KR200258230Y1

KR200258230Y1 - Fluid supply device

Info

Publication number: KR200258230Y1
Application number: KR2019960002723U
Authority: KR
Inventors: 서범식
Original assignee: 김영환; 현대반도체 주식회사
Priority date: 1996-02-23
Filing date: 1996-02-23
Publication date: 2002-04-22
Also published as: KR970052822U

Abstract

본 고안은 전기적인 신호에 따라 동작되는 솔레노이드 밸브와, 유량이 측정되는 유량계가 설치된 공급관을 통하여 반웅챔버 내에 액화성 또는 기화성 유체를 공급시키는 유체공급장치에 관한 것으로서, 솔레노이드 밸브에 인가되는 전기적인 신호와, 상기 유량계에 설치되어 상기 유량계에서 출력되는 동작감지신호를 입력신호로 하여 동작되는 공급유무감지부와, 상기 공급유무감지부의 출력신호에 따라 공급 유무상태를 표시하는 디스플레이부를 포함한다. 따라서, 반웅 챔버에 기화성 및 액화성 유체를 공급시에 노즐의 막힘 또는 각종 밸브 등의 오동작에 의해 반웅 챔버에 유체가 공급되지 않을 경우에 공급유무감지부가 이를 감지하게 되고, 이어서 디스플레이부를 통하여 작업자가 용이하게 확인할 수 있으므로, 신속한 조치를 취할 수 있으며, 또한 공급이 되지 않게 되어 발생되는 각종 제품 불량이 방지되므로 제반적인 작업 능율 및 생산 수율이 향상된다.The present invention relates to a fluid supply device for supplying a liquefied or vaporizable fluid into a reaction chamber through a supply pipe in which a solenoid valve operated according to an electrical signal and a flow meter for measuring a flow rate are installed. The electrical signal applied to the solenoid valve And a supply part detecting unit installed in the flow meter and operated by using an operation detection signal output from the flow meter as an input signal, and a display unit displaying a state of supply according to the output signal of the supply presence detecting unit. Therefore, when no fluid is supplied to the reaction chamber due to clogging of the nozzle or malfunction of various valves or the like when the vaporizing and liquefiable fluid is supplied to the reaction chamber, the presence or absence of the supply detection unit detects this, and then the operator Since it can be easily confirmed, it is possible to take quick measures and prevent various product defects caused by the lack of supply, thereby improving overall work yield and production yield.

Description

Fluid supply

본 고안은 유체 공급장치에 관한 것으로, 특히 반도체 제조장비에서 웨이퍼 처리 등을 위한 액화성 또는 기화성 유체의 공급 유무를 용이하게 확인할 수 있는 것에 적당하도록 하는 유체 공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to a fluid supply device, and more particularly, to a fluid supply device that is suitable for being able to easily check the presence or absence of liquefied or vaporizable fluid for wafer processing in semiconductor manufacturing equipment.

반도체 제조에 있어서, 주로 반웅 챔버 내에 유체 공급장치를 통하여 액화성 또는 기화성 유체를 공급하여 웨이퍼 처리 공정을 진행시키고 있으며, 그 일실시예로 에스오지(SOG ;spin on glass) 코팅(coating)장치의 웨이퍼 뒷면(wafer back side) 세정시에는 장치 내에서 공급되는 메탄올 용액 등에 의해 실시되고 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION In semiconductor manufacturing, wafer processing is performed by supplying a liquefied or vaporizable fluid mainly through a fluid supply device in a reaction chamber, and in one embodiment, a spin on glass (SOG) coating apparatus. The wafer back side is cleaned by a methanol solution or the like supplied in the apparatus.

이때, 액화성 또는 기화성의 유체는, 반응 챔버와 연결되어 형성되고 전기적인 신호에 의해 '온(on)/오프(off)' 동작되는 솔레노이드 밸브(solenoid valve)와, 공급되는 유체의 유량을 제어하는 유량계(flow meter)가 설치된 공급관을 통하여 반웅챔버 내에 공급된다.In this case, the liquefied or vaporizable fluid is formed in connection with the reaction chamber and controls the flow rate of the supplied fluid and the solenoid valve (on) or (off) operated by the electrical signal It is supplied into the reaction chamber through a supply pipe provided with a flow meter.

