KR200205120Y1 - Block assembly type gases supplying device - Google Patents
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Abstract
본 고안은 가스 공급장치에 설치되는 블록과 블록을 용접 없이 바디로 직접 연결함으로써, 먼지 발생 정도를 감소시키고 모재의 물성 변화점을 줄이며 블록의 조립 및 교체시 작업의 편리성을 향상시키기 위한 것이다.The present invention is to directly connect the block and the block installed in the gas supply to the body without welding, to reduce the degree of dust generation, to reduce the point of change of the physical properties of the base material and to improve the convenience of work when assembling and replacing the block.
이러한 가스 공급장치는 각각의 블록(10)의 하방에 형성하여 가스가 출입되게 하는 플레이트(12)와, 상기 플레이트(12)의 저면이 안착되도록 상면 및 측면에 평면을 형성하고 상기 플레이트(12)에 연통되는 가스공(32,33,34,35)을 상측 및 양측면에 형성한 각각의 바디(30)와, 상기 바디(30)의 상측 가스공(32,33)과 일치하는 가스공(22,24)을 형성하여 플레이트(12)의 저면과 바디(30)의 상면에 밀착되는 가스켓(20)과, 상기 바디(30)의 측면에 형성된 가스공(34,35)과 일치하는 가스공(42,44)을 형성하여 두 개의 바디(30)의 측면 사이에 밀착되는 가스켓(40)을 포함하여 구성된 것으로서, 기존의 배관 구조에 비하여 용접 부위를 현저하게 감소시킴으로써 모재의 물성 변화점을 줄일 수 있어 누출 원인의 요소를 극소화할 수 있는 효과가 있고, 조립의 편리성과 감소된 배관 구조로 인하여 전체적인 배관 구성의 크기를 최소화하고 그로 인한 퍼지 시간의 단축으로 생산성을 향상시킬 수 있다.The gas supply device is formed below each block 10 to form a plate 12 to allow gas to enter and exit, and to form a flat surface on the upper and side surfaces so that the bottom of the plate 12 is seated and the plate 12. Each body 30 having gas holes 32, 33, 34, 35 communicating with the upper side and both side surfaces thereof, and a gas hole 22 coinciding with the upper gas holes 32, 33 of the body 30. And a gas gasket 20 which is formed to be in close contact with the bottom surface of the plate 12 and the top surface of the body 30 and the gas holes 34 and 35 formed on the side surface of the body 30. 42, 44) to include a gasket 40 is in close contact between the two sides of the body 30, as compared to the existing pipe structure can significantly reduce the weld site change point to reduce the change in the physical properties of the base material There is an effect that can minimize the element of the cause of leakage, convenience of assembly and reduced piping structure This can improve productivity by minimizing the size of the overall piping configuration and thereby reducing the purge time.
Description
본 고안은 블록 조립식 가스 공급장치에 관한 것으로서, 특히 화학.제약.반도체 제조 공정에 사용되는 유독성 가스를 공급하는 가스 공급장치에 설치되는 블록과 블록을 용접 없이 바디로 직접 연결함으로써, 먼지 발생 정도를 감소시키고 모재의 물성 변화점을 줄이며 블록의 조립 및 교체시 작업의 편리성을 향상시키는 블록 조립식 가스 공급장치에 관한 것이다.The present invention relates to a block assembly gas supply device, and in particular, by directly connecting the block and the block installed in the gas supply device for supplying toxic gas used in chemical, pharmaceutical, and semiconductor manufacturing processes to the body without welding, The present invention relates to a block prefabricated gas supply device which reduces the reduction, decreases the point of change of physical properties of the base metal, and improves the convenience of operation when assembling and replacing the block.
일반적으로 반도체 집적회로에서는 반도체의 주원료로 사용되는 실리콘은 단결정 형태의 웨이퍼로서 세척공정.산화공정.증착공정.전기적 특성을 갖도록 하는 불순물 주입공정.식각공정 등을 거치게 된다.In general, in semiconductor integrated circuits, silicon, which is used as a main raw material of semiconductors, is a single crystal wafer, which undergoes a cleaning process, an oxidation process, a deposition process, an impurity implantation process, and an etching process to have electrical characteristics.
