KR200266553Y1 - 액정표시장치 제조용 스퍼터링 장치의 아킹 방지구조 - Google Patents

Abstract

본 고안은 액정표시장치 제조용 스퍼터링 장치의 아킹 방지구조에 관한 것으로서, 본 고안은 증착면을 형성하기 위한 글래스와, 상기 글래스의 상측에 위치되어 글래스의 증착면을 제외한 테두리 부분을 커버하는 플로팅마스크와, 상기 플로팅마스크와 절연 상태를 유지하면서 상기 플로팅마스크와의 대응면 일부분을 지지하는 마스크와, 상기 마스크와 플로팅마스크의 대응면에 개재되는 인슐레이터를 포함하여 구성된 액정표시장치 제조용 스퍼터링 장치에 있어서, 상기 마스크에 의해 지지되는 플로팅마스크의 대응면 상에는 상기 마스크와의 간격을 증가시키는 방향으로 요홈 형성된 요홈부가 형성되고, 상기 요홈부와 대응하는 마스크 상에는 엠보싱부가 형성되며, 상기 인슐레이터는 소정 길이를 갖는 다수개의 막대 형상으로 되어 증착면이 형성되지 않는 상기 글래스의 테두리를 따라 설치되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 스퍼터링 장치의 아킹 방지구조를 제공하여, 마스크와 플로팅마스크 사이의 이격 거리를 확대함과 아울러 마스크와 플로팅마스크 사이에 개재되는 인슐레이터에 의한 절연면적을 확대하여, 열팽창에 따른 절연성 저하를 방지함으로써, 글래스 상에 증착막의 균일한 증착이 가능하도록 한 것이다.

Description

액정표시장치 제조용 스퍼터링 장치의 아킹 방지구조{preventing structure for arcing of sputterring device for manufacturing LCD}

본 고안은 액정표시장치 제조용 스퍼터링 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 글래스 상에 금속 증착막 형성을 위한 플라즈마 방전시 고열발생에 기인한마스크 및 플로팅마스크의 열팽창에 따른 전기적인 아킹(arcing) 현상을 방지할 수 있도록 한 액정표시장치 제조용 스퍼터링 장치의 아킹 방지구조에 관한 것이다.

일반적으로 액정표시장치 제조 공정 중 스퍼터링(sputtering) 장치는 글래스 상에 금속 박막을 증착시키는 장치로서, 진공속의 2개의 전극에 직류전압을 가하고, 아르곤(Ar)가스 등을 주입하면, 아르곤이 이온화되면서 음극으로 가속되어 충돌에 의해 음극에 준비된 금속 타겟의 원자가 방출되고, 이때 방출된 원자가 양극에 있는 글래스면에 부착되는 원리를 이용한 것이다.

도 1은 종래 기술에 따른 스퍼터링 장치의 개략적인 구조를 나타낸 평면도이고, 도 2는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ선 단면도이다.

상기 도면에 도시된 바와 같이, 종래 스퍼터링 장치는 마스크(20)와, 플로팅마스크(30), 그리고 인슐레이터(40)로 구성되며, 상기 마스크(20)는 대략 사각형상의 테두리를 이루며, 알루미늄(AL) 등과 같은 전기전도성이 있는 재질로 이루어져 플라즈마 방전시 양극(anode) 역할을 하게 된다.

그리고, 상기 플로팅마스크(30) 또한 알루미늄 등과 같은 전기전도성이 있는 재질로 이루어지며, 균일성 향상을 위하여 상기 비교적 넓은 면적을 갖도록 제작되고, 상기 마스크(20)의 테두리 내측에 상기 마스크(20)와 전기적으로 절연되도록 설치된다.

즉, 상기 마스크(20)와 플로팅마스크(30) 사이에는 전기 절연성이 높은 재질로서 대략 도우넛 형상으로 된 다수개의 인슐레이터(40)가 설치됨에 의해 상기 마스크(20)와 플로팅마스크(30)는 전기적으로 절연된 상태를 이룬다.

