KR200236086Y1 - Apparatus for supplying slurry - Google Patents
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Abstract
본 고안에 따른 슬러리 공급 장치는 점성을 가진 슬러리를 균일하게 공급하는 장치이다. 이 장치는 용기, 가압부, 출로관 및 발진부를 포함한다. 용기에는 슬러리가 저장된다. 가압부는 용기 내부에 기체를 주입함으로써 슬러리에 압력을 인가한다. 출로관은 그 일단부가 용기 내부에 삽입되고 다른 일단부가 슬러리의 공급 지점에 설치된다. 발진부는 용기 내에 저장된 슬러리가 장시간 사용되지 않을 경우에 용기를 일정한 세기로 진동시킨다.Slurry supply apparatus according to the present invention is a device for uniformly supplying a slurry having a viscosity. The apparatus includes a vessel, a pressurizing portion, a discharge pipe and an oscillation portion. The slurry is stored in the container. The pressurizing section applies pressure to the slurry by injecting gas into the vessel. The exit pipe has one end inserted into the container and the other end installed at the supply point of the slurry. The oscillation portion vibrates the container to a constant intensity when the slurry stored in the container is not used for a long time.
Description
본 고안은, 슬러리 공급 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 평판 디스플레이의 제조 공정 등에서 사용되는 포토레지스트(photoresist)와 같은 점성을 가진 슬러리를 공급하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a slurry supply apparatus, and more particularly, to an apparatus for supplying a slurry having a viscosity such as a photoresist used in a manufacturing process of a flat panel display or the like.
도 1을 참조하면, 종래의 슬러리 공급 장치는 용기(11), 가압부(12),출로관(13) 및 저장량 감지부(15)를 포함한다. 용기(11)에는 공급될 슬러리(14)가 저장된다. 가압부(12)는 용기(11) 내부에 기체 예를 들어, 공기 또는 질소가스를 주입함으로써 슬러리(14)에 압력을 인가한다. 출로관(13)은 그 일단부가 용기(11) 내부에 삽입되고 다른 일단부가 슬러리(14)의 공급 지점에 설치된다. 가압부(12)에 의하여 용기(11) 내의 슬러리(14)가 하강 압력을 받으면, 슬러리(14)는 상대적으로 낮은 압력의 출로관(13)의 내부를 통하여 공급 지점까지 유출된다. 저장량 감지부(15)는 용기(11)의 무게를 감지하여 하한값에 이르면 경보한다.Referring to FIG. 1, the conventional slurry supply apparatus includes a container 11, a pressurizing unit 12, a discharge pipe 13, and a storage amount detecting unit 15. In the container 11, the slurry 14 to be supplied is stored. The pressurization part 12 applies pressure to the slurry 14 by injecting a gas, for example, air or nitrogen gas, into the container 11. One end of the outlet pipe 13 is inserted into the container 11 and the other end thereof is installed at the supply point of the slurry 14. When the slurry 14 in the container 11 is pushed down by the pressurization part 12, the slurry 14 flows out to the supply point through the inside of the exit pipe 13 of relatively low pressure. The storage amount detecting unit 15 detects the weight of the container 11 and alerts when the lower limit value is reached.
상기와 같은 종래의 슬러리 공급 장치를 장시간 사용하지 않는 경우, 용기(11) 내의 슬러리(14)가 자체적으로 응집되어 그 내부에 덩어리들이 형성된다. 이와 같은 덩어리들이 출로관(13)의 내부를 통하여 공급 지점까지 유출되는 경우, 다음 공정이 정상적으로 이루어지지 못하여 제품 불량의 요인이 된다. 따라서, 통상적으로 300 내지 500 cm3의 슬러리(14)를 버리고 사용해야 하므로, 슬러리 재료비의 상승 요인이 되고 있다. 이와 같은 문제점은 슬러리(14)가 포토레지스트와 안료의 혼합액인 경우에 더욱 심각하다.If the conventional slurry supply apparatus as described above is not used for a long time, the slurry 14 in the container 11 agglomerates itself to form lumps therein. When such agglomeration flows out to the supply point through the inside of the outlet pipe 13, the next process may not be performed normally, which causes product defects. Therefore, since the slurry 14 of 300-500 cm <3> must be normally used, it becomes a raise factor of a slurry material cost. This problem is more serious when the slurry 14 is a mixture of photoresist and pigment.
본 고안의 목적은 장시간 사용하지 않아도 슬러리가 응집되지 않게 하여 슬러리 재료비를 절감할 수 있는 슬러리 공급 장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a slurry supply device that can reduce the slurry material cost by preventing the slurry from agglomerating even if not used for a long time.
도 1은 종래의 슬러리 공급 장치를 보여주는 측단면도이다.1 is a side cross-sectional view showing a conventional slurry supply apparatus.