이러한 반도체 제조공정에서는 최근 선폭이 0.25㎛ 이하로 고집적화 됨에 따라, 미세한 먼지 입자나 오염된 공기가 극소량 침투된다 하더라도 누설접합이나 이상항복 등의 전기적 문제를 발생시켜 전체에 치명적인 악영향을 미칠 수 있으므로, 반도체 공정은 아주 미세한 먼지나 오염된 공기가 전혀 없는 곳에서 생산되어야 양질의 칩을 획득할 수 있게 된다.In the semiconductor manufacturing process, as the line width has recently been highly integrated to 0.25 μm or less, even if minute dust particles or contaminated air are infiltrated in a small amount, they may cause electrical problems such as leakage bonding or abnormal yield, which may have a fatal adverse effect on the entire semiconductor. The process must be produced in the absence of very fine dust or contaminated air in order to obtain good chips.
이온 주입 공정시 사용되는 가스로는, 주로 P형으로 AsH3,B2H6가스 등이며, N형으로는 PH3가스 등을 사용한다. 이러한 AsH3, B2H6, PH3는 매우 높은 독성을 지니고 있고 고압의 용기에 채워져 있게 된다. 따라서 이러한 유독 가스들을 안전하게 사용하고 고순도를 유지할 수 있는 기구장치가 필요하게 된다. 즉, 그 기구장치는 3500PSI 이상의 고압에서도 누설범위가 1×10-11CC/sec(0.0029cc/년) 이하이어야 하며, 먼지는 0.001μ 3EA/ft2이하이어야 한다.Ion implantation process gas is used in, and the like mainly in A s H 3, B 2 H 6 gas P-type, and the like using the PH 3 gas as the N-type. These A s H 3 , B 2 H 6 , and PH 3 are very toxic and filled in a high pressure vessel. Therefore, there is a need for a device that can safely use these toxic gases and maintain high purity. That is, the apparatus should have a leakage range of 1 × 10 -11 CC / sec (0.0029 cc / year) or less and a dust of 0.001 μ3EA / ft 2 or less even at a high pressure of 3500 PSI or more.
상기에 언급한 유독가스는 공기중의 산소와 폭발적으로 결합하는 성질로 인하여, 누설범위가 조금만 커져도 대단히 위험해진다. 이러한 이유 때문에 종래에는 이 유독가스의 사용 후 배관으로부터 외부의 가스를 배출시킬 경우 안전을 위하여 미리 배관 내에서 N2등과 반응시켜 폭발성이 없는 가스로 전환시켜 배출시킴으로써 배관내의 가스를 퍼지하였다.The toxic gas mentioned above is very dangerous even if the leakage range is small due to the property of explosive bonding with oxygen in the air. For this reason, conventionally, this was pre-reacted with N 2 in the piping for the safety and purged with the gas in the pipe by the discharge was converted to the non-explosive gas, if toxic emissions to the outside of the gas from the gas pipe after use.
이러한 가스 공급장치로서 종래에는 제 1도에 도시된 바와 같이, 프로세스 가스로 사용되는 유독성 가스를 실린더로부터 프로세스 라인으로 공급해 주기 위한 공급 배관이 설치되고, 이 공급 배관에는 압력 표시기(HPT)와 격막밸브(PGI)와 필터(MF)와 격막밸브(HPI)와 압력 조정기(REG)와 격막밸브(LPI)와 필터(LF)가 차례로 연결되어 있다. 이러한 각각의 블록(이하에서는 압력 표시기.격막밸브.필터.체크밸브.압력조정기.진공 발생기 등의 부품들을 통칭하여 '블록'이라 칭한다.)과 블록사이의 연결은 배관으로 용접되어 있다.As such a gas supply device, a supply pipe for supplying a toxic gas, which is used as a process gas, from a cylinder to a process line is conventionally installed as shown in FIG. 1. The supply pipe includes a pressure indicator (HPT) and a diaphragm valve. (PGI), filter (MF), diaphragm valve (HPI), pressure regulator (REG), diaphragm valve (LPI) and filter (LF) are connected in sequence. The connection between each of these blocks (hereinafter referred to as components such as pressure indicator, diaphragm valve, filter, check valve, pressure regulator, vacuum generator, etc. collectively) is welded by pipe.
