KR200240561Y1

KR200240561Y1 - Air spring

Info

Publication number: KR200240561Y1
Application number: KR2019980019300U
Authority: KR
Inventors: 김유일
Original assignee: 김유일; 주식회사 유일산업
Priority date: 1998-10-09
Filing date: 1998-10-09
Publication date: 2001-11-22
Also published as: KR20000007793U

Abstract

본 고안은 에어 스프링에 관한 것으로서, 그 구성은 반도체 및 정밀장비에서 발생하는 진동을 상쇄하기 위하여 그 하부에 설치되며, 이를 고정하기 위하여 표면에 취부너트(13)가 형성되어 상,하부에 각각 한쌍이 설치되고, 하부에는 공기를 유입하는 유입홀(14)이 형성된 클램프(11)(12)와; 상기 상,하부에 각각 위치하는 클램프(11)(12)의 사이에 설치되며, 그 사이에는 형상유지를 위하여 중간링(21)이 설치된 벨로우즈(20)와; 이 벨로우즈(20)의 내부에는 중앙에는 진동의 전달시 이를 상쇄시키면서 발생되는 비틀림을 방지하고 유입홀(14)로부터 유입되는 공기가 전달되도록 그 중앙에 오리피스(32)가 설치된 지지부(30)와; 하부 클램프(12)의 상부면에는 소정의 진동을 흡수하기 위하여 벨로우즈(20)가 수축 되었을 때, 좌굴현상을 방지하기 위하여 지지부(30)와 밀착 되도록 수개의 관통홀(41)이 형성되고, 그 상부에는 방진고무(42)가 설치된 스톱퍼(40)로 구성된 것이다.The present invention relates to an air spring, the configuration of which is installed in the lower portion to cancel the vibration generated in the semiconductor and precision equipment, in order to fix the mounting nut (13) is formed on the surface of the upper and lower pairs respectively It is installed, the lower portion of the clamp (11, 12) formed with an inlet hole 14 for introducing air; A bellows 20 installed between the clamps 11 and 12 positioned above and below the intermediate ring 21 between the clamps 11 and 12; A support portion 30 having an orifice 32 installed in the center of the bellows 20 to prevent the torsion generated while canceling the vibration at the center thereof and to allow the air introduced from the inlet hole 14 to be transmitted; In the upper surface of the lower clamp 12, when the bellows 20 is contracted to absorb a predetermined vibration, several through holes 41 are formed to closely contact the support part 30 to prevent buckling. The upper part is composed of a stopper 40 is installed dust-proof rubber (42).

상기 본 고안의 구성에 의하면, 에어 스프링은 반도체 및 정밀장비의 방진 및 제진용으로 사용되는 것으로, 부수적인 장치를 하지 않터라도 내부체적의 변화 없이 감쇠비를 향상시킬 수 있으며, 좌굴현상을 방지할 수 있는 것이다.According to the configuration of the present invention, the air spring is used for dust and vibration suppression of the semiconductor and precision equipment, it is possible to improve the damping ratio without changing the internal volume without a secondary device, and to prevent buckling phenomenon It can be.

따라서, 높은 효율과 우수한 성능을 발휘할 수 있으며, 간단한 공정과 저렴한 가격으로 차별화된 기능으로 기존에 제품과 비교하여 소비자의 욕구를 충분히 만족시킬 수 있는 매우 유용한 고안인 것이다.Therefore, it is possible to exhibit high efficiency and excellent performance, and it is a very useful design that can fully satisfy consumer's needs compared to the existing products with a differentiated function with a simple process and low price.

Description

Air Spring

본 고안은 에어 스프링에 관한 것으로서, 더 상세하게는 반도체 및 정밀장비의 방진 및 제진용으로 사용되는 에어 스프링의 내부체적에 변화가 없는 상태에서 감쇠비의 향상 및 좌굴방지가 가능하도록 하여 그 효율을 증대시킬 수 있도록 고안된 것이다.The present invention relates to an air spring, and more particularly, to improve the damping ratio and prevent buckling in the absence of a change in the internal volume of the air spring used for dust and vibration suppression of semiconductors and precision equipment, thereby increasing its efficiency. It is designed to be.

