨트롤러 측의 부담이 커져 버린다고 하는 문제점이 있다.In addition, the technique disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 11-317072 proposes two methods in a memory employing a shared sense amplifier method. The first method is to activate a plurality of word lines, one for each of a plurality of blocks that do not share sense amplifiers. Further, the second method uses the second word line when the second word line of the second block sharing the same sense amplifier as the first block including the first word line already selected is selected as the first word line. Equalization of the activation and sense amplifiers is done in parallel. However, the first method is equivalent to bank segmentation. In addition, there is a problem that the burden on the memory controller side becomes large because the row addresses to be managed by either of the first and second methods become very large.

일본 특허 공개 제2000-137982호 공보에 개시된 기술은 FCRAM라고 불리는 사이클을 고속화한 메모리의 개량 특허이지만, 판독 중에 센스 앰프의 초기화를 실행하기 때문에, 버스트 길이 분량의 데이터를 병렬로 버퍼에 전송하기 위한 기구가 필요해지고, 이것도 칩 면적 증가의 단점이 커진다.The technique disclosed in Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2000-137982 is an improved patent for a memory that speeds up a cycle called FCRAM, but since the initialization of the sense amplifier is performed during reading, it is necessary to transfer burst-length data to the buffer in parallel. A mechanism is required, which also increases the disadvantage of increasing the chip area.

본 발명의 목적은 동일 뱅크가 다른 워드선에 접속되는 메모리셀에 대하여 판독이나 기록을 연속하여 실행하는 경우에 데이터의 실효 전송 레이트가 향상된 반도체 기억 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a semiconductor memory device having an improved effective transfer rate of data when reading or writing is successively performed for memory cells in which the same bank is connected to different word lines.

도 1은 본 발명의 실시예 1의 반도체 기억 장치의 구성을 나타내는 블럭도,1 is a block diagram showing the structure of a semiconductor memory device according to a first embodiment of the present invention;

도 2는 메모리셀 어레이(7)의 어레이 배치를 나타낸 도면,2 shows an array arrangement of the memory cell array 7;

도 3은 실시예 1의 반도체 기억 장치(1)의 센스 앰프대 주변의 구성을 나타낸 회로도,3 is a circuit diagram showing the configuration around the sense amplifier stage of the semiconductor memory device 1 of the first embodiment;

도 4는 로우 어드레스의 할당을 설명하기 위한 도면,4 is a diagram for explaining assignment of row addresses;

도 5는 컬럼 어드레스의 할당을 설명하기 위한 도면,5 is a diagram for explaining assignment of column addresses;

도 6은 도 1에 있어서의 센스 앰프 제어 회로(5)의 구성을 나타낸 회로도,6 is a circuit diagram showing the configuration of the sense amplifier control circuit 5 in FIG. 1;

도 7은 실시예 1의 반도체 기억 장치의 동작을 설명하기 위한 동작 파형도,7 is an operation waveform diagram for explaining the operation of the semiconductor memory device according to the first embodiment;

도 8은 실시예 2의 반도체 기억 장치(1A)의 구성을 나타내는 블럭도,8 is a block diagram showing the configuration of the semiconductor memory device 1A according to the second embodiment;

도 9는 도 8에 있어서의 로우 어드레스 비교부(8A)의 구성을 나타낸 회로도,FIG. 9 is a circuit diagram showing the configuration of the row address comparison section 8A in FIG. 8;

도 10은 도 9에 있어서의 레지스터 어레이(210)의 구성을 나타내는 회로도,FIG. 10 is a circuit diagram showing the configuration of the register array 210 in FIG. 9;

도 11 도 8에 있어서의 센스 앰프 제어 회로(5A)의 구성을 설명하기 위한 회로도,11 is a circuit diagram for explaining the configuration of the sense amplifier control circuit 5A in FIG. 8;

도 12는 실시예 2의 반도체 기억 장치의 동작을 설명하기 위한 동작 파형도,12 is an operation waveform diagram for explaining the operation of the semiconductor memory device according to the second embodiment;

도 13은 실시예 3의 반도체 기억 장치의 메모리셀 어레이의 배치를 나타낸 도면,Fig. 13 is a diagram showing the arrangement of memory cell arrays of the semiconductor memory device of Example 3;

도 14는 메모리셀 어레이의 상세한 구성을 나타낸 회로도,14 is a circuit diagram showing a detailed configuration of a memory cell array;

도 15는 실시예 3에 있어서 이용되는 센스 앰프 제어 회로(5B)의 구성을 나타내는 블럭도,Fig. 15 is a block diagram showing the configuration of the sense amplifier control circuit 5B used in the third embodiment;

도 16은 도 15에 있어서의 기준 타이밍 발생부(502)의 구성을 나타낸 회로도,FIG. 16 is a circuit diagram showing the configuration of the reference timing generator 502 in FIG. 15;

도 17은 도 15에 있어서의 센스 앰프 제어부(504)의 구성을 나타내는 회로도,FIG. 17 is a circuit diagram showing the configuration of the sense amplifier control unit 504 in FIG. 15;

도 18은 도 15에 있어서의 분리 게이트 제어부(506)의 구성을 나타낸 회로도,FIG. 18 is a circuit diagram showing the configuration of the separation gate control unit 506 in FIG. 15;

도 19는 도 15에 있어서의 IOSW 제어부(508)의 구성을 나타내는 회로도,19 is a circuit diagram showing a configuration of the IOSW control unit 508 in FIG. 15;

도 20은 실시예 3의 반도체 기억 장치의 동작을 설명하기 위한 동작 파형도,20 is an operation waveform diagram for explaining the operation of the semiconductor memory device of Example 3;

도 21은 종래의 SDRAM의 센스 앰프대 주변의 구성을 나타낸 회로도,21 is a circuit diagram showing a configuration around a sense amplifier stage of a conventional SDRAM;

도 22는 종래의 SDRAM의 주로 센스 앰프대의 제어에 이용되는 내부 신호를 발생하는 센스 앰프 제어 회로(1005)의 구성을 나타낸 회로도,Fig. 22 is a circuit diagram showing the configuration of a sense amplifier control circuit 1005 for generating an internal signal mainly used for control of a sense amplifier stage of a conventional SDRAM.

도 23은 종래의 센스 앰프대 SABX의 동작을 설명하기 위한 동작 파형도,23 is an operation waveform diagram for explaining the operation of the conventional sense amplifier stage SABX.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for the main parts of the drawings

1, 1A : 반도체 기억 장치1, 1A: semiconductor memory

2, 2A : 제어 회로2, 2A: control circuit

3 : 로우 디코더3: low decoder

4 : 컬럼 디코더4: column decoder

5, 5A, 5B : 센스 앰프 제어 회로5, 5A, 5B: sense amplifier control circuit

6, 14 : 입출력 회로6, 14: input / output circuit

7 : 메모리셀 어레이7: memory cell array

8A : 로우 어드레스 비교부8A: row address comparison section

9 : 메모리 제어 장치9: memory control unit

16 : 캐패시터16: capacitor

18 : 트랜지스터18: transistor

20∼25 : 이퀄라이즈 회로20-25: equalization circuit

60, 61, 66, 67 : 분리 게이트 회로60, 61, 66, 67: separation gate circuit

62, 63 : 센스 앰프62, 63: sense amplifier

64, 65, 450, 451 : 접속 회로64, 65, 450, 451: connection circuit

76 : 펄스 발생 회로76: pulse generator circuit

102, 104, 106, 124, 126, 144, 510, 512, 514, 516, 520, 522, 524, 526, 540, 542, 544, 546, 550, 552, 554, 796, 798, 800, 804 : 지연 회로102, 104, 106, 124, 126, 144, 510, 512, 514, 516, 520, 522, 524, 526, 540, 542, 544, 546, 550, 552, 554, 796, 798, 800, 804: Delay circuit

112, 120, 134, 136, 142, 146, 152, 160, 166 : 래치 회로112, 120, 134, 136, 142, 146, 152, 160, 166: latch circuit

122 : 구동 회로122: drive circuit

147, 168, 404, 610, 612, 614, 710, 712, 714, 814 : 신호 발생 회로147, 168, 404, 610, 612, 614, 710, 712, 714, 814: signal generating circuit

202 : 어드레스 비교부202: address comparison unit

204 : 내부 커맨드 신호 발생부204: internal command signal generator

206 : 제어 신호 출력부206: control signal output unit

210 : 레지스터 어레이210: register array

330∼334 : 어드레스 비트 비교부330 to 334: address bit comparison unit

344, 346 : 저항344, 346: resistance

502 : 기준 타이밍 발생부502: reference timing generator

504 : 센스 앰프 제어부504: sense amplifier control unit

506 : 분리 게이트 제어부506: separation gate control unit

508 : IOSW 제어부508: IOSW control unit

570, 571 : 센스 앰프 제어 신호 발생 회로570, 571: sense amplifier control signal generation circuit

604 : 구동 회로604: driving circuit

760, 762 : 펄스 발생 회로760, 762: pulse generating circuit

BL, /BL, BL0, BL1, BL00∼BL21, /BL0, /BL1, /BL00∼/BL21 : 비트선BL, / BL, BL0, BL1, BL00 to BL21, / BL0, / BL1, / BL00 to / BL21: Bit line

BLOCK0∼BLOCK2 : 메모리 블록BLOCK0 to BLOCK2: Memory Block

CSL, CSL0∼CSL11 : 컬럼 선택선CSL, CSL0 to CSL11: column select line

Cel100, Cel110, Cel101, Cel111 : 메모리셀Cel100, Cel110, Cel101, Cel111: Memory Cells

G#0∼G#2 : 접속 게이트 회로G # 0 to G # 2: connection gate circuit

GIO, /GIO : 글로벌 IO선GIO, / GIO: Global IO Line

LIO0, /LIO0, LIO1, /LIO1 : 로컬 IO선LIO0, / LIO0, LIO1, / LIO1: Local IO Line

MA#00∼MA#21 : 메모리셀 어레이MA # 00 ~ MA # 21: memory cell array

RD#00∼RD#21 : 로우 디코더RD # 00 ~ RD # 21: Row Decoder

SAB#0∼SAB#2 : 센스 앰프대SAB # 0 to SAB # 2: Sense Amplifier Stand

SW : 스위치 어레이SW: Switch Array

WL, WL00∼WL5F : 워드선WL, WL00 to WL5F: Word line

본 발명은 요약하면, 반도체 기억 장치로서, 제 1 메모리셀 어레이와, 제 2 메모리셀 어레이와, 센스 앰프대와, 제어 회로를 구비한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention summarizes a semiconductor memory device comprising a first memory cell array, a second memory cell array, a sense amplifier stage, and a control circuit.

제 1 메모리셀 어레이는 행렬 형상으로 배치되는 복수의 제 1 메모리셀 그룹, 제 1 비트선쌍 및 제 1 비트선쌍에 교차하여 마련되는 제 1 워드선 그룹을 포함한다. 제 2 메모리셀 어레이는 행렬 형상으로 배치되는 복수의 제 2 메모리셀 그룹, 제 2 비트선쌍 및 제 2 비트선쌍에 교차하여 마련되는 제 2 워드선 그룹을 포함한다. 센스 앰프대는 제 1, 제 2 비트선쌍에 공유되는 센스 앰프를 포함한다. 제어 회로는 센스 앰프의 초기화, 제 1, 제 2 비트선쌍의 초기화 및 제 1, 제 2 워드선 그룹의 활성화를 제어한다. 제어 회로는 제 1 커맨드에 따라서, 제 1, 제 2 워드선 그룹 중 어느 하나의 워드선을 비활성 상태로부터 활성 상태로 천이시키는 타이밍 신호를 출력함과 동시에, 제 1, 제 2 비트선쌍의 초기화를 해제하며, 또한 소정 기간 센스 앰프를 초기화한다.The first memory cell array includes a plurality of first memory cell groups, a first bit line pair, and a first word line group provided to intersect the first bit line pair. The second memory cell array includes a plurality of second memory cell groups, a second bit line pair, and a second word line group provided to intersect the second bit line pair. The sense amplifier stage includes a sense amplifier shared by the first and second bit line pairs. The control circuit controls the initialization of the sense amplifiers, the initialization of the first and second bit line pairs, and the activation of the first and second word line groups. The control circuit outputs a timing signal for transitioning any one of the first and second word line groups from the inactive state to the active state in accordance with the first command, and simultaneously initializes the first and second bit line pairs. And the sense amplifier is initialized for a predetermined period.

본 발명의 다른 국면에 따르면, 반도체 기억 장치에 있어서, 제 1 메모리 블록과, 제 2 메모리 블록과, 스위치 회로와, 제어 회로를 구비한다.According to another aspect of the present invention, a semiconductor memory device includes a first memory block, a second memory block, a switch circuit, and a control circuit.

제 1 메모리 블럭은 행렬 형상으로 배치되는 복수의 제 1 메모리셀 그룹, 제 1 비트선쌍 및 제 1 비트선쌍에 교차하여 마련되는 제 1 워드선 그룹을 포함하는 제 1 메모리셀 어레이와, 행렬 형상으로 배치되는 복수의 제 2 메모리셀 그룹, 제 2 비트선쌍 및 제 2 비트선쌍에 교차하여 마련되는 제 2 워드선 그룹을 포함하는 제 2 메모리셀 어레이와, 제 1, 제 2 비트선쌍에 공유되는 제 1 센스 앰프를 포함하는 제 1 센스 앰프대를 포함한다.The first memory block includes a plurality of first memory cell groups arranged in a matrix shape, a first memory cell array including a first bit line pair and a first word line group provided to intersect the first bit line pair, and a matrix shape. A second memory cell array including a plurality of second memory cell groups arranged, a second bit line pair, and a second word line group provided to intersect the second bit line pair, and a second memory cell array; And a first sense amplifier stage including one sense amplifier.

제 2 메모리 블록은 행렬 형상으로 배치되는 복수의 제 3 메모리셀 그룹, 제 3 비트선쌍 및 제 3 비트선쌍에 교차하여 마련되는 제 3 워드선 그룹을 포함하는 제 3 메모리셀 어레이와, 행렬 형상으로 배치되는 복수의 제 4 메모리셀 그룹, 제 4 비트선쌍 및 제 4 비트선쌍에 교차하여 마련되는 제 4 워드선 그룹을 포함하는 제 4 메모리셀 어레이와, 제 3, 제 4 비트선쌍에 공유되는 제 2 센스 앰프를 포함하는 제 2 센스 앰프대를 포함한다.The second memory block may include a plurality of third memory cell groups arranged in a matrix shape, a third memory cell array including a third bit line pair and a third word line group intersecting the third bit line pair, and in a matrix shape. A fourth memory cell array including a plurality of fourth memory cell groups arranged, a fourth bit line pair, and a fourth word line group provided to intersect the fourth bit line pair, and a third common to the third and fourth bit line pairs; And a second sense amplifier stage including the two sense amplifiers.

스위치 회로는 제 1, 제 2 메모리 블럭 사이에 마련되어, 제 2 비트선쌍과 제 3 비트선쌍을 접속한다. 제어 회로는 제 1, 제 2 센스 앰프 및 스위치 회로의 제어를 행하고, 제 1, 제 2 센스 앰프 사이에서 데이터 전송을 행하게 한다.A switch circuit is provided between the first and second memory blocks to connect the second bit line pair and the third bit line pair. The control circuit performs control of the first and second sense amplifiers and the switch circuit, and allows data transmission between the first and second sense amplifiers.

따라서, 본 발명의 주된 이점은, 워드선 활성화 지시가 될 때까지 센스 앰프로 판독한 데이터를 유지하므로, 유지하고 있는 데이터에 대해서는, 워드선의 활성화를 기다리지 않고 고속으로 판독할 수 있게 되는 것이다.Therefore, the main advantage of the present invention is that the data read by the sense amplifier is held until the word line activation instruction is made, so that the held data can be read at high speed without waiting for activation of the word line.

본 발명의 상기 및 그 밖의 목적, 특징, 국면 및 이익 등은 첨부 도면을 참조로 하여 설명하는 이하의 상세한 실시예로부터 더욱 명백해질 것이다.The above and other objects, features, aspects, advantages, and the like of the present invention will become more apparent from the following detailed embodiments described with reference to the accompanying drawings.

이하에 있어서, 본 발명의 실시예에 대하여 도면을 참조하여 자세히 설명한다. 또, 도면 중 동일 부호는 동일 또는 상당 부분을 나타낸다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, the Example of this invention is described in detail with reference to drawings. In addition, in the figure, the same code | symbol shows the same or equivalent part.

(실시예 1)(Example 1)

도 1은 본 발명의 실시예 1의 반도체 기억 장치의 구성을 나타내는 블럭도이다.Fig. 1 is a block diagram showing the structure of the semiconductor memory device according to the first embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 반도체 기억 장치(1)는 메모리 제어 장치(9)로부터 커맨드 CMD, 어드레스 ADDRESS 및 데이터 DATA를 받는다. 반도체 기억 장치(1)는 제어 회로(2)와, 로우 디코더(3)와, 컬럼 디코더(4)와, 센스 앰프 제어 회로(5)와, 입출력 회로(6) 및 메모리셀 어레이(7)를 구비한다. 메모리 제어 장치(9)로부터 커맨드 제어 신호 CMD와 어드레스 신호 ADDRESS가 반도체 기억 장치에 전달되면, 그에 따라서 반도체 기억 장치(1)는 데이터 DATA의 송수신을 메모리 제어 장치(9)와의 사이에서 실행한다. 실제로는, 메모리셀 어레이(7)는 복수의 뱅크로 분할되고, 어드레스 신호에는 뱅크를 지정하는 뱅크 어드레스가 포함되어 있지만, 설명의 편의상, 뱅크 어드레스는 생략하고, 뱅크0에 대한 커맨드만이 인가되는 경우에 대하여 이후 설명을 진행시킨다.Referring to FIG. 1, the semiconductor memory device 1 receives a command CMD, an address ADDRESS, and data DATA from the memory control device 9. The semiconductor memory device 1 includes a control circuit 2, a row decoder 3, a column decoder 4, a sense amplifier control circuit 5, an input / output circuit 6, and a memory cell array 7. Equipped. When the command control signal CMD and the address signal ADDRESS are transmitted from the memory control device 9 to the semiconductor memory device, the semiconductor memory device 1 performs transmission and reception of data DATA between the memory control device 9. In reality, the memory cell array 7 is divided into a plurality of banks, and the address signal includes a bank address for designating a bank. However, for convenience of explanation, the bank address is omitted and only a command for bank 0 is applied. The case will be described later.

도 2는 메모리셀 어레이(7)의 어레이 배치를 나타낸 도면이다.2 is a diagram showing the arrangement of the memory cell array 7.

도 2를 참조하면, 설명용의 모식적인 어레이 구성을 나타낸다. 통상 SDRAM은, 독립적으로 동작 가능한 뱅크를 복수를 가지고 있지만, 본 명세서에 있어서는, 하나의 뱅크0에 관한 구성에 대해서만 설명을 실행하는 것으로 한다.2, the typical array structure for description is shown. Normally, the SDRAM has a plurality of independently operable banks, but in this specification, description will be made only for the configuration of one bank 0.

메모리셀 어레이(7)는 메모리 블럭 BLOCK0, BLOCK1, BLOCK2, …을 포함한다. 메모리 블럭 BLOCK0은 센스 앰프대 SAB#0과, 센스 앰프대 SAB#0을 공유하고, 이 센스 앰프대 SAB#0의 양측에 배치되는 메모리셀 어레이 MA#00, MA#01을 포함한다.The memory cell array 7 includes memory blocks BLOCK0, BLOCK1, BLOCK2,... It includes. The memory block BLOCK0 includes the memory cell arrays MA # 00 and MA # 01 which share the sense amplifier band SAB # 0 and the sense amplifier band SAB # 0, and are arranged on both sides of the sense amplifier band SAB # 0.

메모리 블럭 BLOCK1은 센스 앰프대 SAB#1과, 센스 앰프대 SAB#1을 공유하고, 이 센스 앰프대 SAB#1의 양측에 배치되는 메모리셀 어레이 MA#10, MA#11을 포함한다.The memory block BLOCK1 shares the sense amplifier stage SAB # 1 with the sense amplifier stage SAB # 1, and includes memory cell arrays MA # 10 and MA # 11 disposed on both sides of the sense amplifier stage SAB # 1.

메모리 블럭 BLOCK2는 센스 앰프대 SAB#2와, 센스 앰프대 SAB#2를 공유하고, 이 센스 앰프대 SAB#2의 양측에 배치되는 메모리셀 어레이 MA#20, MA#21을 포함한다.The memory block BLOCK2 shares the sense amplifier stage SAB # 2 with the sense amplifier stage SAB # 2, and includes memory cell arrays MA # 20 and MA # 21 disposed on both sides of the sense amplifier stage SAB # 2.

로우 디코더(3)는 메모리셀 어레이 MA#00에 대응하여 마련되어 워드선 WL00∼WL0F의 제어를 실행하는 로우 디코더 RD#00과, 메모리셀 어레이 MA#01에 대응하여 마련되어 워드선 WL10∼WL1F의 제어를 실행하는 로우 디코더 RD#01과, 메모리셀 어레이 MA#10에 대응하여 마련되어 워드선 WL20∼WL2F의 제어를 실행하는 로우 디코더 RD#10과, 메모리셀 어레이 MA#11에 대응하여 마련되어 워드선 WL30∼WL3F의 제어를 실행하는 로우 디코더 RD#11과, 메모리셀 어레이 MA#20에 대응하여 마련되어 워드선 WL40∼WL4F의 제어를 실행하는 로우 디코더 RD#20과, 메모리셀 어레이 MA#21에 대응하여 마련되어 워드선 WL50∼WL5F의 제어를 실행하는 로우 디코더 RD#21을 포함한다.The row decoder 3 is provided in correspondence with the memory cell array MA # 00 to execute the control of the word lines WL00 to WL0F, and the row decoder 3 is provided corresponding to the memory cell array MA # 01 and controls the word lines WL10 to WL1F. Is provided in correspondence with the row decoder RD # 01 for executing the control and the row decoder RD # 10 for controlling the word lines WL20 to WL2F provided for the memory cell array MA # 10 and the word line WL30 for the memory cell array MA # 11. In response to the row decoder RD # 11 for controlling the WL3F, the row decoder RD # 20 for the control of the word lines WL40 to WL4F, and the memory decoder for the memory cell array MA # 21. And row decoder RD # 21 for controlling word lines WL50 to WL5F.

즉, 메모리셀 어레이는 센스 앰프대를 사이에 유지하도록 양측에 존재하고 있다. 각 메모리셀 어레이에는, 로우 어드레스 신호 RA0∼RA3에 의해서 구별되는 워드선이 16개 씩 있다. 하나의 메모리 블럭은 센스 앰프대를 중앙으로 하여 좌우로 분할되어 있고, 로우 어드레스 신호 RA4에 의해서 지정된다. 메모리 블럭은 네 개 있고, 로우 어드레스 신호 RA5, RA6에 의해서 지정된다. 또한, 각 블럭마다 로컬 IO선 LIO를 글로벌 IO선 GIO에 접속하는 접속 게이트 회로 G#0∼G#2가 마련되어 있다.That is, memory cell arrays exist on both sides so as to hold the sense amplifier stand therebetween. Each memory cell array has 16 word lines which are distinguished by row address signals RA0 to RA3. One memory block is divided left and right with the sense amplifier stage in the center and designated by the row address signal RA4. There are four memory blocks, designated by row address signals RA5, RA6. In each block, connection gate circuits G # 0 to G # 2 are provided for connecting the local IO line LIO to the global IO line GIO.

또, 도 2에는 도시되어 있지 않지만, 컬럼 어드레스는 신호 CA0∼CA3에 의해서 지정되는 16 어드레스로 한다. 도시되어 있지 않은 컬럼 선택선 CSL0∼CSLF가 워드선 그룹과 직교하고, 도시된 복수의 메모리셀 어레이에 공통하여도 받을 수 있다.Although not shown in Fig. 2, the column address is set to 16 addresses designated by the signals CA0 to CA3. The column select lines CSL0 to CSLF, which are not shown, are orthogonal to the word line group and may be common to the plurality of memory cell arrays shown.

도 3은 실시예 1의 반도체 기억 장치(1)의 센스 앰프대 주변의 구성을 나타낸 회로도이다.3 is a circuit diagram showing the configuration around the sense amplifier stage of the semiconductor memory device 1 according to the first embodiment.

도 3을 참조하면, 센스 앰프대 SAB#0의 양편에는 분할된 메모리셀 어레이 MA#00, MA#11이 배치되어 있다.Referring to FIG. 3, divided memory cell arrays MA # 00 and MA # 11 are arranged on both sides of the sense amplifier band SAB # 0.