또한 상기의 배관과 블록에 남아 있는 잔류가스를 퍼지하기 위하여 격막밸브(PNBV)와 체크밸브(PNCV)와 격막밸브(PIV)를 격막밸브(PGI)에 연결하여 저압의 N2가스를 공급하고, 이 가스가 격막밸브(PGI)와 필터(MF)와 격막밸브(HPI)와 압력 조정기(REG)를 지난 뒤 배출될 수 있도록 압력 조정기(REG)에 연결하여 격막밸브(LPV)와 체크밸브(LCV)와 진공 발생기(VG)를 설치한다. 이 진공 발생기(VG)에는 격막밸브(GNBV)와 압력 표시기(VPT)와 체크밸브(CV4B)를 연결하여 N2가스를 공급함으로써 퍼지된 가스를 외부로 배출하고 있다.In addition, in order to purge the residual gas remaining in the pipe and the block, the diaphragm valve (PNBV), the check valve (PNCV) and the diaphragm valve (PIV) is connected to the diaphragm valve (PGI) to supply a low pressure N 2 gas, The gas is connected to the pressure regulator (REG) so that the gas can be discharged after passing through the diaphragm valve (PGI), the filter (MF), the diaphragm valve (HPI) and the pressure regulator (REG). The diaphragm valve (LPV) and the check valve (LCV) ) And the vacuum generator (VG). The vacuum generator VG is connected with a diaphragm valve GNBV, a pressure indicator VPT, and a check valve CV4B to supply N 2 gas to discharge the purged gas to the outside.
이러한 퍼지 작용 후에 잔류된 유독 가스를 완전히 퍼지하기 위하여, 퍼지 라인의 격막밸브(PNBV)와 체크밸브(PNCV)와 격막밸브(PIV)에 고압의 N2가스를 공급하고, 이러한 고압의 N2가스가 격막밸브(PGI)와 필터(MF)를 지난 뒤 배출될 수 있도록 필터(MF)에 격막밸브(HPV)와 체크밸브(HCV)를 연결하고 진공 발생기(VG)에 연결하고 있다.In order to completely purge the toxic gas remaining after this purging action, supplying a N 2 gas of high pressure to the diaphragm valve (PNBV) and a check valve (PNCV) and a diaphragm valve (PIV) of the purge line and, N 2 gas in such a high-pressure The diaphragm valve (HPV) and the check valve (HCV) are connected to the filter (MF) and connected to the vacuum generator (VG) so that they can be discharged after passing the diaphragm valve (PGI) and the filter (MF).
그런데, 이와 같은 종래의 가스 공급장치는 용접 요소가 많아 용접 부위의 미세오염 현상과 배관을 연결한 용접 부위의 부식 속도가 모재에 비하여 현저히 빨라 미세 먼지의 발생 및 누출 위험성을 내포하고 있을 뿐만 아니라, 배관의 밴딩으로 인한 가스의 정체나 가스 흐름의 서행 및 모재의 물성 변화로 인한 먼지 발생 등의 문제점을 가지고 있으며, 또한 생산성 측면에서도 용접 부위가 많아 작업 생산성의 저하 및 부품 교체시 작업의 어려움이 있다.However, such a conventional gas supply device has a lot of welding elements, and the corrosion rate of the welding area connecting the pipe and the corrosion rate of the welding area are significantly faster than that of the base material, which not only includes the occurrence of fine dust and leakage, It has problems such as gas congestion due to bending of pipes, dust flow due to gas flow slowdown and changes in the properties of the base metal.In addition, there are many welded parts in terms of productivity. .
본 고안은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위한 것으로서, 용접 부분을 제거하여 데드존을 줄임으로써 먼지 발생 우려를 최소화하고, 또한 블록과 블록을 직접 연결함으로써 선체 배관의 크기를 줄여 원료 가스의 경로를 단축시키며 작업의 편리성으로 생산성을 극대화시키기 위한 것이다.The present invention is to solve the conventional problems as described above, by minimizing the risk of dust generation by reducing the dead zone by removing the welded part, and also by reducing the size of the hull pipe by directly connecting the block and the block to the source gas path To maximize productivity with ease of operation.
도 1은 종래 가스 공급장치의 평면도.1 is a plan view of a conventional gas supply device.
도 2는 본 고안에 따른 가스 공급장치의 평면도.2 is a plan view of a gas supply device according to the present invention.
도 3은 본 고안에 따른 가스 공급장치의 실시예를 나타낸 사시도.3 is a perspective view showing an embodiment of a gas supply device according to the present invention.
도 4는 본 고안에 따른 가스 공급장치의 실시예를 분해 도시한 사시도.Figure 4 is an exploded perspective view showing an embodiment of a gas supply device according to the present invention.