그러나 종래 기술에 있어서는 유체 공급장치를 통하여 반응챔버 등으로 공급되는 별도의 액화성 또는 기화성 유체의 공급을 실시함에 있어서, 유체 공급 노즐 (nozzle)의 막힘 및 각종 밸브(valve)의 오동작 등에 의하여 유체가 공급되지 않게 되면 이를 용이하게 확인하여 조치를 취할 수가 없었으며, 또한 반도체 제조장비의 에스오지 코팅장치인경우에서는 웨이퍼의 뒷면을 세정하는 유체 즉, 메탄올이 공급되지 않게 됨에 따라 웨이퍼 가장자리 부위의 오염격자(particle) 발생 및 이후에 진행되는 이상 코팅막 형성 등의 문제가 유발된다.However, in the prior art, in the case of supplying a separate liquefied or vaporizable fluid supplied to the reaction chamber or the like through the fluid supply device, fluid is blocked due to clogging of the fluid supply nozzle and malfunction of various valves. If it was not supplied, it could not be easily checked and could not be taken. Also, in the case of the S-OG coating device of the semiconductor manufacturing equipment, the fluid lattice at the edge of the wafer was not supplied due to the supply of methanol, that is, the liquid that cleans the back of the wafer. (particle) generation and subsequent abnormal coating film formation is caused.

본 고안은 이러한 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 반도체 제조장비에 있어서, 유체의 공급유무를 작업자가 용이하게 확인하여 조치를 취할 수 있도록 하는 공급유무 감지부가 부가된 유체 공급장치를 제공하고자 하는 것이 그 목적이다. 본 고안은 전기적인 신호에 따라 동작되는 솔레노이드 밸브와, 유량이 측정되는 유량계가 설치된 공급관을 통하여 반웅챔버 내에 액화성 또는 기화성 유체를 공급시키는 반도체 제조장비의 유체 공급장치에 있어서, 솔레노이드 밸브에 인가되는 전기적인 신호와, 유량계에 설치되어 유량계에서 출력되는 동작감지신호를 입력신호로 하여 동작되는 공급유무감지부와, 공급유무감지부의 출력신호에 따라 공급 유무상태를 표시하는 디스플레이부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.The present invention has been made to solve such a problem, in the semiconductor manufacturing equipment, it is to provide a fluid supply device with a supply presence detection unit to enable the operator to easily check the action of the supply of fluid. That is the purpose. The present invention is a fluid supply device of a semiconductor manufacturing equipment for supplying a liquefied or vaporizable fluid in the reaction chamber through a supply pipe with a solenoid valve operated according to an electrical signal and a flow meter for measuring the flow rate, which is applied to the solenoid valve And an electric signal, a supply / absence detection unit installed in the flowmeter and operated with an operation detection signal output from the flowmeter as an input signal, and a display unit for displaying the supply / discharge state according to the output signal of the supply / absence detection unit. It is done.

