KR20020049931A - Method of testing a flash memory device - Google Patents

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이희기
강진아
심성보
유영선
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박종섭
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Abstract

PURPOSE: A method for testing a flash memory device is provided, which removes an error cause which is fatal to the flash memory device by performing the test by applying different voltages to each bit line under a drain stress. CONSTITUTION: A drain(bit line) stress is applied using a test mode when performing a wafer test, and different voltages are applied to adjacent bit lines. That is, if a voltage of 6V is applied to one bit line, an adjacent bit line is grounded. Then, a gate(word line) and a source are grounded. For example, when designing a circuit, a voltage of 6V is applied to odd-numbered bit lines, and even-numbered bit lines are grounded. That is, the voltage of 6V is applied through a drain pump circuit and the first NMOS transistor connected to the odd-numbered bit line is selected according to a bit line selection signal(SBL), and the second NMOS transistor connected to the even-numbered bit line is driven according to a bit line selection bar signal(SBLb).

Description

플래쉬 메모리 소자의 테스트 방법{Method of testing a flash memory device}Method of testing a flash memory device

본 발명은 플래쉬 메모리 소자의 테스트 방법에 관한 것으로, 특히 플래쉬 메모리 셀 어레이의 워드라인 및 소오스는 각각 접지시키고, 비트라인에 소정 전압을 인가하는 드레인 스트레스 테스트에서 인접한 비트라인과 서로 다른 전압이 인가되도록 하여 결함을 검출하는 플래쉬 메모리 소자의 테스트 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a test method of a flash memory device, and in particular, a word line and a source of a flash memory cell array are grounded, and a different voltage is applied to an adjacent bit line in a drain stress test in which a predetermined voltage is applied to the bit line. The present invention relates to a test method of a flash memory device for detecting a defect.

비트라인 스트레스 테스트시에 각 비트라인에 교호로 소정의 전압 및 접지 전압을 인가함으로써 불량 원인을 사전에 검출하여 제거할 수 있는 플래쉬 메모리소자의 테스트 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a test method of a flash memory device capable of detecting and removing a cause of a defect in advance by applying a predetermined voltage and a ground voltage to each bit line alternately during a bit line stress test.

플래쉬 메모리 소자를 테스트하기 위해서 스트레스 모드를 이용하여 리텐션 (retention) 및 파티클(particle)을 검출한다.In order to test the flash memory device, the stress mode is used to detect retention and particles.

이러한 테스트를 실시하기 위해 플래쉬 메모리 셀 어레이에 스트레스를 인가하는데, 스트레스 조건에 따라 게이트 스트레스, 드레인 스트레스 및 소오스 스트레스로 나뉜다. 기존의 스트레스 인가 방법은 다음과 같다.To perform these tests, a stress is applied to the flash memory cell array, which is divided into gate stress, drain stress, and source stress, depending on the stress conditions. The existing stress application method is as follows.

게이트 스트레스는 소오스 및 드레인(비트라인)을 접지시키고, 게이트(워드라인)에 9V 또는 -9V를 수백㎳동안 인가한다. 드레인 스트레스는 소오스 및 게이트 (워드라인)를 접지시키고, 드레인에 6V 이상의 전압을 수백㎳동안 인가한다. 또한, 소오스 스트레스 방법은 드레인 및 게이트(워드라인)을 접지시키고 소오스에 6V 이상의 전압을 수백㎳동안 인가한다.Gate stress grounds the source and drain (bitline) and applies 9V or -9V to the gate (wordline) for hundreds of milliseconds. Drain stress grounds the source and gate (word line) and applies a voltage of more than 6V to the drain for hundreds of milliseconds. The source stress method also grounds the drain and gate (word line) and applies a voltage of at least 6V to the source for hundreds of milliseconds.

상기의 경우는 소오스 및 게이트 라인에는 공통 바이어스가 인가되고, 드레인에도 동일한 바이어스가 인가된다.In this case, a common bias is applied to the source and gate lines, and the same bias is applied to the drain.

상기와 같은 종래의 테스트 방법은 비트라인간에 동일한 바이어스가 전달됨에 따라서 비트라인 사이에 결함이 존재할 경우 이를 적절하게 검출할 수 있는 방법이 없다. 이러한 결함은 얇은 산화막이 비트라인 사이에 존재하기 때문에 사이클링(cycling)을 최소한 30회 정도를 진행하여야 얇은 산화막과 항복(breakdown)을 일으키면서 비트라인간을 단락시키는 문제점을 유발시켰다. 30회 사이클링의 경우비트라인이 받는 실제 스트레스 시간은 215㎳(1비트 프로그램 시간=7㎲×2회×512셀×30회=215㎳)이며, 이때 바이어스 조건은 프로그램 비트라인은 5V 다른 라인은 접지 상태이다.In the conventional test method as described above, when the same bias is transmitted between the bit lines, there is no method of properly detecting a defect between bit lines. Such defects cause a problem of shorting the bit lines while causing breakdown with the thin oxide film by performing cycling at least 30 times because thin oxide films exist between the bit lines. For 30 cycles, the actual stress time the bit line receives is 215 ms (1 bit program time = 7 ms x 2 times x 512 cells x 30 cycles = 215 ms). It is grounded.

