KR20020044538A - Plasma Switched Organic Photoluminescent Display and Method of Making the Same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A plasma switch type organic luminescence display is provided to avoid deterioration of an organic emitting layer due to a voltage applied when plasma is generated, by minimizing overlapped area between the organic emitting layer and an address line. CONSTITUTION: A plasma switch type organic luminescence display comprises a first plate(26) and a second plate(32). The first plate(26) includes a first transparent plate(21), many bus lines(22), a dielectric film(23), many vertical barrier ribs(24) and a bottom protection film(25). The second plate(32) includes a second transparent plate(27), many organic emitting layers(28), a first top protection film(29), many address lines(30) and a second top protection film(31). The bus lines(22) are formed as stripes. The address lines(30) are formed as stripes between the barrier ribs(24). The bus lines(22) and the address lines(30) select a pixel to generate plasma. The organic emitting layers(28) are formed as stripes orthogonal to the address lines(30). Ultraviolet ray from the plasma is collided to the organic emitting layers(28) to emit visible ray.

Description

플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시소자 및 그의 제조 방법{Plasma Switched Organic Photoluminescent Display and Method of Making the Same}Plasma Switched Organic Photoluminescent Display and Method of Making the Same

본 발명은 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 버스 라인과 어드레스 라인사이의 방전공간에 어드레스 라인과 직교하도록 유기 광발광층을 설치하여 유기 광발광층의 열화를 방지하는 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma switch type organic light emitting display device and a method of manufacturing the same. In particular, a plasma for preventing degradation of an organic light emitting layer by providing an organic light emitting layer orthogonal to an address line in a discharge space between a bus line and an address line. A switch type organic light emitting display device and a method of manufacturing the same.

최근 정보 통신 기술이 발달하면서 정보화 사회에 부응하기 위한 소비자의 요구가 다양화되고, 이로 의해 전자 디스플레이 소자의 수요도 증가되고 있다. 다양한 소비자의 요구를 만족시키기 위하여, 전자 디스플레이 소자는 고정세화, 대형화, 저가격화, 고성능화, 박형화, 소형화 등의 특성을 가질 필요가 있으며, 이를위해, 기존의 음극선관(Cathode Ray Tube: CRT) 이외에 새로운 평판 디스플레이 (Flat Panel Display: FPD) 소자가 개발되고 있다.With the recent development of information and communication technology, consumer demands for meeting the information society have been diversified, thereby increasing the demand for electronic display devices. In order to meet the needs of various consumers, electronic display elements need to have characteristics such as high definition, large size, low price, high performance, thinness, and miniaturization. For this purpose, in addition to the existing cathode ray tube (CRT) New flat panel display (FPD) devices are being developed.

이러한 평판 디스플레이 중의 하나가 전계 발광 디스플레이(Electroluminescent Display)이다. ELD는 발광층으로 사용하는 물질의 종류에 따라, 유기 전계 발광 표시 소자(Organic Electroluminescent Display)와 무기 전계 발광 표시 소자(Inorganic Electroluminescent Display)로 분류된다.One such flat panel display is an electroluminescent display. ELDs are classified into organic electroluminescent displays and inorganic electroluminescent displays according to the type of material used as the light emitting layer.

무기 전계 발광 표시소자는 높은 전기장에 의하여 가속된 전자의 충돌을 이용하여 발광하는 소자로서, 박막의 두께와 구동방식에 따라, 교류 박막 전계 발광표시소자, 교류 후막 전계 발광 표시소자 및 직류 후막 전계 발광 표시소자 등으로 분류된다.An inorganic electroluminescent display device emits light by collision of electrons accelerated by a high electric field, and according to the thickness and driving method of the thin film, an AC thin film electroluminescence display device, an AC thick film electroluminescence display device, and a DC thick film electroluminescence And display elements.

그리고, 유기 전계 발광 표시소자는 전류의 흐름에 의해 발광하는 소자로서, 발광층의 유기 물질에 따라, 저분자 유기 전계발광 표시 소자와 고분자 유기 전계발광 표시 소자로 분류된다.The organic light emitting display device is an element that emits light by the flow of electric current, and is classified into a low molecular organic electroluminescent display device and a high molecular organic electroluminescent display device according to the organic material of the light emitting layer.