제 1 도는 본 고안에 의한 유체 공급장치의 일실시예를 도시한 계통도로, 이하 첨부된 도면을 참고로 본 고안에 의한 유체 공급장치의 구성 및 동작을 설명하면 다음과 같다.1 is a schematic diagram showing an embodiment of a fluid supply device according to the present invention. Hereinafter, the configuration and operation of the fluid supply device according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 고안의 일실시예는 제 1 도에 도시된 바와 같이, 전기적인 신호에 따라 동작되는 솔레노이드 밸브와, 유량이 측정되는 유량계가 설치된 공급관을 통하여 반웅챔버 내에 액화성 또는 기화성 유체를 공급시키는 유체 공급장치에 있어서, 솔레노이드 밸브에 인가되는 전기적인 신호와 유량계(10)에 설치되어 유량계에서 출력되는 동작감지신호를 입력신호로 하여 동작되는 공급유무감지부와, 공급유무감지부의 출력신호에 따라 공급 유무상태를 표시하는 디스플레이부(11)를 포함하여 이루어지며, 공급유무감지부의 일실시예는 구동전압원과, 솔레노이드 밸브에 인가되는 전기적인 신호가 입력되어 동작되는 스위칭(switching)소자(12)와, 유량계에 설치되어 유량계의 동작감지신호를 출력하는 제1,제2동작감지센서(sensor)(13)(14)와, 제1,제2동작감지센시에 각각 연결되는 제1,제2증폭부와, 일측은 구동전압원과 연결되고, 또 다른 측은 스위칭소자의 출력과 연결되는 제1계전기(relay)와, 일측은 제1계전기의 동작에 의해 구동전압원과 연결 또는 차단되고, 또 다른 측은 제1증폭부의 출력과 연결되는 제2계전기와, 일측은 제1계전기의 동작에 의해 구동전압원과 연결 또는 차단되고, 또 다른 측은 제2증폭부의 출력과 연결되는 제3계전기와, 일측은 제1계전기의 동작에 의해 구동전압과 연결 또는 차단되고, 또 다른 측은 접지되되, 제2계전기의 동작신호와 제3계전기의 동작신호가 각각 리셋트(reset)신호(R)로 입력되는 타이머계전기(timmer relay)와, 타이머계전기의 출력신호에 따라 디스플레이(display)부를 동작시켜서, 유체의 공급유무를 표시하도록 하는 제4계 전기와, 구동전압원과 제4계전기 사이에 형성되어, 디스플레이부의 동작을 리셋트시키는 리셋트 스위치(reset switch)(15)를 포함하여 이루어진다.One embodiment of the present invention, as shown in Figure 1, the fluid supply for supplying a liquefied or vaporizable fluid in the reaction chamber through the supply pipe is installed with a solenoid valve operated according to the electrical signal and the flow rate is measured In the apparatus, the presence or absence of the supply according to the output signal of the supply and non-sensing unit, the supply signal detecting unit and the electrical signal applied to the solenoid valve and the operation detection signal output from the flow meter installed in the flow meter 10 as an input signal An embodiment of the present invention includes a display unit 11 for displaying a state, and a supply / absence detection unit includes: a switching device 12 in which a driving voltage source, an electrical signal applied to a solenoid valve is input, and operated; Each of the first and second motion detection sensors 13 and 14 installed in the flowmeter and outputting the motion detection signal of the flowmeter, and the first and second motion detection sensors, respectively. A first relay connected to the first and second amplifiers, one side connected to a driving voltage source, another side connected to an output of a switching element, and one side connected to a driving voltage source by an operation of the first relay. A second relay connected to an output of the first amplifier, a second side connected to the output of the first amplifier, a side connected to or disconnected from the driving voltage source by an operation of the first relay, and a third side connected to the output of the second amplifier; The relay and one side are connected to or disconnected from the driving voltage by the operation of the first relay, and the other side is grounded, and the operation signal of the second relay and the operation signal of the third relay are reset signals R, respectively. And a fourth relay configured to operate a display unit according to an output signal of the timer relay, a timer relay inputted to the timer relay, and to display the presence or absence of fluid supply, and a driving voltage source and the fourth relay. , Display And a reset switch 15 for resetting the operation of the lay section.

이때, 스위칭소자(12)는 엔피엔 트랜지스터(NPN transistor)(Tr)로 형성되고, 유량계(flow meter)(10)는 볼타입(ball type)의 유량계로 형성하고, 유량계에 설치되는 제1,제2동작감지센서는 유량계에서 유량에 따라 이동되는 볼의 위치를 감지할 수 있는 근접센서로 각각 형성하는 것을 특징으로 한다.At this time, the switching element 12 is formed of a NPN transistor (Tr), the flow meter (flow meter) 10 is formed of a ball type (ball type) flow meter, the first, The second motion detection sensor is characterized in that each formed as a proximity sensor that can detect the position of the ball to move in accordance with the flow rate in the flow meter.

또한 본 고안에 의한 유량 공급장치에서 디스플레이부는 공급유무감지부의 출력신호 즉, 공급이 정상적으로 실시될 때에는 녹색 램프(green lamp)가 켜지도록 하고, 공급이 비정상적으로 실시될 때에는 적색 램프(red lamp)가 켜지도록 형성된다.In addition, in the flow rate supply device according to the present invention, the display unit outputs the presence / absence detection unit, that is, the green lamp is turned on when the supply is normally performed, and the red lamp is turned on when the supply is abnormally performed. It is formed to be turned on.

그리고 솔레노이드 밸브로 인가되는 전기적인 신호는 정전압 다이오드(D)와, 입력저항(Ri)을 통하여 스위칭소자인 엔피엔 트랜지스터의 게이트전극으로 인가되고, 또한 게이트전극의 입력선에는 부하저항(RL)이 병렬접속된다.The electrical signal applied to the solenoid valve is applied to the gate electrode of the ENP transistor, which is a switching element, through the constant voltage diode D and the input resistance Ri, and the load resistance RL is applied to the input line of the gate electrode. It is connected in parallel.

이하 본 고안에 의한 유량 공급장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter will be described the operation of the flow rate supply apparatus according to the present invention.

