KR200299176Y1

KR200299176Y1 - Apparatus for monitoring semiconductor wafer

Info

Publication number: KR200299176Y1
Application number: KR2020020028363U
Authority: KR
Inventors: 이승국; 이태교; 이승현
Original assignee: 주식회사 씨너텍
Priority date: 2002-09-19
Filing date: 2002-09-19
Publication date: 2002-12-31

Abstract

본 고안은 반도체 웨이퍼 모니터링 장치에 관한 것으로, 특히 컴퓨터의 모니터를 이용하여 반도체 웨이퍼를 모니터링하는 경우 이상상황 발생시 즉시 모니터링할 수 있는 반도체 웨이퍼 모니터링 장치에 관한 것이다. 이와 같은 반도체 웨이퍼 모니터링 장치는 반도체 검사 장비를 제어 및 운용하고, 이상 발생시 이를 검출하는 컴퓨터와, 상기 반도체 검사 장비에서 중간검사 중 이상 발생 웨이퍼를 디스플레이하기 위한 비디오를 촬영하는 비디오 카메라와, 상기 컴퓨터로부터의 영상신호와 비디오 카메라로부터의 영상신호 중 하나를 모니터로 스위칭하는 셀렉트 스위치와, 상기 비디오 카메라로부터의 동기신호를 검출하는 동기신호 검출부와, 상기 동기신호 검출부에서 상기 동기신호가 검출되면, 상기 셀렉트 스위치가 상기 비디오 카메라로부터의 영상신호를 자동 출력하도록 제어하는 신호를 상기 셀렉터 스위치로 발생시키는 스위치 제어부로 구성된다.The present invention relates to a semiconductor wafer monitoring apparatus, and more particularly, to a semiconductor wafer monitoring apparatus capable of immediately monitoring an abnormal situation when a semiconductor wafer is monitored using a computer monitor. Such a semiconductor wafer monitoring apparatus includes a computer for controlling and operating a semiconductor inspection equipment and detecting a failure, a video camera for recording a video for displaying an abnormal wafer during an intermediate inspection, and from the computer. A select switch for switching one of the video signal and the video signal from the video camera to a monitor, a sync signal detector for detecting a sync signal from the video camera, and when the sync signal is detected by the sync signal detector, And a switch controller for generating a signal to the selector switch for controlling a switch to automatically output an image signal from the video camera.

Description

Apparatus for monitoring semiconductor wafer

본 고안은 반도체 웨이퍼 모니터링 장치에 관한 것으로, 특히 컴퓨터의 모니터를 이용하여 반도체 웨이퍼를 모니터링하는 경우 이상상황 발생시 즉시 모니터링할 수 있는 반도체 웨이퍼 모니터링 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor wafer monitoring apparatus, and more particularly, to a semiconductor wafer monitoring apparatus capable of immediately monitoring an abnormal situation when a semiconductor wafer is monitored using a computer monitor.

반도체 제조라인에서 웨이퍼의 중간검사를 실시하는 장비의 구성 중에 웨이퍼 상태를 컴퓨터와 연결된 모니터에 나타내 주기 위하여 고체촬상소자(이하, CCD라 약칭 함) 카메라로 영상을 획득하여 모니터에 디스플레이하는 방법이 사용되고 있다.In order to show the state of the wafer on the monitor connected to the computer during the construction of the equipment for the intermediate inspection of the wafer in the semiconductor manufacturing line, a method of acquiring an image with a solid-state imaging device (hereinafter referred to as CCD) camera and displaying it on the monitor is used. have.

이와 같은 반도체 웨이퍼의 모니터링을 통상적으로 CCD를 카메라로 하며, 검사장비의 내부운용은 컴퓨터를 이용하고 있다.The monitoring of such semiconductor wafers is usually carried out with a CCD camera, and the internal operation of inspection equipment uses a computer.

검사장비 운용상 검사자(또는 운용자)에게 현재 진행 상태를 디스플레이할 필요성이 있는데, 예를 들어 하나의 모니터만을 가지고 업무 진행이나 전체 시스템 운용 등을 위한 컴퓨터 신호를 디스플레이하거나 웨이퍼의 모니터링을 위한 비디오 카메라(예를 들면, CCD를 이용하여) 신호 중 하나를 디스플레이한다.It is necessary to display the current progress status to the inspector (or operator) in the operation of inspection equipment, for example, display a computer signal for work progress or the whole system operation with only one monitor or a video camera for monitoring the wafer ( Display one of the signals (using a CCD, for example).

