KR200245827Y1 - Probe card for testing LCD - Google Patents
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Abstract
본 고안은 엘시디 검사용 프로브 카드에 대한 것으로서, 본 고안은 어셈블리 홀더와; 상기 어셈블리 홀더의 저면 일측에 체결고정되는 기판 홀더와; 상기 기판 홀더와 대응되는 상기 어셈블리 홀더의 저면 타측에 체결고정되는 니들 홀더와; 상기 기판 홀더의 저면에 부착되며, 상부면에는 드라이브 IC가 부착되는 회로 기판과; 판면의 후단부에는 장공의 안치홈을 형성하고, 판면의 저면 센터로부터 선단부측으로 일정한 간격을 유지하면서 평형하게 다수의 텐션부가 형성되도록 하며, 상기 텐션부의 선단에는 하향 돌출되게 접속 단자를 형성한 실리콘 재질의 니들 플레이트와; 가이드 홀을 패턴 가공한 실리콘 재질의 가이드 플레이트와; 상기 니들 플레이트의 안치홈에 안치되면서 상기 회로 기판의 패턴에 탄력적으로 접속되게 삽입되는 콘택터로서 구비되게 하므로서 니들의 집적도를 증대시키며, 일렬 배열로 형성이 가능토록 하는 동시에 균일한 니들 길이에 의한 작용 특성의 균일화 및 고집적 LCD의 특성 검사에도 적용 가능토록 하는데 특징이 있다.The present invention relates to a probe test card for the LCD, the present invention is an assembly holder; A substrate holder fastened and fixed to one side of a bottom surface of the assembly holder; A needle holder fastened to and secured to the other side of the bottom of the assembly holder corresponding to the substrate holder; A circuit board attached to a bottom surface of the substrate holder, and having a drive IC attached to an upper surface thereof; A silicon material is formed in the rear end of the plate to form a long groove, to form a plurality of tension portions in equilibrium while maintaining a constant distance from the bottom center of the plate surface to the tip side, and the connection terminal is formed to protrude downward at the tip of the tension portion A needle plate of; A guide plate made of a silicon material formed by patterning the guide hole; It is provided as a contactor which is inserted in the settling groove of the needle plate to be elastically connected to the pattern of the circuit board, thereby increasing the degree of integration of the needle, enabling the formation in a single row arrangement, and at the same time operating characteristics by a uniform needle length It is characterized in that it can be applied to the uniformity of LCD and the characteristics inspection of high integration LCD.
Description
본 고안은 LCD 검사용 프로브 카드에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 LCD의 패턴에 접촉하는 니들을 한 장의 실리콘 재질의 플레이트로서 구비하면서 이 니들 플레이트를 웨이퍼 가공 기술을 이용한 식각 공정에 의해 니들의 집적도를 증대시키는 동시에 일렬 배열로 형성이 가능토록 하므로서 균일한 니들 길이에 의한 작용 특성의 균일화 및 고집적 LCD의 특성 검사에도 적용 가능토록 하는 LCD 검사용 프로브 카드에 관한 것이다.The present invention relates to a probe card for LCD inspection, and more specifically, the needle contacting the pattern of the LCD as a sheet of silicon plate while the needle plate by the etching process using the wafer processing technology to improve the needle integration The present invention relates to a probe inspection card for LCD inspection, which can be formed in a line array while simultaneously increasing the uniformity of operating characteristics by a uniform needle length and also applying the characteristic inspection of a highly integrated LCD.
일반적으로 소형 텔레비젼이나 노트북 컴퓨터와 같은 영상 표시장치로서 주로 사용되는 LCD(액정표시장치)는 가장자리 부분에 전기적 신호(영상신호, 동기신호, 색상신호 등)가 인가되도록 하는 수 십 내지 수 백개의 접속 단자가 고밀도로 배치되며, 이러한 LCD는 제품에 장착되기 전에 시험신호를 인가하여 화면의 불량여부를 검사 및 시험하는 출화검사(出畵檢査)를 실시하게 된다.In general, LCDs (liquid crystal displays), which are mainly used as video display devices such as small televisions or notebook computers, have dozens or hundreds of connections for applying electrical signals (video signals, synchronization signals, color signals, etc.) to the edges. Terminals are arranged in high density, and such LCD applies a test signal to perform a fire test to check and test the screen for defects before it is mounted on the product.