도 1은 종래의 유기 전계 발광 표시 소자의 개략도이다. 도 1을 참조하면, 유기 전계 발광 표시 소자는 투명기판(11) 상에 투명 양극층(anode layer)(12), 정공 주입층(hole injection layer)(13), 정공 수송층(hole transport layer)(14), 유기 발광층(organic emitting layer)(15), 전자 수송층(electron transport layer)(17) 및 금속으로 된 음극층(cathode layer)(18)이 순차 적층된 구조를 갖으며, 전류의 흐름에 의해 유기 발광층(15)이 발광한다. 정공 주입층(13), 정공 수송층(14), 그리고 전자 수송층(17)은 유기 전계 발광 표시 소자의 발광 효율을 증가시키는 보조적 기능을 한다.1 is a schematic diagram of a conventional organic electroluminescent display device. Referring to FIG. 1, the organic light emitting display device includes a transparent anode layer 12, a hole injection layer 13, and a hole transport layer on the transparent substrate 11. 14, an organic emitting layer 15, an electron transport layer 17, and a cathode layer 18 made of a metal are sequentially stacked, and the current flows. As a result, the organic light emitting layer 15 emits light. The hole injection layer 13, the hole transport layer 14, and the electron transport layer 17 have an auxiliary function of increasing the luminous efficiency of the organic light emitting display device.

상술한 종래의 유기 전계발광 표시소자는, 전류에 의해 구동되기 때문에 전류구동에 의한 유기 발광층(15)의 열화가 발생한다. 그리고, 발광 효율을 증가시키기 위해 부가적인 보조층, 예를 들면 정공 주입층(13), 정공 수송층(14) 그리고 전자 수송층(17) 등이 요구되어 제조 공정이 복잡하다.The conventional organic electroluminescent display element described above is driven by electric current, so that deterioration of the organic light emitting layer 15 due to current driving occurs. In addition, an additional auxiliary layer, for example, a hole injection layer 13, a hole transport layer 14, an electron transport layer 17, or the like is required to increase the luminous efficiency, thus making the manufacturing process complicated.

이와 같은 종래 기술의 유기 전계 발광 소자는 다음과 같은 문제가 있다.The organic EL device of the related art has the following problems.

유기 전계 발광 소자는 전류에 의해 구동되기 때문에 전류 구동에 의한 유기 발광층의 열화가 발생한다. 그리고 발광 효율을 증가시키기 위해 부가적인 보조층, 예를 들면 정공 주입층, 정공 수송층 그리고 전자 수송층 등이 요구되어 제조 공정이 복잡하다.Since the organic electroluminescent element is driven by a current, deterioration of the organic light emitting layer due to current driving occurs. In addition, an additional auxiliary layer, for example, a hole injection layer, a hole transporting layer, and an electron transporting layer, is required to increase the luminous efficiency, thus making the manufacturing process complicated.

본 발명은 이와 같은 종래 기술의 유기 전계 발광 표시 소자의 문제를 해결하기 위한 것으로 유기 발광 물질을 전류로 발광시키는 것이 아니라, 플라즈마에서 나오는 자외선을 이용하여 발광시키고, 방전 공간 내에 유기 광발광층과 어드레스라인을 평행하게 배열하지 않고 직교하도록 배치하여, 유기 광발광층과 어드레스 라인의 중첩 면적을 최소화시킴으로써, 플라즈마가 발생할 때 인가되는 전압에 의해 유기 광발광층이 열화되는 것을 방지하는 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시소자 및 그 제조 방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the problem of the organic light emitting display device of the prior art, and not to emit light of the organic light emitting material with a current, but to emit light using ultraviolet rays emitted from the plasma, the organic light emitting layer and the address line in the discharge space Are arranged so as to be orthogonal to each other without being arranged in parallel, thereby minimizing the overlapping area between the organic light emitting layer and the address line, thereby preventing the organic light emitting layer from deteriorating by the voltage applied when the plasma is generated. And its manufacturing method.

