KR200275549Y1 - Seating base of semiconductor wafer boat - Google Patents
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Abstract
본 고안은 반도체 웨이퍼 보트의 안착 베이스에 관한 것으로, 종래 기술에 의한 반도체 웨이퍼 보트의 안착 베이스는 반도체 웨이퍼 보트를 안착시킨 후 상기 반도체 웨이퍼를 로딩할 시에 그 반도체 웨이퍼의 슬롯성 이물질이 발생하는 것을 방지함과 더불어 상기 반도체 웨이퍼의 균일한 산화막과 증착막을 형성하기 위하여 상기 반도체 웨이퍼 보트가 좌.우로 치우치지 않고 수평을 이루어야 하는데, 이때 상기 반도체 웨이퍼 보트의 좌.우 처짐 정도의 발견 및 해결에 많은 시간이 소요되게 되어 생산 로스타임이 증가함과 아울러 생산성이 떨어지게 되는 문제점을 초래하였다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼 보트의 안착 베이스는 아래 도면에 도시된 바와 같이, 반도체 웨이퍼 보트(14)가 안착되는 플레이트(16)에 가이드바(17,17')를 설치하고, 그 가이드바(17,17')에 폐쇄회로 카메라(18,18')를 설치하여 상기 반도체 웨이퍼 보트(14)에 로딩된 반도체 웨이퍼의 좌.우 처짐을 확인할 수 있게 하므로써, 조기에 상기 반도체 웨이퍼 보트의 좌.우 처짐 정도의 발견 및 해결에 많은 시간을 줄일 수 있게 되어 생산 로스타임을 절감함과 더불어 반도체 패키지의 생산성을 증대할 수 있는 효과를 기대할 수 있는 것이다.The present invention relates to a mounting base of a semiconductor wafer boat, and the mounting base of the semiconductor wafer boat according to the prior art is that the slotted foreign matter of the semiconductor wafer is generated when the semiconductor wafer is loaded after the semiconductor wafer boat is seated. In addition to preventing and forming a uniform oxide film and a deposited film of the semiconductor wafer, the semiconductor wafer boats should be horizontal to the left and right sides without shifting. It takes time, which leads to an increase in production loss time and a decrease in productivity. In order to solve this problem, the mounting base of the semiconductor wafer boat according to the present invention has guide bars 17 and 17 'installed on the plate 16 on which the semiconductor wafer boat 14 is seated, as shown in the drawings below. By installing the closed-circuit cameras 18 and 18 'at the guide bars 17 and 17', the left and right sag of the semiconductor wafer loaded in the semiconductor wafer boat 14 can be confirmed, so that the semiconductor can be detected early. It can save a lot of time in finding and resolving the left and right deflection of the wafer boat, which can reduce production loss time and increase the productivity of semiconductor packages.
Description
본 고안은 반도체 웨이퍼 보트의 안착 베이스에 관한 것으로, 특히 반도체 웨이퍼에 산화막을 형성하거나 증착막을 형성하는 반응로에 상기 웨이퍼를 로딩하여 운반하는 보트가 안착되는 안착 베이스에 로딩된 웨이퍼의 상태를 모니터를 통하여 검사할 수 있도록 수대의 카메라를 설치하므로 써 반도체 웨이퍼 제조시에 안정된 공정관리와 함께 생산 로스타임을 절감하여 생산성을 향상할 수 있도록 한 반도체 웨이퍼 보트의 안착 베이스에 관한 것이다.The present invention relates to a mounting base of a semiconductor wafer boat, and more particularly, to monitor a state of a wafer loaded on a mounting base on which a boat for loading and transporting the wafer is placed in a reactor for forming an oxide film or a deposition film on a semiconductor wafer. The present invention relates to a mounting base of a semiconductor wafer boat, which can improve productivity by reducing production loss time with stable process control during semiconductor wafer manufacturing by installing several cameras for inspection through the same.