도 2는 본 고안의 일 실시예에 의한 슬러리 공급 장치를 보여주는 측단면도이다.Figure 2 is a side cross-sectional view showing a slurry supply apparatus according to an embodiment of the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
11, 21...용기, 12, 22...가압부,11, 21 ... container, 12, 22 ... pressure part,
13, 23...출로관, 14, 24...슬러리,13, 23 ... exit hall, 14, 24 ... slurry,
15, 25...저장량 감지부, 211...용기 지지대,15, 25 storage capacity, 211 container support,
221...모터, 222...모터축,221 motor, 222 motor shaft,
223...동력 변환부, 224...지지대축.223 ... power converter, 224 support shaft.
상기 목적을 이루기 위한 본 고안의 슬러리 공급 장치는 점성을 가진 슬러리를 균일하게 공급하는 장치이다. 이 장치는 용기, 가압부, 출로관 및 발진부를 포함한다. 상기 용기에는 상기 슬러리가 저장된다. 상기 가압부는 상기 용기 내부에 기체를 주입함으로써 상기 슬러리에 압력을 인가한다. 상기 출로관은 그 일단부가 상기 용기 내부에 삽입되고 다른 일단부가 상기 슬러리의 공급 지점에 설치된다. 상기 발진부는 상기 용기 내에 저장된 슬러리가 장시간 사용되지 않을 경우에 상기 용기를 일정한 세기로 진동시킨다.The slurry supply device of the present invention for achieving the above object is a device for uniformly supplying a slurry having a viscosity. The apparatus includes a vessel, a pressurizing portion, a discharge pipe and an oscillation portion. The slurry is stored in the vessel. The pressurizing unit applies pressure to the slurry by injecting gas into the vessel. The outlet pipe has one end inserted into the vessel and the other end installed at the supply point of the slurry. The oscillation unit vibrates the container at a constant intensity when the slurry stored in the container is not used for a long time.
본 고안의 슬러리 공급 장치에 의하면, 상기 용기 내에 저장된 슬러리가 장시간 사용되지 않을 경우에 상기 발진부에 의하여 일정한 세기로 진동될 수 있다. 이에 따라, 장시간 사용하지 않아도 슬러리가 응집되지 않게 하여 모든 슬러리를 버리지 않고 사용할 수 있음에 따라, 슬러리 재료비를 절감할 수 있다.According to the slurry supply apparatus of the present invention, when the slurry stored in the container is not used for a long time it can be vibrated by the oscillation unit with a constant intensity. Accordingly, the slurry material cost can be reduced because the slurry can not be agglomerated even if not used for a long time and all the slurry can be used without discarding.
이하 본 고안에 따른 바람직한 실시예가 상세히 설명된다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail.
도 2를 참조하면, 본 고안에 따른 슬러리 공급 장치는 용기(21), 가압부(22), 출로관(23), 저장량 감지부(25) 및 발진부(221, 222, 223, 224)를 포함한다.Referring to FIG. 2, the slurry supply apparatus according to the present invention includes a container 21, a pressurizing unit 22, a discharge pipe 23, a storage amount detecting unit 25, and an oscillating unit 221, 222, 223, and 224. do.
용기(21)에는 공급될 슬러리(24)가 저장된다. 가압부(22)는 용기(21) 내부에 공기 또는 질소가스를 주입함으로써 저장된 슬러리(24)에 적절한 압력 예를 들어, 0.3 내지 0.4 Kg/cm2의 압력을 인가한다. 출로관(23)은 그 일단부가 용기(21) 내부에 삽입되고 다른 일단부가 슬러리(24)의 공급 지점에 설치된다. 가압부(22)에 의하여 용기(21) 내의 슬러리(24)가 하강 압력을 받으면, 슬러리(24)는 상대적으로 낮은 압력의 출로관(23)의 내부를 통하여 공급 지점까지 유출된다. 저장량 감지부(25)는 용기(21)의 무게를 감지하여 하한값에 이르면 경보한다.In the container 21, the slurry 24 to be supplied is stored. The pressurization section 22 applies an appropriate pressure, for example, a pressure of 0.3 to 0.4 Kg / cm 2 , to the stored slurry 24 by injecting air or nitrogen gas into the vessel 21. One end of the outlet pipe 23 is inserted into the container 21 and the other end of the outlet pipe 23 is installed at the supply point of the slurry 24. When the slurry 24 in the container 21 is pressed by the pressurization part 22, the slurry 24 flows out to the supply point through the inside of the outlet pipe 23 of relatively low pressure. The storage amount detecting unit 25 detects the weight of the container 21 and alerts when the lower limit value is reached.