이렇게 LCD의 전기적 특성을 검사하기 위한 장치로서 구비되는 것이 프로브 카드이며, 도 1은 현재 주로 사용되고 있는 프로브 카드를 도시한 것이다.The probe card is provided as a device for inspecting the electrical characteristics of the LCD. FIG. 1 illustrates a probe card which is mainly used.
종래 사용되던 프로브 카드는 크게 어셈블리 홀더(1)와 이 어셈블리 홀더(1)의 저면 일측에 체결되는 기판 홀더(2), 기판 홀더(2)와 대응되는 타측에 체결되는 니들 홀더(3), 기판 홀더(2)의 저면에 부착되는 회로 기판(4), 니들 홀더(3)의 저면에 부착되는 다수의 니들(5)로서 이루어지는 구성이다.The probe card used in the prior art is largely an assembly holder 1, a substrate holder 2 fastened to one side of the bottom surface of the assembly holder 1, a needle holder 3 fastened to the other side corresponding to the substrate holder 2, and a substrate. The circuit board 4 attached to the bottom face of the holder 2 and the many needles 5 attached to the bottom face of the needle holder 3 are comprised.
이와같은 구성에서 기판 홀더(2)에 부착되는 회로 기판(4)에는 드라이브 IC(4a)가 부착되어 있으며, 회로 기판(4)의 니들 홀더(3)측 끝단부에는 판면에 가이드 홀(6a)이 천공되어 있는 니들 가이드 필름(6)이 부착되어 있다.In such a configuration, a drive IC 4a is attached to the circuit board 4 attached to the substrate holder 2, and a guide hole 6a is provided at the end of the needle holder 3 side of the circuit board 4 at the plate surface. The perforated needle guide film 6 is attached.
그리고 니들 홀더(3)는 저면을 기판 홀더(2)측 단부측으로 상향 경사지게 형성하고, 이 경사면에는 다수의 니들(5)이 에폭시 수지(7)에 의해 접합된다.The needle holder 3 is formed to be inclined upwardly toward the end of the substrate holder 2 side, and a plurality of needles 5 are joined to the inclined surface by the epoxy resin 7.
니들 홀더(3)에 구비되는 니들(5)은 일단부가 하향 절곡되면서 LCD의 패턴과 접촉되는 접속 단부(5a)를 이루고, 타단부는 기판 홀더(2)측으로 연장되면서 상향 절곡되게 하여 그 끝단부가 니들 가이드 필름(6)에 천공된 가이드 홀(6a) 내의 회로 기판(4)에 인쇄된 패턴과 접속이 이루어지게 한다.The needle 5 provided in the needle holder 3 forms a connection end 5a at which one end is bent downward and contacts the pattern of the LCD, and the other end is extended upward to the substrate holder 2 side so that the end end thereof is bent. Connection with the pattern printed on the circuit board 4 in the guide hole 6a perforated in the needle guide film 6 is made.
따라서 회로 기판(4)의 인쇄된 회로를 통해 니들 가이드 필름(6)측으로 전기적 신호가 전달되면 니들 가이드 필름(6)의 가이드 홀(6a)에서 회로 기판(4)의 패턴과 접속된 상태인 니들(5)의 일단과 LCD의 패턴에 접속되어 있는 타단의 접속 단부(5a)를 통해 전기적 신호가 전달되면서 LCD의 전기적 특성 검사를 수행하게 된다.Therefore, when an electrical signal is transmitted to the needle guide film 6 through the printed circuit of the circuit board 4, the needle is in the state connected with the pattern of the circuit board 4 in the guide hole 6a of the needle guide film 6. The electrical signal is transmitted through one end of (5) and the other end connected to the pattern of the LCD (5a) to perform the electrical characteristics of the LCD.
이러한 종전의 니들 타입의 프로브 카드에서 니들(5)은 통상 도 2에서와 같이 인접하는 니들(5)간이 서로 접촉되지 않도록 엇갈리게 구비되도록 하고 있다.In the conventional needle type probe card, the needles 5 are alternately provided such that adjacent needles 5 do not contact each other as shown in FIG. 2.
즉 종전의 니들(5)은 제작시 외경이 약 120미크론 정도로 형성이 가능한 외경 축소의 한계가 있다.In other words, the conventional needle (5) has a limit of the outer diameter reduction that can be formed to about 120 microns outer diameter at the time of manufacture.