상기 도 1에 도시된 바와 같이, 반도체 패키지(미도시)를 제작하기 위한 전 단계의 하나의 제품인 반도체 웨이퍼(미도시)를 장착할 수 있는 다수개의 슬롯(1)이 등간격으로 형성된 몸체(2,2')가 상기 반도체 웨이퍼의 직경과 같은 폭으로 설치되어 있고, 상기 몸체(2,2')의 상.하단부에는 그 몸체(2,2')가 상기 반도체 웨이퍼의 직경과 같은 폭을 유지할 수 있도록 보조 프레임(3,3')이 고정설치되어 있다.As shown in FIG. 1, a body 2 having a plurality of slots 1 at which the semiconductor wafers (not shown), which are one product of a previous step for manufacturing a semiconductor package (not shown), can be mounted, is formed at equal intervals. And 2 'are provided with the same width as the diameter of the semiconductor wafer, and the upper and lower ends of the bodies 2 and 2' maintain the same width as the diameter of the semiconductor wafer. Auxiliary frames 3 and 3 'are fixedly installed.
상기와 같이 조립형성된 반도체 웨이퍼 보트(4)는, 상기 반도체 웨이퍼를 반응로(미도시)에서 증착막을 형성하거나 산화막을 형성하기 위하여 그 반응로에 운반하기 전에 평면상의 안착 베이스(5)에 안착시키고, 상기 안착 베이스(5)에 안착된 상기 반도체 웨이퍼 보트의 몸체(2,2')에 형성된 슬롯(1)에 한 개씩 상기 반도체 웨이퍼를 로딩하게 된다.The assembling semiconductor wafer boat 4 is mounted on a planar seating base 5 before transporting the semiconductor wafer to a reactor to form a deposition film or an oxide film in a reactor (not shown). The semiconductor wafers are loaded one by one into slots 1 formed in the bodies 2 and 2 'of the semiconductor wafer boat seated on the seating base 5.
참고로, 상기 반도체 웨이퍼 보트의 몸체(2,2')에 형성된 슬롯(1)에는 다수개의 상기 반도체 웨이퍼가 장착되어 있는 카셋트(미도시)에서 트랜스퍼(미도시)에 설치되어 있는 트위저(미도시)가 한번에 수개의 상기 반도체 웨이퍼를 운반하여 로딩하게 되는 것이다.For reference, a tweezer (not shown) installed in a transfer slot (not shown) in a cassette (not shown) on which a plurality of the semiconductor wafers are mounted is formed in the slot 1 formed in the body (2, 2 ') of the semiconductor wafer boat. Is to carry and load several semiconductor wafers at a time.
그러나, 상기와 같이 형성된 반도체 웨이퍼 보트의 안착 베이스는, 그 안착베이스에 상기 반도체 웨이퍼 보트를 안착시킨 후 상기 반도체 웨이퍼를 로딩할 시에 그 반도체 웨이퍼의 슬롯성 이물질이 발생하는 것을 방지함과 더불어 상기 반도체 웨이퍼의 균일한 산화막과 증착막을 형성하기 위하여 상기 반도체 웨이퍼 보트가 좌.우로 치우치지 않고 수평을 이루어야 하는데, 이때 상기 반도체 웨이퍼 보트의 좌.우 처짐 정도의 발견 및 해결에 많은 시간이 소요되게 되어 생산 로스타임이 증가함과 아울러 생산성이 떨어지게 되는 문제점을 초래하였다.However, the mounting base of the semiconductor wafer boat formed as described above prevents the occurrence of slot-like foreign matter in the semiconductor wafer upon loading the semiconductor wafer after mounting the semiconductor wafer boat on the mounting base. In order to form a uniform oxide film and a deposited film of the semiconductor wafer, the semiconductor wafer boat should be horizontally oriented without shifting from left to right. At this time, it takes a lot of time to find and solve the left and right deflection of the semiconductor wafer boat. In addition to the increase in production loss time, the productivity was reduced.
따라서, 본 고안의 목적은 상기의 문제점을 해결하여 상기 반도체 웨이퍼의 생산 로스타임을 절감함과 아울러 생산성을 향상할 수 있는 반도체 웨이퍼 보트의 안착 베이스를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a mounting base of a semiconductor wafer boat that can solve the above problems and reduce production loss time of the semiconductor wafer and improve productivity.