도 1은 종래 기술의 유기 전계 발광 표시소자의 개략도1 is a schematic view of an organic light emitting display device of the prior art

도 2는 본 발명에 따른 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시소자의 개략도2 is a schematic view of a plasma switch type organic light emitting display device according to the present invention;

도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시소자의 사시도3 is a perspective view of a plasma switch type organic light emitting display device according to a first embodiment of the present invention;

도 4은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시소자의 제 1 기판부의 평면도4 is a plan view of a first substrate of a plasma switch type organic light emitting display device according to a first exemplary embodiment of the present invention.

도 5은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시소자의 제 2 기판부의 평면도5 is a plan view of a second substrate portion of a plasma switch type organic light emitting display device according to a first exemplary embodiment of the present invention.

도 6은 도 4를 A-A'로 절단한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자의 제 1 기판부의 공정 단면도FIG. 6 is a cross-sectional view of the first substrate of the plasma switch type organic light emitting display device according to the first exemplary embodiment of the present invention, taken along the line AA ′ of FIG. 4.

도 7은 도 4를 B-B'로 절단한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자의 제 1 기판부의 공정 단면도FIG. 7 is a cross-sectional view of the first substrate of the plasma switch type organic light emitting display device according to the first exemplary embodiment of the present invention, taken along the line BB ′ of FIG. 4.

도 8은 도 5를 A-A'로 절단한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자의 제 2 기판부의 공정 단면도FIG. 8 is a cross-sectional view of the second substrate of the plasma switch type organic light emitting display device according to the first exemplary embodiment of the present invention, taken along the line AA ′ of FIG. 5.

도 9는 도 5를 B-B'로 절단한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자의 제 2 기판부의 공정 단면도FIG. 9 is a cross-sectional view of the second substrate of the plasma switch type organic light emitting display device according to the first exemplary embodiment of the present invention, taken along the line BB ′ of FIG. 5.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

21 : 제 1 투명 기판 22 : 버스 라인21: first transparent substrate 22: bus line

23 : 유전막 24 : 격벽23 dielectric layer 24 partition wall

25 : 하부 보호막 26 : 제 1 기판부25 lower protective film 26 first substrate portion

27 : 제 2 투명 기판 28 : 유기 광발광층27: second transparent substrate 28: organic light emitting layer

29 : 제 1상부 보호막 30 : 어드레스 라인29: first upper protective film 30: address line

31 : 제 2상부 보호막 32 : 제 2 기판부31: second upper portion protective film 32: second substrate portion

33 : 제 1 스크린 마스크 34 : 제 3 스크린 마스크33: first screen mask 34: third screen mask

이와 같은 목적은 다음과 같은 구성에 의해 달성된다.This object is achieved by the following configuration.

(1) 본 발명에 따른 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자는 줄 무늬 형상으로 배열되는 복수의 제 1 전극과 상기 복수의 제 1 전극상에 유전막을 가지는 제 1 기판부; 상기 복수의 제 1 전극과 직교하며 줄 무늬 형상으로 배열되는 복수의 제 2 전극을 가지는 제 2 기판부; 상기 제 1 기판부와 상기 제 2 기판부 사이에 상기 복수의 제 1 전극과 상기 복수의 제 2 전극이 직교하는 영역에 형성되는 복수의 방전 공간; 상기 복수의 방전 공간내의 상기 제 2 기판부상에 상기 복수의 제 2 전극과 직교하며 배열되는 복수의 유기 광발광층을 포함하는 것을 특징으로 한다.(1) A plasma switch type organic light emitting display device according to the present invention comprises: a first substrate portion having a plurality of first electrodes arranged in a stripe shape and a dielectric film on the plurality of first electrodes; A second substrate portion having a plurality of second electrodes orthogonal to the plurality of first electrodes and arranged in a stripe shape; A plurality of discharge spaces formed in a region where the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes are orthogonal between the first substrate portion and the second substrate portion; And a plurality of organic light emitting layers arranged orthogonally to the plurality of second electrodes on the second substrate portion in the plurality of discharge spaces.

(2) 상기 (1)과 같은 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자에 있어서, 상기 복수의 제 1 전극은 2개의 전극이 인접하여 한 쌍으로 이루어진 것을 특징으로 한다.(2) The plasma switch type organic light emitting display device as described in (1), wherein the plurality of first electrodes are formed in pairs in which two electrodes are adjacent to each other.