이하 첨부된 도면을 참조하여 종래 기술에 따른 반도체 웨이퍼 모니터링 장치를 설명하기로 한다.Hereinafter, a semiconductor wafer monitoring apparatus according to the related art will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래 기술에 따른 반도체 웨이퍼 모니터링 장치를 설명하기 위한 블록 구성도이다.1 is a block diagram illustrating a semiconductor wafer monitoring apparatus according to the prior art.

종래 기술에 따른 반도체 웨이퍼 모니터링 장치는 반도체 검사 장비 등을 제어 및 운용하는 컴퓨터(1)와, 반도체 검사 장비에서 중간검사 중인 웨이퍼의 상태를 디스플레이하기 위한 비디오(Video)를 촬영하는 CCD(2)와, 컴퓨터(1)로부터의 VGA(Video Graphics Array) 신호와 CCD(2)로부터의 비디오 신호 중 하나의 신호를 CRT(cathode ray tube) 모니터(4)로 스위칭하는 셀럭터 스위치(3)로 구성되며, 여기서 셀렉트 스위치(3)는 검사자의 조작에 따라 VGA 신호와 비디오 신호 중 하나의 신호를 CRT 모니터(4)로 출력시킨다.The semiconductor wafer monitoring apparatus according to the prior art includes a computer 1 for controlling and operating a semiconductor inspection equipment and the like, a CCD 2 for capturing a video for displaying a state of a wafer under intermediate inspection in the semiconductor inspection equipment; And a selector switch (3) for switching one of the video graphics array (VGA) signal from the computer (1) and the video signal from the CCD (2) to a cathode ray tube (CRT) monitor (4). Here, the select switch 3 outputs one of the VGA signal and the video signal to the CRT monitor 4 according to the operator's operation.

즉 CRT 모니터(4)에 디스플레이되는 영상은 신호원이 비디오인 경우와 컴퓨터 신호인 경우가 있는데, 이를 셀렉트 스위치(3)에 의해서 조정한다.That is, the image displayed on the CRT monitor 4 may be a video signal or a computer signal, which is adjusted by the select switch 3.

이와 같은 종래 기술에 있어서는 기본적으로 검사자는 평상시에는 컴퓨터(1)를 이용하여 반도체 검사장비의 제어 및 운용 등을 하게 된다. 즉 컴퓨터(1)에서 출력되는 VGA 신호를 CRT 모니터(4)로 출력하고 있다가, 반도체 검사 장비에서 웨이퍼의 이상을 검출한 경우 설정된 경보음 또는 모니터링상에 이상상황 발생을 알림에 따라 검사자는 셀렉트 스위치(3)를 손으로 조작하여 CCD(2)에서 촬영 중인 반도체 웨이퍼를 모니터링한다.In such a prior art, the inspector basically controls and operates the semiconductor inspection equipment by using the computer 1 at normal times. In other words, the VGA signal output from the computer 1 is output to the CRT monitor 4, and when the semiconductor inspection equipment detects an abnormality of the wafer, the inspector selects according to the notification of the occurrence of an abnormal condition on the set alarm sound or monitoring. By operating the switch 3 by hand, the semiconductor wafer under imaging by the CCD 2 is monitored.

이와 같은 종래 기술에 따른 컴퓨터를 이용한 반도체 웨이퍼 모니터링 장치에 있어서는 검사자가 셀렉트 스위치를 수동조작함으로써 상황에 따라서는 셀렉트 해야할 시간을 맞추지 못하여 반도체 웨이퍼의 이상상황을 디스플레이시키지 못하는 등의 문제점이 있었다.In such a semiconductor wafer monitoring apparatus using a computer according to the prior art, there is a problem that the inspector does not display the abnormal state of the semiconductor wafer due to the manual operation of the select switch, failing to set the time to be selected depending on the situation.