〈도면의 주요부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>
10 : 블록 14 : 볼트10 block 14 bolt
12 : 플레이트 20 : 가스켓12 plate 20 gasket
22,24,32,33,34,35,42,44 : 가스공22,24,32,33,34,35,42,44: gas ball
30 : 바디 36 : 볼트30: body 36: bolt
40 : 가스켓40: gasket
본 고안의 구성을 도 2를 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the configuration of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 2.
프로세스 가스로 사용되는 유독성 가스를 실린더로부터 프로세스 라인으로 공급하기 위하여 압력 표시기(HPT)와 격막밸브(PGI)와 필터(MF)와 격막밸브(HPI)와 압력 조정기(REG)와 격막밸브(LPI)와 필터(LF)가 차례로 연결된다.Pressure indicator (HPT), diaphragm valve (PGI), filter (MF), diaphragm valve (HPI), pressure regulator (REG) and diaphragm valve (LPI) to supply toxic gas used as process gas from the cylinder to the process line. And filter (LF) are connected in turn.
상기의 압력 표시기(HPT)는 실린더 연결구와 격막밸브(PGI) 사이에 연결되어 통로 역할을 하고, 필터(MF)는 격막밸브(PGI)를 통해 유입되는 프로세스 가스의 먼지 입자를 걸러주는 역할을 하는 동시에 격막 밸브(PGI)와 격막 밸브(HPV)로 연결되기 위한 통로 역할을 하며, 압력 조정기(REG)는 프로세스 가스와 퍼지 가스의 양방향 압력을 조절한다.The pressure indicator HPT is connected between the cylinder connector and the diaphragm valve PGI to serve as a passage, and the filter MF filters the dust particles of the process gas introduced through the diaphragm valve PGI. At the same time serves as a passage for connecting the diaphragm valve (PGI) and the diaphragm valve (HPV), the pressure regulator (REG) regulates the bi-directional pressure of the process gas and purge gas.
또한 상기의 블록 들에 남아 있는 잔류가스를 퍼지하기 위하여 격막밸브(PNBV)와 체크밸브(PNCV)를 압력 표시기(HPT)에 연결하여 저압의 N2가스를 공급하고, 이 압력 표시기(HPT)와 격막밸브(PGI)와 필터(MF)와 격막밸브(HPV)와 압력 조정기(REG)를 지난 뒤 배출될 수 있도록 압력 조정기(RGE)로부터 격막밸브(LPT)와 퍼지밸브(LPV)와 체크밸브(LCV)와 체크밸브(HCV)를 설치하여 배출구(VENT)로 연결한다.In addition, a diaphragm valve (PNBV) and a check valve (PNCV) are connected to a pressure indicator (HPT) to supply a low pressure N 2 gas to purge the residual gas remaining in the blocks, and the pressure indicator (HPT) and Diaphragm valves (LPT), purge valves (LPV) and check valves from the pressure regulator (RGE) to be discharged after passing through the diaphragm valve (PGI), filter (MF), diaphragm valve (HPV) and pressure regulator (REG). LCV) and check valve (HCV) are installed and connected to outlet (VENT).
이러한 퍼지 작용 후에 잔류된 유독 가스를 완전히 퍼지하기 위하여, 퍼지 라인의 격막밸브(PNBV)와 체크밸브(PNCV)와 압력 표시기(HPT)에 고압의 N2가스를 공급하고, 이 압력 표시기(HPT)와 격막밸브(PGI)를 지난 뒤 배출구(VENT)로 배출될 수 있도록 격막밸브(PGI)에 퍼지공급밸브(PIV)와 배출압력 표시기(VPT)를 연결하고 체크밸브(HCV)로 연결한다.In order to completely purify the toxic gas remaining after this purge action, a high pressure N 2 gas is supplied to the diaphragm valve PNBV, the check valve PNCV and the pressure indicator HPT of the purge line, and this pressure indicator HPT is provided. Connect the purge supply valve (PIV) and the discharge pressure indicator (VPT) to the diaphragm valve (PGI) and check valve (HCV) to pass through the diaphragm valve (PGI).