본 고안에 의한 유량 공급장치에서 솔레노이드 밸브에 전기적인 신호가 인가되어 공급관을 통하여 유체를 반웅 챔버 내로 공급시키고자 할 때에는 솔레노이드 밸브에 인가되는 전기적인 신호가 공급유무감지부의 스위칭소자인 엔피엔 트랜지스터의 게이트(gate) 전극으로 인가되어 엔피엔 트랜지스터가 '온'이 되고, 따라서 제1계전기가 동작되어 제2계전기와 제3계전기 그리고 타이머 계전기에 각각 구동전원이 공급되도록 한다.In the flow rate supply device according to the present invention, when an electrical signal is applied to the solenoid valve and the fluid is supplied into the reaction chamber through the supply pipe, the electrical signal applied to the solenoid valve is applied to the ENPIEN transistor, which is a switching element of the presence / absence detection unit. It is applied to the gate electrode to turn on the ENP transistor, so the first relay is operated so that driving power is supplied to the second relay, the third relay, and the timer relay, respectively.

그리고 유체가 정상적으로 반웅 챔버로 공급되면, 유량계가 동작됨에 따라 제1,제2동작감지센서에서 각각 동작감지신호를 출력하게 되고, 각각의 동작감지신호는 각각 제1증폭부와 제2증폭부로 입력되어 증폭된다.When the fluid is normally supplied to the reaction chamber, as the flowmeter is operated, the first and second motion detection sensors respectively output motion detection signals, and each motion detection signal is input to the first amplifier and the second amplifier, respectively. And amplified.

이어서 증폭된 제1동작감지센서의 동작감지신호는 제2계전기로 입력되고, 증폭된 제2동작감지센서의 동작감지신호는 제3계전기로 입력되어서, 제2계전기와 제3계전기가 각각 '온'됨에 따라, 제2계전기와 제3계전기의 동작신호는 타이머계전기에 리셋트신호로서 입력됨에 따라 타이머계전기가 리셋트 동작되어 제4계전기를 '오프'시켜서 녹색 램프가 켜져있도록 한다.Subsequently, the motion detection signal of the amplified first motion detection sensor is input to the second relay, and the motion detection signal of the amplified second motion detection sensor is input to the third relay, so that the second relay and the third relay are turned on. In response to the operation signals of the second relay and the third relay being input to the timer relay as the reset signal, the timer relay is reset to 'turn off' the fourth relay so that the green lamp is turned on.

이때 볼 타입의 유량계에서 있어서, 제1,제2동작감지센서로서 볼의 이동을 감지하는 근접센서를 각각 형성시킬 경우에 볼의 이동의 2 개의 근접센서에서 하나의 근접센서에만 감지되어 동작감지신호가 증폭부를 출력되고, 계전기를 통하여 타이머계전기로 하나의 리셋트신호로서 입력되더라고 타이머계전기는 리셋트 동작된다.At this time, in the ball-type flow meter, when the proximity sensor for detecting the movement of the ball is formed as the first and second motion detection sensors, only one proximity sensor is detected in the two proximity sensors of the movement of the ball to detect the motion. The amplifying section is outputted, and the timer relay is reset, even though it is input as a reset signal to the timer relay through the relay.

그리고 공급이 완료되면, 솔레노이드 밸브에 전기적인 신호가 차단되고, 따라서 스위칭 소자의 엔피엔 트랜지스터가 '오프'됨에 따라 제1계전기도 '오프'되고, 따라서 타이머 계전기도 동작되지 않게 된다.When the supply is completed, the electrical signal to the solenoid valve is cut off, so that the first relay is 'off' as the ENP transistor of the switching element is 'off', and thus the timer relay is not operated.

또한 솔레노이드 밸브에 전기적인 신호가 인가됨에도 불구하고 유체가 반웅 챔버로 공급되지 않게 되면, 유량계도 동작하지 않게 되고, 따라서 제1,제2동작감지센서에서 감지되어 출력되는 동작감지신호가 없으므로, 제2,제3계전기는 '오프'되고, 따라서 타이머계전기에서 지정된 시간 후에 제4계전기를 '온'시켜서 녹색 램프는 꺼지면서 적색 램프는 켜지며, 리셋트 스위치로 리셋트 시킬 때까지 유지된다.In addition, if the fluid is not supplied to the reaction chamber despite the electrical signal is applied to the solenoid valve, the flow meter also does not operate, so there is no motion detection signal detected and output from the first and second motion detection sensors, 2, the third relay is 'off', and thus, after the specified time in the timer relay, the fourth relay is 'on' so that the green lamp is turned off while the red lamp is turned on and maintained until reset with the reset switch.

