KR200269842Y1 - System for opening and closing slit door of semiconductor fabricating equipment - Google Patents
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Abstract
본 고안은 반도체 제조 장비의 슬릿 도어 개폐 시스템에 관한 것으로서, 압축건조공기 라인을 통하여 유출입하는 압축건조공기의 압력을 미세하게 조절하여 시스템 전반의 안정화 및 장비 가동율을 향상시키기 위한 것이다. 본 고안에 따른 슬릿 도어 개폐 시스템은, 반도체 제조 장비의 공정 챔버와 이송 챔버 사이에 설치된 슬릿 도어와, 슬릿 도어에 체결되고 위아래로 작동하여 슬릿 도어를 개폐하는 공압 실린더와, 공압 실린더에 연결되고 공압 실린더를 구동시키는 공압 제어 밸브와, 공압 제어 밸브에 연결되고 공압 실린더를 구동시키기 위하여 압축건조공기가 유출입하는 두 개의 압축건조공기 라인과, 각각의 압축건조공기 라인에 하나로 연결되고 압축건조공기의 유출입을 조절하는 압축건조공기 블록과, 압축건조공기 블럭에 연결되고 압축건조공기를 공급하는 압축건조공기 공급부와, 압축건조공기 블록과 압축건조공기 공급부 사이에 설치되고 압축건조공기 공급부로부터 공급되는 압축건조공기의 압력을 조절하는 압력조절기를 포함하며, 특히 각각의 압축건조공기 라인에 설치되고 압축건조공기 라인을 통하여 유출입하는 압축건조공기의 압력을 미세하게 조절하는 니들 밸브를 더 포함한다.The present invention relates to a slit door opening and closing system of the semiconductor manufacturing equipment, to finely control the pressure of the compressed dry air flowing in and out through the compressed dry air line to improve the overall system stabilization and equipment operation rate. The slit door opening and closing system according to the present invention includes a slit door installed between a process chamber and a transfer chamber of a semiconductor manufacturing equipment, a pneumatic cylinder fastened to the slit door and operating up and down to open and close the slit door, and connected to a pneumatic cylinder and pneumatic A pneumatic control valve for driving the cylinder, two lines of compressed and dry air connected to the pneumatic control valve and flowed by the compressed dry air to drive the pneumatic cylinder, and one connected to each of the compressed and dry air lines, Compressed and dry air block for controlling the pressure, compressed and dry air supply unit connected to the compressed and dry air block and supplying the compressed and dry air, and installed between the compressed and dry air block and the compressed and dry air supply unit and supplied from the compressed and dry air supply unit Pressure regulators for regulating the pressure of the air, in particular for each compression Tank installed in the air line and further comprises a needle valve for fine adjustment of the pressure of the compressed dry air to flow through the compressed air line drying.
Description
본 고안은 반도체 제조 장비에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 반도체 제조 장비의 슬릿 도어 개폐 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor manufacturing equipment, and more particularly to a slit door opening and closing system of the semiconductor manufacturing equipment.
반도체 제조 장비(예컨대, 질화막 증착용 Novellus Altus 장비)는 일반적으로 공정이 실제 이루어지는 공정 챔버(process chamber)와 공정 챔버 안으로 웨이퍼를 이송하기 위한 이송 챔버(transfer chamber)로 구성되며, 공정 챔버와 이송 챔버 사이에는 슬릿 도어(slit door)가 설치된다. 이 슬릿 도어는 대개 압축건조공기(compressed dry air; CDA)의 압력에 의하여 개폐된다. 종래기술에 따른 반도체 제조 장비의 슬릿 도어 개폐 시스템이 도 1에 도시되어 있다.Semiconductor manufacturing equipment (e.g., Novellus Altus equipment for nitride film deposition) generally consists of a process chamber in which the process is actually performed and a transfer chamber for transferring wafers into the process chamber. A slit door is installed in between. This slit door is usually opened and closed by the pressure of compressed dry air (CDA). A slit door opening and closing system of a semiconductor manufacturing equipment according to the prior art is shown in FIG.