따라서 이러한 니들(5)을 니들 홀더(3)의 한정된 장착면에 길이방향으로 필요로 하는 수만큼의 니들(5)을 일렬로서 배열시키기가 도저히 불가능하다.It is therefore impossible to arrange such needles 5 in a row in the required number of needles 5 in the longitudinal direction on the limited mounting surface of the needle holder 3.
다시말해 LCD에 형성되는 패턴간 간격이 고집적화되는 추세이므로 이들 간격이 하나의 니들(5) 외경보다 작게 형성되면 각 패턴에 단자 접속하게 되는 니들(5)간이 상호 겹쳐질 수 밖에 없다.In other words, the gap between patterns formed in the LCD is highly integrated, so when these gaps are formed smaller than the outer diameter of one needle 5, the needles 5 connected to the terminals are inevitably overlapped with each other.
이를 방지시키기 위해 현재는 인접하는 니들(5)간 형성 높이와 접속 위치가 서로 다르게 구비되도록 하고 있다.In order to prevent this, at present, the height between the adjacent needles 5 and the connection position are provided differently.
이러한 니들(5)의 접속 단부(5a) 뿐만 아니라 회로 기판(4)에 접속되는 단부 또한 접속 단부(5a)와 같은 방식으로 형성된다.Not only the connection end 5a of this needle 5 but also the end connected to the circuit board 4 are formed in the same manner as the connection end 5a.
하지만 종전의 니들(5)은 전술한 바와같이 제작시 외경 축소의 한계가 있으므로 최근 패턴의 고집적화가 가속화되고 있는 LCD에는 적용이 불가능한 단점이 있다.However, the conventional needle (5), as described above, there is a limit of the reduction of the outer diameter when manufacturing, there is a disadvantage that can not be applied to the LCD, which has recently accelerated the high integration of the pattern.
그리고 종전에는 니들(5)의 길이 특히 LCD와 회로 기판(4)에 접속되는 끝단부의 길이가 서로 상이하므로 니들(5)을 통해 나타나는 작동 특성이 균일하지 못하고, 각 니들(5) 끝단부에서의 접촉압력이 불균일하면서 사용수명이 단축되는 문제가 있다.In the past, since the lengths of the needles 5, in particular, the lengths of the ends connected to the LCD and the circuit board 4 are different from each other, the operating characteristics exhibited through the needles 5 are not uniform, and at the end of each needle 5 There is a problem that the service life is shortened while the contact pressure is uneven.
또한 니들 홀더(3)에 각 니들(5)을 정확하게 위치시켜 에폭시 수지를 사용하여 고정하는 작업이 대단히 난해하고, 그에 따른 작업성 악화로 제조 단가가 상승하는 비경제적인 문제와 함께 검사 신뢰성 저하를 초래하게 되는 문제가 있다.In addition, it is very difficult to accurately position and fix each needle 5 to the needle holder 3 by using an epoxy resin, resulting in deterioration of inspection reliability along with an uneconomical problem in which manufacturing cost increases due to deterioration of workability. There is a problem done.
이에 본 고안은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본고안의 주된 목적은 웨이퍼 가공 기술을 이용하여 니들을 미세한 외경으로 형성하므로서 동일 수평선상에서의 일렬 배열이 가능하게 되는 동시에 각 니들에서의 작용 특성이 동일하게 제공되면서 검사 신뢰성이 향상될 수 있도록 하는데 있다.The present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, and the main purpose of the present invention is to form a needle with a fine outer diameter using a wafer processing technology, thereby enabling the alignment of the needles on the same horizontal line and at the same time. The same characteristics are provided to improve inspection reliability.
또한 본 고안은 조립이 용이해지면서 제작성이 향상되도록 하는데 다른 목적이 있다.In addition, the present invention has another purpose to improve the manufacturability while being easy to assemble.
특히 본 고안은 LCD의 고집적화된 패턴에 적용이 가능토록 하는데 또다른 목적이 있다.In particular, the present invention has another object to be applicable to the highly integrated pattern of the LCD.