본 고안의 목적은 이상에서 언급한 종래 기술의 문제점들을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 모니터 한 개로 컴퓨터 신호와 비디오 카메라 신호를 입력받아 디스플레이하는 경우 비디오 카메라 신호의 동기신호를 검출하는 것에 따라 비디오 카메라 신호가 입력되지 않는 경우에는 컴퓨터 신호를 출력하고, 비디오 카메라 신호가 입력되는 경우에는 자동적으로 비디오 카메라 신호를 디스플레이하여 자동적으로 반도체 웨이퍼의 이상 상황을 디스플레이시킬 수 있는 반도체 웨이퍼 모니터링 장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, and when a computer signal and a video camera signal are input and displayed with one monitor, the video camera signal is detected by detecting the synchronization signal of the video camera signal. The present invention provides a semiconductor wafer monitoring apparatus capable of outputting a computer signal when no video signal is input and automatically displaying a video wafer signal when the video camera signal is input.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안의 일 특징에 따르면, 반도체 검사 장비를 제어 및 운용하고, 이상 발생시 이를 검출하는 컴퓨터와, 상기 반도체 검사 장비에서 중간검사 중 이상 발생 웨이퍼를 디스플레이하기 위한 비디오를 촬영하는 비디오 카메라와, 상기 컴퓨터로부터의 영상신호와 비디오 카메라로부터의 영상신호 중 하나를 모니터로 스위칭하는 셀렉트 스위치와, 상기 비디오 카메라로부터의 동기신호를 검출하는 동기신호 검출부와, 상기 동기신호 검출부에서 상기 동기신호가 검출되면, 상기 셀렉트 스위치가 상기 비디오 카메라로부터의 영상신호를 자동 출력하도록 제어하는 신호를 상기 셀렉터 스위치로 발생시키는 스위치 제어부로 구성된다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, a computer for controlling and operating a semiconductor inspection equipment, and detects when an abnormality occurs, and to shoot a video for displaying the abnormal wafer during the intermediate inspection in the semiconductor inspection equipment A video camera, a select switch for switching one of the video signal from the computer and the video signal from the video camera to the monitor, a sync signal detector for detecting a sync signal from the video camera, and the sync signal detector And a switch control unit for generating a signal for controlling the select switch to automatically output an image signal from the video camera to the selector switch when a synchronization signal is detected.

바람직하게, 상기 컴퓨터는 상기 이상 발생시 상기 비디오 카메라가 상기 웨이퍼를 디스플레이하도록 상기 비디오 카메라 구동신호를 발생시키며, 상기 동기 신호는 상기 컴퓨터가 상기 비디오 카메라 구동신호를 발생시킴에 따라 상기 비디오 카메라로부터 발생되는 동작 전압을 검출하여 이용한다.Preferably, the computer generates the video camera driving signal such that the video camera displays the wafer when the abnormality occurs, and the synchronization signal is generated from the video camera as the computer generates the video camera driving signal. The operating voltage is detected and used.

바람직하게, 상기 셀렉트 스위치는 상기 동기신호가 검출되기전에는 상기 컴퓨터의 영상신호를 출력하며, 상기 모니터는 CRT, TFT-LCD 중 어느 하나를 이용한다.Preferably, the select switch outputs a video signal of the computer before the synchronization signal is detected, and the monitor uses any one of a CRT and a TFT-LCD.

본 고안의 다른 목적, 특성 및 이점들은 첨부한 도면을 참조한 실시예들의 상세한 설명을 통해 명백해 질 것이다.Other objects, features and advantages of the present invention will become apparent from the following detailed description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래 기술에 따른 컴퓨터를 이용한 반도체 웨이퍼 모니터링 장치를 설명하기 위한 블록 구성도1 is a block diagram for explaining a semiconductor wafer monitoring apparatus using a computer according to the prior art

도 2는 본 고안에 따른 컴퓨터를 이용한 반도체 웨이퍼 모니터링 장치를 설명하기 위한 블록 구성도2 is a block diagram illustrating a semiconductor wafer monitoring apparatus using a computer according to the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

10 : 컴퓨터 20 : 비디오 카메라(CCD)10: Computer 20: Video Camera (CCD)

30 : 셀렉트 스위치 31 : 동기신호 검출부30: select switch 31: synchronization signal detection unit

40 : 스위치 제어부 50 : TFT-LCD 모니터40: switch control unit 50: TFT-LCD monitor

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 고안 반도체 웨이퍼 모니터링 장치를 설명하기로 한다.Hereinafter, a semiconductor wafer monitoring apparatus of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 고안에 따른 컴퓨터를 이용한 반도체 웨이퍼 모니터링 장치를 설명하기 위한 블록 구성도이다.2 is a block diagram illustrating a semiconductor wafer monitoring apparatus using a computer according to the present invention.