따라서 이러한 가스 공급장치는 가스 실린더에 저장된 프로세스 가스가 실린더 연결구를 통하여 압력표시기(HPT)와 격막 밸브(PGI)를 지나서 유입되고, 먼지 입자를 걸러주는 필터(MF)를 지나서 격막 밸브(HPV)를 지난 후 미세 먼지 입자를 걸러주는 필터(LF)를 지나서 챔버 공급구로 공급되며, 오염된 프로세스 가스를 퍼지시키기 위하여 격막밸브(HPI)와 실린더 연결구를 차단시킨 후 퍼지 가스인 고압의 P-N2를 격막밸브(PNBV)를 통하여 유입시켜 블록 내의 잔존 가스나 불순물을 배출구(VENT)로 배출되게 한다.Therefore, the gas supply device flows the process gas stored in the gas cylinder through the pressure indicator (HPT) and the diaphragm valve (PGI) through the cylinder connector, and passes the diaphragm valve (HPV) through the filter (MF) that filters the dust particles. After passing through the filter (LF) to filter out the fine dust particles, it is supplied to the chamber supply port, and the diaphragm valve (HPI) and the cylinder connector are shut off to purge the contaminated process gas, and then the high-pressure P-N2 membrane is purged. Through the valve PNBV, the residual gas or impurities in the block are discharged to the outlet VENT.
이하에서는 상기와 같은 가스 공급장치의 조립식 연결구조에 대한 하나의 양호한 실시예를 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다.Hereinafter, one preferred embodiment of the prefabricated connection structure of the gas supply device as described above will be described with reference to FIGS. 3 and 4.
가스 실린더의 유독성 가스를 프로세서 라인으로 공급하는 가스 공급장치의 각종 블록(10)을 연결하기 위하여, 가스가 하방으로 출입되게 상기 블록(10)의 하방에 형성한 플레이트(12)와, 상기 플레이트(12)의 저면이 안착되도록 상면 및 측면에 평면을 형성하고 상기 플레이트(12)에 연통되는 가스공(32,33,34,35)을 상측 및 양측면에 형성한 바디(30)와, 상기 바디(30)의 상측 가스공(32,33)과 일치하는 가스공(22,24)을 형성하여 플레이트(12)의 저면과 바디(30)의 상면에 밀착되는 가스켓(20)과, 상기 바디(30)의 측면에 형성된 가스공(34,35)과 일치하는 가스공(42,44)을 형성하여 두 개의 바디(30)의 측면 사이에 밀착되는 가스켓(40)으로 구성되는 조립식 블록 연결구조를 구비한다.In order to connect the various blocks 10 of the gas supply device for supplying the toxic gas of the gas cylinder to the processor line, the plate 12 and the plate (12) formed below the block 10 so that the gas flows in and out A body 30 having a flat surface on the top and side surfaces of the bottom surface 12 and having gas holes 32, 33, 34, 35 communicating with the plate 12 formed on the top and both sides thereof; A gasket 20 which is formed to correspond to the upper surface of the body 30 and the bottom surface of the plate 12 by forming gas holes 22 and 24 coincident with the upper gas holes 32 and 33 of the upper body 30 and the body 30. It is provided with a prefabricated block connection structure consisting of a gasket (40) in close contact between the sides of the two body 30 to form a gas hole (42,44) matching the gas hole (34,35) formed on the side of do.
상기 플레이트(12)와 가스켓(20)과 바디(30)의 상면은 다수의 볼트(14)를 사용하여 체결하고, 상기 바디(30)의 측면과 가스켓(40)과 다른 바디(30)의 측면은 다수의 볼트(36)를 사용하여 체결하여 필요에 따라 용이하게 분리 및 결합할 수 있게 한다.The upper surface of the plate 12, the gasket 20 and the body 30 is fastened using a plurality of bolts 14, the side of the body 30 and the side of the gasket 40 and the other body 30 Is fastened using a plurality of bolts 36 so that they can be easily separated and combined as needed.
이와 같은 가스켓(40)은 블록(10)과 블록(10) 사이에서 가스가 누출되는 것을 방지하기 위하여 금속으로 된 제품을 사용하고, 각 부품은 바디(30)에 몰트를 이용하여 고정한다.The gasket 40 uses a product made of metal to prevent the gas from leaking between the block 10 and the block 10, and each part is fixed to the body 30 by using a malt.
이러한 가스켓(20,40)은 바디(30)의 상면 및 측면의 크기와 일치하게 제조하여 가스켓(20,40)을 바디(30)의 상면과 측면에 안착시키는 작업으로 가스켓(20,40)의 가스공(22,24,42,44)이 바디(30)의 가스공(32,33,34,35)과 일치되게 한다.The gaskets 20 and 40 are manufactured to match the size of the top and side surfaces of the body 30 so as to seat the gaskets 20 and 40 on the top and side surfaces of the body 30. The gas holes 22, 24, 42, and 44 coincide with the gas holes 32, 33, 34, and 35 of the body 30.