도 1은 일반적인 엘시디 검사용 프로브 카드의 측단면도,1 is a side cross-sectional view of a probe test card for a general LCD,
도 2는 종래 니들의 장착 구성을 도시한 요부 확대도,2 is an enlarged view illustrating main parts of a conventional needle mounting structure;
도 3은 본 고안에 따른 엘시디 검사용 프로브 카드의 측단면도,3 is a side cross-sectional view of the probe test probe for the LCD according to the present invention,
도 4는 본 고안에 따른 노즐 플레이트의 일부 생략 저면 사시도,Figure 4 is a partially omitted bottom perspective view of the nozzle plate according to the present invention,
도 5는 본 고안에 따른 노즐 플레이트의 후단부를 도시한 측단면도,Figure 5 is a side cross-sectional view showing the rear end of the nozzle plate according to the present invention,
도 6은 본 고안에 따른 노즐 플레이트의 일부를 정면에서 본 도면,Figure 6 is a front view of a part of the nozzle plate according to the present invention,
도 7은 본 고안에 따른 가이드 플레이트를 도시한 사시도,7 is a perspective view showing a guide plate according to the present invention,
도 8은 본 고안에 따른 노즐 플레이트의 평면도.8 is a plan view of a nozzle plate according to the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10 : 어셈블리 홀더 20 : 기판 홀더10: assembly holder 20: substrate holder
30 : 니들 홀더 40 : 회로 기판30: needle holder 40: circuit board
50 : 니들 플레이트 51 : 확인창50: needle plate 51: confirmation window
52 : 안치홈 53 : 텐션부52: settle groove 53: tension portion
53a : 접속 돌기 60 : 가이드 플레이트53a: connection protrusion 60: guide plate
70 : 콘택터70: contactor
이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 어셈블리 홀더와; 상기 어셈블리 홀더의 저면 일측에 체결고정되는 기판 홀더와; 상기 기판 홀더와 대응되는 상기 어셈블리 홀더의 저면 타측에 체결고정되는 니들 홀더와; 상기 기판 홀더의 저면에 부착되며, 상부면에는 드라이브 IC가 부착되는 회로 기판과; 판면을 웨이퍼 가공 기술을 이용하여 후단부에는 장공의 안치홈을 형성하고, 판면의 저면 센터로부터 선단부측으로 일정한 간격을 유지하면서 평형하게 다수의 텐션부가 형성되도록 하며, 상기 텐션부의 선단에는 하향 돌출되게 접속 단자를 형성한 실리콘 재질의 니들 플레이트와; 상기 회로 기판의 상기 니들 홀더측 선단부의 저면에 부착되어 웨이퍼 가공 기술을 이용하여 가이드 홀을 패턴 가공한 실리콘 재질의 가이드 플레이트와; 상기 니들 플레이트의 후단부에 형성한 안치홈에 안치되면서 상기 가이드 플레이트의 가이드 홀에서 상기 회로 기판의 패턴에 탄력적으로 접속되게 삽입되는 콘택터로서 구비되는 구성이 특징이다.In order to achieve the above object, the present invention is an assembly holder; A substrate holder fastened and fixed to one side of a bottom surface of the assembly holder; A needle holder fastened to and secured to the other side of the bottom of the assembly holder corresponding to the substrate holder; A circuit board attached to a bottom surface of the substrate holder, and having a drive IC attached to an upper surface thereof; The surface of the plate is formed in the rear end by using a wafer processing technique, and a plurality of tension portions are formed in a balanced manner while maintaining a constant distance from the bottom center of the plate surface to the front end side, and the protruding downwardly is connected to the front end of the tension portion. A needle plate of silicon material having terminals formed thereon; A guide plate made of silicon material attached to a bottom surface of the tip portion of the needle holder side of the circuit board to pattern a guide hole by using a wafer processing technique; It is characterized in that the configuration is provided as a contactor is inserted in the settling groove formed in the rear end of the needle plate to be elastically connected to the pattern of the circuit board in the guide hole of the guide plate.
이하 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, described with reference to the accompanying drawings a preferred embodiment of the present invention.
본 고안은 종전의 웨이퍼와 동일한 재질인 실리콘 플레이트를 이용하여 니들 플레이트를 구비하면서 이를 웨이퍼 가공 기술로서 패터닝하여 LCD의 패턴에 접속하게 되는 니들의 접속 단부가 일렬로서 형성이 가능토록 하는데 가장 두드러진 특징이 있다.The present invention has a needle plate using a silicon plate made of the same material as a conventional wafer, and patterned it as a wafer processing technology so that the connecting ends of the needles connected to the pattern of the LCD can be formed in a row. have.
