KR20030000611A - 드라이 에싱 장비의 쿼츠 버블러가 일체화된 쿼츠플라즈마 챔버 - Google Patents

Abstract

본 발명의 쿼츠 플라즈마 챔버는 쿼츠 버블러가 일체형으로 형성된다. 쿼츠 플라즈마 챔버의 일단에는 오링이 연결되어 설비로 연결되어 프로세스 챔버로 공정 가스를 제공한다. 쿼츠 플라즈마 챔버에 쿼츠 버블러가 일체형으로 형성되어 종래와 같이 오링에 의한 상호 연결이 없음으로 공정 가스에 의한 연결부위의 부식이 발생하지 않음으로 부식에 의한 파티클 발생을 방지할 수 있으며 트레이스 시간의 감소에 의해 공정 효율을 증가시킬 수 있다.

Description

드라이 에싱 장비의 쿼츠 버블러가 일체화된 쿼츠 플라즈마 챔버{QUARTZ PLASMA CHAMBER HAVING UNIFIED QUARTZ BUBBLER OF DRY ASHING EQUIPMENT}

본 발명은 반도체 제조 장치에 관한 것으로, 구체적으로는 플라즈마 쿼츠(plasma quartz) 및 버블러(bubbler)가 일체형으로 구성된 드라이 에싱 장비(dry ashing equipment)에 관한 것이다.

반도체 제조 장치의 하나인 드라이 에싱 장비는 포토리소그래피의 마지막으로 웨이퍼 위의 레지스트를 제거하는 장비이다. 에싱 방식에 따라 ?? 에싱(wet ashing)과 드라이 에싱(dry ashing)으로 나뉘며, 보통 드라이 에싱 장비를 에싱 장비(asher)라고 한다.

도 1은 종래의 드라이 에싱 설비를 보여주는 도면이고, 도 2는 도 1의 프로세스 챔버의 측면도이다. 그리고 도 3은 도 1의 쿼츠 플라즈마 챔버 및 쿼츠 버블러를 구체적으로 보여주는 도면이며 도 4는 도 3의 쿼츠 버블러의 확대도이다.

도면을 참조하여, 공정 가스가 쿼츠 버블러(10)를 통하여 마이크로웨이브(microwave)(12)와 쿼츠 플라즈마 챔버(14)에서 반응하면서 프로세스 챔버(process chamber)(16)로 이동하여 드라이 에싱을 진행한다.

그런데 쿼츠 플라즈마 챔버(14)와 쿼츠 버블러(10)가 분리되어 있어서 그 연결 부위에 오링(O-ring)(18)을 사용하게되어 연결 부위가 쉽게 부식이 일어나게 되고, 그 부식으로 인해 쿼츠 버블러(10)에 뿌옇게 가루가 도포 되어 에싱 효율이 저하되며 이로 인한 파티클 발생으로 인해 공정 에러가 발생되는 등의 문제점을 야기하였다.

또한 쿼츠 버블러(10)의 오염으로 인하여 쿼츠 플라즈마 챔버까지 오염되어서 사용을 못하게 되어 이로 인한 소비가 많이 발생하며, 설비 트레이스가 불편하고 시간 소요가 많다.

따라서, 본 발명의 목적은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로서 쿼츠 버블러를 쿼츠 플라즈마 챔버에 일체형으로 형성하여 공정 가스에 의한 부식 및 이에 의한 파티클 발생을 방지할 수 있는 쿼츠 플라즈마 챔버를 제공하는 데 있다.

도 1은 종래의 드라이 에싱 설비를 보여주는 도면;

도 2는 도 1의 프로세스 챔버의 측면도;

도 3은 도 1의 쿼츠 플라즈마 챔버 및 쿼츠 버블러를 구체적으로 보여주는 도면;

도 4는 도 3의 쿼츠 버블러의 확대도;

도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 일체화된 쿼츠 버블러를 갖는 쿼츠 플라즈마 챔버의 사시도; 그리고

도 6은 도 5의 쿼츠 플라즈마 챔버의 단면도이다.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

10, 22: 쿼츠 버블러12: 마이크로웨이브

14, 20: 쿼츠 플라즈마 챔버16: 프로세스 챔버

18, 24: 오링

상술한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 프로세스 챔버로 공정 가스를 제공하기 위한 드라이 에싱 장비의 쿼츠 플라즈마 챔버는 공정 가스 유입구에 일체형으로 형성되는 쿼츠 버블러를 포함하고, 프로세스 챔버로 공정 가스를 제공하는 일단에 설비와 연결되기 위한 오링을 구비하는 것을 특징으로 하는 쿼츠 버블러가 일체화된다.

본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 명확하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.

(실시예)

이하, 본 발명에 따른 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

본 발명의 신규한 쿼츠 플라즈마 챔버는 쿼츠 버블러를 일체형으로 형성하여공정 가스에 의한 부식 및 이에 의한 파티클 발생을 방지한다.

도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 일체화된 쿼츠 버블러를 갖는 쿼츠 플라즈마 챔버의 사시도이고 도 6은 도 5의 쿼츠 플라즈마 챔버의 단면도이다.

도면을 참조하여, 본 발명의 쿼츠 플라즈마 챔버(20)는 쿼츠 버블러(22)가 일체형으로 형성된다. 쿼츠 플라즈마 챔버(20)의 일단에는 오링(24)이 연결되어 설비로 연결되어 프로세스 챔버(16)(도 1 참조)로 공정 가스를 제공한다.

이와 같이, 쿼츠 플라즈마 챔버(20)에 쿼츠 버블러(22)가 일체형으로 형성되어 종래와 같이, 오링에 의한 상호 연결이 없음으로 공정 가스에 의한 연결부위의 부식이 발생하지 않음으로 부식에 의한 파티클 발생을 방지할 수 있으며 트레이스 시간의 감소에 의해 공정 효율을 증가시킬 수 있다.

상술한 바와 같은, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 드라이 에싱 장비의 쿼츠 버블러가 일체화된 쿼츠 플라즈마 챔버의 구성 및 동작을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다는 것을 이 분야의 통상적인 기술자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.

이상과 같은 본 발명에 의하면, 쿼츠 버블러를 쿼츠 플라즈마 챔버에 일체형으로 형성됨으로 공정 가스에 의한 연결부위의 부식 및 이에 의한 파티클 발생 원인을 제거하게 되어 공정 효율을 증가시킬 수 있게 된다.

Claims (1)

1. 프로세스 챔버로 공정 가스를 제공하기 위한 드라이 에싱 장비의 쿼츠 플라즈마 챔버에 있어서:

   공정 가스 유입구에 일체형으로 형성되는 쿼츠 버블러를 포함하고, 프로세스 챔버로 공정 가스를 제공하는 일단에 설비와 연결되기 위한 오링을 구비하는 것을 특징으로 하는 쿼츠 버블러가 일체화된 쿼츠 플라즈마 챔버.