도 1은 종래 기술에 의한 안착 베이스에 반도체 웨이퍼 보트가 안착된 상태를 보인 정면도.1 is a front view showing a state in which a semiconductor wafer boat is seated on a seating base according to the prior art;
도 2는 본 고안에 의한 안착 베이스에 반도체 웨이퍼 보트가 안착된 상태를 보인 정면도.Figure 2 is a front view showing a state in which the semiconductor wafer boat is seated on the seating base according to the present invention.
도 3은 도 2의 A부분을 확대 도시한 확대도.3 is an enlarged view illustrating an enlarged portion A of FIG. 2;
** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **** Description of symbols for the main parts of the drawing **
11 : 슬롯 12,12' : 몸체11: slot 12,12 ': body
13,13' : 보조 프레임 14 : 보트13,13 ': auxiliary frame 14: boat
15 : 안착 베이스플레이트 16 : 플레이트15: mounting base plate 16: plate
17,17' : 가이드바 18,18' : 폐쇄회로 카메라17,17 ': Guide bar 18,18': Closed circuit camera
18a,18a' : 마운트 18b,18c : 전동기18a, 18a ': Mount 18b, 18c: Electric motor
19 : 케이블 덕트19: cable duct
본 고안의 목적은 반도체 웨이퍼 보트가 안착되는 플레이트와, 그 플레이트에 안착된 반도체 웨이퍼 보트의 좌.우 처짐을 모니터를 통하여 확인할 수 있는 수개의 폐쇄회로 카메라와, 그 폐쇄회로 카메라를 고정설치하고 상기 웨이퍼 보트의 길이 방향으로 가이드하는 가이드바와, 그 가이드바에 고정설치된 상기 폐쇠회로 카메라를 상기 가이드바의 길이 방향으로 구동하는 선구동장치와, 또 상기 폐쇄회로 카메라를 상기 가이드바의 길이 방향에 수직으로 회전구동할 수 있는 회전구동장치와, 그리고 상기 폐쇄회로 카메라와 상기 회전구동장치에 구동원을 공급할 수 있는 파워라인과 상기 폐쇄회로 카메라의 영상신호를 전달함과 더불어 상기 구동장치를 제어하는 제어라인이 설치된 케이블 덕트와, 상기 제어라인을 통하여 전달된 영상신호를 표시하는 표시장치를 구비한 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼 보트의 안착 베이스를 제공함에 있다.An object of the present invention is to fix a plate and a closed circuit camera that can check the left and right deflection of the semiconductor wafer boat seated on the plate, the left and right of the semiconductor wafer boat mounted on the plate, and the closed circuit camera fixed A guide bar for guiding in the longitudinal direction of the wafer boat, a pre-drive device for driving the closed circuit camera fixed to the guide bar in the longitudinal direction of the guide bar, and further rotating the closed circuit camera perpendicular to the longitudinal direction of the guide bar. A rotary drive device capable of driving, a power line for supplying a driving source to the closed circuit camera and the rotary drive device, and a control line for transmitting the video signal of the closed circuit camera and controlling the drive device. Display the cable duct and the video signal transmitted through the control line Has a seating base of the semiconductor wafer boat comprising the display device to provide.
이하, 상기와 같이 구성되는 본 고안에 의한 반도체 웨이퍼 보트의 안착 베이스의 바람직한 일실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a preferred embodiment of the mounting base of the semiconductor wafer boat according to the present invention configured as described above in detail with reference to the accompanying drawings as follows.
도 2는 본 고안에 의한 안착 베이스에 반도체 웨이퍼 보트가 안착된 상태를 보인 정면도이고, 도 3은 도 2의 A부분을 확대 도시한 확대도이다.FIG. 2 is a front view illustrating a semiconductor wafer boat seated on a seating base according to the present invention, and FIG. 3 is an enlarged view of portion A of FIG. 2 enlarged.