즉 본 고안은 도 3에서와 같이 어셈블리 홀더(10)와 이 어셈블리 홀더(10)의 저면에서 일측에는 기판 홀더(20)가 체결고정되고, 그와 대응되는 타측에는 니들 홀더(30)가 구비되도록 하는 구성은 종전과 대동소이하다.That is, in the present invention, as shown in FIG. 3, the substrate holder 20 is fastened to one side of the assembly holder 10 and the bottom of the assembly holder 10, and the needle holder 30 is provided to the other side thereof. The composition to do is almost the same as before.
이때의 기판 홀더(20)는 절연 재질로서 구비되도록 하되 니들 홀더(30)는 강성이 더욱 요구되므로 절연 재질이 아닌 재질로서 사용하는 경우에는 그 저면으로 절연성 필름을 부착하여 사용하는 것이 가장 바람직하다.At this time, the substrate holder 20 is to be provided as an insulating material, but the needle holder 30 is required to be more rigid, so when used as a non-insulating material, it is most preferable to attach the insulating film to the bottom.
이러한 구성에서 기판 홀더(20)에는 저면으로 상부면에 드라이브 IC(41)가 부착되도록 한 회로 기판(40)이 부착되고, 니들 홀더(30)에는 한 장의 니들 플레이트(50)가 그 저면으로 부착되도록 한다.In such a configuration, a circuit board 40 for attaching the drive IC 41 to the substrate holder 20 is attached to the substrate holder 20 at the bottom, and a needle plate 50 is attached to the needle holder 30 at the bottom thereof. Be sure to
한편 회로 기판(40)에는 니들 홀더(30)측의 일단부로 다수의 가이드 홀(61)이 천공되어 있는 가이드 플레이트(60)가 부착되도록 하고, 니들 플레이트(50)에 형성되는 패턴은 콘텍터(70)에 의해 회로 기판(40)의 패턴과 탄성적으로 접속되는 구성으로 구비되도록 하는 것이다.On the other hand, the circuit board 40 has a guide plate 60 having a plurality of guide holes 61 perforated to one end of the needle holder 30 side, and the pattern formed on the needle plate 50 has a contactor ( 70 is provided so as to be elastically connected to the pattern of the circuit board 40.
이를 보다 구체적으로 설명하면 기판 홀더(20)의 저면에는 본 검사장치에 전기적 신호를 전달하는 회로가 인쇄되어 있는 회로 기판(40)이 종전과 같이 부착된다.In more detail, the circuit board 40 on which the circuit for transmitting an electrical signal to the inspection apparatus is printed is attached to the bottom of the substrate holder 20 as before.
이때의 회로 기판(40)은 플렉시블 기판을 사용하는 것이 바람직하다.It is preferable that the circuit board 40 uses a flexible board at this time.
그리고 본 고안에서 니들 플레이트(50)는 도 4에서와 같이 하나의 실리콘 플레이트로서 이루어지도록 하는데 가장 두드러진 특징이 있다.And needle plate 50 in the present invention is the most prominent feature to be made as a single silicon plate as shown in FIG.
니들 플레이트(50)는 니들 홀더(30)의 저면 폭보다는 크게 형성되도록 하여 니들 홀더(30)에 부착시 양측단부가 니들 홀더(30)의 선단부와 후단부로부터 돌출되도록 한다.The needle plate 50 is formed to be larger than the bottom width of the needle holder 30 so that both end portions protrude from the front and rear ends of the needle holder 30 when attached to the needle holder 30.
이때의 니들 플레이트(50)는 반도체 제조시 웨이퍼 가공에 적용되는 가공 기술 즉 식각 가공 기술을 이용하여 패터닝된다.At this time, the needle plate 50 is patterned by using a processing technique that is applied to wafer processing during semiconductor manufacturing, that is, an etching process technique.
니들 플레이트(50)는 상부측 평판의 판면에서 선단부에는 수직으로 관통되도록 확인창(51)을 천공하고, 그와 대응되는 타측의 후단부에는 확인창(51)과 동일선상에 안치홈(52)이 상향 개방되게 요입되도록 한다.The needle plate 50 drills the confirmation window 51 so as to vertically penetrate through the front end of the upper plate, and settles in the same line as the confirmation window 51 at the rear end of the other side. To be inflated upwards.