메모리셀 어레이 MA#00은 워드선 WL0과 비트선 BL00의 교점에 대응하여 마련되는 메모리셀 Cel100과, 워드선 WL1과 비트선 /BL00의 교점에 대응하여 마련되는 메모리셀 Cel110과, 워드선 WL0과 비트선 BL01의 교점에 마련되는 메모리셀 Cel101과, 워드선 WL1과 비트선 /BL01의 교점에 대응하여 마련되는 메모리셀 Cel111을 포함한다.The memory cell array MA # 00 includes a memory cell Cel100 provided corresponding to the intersection of the word line WL0 and the bit line BL00, a memory cell Cel110 provided corresponding to the intersection of the word line WL1 and the bit line / BL00, and the word line WL0; Memory cell Cel101 provided at the intersection of the bit line BL01 and memory cell Cel111 provided corresponding to the intersection of the word line WL1 and the bit line / BL01.

메모리셀 Cel100은, 셀 플레이트 전위 Vcp에 일단이 결합되는 캐패시터(16)와, 캐패시터(16)의 타단에 대응하는 비트선 사이에 접속되어 대응하는 워드선에 게이트가 접속되는 트랜지스터(18)를 포함한다. 메모리셀 Cel110, Cel101, Cel111도, 메모리셀 Cel100과 마찬가지의 구성을 갖고 있고, 각 메모리셀의 구성의 설명은 반복하지 않는다.The memory cell Cel100 includes a capacitor 16 having one end coupled to a cell plate potential Vcp and a transistor 18 connected between a bit line corresponding to the other end of the capacitor 16 and a gate connected to a corresponding word line. do. The memory cells Cel110, Cel101, and Cel111 also have the same configuration as the memory cells Cel100, and the description of the configuration of each memory cell is not repeated.

또한, 메모리셀 어레이 MA#11은 메모리셀 어레이 MA#00과 마찬가지의 구성을 갖고 있어 설명은 반복하지 않는다.The memory cell array MA # 11 has the same configuration as that of the memory cell array MA # 00, and description thereof will not be repeated.

센스 앰프대 SAB#0은 센스 앰프(62, 63)와, 센스 앰프(62)에 대응하여 마련되는 이퀄라이즈 회로(20, 22, 24), 분리 게이트 회로(60, 66) 및 접속 회로(64)를 포함한다.The sense amplifier stage SAB # 0 includes the sense amplifiers 62 and 63, the equalizing circuits 20, 22 and 24, the separation gate circuits 60 and 66, and the connection circuit 64 provided corresponding to the sense amplifiers 62. ).

이퀄라이즈 회로(22)는 신호 SAEQ0의 활성화에 따라 센스 앰프를 초기화하기 위해 이퀄라이즈한다. 이퀄라이즈 전위로서 전위 VBL이 이퀄라이즈 회로(22)에 인가된다.Equalizing circuit 22 equalizes to initialize the sense amplifier upon activation of signal SAEQ0. The potential VBL is applied to the equalizing circuit 22 as the equalizing potential.

이퀄라이즈 회로(22)는 비트선 BL0과 비트선 /BL0 사이에 접속되어 신호 SAEQ0을 게이트로 받는 N 채널 MOS 트랜지스터(34)와, 전위 VBL이 인가되는 노드와 비트선 BL0 사이에 접속되어 게이트로 신호 SAEQ0을 받는 N 채널 MOS 트랜지스터(35)와, 전위 VBL이 인가되는 노드와 비트선 /BL0 사이에 접속되어 게이트로 신호 SAEQ0을 받는 N 채널 MOS 트랜지스터(36)를 포함한다.The equalizing circuit 22 is connected between the bit line BL0 and the bit line / BL0 to receive the signal SAEQ0 as a gate, and is connected between the node to which the potential VBL is applied and the bit line BL0 to the gate. An N-channel MOS transistor 35 that receives the signal SAEQ0 and an N-channel MOS transistor 36 that is connected between the node to which the potential VBL is applied and the bit line / BL0 and receives the signal SAEQ0 as a gate.

분리 게이트 회로(60)는 비트선 BL0과 비트선 BL00 사이에 접속되어 게이트로 신호 BLTG0을 받는 N 채널 MOS 트랜지스터(30)와, 비트선 /BL0과 비트선 /BL00 사이에 접속되어 게이트로 신호 BLTG0을 받는 N 채널 MOS 트랜지스터(31)를 포함한다. 분리 게이트 회로(66)는 비트선 BL0과 비트선 BL10 사이에 접속되어 게이트로 신호 BLTG1을 받는 N 채널 MOS 트랜지스터(40)와, 비트선 /BL0과 비트선 /BL10 사이에 접속되어 게이트로 신호 BLTG1을 받는 N 채널 MOS 트랜지스터(41)를 포함한다.The isolation gate circuit 60 is connected between a bit line BL0 and a bit line BL00 and receives an N-channel MOS transistor 30 which receives a signal BLTG0 as a gate, and is connected between a bit line / BL0 and a bit line / BL00 and a signal BLTG0 as a gate. It includes an N-channel MOS transistor 31 that receives. The isolation gate circuit 66 is connected between the bit line BL0 and the bit line BL10 and receives the N-channel MOS transistor 40 which receives the signal BLTG1 as a gate, and is connected between the bit line / BL0 and the bit line / BL10 and the signal BLTG1 as a gate. It includes an N-channel MOS transistor 41 receives.

접속 회로(64)는 로컬 IO선 LIO와 비트선 BL0 사이에 접속되어 게이트가 컬럼 선택선 CSL0에 접속되는 N 채널 MOS 트랜지스터(50)와, 로컬 IO선 /LIO와 비트선 /BL0 사이에 접속되어 게이트가 컬럼 선택선 CSL0에 접속되는 N 채널 MOS 트랜지스터(51)를 포함한다.The connection circuit 64 is connected between the local IO line LIO and the bit line BL0, and the N-channel MOS transistor 50 whose gate is connected to the column select line CSL0, and is connected between the local IO line / LIO and the bit line / BL0. The gate includes an N-channel MOS transistor 51 connected to the column select line CSL0.

이퀄라이즈 회로(20, 24)는 신호 SAEQ0에 대신하여 신호 BLEQ를 받는 점이 다르지만 내부의 회로 구성은 이퀄라이즈 회로(22)와 마찬가지이므로 설명은 반복하지 않는다. 단, 이퀄라이즈 회로(22)가 이퀄라이즈하는 비트선쌍 BL0, /BL0은 메모리셀 어레이가 접속되는 비트선 BL00, /BL00, BL10, /BL10에 비하여 용량이 작으므로, 이퀄라이즈 회로(22)에 포함되는 세 개의 트랜지스터의 크기는 이퀄라이즈 회로(20, 24)에 포함되는 트랜지스터의 크기와 비교하여 작다.Although the equalizing circuits 20 and 24 receive the signal BLEQ in place of the signal SAEQ0, the internal circuit configuration is the same as that of the equalizing circuit 22, and thus description thereof will not be repeated. However, since the bit line pairs BL0 and / BL0 equalized by the equalization circuit 22 have smaller capacities than the bit lines BL00, / BL00, BL10, and / BL10 to which the memory cell array is connected, the equalization circuit 22 The size of the three transistors included is small compared to the size of the transistors included in the equalizing circuits 20 and 24.

센스 앰프대 SAB#0은 센스 앰프(63)에 대응하여 마련되는 이퀄라이즈 회로(21, 23, 25), 분리 게이트 회로(61, 67) 및 접속 회로(65)를 더 포함한다.The sense amplifier stage SAB # 0 further includes equalization circuits 21, 23, 25, isolation gate circuits 61, 67, and a connection circuit 65 provided corresponding to the sense amplifier 63.

이퀄라이즈 회로(23)는 비트선 BL1과 비트선 /BL1 사이에 접속되어 신호 SAEQ0을 게이트로 받는 N 채널 MOS 트랜지스터(37)와, 전위 VBL이 인가되는 노드와 비트선 BL1 사이에 접속되어 게이트로 신호 SAEQ0을 받는 N 채널 MOS 트랜지스터(38)와, 비트선 VBL이 인가되는 노드와 비트선 /BL1 사이에 접속되어 게이트로 신호 SAEQ0을 받는 N 채널 MOS 트랜지스터(39)를 포함한다.The equalization circuit 23 is connected between the bit line BL1 and the bit line / BL1 and receives the signal SAEQ0 as a gate, and is connected between the node to which the potential VBL is applied and the bit line BL1 to the gate. An N-channel MOS transistor 38 that receives the signal SAEQ0 and an N-channel MOS transistor 39 that is connected between the node to which the bit line VBL is applied and the bit line / BL1 and receives the signal SAEQ0 as a gate.

분리 게이트 회로(61)는 비트선 BL1과 비트선 BL01 사이에 접속되어 게이트로 신호 BLTG0을 받는 N 채널 MOS 트랜지스터(32)와, 비트선 /BL1과 비트선 /BL01 사이에 접속되어 게이트로 신호 BLTG0을 받는 N 채널 MOS 트랜지스터(33)를 포함한다. 분리 게이트 회로(67)는 비트선 BL1과 비트선 BL11 사이에 접속되어 게이트로 신호 BLTG1을 받는 N 채널 MOS 트랜지스터(42)와, 비트선 /BL1과 비트선 /BL11 사이에 접속되어 게이트로 신호 BLTG1을 받는 N 채널 MOS 트랜지스터(43)를 포함한다.The isolation gate circuit 61 is an N-channel MOS transistor 32 connected between the bit line BL1 and the bit line BL01 and receiving the signal BLTG0 as a gate, and connected between the bit line / BL1 and the bit line / BL01 and the signal BLTG0 as a gate. It includes an N-channel MOS transistor 33 receives. The isolation gate circuit 67 is an N-channel MOS transistor 42 connected between the bit line BL1 and the bit line BL11 to receive the signal BLTG1 as a gate, and is connected between the bit line / BL1 and the bit line / BL11 to the gate signal BLTG1. It includes an N-channel MOS transistor 43 receives.

접속 회로(65)는 로컬 IO선 LIO와 비트선 BL1 사이에 접속되어 게이트가 컬럼 선택선 CSL1에 접속되는 N 채널 MOS 트랜지스터(52)와, 로컬 IO선 /LIO와 비트선 /BL1 사이에 접속되어 게이트가 컬럼 선택선 CSL1에 접속되는 N 채널 MOS 트랜지스터(53)를 포함한다.The connection circuit 65 is connected between the local IO line LIO and the bit line BL1, and the N-channel MOS transistor 52 whose gate is connected to the column select line CSL1, and is connected between the local IO line / LIO and the bit line / BL1. The gate includes an N-channel MOS transistor 53 connected to the column select line CSL1.

이퀄라이즈 회로(21, 25)는 신호 SAEQ0에 대신하여 신호 BLEQ를 받는 점이 다르지만 내부의 회로 구성은 이퀄라이즈 회로(23)와 마찬가지이므로 설명은 반복하지 않는다. 단, 이퀄라이즈 회로(23)가 이퀄라이즈하는 비트선쌍 BL1, /BL1은 메모리셀 어레이가 접속되는 비트선 BL01, /BL01, BL11, /BL11에 비해 용량이 작으므로, 이퀄라이즈 회로(23)에 포함되는 세 개의 트랜지스터의 크기는 이퀄라이즈 회로(21, 25)에 포함되는 트랜지스터의 크기에 비해 작다.Although the equalizing circuits 21 and 25 receive the signal BLEQ in place of the signal SAEQ0, the internal circuit configuration is the same as that of the equalizing circuit 23, and thus description thereof will not be repeated. However, since the bit line pairs BL1 and / BL1 equalized by the equalization circuit 23 have smaller capacities than the bit lines BL01, / BL01, BL11, and / BL11 to which the memory cell array is connected, the equalization circuit 23 The size of the three transistors included is smaller than the size of the transistors included in the equalizing circuits 21 and 25.

센스 앰프에 의해서 로컬 IO선 LIO, /LIO에 판독된 데이터는 게이트 회로 G#0을 거쳐서 글로벌 IO선 GIO, /GIO에 판독되어, 입출력 회로(14)로 전달된다.The data read by the sense amplifiers to the local IO lines LIO and / LIO is read to the global IO lines GIO and / GIO via the gate circuit G # 0 and transferred to the input / output circuit 14.

게이트 회로 G#0은 로컬 IO선 LIO와 글로벌 IO선 GIO 사이에 접속되어 게이트로 신호 IOSW0을 받는 N 채널 MOS 트랜지스터(10)와, 로컬 IO선 /LIO와 글로벌 IO선 /GIO 사이에 접속되어 게이트로 신호 IOSW0을 받는 N 채널 MOS 트랜지스터(11)를 포함한다.The gate circuit G # 0 is connected between the local IO line LIO and the global IO line GIO and receives the gate signal IOSW0, and is connected between the local IO line / LIO and the global IO line / GIO to the gate. And an N-channel MOS transistor 11 that receives the signal IOSW0.

다음에, 반도체 기억 장치(1)의 어드레스 할당에 대하여 설명한다.Next, address assignment of the semiconductor memory device 1 will be described.

도 4는 로우 어드레스의 할당을 설명하기 위한 도면이다.4 is a diagram for explaining assignment of row addresses.

도 4를 참조하면, 외부로부터 인가되는 어드레스 신호 A0∼A6은 소정의 활성 커맨드 ACT와 함께 인가된 경우에는, 로우 어드레스 RA0∼RA6으로서 내부에서 인식된다. 로우 어드레스 신호 RA0∼RA3에 의해서 메모리셀 어레이 내의 워드선 선택이 이루어진다. 예컨대, (RA3, RA2, RA1, RA0)이 (0000)이면 워드선 WL(0)이 지정되고, (0001)이면 워드선 WL(1)이 지정되며, (1111)이면 워드선 WL(F)가 지정된다.Referring to Fig. 4, address signals A0 to A6 applied from the outside are recognized internally as row addresses RA0 to RA6 when they are applied together with a predetermined active command ACT. The word lines in the memory cell array are selected by the row address signals RA0 to RA3. For example, if (RA3, RA2, RA1, RA0) is (0000), the word line WL (0) is designated; if (0001), the word line WL (1) is specified, and (1111), the word line WL (F) is specified. Is specified.

로우 어드레스 신호 RA4에서는, 블럭 내의 좌우의 영역 중 어느 하나가 지정된다. 로우 어드레스 신호 RA4로서 0이 인가되면 왼쪽 영역이 지정되고, 1이 인가되면 오른쪽 영역이 지정된다.In the row address signal RA4, either one of the left and right areas in the block is designated. When 0 is applied as the row address signal RA4, the left area is designated, and when 1 is applied, the right area is specified.

로우 어드레스 신호 RA5, RA6은 블럭 지정용으로서 이용된다. 예컨대, (RA6, RA5)=(00)이면 블럭 BLOCK0이 지정되고, (RA6, RA5)=(01)이면 블럭1이 지정된다.The row address signals RA5 and RA6 are used for block designation. For example, if (RA6, RA5) = (00), block BLOCK0 is specified, and if (RA6, RA5) = (01), block 1 is specified.

도 5는 컬럼 어드레스의 할당을 설명하기 위한 도면이다.5 is a diagram for explaining assignment of column addresses.

도 5를 참조하면, 외부로부터 리드 커맨드 RD나 라이트 커맨드 WRT와 함께 어드레스 A0∼A6이 인가되면, 이것은 컬럼 어드레스 CA0∼CA6으로서 인식된다. 컬럼 어드레스 신호 CA0∼CA3은 컬럼 선택선을 선택하기 위한 신호이다. 예컨대, (CA3, CA2, CA1, CA0)으로서 (0000)이 인가되면 컬럼 선택선 CSL(0)이 선택되고, (0001)이 인가되면 컬럼 선택선 CSL(1)이 선택되며, (1111)이 인가되면 컬럼 선택선 CSL(F)이 선택된다.Referring to Fig. 5, when addresses A0 to A6 are applied from the outside together with the read command RD or the write command WRT, they are recognized as the column addresses CA0 to CA6. The column address signals CA0 to CA3 are signals for selecting column select lines. For example, when (0000) is applied as (CA3, CA2, CA1, CA0), the column select line CSL (0) is selected, and when (0001) is applied, the column select line CSL (1) is selected, and (1111) When applied, the column select line CSL (F) is selected.

컬럼 어드레스 신호 CA4는, 본 발명에 있어서, 센스 앰프로부터 신호를 워드선을 구동하지 않고서 직접 판독하기 위한 지정에 이용된다. 컬럼 어드레스 신호CA4가 0이면, 통상 동작이 지정되고, 컬럼 어드레스 CA4가 1이면 센스 앰프로부터의 직접 판독이 지정된다.In the present invention, the column address signal CA4 is used for designation for directly reading a signal from a sense amplifier without driving a word line. If column address signal CA4 is 0, normal operation is specified, and if column address CA4 is 1, direct reading from the sense amplifier is specified.

컬럼 어드레스 신호 CA5, CA6은 판독하는 센스 앰프가 존재하는 블럭을 지정하기 위한 신호이다. 신호 CA4가 1로 설정되어 있을 때에 (CA6, CA5)=(00)이 인가되면 블럭 BLOCK0의 센스 앰프로부터 데이터가 판독된다. 또한, (CA6, CA5)=(01)이 인가되면 블럭1의 센스 앰프로부터 직접 데이터가 판독된다.The column address signals CA5 and CA6 are signals for specifying the block in which the sense amplifier to read exists. If (CA6, CA5) = (00) is applied while the signal CA4 is set to 1, data is read from the sense amplifier of the block BLOCK0. Further, when (CA6, CA5) = (01) is applied, data is read directly from the sense amplifier of block 1.

도 6은 도 1에 있어서의 센스 앰프 제어 회로(5)의 구성을 나타낸 회로도이다. 도 6을 참조하면, 블럭 BLOCK0을 선택하는 제어에 필요한 구성을 나타내고 있다.FIG. 6 is a circuit diagram showing the configuration of the sense amplifier control circuit 5 in FIG. 1. Referring to Fig. 6, a configuration necessary for control of selecting a block BLOCK0 is shown.

센스 앰프 제어 회로(5)는 제어 회로(2)로부터 내부 어드레스 신호 IADDRESS와 신호 RD0을 수신하여 블럭 BLOCK0을 선택하는 신호 B0SEL을 출력하는 신호 발생 회로(147)를 포함한다.The sense amplifier control circuit 5 includes a signal generation circuit 147 which receives the internal address signal IADDRESS and the signal RD0 from the control circuit 2 and outputs a signal B0SEL for selecting the block BLOCK0.

신호 발생 회로(147)는 로우 어드레스 신호 RA5, RA6을 받는 OR 회로(154)와, 신호 CA4, RD0 및 OR 회로(154)의 출력을 받는 게이트 회로(148)와, 게이트 회로(148)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(150)와, 인버터(150)를 세트 입력으로 받고 클럭 신호 CLK를 리셋 입력으로 받는 SR 래치 회로(152)를 포함한다. 게이트 회로(148)는 신호 CA4, RD0이 H 레벨이고, 또한, OR 회로(154)의 출력이 L 레벨인 경우에 출력을 L 레벨로 활성화하는 회로이다.The signal generation circuit 147 includes an OR circuit 154 that receives the row address signals RA5, RA6, a gate circuit 148 that receives the outputs of the signals CA4, RD0, and an OR circuit 154, and an output of the gate circuit 148. Inverter 150 for receiving and inverting, and SR latch circuit 152 receives the inverter 150 as a set input and receives the clock signal CLK as a reset input. The gate circuit 148 is a circuit for activating the output to the L level when the signals CA4 and RD0 are at the H level and the output of the OR circuit 154 is at the L level.

신호 발생 회로(147)는 지연 회로(102)의 출력 및 OR 회로(154)의 출력을 받는 게이트 회로(156)와, 게이트 회로(156)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(158)와, 인버터(158)의 출력을 세트 입력으로 받고 클럭 신호 CLK를 리셋 입력으로 받는 SR 래치 회로(160)와, SR 래치 회로(152, 160)의 출력을 받아 신호 B0SEL을 출력하는 OR 회로(162)를 포함한다. 게이트 회로(156)는 지연 회로(102)의 출력이 H 레벨이고, 또한 OR 회로(154)의 출력이 L 레벨인 경우에 출력을 L 레벨로 활성화하는 회로이다.The signal generating circuit 147 includes a gate circuit 156 that receives the output of the delay circuit 102 and the output of the OR circuit 154, an inverter 158 that receives the output of the gate circuit 156, and inverts the inverter. SR latch circuit 160 which receives the output of 158 as a set input and receives the clock signal CLK as a reset input, and OR circuit 162 which receives the output of SR latch circuits 152 and 160 and outputs signal B0SEL. . The gate circuit 156 is a circuit that activates the output to the L level when the output of the delay circuit 102 is at the H level and the output of the OR circuit 154 is at the L level.

센스 앰프 제어 회로(5)는 제어 회로(2)로부터 인가되는 신호 ACT0을 받는 직렬로 접속된 지연 회로(102, 104, 106)를 포함한다.The sense amplifier control circuit 5 includes delay circuits 102, 104, 106 connected in series to receive the signal ACT0 applied from the control circuit 2.

센스 앰프 제어 회로(5)는 신호 ACT0을 세트 입력으로 받고 지연 회로(104)의 출력을 리셋 입력으로 받는 SR 래치 회로(112)와, 지연 회로(106)의 출력과 신호 B0SEL을 받는 NAND 회로(108)와, NAND 회로(108)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(110)와, 신호 B0SEL과 SR 래치 회로(112)의 출력을 받는 NAND 회로(114)와, NAND 회로(114)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(116)를 더 포함한다.The sense amplifier control circuit 5 includes an SR latch circuit 112 that receives the signal ACT0 as a set input and receives the output of the delay circuit 104 as a reset input, and a NAND circuit that receives the output of the delay circuit 106 and the signal B0SEL ( 108, an inverter 110 that receives and inverts the output of the NAND circuit 108, a NAND circuit 114 that receives the outputs of the signals B0SEL and the SR latch circuit 112, and an output of the NAND circuit 114 Inverter 116 is further included.

센스 앰프 제어 회로(5)는 제어 회로(2)로부터 출력되는 신호 PRE0을 지연시키는 지연 회로(124)와, 제어 회로(2)로부터 출력되는 신호 PALL을 지연시키는 지연 회로(126)와, 지연 회로(124)의 출력과 지연 회로(126)의 출력을 받는 OR 회로(128)와, 지연 회로(126)의 출력을 받아 지연시키는 지연 회로(144)와, 지연 회로(126)의 출력에 따라 세트되고 지연 회로(144)의 출력에 따라 리셋되는 SR 래치 회로(146)를 더 포함한다.The sense amplifier control circuit 5 includes a delay circuit 124 for delaying the signal PRE0 output from the control circuit 2, a delay circuit 126 for delaying the signal PALL output from the control circuit 2, and a delay circuit. OR circuit 128 receiving the output of 124 and the output of delay circuit 126, delay circuit 144 for receiving and delaying the output of delay circuit 126, and set according to the output of delay circuit 126 And an SR latch circuit 146 that is reset in accordance with the output of delay circuit 144.

센스 앰프 제어 회로(5)는 인버터(116)의 출력과 SR 래치 회로(146)의 출력을 받아 신호 SAEQ0을 출력하는 OR 회로(118)와, 인버터(110)의 출력에 따라 세트되고 OR 회로(118)의 출력에 따라 리셋되는 SR 래치 회로(120)와, SR 래치 회로(120)의 출력에 따라 센스 앰프 구동 신호 S0, /S0을 구동하는 구동 회로(122)를 더 포함한다.The sense amplifier control circuit 5 is set according to an OR circuit 118 that receives the output of the inverter 116 and the SR latch circuit 146 and outputs the signal SAEQ0, and is set in accordance with the output of the inverter 110 and the OR circuit ( SR latch circuit 120 resets according to the output of 118, and the drive circuit 122 for driving the sense amplifier driving signals S0, / S0 in accordance with the output of the SR latch circuit 120.

센스 앰프 제어 회로(5)는 지연 회로(104)의 출력과 신호 B0SEL, RA4를 받는 게이트 회로(130)와, 게이트 회로(130)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(132)와, 인버터(132)의 출력에 따라 세트되고 OR 회로(128)의 출력에 따라 리셋되는 신호 BLTG0을 출력하는 SR 래치 회로(136)를 더 포함한다. 게이트 회로(130)는 지연 회로(104)의 출력 및 신호 B0SEL이 H 레벨이고, 또한 신호 RA4가 L 레벨일 경우에 출력이 L 레벨이 되는 회로이다.The sense amplifier control circuit 5 includes a gate circuit 130 that receives the output of the delay circuit 104 and the signals B0SEL and RA4, an inverter 132 that inverts the output of the gate circuit 130, and an inverter 132. And an SR latch circuit 136 that outputs a signal BLTG0 that is set in accordance with the output of and reset in accordance with the output of the OR circuit 128. The gate circuit 130 is a circuit in which the output of the delay circuit 104 and the signal B0SEL are at the H level, and the output is at the L level when the signal RA4 is at the L level.