(3) 상기 (1) 또는 상기 (2)와 같은 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자에 있어서, 상기 복수의 제 1 전극은 은, 크롬, 구리, 니켈, 금, 크롬/구리로 이루어진 2 중층, 크롬/구리/크롬으로 이루어진 3 중층 중 하나를 선택하여 사용하는 것을 특징으로 한다.(3) The plasma switch type organic photoluminescence display device as described in (1) or (2), wherein the plurality of first electrodes comprises a double layer made of silver, chromium, copper, nickel, gold, chromium / copper, It is characterized by using one of the triple layer consisting of chromium / copper / chromium.

(4) 상기 (1) ~ 상기 (3) 중 어느 하나의 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자에 있어서, 상기 유전막은 산화 알루미늄, 산화연, 산화 티타늄, 산화지르코늄으로 이루어지는 백색의 유전막 중 하나 또는 둘 이상의 복합층을 사용하는 것을 특징으로 한다.(4) The plasma switch type organic photoluminescence display device according to any one of (1) to (3), wherein the dielectric film is one or two of white dielectric films made of aluminum oxide, lead oxide, titanium oxide, and zirconium oxide. It is characterized by using the above composite layer.

(5) 상기 (1) ~ 상기 (4) 중 어느 하나의 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자에 있어서, 상기 유전막상에 보호막을 더 포함하고, 상기 보호막으로 MgO을사용하는 것을 특징으로 한다.(5) The plasma switch type organic light emitting display device according to any one of (1) to (4), further comprising a protective film on the dielectric film, wherein MgO is used as the protective film.

(6) 상기 (1) ~ 상기 (5) 중 어느 하나의 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자에 있어서, 상기 복수의 방전 공간은 상기 제 1 기판부상에 상기 복수의 제 1 전극과 직교하며 배열되는 복수의 수직 격벽에 의해 구분되는 것을 특징한다.(6) The plasma switch type organic light emitting display device of any one of (1) to (5), wherein the plurality of discharge spaces are arranged orthogonal to the plurality of first electrodes on the first substrate portion. Characterized by a plurality of vertical partition walls.

(7) 상기 (6)과 같은 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자에 있어서, 상기 제 1 기판부의 가장 자리를 돌면서 상기 복수의 격벽보다 높은 최외각벽을 설치하는 것을 특징으로 한다.(7) The plasma switch type organic light emitting display element as described in (6) above, wherein outermost walls higher than the plurality of partition walls are provided while turning the edge of the first substrate portion.

(8) 상기 (6) 또는 상기 (7)과 같은 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자에 있어서, 상기 복수의 수직 격벽은 하층은 백색 물질, 상층은 흑색 물질로 구성되는 것을 특징으로 한다.(8) The plasma switch type organic light emitting display element as described in (6) or (7), wherein the plurality of vertical barrier ribs are formed of a white material in a lower layer and a black material in an upper layer.

(9) 상기 (6) ~ 상기 (8) 중 어느 하나의 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자에 있어서, 상기 복수의 수직 격벽은 PbO, B2O3, SiO2, Al2O3중 하나 또는 2이상의 복합층을 사용하는 것을 특징으로 한다.(9) The plasma switch type organic photoluminescence display device according to any one of (6) to (8), wherein the plurality of vertical barrier ribs are one of PbO, B 2 O 3 , SiO 2 , and Al 2 O 3 or It is characterized by using two or more composite layers.

(10) 상기 (1) ~ 상기 (9) 중 어느 하나의 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자에 있어서, 상기 복수의 유기 광발광층의 물질은 저분자 광발광 물질로 4,4 '-비스(2,2'-다이페닐에텐-4-닐)-다이페닐, 트리스(8-하이드록시퀴놀린)알루미늄, 비스(8-하이드록시퀴놀린)마그네슘, 쿠마린 6, 그리고 루브렌 중 하나를 선택하여 사용하고, 고분자 광발광 물질로 폴리페닐렌비닐렌을 사용하는 것을 특징으로 한다.(10) The plasma switch type organic light emitting display device of any one of (1) to (9), wherein the material of the plurality of organic photoluminescent layers is a low molecular photoluminescent material and 4,4'-bis (2, 2'-diphenylethen-4-yl) -diphenyl, tris (8-hydroxyquinoline) aluminum, bis (8-hydroxyquinoline) magnesium, coumarin 6, and rubrene are selected and used. It is characterized by using polyphenylenevinylene as the polymer photoluminescent material.