도 1을 참조하면, 슬릿 도어 개폐 시스템(10)은 슬릿 도어(18)를 위아래로 작동시키는 공압 실린더(17)와, 공압 실린더(17)를 구동시키는 공압 제어 밸브(16)와, 공압 제어 밸브(16)에 연결된 두 개의 압축건조공기 라인(14, 15)과, 각각의 압축건조공기 라인(14, 15)에 하나로 연결되어 압축건조공기의 유출입을 조절하는 압축건조공기 블럭(13)과, 압축건조공기 블럭(13)에 연결되어 압축건조공기를 공급하는 압축건조공기 공급부(11)와, 압축건조공기 공급부(11)로부터 공급되는 압축건조공기의 압력을 조절하는 압력 조절기(12)로 구성된다.Referring to FIG. 1, the slit door opening and closing system 10 includes a pneumatic cylinder 17 for operating the slit door 18 up and down, a pneumatic control valve 16 for driving the pneumatic cylinder 17, and a pneumatic control valve. Two compressed dry air lines (14, 15) connected to (16), and a compressed dry air block (13) connected to each of the compressed dry air lines (14, 15) to regulate the inflow and exit of the compressed dry air, Compressed dry air supply unit 11 connected to the compressed dry air block 13 to supply compressed dry air, and a pressure regulator 12 for adjusting the pressure of the compressed dry air supplied from the compressed dry air supply unit 11 do.
도면에 도시되지는 않았지만, 압축건조공기 블럭(13)에는 솔레노이드 밸브가 설치되어 있어 압축건조공기 라인(14, 15)에서의 압축건조공기 유출입을 제어한다. 압축건조공기 라인 중의 하나(14)는 슬릿 도어(18)를 열 때 사용되며, 나머지 하나(15)는 슬릿 도어(18)를 닫을 때 사용된다. 슬릿 도어(18)는 공압 실린더(17)의 하강 동작에 의하여 열리고 상승 동작에 의하여 닫힌다.Although not shown in the figure, the solenoid valve is installed in the compressed dry air block 13 to control the flow of compressed dry air in the compressed dry air lines 14 and 15. One of the compressed air lines 14 is used to open the slit door 18 and the other 15 is used to close the slit door 18. The slit door 18 is opened by the lowering operation of the pneumatic cylinder 17 and closed by the raising operation.
이러한 종래의 슬릿 도어 개폐 시스템(10)에 있어서, 압축건조공기공급부(11)로부터 공급되는 압축건조공기의 압력은 압력 조절기(12)에 의하여 조절된다. 예컨대, 압력 조절기(12)는 60psi에 맞추어진다. 그러나, 압축건조공기 라인(14, 15)을 통하여 유출입하는 압축건조공기는 보다 미세한 압력 조절을 필요로 한다. 종래의 슬릿 도어 개폐 시스템(10)은 이러한 면에서 미흡하며, 이로 인하여 공압 제어 밸브(16) 등에 무리한 압력이 가해져 고장 발생의 원인이 된다.In this conventional slit door opening and closing system 10, the pressure of the compressed dry air supplied from the compressed dry air supply unit 11 is controlled by the pressure regulator 12. For example, the pressure regulator 12 is set to 60 psi. However, compressed dry air flowing in and out through the compressed dry air lines 14 and 15 requires finer pressure control. The conventional slit door opening and closing system 10 is inadequate in this respect, which causes excessive pressure on the pneumatic control valve 16 and the like, causing a failure.
따라서, 본 고안은 상술한 종래기술에서의 제반 문제점들을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 고안의 목적은 압축건조공기 라인을 통하여 유출입하는 압축건조공기의 압력을 미세하게 조절할 수 있는 반도체 제조 장비의 슬릿 도어 개폐 시스템을 제공하고자 하는 것이다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems in the prior art, an object of the present invention is to slit the semiconductor manufacturing equipment that can finely control the pressure of the compressed dry air flowing in and out through the compressed dry air line It is to provide a door opening and closing system.