센스 앰프 제어 회로(5)는 지연 회로(104)의 출력과 신호 B0SEL, RA4를 받는 NAND 회로(138)와, NAND 회로(138)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(140)와, 인버터(140)의 출력에 따라 세트되고 OR 회로(128)의 출력에 따라 리셋되어 신호 BLTG1을 출력하는 SR 래치 회로(142)와, OR 회로(128)의 출력에 따라 세트되고 신호 ACT0에 따라 리셋되어 신호 BLEQ를 출력하는 SR 래치 회로(134)를 더 포함한다.The sense amplifier control circuit 5 includes a NAND circuit 138 that receives the output of the delay circuit 104 and the signals B0SEL and RA4, an inverter 140 that receives and inverts the output of the NAND circuit 138, and an inverter 140. The SR latch circuit 142 is set in accordance with the output of < RTI ID = 0.0 > OR < / RTI > and outputs the signal BLTG1, and is set in accordance with the output of the OR circuit 128 and reset in accordance with the signal ACT0 to reset the signal BLEQ. It further includes an SR latch circuit 134 to output.

센스 앰프 제어 회로(5)는 신호 PRE0, PALL을 받는 OR 회로(164)와, 지연 회로(102)의 출력에 따라 세트되고 OR 회로(164)의 출력에 따라 리셋되어 신호 RAE를 출력하는 SR 래치 회로(166)와, 내부 어드레스 신호 IADDRESS와 신호 WRT0, RD0에 따라서 신호 IOSW0을 출력하는 신호 발생 회로(168)를 더 포함한다.The sense amplifier control circuit 5 is set according to the output of the OR circuit 164 receiving the signals PRE0 and PALL and the delay circuit 102 and reset according to the output of the OR circuit 164 to output the signal RAE. The circuit 166 further includes a signal generation circuit 168 for outputting the signal IOSW0 in accordance with the internal address signal IADDRESS and the signals WRT0 and RD0.

신호 RAE는 로우 디코더(3)를 활성화한다. 로우 디코더(3)는 활성화되면 로우 어드레스 RA에 따라 워드선 WL00∼WL7F 중 어느 하나를 활성화한다.Signal RAE activates row decoder 3. When activated, the row decoder 3 activates any one of the word lines WL00 to WL7F in accordance with the row address RA.

도 7은 실시예 1의 반도체 기억 장치의 동작을 설명하기 위한 동작 파형도이다.7 is an operation waveform diagram for explaining the operation of the semiconductor memory device of the first embodiment.

또, 설명을 간단히 하기 위해, 하나의 뱅크 어드레스에 대하여 동작이 행해지는 것으로 한다. 또한, 버스트 길이를 1클럭으로 하고있다.In addition, for simplicity, the operation is performed on one bank address. In addition, the burst length is set to one clock.

도 3, 도 7을 참조하면, 시각 t0의 초기 상태에 있어서는, 신호 BLTG0, BLTG1은 모두 L 레벨이다. 따라서, 트랜지스터(30∼33, 40∼43)는 모두 비도통 상태로 되어있다.3 and 7, in the initial state of time t0, the signals BLTG0 and BLTG1 are both at L level. Therefore, the transistors 30 to 33 and 40 to 43 are both in a non-conductive state.

신호 BLEQ는 H 레벨이므로, 이퀄라이즈 회로(20, 21, 24, 25)는 활성화되어 있고, 비트선쌍은 전원 전위 VDD의 2분의 1의 전위 VBL로 초기화되어 있다. 또한, 센스 앰프 구동 신호 S0, /S0은 모두 전위 VBL로 설정되어 있고, 센스 앰프(62, 63)는 비활성화 상태에 있다. 또한, 신호 SAEQ0은 L 레벨이므로, 이퀄라이즈 회로(22, 23)는 비활성화되어 있다. 또한, 컬럼 선택선 CSL0, CSL1은 L 레벨이므로, 트랜지스터(50∼53)는 비도통 상태이다.Since the signal BLEQ is at the H level, the equalizing circuits 20, 21, 24, and 25 are activated, and the bit line pairs are initialized to the potential VBL of the power supply potential VDD. The sense amplifier drive signals S0 and / S0 are both set to the potential VBL, and the sense amplifiers 62 and 63 are in an inactive state. In addition, since the signal SAEQ0 is at the L level, the equalizing circuits 22 and 23 are deactivated. In addition, since the column select lines CSL0 and CSL1 are at the L level, the transistors 50 to 53 are in a non-conductive state.

시각 t1에 있어서, 커맨드 신호 CMD로서 활성 커맨드 ACT가 입력되고 어드레스 신호 ADDRESS로서 00이 입력된다. 그러면, 신호 BLEQ는 H 레벨로부터 L 레벨로 변화된다. 그러면, 이퀄라이즈 회로(20, 21, 24, 25)는 비활성화된다. 또한, 신호 SAEQ0은 H 레벨로 변화되고, 신호 S0, /S0은 모두 전위 VBL로 설정된다. 도 6의 지연 회로(102)에 상당하는 기간 경과 후에 로우 디코더(3)가 활성화되어 지정된 로우 어드레스에 해당하는 워드선 WL00이 L 레벨로부터 H 레벨로 변화된다.At time t1, the active command ACT is input as the command signal CMD and 00 is input as the address signal ADDRESS. Then, the signal BLEQ is changed from the H level to the L level. The equalization circuits 20, 21, 24, 25 are then deactivated. In addition, the signal SAEQ0 is changed to the H level, and the signals S0 and / S0 are both set to the potential VBL. After a period corresponding to the delay circuit 102 of FIG. 6, the row decoder 3 is activated so that the word line WL00 corresponding to the designated row address is changed from the L level to the H level.

워드선 WL00이 활성화되면, 메모리셀 Cel100, Cel101에 포함되는 트랜지스터가 도통되어 캐패시터(16)의 축적된 전하가 비트선 BL00, BL01로 전달된다.When the word line WL00 is activated, the transistors included in the memory cells Cel100 and Cel101 are turned on so that the accumulated charge of the capacitor 16 is transferred to the bit lines BL00 and BL01.

또한, 지연 회로(104)에 상당하는 소정 시간 경과 후에 신호 BLTG0이 H 레벨로 변화되고 신호 SAEQ0이 L 레벨로 변화된다.Further, after a predetermined time corresponding to the delay circuit 104, the signal BLTG0 is changed to the H level and the signal SAEQ0 is changed to the L level.

즉, 신호 SAEQ0이 펄스 형상으로, H 레벨로 되어있는 동안에 이퀄라이즈 회로(22, 23)가 일정 기간 작동하여, 센스 앰프의 초기화를 실행한다. 그리고, 신호 BLTG0이 L 레벨로부터 H 레벨로 변화되면, 비트선쌍의 데이터가 트랜지스터(30∼33)를 거쳐서 센스 앰프(62, 63)로 전달된다. 그 후, 신호 S0, /S0이 각각 H 레벨, L 레벨로 활성화되어 센스 앰프(62, 63)가 비트선쌍의 전위를 증폭한다.In other words, while the signal SAEQ0 is in the form of a pulse and is at the H level, the equalizing circuits 22 and 23 operate for a predetermined period of time to perform initialization of the sense amplifier. When the signal BLTG0 is changed from the L level to the H level, the data of the bit line pair is transferred to the sense amplifiers 62 and 63 via the transistors 30 to 33. Thereafter, the signals S0 and / S0 are activated at H level and L level, respectively, so that the sense amplifiers 62 and 63 amplify the potential of the bit line pair.

시각 t2에 있어서, 리드 커맨드 RD 및 어드레스00이 외부로부터 입력된다. 그러면, 컬럼 선택선 CSL0이 펄스 형상으로 활성화되어 트랜지스터(50, 51)가 도통된다. 따라서, 센스 앰프(62)의 전위가 로컬 IO선쌍으로 전해진다. 그리고, 신호 IOSW0이 H 레벨이 되고, 트랜지스터(10, 11)가 도통되어 로컬 IO선 LIO, /LIO의 전위가 글로벌 IO선 GIO, /GIO를 거쳐서 입출력 회로(14)로 전달된다.At time t2, the read command RD and the address 00 are input from the outside. Then, the column select line CSL0 is activated in a pulse shape to conduct the transistors 50 and 51. Therefore, the potential of the sense amplifier 62 is transmitted to the local IO line pair. Then, the signal IOSW0 is at the H level, and the transistors 10 and 11 are turned on so that the potentials of the local IO lines LIO and / LIO are transmitted to the input / output circuit 14 via the global IO lines GIO and / GIO.

시각 t3에는, 프리차지 커맨드 PRE가 외부로부터 입력된다. 그러면, 도 6의 신호 RAE의 비활성화에 따라 워드선은 L 레벨로 비활성화된다. 또한, 지연 회로(124)에 상당하는 지연 시간 경과 후에 신호 BLEQ가 H 레벨로 변화되고, 신호 BLTG0이 L 레벨로 변화된다. 그러면, 비트선쌍의 전위는 전위 VBL로 복귀하지만, 트랜지스터(30∼33)가 비도통 상태에 있기 때문에, 신호 S0, /S0이 각각 H, L 레벨로 유지되어 있으면 센스 앰프(62, 63)는 메모리셀로부터 판독한 데이터를 유지한채로의 상태를 유지할 수 있다.At time t3, the precharge command PRE is input from the outside. Then, the word line is deactivated to the L level in accordance with the deactivation of the signal RAE of FIG. 6. Further, after the delay time corresponding to the delay circuit 124 has elapsed, the signal BLEQ changes to the H level, and the signal BLTG0 changes to the L level. Then, the potential of the bit line pair returns to the potential VBL. However, since the transistors 30 to 33 are in a non-conductive state, the sense amplifiers 62 and 63 are maintained when the signals S0 and / S0 are maintained at H and L levels, respectively. The state can be maintained while holding the data read from the memory cell.

다음에, 시각 t4에는, 외부로부터 활성 커맨드 ACT 및 어드레스30이 입력된다. 따라서, 워드선 WL30이 L 레벨로부터 H 레벨로 활성화되고, 대응하는 메모리셀의 데이터가 비트선에 판독되어, 블럭 BLOCK1의 센스 앰프가 신호 SAEQ1에 의해서 소정 기간 초기화된 후에 센스 동작이 행해진다.Next, at time t4, the active command ACT and address 30 are input from the outside. Therefore, the word line WL30 is activated from the L level to the H level, data of the corresponding memory cell is read out to the bit line, and the sense operation is performed after the sense amplifier of the block BLOCK1 is initialized for a predetermined period by the signal SAEQ1.

시각 t5에 있어서는, 라이트 커맨드 WRT 및 어드레스00과 기록 데이터가 외부로부터 입력된다. 따라서, 신호 IOSW1이 H 레벨로 활성화되고, 컬럼 선택선 CSL0이 H 레벨로 활성화된다. 그러면, 입출력 회로(14)로부터의 데이터가 글로벌 IO선 GIO, 로컬 IO선 LIO 및 비트선 BL을 거쳐서 대응하는 메모리셀에 기록된다.At time t5, the write command WRT and address 00 and write data are input from the outside. Therefore, the signal IOSW1 is activated at the H level, and the column select line CSL0 is activated at the H level. Then, data from the input / output circuit 14 is written to the corresponding memory cell via the global IO line GIO, the local IO line LIO, and the bit line BL.

시각 t6에 있어서, 리드 커맨드 RD와 함께 어드레스11이 외부로부터 입력된다. 어드레스의 상위 비트 A4는 센스 앰프에 유지되어 있는 데이터를 직접 판독하는 지정에 이용되고 있다. 즉, 블럭 BLOCK0, 컬럼 어드레스 CA=1에 대응하는 센스 앰프로부터의 판독이 지정되어 있다. 이 때문에, 컬럼 선택선 CSL1이 H 레벨로 활성화되고, 또한 신호 IOSW0이 H 레벨로 활성화되는 것에 따라서 센스 앰프(63)의 유지 데이터가 로컬 IO선 LIO, 글로벌 IO선 GIO를 거쳐서 입출력 회로(14)로 전달된다.At time t6, address 11 is input from the outside along with the read command RD. The upper bit A4 of the address is used to designate to directly read data held in the sense amplifier. That is, reading from the sense amplifier corresponding to the block BLOCK0 and column address CA = 1 is specified. For this reason, as the column select line CSL1 is activated at the H level and the signal IOSW0 is activated at the H level, the holding data of the sense amplifier 63 passes through the local IO line LIO and the global IO line GIO to the input / output circuit 14. Is passed to.

시각 t7에 있어서, 라이트 커맨드 WRT 및 어드레스01과 기록 데이터가 외부로부터 입력된다. 따라서, 신호 IOSW1이 H 레벨로 활성화되고, 또한 컬럼 선택선 CSL1이 H 레벨로 활성화된다. 그러면, 입출력 회로(14)로부터의 데이터가 글로벌 IO선 GIO, 로컬 IO선 LIO, 비트선 BL을 거쳐서 대응하는 메모리셀에 기록된다.At time t7, the write command WRT and address 01 and write data are input from the outside. Thus, the signal IOSW1 is activated at the H level, and the column select line CSL1 is activated at the H level. Then, data from the input / output circuit 14 is written to the corresponding memory cell via the global IO line GIO, the local IO line LIO, and the bit line BL.

동작 파형도를 비교하면 알 수 있듯이, 종래의 동작에서는, 도 23에서 설명한 바와 같이, 복수의 워드선에 연결되는 메모리셀에 액세스하는 경우에는, 프리차지 커맨드 PRE 및 활성 커맨드 ACT가 리드 커맨드 RD 또는 라이트 커맨드 WRT 전에 매회 필요하게 된다. 그러나, 도 7에 나타낸 실시예 1의 반도체 기억 장치의 동작에서는, 판독 동작에 관련되는 두 번째 이후의 활성 커맨드 ACT는 필요 없고, 센스 앰프에 유지된 데이터를 판독하는 것만으로 충분하다.As can be seen by comparing the operation waveform diagrams, in the conventional operation, as described with reference to Fig. 23, when the memory cells connected to the plurality of word lines are accessed, the precharge command PRE and the active command ACT are read command RD or the like. It is needed every time before the write command WRT. However, in the operation of the semiconductor memory device of the first embodiment shown in Fig. 7, the second and subsequent active commands ACT related to the read operation are not necessary, and only reading data held in the sense amplifier is sufficient.

또, 본 실시예에서는, 버스트 길이를 1 클럭으로 하고있기 때문에 판독 동작의 레이턴시가 크게 영향을 미치지만, 버스트 길이가 긴 경우에는, 센스 앰프로부터 직접 데이터를 판독하는 효과는 더욱 높아진다.In this embodiment, since the burst length is one clock, the latency of the read operation is greatly influenced. However, when the burst length is long, the effect of directly reading data from the sense amplifier is further enhanced.

또한, 다른 블럭으로의 액세스는 기록 동작으로 했지만, 판독 동작의 경우, 즉, 시각 t5에서 판독 동작을 실행한 경우에도 완전히 마찬가지로 동작시킬 수 있다.In addition, although the access to another block is a write operation, it can be operated in the same manner in the case of the read operation, that is, even when the read operation is executed at time t5.

이상과 같이, 실시예 1의 반도체 기억 장치에 있어서는, 동일 뱅크에 액세스가 집중된 경우에도, 일단 활성 커맨드로 워드선으로부터의 판독을 행하는 센스 앰프에 유지하는 것으로 일단 활성화한 워드선에 접속되는 메모리셀의 데이터를 1회의 명령으로 판독할 수 있다. 따라서, 실행 전송 레이트를 높게 유지하는 것이 가능해진다.As described above, in the semiconductor memory device of the first embodiment, even when access is concentrated in the same bank, the memory cell connected to the word line once activated by holding in the sense amplifier which reads from the word line with the active command once Can be read in one command. Therefore, it becomes possible to keep the execution transmission rate high.

또한, 본 발명은 면적 상의 패널티가 작기 때문에, 표준 메모리와 본 발명에 따른 메모리를 동일한 칩에 함께 제작 분리하는 것이 충분히 가능하다. 리드 커맨드 RD와 함께 입력하는 확장 어드레스 CA4를 무효로 할 뿐만 아니라, 센스 앰프의이퀄라이즈 타이밍을 종래의 메모리와 마찬가지로 프리차지 커맨드가 들어갔을 때에 개시하도록 변경하는 것도 용이하다.In addition, since the penalty in area of the present invention is small, it is possible to manufacture and separate the standard memory and the memory according to the present invention together on the same chip. In addition to invalidating the extended address CA4 inputted together with the read command RD, it is also easy to change the equalization timing of the sense amplifier to start when the precharge command enters as in the conventional memory.

표준 메모리와 본 발명에 따른 메모리를 만들어 나누는 방법으로는, 웨이퍼 프로세스에 있어서의 금속 배선의 옵션이나, 레이저 트리머 등에 의한 프로그램을 실행하는 방법 및 어셈블리 공정에서의 내부 패드의 전위 고정, 장치의 특정 단자의 전위 고정 등이 생각된다.As a method of making and dividing a standard memory and a memory according to the present invention, options for metal wiring in a wafer process, a method for executing a program by a laser trimmer, etc. Potential fixation and the like.

또한, 전원 투입 후의 레지스터 세트 커맨드에 의해서 표준 메모리로서 동작하는 것인지 본 발명에 따른 메모리로서 동작하는 것인지를 선택하도록 구성하는 것도 가능하다.It is also possible to configure to select whether to operate as a standard memory or a memory according to the present invention by a register set command after power-up.

이상 설명한 바와 같이, 실시예 1의 반도체 기억 장치는, 비트선쌍은 워드선을 비선택으로 한 후에 초기화되지만, 센스 앰프는 그 시점에서는 아직 초기화되지 않는다. 센스 앰프가 초기화되는 것은 그 센스 앰프에 대응하는 메모리 블럭 내의 어느 하나의 워드선이 다음에 활성화될 때이다. 이에 따라, 각 메모리 블럭의 센스 앰프는 전회(前回)에 활성화한 워드선에 연결되는 메모리셀의 데이터를 유지하고 있다. 따라서, 이 유지 데이터를 판독하는 경우에는 워드선을 활성화시키지 않더라도 직접 센스 앰프로부터 판독하는 것이 가능해진다. 로우계의 동작을 따르지 않으므로 이 판독은 매우 고속으로 이루어진다.As described above, in the semiconductor memory device of the first embodiment, the bit line pair is initialized after the word line is unselected, but the sense amplifier is not yet initialized at that time. The sense amplifier is initialized when any word line in the memory block corresponding to that sense amplifier is next activated. As a result, the sense amplifier of each memory block holds the data of the memory cells connected to the word lines activated last time. Therefore, when reading the sustain data, it is possible to read directly from the sense amplifier without activating the word line. This readout is very fast since it does not follow the low system operation.

종래의 DRAM에서도 페이징 동작을 기대하여 워드선을 장시간 활성화해 두어 센스 앰프에 데이터를 유지한 채로 대기시키는 것도 가능하지만, 그 경우 다른 워드선을 선택하고자 하는 경우에 프리차지 커맨드 PRE를 입력한 후에 활성 커맨드ACT를 입력해야 하므로 프리차지에 걸리는 시간만큼 지연이 발생해 버린다.In conventional DRAM, the word line can be activated for a long time in anticipation of a paging operation, and the data can be held in the sense amplifier while waiting. However, in the case of selecting another word line, the word line is activated after inputting the precharge command PRE. Since the command ACT must be input, a delay occurs as long as the time required for precharging.

실시예 1에서는, 워드선은 표준 메모리와 같은 타이밍으로 비활성화되고, 용량이 크고 이퀄라이즈에 시간이 필요한 비트선쌍도 이미 이퀄라이즈되어 있으므로, 어떤 메모리 블럭도 활성 커맨드 ACT를 입력하는 타이밍은 표준 메모리와 마찬가지로 좋다. 종래의 DRAM에 비해 센스 앰프 전용의 이퀄라이즈 회로가 필요하게 되는 것과, 센스 앰프의 이퀄라이즈가 워드선 활성화 후에 시작되는 점이 다르지만, 센스 앰프의 용량은 작으므로 시간적인 패널티는 작다. 또한, 이퀄라이즈 회로의 면적은 큰 손실로는 되지 않는다고 생각된다.In the first embodiment, the word lines are deactivated at the same timing as the standard memory, and the bit line pairs that have a large capacity and require time to equalize are already equalized, so the timing at which any memory block inputs the active command ACT is equal to that of the standard memory. Similarly good. Compared with the conventional DRAM, an equalization circuit dedicated to the sense amplifier is required and the equalization of the sense amplifier starts after the word line is activated. However, since the capacity of the sense amplifier is small, the time penalty is small. In addition, it is thought that the area of an equalizing circuit does not become a big loss.

(실시예 2)(Example 2)

실시예 1에서는, 메모리 제어 장치 측에서, 반도체 기억 장치의 센스 앰프에 유지되어 있는 데이터에 대응하는 로우 어드레스를 관리해 두어야 했다. 그 때문에, 메모리 제어 장치에 요구되는 기능이 매우 복잡하게 되어, 메모리 제어 장치의 부담이 지나치게 커진다고 하는 문제점이 있다. 실시예 2는 이 문제의 대책에 대한 것이다.In the first embodiment, the memory controller has to manage row addresses corresponding to data held in the sense amplifiers of the semiconductor memory device. Therefore, there is a problem that the functions required for the memory control device become very complicated, and the burden on the memory control device becomes excessively large. Example 2 relates to the countermeasure of this problem.

도 8은 실시예 2의 반도체 기억 장치(1A)의 구성을 나타내는 블럭도이다. 도 8을 참조하면, 실시예 2의 반도체 기억 장치(1A)는, 도 1에 나타낸 반도체 기억 장치(1)의 구성에 있어서, 제어 회로(2) 대신 제어 회로(2A)를 포함하고, 센스 앰프 제어 회로(5) 대신 센스 앰프 제어 회로(5A)를 포함한다. 그리고, 반도체 기억 장치(1A)는, 또한 로우 어드레스 비교부(8A)를 포함하는 점이 반도체 기억 장치(1)와 구성이 다르다. 다른 구성은 마찬가지이므로 설명은 반복하지 않는다.8 is a block diagram showing the configuration of the semiconductor memory device 1A according to the second embodiment. Referring to FIG. 8, the semiconductor memory device 1A of the second embodiment includes a control circuit 2A instead of the control circuit 2 in the configuration of the semiconductor memory device 1 shown in FIG. Instead of the control circuit 5, the sense amplifier control circuit 5A is included. The semiconductor memory device 1A differs from the semiconductor memory device 1 in that the semiconductor memory device 1A further includes a row address comparison unit 8A. Since other configurations are the same, the description is not repeated.

실시예 2의 반도체 기억 장치(1A)에서는, 현재 활성화되어 있는 워드선에 대응하는 로우 어드레스와, 센스 앰프가 데이터를 유지하고 있는 메모리셀에 대응하는 로우 어드레스를 내부에 유지한다. 반도체 기억 장치(1A)는 외부로부터 지정된 로우 어드레스와 이들이 유지하고 있는 로우 어드레스를 비교하여, 결과를 외부로 통지하는 기능을 구비하고 있다. 이에 따라서, 메모리 제어 장치 측이 메모리의 워드선의 활성화/비활성화의 어드레스를 관리할 필요가 없어져, 알맞은 제어를 실행할 수 있다.In the semiconductor memory device 1A of the second embodiment, a row address corresponding to a word line currently activated and a row address corresponding to a memory cell in which a sense amplifier holds data are held therein. The semiconductor memory device 1A has a function of comparing a row address designated from the outside with a row address held by them and notifying the result to the outside. This eliminates the need for the memory control device side to manage the address of the activation / deactivation of the word line of the memory, thereby enabling proper control.

실시예 2에 나타내는 반도체 기억 장치(1A)에서 제어 방법이 일반적인 SDRAM과 다른 점을 설명한다.In the semiconductor memory device 1A shown in the second embodiment, the control method is different from the general SDRAM.

우선, 프리차지 올 커맨드 PALL을 제외하고 프리차지 커맨드는 존재하지 않는다. 리드 커맨드 RD의 2클럭 전에 반드시 커맨드 SEN의 입력이 필요하게 된다. 라이트 커맨드 WRT의 2클럭 전에 반드시 활성 커맨드 ACT가 필요하게 된다.First, there is no precharge command except for the precharge all command PALL. The input of the command SEN is necessarily required two clocks before the read command RD. The active command ACT is necessarily required two clocks before the write command WRT.

커맨드 ACT나 커맨드 SEN의 입력이 필요한 것은 동일 뱅크 어드레스 내에 복수의 활성화된 행이 존재하므로, 리드 커맨드 RD/라이트 커맨드 WRT와 대응하는 로우 어드레스를 명확히 할 필요가 있기 때문이다.The input of the command ACT or the command SEN is necessary because there are a plurality of active rows in the same bank address, and therefore the row address corresponding to the read command RD / write command WRT needs to be clarified.

활성 커맨드 ACT는, 워드선을 반드시 활성화시키는 커맨드이며, 기록 동작 시에 사용한다. 일단 활성화한 워드선은 연속한 기록 동작(버스트 기록)을 상정하고, 동일한 메모리 블럭 내의 다른 워드선을 다음에 활성화시킬 때까지 활성화 상태를 유지한다.The active command ACT is a command for necessarily activating a word line and is used during a write operation. The word line once activated assumes a continuous write operation (burst write) and remains active until another word line in the same memory block is next activated.