전술한 바와 같이, 상기 마스크(20)와 플로팅마스크(30)는 인슐레이터(40)에 의해 절연상태를 이루고 있지만, 플라즈마 방전으로 인해 고온 상태로 될 경우, 상기 마스크(20)와 플로팅마스크(30)는 절연성 면에서 아주 취약한 설치구조를 이루고 있다.

즉, 상기 마스크(20)의 내측 테두리부와 플로팅마스크(30)의 외측 테두리부에는 각각 인슐레이터(40)에 의해 상기 마스크(20)와 플로팅마스크(30)가 안착 구조를 이룰 수 있도록 대응면을 이루고 있는데, 상기 각 대응면 사이의 간격(L1)은 대략 2mm 이내의 간격을 유지하고 있다.

따라서, 플라즈마 방전에 의한 고열 발생시 상기 마스크(20)와 플로팅마스크(30)는 열팽되어 상기 대응면 간의 간격(L1)은 더욱 좁아지게 됨에 따라 대응하는 면에서 절연이 파괴됨과 아울러 전기적 아킹(arcing) 현상이 일어나게 되며, 이로 인해 증착막의 균일성 저하를 초래하여 불량 발생율이 증가하는 문제점이 있었다.

본 고안은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 본 고안은 마스크와 플로팅마스크의 열팽창으로 인한 절연파괴 현상을 방지하여 증착막의 균일화 및 장치의 안정성을 향상시킬 수 있도록 한 액정표시장치 제조용 스퍼터링 장치의 아킹 방지구조의 제공을 목적으로 한다.

도 1은 종래 기술에 따른 스퍼터링 장치의 개략적인 구조를 나타낸 평면도,

도 2는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ선 단면도,

도 3은 본 고안에 따른 스퍼터링 장치의 개략적인 구조를 나타낸 평면도,

도 4는 도 3의 Ⅱ-Ⅱ선 단면도,

도 5는 도 4의 A부 확대도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

10....글래스, 120....마스크,

127....엠부싱부, 130....플로팅마스크,

140....인슐레이터, 145....경사면,

T....타겟.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 고안에 따르면, 증착면을 형성하기 위한글래스와, 상기 글래스의 상측에 위치되어 글래스의 증착면을 제외한 테두리 부분을 커버하는 플로팅마스크와, 상기 플로팅마스크와 절연 상태를 유지하면서 상기 플로팅마스크와의 대응면 일부분을 지지하는 마스크와, 상기 마스크와 플로팅마스크의 대응면에 개재되는 인슐레이터를 포함하여 구성된 액정표시장치 제조용 스퍼터링 장치에 있어서, 상기 마스크에 의해 지지되는 플로팅마스크의 대응면 상에는 상기 마스크와의 간격을 증가시키는 방향으로 요홈 형성된 요홈부가 형성되고, 상기 요홈부와 대응하는 마스크 상에는 엠보싱부가 형성되며, 상기 인슐레이터는 길이 방향을 따라 적어도 일측면에 경사면이 형성되며 소정 길이를 갖는 다수개의 막대 형상으로 되어 증착면이 형성되지 않는 상기 글래스의 테두리를 따라 설치되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 스퍼터링 장치의 아킹 방지구조가 제공된다.

이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 도시된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.

도 3은 본 고안에 따른 스퍼터링 장치의 개략적인 구조를 나타낸 평면도이고, 도 4는 도 3의 Ⅱ-Ⅱ선 단면도이며, 도 5는 도 4의 A부 확대도이다.

상기 도면에 도시된 바와 같이, 증착면을 형성하기 위한 글래스(10)의 상측에는 상기 글래스(10)의 중앙부에 형성되는 증착면을 제외한 테두리 부분을 커버할 수 있도록 플로팅마스크(130)가 위치된다.