상기 도 2에 도시된 바와 같이, 반도체 패키지를 제작하기 위한 전 단계의 하나의 제품인 반도체 웨이퍼를 장착할 수 있는 다수개의 슬롯(11)이 등간격으로 형성된 몸체(12,12')가 상기 반도체 웨이퍼의 직경과 같은 폭으로 설치되어 있고, 상기 몸체(12,12')의 상.하단부에는 그 몸체(12,12')가 상기 반도체 웨이퍼의 직경과 같은 폭을 유지할 수 있도록 보조 프레임(13,13')이 고정설치되어 있는 반도체 웨이퍼 보트가 구성되어 있다.As shown in FIG. 2, bodies 12 and 12 ′ having a plurality of slots 11 at which the semiconductor wafers, which are one product of a previous step for manufacturing a semiconductor package, can be mounted, are formed at equal intervals. It is provided with the same width as the diameter of, and the upper and lower ends of the body (12, 12 ') so that the body (12, 12') to maintain the same width as the diameter of the semiconductor wafer (13, 13) The semiconductor wafer boat in which ') is fixed is constructed.
상기와 같이 구성된 반도체 웨이퍼 보트(14)는 상기 반도체 웨이퍼를 반응로(미도시)에서 증착막을 형성하거나 산화막을 형성하기 위하여 그 반응로에 운반하기 전에 평면상의 안착 베이스(15)에 안착시키는데, 이때 상기 안착 베이스(15)는 상기 반도체 웨이퍼 보트(14)가 안착되는 평면상의 플레이트(16)가 형성되어 있고, 그 플레이트(16)에는 상기 반도체 웨이퍼 보트를 기준으로 하여 양측면에 소정의 직경을 갖는 가이드바(17,17')가 설치고정되어 있으며, 그 가이드바(17,17')에는 상기 플레이트(16)에 안착된 상기 웨이퍼 보트(14)의 좌.우 처짐을 표시장치인 모니터(미도시)를 통하여 확인할 수 있도록 폐쇄회로 카메라(18,18')가 설치되어 있다.The semiconductor wafer boat 14 configured as described above seats the semiconductor wafer on a planar seating base 15 before transporting the semiconductor wafer to a reactor for forming a deposition film or an oxide film in a reactor (not shown). The seating base 15 is formed with a flat plate 16 on which the semiconductor wafer boat 14 is seated, and the plate 16 has guides having predetermined diameters on both sides with respect to the semiconductor wafer boat. Bars 17 and 17 'are fixed to each other, and the guide bars 17 and 17' have left and right sags of the wafer boat 14 seated on the plate 16 as monitors (not shown). Closed-circuit cameras 18 and 18 'are installed to check through
상기 폐쇄회로 카메라(18,18')는 상기 가이드바(17,17')에 고정설치하는 마운트(18a,18a')가 일체로 형성되어 있고, 그 마운트(18a,18a')에는 상기 도 3에 도시된 바와 같이 상기 폐쇠회로 카메라(18,18')를 상기 가이드바(17,17')의 길이 방향으로 구동하는 선구동장치인 선구동 전동기(18b)가 설치되어 있으며, 또 상기 폐쇄회로 카메라(18,18')를 상기 가이드바(17,17')의 길이 방향에 수직으로 회전구동할 수 있는 회전구동장치인 회전구동 전동기(18c)가 설치되어 있고, 상기 전동기(18b,18c)의 회전축에는 마찰력이 큰 고무와 같은 재질로 형성된 휠(18d,18d')이 각각 설치되어 있다.The closed circuit cameras 18 and 18 'are integrally formed with mounts 18a and 18a' fixedly mounted to the guide bars 17 and 17 ', and the mounts 18a and 18a' are shown in FIG. As shown in FIG. 1, a pre-drive motor 18b, which is a pre-drive device for driving the closed circuit cameras 18 and 18 'in the longitudinal direction of the guide bars 17 and 17', is provided. A rotary drive motor 18c, which is a rotary drive device that can rotate 18, 18 'in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the guide bars 17, 17', is provided, and the rotary shafts of the motors 18b, 18c are provided. The wheels 18d and 18d 'formed of a rubber-like material having a large friction force are provided respectively.