도 1은 종래기술에 따른 반도체 제조 장비의 슬릿 도어 개폐 시스템을 나타내는 블럭도이다.1 is a block diagram showing a slit door opening and closing system of a semiconductor manufacturing apparatus according to the prior art.
도 2는 본 고안의 실시예에 따른 반도체 제조 장비의 슬릿 도어 개폐 시스템을 나타내는 블럭도이다.2 is a block diagram illustrating a slit door opening and closing system of a semiconductor manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
10, 20: 슬릿 도어 개폐 시스템 11, 21: 압축건조공기 공급부10, 20: slit door opening and closing system 11, 21: compressed dry air supply
12, 22: 압력 조절기 13, 23: 압축건조공기 블럭12, 22: pressure regulator 13, 23: compressed air block
14, 15, 24, 25: 압축건조공기 라인14, 15, 24, 25: compressed air line
16, 26: 공압 제어 밸브 17, 27: 공압 실린더16, 26: pneumatic control valve 17, 27: pneumatic cylinder
18, 28: 슬릿 도어 29: 니들 밸브18, 28: slit door 29: needle valve
이러한 목적을 달성하기 위하여 제공되는 본 고안에 따른 반도체 제조 장비의 슬릿 도어 개폐 시스템은 압축건조공기 라인을 통하여 유출입하는 압축건조공기의 압력을 미세하게 조절할 수 있도록 각각의 압축건조공기 라인에 니들 밸브가 설치되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the slit door opening and closing system of the semiconductor manufacturing equipment according to the present invention has a needle valve in each compressed and dry air line to finely control the pressure of the compressed and dry air flowing in and out through the compressed and dry air line. It is characterized by being installed.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하도록 한다. 각 도면에서는 도면의 명확한 이해를 돕기 위해 일부 구성요소가 생략되거나 개략적으로 도시되었음을 밝혀둔다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In each of the drawings, it is noted that some of the components are omitted or schematically illustrated to help a clear understanding of the drawings.
도 2는 본 고안의 실시예에 따른 반도체 제조 장비의 슬릿 도어 개폐 시스템을 나타내는 블럭도이다.2 is a block diagram illustrating a slit door opening and closing system of a semiconductor manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 2를 참조하면, 슬릿 도어 개폐 시스템(20)은 반도체 제조 장비의 공정 챔버(도시되지 않음)와 이송 챔버(도시되지 않음) 사이에 설치된 슬릿 도어(28)와, 슬릿 도어(28)에 체결되고 위아래로 작동하여 슬릿 도어(28)를 개폐하는 공압 실린더(27)와, 공압 실린더(27)에 연결되고 공압 실린더(27)를 구동시키는 공압 제어 밸브(26)와, 공압 제어 밸브(26)에 연결되고 공압 실린더(27)를 구동시키기 위하여 압축건조공기가 유출입하는 두 개의 압축건조공기 라인(24, 25)과, 각각의 압축건조공기 라인(24, 25)에 하나로 연결되고 압축건조공기의 유출입을 조절하는 압축건조공기 블럭(23)과, 압축건조공기 블럭(23)에 연결되고 압축건조공기를 공급하는 압축건조공기 공급부(21)와, 압축건조공기 블록(23)과 압축건조공기 공급부(21) 사이에 설치되고 압축건조공기 공급부(21)로부터 공급되는 압축건조공기의 압력을 조절하는 압력 조절기(22)로 구성된다.Referring to FIG. 2, the slit door opening and closing system 20 is fastened to a slit door 28 and a slit door 28 installed between a process chamber (not shown) and a transfer chamber (not shown) of semiconductor manufacturing equipment. And a pneumatic cylinder 27 for opening and closing the slit door 28 up and down, a pneumatic control valve 26 connected to the pneumatic cylinder 27 and driving the pneumatic cylinder 27, and a pneumatic control valve 26 And two compressed air lines 24 and 25, which are compressed in and out of the compressed air to drive the pneumatic cylinder 27, and one to each compressed air line 24 and 25. Compressed dry air block 23 for controlling the inflow and outflow, compressed dry air supply unit 21 connected to the compressed dry air block 23 and supplying compressed dry air, compressed dry air block 23 and compressed dry air supply unit Between the 21 and the compressed air supply unit 21 Composed of a pressure regulator 22 for adjusting the pressure of the compressed dry air supplied from.