(11) 상기 (1) ~ 상기 (10) 중 어느 하나의 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자에 있어서, 상기 복수의 유기 광발광층과 상기 복수의 제 2 전극 사이와 상기 복수의 제 2 전극상에 각각 제 1 보호막 및 제 2 보호막을 형성하는 것을 특징으로 한다.(11) The plasma switch type organic light emitting display device according to any one of (1) to (10), wherein the plurality of organic light emitting layers and the plurality of second electrodes are disposed on the plurality of second electrodes. A first protective film and a second protective film are formed, respectively.

(12) 상기 (11)과 같은 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자에 있어서, 상기 제 1 보호막 및 상기 제 2 보호막은 MgF2또는 SiO2를 사용하는 것을 특징으로 한다.(12) The plasma switch type organic light emitting display device as described in (11), wherein the first protective film and the second protective film use MgF 2 or SiO 2 .

(13) 상기 (1) ~ 상기 (12) 중 어느 하나의 플라즈마 스위치형 유기 광발광표시 소자에 있어서, 상기 복수의 제 2 전극은 니켈, 은, 텅스텐, 그리고 알루미늄중 하나를 선택하여 사용하는 것을 특징으로 한다.(13) The plasma switch type organic light emitting display device according to any one of (1) to (12), wherein the plurality of second electrodes are selected from nickel, silver, tungsten, and aluminum. It features.

(14) 본 발명에 따른 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자는 제 1 투명기판상에 줄 무늬 형상으로 적층되는 복수의 버스 라인; 상기 복수의 버스 라인을 포함하는 상기 제 1 투명 기판상의 유전막; 상기 유전막상에 상기 복수의 버스 라인과 직교하며 적층되는 복수의 격벽을 포함하는 제 1 기판부; 제 2 투명 기판상에 상기 복수의 버스 라인과 일대일로 마주 보며 줄 무늬 형상으로 배열되는 복수의 유기 광발광층; 상기 복수의 수직 격벽 사이에 위치하고 상기 복수의 유기 광발광층과 직교하며 줄 무늬 형상으로 배열되는 복수의 어드레스 라인을 포함하는 제 2 기판부; 상기 제 1 기판부의 상기 복수의 버스 라인과 상기 제 2 기판부의 상기 복수의 어드레스 라인 사이에 상기 복수의 수직 격벽으로 구분되는 복수의 방전 공간을 포함하는 것을 특징으로 한다.(14) A plasma switch type organic light emitting display device according to the present invention comprises: a plurality of bus lines stacked in a stripe shape on a first transparent substrate; A dielectric film on the first transparent substrate including the plurality of bus lines; A first substrate part including a plurality of barrier ribs orthogonal to the plurality of bus lines and stacked on the dielectric layer; A plurality of organic light emitting layers arranged on a second transparent substrate in a one-to-one manner and facing each other with a plurality of bus lines; A second substrate portion disposed between the plurality of vertical barrier ribs and including a plurality of address lines orthogonal to the plurality of organic light emitting layers and arranged in a stripe shape; And a plurality of discharge spaces divided by the plurality of vertical barrier ribs between the plurality of bus lines of the first substrate portion and the plurality of address lines of the second substrate portion.