그리고, 상기 플로팅마스크(130)의 하측에는 상기 플로팅마스크(130)의 테두리 부분을 지지할 수 있도록 마스크(120)가 위치하게 된다.

또한, 상기 플로팅마스크(130)의 외측 테두리와 마스크(120)의 내측 테두리는 서로 상하로 대응되는 상태로 되며, 상기 플로팅마스크(130)와 마스크(120)의 대응면 사이에는 두 부품 간의 절연 상태를 유지할 수 있도록 인슐레이터(140)가 개재된다.

이 때, 상기 플로팅마스크(140)와 마스크(120)의 대응면에는 각각 요홈부(130a)와 엠보싱부(127)가 형성되는데, 상기 요홈부(130a)는 상기 마스크(120)와의 간격을 증가시키는 방향으로 요홈 형성함이 바람직하다.

그 이유는, 플라즈마 방전에 의해 상기 플로팅마스크(130)와 마스크(120)가 열팽창 하더라도 양 부품간의 절연 파괴가 일어나지 않을 정도의 충분한 간격(L2)을 유지할 수 있도록 하기 위함이다.

그리고, 상기 마스크(120)에 엠보싱부(127)를 형성함으로써, 플라즈마 방전에 의해 증착물이 상기 마스크(120)의 테두리부에 침전되더라도 증착물의 응집력을 저하시켜 플라즈마 방전 가공 후 세정작업을 용이하게 할 수 있으며, 또한 글래스(10) 상에 형성되는 증착막의 필링(pleeng) 현상을 방지하여 아킹(arcing) 현상을 방지할 수 있다.

한편, 상기 인슐레이터(140)는 종래와는 달리 소정 길이를 갖는 다수개의 막대 형상으로 형성함과 아울러 인슐레이터(140)의 일측면에 경사면(145)을 갖도록 형성된다.

또한, 증착면이 형성되지 않는 상기 글래스(10)의 테두리를 따라 일정 간격을 두고 설치된다.

그리하여, 종래의 인슐레이터에 비해 플로팅마스크(130)와 마스크(120) 간의 절연면적을 확대시켜 절연 성능을 향상시킴으로써, 아킹 현상을 보다 확실히 방지할 수 있게 된다.

한편, 상술한 바와 같은 본 고안의 실시예는 본 고안의 이해를 돕기 위하여 구성한 것으로서 단순히 전술한 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 본 고안의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능하다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 고안에 의하면 마스크와 플로팅마스크 사이의 이격 거리를 확대함과 아울러 마스크와 플로팅마스크 사이에 개재되는 인슐레이터에 의한 절연면적을 확대하여, 열팽창에 따른 절연성 저하를 방지함으로써, 글래스 상에 증착되는 증착막이 균일하게 형성되도록 한 효과가 있다.

Claims (1)

1. 증착면을 형성하기 위한 글래스와, 상기 글래스의 상측에 위치되어 글래스의 증착면을 제외한 테두리 부분을 커버하는 플로팅마스크와, 상기 플로팅마스크와 절연 상태를 유지하면서 상기 플로팅마스크와의 대응면 일부분을 지지하는 마스크와, 상기 마스크와 플로팅마스크의 대응면에 개재되는 인슐레이터를 포함하여 구성된 액정표시장치 제조용 스퍼터링 장치에 있어서,

   상기 마스크에 의해 지지되는 플로팅마스크의 대응면 상에는 상기 마스크와의 간격을 증가시키는 방향으로 요홈 형성된 요홈부가 형성되고, 상기 요홈부와 대응하는 마스크 상에는 엠보싱부가 형성되며, 상기 인슐레이터는 길이 방향을 따라 적어도 일측면에 경사면이 형성되며 소정 길이를 갖는 다수개의 막대 형상으로 되어 증착면이 형성되지 않는 상기 글래스의 테두리를 따라 설치되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 스퍼터링 장치의 아킹 방지구조.