한편, 도면에 도시되지는 않았지만, 압축건조공기 블럭(23)에는 솔레노이드 밸브가 설치되어 있어 압축건조공기 라인(24, 25)에서의 압축건조공기 유출입을 제어한다. 압축건조공기 라인 중의 하나(24)는 슬릿 도어(28)를 열 때 사용되며, 나머지 하나(25)는 슬릿 도어(28)를 닫을 때 사용된다. 슬릿 도어(28)는 공압 실린더(27)의 하강 동작에 의하여 열리고 상승 동작에 의하여 닫힌다.On the other hand, although not shown in the drawing, the compressed dry air block 23 is provided with a solenoid valve to control the flow of compressed dry air in the compressed dry air lines 24 and 25. One 24 of the compressed air lines is used to open the slit door 28 and the other 25 is used to close the slit door 28. The slit door 28 is opened by the lowering operation of the pneumatic cylinder 27 and closed by the raising operation.
특히, 본 고안의 슬릿 도어 개폐 시스템(20)은 니들 밸브(29, needle valve)를 포함하는 것이 특징이다. 니들 밸브(29)는 각각의 압축건조공기 라인(24, 25)에 설치되며, 압축건조공기 라인(24, 25)을 통하여 유출입하는 압축건조공기의 압력을 미세하게 조절할 수 있다.In particular, the slit door opening and closing system 20 of the present invention is characterized in that it comprises a needle valve (29, needle valve). The needle valve 29 is installed in each of the compressed dry air lines 24 and 25, and finely adjusts the pressure of the compressed dry air flowing in and out through the compressed dry air lines 24 and 25.
이상 설명한 바와 같이, 본 고안에 따른 반도체 제조 장비의 슬릿 도어 개폐 시스템은 각각의 압축건조공기 라인에 설치된 니들 밸브의 조작에 의하여 압축건조공기 라인을 따라 유출입하는 압축건조공기의 압력을 미세하게 조절할 수 있다. 따라서, 공압 제어 밸브를 비롯한 슬릿 도어 개폐 시스템 전반의 안정화 및 장비 가동율을 향상시킬 수 있다.As described above, the slit door opening and closing system of the semiconductor manufacturing equipment according to the present invention can finely control the pressure of the compressed and dry air flowing in and out along the compressed and dry air line by operating the needle valve installed in each compressed and dry air line. have. Therefore, it is possible to improve the stabilization and equipment operation rate of the overall slit door opening and closing system including the pneumatic control valve.
본 명세서와 도면에는 본 고안의 바람직한 실시예에 대하여 개시하였으며, 비록 특정 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 고안의 기술 내용을 쉽게 설명하고 고안의 이해를 돕기 위한 일반적인 의미에서 사용된 것이지, 본 고안의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예 외에도 본 고안의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은 본 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.In the present specification and drawings, preferred embodiments of the present invention have been disclosed, and although specific terms are used, these are merely used in a general sense to easily explain the technical contents of the present invention and to help understanding of the present invention. It is not intended to limit the scope. It is apparent to those skilled in the art that other modifications based on the technical idea of the present invention can be carried out in addition to the embodiments disclosed herein.
Claims (2)
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Publications (1)
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