(15) 본 발명에 따른 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자의 제조 방법은 줄 무늬 형상으로 배열되는 복수의 제 1 전극과 상기 복수의 제 1 전극상에 유전막과 상기 복수의 제 1 전극과 직교하는 복수의 수직 격벽을 가지는 제 1 기판부를 준비하는 단계; 상기 복수의 제 1 전극과 일대일로 마주 보며 상기 복수의 수직격벽과 직교하는 줄 무늬 형상의 복수의 유기 광발광층과 상기 복수의 유기 광발광층과 직교하며 상기 복수의 수직 격벽사이에 위치하는 줄 무늬 형상의 복수의 제 2 전극을 가지는 제 2 기판부을 준비하는 단계; 상기 제 1 기판부의 상기 복수의 수직 격벽 사이에 상기 제 2 기판부의 상기 복수의 제 2 전극이 위치하도록 봉지재를 사용하여 상기 제 1 기판부와 상기 제 2 기판부를 봉지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.(15) A method of manufacturing a plasma switch type organic light emitting display device according to the present invention includes a plurality of first electrodes arranged in a stripe shape and a dielectric film on the plurality of first electrodes and orthogonal to the plurality of first electrodes. Preparing a first substrate part having a plurality of vertical partition walls; A plurality of organic light emitting layers having one-to-one contact with the plurality of first electrodes and perpendicular to the plurality of vertical partitions and a plurality of organic light emitting layers perpendicular to the plurality of organic light emitting layers and positioned between the plurality of vertical partitions. Preparing a second substrate portion having a plurality of second electrodes; Encapsulating the first substrate portion and the second substrate portion using an encapsulant such that the plurality of second electrodes of the second substrate portion are positioned between the plurality of vertical partitions of the first substrate portion. It is done.

(16) 상기 (15)와 같은 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자의 제조 방법에 있어서, 상기 복수의 격벽 사이의 공간에 He, Ne, Ar, Kr, Xe, Rn, 그리고 Hg등의 플라즈마 형성용 가스를 단독 혹은 혼합 충진시키는 것을 특징으로 한다.(16) A method of manufacturing a plasma switch type organic light emitting display element as in (15), wherein plasma is formed in a space between the plurality of partition walls such as He, Ne, Ar, Kr, Xe, Rn, and Hg. Characterized in that the gas alone or mixed filling.

(17) 상기 (15) 또는 상기 (16)과 같은 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시소자의 제조 방법에 있어서, 상기 제 1 기판부를 준비하는 단계는, 투명 기판상에 상기 복수의 제 1 전극으로 사용하는 복수의 버스 라인을 형성하는 단계; 상기 복수의 버스 라인을 포함하는 상기 투명 기판상에 유전막을 형성하는 단계; 상기 유전막상에 보호막을 형성하는 단계; 상기 보호막상에 상기 복수의 격벽을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.(17) In the method of manufacturing a plasma switch type organic light emitting display device as in (15) or (16), preparing the first substrate portion is used as the plurality of first electrodes on a transparent substrate. Forming a plurality of bus lines; Forming a dielectric film on the transparent substrate including the plurality of bus lines; Forming a protective film on the dielectric film; And forming the plurality of partition walls on the passivation layer.

(18) 상기 (15) 또는 상기 (16)과 같은 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시소자의 제조 방법에 있어서, 상기 제 1 기판부를 준비하는 단계는, 투명 기판상에 상기 복수의 제 1 전극으로 사용하는 복수의 버스 라인을 형성하는 단계; 상기 복수의 버스 라인을 포함하는 상기 투명 기판상에 유전막을 형성하는 단계; 상기 유전막상에 상기 복수의 버스 라인과 직교하는 상기 복수의 격벽을 형성하는 단계; 상기 유전막상에 보호막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.(18) The method of manufacturing a plasma switch type organic light emitting display device as described in (15) or (16), wherein preparing the first substrate portion is used as the plurality of first electrodes on a transparent substrate. Forming a plurality of bus lines; Forming a dielectric film on the transparent substrate including the plurality of bus lines; Forming the plurality of partition walls orthogonal to the plurality of bus lines on the dielectric layer; And forming a protective film on the dielectric layer.

(19) 상기 (15) ~ 상기 (18) 중 어느 하나와 같은 플라즈마 스위치형 유기광발광 표시소자의 제조 방법에 있어서, 상기 제 2 기판부를 준비하는 단계는, 투명 기판상에 상기 복수의 제 1 전극과 일대일로 마주보는 상기 복수의 유기 광발광층을 형성하는 단계; 상기 복수의 유기 광발광층을 포함하는 상기 투명 기판상에 제 1 보호막을 형성하는 단계; 상기 제 1 보호막상에 상기 복수의 유기 광발광층과 직교하며 상기 복수의 격벽 사이에 위치하는 상기 복수의 제 2 전극으로 사용하는 복수의 어드레스 라인을 형성하는 단계; 상기 복수의 어드레스 라인을 포함하는 상기 제 1 보호막상에 제 2 보호막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.(19) The method of manufacturing a plasma switch type organic light emitting display device as in any one of (15) to (18), wherein the preparing of the second substrate portion comprises the plurality of first on a transparent substrate. Forming the plurality of organic photoluminescent layers facing one-to-one with an electrode; Forming a first passivation layer on the transparent substrate including the plurality of organic light emitting layers; Forming a plurality of address lines on the first passivation layer to be used as the plurality of second electrodes orthogonal to the plurality of organic light emitting layers and positioned between the plurality of partition walls; And forming a second passivation layer on the first passivation layer including the plurality of address lines.