종래의 에어 스프링의 구조는 반도체 및 정밀장비에서 발생하는 진동을 상쇄하기 위하여 설치되는 에어 스프링은 장비를 지지하도록 그 하부에 고정 설치되며, 이를 고정하기 위하여 소정의 위치에 취부너트(13)가 성형되어 상,하부에 각각 한쌍 이 설치되며, 하부에는 유입홀(14)이 형성된 클램프(11)(12)와, 상기 클램프 사이에 진동을 상쇄시키기 위하여 설치되는 벨로우즈(20)와, 벨로우즈(20)사이에 설치되어 그 형상을 유지하며, 진동의 전달시 비틀림을 방지하기 위하여 설치되는 중간링(21)으로 구성되어진다.Conventional air spring structure is installed in the air spring is installed to offset the vibration generated in the semiconductor and precision equipment is fixed to the lower portion to support the equipment, in order to fix the mounting nut 13 is formed in a predetermined position And a pair is installed at each of the upper and lower portions, and a clamp 11 and 12 having an inlet hole 14 formed at the lower portion thereof, and a bellows 20 and a bellows 20 installed to offset vibrations between the clamps. It is installed between and maintains its shape, it is composed of an intermediate ring 21 is installed to prevent the twist during transmission of vibration.

이러한 에어 스프링(10)은 동적변위를 줄이기 위하여 댐퍼와, 가이드바 등과 같은 부수적인 장비를 추가로 설치하여 사용하게 되는데, 이러한 에어 스프링은 기존의 스프링에 비하여 방진효율이 우수하다.The air spring 10 is installed to use additional equipment such as dampers, guide bars, etc. in order to reduce the dynamic displacement, such air spring is excellent in dustproof efficiency compared to the existing spring.

종래와 같은 에어 스프링은 독립적으로 사용될 경우 상기에서 서술한 바와 같이 동적 변위가 크고, 공진 영역에서 대변형을 일으키기 때문에 댐퍼와 가이드바 등을 부수적으로 설치하여 사용한다.When used independently, the air spring as described above has a large dynamic displacement as described above, and causes large deformation in the resonance region, so that a damper, a guide bar, and the like are additionally used.

따라서, 에어 스프링이 독립적으로 설치되어 이용될 경우 그 본래의 기능을 충분히 수행하지 못하는 단점이 있고, 그 설치가 번거로운 단점이 있는 것이다.Therefore, when the air spring is installed and used independently there is a disadvantage that does not fully perform its original function, there is a disadvantage that the installation is cumbersome.

즉, 기존의 에어 스프링은 그 내부가 하나의 함실로 이루어져 있기 때문에 감쇠비가 작으면서 좌굴현상이 심해 에어 스프링의 소기의 목적을 달성하는데 문제가 발생되는 폐단이 있는 것이다.That is, the existing air spring has a closed end, which is a problem in achieving the desired purpose of the air spring because the internal damping ratio is small and the buckling phenomenon is severe because the interior is made of a single chamber.

본 고안의 목적은 부수적인 장치를 설치하지 않고도 그 본래의 기능을 향상시킬 수 있도록한 에어 스프링을 제공하는 데 있다.It is an object of the present invention to provide an air spring capable of improving its original function without installing a secondary device.

본 고안의 다른 목적은 그 상품성을 향상시킴과 동시에 신뢰감을 향싱시킬 수 있도록한 에어 스프링을 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide an air spring that can improve the commerciality and at the same time enhance the confidence.