커맨드 SEN은 활성 커맨드 ACT와 사용 방법은 유사하지만, 이미 로우 어드레스에 대응하는 메모리셀의 데이터가 센스 앰프에 유지되어 있는 경우에는 워드선을 활성화시키지 않는다. 이 커맨드 SEN은 판독 동작 시에 이용한다. 커맨드 SEN에서 활성화된 워드선은 센스 동작 완료 후 자동적으로 비활성화되고, 비트선쌍은 이퀄라이즈 상태로 된다. 데이터 판독이 종료한 후에는 워드선이 비활성화 상태에 있으므로, 메모리셀로의 액세스는 할 수 없다.The command SEN is similar in usage to the active command ACT, but does not activate the word line when the data of the memory cell corresponding to the row address is already held in the sense amplifier. This command SEN is used during the read operation. The word line activated at the command SEN is automatically deactivated after the sense operation is completed, and the bit line pair is equalized. Since the word line is in an inactive state after the data reading is finished, access to the memory cell is not possible.

프리차지 올 커맨드 PALL을 입력한 경우에는, 모든 센스 앰프는 초기 상태로 되돌려진다.When the precharge all command PALL is entered, all sense amplifiers are returned to their initial state.

도 8의 로우 어드레스 비교부(8A)는 활성화 상태에 있는 로우 어드레스와, 센스 앰프에 데이터를 유지하고 있는 로우 어드레스를 내부에 유지하고 있다. 외부로부터 로우 어드레스가 입력되면, 로우 어드레스 비교부(8A)는 보관하고 있는 어드레스 정보와 입력된 어드레스 정보의 비교를 행한다. 로우 어드레스에 해당하는 메모리 블럭 내의 별도의 로우 어드레스가 현재 활성 상태에 있는 경우에는, 신호 IntBUSY를 제어 회로(2A)로 복귀시킨다. 한편, 로우 어드레스 비교부(8A)는 센스 앰프에 데이터가 유지되어 있는 메모리셀에 입력된 로우 어드레스가 대응하는 경우에는, 신호 Ready를 제어 회로(2A)로 복귀시킨다. 제어 회로(2A)는 로우 어드레스 비교부(8A)로부터 비지 신호 IntBUSY가 인가된 경우에는, 외부에 대하여 신호 BUSY를 출력하고 메모리 제어 장치(9)에 대하여 커맨드의 재입력을 촉구한다.The row address comparison section 8A shown in FIG. 8 holds the row address in the activated state and the row address holding data in the sense amplifier. When a row address is input from the outside, the row address comparison section 8A compares the stored address information with the input address information. When a separate row address in the memory block corresponding to the row address is currently active, the signal IntBUSY is returned to the control circuit 2A. On the other hand, the row address comparison section 8A returns the signal Ready to the control circuit 2A when the row address input to the memory cell in which data is held in the sense amplifier corresponds. When the busy signal IntBUSY is applied from the row address comparison section 8A, the control circuit 2A outputs the signal BUSY to the outside and prompts the memory control device 9 to re-enter the command.

도 9는 도 8에 있어서의 로우 어드레스 비교부(8A)의 구성을 나타낸 회로도이다.FIG. 9 is a circuit diagram showing the configuration of the row address comparison section 8A in FIG.

도 9를 참조하면, 로우 어드레스 비교부(8A)는 입력된 로우 어드레스를 내부에 유지하는 로우 어드레스와 비교하는 어드레스 비교부(202)와, 신호 SENREQ, ACTREQ에 따라 내부 커맨드 신호 ACT0, PRE0 등을 출력하는 내부 커맨드 신호 발생부(204)와, 어드레스 비교부(202), 내부 커맨드 신호 발생부(204)의 출력에 따라 제어 신호를 출력하는 제어 신호 출력부(206)를 포함한다.Referring to FIG. 9, the row address comparison unit 8A compares the address comparison unit 202 for comparing the input row address with the row address holding therein, and the internal command signals ACT0 and PRE0 according to the signals SENREQ and ACTREQ. And an internal command signal generator 204 for outputting, a control signal output unit 206 for outputting a control signal in accordance with the output of the address comparator 202 and the internal command signal generator 204.

어드레스 비교부(202)는 메모리 블럭 BLOCK0∼BLOCK3에 각각 대응하는 레지스터 어레이(210∼213)를 포함한다. 내부 커맨드 신호 발생부(204)는 신호 SEN0REQ, HIT를 받는 NAND 회로(222)와, NAND 회로(222)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(224)와, 신호 ACT0REQ, HIT, WLON을 받는 3입력의 NAND 회로(226)와, NAND 회로(226)의 출력을 반전시키는 인버터(228)와, 인버터(224)의 출력과 인버터(228)의 출력을 받는 OR 회로(230)와, OR 회로(230)의 출력에 따라 세트되고 클럭 신호 CLK에 따라 리셋되어 신호 Ready를 출력하는 SR 플립플롭 회로(232)를 포함한다.The address comparison unit 202 includes register arrays 210 to 213 corresponding to the memory blocks BLOCK0 to BLOCK3, respectively. The internal command signal generator 204 includes a NAND circuit 222 that receives signals SEN0REQ and HIT, an inverter 224 that receives and inverts the output of the NAND circuit 222, and a three-input that receives signals ACT0REQ, HIT, and WLON. NAND circuit 226, inverter 228 for inverting output of NAND circuit 226, OR circuit 230 for receiving output of inverter 224 and output of inverter 228, and OR circuit 230 And an SR flip-flop circuit 232, which is set according to the output of P and reset according to the clock signal CLK to output the signal Ready.

내부 커맨드 신호 발생부(204)는 신호 SEN0REQ, WLON, HIT을 받는 게이트 회로(234)와, 게이트 회로(234)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(236)와, 신호 ACT0REQ, WLON을 받는 게이트 회로(238)와, 게이트 회로(238)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(240)와, 인버터(236)의 출력과 인버터(240)의 출력을 받는 OR 회로(242)와, OR 회로(242)의 출력에 따라 세트되고 클럭 신호 CLK에 따라 리셋되어 신호 ACT0을 출력하는 SR 플립플롭 회로(244)를 더 포함한다.The internal command signal generator 204 includes a gate circuit 234 receiving signals SEN0REQ, WLON, and HIT, an inverter 236 for inverting the output of the gate circuit 234, and a gate circuit receiving signals ACT0REQ, WLON ( 238, an inverter 240 that receives the output of the gate circuit 238 and inverts it, an OR circuit 242 that receives the output of the inverter 236 and the output of the inverter 240, and an output of the OR circuit 242. And an SR flip-flop circuit 244 that is set according to the < RTI ID = 0.0 > and reset < / RTI >

게이트 회로(234)는 신호 SEN0REQ가 H 레벨이고, 또한 신호 WLON이 L 레벨이며, 또한 신호 HIT가 L 레벨인 것을 검출하여 출력을 L 레벨로 활성화한다. 또한,게이트 회로(238)는 신호 ACT0REQ가 H 레벨이고, 또한 신호 WLON이 L 레벨인 것을 검출하여 출력을 L 레벨로 활성화한다.The gate circuit 234 detects that the signal SEN0REQ is at the H level, the signal WLON is at the L level, and the signal HIT is at the L level, and activates the output to the L level. Further, the gate circuit 238 detects that the signal ACT0REQ is at the H level and the signal WLON is at the L level, thereby activating the output to the L level.

내부 커맨드 신호 발생부(204)는 클럭 신호 /CLK에 따라 활성화하여 인버터(236)의 출력을 받아 반전시키는 클럭 인버터(246)와, 클럭 신호 CLK에 따라 활성화하여 클럭 인버터(246)의 출력을 받아 반전시키는 클럭 인버터(248)와, 클럭 신호 /CLK에 따라 활성화하여 클럭 인버터(248)의 출력을 받아 반전시키는 클럭 인버터(250)와, 클럭 신호 CLK에 따라 활성화하여 클럭 인버터(250)의 출력을 받아 반전시키는 클럭 인버터(252)를 더 포함한다.The internal command signal generator 204 receives the output of the clock inverter 246 by activating according to the clock signal / CLK and inverting the output of the inverter 236 and activating according to the clock signal CLK. A clock inverter 248 to invert, a clock inverter 250 activated according to the clock signal / CLK to receive and output the output of the clock inverter 248, and a clock inverter 250 activated according to the clock signal CLK to activate the output of the clock inverter 250. It further includes a clock inverter 252 for receiving and inverting.

내부 커맨드 신호 발생부(204)는 신호 SEN0REQ, WLON, HIT을 받는 게이트 회로(254)와, 게이트 회로(254)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(256)와, 신호 ACT0REQ, HIT, WLON을 받는 게이트 회로(258)와, 게이트 회로(258)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(260)와, 인버터(256)의 출력과 인버터(260)의 출력을 받는 OR 회로(262)를 더 포함한다.The internal command signal generator 204 includes a gate circuit 254 that receives signals SEN0REQ, WLON, and HIT, an inverter 256 that receives and inverts the output of the gate circuit 254, and a gate that receives signals ACT0REQ, HIT, and WLON. The circuit 258 further includes an inverter 260 that receives the output of the gate circuit 258 and inverts it, and an OR circuit 262 that receives the output of the inverter 256 and the output of the inverter 260.

게이트 회로(254)는 신호 SEN0REQ 및 신호 WLON이 모두 H 레벨이고, 또한, 신호 HIT가 L 레벨인 것을 검출하여 출력을 L 레벨로 활성화시킨다. 게이트 회로(258)는 신호 ACT0REQ, WLON이 모두 H 레벨이고, 또한, 신호 HIT가 L 레벨인 것을 검출하여 출력을 L 레벨로 활성화시킨다.The gate circuit 254 detects that both the signal SEN0REQ and the signal WLON are at the H level, and the signal HIT is at the L level, thereby activating the output to the L level. The gate circuit 258 detects that the signals ACT0REQ and WLON are both at the H level, and the signal HIT is at the L level, thereby activating the output to the L level.

내부 커맨드 신호 발생부(204)는 신호 INBURST와 OR 회로(262)의 출력을 받는 게이트 회로(264)와, 게이트 회로(264)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(266)와, 인버터(266)의 출력에 따라 세트되고 클럭 신호 CLK에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(268)를 더 포함한다. 게이트 회로(264)는 신호 INBURST가 L 레벨이고, 또한, OR 회로(262)의 출력이 H 레벨인 것을 검출하여 출력을 L 레벨로 활성화시킨다.The internal command signal generator 204 includes a gate circuit 264 that receives the signal INBURST and an output of the OR circuit 262, an inverter 266 that receives the output of the gate circuit 264, and reverses the output of the gate circuit 264, and an inverter 266. And an SR flip-flop circuit 268 that is set according to the output and reset in accordance with the clock signal CLK. The gate circuit 264 detects that the signal INBURST is at the L level and that the output of the OR circuit 262 is at the H level, and activates the output to the L level.

내부 커맨드 신호 발생부(204)는 OR 회로(262)의 출력과 신호 INBURST를 받는 NAND 회로(270)와, NAND 회로(270)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(272)와, 인버터(272)의 출력에 따라 세트되고 클럭 신호 CLK에 따라 리셋되어 신호 NOP0을 출력하는 SR 플립플롭 회로(274)와, 클럭 인버터(252)의 출력과 SR 플립플롭 회로(268)의 출력을 받아 신호 PRE0을 출력하는 OR 회로(276)를 더 포함한다.The internal command signal generator 204 includes the NAND circuit 270 that receives the output of the OR circuit 262 and the signal INBURST, the inverter 272 that inverts the output of the NAND circuit 270, and the inverter 272. The SR flip-flop circuit 274 that is set according to the output and reset according to the clock signal CLK to output the signal NOP0, receives the output of the clock inverter 252 and the output of the SR flip-flop circuit 268, and outputs the signal PRE0. It further includes an OR circuit 276.

제어 신호 출력부(206)는 신호 HIT0∼HIT3을 받아 신호 HIT를 출력하는 4입력의 OR 회로(282)와, 신호 INBURST0∼INBURST3을 받아 신호 INBURST를 출력하는 4입력의 OR 회로(284)와, 신호 WLON0∼WLON3을 받아 신호 WLON을 출력하는 4입력의 OR 회로(286)와, 신호 ACT0, PRE0, NOP0을 받아 신호 IntBUSY를 출력하는 3입력의 OR 회로(288)를 포함한다.The control signal output unit 206 includes four input OR circuits 282 for receiving signals HIT0 to HIT3 and outputting signals HIT, four input OR circuits 284 for receiving signals INBURST0 to INBURST3 and outputting signals INBURST; Four input OR circuits 286 for receiving the signals WLON0 to WLON3 and outputting the signal WLON, and three input OR circuits 288 for receiving the signals ACT0, PRE0 and NOP0 and outputting the signal IntBUSY.

도 10은 도 9에 있어서의 레지스터 어레이(210)의 구성을 나타내는 회로도이다.FIG. 10 is a circuit diagram showing the structure of the register array 210 in FIG.

도 10을 참조하면, 레지스터 어레이(210)는 신호 ACT0, B0SEL을 받는 NAND 회로(302)와, NAND 회로(302)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(304)와, 인버터(304)의 출력에 따라 세트되고 신호 BLEQ0에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(306)와, SR 플립플롭 회로(306)의 출력과 신호 B0SEL을 받는 NAND 회로(308)와, NAND 회로(308)의 출력을 받아 반전시켜 신호 WLON0을 출력하는 인버터(309)를 포함한다.Referring to FIG. 10, the register array 210 includes a NAND circuit 302 that receives signals ACT0 and B0SEL, an inverter 304 that receives and inverts the output of the NAND circuit 302, and an output of the inverter 304. SR flip-flop circuit 306 that is set and reset in accordance with signal BLEQ0, NAND circuit 308 that receives the output of SR flip-flop circuit 306 and signal B0SEL, and the output of NAND circuit 308 receives and inverts the signal. An inverter 309 for outputting WLON0.

레지스터 어레이(210)는 인버터(304)의 출력을 한쪽의 입력으로 받고, 로우 어드레스 신호 RA0∼RA4를 다른쪽의 입력으로 각각 받는 NAND 회로(310∼314)와, NAND 회로(310∼314)의 출력에 따라 각각 세트되는 SR 플립플롭 회로(320∼324)를 포함한다. SR 플립플롭 회로(320∼324)는 모두 신호 SAEQ0에 따라 리셋된다.The register array 210 receives the output of the inverter 304 as one input and receives the row address signals RA0 to RA4 as the other input, respectively, of the NAND circuits 310 to 314 and the NAND circuits 310 to 314. SR flip-flop circuits 320 to 324 each set in accordance with the output. The SR flip-flop circuits 320 to 324 are all reset in accordance with the signal SAEQ0.

레지스터 어레이(210)는 전원 노드와 노드 N11 사이에 접속되는 저항(344)과, 접지 노드와 노드 N00 사이에 접속되는 저항(346)과, 신호 B0SEL을 받아 반전시키는 인버터(342)와, 노드 N11과 노드 N00 사이에 병렬로 접속되어 로우 어드레스 신호 RA0∼RA4를 각각 전회(前回)에 입력된 값과 비교하는 어드레스 비트 비교부(330∼334)를 더 포함한다.The resistor array 210 includes a resistor 344 connected between the power supply node and the node N11, a resistor 346 connected between the ground node and the node N00, an inverter 342 which receives and inverts a signal B0SEL, and a node N11. And an address bit comparison unit 330 to 334, which are connected in parallel between the node and the node N00 and compare the row address signals RA0 to RA4 with values previously input, respectively.

어드레스 비트 비교부(330)는 전원 노드와 노드 N00 사이에 직렬로 접속되는 P 채널 MOS 트랜지스터(352, 354, 356)와, 노드 N11과 접지 노드 사이에 직렬로 접속되는 N 채널 MOS 트랜지스터(358, 360, 362)를 포함한다.The address bit comparison unit 330 includes P channel MOS transistors 352, 354, and 356 connected in series between a power supply node and a node N00, and an N channel MOS transistor 358 connected in series between a node N11 and a ground node. 360, 362).

P 채널 MOS 트랜지스터(352)의 게이트에는 SR 플립플롭 회로(320)의 출력이 인가되고, P 채널 MOS 트랜지스터(354)의 게이트에는 입력되는 로우 어드레스 신호 RA0이 인가되며, P 채널 MOS 트랜지스터(356)의 게이트에는 인버터(342)의 출력이 인가된다. N 채널 MOS 트랜지스터(358)의 게이트에는 신호 B0SEL이 인가되고, N 채널 MOS 트랜지스터(360)의 게이트에는 SR 플립플롭 회로(320)의 출력이 인가되며, N 채널 MOS 트랜지스터(362)의 게이트에는 입력되는 로우 어드레스 신호 RA0이 인가된다.The output of the SR flip-flop circuit 320 is applied to the gate of the P-channel MOS transistor 352, and the input row address signal RA0 is applied to the gate of the P-channel MOS transistor 354, and the P-channel MOS transistor 356 is applied thereto. The output of the inverter 342 is applied to the gate of. A signal B0SEL is applied to the gate of the N-channel MOS transistor 358, an output of the SR flip-flop circuit 320 is applied to the gate of the N-channel MOS transistor 360, and an input is input to the gate of the N-channel MOS transistor 362. The row address signal RA0 is applied.

어드레스 비트 비교부(331∼334)는 입력되는 로우 어드레스 신호 RA0 대신 각각 로우 어드레스 신호 RA1∼RA4가 인가되고, SR 플립플롭 회로(320)의 출력 대신 각각 SR 플립플롭 회로(321∼324)의 출력이 인가되는 점이 어드레스 비트 비교부(330)와 다르지만, 내부의 구성은 어드레스 비트 비교부(330)와 마찬가지이므로 설명은 반복하지 않는다.The row address signals RA1 to RA4 are applied to the address bit comparison units 331 to 334 instead of the row address signals RA0 to be input, and the outputs of the SR flip flop circuits 321 to 324 respectively instead of the output of the SR flip flop circuit 320. Although this point is different from that of the address bit comparison unit 330, since the internal structure is the same as that of the address bit comparison unit 330, the description is not repeated.

레지스터 어레이(210)는 노드 N11이 H 레벨이고, 노드 N00이 L 레벨인 것을 검출하여 출력을 L 레벨로 활성화하는 게이트 회로(348)와, 게이트 회로(348)의 출력을 반전시켜 신호 HIT0을 출력하는 인버터(350)를 포함한다.The register array 210 detects that the node N11 is at the H level and the node N00 is at the L level, thereby inverting the output of the gate circuit 348 to output the signal HIT0 by inverting the output of the gate circuit 348. An inverter 350 is included.

레지스터 어레이(210)는 신호 RD0과 신호 WRT0을 받는 OR 회로(364)와, OR 회로(364)의 출력과 신호 B0SEL을 받는 NAND 회로(366)와, NAND 회로(366)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(368)와, 인버터(368)의 출력을 받는 직렬로 접속된 클럭 인버터(370∼380)와, 인버터(368)의 출력에 따라 세트되고 클럭 인버터(380)의 출력에 따라 리셋되어 신호 INBURST0을 출력하는 SR 플립플롭 회로(382)를 포함한다.The register array 210 receives and inverts the OR circuit 364 receiving the signal RD0 and the signal WRT0, the NAND circuit 366 receiving the output of the OR circuit 364 and the signal B0SEL, and the output of the NAND circuit 366. Inverter 368, clocked inverters 370 to 380 connected in series receiving the output of inverter 368, and set according to the output of inverter 368 and reset in accordance with the output of clock inverter 380 to signal INBURST0. SR flip-flop circuit 382 for outputting the same.

클럭 인버터(370, 374, 378)는 클럭 신호 CLK가 H 레벨일 경우에 활성화된다. 한편, 클럭 인버터(372, 376, 380)는 클럭 신호 /CLK가 H 레벨일 경우에 활성화된다.The clock inverters 370, 374, 378 are activated when the clock signal CLK is at the H level. On the other hand, the clock inverters 372, 376, and 380 are activated when the clock signal / CLK is at the H level.

여기서 도 9, 도 10을 참조하여 로우 어드레스 비교부(8A)의 동작에 대하여 간단히 설명한다.9 and 10, the operation of the row address comparison section 8A will be briefly described.

우선, 메모리 제어 장치(9)로부터 커맨드로서 ACT가 입력된 경우에는, 제어회로(2A)는 로우 어드레스 비교부에 대하여 신호 ACTREQ가 활성화된다. 도 9에서는, 블럭 BLOCK0에 대응하여 신호 ACT0REQ가 활성화된다. 신호 HIT가 H 레벨이고, 또한 신호 WLON이 H 레벨일 경우에는, 대응하는 워드선이 활성화되어 있으므로 로우 어드레스 비교부는 신호 Ready를 활성화시켜 메모리 제어 장치(9)로부터 계속해서 전송되는 라이트 커맨드 WRT를 기다리게 된다.First, when ACT is input as a command from the memory control device 9, the control circuit 2A activates the signal ACTREQ for the row address comparison section. In Fig. 9, the signal ACT0REQ is activated corresponding to the block BLOCK0. When the signal HIT is at the H level and the signal WLON is at the H level, since the corresponding word line is activated, the row address comparator activates the signal Ready to wait for the write command WRT continuously transmitted from the memory control device 9. do.

한편, 신호 WLON이 L 레벨일 경우에는, 워드선을 활성화시킬 필요가 있으므로, SR 플립플롭 회로(244)에 의해서 신호 ACT0이 활성화된다.On the other hand, when the signal WLON is at the L level, the word line needs to be activated, so the signal ACT0 is activated by the SR flip-flop circuit 244.

또한, 신호 HIT가 L 레벨이고, 또한, 신호 WLON이 H 레벨의 경우에는, 지정된 메모리 블럭이 사용 중이므로, 비지 신호 BUSY가 출력된다. 이 경우에 신호 INBURST가 L 레벨일 경우에는, 신호 PRE0이 동시에 활성화되지만, 신호 INBURST가 H 레벨의 경우에는, 신호 PRE0은 활성화되지 않아 프리차지는 실행되지 않는다.When the signal HIT is at the L level and the signal WLON is at the H level, the busy signal BUSY is output because the designated memory block is in use. In this case, when signal INBURST is at L level, signal PRE0 is activated at the same time, but when signal INBURST is at H level, signal PRE0 is not activated and precharge is not executed.

다음에, 리드 커맨드에 앞서 메모리 제어 장치(9)로부터 커맨드 SEN이 인가되는 경우에 대하여 설명한다. 커맨드 SEN이 인가되면, 제어 회로(2A)는 로우 어드레스 비교부(8A)에 대하여 로우 어드레스 RA0∼RA4와 신호 SEN0REQ를 송신한다. 로우 어드레스가 일치하여 신호 HIT가 H 레벨이 된 경우에는, 로우 어드레스 비교부(8A)는 신호 Ready를 출력하고 계속하여 리드 커맨드 RD가 전송되는 것을 기다린다.Next, the case where the command SEN is applied from the memory control device 9 before the read command will be described. When the command SEN is applied, the control circuit 2A transmits the row addresses RA0 to RA4 and the signal SEN0REQ to the row address comparison section 8A. When the row addresses match and the signal HIT becomes H level, the row address comparison section 8A outputs the signal Ready and continues to wait for the read command RD to be transmitted.

한편, 신호 HIT가 L 레벨이고, 또한 신호 WLON이 L 레벨인 경우에는, 워드선을 활성화시킬 필요가 있으므로, 신호 ACT0을 활성화시켜 워드선을 활성화시키고, 그 후 2 클럭 후에 자동적으로 신호 PRE0을 활성화시켜 워드선을 비활성화시킨다.On the other hand, when the signal HIT is at the L level and the signal WLON is at the L level, the word line needs to be activated. Therefore, the signal ACT0 is activated to activate the word line, and the signal PRE0 is automatically activated two clocks later. To disable the word line.

또한, 신호 HIT가 L 레벨이고, 또한, 신호 WLON이 H 레벨인 경우에는, 메모리 블럭이 사용 중이기 때문에, 신호 BUSY가 활성화되고, 이 때 신호 INBURST가 L 레벨일 경우에는 동시에 신호 PRE0이 활성화된다. 신호 INBURST가 H 레벨일 경우에는 신호 PRE0은 활성화되지 않아 프리차지는 실행되지 않는다.When the signal HIT is at L level and the signal WLON is at H level, the signal BUSY is activated because the memory block is in use. At this time, when the signal INBURST is L level, the signal PRE0 is activated at the same time. If the signal INBURST is at the H level, the signal PRE0 is not activated and no precharge is performed.

도 11은 도 8에 있어서의 센스 앰프 제어 회로(5A)의 구성을 설명하기 위한 회로도이다.FIG. 11 is a circuit diagram for explaining the configuration of the sense amplifier control circuit 5A in FIG. 8.