(20) 상기 (15) ~ 상기 (19) 중 어느 하나와 같은 플라즈마 스위치형 유기광발광 표시소자의 제조 방법에 있어서, 상기 제 1 기판부와 상기 제 2 기판부사이의 봉합 부분에 봉지재로 에폭시 수지를 사용하여 접착하고 수은 램프를 사용하여 UV 경화(UV curing)시켜서 봉지하는 것을 특징으로 한다.(20) A method of manufacturing a plasma switched organic light emitting display device as in any one of (15) to (19), wherein the sealing portion between the first substrate portion and the second substrate portion is epoxy Bonding using a resin and UV-curing (UV curing) using a mercury lamp is characterized in that the sealing.

이하 첨부한 도면을 참고하여 본 발명에 따른 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시소자 및 그의 제조 방법에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a plasma switch type organic light emitting display device and a method of manufacturing the same according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시소자의 개략도이다.2 is a schematic view of a plasma switch type organic light emitting display device according to the present invention.

플라즈마 발생장치(20)에서 플라즈마가 형성되면, 플라즈마에서 자외선이 방출되게 되고. 유기 광발광층(19a, 19b, 19c)은 상기 자외선에 의해 여기(excite state)되어 적색(R), 녹색(C) 및 청색(B)의 가시광선을 방출하게 된다. 그리고 플라즈마 발생장치(20)가 유기 광발광층(19a, 19b, 19c)의 발광 여부를 결정하는 스위치 역할을 한다.When the plasma is formed in the plasma generating apparatus 20, ultraviolet rays are emitted from the plasma. The organic photoluminescent layers 19a, 19b, and 19c are excited by the ultraviolet rays to emit visible light of red (R), green (C), and blue (B). The plasma generator 20 serves as a switch for determining whether the organic light emitting layers 19a, 19b, and 19c emit light.

본 발명에 따른 플라즈마 스위치형 유기 광발광 소자 및 그의 제조 방법에 대하여 설명하면 다음과 같다.Referring to the plasma-switched organic light emitting device according to the present invention and a manufacturing method thereof are as follows.

도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 스위치형 유기 광발광 소자의 사시도이다.3 is a perspective view of a plasma switch type organic light emitting device according to the present invention.

플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시소자는 제 1 기판부(26)와 제 2 기판부(32)로 구성된다.The plasma switch type organic light emitting display device includes a first substrate portion 26 and a second substrate portion 32.

제 1 기판부(26)는 제 1 투명 기판(21), 복수의 버스라인(22), 유전막(23), 수직 격벽(24), 그리고 하부 보호막(25)으로 구성된다.The first substrate 26 includes a first transparent substrate 21, a plurality of bus lines 22, a dielectric film 23, a vertical partition wall 24, and a lower passivation layer 25.

제 1 투명 기판(21)상의 버스 라인(22)은 2개의 전극을 1쌍으로 줄 무늬 형상으로 형성되며, 후술하는 제 2 기판부(32)의 복수의 어드레스 라인(30)과 함께 플라즈마를 발생시키는 기능을 하며, 1쌍의 전극(22a, 22b)은 서로 인접하여 평행하게 배열되고, 양극과 음극의 역할을 서로 교번한다.The bus line 22 on the first transparent substrate 21 is formed in a pair of two electrodes in a stripe shape, and generates plasma together with the plurality of address lines 30 of the second substrate portion 32 described later. The pair of electrodes 22a and 22b are arranged in parallel and adjacent to each other, and alternately play the roles of an anode and a cathode.