이러한 안치홈(52)은 다시 도 5에서와 같이 바닥면 일부가 소정의 직경으로 하향 관통되게 하여 끼움홀(52a)을 형성한다.The settling groove 52 again forms a fitting hole 52a by allowing a portion of the bottom surface to penetrate downward to a predetermined diameter as shown in FIG. 5.
한편 니들 플레이트(50)의 상부면에서 저면에는 일단이 일체로 연결되면서 선단부측으로 연장되는 형상으로 텐션부(53)가 형성되도록 한다.On the other hand, one end is integrally connected to the bottom surface from the upper surface of the needle plate 50 so that the tension portion 53 is formed in a shape extending toward the tip end side.
그리고 상부면의 확인창(51)은 LCD의 패턴을 확인할 수 있도록 하는 구성이므로 텐션부(53)는 확인창(51)의 후방까지만 연장되도록 하는 것이 가장 바람직하다.And since the confirmation window 51 of the upper surface is configured to check the pattern of the LCD, the tension unit 53 is most preferably to extend only to the rear of the confirmation window 51.
또한 텐션부(53)는 니들 플레이트(50)의 상부면과 연결되는 일단을 축으로 타단이 상하로 요동하는 텐션을 갖도록 하면서 타단의 저면에는 상부면측 확인창(51)과 안치홈(52)간 일직선상에 접속 돌기(53a)가 하향 돌출되도록 하고, 이 접속 돌기(53a)로부터 안치홈(52)의 하향 관통된 끼움홀(52a)간에는 패턴이 인쇄되도록 한다.In addition, the tension unit 53 has a tension in which the other end swings up and down about the one end connected to the upper surface of the needle plate 50 while the other end has an upper surface side confirmation window 51 and the settlement groove 52 between the lower surface. The connecting projection 53a is projected downward in a straight line, and a pattern is printed between the fitting holes 52a which are penetrated downward from the connecting projection 53a.
특히 텐션부(53)는 도 6에서와 같이 상부면으로부터 길이방향으로 일정한 간격을 유지하면서 복수개로서 형성되도록 한다.In particular, the tension portion 53 is formed as a plurality of while maintaining a constant interval in the longitudinal direction from the upper surface as shown in FIG.
이때 각 텐션부(53)의 선단부에는 동일직선상에 일렬로 2이상의 접속 돌기(53a)가 하향 돌출되게 하고, 접속 돌기(53a)간 그리고 텐션부(53)간 접속 돌기(53a)는 일정한 간격을 갖도록 한다.At this time, two or more connection protrusions 53a are projected downward on the same straight line in the front end of each tension portion 53, and the connection protrusions 53a between the connection protrusions 53a and the tension portions 53 are fixed at regular intervals. To have.
그리고 니들 플레이트(50)의 후단부에 형성하게 되는 안치홈(52)은 회로 기판(40)의 선단부에까지 연장되도록 하는 것이 가장 바람직하다.In addition, it is most preferable that the settling groove 52 formed at the rear end of the needle plate 50 extends to the front end of the circuit board 40.
이렇게 안치홈(52)이 위치되는 회로 기판(40)의 일단부에는 니들 플레이트(50)와의 사이에 가이드 플레이트(60)가 개제되도록 한다.The guide plate 60 is interposed between the needle plate 50 and one end of the circuit board 40 where the settling groove 52 is located.
가이드 플레이트(60)는 니들 플레이트(50)와 마찬가지로 실리콘 재질의 플레이트로서 이루어지도록 하고, 판면에는 장공의 가이드 홀(61)이 웨이퍼 가공 기술인 식각 공정 기술을 이용하여 형성되도록 한다.The guide plate 60 is made of a silicon plate like the needle plate 50, and the guide hole 61 of the long hole is formed on the plate surface by using an etching process technique, which is a wafer processing technique.
가이드 플레이트(60)의 가이드 홀(61)과 니들 플레이트(50)에 형성되는 안치홈(52)은 상호 연통되며, 가이드 홀(61)에는 회로 기판(40)의 인쇄된 패턴이 위치된다.The guide hole 61 of the guide plate 60 and the settling groove 52 formed in the needle plate 50 communicate with each other, and the printed pattern of the circuit board 40 is positioned in the guide hole 61.