즉, 본 고안에 의한 유체 공급장치의 일실시예에서는 평상시에 디스플레이부의 녹색 램프가 점등되어 있으며, 타이머 계전기를 2초의 시간으로 셋팅시킬 경우에, 유량계가 동작됨에 따라 제1,제2동작감지센서에서 출력되는 각각의 동작감지신호가 제1,제2증폭부를 통하여 입력됨에 따라 동작되는 제2,제3계전기의 출력신호가 타이머계전기로 입력되면 2초가 경과된 후에도 녹색 램프가 계속 켜져 있게 되고, 유량계가 동작되지 않게 되면, 제1,제2동작감지센서에서 감지되어 출력되는 동작감지신호가 없으므로, 제2,제3계전기가 '오프' 되어서 타이머계전기를 리셋트시키는 신호가 없게 되고, 따라서 2초가 경과된 후에는 디스플레이부의 녹색 램프가 꺼지고 적색 램프가 켜지도록 하여 유체가 공급되지 않고 있다는 것을 표시한다.That is, in one embodiment of the fluid supply apparatus according to the present invention, the green lamp of the display unit is normally turned on, and when the timer relay is set to a time of 2 seconds, the first and second motion detection sensors as the flow meter is operated. When the output signal of the second and third relays operated as the respective motion detection signals output from the first and second amplifiers are input to the timer relay, the green lamp is kept on even after 2 seconds have elapsed. When the flowmeter is not operated, since there is no motion detection signal detected and output from the first and second motion detection sensors, the second and third relays are 'off' so that there is no signal for resetting the timer relay. After the elapse of seconds, the green lamp on the display goes off and the red lamp lights up to indicate that no fluid is being supplied.

본 고안에 의한 유체 공급장치에서는 반웅 챔버에 기화성 및 액화성 유체를 공급시에 노즐의 막힘 또는 각종 밸브 등의 오동작에 의해 반웅 챔버에 유체가 공급되지 않을 경우에 공급유무감지부가 이를 감지하게 되고, 이어서 디스플레이부를 통하여 작업자가 용이하게 확인할 수 있으므로, 신속한 조치를 취할 수 있으며, 또한 공급이 되진 않게되어 발생되는 각종 제품 불량이 방지되므로, 제반적인 작업 능률 및 생산 수율이 향상된다.In the fluid supply apparatus according to the present invention, when the fluid is not supplied to the reaction chamber by supplying vaporization and liquefiable fluid to the reaction chamber, the nozzle may be blocked or a malfunction such as various valves. Subsequently, the operator can easily check through the display unit, so that quick measures can be taken, and various product defects caused by not being supplied can be prevented, thereby improving overall work efficiency and production yield.

제 1도는 본 고안에 의한 유체 공급장치의 일실시예를 도시한 계통도.1 is a schematic diagram showing an embodiment of a fluid supply device according to the present invention.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 ※※ Explanation of code about main part of drawing ※

10. 유량계 11. 디스플레이부10. Flow meter 11. Display

12. 스위칭소자 13. 제1동작감지센서12. Switching element 13. First motion detection sensor

14. 제2동작감지센서14. Second motion detection sensor

Claims

In the fluid supply device for supplying a liquefied or vaporizable fluid into the reaction chamber through a supply pipe provided with a solenoid valve operated in accordance with an electrical signal and a flow meter for measuring the flow rate,

A switching element which is operated by inputting an electrical signal applied to the solenoid valve, first and second motion detection fine wires provided with the flowmeter, and outputting the flowmeter motion detection signal;

First and second amplifiers connected to the first and second motion detection sensors, respectively;

A first relay connected to a driving voltage source on one side and connected to an output of the switching element;

A third relay connected to or disconnected from the driving voltage source by an operation of the first relay, and a third relay connected to an output of the second amplifier part;

One side is connected to or disconnected from the driving voltage source by the operation of the first relay, the other side is grounded, the timer relay inputs the operation signal of the second relay and the operation signal of the third relay as a reset signal, respectively Wow,

A fourth relay configured to display a supply of the fluid by operating a display unit according to an output signal of the timer relay;

A fluid supply detecting unit formed between the driving voltage source and the fourth relay and including a reset switch for resetting an operation of the display unit;

And a normal display unit which is operated by the fourth relay to indicate whether the fluid is supplied, and which is reset by the reset switch.

The method of claim 1,

The switching device is a fluid supply device, characterized in that the NPP transistor.