따라서, 상기와 같은 불량은 종래의 드레인 스트레스 조건으로는 비트라인간 동일한 포텐셜을 유지하기 때문에 검출할 수가 없다.Therefore, such a defect cannot be detected because the same potential is maintained between bit lines under the conventional drain stress condition.

본 발명의 목적은 드레인 스트레스에서 각 비트라인에 다른 전압을 인가하여 테스트를 실시함으로써 플래쉬 메모리 소자에 치명적일 수 있는 불량 원인을 제거할 수 있는 플래쉬 메모리 소자의 테스트 방법을 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a test method of a flash memory device that can remove the cause of failure that can be fatal to the flash memory device by performing a test by applying a different voltage to each bit line in the drain stress.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 플래쉬 메모리 셀 어레이의 워드라인 및 소오스는 각각 접지시키고, 비트라인은 인접한 비트라인과 서로 다른 전압이 인가되도록 하여 결함을 검출하는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is characterized in that the word line and the source of the flash memory cell array is grounded, respectively, the bit line is characterized by detecting a defect by applying a different voltage to the adjacent bit line.

도 1은 본 발명에 따른 플래쉬 메모리 소자의 테스트 방법을 설명하기 위해 도시한 메모리 셀 어레이의 개략도.1 is a schematic diagram of a memory cell array shown for explaining a test method of a flash memory device according to the present invention;

첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.The present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 플래쉬 메모리 소자의 테스트 방법을 설명하기 위한 메모리 셀 어레이의 개략도이다.1 is a schematic diagram of a memory cell array for explaining a test method of a flash memory device according to the present invention.

본 발명에서는 웨이퍼 테스트를 실시할 때 테스트 모드를 이용하여 드레인(비트라인) 스트레스를 인가하는데, 인접한 비트라인에 서로 다른 전압이 인가되도록한다. 즉, 하나의 비트라인에 6V의 전압을 인가하면 인접한 다른 비트라인은 접지시킨다. 이때, 게이트(워드라인)와 소오스는 접지시킨다. 예를들어, 회로를 설계할 때 홀수 비트라인에는 6V의 전압을 인가하고, 짝수 비트라인은 접지시킨다. 즉, 드레인 펌프 회로를 통해 6V의 전압이 인가되도록 하되, 홀수 비트라인에 연결되는 제 1 NMOS 트랜지스터(N11)은 비트라인 선택 신호(SBL)에 따라 선택되도록 하고, 짝수 비트라인에 연결되는 제 2 NMOS 트랜지스터는 비트라인 선댁 바 신호(SBLb)에 따라 구동되도록 한다.In the present invention, when the wafer test is performed, the drain (bit line) stress is applied using the test mode, and different voltages are applied to adjacent bit lines. In other words, applying a voltage of 6V to one bit line causes another adjacent bit line to ground. At this time, the gate (word line) and the source are grounded. For example, when designing a circuit, a voltage of 6V is applied to odd bit lines, and even bit lines are grounded. That is, a voltage of 6 V is applied through the drain pump circuit, but the first NMOS transistor N11 connected to the odd bit line is selected according to the bit line select signal SBL, and the second connected to the even bit line. The NMOS transistor is driven in accordance with the bit line select bar signal SBLb.

상기와는 반대로 홀수 비트라인을 접지시키고, 짝수 비트라인에 6V의 전압을 인가하여 비트라인 스트레스 테스트를 실시할 수도 있다.Contrary to the above, the bit line stress test may be performed by grounding the odd bit line and applying a voltage of 6 V to the even bit line.

상기와 같이 비트라인에 각기 다른 스트레스 전압을 인가하는 경우 동일한 전압을 인가하여 비트라인간에 전압차가 발생되지 않아 결함을 검출할 수 없는 종래의 방법에서 문제를 해결할 수 있다.As described above, when different stress voltages are applied to the bit lines, the same voltage may be applied to solve the problem in the conventional method in which a defect cannot be detected because no voltage difference occurs between the bit lines.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면 홀수 비트라인에 고전압을 인가하고 짝수 비트라인을 접지시켜 비트라인간에 전위차가 존재하도록 함으로써 결함의 검출을 보다 용이하게 할 수 있다.As described above, according to the present invention, defects can be more easily detected by applying a high voltage to the odd bit lines and grounding the even bit lines so that a potential difference exists between the bit lines.

Claims (2)

플래쉬 메모리 소자의 테스트 방법에 있어서,In the test method of a flash memory device, 플래쉬 메모리 셀 어레이의 워드라인 및 소오스는 각각 접지시키고, 비트라인은 인접한 비트라인과 서로 다른 전압이 인가되도록 하여 결함을 검출하는 것을 특징으로 하는 플래쉬 메모리 소자의 테스트 방법.The word line and the source of the flash memory cell array are grounded, respectively, and the bit line detects a defect by applying a different voltage to an adjacent bit line. 제 1 항에 있어서, 상기 비트라인에 인가되는 전압은 6V 및 0V인 것을 특징으로 하는 플래쉬 메모리 소자의 테스트 방법.The test method of claim 1, wherein the voltages applied to the bit lines are 6V and 0V.
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