이러한 가이드 플레이트(60)의 가이드 홀(61)과 니들 플레이트(50)의 안치홈(52)에는 신축 가능한 형상의 콘텍터(70)가 삽입된다.The contractor 70 having a stretchable shape is inserted into the guide hole 61 of the guide plate 60 and the settling groove 52 of the needle plate 50.
콘텍터(70)는 안치홈(52)에 안치되면서 하향 연장된 끝단부는 안치홈(52)에서 하향 관통되게 형성한 끼움홀(52a)에 삽입되면서 고정되며, 상단부는 가이드 홀(61)을 통해서 회로 기판(40)의 패턴과 탄력적으로 접속된다.The contactor 70 is fixed while being placed in the settling groove 52 and the downwardly extended end is inserted into the fitting hole 52a formed to penetrate downwardly from the settling groove 52, and the upper end portion is guided through the guide hole 61. It is elastically connected with the pattern of the circuit board 40.
즉 콘텍터(70)는 가이드 홀(61)에 삽입되는 부위가 상하로 신축될 수 있게 형성되도록 하여 회로 기판(40)과는 일정한 탄성력으로 접속되는 상태가 되도록 하는 것이다.That is, the contactor 70 is formed so that the portion inserted into the guide hole 61 can be stretched up and down so that it is connected to the circuit board 40 with a constant elastic force.
한편 콘텍터(70)는 제작시 종전의 니들과 같이 외경 축소의 한계가 있으므로 니들 플레이트(50)에 형성하게 되는 안치홈(52)과 끼움홀(52a) 그리고 가이드 플레이트(60)에 형성하게 되는 가이드 홀(61)을 일렬로 배열하기 곤란하면 도 8에서와 같이 교호로 지그재그의 형상으로 형성되게 할 수도 있다.On the other hand, the contactor 70 is formed in the settling groove 52 and the fitting hole 52a and the guide plate 60 formed in the needle plate 50 because there is a limit of the reduction of the outer diameter like the conventional needle at the time of manufacture. If it is difficult to arrange the guide holes 61 in a row, the guide holes 61 may be alternately formed in a zigzag shape.
그리고 니들 플레이트(50)의 상부면은 평면으로 형성되므로 니들 플레이트(50)가 부착되는 니들 홀더(30)의 저면 및 니들 홀더(30)에 절연성 필름이 부착되는 경우에는 이 절연성 필름과 기판 홀더(20)의 하향 적층시킨 가이드 플레이트(60)의 저면간은 동일 수평선상으로 유지되도록 하는 것이 가장 바람직하다.In addition, since the upper surface of the needle plate 50 is formed flat, when the insulating film is attached to the bottom surface of the needle holder 30 to which the needle plate 50 is attached and the needle holder 30, the insulating film and the substrate holder ( Most preferably, the bottom surfaces of the guide plates 60 stacked downwardly are maintained on the same horizontal line.
상기한 구성에 따른 본 고안의 작용에 대해서 설명하면 본 고안은 종전과 마찬가지로 회로 기판(40)을 통해 전기적 신호가 인가되면 회로 기판(40)의 선단부에 탄력적으로 접속되어 있는 콘텍터(70)를 통해서 니들 플레이트(50)에 전달된다.Referring to the operation of the present invention according to the above configuration, the present invention, as before, when the electrical signal is applied through the circuit board 40, the contactor 70 is elastically connected to the front end of the circuit board 40 It is transmitted to the needle plate 50 through.
니들 플레이트(50)에서는 인쇄된 패턴을 따라 텐션부(53)의 접속 돌기(53a)에 전기적 신호가 인가되면 LCD의 패턴과 접속되는 접속 돌기(53a)를 통해서 LCD의 패턴에 신호가 전달되어 LCD의 특성을 검사할 수가 있게 된다.In the needle plate 50, when an electrical signal is applied to the connection protrusion 53a of the tension unit 53 along the printed pattern, the signal is transmitted to the pattern of the LCD through the connection protrusion 53a connected to the pattern of the LCD. It is possible to examine the characteristics of.
이처럼 본 고안에서와 같이 니들 플레이트(50)를 하나의 구성으로 형성하면서 이를 웨이퍼 가공 기술을 이용하여 식각 공정을 통해 제작하게 되면 니들의 두께를 약 30미크론까지 축소시킬 수가 있게 되므로 LCD의 패턴에 접속하는 접속 돌기(53a)를 일렬로서 형성이 가능해진다.As described above, when the needle plate 50 is formed in one configuration and manufactured through an etching process using wafer processing technology, the thickness of the needle can be reduced to about 30 microns, thereby connecting to the LCD pattern. The connection protrusion 53a to be formed can be formed in a row.