발진부(221, 222, 223, 224)는 모터(221), 모터축(222), 동력 변환부(223) 및 지지대축(224)을 포함한다. 용기(21) 내에 슬러리(24)가 저장된 상태에서 장시간 사용되지 않을 경우, 모터(221)는 일정한 낮은 회전력으로써 동작한다. 동력 변환부(223)는 모터축(222)의 회전 운동에 의하여 지지대축(224)이 직선 왕복 운동을 수행하게 한다. 지지대축(224)이 직선 왕복 운동을 하면, 용기(21)도 직선 왕복 운동을 수행함에 따라 용기(21) 내에 저장된 슬러리(24)가 낮은 압력을 주기적으로 받게 된다. 여기서, 슬러리(24)는 외부적 가압에 의하여 연화되고 가압이 없으면 복원되는 성질(thixotrophy)을 가지므로, 장시간 사용하지 않는 경우에도 응집되지 않게 된다.The oscillator 221, 222, 223, 224 includes a motor 221, a motor shaft 222, a power converter 223, and a support shaft 224. When the slurry 24 is not used for a long time in the state in which the slurry 24 is stored in the container 21, the motor 221 operates with a constant low rotational force. The power converter 223 causes the support shaft 224 to perform a linear reciprocating motion by the rotational motion of the motor shaft 222. When the support shaft 224 linearly reciprocates, the container 21 also performs a linear reciprocating motion so that the slurry 24 stored in the vessel 21 is periodically subjected to low pressure. Here, the slurry 24 is softened by external pressurization and has a property of restoring without pressurization (thixotrophy), and thus does not aggregate even when not used for a long time.
모터(221)는 낮은 회전력으로써 구동되므로, 모터(221) 구동에 사용되는 소비전력의 비용은 응집된 슬러리(24)를 폐기함에 따른 재료 비용에 비하여 매우 낮다.Since the motor 221 is driven with a low rotational force, the cost of power consumption used to drive the motor 221 is very low compared to the material cost of discarding the aggregated slurry 24.
이와 같이 본 고안의 슬러리 공급 장치에 의하면, 용기 내에 저장된 슬러리가 장시간 사용되지 않을 경우에 상기 발진부에 의하여 일정한 세기로 진동될 수 있다. 이에 따라, 장시간 사용하지 않아도 슬러리가 응집되지 않게 하여 모든 슬러리를 버리지 않고 사용할 수 있음에 따라, 슬러리 재료비를 절감할 수 있다.As described above, according to the slurry supply apparatus of the present invention, when the slurry stored in the container is not used for a long time, the oscillation unit may vibrate with a constant intensity. Accordingly, the slurry material cost can be reduced because the slurry can not be agglomerated even if not used for a long time and all the slurry can be used without discarding.
본 고안은, 상기 실시예에 한정되지 않고, 청구범위에서 정의된 고안의 사상 및 범위 내에서 당업자에 의하여 변형 및 개량될 수 있다.The present invention is not limited to the above embodiments, and may be modified and improved by those skilled in the art within the spirit and scope of the invention defined in the claims.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019990010182U KR200236086Y1 (en) | 1999-06-09 | 1999-06-09 | Apparatus for supplying slurry |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019990010182U KR200236086Y1 (en) | 1999-06-09 | 1999-06-09 | Apparatus for supplying slurry |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20010000367U KR20010000367U (en) | 2001-01-05 |
| KR200236086Y1 true KR200236086Y1 (en) | 2001-09-29 |
Family
ID=54763905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR2019990010182U KR200236086Y1 (en) | 1999-06-09 | 1999-06-09 | Apparatus for supplying slurry |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR200236086Y1 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100412337B1 (en) * | 2001-10-26 | 2003-12-31 | (주)에이에스티 | Slurry settle preventing apparatus for CMP equipment |
| KR100412336B1 (en) * | 2001-10-26 | 2003-12-31 | (주)에이에스티 | Slurry supplying apparatus for CMP equipment |
| KR100444774B1 (en) * | 2001-12-29 | 2004-08-16 | 주식회사 하이닉스반도체 | Device For Supplying The Slurry |
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1999
- 1999-06-09 KR KR2019990010182U patent/KR200236086Y1/en not_active IP Right Cessation
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|---|---|---|---|---|
| KR100412337B1 (en) * | 2001-10-26 | 2003-12-31 | (주)에이에스티 | Slurry settle preventing apparatus for CMP equipment |
| KR100412336B1 (en) * | 2001-10-26 | 2003-12-31 | (주)에이에스티 | Slurry supplying apparatus for CMP equipment |
| KR100444774B1 (en) * | 2001-12-29 | 2004-08-16 | 주식회사 하이닉스반도체 | Device For Supplying The Slurry |
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| KR20010000367U (en) | 2001-01-05 |
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