도 1은 종래의 에어 스프링의 형상을 보인 일부절결 측면도Figure 1 is a partially cutaway side view showing the shape of a conventional air spring

도 2는 본 고안인 에어 스프링의 형상을 보인 일부절결 측면도Figure 2 is a partially cutaway side view showing the shape of the air spring of the present invention

도 3은 본 고안인 에어 스프링의 벨로우즈 내부에 설치되는 지지부의 형상을 도시한 일부절결 사시도Figure 3 is a partially cutaway perspective view showing the shape of the support portion installed in the bellows of the air spring of the present invention

도 4는 본 고안인 에어 스프링의 하부 클램프의 상부에 설치되는 스톱퍼의 형상을 보인 일부절결 사시도Figure 4 is a partially cutaway perspective view showing the shape of the stopper installed on the upper portion of the lower clamp of the air spring of the present invention

도면중 주요 부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts in the drawings

10 - 에어 스프링 11 - 상부클램프10-Air Spring 11-Upper Clamp

12 - 하부클램프 13 - 취부너트12-Lower clamp 13-Mounting nut

14 - 유입홀 20 - 벨로우즈14-Inlet hole 20-Bellows

21 - 중간링 30 - 지지부21-intermediate ring 30-support

31 - 상부플랜지 32 - 오리피스31-Upper Flange 32-Orifice

33 - 하부플랜지 34 - 삽입홀33-Lower Flange 34-Insertion Hole

35 - 나사 40 - 스톱퍼35-screw 40-stopper

41 - 관통홀 42 - 방진고무41-Through Hole 42-Dustproof Rubber

상기와 같은 본 고안의 목적은, 반도체 및 정밀장비에서 발생하는 진동을 상쇄하기 위하여 그 하부에 설치되며, 이를 고정하기 위하여 표면에 취부너트(13)가 형성되어 상,하부에 각각 한쌍이 설치되고, 하부에는 공기를 유입하는 유입홀(14)이 형성된 클램프(11)(12)와;The purpose of the present invention as described above, is installed in the lower portion to cancel the vibration generated in the semiconductor and precision equipment, in order to fix the mounting nut 13 is formed on the surface, a pair of upper and lower are respectively installed A lower portion of the clamps 11 and 12 having inlet holes 14 through which air is introduced;

상기 상,하부에 각각 위치하는 클램프(11)(12)의 사이에 설치되며, 그 사이에는 형상유지를 위하여 중간링(21)이 설치된 벨로우즈(20)와;A bellows 20 installed between the clamps 11 and 12 positioned above and below the intermediate ring 21 between the clamps 11 and 12;

이 벨로우즈(20)의 내부에는 중앙에는 진동의 전달시 이를 상쇄시키면서 발생되는 비틀림을 방지하고 유입홀(14)로부터 유입되는 공기가 전달되도록 그 중앙에 오리피스(32)가 설치된 지지부(30)와;A support portion 30 having an orifice 32 installed in the center of the bellows 20 to prevent the torsion generated while canceling the vibration at the center thereof and to allow the air introduced from the inlet hole 14 to be transmitted;

하부 클램프(12)의 상부면에는 소정의 진동을 흡수하기 위하여 벨로우즈(20)가 수축 되었을 때, 좌굴현상을 방지하기 위하여 지지부(30)와 밀착 되도록 수개의 관통홀(41)이 형성되고, 그 상부에는 방진고무(42)가 설치된 스톱퍼(40)로 구성된 것에 의하여 달성된다.In the upper surface of the lower clamp 12, when the bellows 20 is contracted to absorb a predetermined vibration, several through holes 41 are formed to closely contact the support part 30 to prevent buckling. The upper part is achieved by the stopper 40 provided with the anti-vibration rubber 42 is provided.

따라서, 이 에어 스프링(10)에 진동이 전달되면, 벨로우즈(20)의 내부가 유입홀(14)로 유입된 공기에 의하여 완충작용이 이루어지며, 그 진동이 강해지면 스톱퍼(40)와 지지부(30)가 밀착되어 좌굴현상을 방지하게 되는 것이다.Therefore, when the vibration is transmitted to the air spring 10, the interior of the bellows 20 is buffered by the air introduced into the inlet hole 14, the vibration is stronger, the stopper 40 and the support ( 30) will be in close contact to prevent buckling.