특히 종전에는 니들을 일일이 제작해야만 하는데 반해 본 고안에서의 니들은 니들 플레이트(50)를 식각 공정을 이용해 필요로 하는 갯수의 접속 돌기(53a)를 형성할 수가 있게 되므로 니들의 제작이 대단히 간편해지게 된다.In particular, in the past, the needle must be manufactured one by one, whereas the needle in the present invention can form the number of connecting protrusions 53a required by the needle plate 50 using an etching process, thereby making the needle very easy. .
또한 니들의 두께를 대단히 박형화하므로서 니들 홀더(30)에서의 한정된 니들 부착면에 더욱 많은 접속 돌기(53a)를 형성할 수가 있게 되므로 최근 패턴이 복잡해지는 LCD의 검사에도 대응이 가능해진다.In addition, since the thickness of the needle is extremely thin, more connection protrusions 53a can be formed on the limited needle attaching surface in the needle holder 30, so that it is possible to cope with the inspection of the LCD, which has become complicated in recent years.
그리고 본 고안에서는 니들 플레이트(50)의 폭 다시말해 텐션부(53)의 접속 돌기(53a)로부터 끼움홀(52a)까지의 길이를 자유 자재로 단축시킬 수가 있으면서 이들 길이를 균일하게 형성할 수가 있으므로 특히 고주파 신호의 전달 효율이 향상될 수가 있으며, 동시에 균일한 작용 특성을 구현하게 되므로 검사의 신뢰성이 높아지게 된다.In the present invention, the length of the needle plate 50, that is, the length from the connection protrusion 53a of the tension portion 53 to the fitting hole 52a can be shortened freely, and thus these lengths can be formed uniformly. In particular, the transmission efficiency of the high frequency signal can be improved, and at the same time, since the uniform operating characteristics are realized, the reliability of the inspection is increased.
이와함께 본 고안은 종전과 같이 다수의 니들을 일일이 제작해서 조립할 필요없이 하나의 니들 플레이트(50)를 니들 홀더(30)에 간단히 부착시키기만 하면 손쉽게 조립이 이루어지므로 제작 및 조립 작업성을 대폭 개선하게 되어 제작 비용을 절감할 수가 있게 된다.Along with this design, the present invention can be easily assembled by simply attaching one needle plate 50 to the needle holder 30 without having to manufacture and assemble a plurality of needles as before. This can reduce the production cost.
상술한 바와 같이 본 고안은 LCD의 패턴에 접속하게 되는 다수의 니들을 실리콘 재질인 하나의 박판 플레이트(50)를 웨이퍼 가공 기술을 이용하여 일시에 형성하게 되므로 제작 및 조립이 간편해지는 작업성 향상이 기대된다.As described above, the present invention forms a plurality of needles, which are connected to a pattern of the LCD, at a time by using a wafer processing technology to form one thin plate 50 made of silicon, thereby improving workability, which makes manufacturing and assembly simple. It is expected.
그리고 LCD 패턴에 접속되는 단위당 니들 폭을 대폭 축소시키게 되므로서 한정된 범위에서의 니들 형성 수를 대폭적으로 증가시킬 수가 있으며, 이로써 니들의 집적도를 향상시키게 되므로서 더욱 복잡해지는 고성능 LCD의 특성 검사에도 적용이 가능해진다.In addition, by reducing the needle width per unit connected to the LCD pattern, the number of needle formations in a limited range can be greatly increased, thereby improving the density of the needles, thereby making it possible to apply the characteristics of the high performance LCD which becomes more complicated. It becomes possible.
또한 니들의 길이를 더욱 단축시킬 수가 있게 되므로 고주파 신호의 전달 효율을 향상시키면서 니들 길이의 균일화로 균등한 작용 특성을 발휘할 수 있게 되므로서 검사의 신뢰성을 향상시키게 되는 이점이 있다.In addition, since the length of the needle can be further shortened, the uniformity of the needle length can be exerted while improving the transmission efficiency of the high frequency signal, thereby improving the reliability of the inspection.
Claims (7)
Priority Applications (1)
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Family Applications (1)
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