또한 바디(30)의 상측 가스공(32)은 가스가 상측의 블록(10)으로 유입되는 데 사용되고, 또 다른 상측 가스공(33)은 블록(10)으로 유입된 가스가 다시 바디(30)로 배출되는 데 사용되며, 바디(30)의 측면에 형성된 가스공(34)은 공급 가스의 이송로로 사용되고, 또 다른 측면의 가스공(35)은 퍼지 가스의 이송로로 사용된다.In addition, the upper gas hole 32 of the body 30 is used to inject gas into the upper block 10, and another upper gas hole 33 is the gas introduced into the block 10 again the body 30 The gas hole 34 formed on the side of the body 30 is used as a delivery path for the supply gas, and the gas hole 35 on the other side is used as the delivery path for the purge gas.
따라서 블록(10)이 각각 설치된 다수의 바디(30)를 일렬로 연결하여 설치할 경우, 일측의 바디(30)로 공급된 가스는 각각의 가스공(32,33,34,35)을 통하여 그 상측의 블록(10)을 지나 다시 연결된 타측의 바디(30)로 공급되는 과정을 거치게 된다.Therefore, when the blocks 10 are installed in a row in which a plurality of bodies 30 are installed, respectively, the gas supplied to the body 30 on one side is upper side through the respective gas holes 32, 33, 34, and 35. After passing through the block 10 is passed through the process of being supplied to the other body 30 is connected again.
이러한 가스 공급장치는 각각의 블록(10)을 가스켓(20,40)을 사용하여 실링하며 각각의 바디(30)에 설치한 후 바디(30) 끼리 체결하여 조립을 완료함으로써, 제조시의 조립공정이 절감되고 설치 및 변경이 용이하게 된다. 또한 본 고안의 블록 조립식 가스 공급장치는 종래에 비해 용접점이 대폭 감소되어 전체 구성의 크기가 대폭 감소하게 된다.The gas supply device seals each block 10 by using the gaskets 20 and 40 and installs them in the respective bodies 30, and then fastens the bodies 30 to each other to complete the assembly process. This saves and facilitates installation and modification. In addition, the block-assembled gas supply device of the present invention is significantly reduced in the welding point compared to the conventional size of the overall configuration is greatly reduced.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안은 가스 공급장치에 있어서 바디를 사용하여 블록과 블록을 직접 연결하여 구성하는 것으로 블록간의 배관이 불필요하여 용접부위를 없애고, 원료가스의 경로를 단축시켜 데드존을 최소화하여 전체 구성품의 크기를 최소화한 가스 공급장치이다.As described above, the present invention is configured by directly connecting the block to the block using a body in the gas supply device, which eliminates the need for piping between blocks, thereby minimizing the dead zone by shortening the path of the raw material gas. This is a gas supply device that minimizes the size of the entire component.
이러한 가스 공급장치는 기존의 배관 구조에 비하여 용접 부위를 현저하게 감소시킴으로써, 모재의 물성 변화점을 줄일 수 있어 누출 원인의 요소를 극소화할 수 있는 효과가 있고, 조립의 편리성과 감소된 배관 구조로 인하여 전체적인 배관 구성의 크기를 최소화하고, 그로 인한 퍼지 시간의 단축으로 생산성 향상에 효과가 있는 유용한 고안인 것이다.Compared to the existing pipe structure, such a gas supply device can significantly reduce the welded part, thereby reducing the change in physical properties of the base metal, thereby minimizing the cause of leakage, and assembling convenience and reduced pipe structure. Due to the minimization of the size of the overall piping configuration, thereby reducing the purge time is a useful design that is effective in improving productivity.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR2019980005424U KR200205120Y1 (en) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | Block assembly type gases supplying device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR2019980005424U KR200205120Y1 (en) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | Block assembly type gases supplying device |
Publications (2)
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ID=19533501
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR2019980005424U KR200205120Y1 (en) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | Block assembly type gases supplying device |
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Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1998
- 1998-04-08 KR KR2019980005424U patent/KR200205120Y1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
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| KR19990039268U (en) | 1999-11-05 |
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