도 11을 참조하면, 제어 회로(2A)는 외부로부터 입력되는 커맨드 CMD에 따라서 신호 ACT0REQ, SEN0REQ, RD0, WRT0, PALL을 출력한다. 설명의 편의상 뱅크 어드레스는 생략되어 있고, 커맨드는 뱅크O에 대한 것이 나타내어져 있다.Referring to FIG. 11, the control circuit 2A outputs signals ACT0REQ, SEN0REQ, RD0, WRT0, and PALL in accordance with a command CMD input from the outside. For convenience of explanation, the bank address is omitted, and the command is shown for bank O. In FIG.

센스 앰프 제어 회로(5A)는 도 6에서 나타낸 센스 앰프 제어 회로(5)의 구성에, 신호 B0SEL과 신호 PRE0을 받는 NAND 회로(402)를 더 포함하고, 이 NAND 회로(402)의 출력이 지연 회로(124) 및 OR 회로(164)에 인가되는 점이 다르다.The sense amplifier control circuit 5A further includes, in the configuration of the sense amplifier control circuit 5 shown in FIG. 6, a NAND circuit 402 that receives the signal B0SEL and the signal PRE0, and the output of the NAND circuit 402 is delayed. The difference is applied to the circuit 124 and the OR circuit 164.

또한, 센스 앰프 제어 회로(5A)는 신호 발생 회로(147) 대신 신호 발생 회로(404)를 포함하는 점이 센스 앰프 제어 회로(5)와 다르다. 센스 앰프 제어 회로(5A)의 다른 부분의 구성은 도 6의 센스 앰프 제어 회로(5)와 마찬가지이므로 설명은 반복하지 않는다.The sense amplifier control circuit 5A differs from the sense amplifier control circuit 5 in that the sense amplifier control circuit 5A includes a signal generator circuit 404 instead of the signal generator circuit 147. Since the structure of the other part of the sense amplifier control circuit 5A is the same as that of the sense amplifier control circuit 5 of FIG. 6, description is not repeated.

신호 발생 회로(404)는 신호 ACT0REQ, SEN0REQ를 받는 OR 회로(406)와, 신호 Ready와 지연 회로(102)의 출력을 받는 OR 회로(408)와, 신호 RA5, RA6을 받는 OR 회로(410)와, OR 회로(408, 410)의 출력을 받는 게이트 회로(412)와, 게이트 회로(412)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(416)와, 인버터(416)의 출력에 따라세트되고 클럭 신호 CLK에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(418)를 포함한다.The signal generation circuit 404 includes an OR circuit 406 that receives signals ACT0REQ and SEN0REQ, an OR circuit 408 that receives the outputs of the signal Ready and delay circuits 102, and an OR circuit 410 that receives signals RA5 and RA6. And a gate circuit 412 that receives the outputs of the OR circuits 408 and 410, an inverter 416 that receives and inverts the outputs of the gate circuits 412, and a clock signal CLK that is set in accordance with the output of the inverter 416. SR flip-flop circuit 418 that is reset according to the < Desc / Clms Page number 12 >

게이트 회로(412)는 OR 회로(408)의 출력이 H 레벨이고, 또한 OR 회로(410)의 출력이 L 레벨인 것을 검출하여 출력을 L 레벨로 활성화시킨다.The gate circuit 412 detects that the output of the OR circuit 408 is at the H level and the output of the OR circuit 410 is at the L level, thereby activating the output to the L level.

신호 발생 회로(404)는 OR 회로(410, 406)의 출력을 받는 게이트 회로(414)와, 게이트 회로(414)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(420)와, 인버터(420)의 출력에 따라 세트되고 클럭 신호 CLK에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(422)를 더 포함한다. 게이트 회로(414)는 OR 회로(410)의 출력이 L 레벨이고, 또한, OR 회로(406)의 출력이 H 레벨인 것을 검출하여 출력을 L 레벨로 활성화시킨다.The signal generation circuit 404 is a gate circuit 414 that receives the outputs of the OR circuits 410 and 406, an inverter 420 that inverts the output of the gate circuit 414, and an output of the inverter 420. And an SR flip-flop circuit 422 that is set and reset in accordance with the clock signal CLK. The gate circuit 414 detects that the output of the OR circuit 410 is at the L level and the output of the OR circuit 406 is at the H level, and activates the output to the L level.

신호 발생 회로(404)는 SR 플립플롭 회로(418)의 출력을 받는 직렬로 접속된 네 개의 클럭 인버터(424∼430)와, SR 플립플롭 회로(418, 422)의 출력과 클럭 인버터(430)의 출력을 받아 신호 B0SEL을 출력하는 3입력의 OR 회로(432)를 더 포함한다. 클럭 인버터(424, 428)는 클럭 신호 /CLK가 H 레벨일 경우에 활성화하여 반전 동작을 실행한다. 한편, 클럭 인버터(426, 430)는 클럭 신호 CLK가 H 레벨일 경우에 활성화하여 반전 동작을 실행한다.The signal generating circuit 404 includes four clock inverters 424 to 430 connected in series to receive the output of the SR flip-flop circuit 418, the outputs of the SR flip-flop circuits 418 and 422, and the clock inverter 430. And an OR circuit 432 of three inputs that receives the output of < RTI ID = 0.0 > The clock inverters 424 and 428 are activated when the clock signal / CLK is at the H level to perform the inversion operation. On the other hand, the clock inverters 426 and 430 activate when the clock signal CLK is at the H level to perform the inversion operation.

도 12는 실시예 2의 반도체 기억 장치의 동작을 설명하기 위한 동작 파형도이다.12 is an operational waveform diagram for describing the operation of the semiconductor memory device of the second embodiment.

도 12를 참조하면, 시각 t1에 있어서, 외부로부터 커맨드 SEN 및 어드레스O 0이 입력된다. 첫 회의 입력이므로 센스 앰프에 데이터는 유지되어 있지 않다. 이 때문에 실제로 워드선의 활성화가 행해진다. 즉, 워드선 중 워드선 WL00이 선택되어 H 레벨로 활성화된다.Referring to Fig. 12, at time t1, the command SEN and address 0 are input from the outside. Since it is the first input, no data is retained in the sense amplifier. For this reason, word lines are actually activated. That is, word line WL00 is selected among the word lines to be activated at the H level.

그 후 실시예 1의 경우와 마찬가지로, 센스 앰프가 신호 SAEQ0에 따라 펄스 형상으로 이퀄라이즈되고, 신호 BLTG0이 L 레벨로부터 H 레벨로 활성화된 후에 센스 동작이 행해진다. 센스 동작이 완료되면, 커맨드 SEN에서 활성화된 워드선은 자동적으로 비활성화되고, 신호 BLEQ0은 활성화되는 것에 따라서 비트선쌍의 이퀄라이즈가 개시된다.Thereafter, as in the case of the first embodiment, the sense amplifier is equalized in a pulse shape in accordance with the signal SAEQ0, and the sense operation is performed after the signal BLTG0 is activated from the L level to the H level. When the sense operation is completed, the word line activated at the command SEN is automatically deactivated, and the equalization of the bit line pair is started as the signal BLEQ0 is activated.

시각 t2에 있어서, 리드 커맨드 RD 및 어드레스00이 입력된다. 이에 따라, 컬럼 선택선 CSL0, CSL1, CSL2, CSL3이 순차적으로 활성화되어, 센스 앰프에 판독 유지되고 있는 데이터를 외부로 판독한다.At time t2, the read command RD and address 00 are input. As a result, the column select lines CSL0, CSL1, CSL2, and CSL3 are sequentially activated to read out data held in the sense amplifier to the outside.

시각 t3에 있어서, 커맨드 SEN 및 어드레스00이 다시 입력된다.At time t3, the command SEN and address 00 are input again.

이미 어드레스00에 대응하는 메모리셀의 데이터는 센스 앰프에 유지되어 있으므로, 로우 어드레스 비교부(8A)는 제어 회로(2A)에 대하여 신호 Ready를 활성화시킨다. 이 경우에 로우계의 동작은 필요가 없다.Since the data of the memory cell corresponding to the address 00 is already held in the sense amplifier, the row address comparison section 8A activates the signal Ready for the control circuit 2A. In this case, the row system does not need to be operated.

시각 t4에 있어서, 리드 커맨드 RD 및 어드레스04가 입력된다. 컬럼 어드레스에 따라 컬럼 선택선 CSL4, CSL5, CSL6, CSL7이 순차적으로 활성화되어 센스 앰프에 유지된 데이터가 판독된다. 이상의 동작에 의해 외부로 출력 신호로서 데이터 Q0∼Q7이 출력된다.At time t4, the read command RD and address 04 are input. The column select lines CSL4, CSL5, CSL6, and CSL7 are sequentially activated in accordance with the column address to read the data held in the sense amplifier. By the above operation, data Q0 to Q7 are output to the outside as an output signal.

계속해서 시각 t5에 있어서, 기록 동작을 실행하기 위해서 활성 커맨드 ACT 및 어드레스20이 입력된다. 메모리 블럭1은 비활성 상태이기 때문에, 로우 어드레스에 대응하는 워드선의 활성화가 행해진다. 즉, 워드선 WL20이 선택되어 L 레벨로부터 H 레벨로 활성화된다. 워드선의 활성화와 동시에 센스 앰프가 신호 SAEQ0에 의해서 펄스 형상으로 이퀄라이즈되어, 신호 BLTG1에 따라 분리 게이트가 열린 후에 센스 동작이 행해진다.Subsequently, at time t5, an active command ACT and an address 20 are input to execute the write operation. Since the memory block 1 is in an inactive state, the word line corresponding to the row address is activated. Namely, the word line WL20 is selected to be activated from the L level to the H level. At the same time as the word line is activated, the sense amplifier is equalized into a pulse shape by the signal SAEQ0, and the sense operation is performed after the separation gate is opened in accordance with the signal BLTG1.

다만, 센스 동작이 완료되어도 버스트 기록이 실행되기 때문에 H 레벨로 활성화된 워드선 WL20은 활성화 상태를 유지한다.However, since the burst write is executed even after the sense operation is completed, the word line WL20 activated at the H level is kept in the activated state.

시각 t6에 있어서, 라이트 커맨드 WRT 및 어드레스00이 입력된다. 그리고, 기록 데이터 D0∼D3이 외부로부터 순차적으로 인가된다. 따라서, 워드선 WL20 및 컬럼 선택선 CSL0, CSL1, CSL2, CSL3으로 지정되는 메모리셀에 순차적으로 데이터가 기록된다.At time t6, the write command WRT and address 00 are input. Then, the recording data D0 to D3 are sequentially applied from the outside. Therefore, data is sequentially written to the memory cells designated by the word line WL20 and the column select lines CSL0, CSL1, CSL2, and CSL3.

시각 t7에 있어서, 외부로부터 활성 커맨드 ACT 및 어드레스20이 입력된다.At time t7, the active command ACT and address 20 are input from the outside.

그러나, 메모리 블럭 BLOCK1은 워드선 WL20이 활성화 상태에 있고 기록 동작을 실행하고 있는 도중이기 때문에, 다른 워드선을 활성화할 수는 없다. 그래서, 로우 어드레스 비교부(8A)는 제어 회로(2A)에 대하여 IntBUSY를 출력한다. 또한, 현재 버스트 동작 중이기 때문에, 프리차지 동작도 실시할 수는 없다. 따라서, 외부로부터 활성 커맨드 ACT를 인가하여도, 내부 동작으로서는 NOP(No Operation)으로 된다. 이 경우 외부의 메모리 제어 장치(9)에 대해서는 신호 BUSY에 의해서 그 취지가 통지된다.However, the memory block BLOCK1 cannot activate other word lines because word line WL20 is in an active state and is in the middle of executing a write operation. Thus, the row address comparison section 8A outputs IntBUSY to the control circuit 2A. In addition, since the current is in burst operation, the precharge operation cannot be performed. Therefore, even if the active command ACT is applied from the outside, NOP (No Operation) becomes an internal operation. In this case, the external memory control device 9 is notified by the signal BUSY.

시각 t8에 있어서, 재차 외부로부터 활성 커맨드 ACT와 어드레스21이 입력된다. 메모리 블럭 BLOCK1은 아직 워드선 WL20이 활성화 상태에 있으므로, 시각 t7의 경우와 마찬가지로 로우 어드레스 비교부(8A)는 신호 IntBUSY를 출력한다. 다만, 버스트 동작은 종료되고 있으므로, 반도체 기억 장치 내부에서는 프리차지 동작이 개시된다.At time t8, the active command ACT and address 21 are input again from the outside. Since the word line WL20 is still active in the memory block BLOCK1, the row address comparison section 8A outputs the signal IntBUSY as in the case of time t7. However, since the burst operation is finished, the precharge operation is started inside the semiconductor memory device.

시각 t9에 있어서, 다시 활성 커맨드 ACT 및 어드레스21이 입력된다. 메모리 블럭 BLOCK1은 비활성 상태에 있기 때문에, 워드선 WL21의 활성화가 행해진다.At time t9, the active command ACT and address 21 are input again. Since the memory block BLOCK1 is in an inactive state, the word line WL21 is activated.

시각 t10에 있어서, 라이트 커맨드 WRT 및 어드레스00이 입력된다. 그러면, 워드선 WL21 및 컬럼 선택선 CSL0, CSL1, CSL2, CSL3에 의해서 지정되는 메모리셀에 순차적으로 데이터가 기록된다.At time t10, the write command WRT and address 00 are input. Then, data is sequentially written to the memory cells designated by the word line WL21 and the column select lines CSL0, CSL1, CSL2, and CSL3.

시각 t11에 있어서, 커맨드 SEN 및 어드레스00이 입력된다. 이 경우에는, 이미 센스 앰프에 데이터가 판독되어 있으므로, 로우 어드레스 비교부(8A)는 신호 Ready에 의해서 커맨드의 접수를 통지한다. 로우계를 동작시킬 필요 없이, 즉시 판독 커맨드의 접수가 가능해진다.At time t11, the command SEN and address 00 are input. In this case, since the data has already been read in the sense amplifier, the row address comparison section 8A notifies the reception of the command by the signal Ready. The read command can be accepted immediately without the need to operate the row system.

시각 t12에 있어서, 리드 커맨드 RD 및 어드레스08이 입력된다.At time t12, the read command RD and address 08 are input.

따라서, 컬럼 선택선 CSL8, CSL9, CSLA, CSLB가 순차적으로 활성화되어 센스 앰프에 유지되어 있는 데이터를 판독한다.Therefore, the column select lines CSL8, CSL9, CSLA, and CSLB are sequentially activated to read data held in the sense amplifier.

이상 설명한 바와 같이, 실시예 2의 반도체 기억 장치는 내부에 로우 어드레스 비교부를 구비하여 로우 어드레스의 관리를 행한다. 따라서, 칩셋 등의 메모리 제어 장치 측에서 로우 어드레스를 관리할 필요가 없어진다. 그 때문에, 칩셋 측의 로우 어드레스의 관리 능력에 의해서, 유효 데이터를 유지하고 있는 센스 앰프가 비활성화되지 않고도 반도체 기억 장치로서 최대한의 퍼포먼스를 발휘할 수 있게 된다.As described above, the semiconductor memory device of the second embodiment includes a row address comparison section therein for managing row addresses. Therefore, it is not necessary to manage the row address on the side of the memory control device such as the chipset. Therefore, the ability to manage the row address on the chipset side makes it possible to achieve the maximum performance as a semiconductor memory device without deactivating the sense amplifier holding valid data.

또, 이들의 로우 어드레스 정보를 메모리 장치 내부에서 관리하는 경우에는,워드선의 활성화가 실제로 필요한 경우와 불필요한 경우에는, 판독이나 기록에 필요하게 되는 시간이 달라진다. 이것을 외부로 통지하는 기능이 별도로 필요하게 된다. 칩셋은 CPU로부터의 액세스 요구가 있었을 경우에, 해당 어드레스의 워드선이 활성화되어 있는지 여부를, 칩셋 자신의 레지스터로 판단하는 것이 아니라 메모리로부터의 신호를 바탕으로 판단하는 것으로 된다. 이에 따라, 칩셋 측이 메모리의 워드선의 활성화/비활성화의 제어 관리를 할 필요가 없어져, 메모리 측에서 알맞은 워드선 제어를 실행할 수 있다.In the case where these row address information is managed inside the memory device, when the activation of the word line is actually required and unnecessary, the time required for reading or writing is different. The function of notifying this to outside is required separately. When there is an access request from the CPU, the chipset determines whether or not the word line of the corresponding address is activated based on the signal from the memory rather than the register of the chipset itself. This eliminates the need for the chipset side to perform control management of activation / deactivation of word lines in the memory, so that proper word line control can be executed on the memory side.

또한, 실시예 2의 반도체 기억 장치에서는, 워드선의 활성화 회수가 적고 또 비트선쌍의 충방전도 적어지므로, 소비 전력도 감소시키는 것이 가능해진다.In addition, in the semiconductor memory device of the second embodiment, the number of word lines is activated and the charge and discharge of the bit line pairs are reduced, so that power consumption can be reduced.

(실시예 3)(Example 3)

반도체 기억 장치에 있어서, 제어의 간단함과 고속 동작의 밸런스가 중요하다. 제어를 간단히 하기 위해서, 기록을 위한 워드선의 활성화를 실행하고 있는 동안에는, 같은 뱅크에 대한 로우계의 동작은 행할 수 없다고 하는 종래의 SDRAM의 제어 방법을 지켜야 하는 경우도 있다. 이러한 경우에도, 판독용의 워드선의 활성화의 고속화를 도모하는 것은 가능하다.In a semiconductor memory device, a balance between simplicity of control and high speed operation is important. In order to simplify the control, there may be a case where the conventional SDRAM control method is obeyed that the row system operation for the same bank cannot be performed while the word line for writing is being activated. Even in this case, it is possible to speed up the activation of the read word line.

도 13은 실시예 3의 반도체 기억 장치의 메모리셀 어레이의 배치를 나타낸 도면이다.Fig. 13 is a diagram showing the arrangement of memory cell arrays of the semiconductor memory device of the third embodiment.

도 13을 참조하면, 메모리 블럭으로서, BLOCK0, BLOCK1이 대표적으로 나타내어지고, 메모리 블럭 BLOCK0과 메모리 블럭 BLOCK1 사이에는 대응하는 비트선 끼리를 신호 ARTG01에 따라 접속하는 스위치 어레이 SW가 배치되어 있다.Referring to Fig. 13, BLOCK0 and BLOCK1 are typically represented as memory blocks, and a switch array SW for connecting corresponding bit lines in accordance with the signal ARTG01 is disposed between the memory block BLOCK0 and the memory block BLOCK1.

다른 부분의 구성은 도 2에서 설명한 배치와 마찬가지이므로 설명은 반복하지 않는다.Since the configuration of other parts is the same as the arrangement described in Fig. 2, the description is not repeated.

도 14는 메모리셀 어레이의 상세한 구성을 나타낸 회로도이다.14 is a circuit diagram showing a detailed configuration of a memory cell array.

도 14를 참조하면, 메모리 블럭 BLOCK0은 메모리셀 어레이 MA#00, MA#01과, 메모리셀 어레이 MA#00과 메모리셀 어레이 MA#01 사이에 배치되어 이들의 메모리셀 어레이에 공유되는 센스 앰프대 SAB#0을 포함한다. 메모리 블럭 BLOCK1은 메모리셀 어레이 MA#10, MA#11과, 메모리셀 어레이 MA#10과 MA#11 사이에 배치되어 이들의 메모리셀 어레이에 공유되는 센스 앰프대 SAB#1을 포함한다. 센스 앰프대 SAB#0은 도 3에서 설명한 구성과 마찬가지의 구성을 가지므로 설명은 반복하지 않는다. 센스 앰프대 SAB#1의 구성도, 센스 앰프대 SAB#0과 마찬가지이므로 설명은 반복하지 않는다.Referring to FIG. 14, the memory block BLOCK0 is disposed between the memory cell arrays MA # 00 and MA # 01 and the memory cell arrays MA # 00 and the memory cell arrays MA # 01 and are shared with the memory cell arrays. Contains SAB # 0. The memory block BLOCK1 includes memory cell arrays MA # 10 and MA # 11, and a sense amplifier band SAB # 1 disposed between the memory cell arrays MA # 10 and MA # 11 and shared among the memory cell arrays. Since the sense amplifier stage SAB # 0 has the same configuration as that described in FIG. 3, the description is not repeated. Since the configuration of the sense amplifier stage SAB # 1 is also the same as that of the sense amplifier stage SAB # 0, the description is not repeated.

또, 센스 앰프대 SAB#1은 블럭 BLOCK1에 대응하는 제어 신호가 블럭 BLOCK0에 대응하는 제어 신호 대신에 인가되는 점은 다르다.The sense amplifier band SAB # 1 differs in that the control signal corresponding to the block BLOCK1 is applied instead of the control signal corresponding to the block BLOCK0.

스위치 어레이 SW는 메모리셀 어레이 MA#01과 메모리셀 어레이 MA#10 사이에 배치된다.The switch array SW is disposed between the memory cell array MA # 01 and the memory cell array MA # 10.

스위치 어레이 SW는 비트선쌍 BL10, /BL10과 비트선쌍 BL20, /BL20을 접속하는 접속 회로(450)와, 비트선쌍 BL11, /BL11과 비트선쌍 BL21, /BL21을 접속하는 접속 회로(451)를 포함한다.The switch array SW includes a connection circuit 450 for connecting the bit line pairs BL10 and / BL10 and bit line pairs BL20 and / BL20, and a connection circuit 451 for connecting the bit line pairs BL11, / BL11 and bit line pairs BL21 and / BL21. do.

접속 회로(450)는 비트선 BL10과 비트선 BL20 사이에 접속되는 N 채널 MOS트랜지스터(460)와, 비트선 /BL10과 비트선 /BL20 사이에 접속되는 N 채널 MOS 트랜지스터(461)를 포함하고, 접속 회로(451)는 비트선 BL11과 비트선 BL21 사이에 접속되는 N 채널 MOS 트랜지스터(462)와, 비트선 /BL11과 비트선 /BL21 사이에 접속되는 N 채널 MOS 트랜지스터(463)를 포함한다. N 채널 MOS 트랜지스터(460∼463)는 모두 게이트로 신호 ARTG01을 받는다.The connection circuit 450 includes an N channel MOS transistor 460 connected between the bit line BL10 and the bit line BL20, and an N channel MOS transistor 461 connected between the bit line / BL10 and the bit line / BL20. The connection circuit 451 includes an N-channel MOS transistor 462 connected between the bit line BL11 and the bit line BL21, and an N-channel MOS transistor 463 connected between the bit line / BL11 and the bit line / BL21. N-channel MOS transistors 460 to 463 all receive signal ARTG01 as a gate.

도 15는 실시예 3에서 이용되는 센스 앰프 제어 회로(5B)의 구성을 나타내는 블럭도이다.Fig. 15 is a block diagram showing the configuration of the sense amplifier control circuit 5B used in the third embodiment.

도 15를 참조하면, 센스 앰프 제어 회로(5B)는 신호 ACT0, SEN0, PRE0, PALL에 따라 로우 어드레스를 인에이블 상태로 하는 신호 RAE와 비트선의 이퀄라이즈를 지시하는 신호 BLEQ를 출력하고, 또한, 기준 타이밍 신호 ACTD1∼ACTD3, SEND1∼SEND7, ACTSEN, ACTSEND1∼ACTSEND3, PRED1, PALLD1, PALLD2, PCD1을 출력하는 기준 타이밍 발생부(502)를 포함한다.Referring to Fig. 15, the sense amplifier control circuit 5B outputs a signal RAE for enabling row addressing and a signal BLEQ for instructing equalization of bit lines in accordance with signals ACT0, SEN0, PRE0, and PALL. And a reference timing generator 502 for outputting the reference timing signals ACTD1 to ACD3, SEND1 to SEND7, ACTSEN, ACTSEND1 to ACTSEND3, PRED1, PALLD1, PALLD2, and PCD1.

센스 앰프 제어 회로(5B)는 신호 S0, /S0, SAEQ0, S1, /S1, SAEQ1을 출력하는 센스 앰프 제어부(504)와, 로우 어드레스 신호 /RA4 및 클럭 선택 신호 B0SEL, B1SEL 및 기준 타이밍 발생부의 출력에 따라 비트선에 마련된 분리 게이트의 제어를 실행하기 위한 신호 ARTG01, BLTG0∼BLTG3을 출력하는 분리 게이트 제어부(506)와, 신호 RD0, WRT0, IADDRESS에 따라 신호 CAE, IOSW0, IOSW1, B0SEL, B1SEL을 출력하는 IOSW 제어부(508)를 더 포함한다.The sense amplifier control circuit 5B includes a sense amplifier controller 504 that outputs signals S0, / S0, SAEQ0, S1, / S1, SAEQ1, a row address signal / RA4 and a clock selection signal B0SEL, B1SEL, and a reference timing generator. Separation gate control unit 506 for outputting signals ARTG01 and BLTG0 to BLTG3 for executing control of the separation gate provided on the bit line in accordance with the output, and signals CAE, IOSW0, IOSW1, B0SEL, and B1SEL in accordance with signals RD0, WRT0, and IADDRESS. It further includes an IOSW control unit 508 for outputting.