본 고안에 따른 컴퓨터를 이용한 반도체 웨이퍼 모니터링 장치는 도 2에 나타낸 바와 같이 반도체 검사 장비 등을 제어 및 운용하는 컴퓨터(10)와, 반도체 검사 장비에서 중간검사 중인 웨이퍼의 상태를 디스플레이하기 위한 비디오를 촬영하는 비디오 카메라(예를 들면, CCD)(20)와, 컴퓨터(10)로부터의 영상신호와 비디오 카메라(CCD)(20)로부터의 영상신호 중 하나를 TFT-LCD 모니터(50)로 스위칭하는 셀렉트 스위치(30)와, 비디오 카메라(CCD)(20)로부터의 동기신호를 검출하는 동기신호 검출부(31)와, 상기 동기신호 검출부(31)에서 동기신호가 검출되면 상기 셀렉트 스위치(30)가 비디오 카메라(CCD)(20)로부터의 영상신호를 출력하도록 스위칭을 제어하는 스위치 제어부(40)로 구성된다. 이때 모니터로는 CRT 모니터를 사용할 수도 있다.The semiconductor wafer monitoring apparatus using a computer according to the present invention is a computer 10 for controlling and operating a semiconductor inspection equipment and the like, as shown in FIG. Selects to switch one of the video camera (for example, CCD) 20 and the video signal from the computer 10 and the video signal from the video camera (CCD) 20 to the TFT-LCD monitor 50. When the synchronization signal is detected by the switch 30, the synchronization signal detection unit 31 for detecting the synchronization signal from the video camera (CCD) 20, and the synchronization signal detection unit 31, the select switch 30 is a video. And a switch controller 40 for controlling switching to output an image signal from a camera (CCD) 20. In this case, a CRT monitor may be used as the monitor.

여기서 셀렉트 스위치(30)는 비디오 카메라(CCD)(20)에서 오는 신호 중에서 동기신호 유무에 따라 전자스위치(트랜지스터, 릴레이)를 동작시킬 수 있도록 하기 위하여 동기 신호 검출부(31)가 구비되고, 동기 신호 검출부(31)에서는 동기 신호가 검출되면 이를 스위치 제어부(40)로 전송하고, 그에 따라 스위치 제어부(40)에서 셀렉트 스위치(30)가 비디오 카메라(20)의 영상신호를 TFT-LCD 모니터(50)로 출력하도록 제어신호를 발생시킨다.Here, the select switch 30 is provided with a sync signal detector 31 to enable the electronic switch (transistor, relay) to operate according to the presence or absence of a sync signal from the video camera (CCD) 20. When the detection unit 31 detects a synchronization signal, the detection unit 31 transmits the synchronization signal to the switch control unit 40. Accordingly, the select control unit 30 transmits the image signal of the video camera 20 to the TFT-LCD monitor 50 by the switch control unit 40. Generate a control signal to output

이때 비디오 카메라(CCD)(20)의 동기 신호는 비디오 카메라(CCD)(20)가 정상적으로 동작하게 되면 0.7V의 전압신호를 검출하여 이용하며, 이때 셀렉트 스위치(30)의 전자 스위치에 의해서 TFT-LCD 모니터(50)로 비디오 카메라 영상신호가 디스플레이시킨다.At this time, when the video camera (CCD) 20 operates normally, the synchronization signal of the video camera (CCD) 20 detects and uses a voltage signal of 0.7 V. At this time, the TFT- is switched by the electronic switch of the select switch 30. The LCD monitor 50 displays the video camera video signal.

또한 검사장비의 진행에 따라 비디오 카메라 신호의 동기신호 0.7V가 없는 순간에는 TFT-LCD 모니터(50)는 컴퓨터(10) 신호(예를 들면, VGA)로 셀렉터되어 모니터에는 컴퓨터 신호가 디스플레이된다.In addition, as the inspection equipment progresses, when there is no synchronization signal of 0.7 V of the video camera signal, the TFT-LCD monitor 50 is selected as a computer 10 signal (for example, VGA) so that the computer signal is displayed on the monitor.