즉, 벨로우즈(20)의 내압에 의한 스프링계수가 지지부를 경계로 하여 양분되기 때문에 스프링의 자유장도 양분되어 2개의 직렬연결 스프링을 설치한 것과 같은 효과를 얻을 수 있는 것이다.That is, since the spring coefficient due to the internal pressure of the bellows 20 is bisected at the boundary of the support, the free field of the spring is bisected to obtain the same effect as installing two series connection springs.

아하 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의해 상세히 설명하기로 한다.A preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래의 에어스프링의 형상을 보인 일부절결 측면도이고, 도 2는 본 고안의 에어스프링의 형상을 보인 일부절결 측면도이다.Figure 1 is a partially cutaway side view showing the shape of a conventional air spring, Figure 2 is a partially cutaway side view showing the shape of an air spring of the present invention.

이 도면에서 보이는 바와 같이 본 고안인 에어스프링의 내부에는 지지부와 스톱퍼가 추가 설치되어 그 기능이 향상되도록 한 것이다.As shown in this figure, the support and the stopper are additionally installed inside the air spring of the present invention to improve its function.

도 3은 지지부의 형상을 보인 일부절결 사시도로서, 이 지지부는 상부프랜지와 하부 프랜지로 나누어져 나사에 의하여 결합되어 있으며, 상부 프랜지의 중앙에는 오리피스가 형성되어 이를 통하여 공기가 이동되도록 한 것이다.3 is a partially cutaway perspective view showing the shape of the support, which is divided into an upper flange and a lower flange and is coupled by a screw, and an orifice is formed in the center of the upper flange to allow air to move therethrough.

도 4는 스톱퍼의 형상을 보인 일부절결 사시도로서, 하부 클램프에서 유입되는 공기가 이동되도록 측부에 수개의 관통홀이 형성되어 있으며, 상부에는 방진 고무가 설치된 것이다.Figure 4 is a partially cutaway perspective view showing the shape of the stopper, several through-holes are formed in the side to move the air flowing from the lower clamp, the upper part is installed with anti-vibration rubber.

본 고안은 에어 스프링에 관한 것으로서, 그 내부에 지지부와 스톱퍼를 신설함으로, 감쇄비를 향상시키고, 좌굴현상을 방지할 수 있도록한 것이다.The present invention relates to an air spring, by installing a support and a stopper therein, to improve the damping ratio and to prevent buckling phenomenon.

상기 에어 스프링은 반도체 및 정밀장비의 하부에 설치되어 방진 및 제진용으로 사용되는 것이다.The air spring is installed in the lower portion of the semiconductor and precision equipment is used for dust and vibration damping.

이 에어 스프링(10)은 상,하부에 상부클램프(11)와 하부 클램프(12)가 설치된다.The air spring 10 is provided with an upper clamp 11 and a lower clamp 12 on the upper and lower portions.

상기 클램프(11)(12)는 표면의 소정위치에 취부너트(13)가 형성되어 진동을 상쇄시키기 위한 물품의 하부에 고정설치되며, 타측은 지면등과 같이 물품이 놓여지는 바닥면에 고정설치되는 것이며, 하부 클램프(12)의 중앙에는 그 내부로 공기가 유입되는 유입홀(14)이 형성되어 있다.The clamps 11 and 12 are fixed to the bottom of the article is formed in the mounting nut 13 at a predetermined position of the surface to cancel the vibration, the other side is fixed to the bottom surface on which the article is placed, such as the ground In the center of the lower clamp 12, the inlet hole 14 through which air is introduced is formed.

이 클램프(11)(12)의 사이에는 도 2에서 도시된 바와 같이 벨로우즈(20)가 설치되며, 이 벨로우즈의 골 부분에는 그 형상을 유지할 수 있도록 지지해 주는 중간링(21)이 설치된다.A bellows 20 is provided between the clamps 11 and 12 as shown in FIG. 2, and an intermediate ring 21 is provided in the valley of the bellows so as to maintain its shape.