도 16은 도 15에 있어서의 기준 타이밍 발생부(502)의 구성을 나타낸 회로도이다.FIG. 16 is a circuit diagram showing the configuration of the reference timing generator 502 in FIG.

도 16을 참조하면, 기준 타이밍 발생부(502)는 신호 ACT0을 지연시켜 신호 ACTD1을 출력하는 지연 회로(510)와, 신호 ACTD1을 지연시켜 신호 ACTD2를 출력하는 지연 회로(512)와, 신호 ACTD2를 지연시켜 신호 ACTD3을 출력하는 지연 회로(514)와, 신호 ACTD3을 지연시키는 지연 회로(516)를 포함한다.Referring to FIG. 16, the reference timing generator 502 includes a delay circuit 510 for delaying the signal ACT0 and outputting the signal ACTD1, a delay circuit 512 for delaying the signal ACTD1 and outputting the signal ACTD2, and a signal ACTD2. Delay circuit 514 for delaying the signal ACTD3 and delay circuit 516 for delaying the signal ACTD3.

기준 타이밍 발생부(502)는 신호 SEN0을 지연시켜 신호 SEND1을 출력하는 지연 회로(520)와, 신호 SEND1을 지연시켜 신호 SEND2를 출력하는 지연 회로(522)와, 신호 SEND2를 지연시켜 신호 SEND3을 출력하는 지연 회로(524)와, 신호 SEND3을 지연시키는 지연 회로(526)를 더 포함한다.The reference timing generator 502 delays the signal SEN0 to output the signal SEND1, delay circuit 522 to delay the signal SEND1 to output the signal SEND2, and delays the signal SEND2 to delay the signal SEND3. A delay circuit 524 for outputting and a delay circuit 526 for delaying the signal SEND3 are further included.

기준 타이밍 발생부(502)는 신호 ACT0과 신호 SEN0을 받아 신호 ACTSEN을 출력하는 OR 회로(530)와, 신호 ACTD1과 신호 SEND1을 받아 신호 ACTSEND1을 출력하는 OR 회로(532)와, 신호 ACTD2와 신호 SEND2를 받아 신호 ACTSEND2를 출력하는 OR 회로(534)와, 신호 ACTD3과 신호 SEND3을 받아 신호 ACTSEND3을 출력하는 OR 회로(536)와, 지연 회로(516, 526)의 출력을 받아 신호 SEND4를 출력하는 OR 회로(538)를 더 포함한다.The reference timing generator 502 includes an OR circuit 530 that receives the signal ACT0 and the signal SEN0 and outputs the signal ACTSEN, an OR circuit 532 that receives the signal ACTD1 and the signal SEND1 and outputs the signal ACTSEND1, and a signal ACTD2 and the signal. OR circuit 534 that receives SEND2 and outputs signal ACTSEND2, OR circuit 536 that receives signals ACTD3 and signal SEND3 and outputs signal ACTSEND3, and outputs signal SEND4 by receiving the outputs of delay circuits 516 and 526 It further includes an OR circuit 538.

기준 타이밍 발생부(502)는 신호 SEND4를 지연시켜 신호 SEND5를 출력하는 지연 회로(540)와, 신호 SEND5를 지연시켜 신호 SEND6을 출력하는 지연 회로(542)와, 신호 SEND6을 지연시켜 신호 SEND7을 출력하는 지연 회로(544)를 더 포함한다.The reference timing generator 502 delays the signal SEND4 to output the signal SEND5, delays the signal SEND5 to delay the signal SEND6, and delays the signal SEND6 to delay the signal SEND7. A delay circuit 544 is further included.

기준 타이밍 발생부(502)는 신호 PRE0을 지연시켜 신호 PRED1을 출력하는 지연 회로(546)와, 신호 PALL을 지연시켜 신호 PALLD1을 출력하는 지연 회로(552)와, 신호 PALLD1을 지연시켜 신호 PALLD2를 출력하는 지연 회로(554)와, 신호 PRE0과신호 PALL을 받아 신호 PC를 출력하는 OR 회로(548)와, 신호 PC를 받아 지연시켜 신호 PCD1을 출력하는 지연 회로(550)를 포함한다.The reference timing generator 502 includes a delay circuit 546 for delaying the signal PRE0 to output the signal PRED1, a delay circuit 552 for delaying the signal PALL and outputting the signal PALLD1, and delaying the signal PALLD1 to provide the signal PALLD2. A delay circuit 554 for outputting, an OR circuit 548 for receiving the signal PRE0 and the signal PALL and outputting the signal PC, and a delay circuit 550 for receiving and delaying the signal PC and outputting the signal PCD1.

기준 타이밍 발생부(502)는 신호 PALL과 신호 PRE0을 받는 OR 회로(556)와, 신호 ACTD1에 따라 세트되고 OR 회로(556)의 출력에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(558)와, 신호 SEND1에 따라 세트되고 신호 SEND7에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(560)와, SR 플립플롭 회로(558, 560)의 출력을 받아 신호 RAE를 출력하는 OR 회로(562)를 더 포함한다.The reference timing generator 502 includes an OR circuit 556 that receives a signal PALL and a signal PRE0, an SR flip-flop circuit 558 that is set in accordance with the signal ACTD1 and reset in accordance with the output of the OR circuit 556, and the signal SEND1. SR flip-flop circuit 560 is set according to the reset and reset according to the signal SEND7, and OR circuit 562 for receiving the output of the SR flip-flop circuits (558, 560) and outputs the signal RAE.

기준 타이밍 발생부(502)는 신호 SEND7과 신호 PCD1을 받는 OR 회로(564)와, OR 회로(564)의 출력에 따라 세트되고 신호 ACTSEN에 따라 리셋되어 신호 BLEQ를 출력하는 SR 플립플롭 회로(566)를 더 포함한다.The reference timing generator 502 includes an OR circuit 564 that receives signals SEND7 and a signal PCD1, and an SR flip-flop circuit 566 that is set according to the output of the OR circuit 564 and reset according to the signal ACTSEN to output the signal BLEQ. More).

도 16의 회로에서 발생되는 주요한 신호 RAE를 설명한다.The main signal RAE generated in the circuit of FIG. 16 will be described.

신호 RAE는 활성 커맨드에 따라 출력되는 신호 ACTD1에 의해 활성화되어 프리차지 커맨드가 입력되면 비활성화된다. 한편, 커맨드 SEN이 입력되면, 소정의 지연 시간 경과 후 신호 SEND1의 활성화에 따라 신호 RAE는 활성화되고, 소정 시간 경과하면 신호 SEND7에 따라 플립플롭 회로(560)가 리셋되므로 신호 RAE는 비활성화된다. 이 신호 RAE의 활성 기간에 의해서 워드선의 활성화 타이밍이 규정된다.The signal RAE is activated by the signal ACTD1 output in accordance with the active command and deactivated when the precharge command is input. On the other hand, when the command SEN is input, the signal RAE is activated according to the activation of the signal SEND1 after a predetermined delay time elapses. When the predetermined time elapses, the signal RAE is reset because the flip-flop circuit 560 is reset according to the signal SEND7. The activation timing of the word line is defined by the activation period of this signal RAE.

이와 같이, 기준 타이밍 발생부(502)는 신호 ACT0, SEN0, PRE0, PALL을 지연시키는 복수의 지연 회로의 출력의 조합에 의해서, 로우계의 동작 기준 타이밍을 발생시키고 있다.In this way, the reference timing generator 502 generates the operation reference timing of the row system by a combination of outputs of a plurality of delay circuits for delaying the signals ACT0, SEN0, PRE0, and PALL.

도 17은 도 15에 있어서의 센스 앰프 제어부(504)의 구성을 나타내는 회로도이다.FIG. 17 is a circuit diagram showing the configuration of the sense amplifier control unit 504 in FIG. 15.

도 17을 참조하면, 센스 앰프 제어부(504)는 도 14의 센스 앰프대 SAB#0의 제어를 실행하기 위해서 신호 S0, /S0, SAEQ0을 출력하는 센스 앰프 제어 신호 발생 회로(570)와, 센스 앰프대 SAB#1의 제어를 실행하기 위해서 신호 S1, /S1, SAEQ1을 출력하는 센스 앰프 제어 신호 발생 회로(571)를 포함한다.Referring to FIG. 17, the sense amplifier control unit 504 includes a sense amplifier control signal generation circuit 570 for outputting signals S0, / S0, and SAEQ0 in order to control the sense amplifier band SAB # 0 in FIG. A sense amplifier control signal generation circuit 571 that outputs signals S1, / S1, and SAEQ1 for executing control of the amplifier to SAB # 1 is included.

센스 앰프 제어 신호 발생 회로(570)는 신호 B1SEL, SEND6을 받는 NAND 회로(574)와, NAND 회로(574)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(576)와, 신호 SEND4에 따라 세트되고 신호 SEND5에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(572)와, 신호 B1SEL과 SR 플립플롭 회로(572)의 출력을 받는 NAND 회로(578)와, NAND 회로(578)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(580)와, 신호 PALLD1에 따라 세트되고 신호 PALLD2에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(582)와, 인버터(580)의 출력과 SR 플립플롭 회로(582)의 출력을 받는 OR 회로(584)와, 인버터(576)의 출력에 따라 세트되고 OR 회로(584)의 출력에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(586)를 포함한다.The sense amplifier control signal generation circuit 570 is set in accordance with the NAND circuit 574 for receiving the signals B1SEL and SEND6, the inverter 576 for inverting the output of the NAND circuit 574, and the signal SEND4, and in accordance with the signal SEND5. An SR flip-flop circuit 572 to be reset, a NAND circuit 578 receiving the outputs of the signals B1SEL and an SR flip-flop circuit 572, an inverter 580 that receives the output of the NAND circuit 578, and inverts the signal; SR flip-flop circuit 582 set according to PALLD1 and reset according to signal PALLD2, OR circuit 584 receiving the output of inverter 580 and the output of SR flip-flop circuit 582, and of inverter 576. An SR flip-flop circuit 586 is set according to the output and reset according to the output of the OR circuit 584.

센스 앰프 제어 신호 발생 회로(570)는 신호 ACTSEND3, B0SEL을 받는 NAND 회로(588)와, NAND 회로(588)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(590)와, 신호 ACTSEN에 따라 세트되고 신호 ACTSEND2에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(592)와, 신호 B0SEL과 SR 플립플롭 회로(592)의 출력을 받는 NAND 회로(594)와, NAND 회로(594)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(596)와, SR 플립플롭 회로(582)의 출력과 인버터(596)의 출력을 받는 OR 회로(598)와, 인버터(590)의 출력에 따라 세트되고 OR 회로(598)의 출력에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(600)를 더 포함한다.The sense amplifier control signal generation circuit 570 is set in accordance with the signal ACTSEND2, the NAND circuit 588 receiving the signals ACTSEND3, B0SEL, the inverter 590 which receives and inverts the output of the NAND circuit 588, and the signal ACTSEND2. The SR flip-flop circuit 592 to be reset, the NAND circuit 594 receiving the outputs of the signals B0SEL and the SR flip-flop circuit 592, the inverter 596 for inverting the output of the NAND circuit 594, and the SR. OR circuit 598 that receives the output of flip-flop circuit 582 and the output of inverter 596, and an SR flip-flop circuit that is set according to the output of inverter 590 and reset according to the output of OR circuit 598 ( 600).

센스 앰프 제어 신호 발생 회로(570)는 SR 플립플롭 회로(586, 600)의 출력을 받는 OR 회로(602)와, OR 회로(602)의 출력에 따라 신호 S0, /S0을 구동하는 구동 회로(604)와, OR 회로(584, 598)의 출력을 받아 신호 SAEQ0을 출력하는 OR 회로(606)를 더 포함한다.The sense amplifier control signal generation circuit 570 includes an OR circuit 602 that receives the outputs of the SR flip-flop circuits 586 and 600, and a driving circuit that drives signals S0 and / S0 in accordance with the output of the OR circuit 602 ( 604 and an OR circuit 606 for receiving the outputs of the OR circuits 584 and 598 and outputting the signal SAEQ0.

센스 앰프 제어 신호 발생 회로(571)는, 센스 앰프 제어 신호 발생 회로(570)의 구성에 있어서, 신호 B1SEL 대신 신호 B0SEL을 받고, 신호 B0SEL 대신 신호 B1SEL을 받으며, 신호 S0, /S0, SAEQ0 대신 신호 S1, /S1, SAEQ1을 출력하는 점이 다르지만, 내부의 구성에 대해서는 센스 앰프 제어 신호 발생 회로(570)와 마찬가지이므로 설명은 반복하지 않는다.In the configuration of the sense amplifier control signal generation circuit 570, the sense amplifier control signal generation circuit 571 receives the signal B0SEL instead of the signal B1SEL, receives the signal B1SEL instead of the signal B0SEL, and replaces the signals S0, / S0, and SAEQ0. Although the points of outputting S1, / S1, and SAEQ1 differ, the internal structure is the same as that of the sense amplifier control signal generation circuit 570, and thus the description is not repeated.

이와 같이, 센스 앰프 제어부(504)는 블럭 선택 신호로 지정된 메모리 블럭에 대하여, 기준 타이밍 발생부(502)로부터 인가되는 동작 기준 타이밍에 근거해서 센스 앰프의 이퀄라이즈, 활성화, 비활성화의 제어를 실행한다.In this way, the sense amplifier control unit 504 controls equalization, activation, and deactivation of the sense amplifier based on the operation reference timing applied from the reference timing generation unit 502 to the memory block designated by the block selection signal. .

도 18은 도 15에 있어서의 분리 게이트 제어부(506)의 구성을 나타낸 회로도이다.FIG. 18 is a circuit diagram showing the configuration of the separation gate control unit 506 in FIG. 15.

도 18을 참조하면, 분리 게이트 제어부(506)는 메모리 블럭 BLOCK0의 분리 게이트의 제어를 실행하기 위해서 신호 BLTG0, BLTG1을 출력하는 신호 발생 회로(610)와, 메모리 블럭 BLOCK1의 분리 게이트의 제어를 실행하기 위해서 신호 BLTG2, BLTG3을 출력하는 신호 발생 회로(612)와, 메모리 블럭 BLOCK0, BLOCK1의 사이에 배치되는 스위치 어레이의 제어를 실행하기 위해서 신호 ARTG01을 출력하는 신호 발생 회로(614)를 포함한다.Referring to FIG. 18, the separation gate control unit 506 executes control of the signal generation circuit 610 that outputs signals BLTG0 and BLTG1 and control of the separation gate of the memory block BLOCK1 in order to perform control of the separation gate of the memory block BLOCK0. To this end, a signal generating circuit 612 for outputting signals BLTG2 and BLTG3 and a signal generating circuit 614 for outputting signal ARTG01 for executing control of a switch array disposed between memory blocks BLOCK0 and BLOCK1 are included.

신호 발생 회로(610)는 신호 ACTD2, B0SEL, RA4를 받는 3입력의 NAND 회로(620)와, NAND 회로(620)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(622)와, 인버터(622)의 출력에 따라 세트되어 신호 PCD1에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(624)를 더 포함한다.The signal generation circuit 610 is a three-input NAND circuit 620 that receives signals ACTD2, B0SEL, and RA4, an inverter 622 that receives and inverts the output of the NAND circuit 620, and an output of the inverter 622. And an SR flip-flop circuit 624 that is set and reset in accordance with the signal PCD1.

신호 발생 회로(610)는 신호 SEND2, B0SEL, RA4를 받는 3입력의 NAND 회로(626)와, NAND 회로(626)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(628)와, 인버터(628)의 출력에 따라 세트되고 신호 SEND7에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(630)를 더 포함한다.The signal generating circuit 610 is a three-input NAND circuit 626 that receives signals SEND2, B0SEL, and RA4, an inverter 628 that receives and inverts the output of the NAND circuit 626, and an output of the inverter 628. It further includes an SR flip-flop circuit 630 that is set and reset in accordance with the signal SEND7.

신호 발생 회로(610)는 신호 SEND4, B0SEL이 모두 H 레벨이고, 신호 RA4가 L 레벨일 때에 출력을 L 레벨로 활성화하는 게이트 회로(632)와, 게이트 회로(632)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(634)와, 인버터(634)의 출력에 따라 세트되고 신호 SEND7에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(636)를 더 포함한다. 신호 발생 회로(610)는 신호 SEND5, B1SEL을 받는 NAND 회로(638)와, NAND 회로(638)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(640)와, 인버터(640)의 출력에 따라 세트되고 신호 SEND7에 따라 리셋되는 SR 플립플롭(642)과, SR 플립플롭 회로(624, 630, 636, 642)의 출력을 받아 신호 BLTG1을 출력하는 4입력의 OR 회로(643)를 더 포함한다.The signal generation circuit 610 has a gate circuit 632 for activating the output to the L level when the signals SEND4 and B0SEL are both at the H level and the signal RA4 is at the L level, and an inverter that receives the output of the gate circuit 632 and inverts it. 634 and an SR flip-flop circuit 636 which is set in accordance with the output of the inverter 634 and reset in accordance with the signal SEND7. The signal generating circuit 610 is set according to the output of the NAND circuit 638 receiving the signals SEND5 and B1SEL, the inverter 640 which receives the output of the NAND circuit 638, and the output of the inverter 640, and is connected to the signal SEND7. And a four-input OR circuit 643 which receives the output of the SR flip-flop circuits 624, 630, 636, and 642, and outputs the signal BLTG1.

신호 발생 회로(610)는 신호 ACTD2, B0SEL이 H 레벨이고, 또한 신호 RA4가 L 레벨인 것을 검출하여 출력을 L 레벨로 활성화하는 게이트 회로(644)와, 게이트 회로(644)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(646)와, 인버터(646)의 출력에 따라 세트되고 신호 PCD1에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(648)를 더 포함한다.The signal generating circuit 610 receives the output of the gate circuit 644 and the gate circuit 644 for detecting that the signals ACTD2 and B0SEL are at the H level, and the signal RA4 is at the L level, and activating the output to the L level. And an SR flip-flop circuit 648 which is set according to the output of the inverter 646 and reset in accordance with the signal PCD1.

신호 발생 회로(610)는 신호 SEND2, B0SEL이 H 레벨이고, 또한 신호 RA4가 L 레벨인 것을 검출하여 출력을 L 레벨로 활성화하는 게이트 회로(650)와, 게이트 회로(650)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(652)와, 인버터(652)의 출력에 따라 세트되고 신호 SEND7에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(654)와, SR 플립플롭 회로(648, 654)의 출력을 받아 신호 BLTG0을 출력하는 OR 회로(656)를 더 포함한다.The signal generating circuit 610 detects that the signals SEND2 and B0SEL are at the H level and the signal RA4 is at the L level, and receives the output of the gate circuit 650 and the gate circuit 650 for activating the output to the L level and inverts the output. The inverter 652, the SR flip-flop circuit 654 set according to the output of the inverter 652, and reset according to the signal SEND7, and the SR flip-flop circuits 648 and 654 are outputted to output the signal BLTG0. It further includes an OR circuit 656.

신호 발생 회로(612)는 신호 ACTD2, B1SEL이 H 레벨이고, 또한 신호 RA4가 L 레벨인 것을 검출하여 출력을 L 레벨로 활성화하는 게이트 회로(660)와, 게이트 회로(660)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(662)와, 인버터(662)의 출력에 따라 세트되고 신호 PCD1에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(664)를 더 포함한다.The signal generating circuit 612 receives the output of the gate circuit 660 and the gate circuit 660 that detects that the signals ACTD2 and B1SEL are at the H level and the signal RA4 is at the L level, and activates the output to the L level. And an SR flip-flop circuit 664 set according to the output of the inverter 662 and reset according to the signal PCD1.

신호 발생 회로(612)는 신호 SEND2, B1SEL이 H 레벨이고, 또한 신호 RA4가 L 레벨인 것을 검출하여 출력을 L 레벨로 활성화하는 게이트 회로(666)와, 게이트 회로(666)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(668)와, 인버터(668)의 출력에 따라 세트되고 신호 SEND7에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(670)를 더 포함한다.The signal generating circuit 612 detects that the signals SEND2 and B1SEL are at the H level and the signal RA4 is at the L level, and receives the output of the gate circuit 666 and the gate circuit 666 for activating the output to the L level. And an SR flip-flop circuit 670 which is set according to the output of the inverter 668 and reset in accordance with the signal SEND7.

신호 발생 회로(612)는 신호 SEND4, B1SEL, RA4를 받는 NAND 회로(672)와, NAND 회로(672)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(674)와, 인버터(674)의 출력에 따라 세트되고 신호 SEND7에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(676)를 더 포함한다.The signal generating circuit 612 is set in accordance with the output of the NAND circuit 672 receiving the signals SEND4, B1SEL, and RA4, the inverter 674 for receiving and inverting the output of the NAND circuit 672, and the output of the inverter 674. It further includes an SR flip-flop circuit 676 that is reset in accordance with SEND7.

신호 발생 회로(612)는 신호 SEND5, B0SEL을 받는 NAND 회로(678)와, NAND 회로(678)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(680)와, 인버터(680)의 출력에 따라 세트되고 신호 SEND7에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(682)와, SR 플립플롭회로(664, 670, 676, 682)의 출력을 받아 신호 BLTG2를 출력하는 4입력의 OR 회로(684)를 더 포함한다.The signal generating circuit 612 is set in accordance with the NAND circuit 678 for receiving the signals SEND5 and B0SEL, the inverter 680 for inverting the output of the NAND circuit 678, and the output of the inverter 680, and in response to the signal SEND7. The circuit further includes an SR flip-flop circuit 682 which is reset accordingly and a four-input OR circuit 684 that receives the output of the SR flip-flop circuits 664, 670, 676, and 682 and outputs a signal BLTG2.

신호 발생 회로(612)는 신호 ACTD2, B1SEL, RA4를 받는 3입력의 NAND 회로(686)와, NAND 회로(686)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(688)와, 인버터(688)의 출력에 따라 세트되고 신호 PCD1에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(690)와, 신호 SEND2, B1SEL, RA4를 받는 3입력의 NAND 회로(692)와, NAND 회로(692)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(694)와, 인버터(694)의 출력에 따라 세트되고 신호 SEND7에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(696)와, SR 플립플롭 회로(690, 696)의 출력을 받아 신호 BLTG3을 출력하는 OR 회로(698)를 더 포함하다.The signal generation circuit 612 is a three-input NAND circuit 686 that receives signals ACTD2, B1SEL, and RA4, an inverter 688 that receives and inverts the output of the NAND circuit 686, and an output of the inverter 688. SR flip-flop circuit 690 that is set and reset in accordance with signal PCD1, a three-input NAND circuit 692 that receives signals SEND2, B1SEL, and RA4, and an inverter 694 that receives and inverts the output of NAND circuit 692. And an SR flip-flop circuit 696 set according to the output of the inverter 694 and reset according to the signal SEND7, and an OR circuit 698 that receives the output of the SR flip-flop circuits 690 and 696 and outputs the signal BLTG3. Includes more.

신호 발생 회로(614)는 신호 SEND4, B0SEL을 받는 NAND 회로(700)와, NAND 회로(700)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(702)와, 인버터(702)의 출력에 따라 세트되고 신호 SEND7에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(704)와, 신호 SEND4, B1SEL을 받는 NAND 회로(706)와, NAND 회로(706)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(708)와, 인버터(708)의 출력에 따라 세트되어 신호 SEND7에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(707)와, SR 플립플롭 회로(707, 704)의 출력을 받아 신호 ARTG01을 출력하는 OR 회로(709)를 포함한다.The signal generating circuit 614 is set in accordance with the NAND circuit 700 receiving the signals SEND4 and B0SEL, the inverter 702 which receives and inverts the output of the NAND circuit 700, and the output of the inverter 702 and is connected to the signal SEND7. According to the SR flip-flop circuit 704, the NAND circuit 706 that receives signals SEND4 and B1SEL, the inverter 708 that receives and inverts the output of the NAND circuit 706, and the output of the inverter 708. An SR flip-flop circuit 707 that is set and reset in accordance with the signal SEND7, and an OR circuit 709 that receives the output of the SR flip-flop circuits 707 and 704 and outputs the signal ARTG01.

신호 BLTG0, BLTG3은 인접하는 메모리 블럭으로 센스 앰프에 유지된 데이터를 전송하는 경우의 제어에는 관계하지 않는다.The signals BLTG0 and BLTG3 are not related to the control when transferring data held in the sense amplifier to adjacent memory blocks.

한편, 신호 BLTG1은 인접 블럭으로의 센스 앰프의 유지 데이터를 전송하기위한 제어에 관련하고 있다. 따라서, 신호 BLTG0이 발생하는 회로 구성에 대응하는 회로에 부가하여, 신호 BLTG1을 발생시키기 위해서, 게이트 회로(632), 인버터(634), SR 플립플롭 회로(636)와 NAND 회로(638), 인버터(640), SR 플립플롭 회로(642)가 마련되어 있다.On the other hand, the signal BLTG1 is related to the control for transmitting the maintenance data of the sense amplifier to the adjacent block. Therefore, in order to generate the signal BLTG1 in addition to the circuit corresponding to the circuit configuration in which the signal BLTG0 is generated, the gate circuit 632, the inverter 634, the SR flip-flop circuit 636, the NAND circuit 638, and the inverter 640 and an SR flip-flop circuit 642 are provided.