그리고, 상기 폐쇄회로 카메라(18,18')와 상기 회전구동장치(18b,18c)에 구동원을 공급할 수 있는 파워라인과 상기 폐쇄회로 카메라(18,18')의 영상신호를 전달함과 더불어 상기 회전구동장치(18b,18c)를 제어하는 제어라인이 설치된 절곡이 가능한 케이블 덕트(19)의 단부가 각각 상기 마운트(18a,18a')와 플레이트(16)에 연결고정설치되어 있다.In addition, a power line capable of supplying a driving source to the closed circuit cameras 18 and 18 'and the rotary drive units 18b and 18c and the video signals of the closed circuit cameras 18 and 18' are also transferred. Ends of the bendable cable ducts 19 provided with control lines for controlling the rotary drive devices 18b and 18c are fixedly connected to the mounts 18a and 18a 'and the plate 16, respectively.
그리고 또, 상기 케이블 덕트(19)내에 설치된 제어라인을 통하여 전달된 영상신호를 표시하는 표시장치인 모니터(미도시)가 설치되어 있다.In addition, a monitor (not shown), which is a display device for displaying a video signal transmitted through a control line provided in the cable duct 19, is provided.
상기와 같이 조립형성된 반도체 웨이퍼 보트의 안착 베이스(15)는, 먼저 상기 반도체 웨이퍼를 반응로에서 증착막을 형성하거나 산화막을 형성하기 위하여 상기 반응로에 운반하기 전에 상기 상기 반도체 웨이퍼 보트를 평면상의 상기 안착 베이스의 플레이트(16)에 안착시키고, 상기 플레이트(16)에 안착된 상기 반도체 웨이퍼 보트의 몸체(12,12')에 형성된 슬롯(11)에 한 개씩 상기 반도체 웨이퍼를 트위저(미도시)를 이용하여 로딩하게 된다.The mounting base 15 of the assembled semiconductor wafer boat, as described above, first deposits the semiconductor wafer boat on the plane before transporting the semiconductor wafer to the reactor to form a deposition film or an oxide film in the reactor. A tweezer (not shown) is mounted on a plate 16 of a base, and the semiconductor wafers are inserted into slots 11 formed in the bodies 12 and 12 'of the semiconductor wafer boat seated on the plate 16. To load it.
이때, 상기 플레이트의 가이드바(17,17')에 설치된 폐쇠회로 카메라를 구동장치인 전동기(18b,18c)를 구동시켜 상기 가이드바(17,17')의 상.하 또는 길이 방향으로 수직으로 회전구동하여 상기 폐쇄회로 카메라(18,18')에 잡힌 상기 반도체 웨이퍼의 로딩상태를 상기 표시장치인 모니터에 디스플레이하여 작업자가 상기 반도체 웨이퍼의 좌.우 처짐을 확인하게 되는 것이다.At this time, the closed circuit cameras installed on the guide bars 17 and 17 'of the plate are driven by the motors 18b and 18c which are driving devices, vertically in the vertical direction in the vertical direction of the guide bars 17 and 17'. By rotating the display, the loading state of the semiconductor wafer captured by the closed circuit cameras 18 and 18 'is displayed on the monitor, which is the display device, so that the operator can check whether the semiconductor wafer sags.
상기와 같이 반도체 웨이퍼 보트가 안착되는 플레이트에 가이드바를 설치하고, 그 가이드바에 폐쇄회로 카메라를 설치하여 상기 반도체 웨이퍼 보트에 로딩된 반도체 웨이퍼의 좌.우 처짐을 확인할 수 있게 하므로써, 조기에 상기 반도체 웨이퍼 보트의 좌.우 처짐 정도의 발견 및 해결에 많은 시간을 줄일 수 있게 되어 생산 로스타임을 절감함과 더불어 반도체 패키지의 생산성을 증대할 수 있는 효과를 기대할 수 있는 것이다.As described above, a guide bar is provided on a plate on which the semiconductor wafer boat is seated, and a closed-circuit camera is installed on the guide bar, so that the left and right deflection of the semiconductor wafer loaded on the semiconductor wafer boat can be confirmed. It can save a lot of time in finding and resolving left and right sag of boat, which can reduce production loss time and increase productivity of semiconductor package.
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