이를 실시예로써 보다 상세히 설명하면, 반도체 웨이퍼 검사장비는 컴퓨터(10)로 제어되어 운용되고 있는 장비이며, 검사상에 문제가 발생된 웨이퍼를 찾아내면 비디오 카메라(CCD)(20)로 해당 웨이퍼 상태를 TFT-LCD 모니터(50)상에 디스플레이시켜 운용자로 하여금 컴퓨터 키보드에 해당 변수값을 입력시켜 줄 수 있도록 하는 검사장비인데, 도 1에 나타낸 바와 같은 종래에는 컴퓨터 신호를 디스플레이하다가 문제가 생겨서 비디오 카메라를 동작시키라는 메시지(경보음, 또는 컴퓨터 모니터상에 디스플레이 시킴)를 보고, 운용자가 비디오 카메라 신호로 셀렉터 해주어야 하는데, 본 고안에서는 비디오 카메라(CCD)(20)가 동작되면 셀렉트 스위치(30)가 비디오 카메라(CCD)(20)쪽으로 자동 셀렉터되어 TFT-LCD 모니터(50)에 비디오 카메라 영상신호가 디스플레이된다.In more detail as an embodiment, the semiconductor wafer inspection equipment is a device that is controlled and operated by the computer 10, and the wafer state is detected by the video camera (CCD) 20 when the wafer having a problem in the inspection is found. Display device on the TFT-LCD monitor 50 to allow the operator to input the corresponding parameter value to the computer keyboard. As shown in FIG. After seeing a message (alarm sound, or displaying on a computer monitor) to operate, the operator should select the video camera signal, in the present invention, when the video camera (CCD) 20 is operated, the select switch 30 The video camera video signal is automatically selected toward the video camera (CCD) 20 and displayed on the TFT-LCD monitor 50. .

통상 비디오 카메라가 동작되어 영상신호가 생성되면 0.7V의 전압이 검출되어 전자 스위치(Tr, 릴레이)에 의해서 TFT-LCD 모니터(50)로 입력되어지는 영상신호를 전환시키는 것이다.In general, when a video camera is operated to generate an image signal, a voltage of 0.7 V is detected to switch the image signal input to the TFT-LCD monitor 50 by an electronic switch (Tr, relay).

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 고안의 기술 사상을 이탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.From the above description, those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

따라서, 본 고안의 기술적 범위는 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 실용신안등록청구의 범위에 의하여 정해져야 한다.Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the embodiments, but should be determined by the scope of the utility model registration request.

이와 같은 본 고안은 반도체 검사 장비를 이용하여 웨이퍼의 중간 검사를 하는 과정에서 웨이퍼에 이상이 발생하면 이를 자동적으로 모니터링하도록 함으로써 운용자의 편의성과 함께 신뢰도 높은 검사 결과를 얻을 수 있는 효과가 있다.The present invention has the effect of obtaining a reliable test result with the convenience of the operator by automatically monitoring if any abnormality occurs on the wafer during the intermediate inspection of the wafer using the semiconductor inspection equipment.

Claims

A computer which controls and operates the semiconductor inspection equipment and detects when an abnormality occurs;

A video camera for photographing a video for displaying an abnormal wafer during an intermediate inspection in the semiconductor inspection equipment;

A select switch for switching one of the video signal from the computer and the video signal from the video camera to a monitor;

A sync signal detector for detecting a sync signal from the video camera;

And a switch controller for generating a signal for controlling the select switch to automatically output an image signal from the video camera to the selector switch when the sync signal is detected by the sync signal detector.

The semiconductor wafer monitoring apparatus according to claim 1, wherein the computer generates the video camera driving signal so that the video camera displays the wafer when the abnormality occurs.

The semiconductor wafer monitoring apparatus according to claim 2, wherein the synchronization signal detects and uses an operating voltage generated from the video camera as the computer generates the video camera driving signal.

The semiconductor wafer monitoring apparatus of claim 1, wherein the select switch outputs an image signal of the computer before the synchronization signal is detected.

The semiconductor wafer monitoring apparatus according to claim 1, wherein the monitor uses any one of a CRT and a TFT-LCD.