신호 BLTG2도 마찬가지로 센스 앰프에 유지된 데이터를 인접 메모리 블럭으로 전송하는 제어에 관련된다. 따라서, 신호 BLTG3을 발생시키는 회로 구성에 대응하는 회로에 더하여, NAND 회로(672, 678), 인버터(674, 680) 및 SR 플립플롭 회로(676, 682)가 신호 BLTG2를 발생시키기 위해서 부가되어 있다.The signal BLTG2 is similarly related to the control for transmitting the data held in the sense amplifier to the adjacent memory block. Therefore, in addition to the circuit corresponding to the circuit configuration for generating the signal BLTG3, NAND circuits 672 and 678, inverters 674 and 680 and SR flip-flop circuits 676 and 682 are added to generate the signal BLTG2. .

도 19는 도 15에 있어서의 IOSW 제어부(508)의 구성을 나타내는 회로도이다.FIG. 19 is a circuit diagram showing the configuration of the IOSW control unit 508 in FIG. 15.

도 19를 참조하면, IOSW 제어부(508)는 로우 어드레스 신호 RA5, RA6에 따라 블럭을 선택하기 위한 신호 B0SEL, B1SEL을 출력하는 신호 발생 회로(710)와, 신호 WRT0, RD0에 따라 컬럼 디코더를 활성화시키기 위한 신호 CAE 및 버스트 동작에 대응하는 펄스 형상으로 활성화되는 신호 WIOSW, RIOSW를 출력하는 신호 발생 회로(712)와, 신호 IOSW0, IOSW1을 출력하는 신호 발생 회로(714)를 포함한다.Referring to FIG. 19, the IOSW control unit 508 activates a signal generator circuit 710 for outputting signals B0SEL and B1SEL for selecting a block according to the row address signals RA5 and RA6, and activates the column decoder according to the signals WRT0 and RD0. And a signal generator circuit 712 for outputting signals WIOSW and RIOSW that are activated in a pulse shape corresponding to the signal CAE and the burst operation to be made, and a signal generator circuit 714 for outputting signals IOSW0 and IOSW1.

신호 발생 회로(710)는 신호 RA5, RA6을 받는 OR 회로(720)와, OR 회로(720)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(722)와, 인버터(722)의 출력과 신호 ACTSEN을 받는 NAND 회로(724)와, NAND 회로(724)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(726)와, 인버터(726)의 출력에 따라 세트되고 클럭 신호 CLK에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(728)를 포함한다.The signal generation circuit 710 includes an OR circuit 720 that receives signals RA5 and RA6, an inverter 722 that receives and inverts the output of the OR circuit 720, and a NAND circuit that receives the output of the inverter 722 and the signal ACTSEN. 724, an inverter 726 for receiving and inverting the output of the NAND circuit 724, and an SR flip-flop circuit 728 set according to the output of the inverter 726 and reset in accordance with the clock signal CLK.

신호 발생 회로(710)는 SR 플립플롭 회로(728)의 출력을 받는 직렬로 접속된클럭 인버터(730∼736)와, SR 플립플롭 회로(728)의 출력과 클럭 인버터(736)의 출력을 받아 신호 B0SEL을 출력하는 OR 회로(738)를 더 포함한다.The signal generation circuit 710 receives the outputs of the clock inverter 736 and the clock inverters 730 to 736 connected in series connected to the output of the SR flip-flop circuit 728 and the SR flip-flop circuit 728. An OR circuit 738 for outputting the signal B0SEL is further included.

클럭 인버터(730, 734)는 클럭 신호 /CLK의 활성화에 따라 반전 동작을 실행한다. 또한, 클럭 인버터(732, 736)는 클럭 신호 CLK의 활성화에 응하여 반전 동작을 실행한다.The clock inverters 730 and 734 perform an inversion operation according to the activation of the clock signal / CLK. In addition, the clock inverters 732 and 736 perform the inversion operation in response to the activation of the clock signal CLK.

신호 발생 회로(710)는 신호 RA5가 H 레벨이고, 또한, 신호 RA6이 L 레벨인 것을 검출하여 출력을 L 레벨로 활성화하는 게이트 회로(740)와, 게이트 회로(740)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(742)와, 인버터(742)의 출력과 신호 ACTSEN을 받는 NAND 회로(744)와, NAND 회로(744)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(746)와, 인버터(746)의 출력에 따라 세트되고 클럭 신호 CLK에 따라 리셋되는 SR 플립플롭 회로(748)를 더 포함한다.The signal generating circuit 710 detects that the signal RA5 is at the H level and the signal RA6 is at the L level, and receives and inverts the gate circuit 740 for activating the output to the L level and the output of the gate circuit 740. Set according to the output of the inverter 742, the NAND circuit 744 that receives the output of the inverter 742 and the signal ACTSEN, the inverter 746 that receives the inverted output of the NAND circuit 744, and the output of the inverter 746. And an SR flip-flop circuit 748 that is reset in accordance with the clock signal CLK.

신호 발생 회로(710)는 SR 플립플롭 회로(748)의 출력을 받는 직렬로 접속된 클럭 인버터(750∼756)와, SR 플립플롭 회로(748)의 출력과 클럭 인버터(756)의 출력을 받아 신호 B1SEL을 출력하는 OR 회로(758)를 더 포함한다.The signal generation circuit 710 receives the output of the SR flip-flop circuit 748 and the serially connected clock inverters 750 to 756, the output of the SR flip-flop circuit 748, and the output of the clock inverter 756. An OR circuit 758 for outputting the signal B1SEL is further included.

클럭 인버터(750, 754)는 클럭 신호 /CLK의 활성화에 따라 반전 동작을 실행한다. 또한, 클럭 인버터(752, 756)는 클럭 신호 CLK의 활성화에 따라 반전 동작을 실행한다.The clock inverters 750 and 754 perform an inversion operation according to the activation of the clock signal / CLK. In addition, the clock inverters 752 and 756 perform the inversion operation in accordance with the activation of the clock signal CLK.

신호 발생 회로(712)는 신호 WRT0에 따라 버스트 동작에 대응하는 펄스 신호를 발생하는 펄스 발생 회로(760)와, 신호 RD0에 따라 버스트 동작에 대응하는 펄스 신호를 발생하는 펄스 발생 회로(762)와, 펄스 발생 회로(760)로부터 신호 WCSL을 받고 펄스 발생 회로(762)로부터 신호 RCSL을 받아 신호 CAE를 컬럼 디코더(4)에 대하여 출력하는 OR 회로(764)와, 펄스 발생 회로(760, 762)로부터 각각 신호 INBURSTW, INBURSTR를 받는 OR 회로(766)와, OR 회로(766)의 출력과 신호 B0SEL을 받는 NAND 회로(768)와, NAND 회로(768)의 출력을 받아 반전시켜 신호 INBURST0을 출력하는 인버터(770)와, OR 회로(766)의 출력과 신호 B1SEL을 받는 NAND 회로(772)와, NAND 회로(772)의 출력을 받아 반전시켜 신호 INBURST1을 출력하는 인버터(774)를 포함한다.The signal generation circuit 712 includes a pulse generation circuit 760 for generating a pulse signal corresponding to the burst operation in accordance with the signal WRT0, and a pulse generation circuit 762 for generating a pulse signal corresponding to the burst operation in accordance with the signal RD0; An OR circuit 764 which receives the signal WCSL from the pulse generating circuit 760 and receives the signal RCSL from the pulse generating circuit 762 and outputs the signal CAE to the column decoder 4, and the pulse generating circuits 760 and 762. OR circuit 766 receiving signals INBURSTW and INBURSTR from the NAND circuit, NAND circuit 768 receiving the output of OR circuit 766 and signal B0SEL, and NAND circuit 768 receiving the inverted signal, and outputting signal INBURST0. An inverter 770, an NAND circuit 772 that receives the output of the OR circuit 766 and the signal B1SEL, and an inverter 774 that receives the output of the NAND circuit 772 and inverts it to output the signal INBURST1.

펄스 발생 회로(762)는 신호 RD0을 받는 직렬로 접속된 여섯 개의 클럭 인버터(780∼790)와, 신호 RD0에 따라 세트되고 클럭 인버터(790)의 출력에 따라 리셋되어 신호 INBURSTR를 출력하는 SR 플립플롭 회로(794)를 포함한다. 클럭 인버터(780, 784, 788)는 클럭 신호 CLK에 따라 활성화하여 반전 동작을 실행한다. 클럭 인버터(782, 786, 790)는 클럭 신호 /CLK에 따라 활성화되어 반전 동작을 실행한다.The pulse generating circuit 762 includes six clock inverters 780 to 790 connected in series receiving the signal RD0, and an SR flip set according to the signal RD0 and reset according to the output of the clock inverter 790 to output the signal INBURSTR. A flop circuit 794. The clock inverters 780, 784, and 788 are activated according to the clock signal CLK to perform the inversion operation. Clock inverters 782, 786, and 790 are activated according to the clock signal / CLK to perform an inversion operation.

펄스 발생 회로(762)는 클럭 인버터(780, 784, 788)의 출력과 신호 RD0을 받는 4입력의 OR 회로(792)와, OR 회로(792)의 출력을 받는 직렬로 접속된 지연 회로(796, 798, 800, 804)와, 지연 회로(796)의 출력에 따라 세트되고 지연 회로(800)의 출력에 따라 리셋되어 신호 RCSL을 출력하는 SR 플립플롭 회로(802)와, 지연 회로(798)의 출력에 따라 세트되고 지연 회로(804)의 출력에 따라 리셋되어 신호 RIOSW를 출력하는 SR 플립플롭 회로(806)를 더 포함한다.The pulse generating circuit 762 is a four-input OR circuit 792 that receives the output of the clock inverters 780, 784, 788 and the signal RD0, and a delay circuit 796 connected in series that receives the output of the OR circuit 792. 798, 800, 804, SR flip-flop circuit 802 that is set in accordance with the output of the delay circuit 796 and reset in accordance with the output of the delay circuit 800 to output the signal RCSL, and the delay circuit 798 And an SR flip-flop circuit 806 that is set according to the output of and resets according to the output of the delay circuit 804 to output the signal RIOSW.

펄스 발생 회로(760)는 신호 RD0 대신 신호 WRT0을 받아 신호 INBURSTR,RCSL, RIOSW 대신 각각 신호 INBURSTW, WIOSW, WCSL을 출력하는 점이 펄스 발생 회로(762)와 다르지만, 내부의 구성은 펄스 발생 회로(762)와 마찬가지이므로 설명은 반복하지 않는다.The pulse generating circuit 760 receives the signal WRT0 instead of the signal RD0 and outputs the signals INBURSTW, WIOSW, and WCSL instead of the signals INBURSTR, RCSL, and RIOSW, respectively, but the internal configuration is the pulse generating circuit 762. ), So the description is not repeated.

신호 발생 회로(714)는 신호 ACTSEN, B0SEL을 받는 NAND 회로(810)와, NAND 회로(810)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(812)와, 신호 INBURST0, RIOSW가 H 레벨이고, 또한 인버터(812)의 출력이 L 레벨인 것을 검출하여 출력을 L 레벨로 활성화하는 게이트 회로(814)와, 게이트 회로(814)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(816)를 포함한다.The signal generation circuit 714 includes a NAND circuit 810 that receives signals ACTSEN and B0SEL, an inverter 812 that receives and inverts the output of the NAND circuit 810, and signals INBURST0 and RIOSW are H level, and an inverter 812. The gate circuit 814 detects that the output of the L) is at the L level and activates the output at the L level, and an inverter 816 that receives the output of the gate circuit 814 and inverts the output.

신호 발생 회로(714)는 신호 ACTSEN, B1SEL을 받는 NAND 회로(818)와, NAND 회로(818)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(820)와, 신호 INBURST1, RIOSW 및 인버터(820)의 출력을 받는 3입력의 NAND 회로(822)와, NAND 회로(822)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(824)를 더 포함한다.The signal generation circuit 714 receives a NAND circuit 818 that receives signals ACTSEN and B1SEL, an inverter 820 that receives and inverts the output of the NAND circuit 818, and receives an output of the signals INBURST1, RIOSW and the inverter 820. It further includes a three-input NAND circuit 822 and an inverter 824 that receives and inverts the output of the NAND circuit 822.

신호 발생 회로(714)는 신호 INBURST0, WIOSW를 받는 NAND 회로(826)와, NAND 회로(826)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(828)와, 인버터(816, 824, 828)의 출력을 받아 신호 IOSW0을 출력하는 3입력의 OR 회로(830)를 더 포함한다.The signal generating circuit 714 receives a signal of the NAND circuit 826 that receives the signals INBURST0 and WIOSW, an inverter 828 that receives and inverts the output of the NAND circuit 826, and receives an output of the inverters 816, 824, and 828. It further includes an OR circuit 830 of three inputs for outputting IOSW0.

신호 발생 회로(714)는 신호 ACTSEN, B1SEL을 받는 NAND 회로(832)와, NAND 회로(832)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(834)와, 신호 INBURST1, RIOSW가 모두 H 레벨이고, 또한 인버터(834)의 출력이 L 레벨인 것을 검출하여 출력을 L 레벨로 활성화시키는 게이트 회로(836)와, 게이트 회로(836)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(838)를 더 포함한다.The signal generating circuit 714 includes a NAND circuit 832 that receives signals ACTSEN and B1SEL, an inverter 834 that receives and inverts the output of the NAND circuit 832, and the signals INBURST1 and RIOSW are all at the H level, and the inverter ( It further includes a gate circuit 836 for detecting that the output of 834 is at the L level and activating the output to the L level, and an inverter 838 for receiving and inverting the output of the gate circuit 836.

신호 발생 회로(714)는 신호 ACTSEN, B0SEL을 받는 NAND 회로(840)와, NAND 회로(840)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(842)와, 신호 INBURST0, RIOSW 및 인버터(842)의 출력을 받는 3입력의 NAND 회로(844)와, NAND 회로(844)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(846)를 더 포함한다.The signal generation circuit 714 receives a NAND circuit 840 that receives signals ACTSEN and B0SEL, an inverter 842 that receives and inverts the output of the NAND circuit 840, and receives an output of the signals INBURST0, RIOSW, and the inverter 842. It further includes a three-input NAND circuit 844 and an inverter 846 that receives and inverts the output of the NAND circuit 844.

신호 발생 회로(714)는 신호 INBURST1, WIOSW를 받는 NAND 회로(848)와, NAND 회로(848)의 출력을 받아 반전시키는 인버터(850)와, 인버터(838, 846, 850)의 출력을 받아 신호 IOSW1을 출력하는 3입력의 OR 회로(852)를 더 포함한다.The signal generating circuit 714 receives a signal of the NAND circuit 848 that receives the signals INBURST1 and WIOSW, an inverter 850 that receives and inverts the output of the NAND circuit 848, and receives an output of the inverters 838, 846, 850. It further includes an OR circuit 852 of three inputs for outputting IOSW1.

도 19의 회로에서 발생되는 주요한 신호를 설명한다.The main signals generated in the circuit of FIG. 19 will be described.

신호 INBURSTR는 신호 RD0에 따라 발생되어, 버스트 길이의 기간 H 레벨로 되는 신호이다. 신호 RCSL, RIOSW는 신호 RD0에 따라 버스트 기간에 출력되는 데이터 수만큼 펄스 형상으로 활성화되는 신호이다.The signal INBURSTR is generated in accordance with the signal RD0, and is a signal which becomes the period H level of the burst length. The signals RCSL and RIOSW are signals that are activated in the shape of pulses according to the signal RD0 by the number of data output in the burst period.

마찬가지로, 신호 INBURSTW는 신호 WRT0에 따라 버스트 길이의 기간 동안 H 레벨이 되는 신호이다. 신호 WCSL, WIOSW는 신호 WRT0에 따라 발생되어 버스트 동작의 데이터 수만큼 펄스 형상으로 활성화되는 신호이다.Similarly, the signal INBURSTW is a signal that becomes H level during the burst length period in accordance with the signal WRT0. The signals WCSL and WIOSW are signals generated according to the signal WRT0 and activated in the shape of pulses by the number of data of the burst operation.

신호 IOSW0은 이하의 세 가지의 경우에 출력된다.The signal IOSW0 is output in the following three cases.

제 1 경우는 신호 INBURST0=H이고, 신호 RIOSW=H, 또한, 메모리 블럭 BLOCK0이 커맨드 ACT 또는 커맨드 SEN을 접수하고 있지 않은 경우이다.The first case is the case where the signal INBURST0 = H, the signal RIOSW = H, and the memory block BLOCK0 do not accept the command ACT or the command SEN.

제 2 경우는 신호 INBURST1=H이고, 신호 RIOSW=H, 또한, 메모리 블럭 BLOCK1이 커맨드 ACT 또는 커맨드 SEN을 접수한 경우이다.The second case is the case where the signal INBURST1 = H, the signal RIOSW = H, and the memory block BLOCK1 accept the command ACT or the command SEN.

제 3 경우는 신호 INBURST0=H이고, 또한 신호 WIOSW=H인 경우이다.The third case is the case where the signal INBURST0 = H and the signal WIOSW = H.

마찬가지로, 신호 IOSW1은 이하의 세 가지의 경우에 출력된다.Similarly, the signal IOSW1 is output in the following three cases.

제 1 경우는 신호 INBURST1=H이고, 신호 RIOSW=H, 또한, 메모리 블럭 BLOCK1이 커맨드 ACT 또는 커맨드 SEN을 접수하고 있지 않은 경우이다.The first case is a case where the signal INBURST1 = H, the signal RIOSW = H, and the memory block BLOCK1 do not accept the command ACT or the command SEN.

제 2 경우는 신호 INBURST0=H이고, 신호 RIOSW=H, 또한, 메모리 블럭 BLOCK0이 커맨드 ACT 또는 커맨드 SEN을 접수한 경우이다.The second case is a case where the signal INBURST0 = H, the signal RIOSW = H, and the memory block BLOCK0 receive the command ACT or the command SEN.

제 3 경우는 신호 INBURST1=H, 또한, 신호 WIOSW=H인 경우이다.The third case is the case where the signal INBURST1 = H and the signal WIOSW = H.

이와 같이, 신호 IOSW0, IOSW1을 제어함으로써, 통상은 선택된 메모리 블록 측의 IOSW0, IOSW1 중 어느 하나가 활성화되어 출력이 행해지지만, 버스트 동작 중에 선택된 메모리 블럭에 대하여 커맨드 ACT 또는 커맨드 SEN이 입력된 경우에는, 인접하는 메모리 블록 측의 게이트 회로를 열어 데이터 출력을 계속한다.In this way, by controlling the signals IOSW0 and IOSW1, normally, either one of IOSW0 and IOSW1 on the selected memory block side is activated and outputted. However, when a command ACT or a command SEN is input to the selected memory block during a burst operation. The gate circuit on the side of the adjacent memory block is opened to continue data output.

도 20은 실시예 3의 반도체 기억 장치의 동작을 설명하기 위한 동작 파형도이다.20 is an operational waveform diagram for describing the operation of the semiconductor memory device of the third embodiment.

도 14, 도 20을 참조하면, 동일 메모리 블럭에 속하는 복수의 워드선으로부터 판독 동작이 행해지는 예를 설명한다. 또, 버스트 길이는 4클럭이라고 한다.14 and 20, an example in which a read operation is performed from a plurality of word lines belonging to the same memory block will be described. The burst length is 4 clocks.

우선, 시각 t0의 초기 상태에서는, 신호 BLEQ는 H 레벨이다. 또한, 신호 SAEQ0, SAEQ1은 모두 L 레벨이다. 신호 BLTG0, BLTG1, BLTG2는 모두 L 레벨이다. 신호 S0, S1, /S0, /S1은 모두 전위 VBL(전원 전위 VDD의 2분의 1)이다.First, in the initial state of time t0, the signal BLEQ is at the H level. In addition, the signals SAEQ0 and SAEQ1 are both at L level. The signals BLTG0, BLTG1, and BLTG2 are all at L level. The signals S0, S1, / S0, and / S1 are all potentials VBL (1/2 of the power source potential VDD).

시각 t1에 있어서, 커맨드 SEN 및 어드레스00이 입력된다. 따라서, 신호 BLEQ가 H 레벨로부터 L 레벨로 변화된다. 또한, 신호 SAEQ0이 펄스 형상으로, H 레벨로 활성화된다. 따라서, 도 14의 비트선 BL00, /BL00, BL01, /BL01은 하이 임피던스 상태로 된다. 센스 앰프(62, 63)는 초기화된다.At time t1, the command SEN and address 00 are input. Therefore, the signal BLEQ is changed from the H level to the L level. In addition, the signal SAEQ0 is activated in the pulse shape at the H level. Therefore, the bit lines BL00, / BL00, BL01, / BL01 in Fig. 14 are in a high impedance state. The sense amplifiers 62 and 63 are initialized.

어드레스00에 대응하는 워드선 WL00이 H 레벨로 활성화되어, 메모리셀의 데이터가 비트선 BL00으로 판독된다. 그 후, 신호 BLTG0이 L 레벨로부터 H 레벨로 활성화되어, 비트선쌍의 전위를 센스 앰프(62, 63)로 전달한다.The word line WL00 corresponding to the address 00 is activated at the H level, and the data of the memory cell is read out to the bit line BL00. Thereafter, the signal BLTG0 is activated from the L level to the H level, thereby transferring the potential of the bit line pair to the sense amplifiers 62 and 63.

그리고, 신호 S0, /S0이 각각 H 레벨, L 레벨로 활성화되어 센스 앰프(62, 63)에 있어서 비트선쌍의 전위차가 증폭된다.Then, the signals S0 and / S0 are activated at the H level and the L level, respectively, so that the potential difference between the bit line pairs is amplified in the sense amplifiers 62 and 63.

메모리 블럭 BLOCK1에 포함되는 센스 앰프(62, 63)에는 유효한 데이터가 축적되어 있지 않기 때문에, 메모리 블럭 BLOCK0에 포함되는 센스 앰프(62, 63)에 의해서 증폭된 데이터가 메모리 블럭 BLOCK1에 포함되는 센스 앰프(62, 63)에 전송되는 동작이 시작된다.Since no valid data is stored in the sense amplifiers 62 and 63 included in the memory block BLOCK1, the sense amplifiers in which the data amplified by the sense amplifiers 62 and 63 included in the memory block BLOCK0 are included in the memory block BLOCK1. The operation transmitted to 62, 63 is started.

신호 BLTG1, ARTG01이 L 레벨로부터 H 레벨로 활성화되어, 센스 앰프에 의해서 증폭된 비트선쌍의 전위가 메모리 블럭 BLOCK1 측으로 전달된다. 즉, 비트선 BL00의 전위는 비트선 BL10으로 전달되고, 또한 비트선 BL20으로 전달된다. 마찬가지로 비트선 /BL00의 전위는 우선 비트선 /BLl0으로 전달되고 계속해서 비트선 /BL20으로 전달된다.The signals BLTG1 and ARTG01 are activated from the L level to the H level, so that the potential of the bit line pair amplified by the sense amplifier is transferred to the memory block BLOCK1 side. That is, the potential of the bit line BL00 is transferred to the bit line BL10 and further to the bit line BL20. Similarly, the potential of the bit line / BL00 is first transferred to the bit line / BLl0 and subsequently to the bit line / BL20.

그 후, 신호 SAEQ1이 펄스 형상으로, H 레벨로 활성화되어, 센스 앰프대 SAB#1에 포함되는 센스 앰프(62, 63)가 초기화된다. 그 후, 신호 BLTG2가 L 레벨로부터 H 레벨로 활성화되고, 신호 S1, /S1이 각각 H 레벨, L 레벨로 활성화되어, 비트선 BL20, /BL20의 전위차가 증폭된다. 이 전위는, 원래는 비트선 BL00, /BL00의 전위차이므로, 센스 앰프대 SAB#0의 센스 앰프(62)와 센스 앰프대 SAB#1의 센스앰프(62)는 같은 값을 유지하게 된다.Thereafter, the signal SAEQ1 is activated in a pulse shape at the H level, and the sense amplifiers 62 and 63 included in the sense amplifier stage SAB # 1 are initialized. Thereafter, the signal BLTG2 is activated from the L level to the H level, the signals S1 and / S1 are activated at the H level and the L level, respectively, and the potential difference between the bit lines BL20 and / BL20 is amplified. Since this potential is originally a potential difference between the bit lines BL00 and / BL00, the sense amplifier 62 of the sense amplifier unit SAB # 0 and the sense amplifier 62 of the sense amplifier unit SAB # 1 maintain the same value.

커맨드 SEN에 따라 활성화되었기 때문에, 워드선 WL00은 소정 시간이 경과하여 센스 앰프로 데이터가 판독되면, 자동적으로 L 레벨로 비활성화된다.Since the word line WL00 is activated according to the command SEN, the data is automatically deactivated to the L level when data is read by the sense amplifier after a predetermined time has elapsed.