그리고, 이 벨로우즈(20)의 내부에는 지지부(30)와 스톱퍼(40)가 설치되는데, 이 지지부는 상부 프랜지(31)와 하부플랜지(33)가 나사 결합되어 이루어진 것이다.In addition, the bellows 20 is provided with a support part 30 and a stopper 40, and the support part is formed by screwing the upper flange 31 and the lower flange 33 together.

이 상부 프랜지(31)는 벨로우즈(20)의 중앙부분을 차단하고 있기 때문에 원활한 공기의 흐름을 유지하기 위하여 중앙에 오리피스(32)를 성형하여 공기의 흐름을 원활하게 한다.Since the upper flange 31 blocks the central portion of the bellows 20, the orifice 32 is formed in the center to maintain a smooth flow of air, thereby smoothing the flow of air.

그리고, 하부플랜지(33)는 중앙에 어에 스프링이 진동 및 하중에 의하여 수축될 때 스톱퍼(40)가 삽입되어 좌굴현상을 방지할 수 있도록 삽입홀(34)이 형성된다.The lower flange 33 has an insertion hole 34 formed to prevent the buckling phenomenon by inserting the stopper 40 when the spring is contracted by the vibration and the load on the center air.

이와 같이 결합된 지지부(30)는 도 2에서 도시된 바와 같이 2개의 주름관으로 이루어진 벨로우즈(20)의 중앙에 중간링(21)에 의하여 벨로우즈의 내부에 고정설치되는 것이다.The coupled support 30 is fixed to the inside of the bellows by an intermediate ring 21 at the center of the bellows 20 formed of two corrugated pipes as shown in FIG. 2.

상기 스톱퍼(40)는 측부에 하부클램프(11)(12)의 유입홀(14)에서 유입되는 공기가 벨로우즈(20)내부로 공기가 흐를 수 있도록 수개의 관통홀(41)이 형성되며, 그 상부에는 하부플랜지(33)의 삽입홀(34)에 삽입될 때 진동을 흡수 하기 위하여 방진고무(42)를 설치하는 것이다.The stopper 40 has a plurality of through-holes 41 are formed in the side so that air flowing from the inlet hole 14 of the lower clamps 11 and 12 flows into the bellows 20. The upper part is to install the anti-vibration rubber 42 to absorb the vibration when inserted into the insertion hole 34 of the lower flange (33).

따라서, 벨로우즈(20)의 내압에 의항 스프링계수가 지지부(30)를 경계로 하여 양분되기 때문에 스프링의 자유장도 양분되어 2개의 직결연결 스프링과 같다. 이것은 굴곡이 하나인 벨로우즈를 직렬로 연결한 것과 같은 효과를 발생한다.Therefore, since the spring coefficient of the bellows 20 is bisected by the support 30, the free length of the spring is also bisected, such as two direct connection springs. This has the same effect as connecting bellows with one bend in series.

Claims

It is installed in the lower part to offset the vibration generated in the semiconductor and precision equipment, and in order to fix it, a mounting nut 13 is formed on the surface, and a pair of upper and lower parts are respectively installed, and an inlet hole for introducing air in the lower part ( A clamp 11, 12 formed with 14;

A bellows 20 installed between the clamps 11 and 12 positioned above and below the intermediate ring 21 between the clamps 11 and 12;

A support portion 30 having an orifice 32 installed in the center of the bellows 20 to prevent the torsion generated while canceling the vibration at the center thereof and to allow the air introduced from the inlet hole 14 to be transmitted;

In the upper surface of the lower clamp 12, when the bellows 20 is contracted to absorb a predetermined vibration, several through holes 41 are formed to closely contact the support part 30 to prevent buckling. Air spring, characterized in that consisting of a stopper 40 is installed on the top of the anti-vibration rubber (42).

The bellows (20) of claim 1, wherein the support part (30) has an upper flange (31) having an orifice (32) formed at its center and a lower flange (33) having an insertion hole (34) fastened with screws (35). Air spring, characterized in that installed in the inner center of the.