데이터의 전송이 완료되면, 신호 BLTG0, ARTG01, BLTG1, BLTG2는 L 레벨로 설정되고, 신호 BLEQ는 H 레벨로 설정된다.When data transfer is completed, the signals BLTG0, ARTG01, BLTG1, BLTG2 are set to L level, and the signal BLEQ is set to H level.

이상의 동작이 시각 t1에 있어서의 커맨드 SEN의 입력에 따라 실행된다.The above operation is executed in response to the input of the command SEN at time t1.

이들의 동작과 병행하여, 시각 t2로 되면, 외부로부터 커맨드 RD 및 어드레스00이 입력된다. 버스트 길이가 4이기 때문에, 컬럼 어드레스00∼03에 대응하는 데이터가 판독된다.In parallel with these operations, at time t2, the command RD and address 00 are input from the outside. Since the burst length is 4, data corresponding to column addresses 00 to 03 is read.

커맨드 RD의 입력에 따라 컬럼 선택선 CSL0이 H 레벨로 활성화되어 센스 앰프대 SAB#0, SAB#1의 센스 앰프(62)가 각각 로컬 IO선 LIO0, LIO1에 접속된다.In response to the input of the command RD, the column select line CSL0 is activated to the H level so that the sense amplifiers 62 of the sense amplifier band SAB # 0 and SAB # 1 are connected to the local IO lines LIO0 and LIO1, respectively.

신호 IOSW0이 H 레벨로 되고, 로컬 IO선 LIO0이 글로벌 IO선 GIO에 접속되어, 센스 앰프대 SAB#0의 센스 앰프(62)의 데이터가 로컬 IO선 LIO0, 글로벌 IO선 GIO를 거쳐서 입출력 회로(14)로 전달된다.The signal IOSW0 is set to the H level, and the local IO line LIO0 is connected to the global IO line GIO, and the data of the sense amplifier 62 of the sense amplifier stage SAB # 0 passes through the local IO line LIO0 and the global IO line GIO. 14).

계속해서 버스트 동작에 따라서, 컬럼 선택선 CSL1이 H 레벨로 활성화되고 센스 앰프대 SAB#0, SAB#1의 센스 앰프(63)가 각각 로컬 IO선 LIO0, LIO1에 접속된다.Subsequently, in accordance with the burst operation, the column select line CSL1 is activated at the H level, and the sense amplifiers 63 of the sense amplifier band SAB # 0 and SAB # 1 are connected to the local IO lines LIO0 and LIO1, respectively.

신호 IOSW0이 H 레벨로 활성화되고, 로컬 IO선 LIO0이 글로벌 IO선 GIO에 접속되어, 센스 앰프대 SAB#0의 센스 앰프(63)의 데이터가 로컬 IO선 LIO0, 글로벌 IO선 GIO를 거쳐서 입출력 회로(14)에 전달된다.The signal IOSW0 is activated at the H level, the local IO line LIO0 is connected to the global IO line GIO, and the data of the sense amplifier 63 of the sense amplifier band SAB # 0 passes through the local IO line LIO0 and the global IO line GIO. 14 is passed.

시각 t3에 있어서, 커맨드 SEN 및 어드레스01이 입력된다. 따라서, 신호 BLEQ가 L 레벨로 설정되고, 신호 SAEQ0이 펄스 형상으로, H 레벨로 활성화된다. 비트선쌍의 이퀄라이즈가 정지되어, 센스 앰프는 초기화된다.At time t3, the command SEN and address 01 are input. Therefore, the signal BLEQ is set at the L level, and the signal SAEQ0 is activated at the H level in a pulse shape. Equalization of the bit line pair is stopped, and the sense amplifier is initialized.

이 때, 판독 동작의 도중이므로, 데이터를 계속해서 판독할 필요가 있는 것에 관계없이 데이터를 유지하고 있던 메모리 블럭 BLOCK0의 센스 앰프(62, 63)는 초기화되어 버렸다. 그러나, 메모리 블럭 BLOCK0 측에 있는 센스 앰프(62, 63)의 데이터는 모두 시각 t2에 있어서 신호 ARTG01이 활성화되는 것에 의해 블럭 BLOCK1 측으로 전송되고 있으므로, 메모리 블럭 BLOCK1 측의 센스 앰프(62, 63)로부터 판독 동작을 계속할 수 있다.At this time, since the read operation is in progress, the sense amplifiers 62 and 63 of the memory block BLOCK0 holding the data have been initialized regardless of whether the data needs to be continuously read. However, since the data of the sense amplifiers 62, 63 on the memory block BLOCK0 side are all transmitted to the block BLOCK1 side by activating the signal ARTG01 at time t2, from the sense amplifiers 62, 63 on the memory block BLOCK1 side. The read operation can continue.

버스트 동작에 따라서, 컬럼 선택선 CSL2가 H 레벨로 활성화되고, 도시되어 있지 않은 센스 앰프가 국부 IO선쌍에 접속된다.In accordance with the burst operation, the column select line CSL2 is activated at the H level, and a sense amplifier (not shown) is connected to the local IO line pair.

신호 IOSW0 대신 신호 IOSW1이 H 레벨로 활성화되어 로컬 IO선 LIO1이 글로벌 IO선 GIO에 접속된다. 메모리 블럭 BLOCK1 측의 센스 앰프의 데이터가 로컬 IO선 LIO1, 글로벌 IO선 GIO를 거쳐서 입출력 회로(14)에 전달된다. 최초 2회의 신호 IOSW0의 펄스는 게이트 회로(814), 인버터(816)를 경유하여 OR 회로(830)로부터 출력되고, 계속되는 2회의 IOSW1의 펄스는 도중에서 메모리 블럭 BLOCK0에 활성 커맨드가 입력되는 것에 따라서 NAND 회로(844), 인버터(846)를 경유하여 OR 회로(852)로부터 출력된다.Instead of signal IOSW0, signal IOSW1 is activated at H level so that local IO line LIO1 is connected to global IO line GIO. The data of the sense amplifier on the memory block BLOCK1 side is transmitted to the input / output circuit 14 via the local IO line LIO1 and the global IO line GIO. The first two pulses of the signal IOSW0 are output from the OR circuit 830 via the gate circuit 814 and the inverter 816, and the subsequent two pulses of the IOSW1 are in the midst of an active command being input to the memory block BLOCK0. It is output from the OR circuit 852 via the NAND circuit 844 and the inverter 846.

또한, 계속하여 컬럼 선택선 CSL3, 신호 IOSW1이 H 레벨로 활성화되고, 도시되어 있지 않은 대응하는 센스 앰프의 데이터가 로컬 IO선 LIO1, 글로벌 IO선 GIO를 거쳐서 입출력 회로(14)로 전달된다.Further, the column select line CSL3 and the signal IOSW1 are subsequently activated at the H level, and the data of the corresponding sense amplifier (not shown) is transmitted to the input / output circuit 14 via the local IO line LIO1 and the global IO line GIO.

워드선 관련의 동작도 시각 t1의 경우와 마찬가지로 실시된다. 우선 워드선 WL01이 H 레벨로 되어, 메모리셀의 데이터를 판독한다. 센스 앰프에 판독된 데이터를 전달하기 위해서 신호 BLTG0은 H 레벨로 된다. 신호 S0, /S0이 각각 H 레벨, L 레벨로 설정되어, 센스 앰프가 비트선쌍의 전위차를 증폭한다.Operation related to word lines is also carried out as in the case of time t1. First, the word line WL01 goes to the H level, and the data of the memory cell is read. In order to transfer the read data to the sense amplifier, the signal BLTG0 goes to H level. The signals S0 and / S0 are set to H level and L level, respectively, so that the sense amplifier amplifies the potential difference between the bit line pairs.

또한, 메모리 블럭 BLOCK0 측의 센스 앰프로부터 메모리 블럭 BLOCK1 측의 센스 앰프로의 데이터의 전송이 시각 t1에 있어서의 커맨드 SEN의 입력 시와 마찬가지로 실행된다. 우선 신호 ARTG01, BLTG1이 H 레벨로 설정되고, 신호 S1, /S1은 모두 전위 VBL로 설정된다. 그리고, 신호 SAEQ1이 펄스 형상으로, H 레벨로 활성화된다. 그 후, 신호 BLTG2가 H 레벨, 신호 S1, /S1이 각각 H 레벨, L 레벨로 설정되어, 메모리 블럭 BLOCK0으로부터 전송된 데이터를 센스 앰프대 SAB#1의 센스 앰프(62, 63)가 증폭하여 데이터 전송 완료 후 신호 BLTG0, ARTG01, BLTG1, BLTG2 및 워드선 W01은 L 레벨로, 신호 BLEQ는 H 레벨로 설정된다.The data transfer from the sense amplifier on the memory block BLOCK0 side to the sense amplifier on the memory block BLOCK1 side is executed in the same manner as when the command SEN is input at time t1. First, signals ARTG01 and BLTG1 are set to H level, and signals S1 and / S1 are both set to potential VBL. Then, the signal SAEQ1 is activated in the pulse shape at the H level. Thereafter, the signal BLTG2 is set to the H level, the signals S1 and / S1 are set to the H level and the L level, respectively, and the sense amplifiers 62 and 63 of the sense amplifier to SAB # 1 amplify the data transmitted from the memory block BLOCK0. After completion of data transfer, the signals BLTG0, ARTG01, BLTG1, BLTG2, and word line W01 are set to L level, and signal BLEQ is set to H level.

계속해서 시각 t4에 있어서, 리드 커맨드 RD 및 어드레스00이 입력된다.Then, at time t4, the read command RD and address 00 are input.

전회와 다르게, 판독 동작의 마지막에 커맨드 SEN이 입력되지 않았으므로, 통상의 SDRAM과 마찬가지의 버스트 판독 동작이 일어난다. 즉, 컬럼 선택선 CSL0, CSL1, CSL2, CSL3이 순서대로, H 레벨의 펄스 형상으로 활성화된다. 그리고, 각 컬럼 선택선의 활성화에 대응하여 신호 IOSW0이 4회 펄스 형상으로 활성화된다. 로컬 IO선 LIO0이 글로벌 IO선 GIO에 접속되고, 센스 앰프대 SAB#0 내부의 센스 앰프(62, 63) 및 도시하지 않은 컬럼 선택선 CSL2, CSL3에 대응하는 센스 앰프의 데이터가 로컬 IO선 LIO0, 글로벌 IO선 GIO를 거쳐서 입출력 회로(14)에 전달된다.Unlike the last time, since no command SEN is input at the end of the read operation, a burst read operation similar to that of a normal SDRAM occurs. That is, the column select lines CSL0, CSL1, CSL2, and CSL3 are activated in the pulse shape of H level in order. In response to the activation of each column select line, the signal IOSW0 is activated in four pulse shapes. The local IO line LIO0 is connected to the global IO line GIO, and the data of the sense amplifiers 62 and 63 inside the sense amplifier stage SAB # 0 and the sense amplifiers corresponding to the column selection lines CSL2 and CSL3 (not shown) are stored in the local IO line LIO0. The data is transmitted to the input / output circuit 14 via the global IO line GIO.

시각 t5 이후는 기록 동작에 대하여 설명한다. 우선 커맨드 ACT 및 어드레스01이 입력된다.After time t5, the recording operation will be described. First, the command ACT and address 01 are input.

시각 t1에 있어서의 커맨드 SEN에 따른 워드선 활성화와 마찬가지의 동작이 실시된다. 우선 워드선 WL01이 H 레벨로 활성화되어, 메모리셀의 데이터를 판독한다. 그리고, 신호 BLTG0이 H 레벨로 설정되어 신호 S0, /S0이 각각 H 레벨, L 레벨로 활성화되어 센스 앰프가 비트선쌍의 전위차를 증폭시킨다.The same operation as the word line activation according to the command SEN at time t1 is performed. First, the word line WL01 is activated at the H level to read data of the memory cell. Then, the signal BLTG0 is set at the H level, and the signals S0 and / S0 are activated at the H level and the L level, respectively, so that the sense amplifier amplifies the potential difference between the bit line pairs.

또한, 메모리 블럭 BLOCK0 측의 센스 앰프로부터 메모리 블럭 BLOCK1 측의 센스 앰프로의 데이터의 전송이 시각 t1의 경우와 마찬가지로 실행된다. 신호 ARTG01, BLTG1이 H 레벨로 설정되고, 신호 S1, /S1이 모두 전위 VBL로 설정되며, 신호 SAEQ1이 펄스 형상으로, H 레벨로 활성화된다.The data transfer from the sense amplifier on the memory block BLOCK0 side to the sense amplifier on the memory block BLOCK1 side is performed in the same manner as in the case of time t1. The signals ARTG01 and BLTG1 are set to the H level, the signals S1 and / S1 are both set to the potential VBL, and the signal SAEQ1 is activated in the pulse shape and at the H level.

그 후, 신호 BLTG2가 H 레벨, 신호 S1, /S1이 각각 H 레벨, L 레벨로 활성화되어 메모리 블럭 BLOCK0으로부터 전송된 데이터를 센스 앰프대 SAB#1 내부의 센스 앰프(62, 63, …)가 증폭하여, 데이터 전송 완료 후 신호 ARTG01, BLTG1, BLTG2는 L 레벨로 설정된다.Thereafter, the signal BLTG2 is activated at the H level, the signals S1 and / S1 are at the H level and the L level, respectively, so that the sense amplifiers 62, 63, ... in the sense amplifier stage SAB # 1 are used to transfer data transmitted from the memory block BLOCK0. After amplification and completion of data transmission, the signals ARTG01, BLTG1, BLTG2 are set to L level.

시각 t6에 있어서, 라이트 커맨드 WRT 및 어드레스04가 입력된다.At time t6, the write command WRT and address 04 are input.

신호 IOSW0이 H 레벨로 설정되고, 컬럼 선택선 CSL4가 H 레벨로 활성화되어, 컬럼 선택선 CSL4에 대응하는 도시되어 있지 않은 센스 앰프가 글로벌 IO선 GIO, 로컬 IO선 LIO0을 거쳐서 데이터를 수취하고, 또한 메모리셀에 데이터가 기록된다.The signal IOSW0 is set at the H level, the column select line CSL4 is activated at the H level, and an unillustrated sense amplifier corresponding to the column select line CSL4 receives data via the global IO line GIO and the local IO line LIO0, Data is also written to the memory cell.

이후, 버스트 동작에 의해서 컬럼 선택선 CSL5, CSL6, CSL7이 순서대로 H 레벨로 활성화되어, 각각 대응하는 컬럼 어드레스의 메모리셀에 데이터의 기록이 실행된다.Thereafter, the column select lines CSL5, CSL6, and CSL7 are activated to the H level in order by the burst operation, and data is written to the memory cells of the corresponding column addresses, respectively.

이상 설명한 바와 같이, 실시예 3에 따른 반도체 기억 장치를 사용한 경우에는, 판독 동작의 도중에도 로우 어드레스의 입력을 가능하게 하고 있기 때문에, 데이터의 실효 전송 레이트를 매우 높게 유지하는 것이 가능하다.As described above, when the semiconductor memory device according to the third embodiment is used, since the row address can be input even during the read operation, the effective transfer rate of the data can be kept very high.

본 발명에 따른 반도체 기억 장치는 이론적으로 실효 전송 레이트를 높게 할 수 있는 방법을 제공하고 있음에도 불구하고 제어하는 쪽의 부담이 크기 때문에 최대의 효과를 발휘하고 있지 않은 종래의 기술에 비하여 큰 이점을 갖는다.The semiconductor memory device according to the present invention has a great advantage over the prior art which does not exert the maximum effect because the burden on the controlling side is large despite the theoretically providing method of increasing the effective transfer rate. .

또한, 실시예 3에서는, 통상의 센스 앰프를 대피 데이터의 저장 장소로서 사용하고 있기 때문에, 레이아웃 면적의 증대가 적어 제조 비용면에서의 단점이 작게 억제된다고 하는 효과도 있다.In addition, in the third embodiment, since a normal sense amplifier is used as a storage location for evacuation data, there is also an effect that the disadvantage in terms of manufacturing cost is reduced because the increase in layout area is small.

실시예 3의 반도체 기억 장치는 회로 추가에 따른 칩 면적의 증가가 거의 없기 때문에, 표준의 SDRAM으로서 이용하여도 비용면에서 불리하게 되지 않는다. 실시예 3에 기재한 기능이 유효하게 되는 특정한 커맨드를 판정하는 수단을 구비하면, 일반 시스템에서는 통상의 SDRAM 호환품으로서 동작시키는 것이 가능하다.Since the semiconductor memory device of the third embodiment has almost no increase in chip area due to the addition of a circuit, even if used as a standard SDRAM, it is not disadvantageous in terms of cost. If it is provided with means for determining a specific command for which the function described in the third embodiment becomes valid, it is possible to operate as a normal SDRAM compatible product in a general system.

또한, 표준 메모리와 함께 제작 분할하는 것도 가능하다. 제작 분할 방법으로는, 웨이퍼 프로세스에 있어서의 금속 배선의 옵션, 레이저 트리머 등에 의한 프로그래밍 및 어셈블리 공정에서의 내부 패드의 전위 고정이나 장치의 특정 단자의 전위 고정 등을 이용한 동작 전환이 생각된다.It is also possible to manufacture and divide together with the standard memory. As a production division method, operation switching using the option of the metal wiring in a wafer process, the programming by a laser trimmer, etc., the potential fixing of the internal pad in the assembly process, the potential fixing of the specific terminal of an apparatus, etc. are considered.

본 발명의 일 국면에 따른 반도체 기억 장치는, 워드선 활성화 지시가 될 때까지 센스 앰프로 판독한 데이터를 유지하고 있으므로, 유지하고 있는 데이터에 대해서는, 워드선의 활성화를 기다리지 않고서 고속으로 판독하는 것이 가능해진다.Since the semiconductor memory device according to one aspect of the present invention holds the data read by the sense amplifier until the word line activation instruction is given, the held data can be read at high speed without waiting for the activation of the word line. Become.

본 발명의 다른 국면에 따른 반도체 기억 장치는, 워드선 활성화 지시가 될 때까지 센스 앰프에 판독한 데이터를 유지하고 있으므로, 유지하고 있는 데이터에 대해서는, 워드선의 활성화를 기다리지 않고 고속으로 판독하는 것이 가능해지고, 또한, 두 개의 센스 앰프 중 어느 하나로부터도 데이터 판독을 실행할 수 있다.Since the semiconductor memory device according to another aspect of the present invention holds the data read to the sense amplifier until the word line activation instruction is made, the held data can be read at high speed without waiting for the activation of the word line. In addition, data reading can be performed from either of the two sense amplifiers.

이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것이 아니고, 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.As mentioned above, although the invention made by this inventor was demonstrated concretely according to the said Example, this invention is not limited to the said Example and can be variously changed in the range which does not deviate from the summary.

Claims (3)

반도체 기억 장치에 있어서,In a semiconductor memory device, 행렬 형상으로 배치되는 복수의 제 1 메모리셀 그룹, 제 1 비트선쌍 및 상기 제 1 비트선쌍에 교차하여 마련되는 제 1 워드선 그룹을 포함하는 제 1 메모리셀 어레이와,A first memory cell array including a plurality of first memory cell groups arranged in a matrix shape, a first bit line pair, and a first word line group provided to intersect the first bit line pair; 행렬 형상으로 배치되는 복수의 제 2 메모리셀 그룹, 제 2 비트선쌍 및 상기 제 2 비트선쌍에 교차하여 마련되는 제 2 워드선 그룹을 포함하는 제 2 메모리셀 어레이와,A second memory cell array including a plurality of second memory cell groups arranged in a matrix shape, a second bit line pair, and a second word line group provided to intersect the second bit line pair; 상기 제 1, 제 2 비트선쌍에 공유되는 센스 앰프를 포함하는 센스 앰프대와,A sense amplifier stage including a sense amplifier shared by the first and second bit line pairs; 상기 센스 앰프의 초기화, 상기 제 1, 제 2 비트선쌍의 초기화 및 상기 제 1, 제 2 워드선 그룹의 활성화를 제어하는 제어 회로를 구비하되,A control circuit for controlling initialization of the sense amplifier, initialization of the first and second bit line pairs, and activation of the first and second word line groups, 상기 제어 회로는, 제 1 커맨드에 따라서, 상기 제 1, 제 2 워드선 그룹 중 어느 하나의 워드선을 비활성 상태로부터 활성 상태로 천이시키는 타이밍 신호를 출력함과 동시에, 상기 제 1, 제 2 비트선쌍의 초기화를 해제하고, 또한 소정 기간 상기 센스 앰프를 초기화하는 반도체 기억 장치.The control circuit outputs a timing signal for transitioning any one of the first and second word line groups from an inactive state to an active state according to a first command, and simultaneously outputs the first and second bits. A semiconductor memory device for canceling line pair initialization and initializing the sense amplifier for a predetermined period. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제어 회로는, 상기 제 1, 제 2 워드선 그룹에 포함되는 어느 하나의 워드선이 비활성 상태로부터 활성 상태로 천이하여 상기 센스 앰프에 상기 제 1, 제 2 메모리셀 그룹으로부터의 데이터가 판독되면, 상기 제 1, 제 2 워드선 그룹에 포함되는 어느 하나의 워드선이 다음에 비활성 상태로부터 활성 상태로 천이될 때까지 상기 센스 앰프의 활성화 상태를 유지하고,The control circuit, if any word line included in the first and second word line groups transitions from an inactive state to an active state and data from the first and second memory cell groups is read into the sense amplifier. Maintains the activated state of the sense amplifier until any one of the word lines included in the first and second word line groups is transitioned from an inactive state to an active state, 상기 센스 앰프는, 판독된 상기 데이터를 상기 제 1, 제 2 워드선 그룹에 포함되는 어느 하나의 워드선이 다음에 비선택 상태로부터 선택 상태로 천이될 때까지 유지하는 반도체 기억 장치.And the sense amplifier holds the read data until any one of the word lines included in the first and second word line groups transitions from the non-selected state to the selected state. 반도체 기억 장치에 있어서,In a semiconductor memory device, 제 1 메모리 블럭을 구비하되,A first memory block, 상기 제 1 메모리 블럭은,The first memory block, 행렬 형상으로 배치되는 복수의 제 1 메모리셀 그룹, 제 1 비트선쌍 및 상기 제 1 비트선쌍에 교차하여 마련되는 제 1 워드선 그룹을 포함하는 제 1 메모리셀 어레이와,A first memory cell array including a plurality of first memory cell groups arranged in a matrix shape, a first bit line pair, and a first word line group provided to intersect the first bit line pair; 행렬 형상으로 배치되는 복수의 제 2 메모리셀 그룹, 제 2 비트선쌍 및 상기 제 2 비트선쌍에 교차하여 마련되는 제 2 워드선 그룹을 포함하는 제 2 메모리셀 어레이와,A second memory cell array including a plurality of second memory cell groups arranged in a matrix shape, a second bit line pair, and a second word line group provided to intersect the second bit line pair; 상기 제 1, 제 2 비트선쌍에 공유되는 제 1 센스 앰프를 포함하는 제 1 센스 앰프대를 포함하되,A first sense amplifier stage including a first sense amplifier shared by the first and second bit line pairs, 제 2 메모리 블럭을 더 구비하고,Further comprising a second memory block, 상기 제 2 메모리 블럭은,The second memory block, 행렬 형상으로 배치되는 복수의 제 3 메모리셀 그룹, 제 3 비트선쌍 및 상기 제 3 비트선쌍에 교차하여 마련되는 제 3 워드선 그룹을 포함하는 제 3 메모리셀 어레이와,A third memory cell array including a plurality of third memory cell groups arranged in a matrix shape, a third bit line pair, and a third word line group provided to intersect the third bit line pair; 행렬 형상으로 배치되는 복수의 제 4 메모리셀 그룹, 제 4 비트선쌍 및 상기 제 4 비트선쌍에 교차하여 마련되는 제 4 워드선 그룹을 포함하는 제 4 메모리셀 어레이와,A fourth memory cell array including a plurality of fourth memory cell groups arranged in a matrix shape, a fourth bit line pair, and a fourth word line group provided to intersect the fourth bit line pair; 상기 제 3, 제 4 비트선쌍에 공유되는 제 2 센스 앰프를 포함하는 제 2 센스 앰프대를 포함하고,A second sense amplifier stage including a second sense amplifier shared by the third and fourth bit line pairs, 상기 제 1, 제 2 메모리 블럭의 사이에 마련되어, 상기 제 2 비트선쌍과 제 3 비트선쌍을 접속하는 스위치 회로와,A switch circuit provided between the first and second memory blocks to connect the second bit line pair and the third bit line pair; 상기 제 1, 제 2 센스 앰프 및 상기 스위치 회로를 제어하여, 상기 제 1, 제 2 센스 앰프 사이에서 데이터 전송을 행하게 하는 제어 회로를 더 구비하는 반도체 기억 장치.And a control circuit for controlling the first and second sense amplifiers and the switch circuit to perform data transfer between the first and second sense amplifiers.
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