복수의 버스 라인(22)을 포함하는 제 1 투명 기판(21)상에 적층되는 유전막(23)은 플라즈마가 발생했을 때 제 1 투명 기판(21)에서 자외선의 흡수율을최대한 적게 하며, 벽전하를 축적하는 저장(memory) 기능을 한다.The dielectric film 23 laminated on the first transparent substrate 21 including the plurality of bus lines 22 minimizes the absorption of ultraviolet rays in the first transparent substrate 21 when plasma is generated, and reduces wall charges. It is a storage function that accumulates.

유전막(23)상에 적층되는 복수의 수직 격벽(24)는 복수의 버스 라인(22)과 직교하게 배열되고, 플라즈마의 방전 공간을 마련한다.The plurality of vertical partition walls 24 stacked on the dielectric film 23 are arranged to be orthogonal to the plurality of bus lines 22 to provide a discharge space for plasma.

그리고 복수의 수직 격벽(24)사이의 유전막(23)상에 적층되는 하부 보호막(25)은 플라즈마가 발생할 때, 이온에 의한 유전막(23)의 손상을 방지하고, 플라즈마 발생 전압을 감소시키는 기능을 한다.In addition, the lower passivation layer 25 stacked on the dielectric layers 23 between the plurality of vertical barrier ribs 24 prevents damage of the dielectric layer 23 by ions when plasma is generated and reduces the plasma generation voltage. do.

제 2 기판부(32)는 제 2 투명 기판(27), 복수 개의 유기 광발광층(28), 제 1 상부 보호막(29), 복수의 어드레스 라인(30), 그리고 제 2 상부 보호막(31)으로 구성된다.The second substrate part 32 includes a second transparent substrate 27, a plurality of organic light emitting layers 28, a first upper passivation layer 29, a plurality of address lines 30, and a second upper passivation layer 31. It is composed.

제 2 투명 기판(27)상에 줄 무늬 형상으로 적층되고, 적색 광발광층(28a), 녹색 광발광층(28b), 그리고 청색 광발광층(28c)이 하나의 주기로 반복 배열되며, 제 1 기판부(26)의 복수의 수직 격벽(24)과 직교하는 복수의 유기 광발광층(28)은 플라즈마에서 나오는 자외선과 충돌하여 가시광을 발광하는 기능을 한다.The red light emitting layer 28a, the green light emitting layer 28b, and the blue light emitting layer 28c are repeatedly arranged in one cycle on the second transparent substrate 27, and the first substrate portion ( The plurality of organic light emitting layers 28 orthogonal to the plurality of vertical partition walls 24 of 26 may collide with ultraviolet rays emitted from the plasma to emit visible light.

복수의 유기 광발광층(28)을 포함하는 제 2 투명 기판(27)상에 적층되는 제 1 상부 보호막(29)는 복수의 유기 광발광층(28)을 보호하는 기능을 하고 플라즈마에서 발생하는 자외선을 통과시킬 수 있는 물질로 형성한다.The first upper passivation layer 29 stacked on the second transparent substrate 27 including the plurality of organic photoluminescent layers 28 functions to protect the plurality of organic photoluminescent layers 28 and may emit ultraviolet rays generated in the plasma. It is formed of a material that can pass through.

제 1 상부 보호막(29)상에 복수의 유기 광발광층(28)과 직교하며, 제 1 기판부(26)의 수직 격벽(24) 사이와 대응되는 영역에 배열되는 줄 무늬 형상의 복수의 어드레스 라인(30)은 버스 라인(22)과 함께 특정한 화소를 선택하여 플라즈마를 발생시키는 기능을 한다.A plurality of stripe-shaped address lines orthogonal to the plurality of organic photoluminescent layers 28 on the first upper passivation layer 29 and arranged in regions corresponding to between the vertical partition walls 24 of the first substrate portion 26. 30 serves to generate a plasma by selecting a specific pixel together with the bus line 22.

그리고 복수의 어드레스 라인(30)을 포함하는 제 1 상부 보호막(29)상에 적층되는 제 2 상부 보호막(31)은 복수의 어드레스 라인(30)을 보호하고 플라즈마에서 발생한 자외선을 통과시킬 수 있는 물질로 형성한다.In addition, the second upper passivation layer 31 stacked on the first upper passivation layer 29 including the plurality of address lines 30 may protect the plurality of address lines 30 and may pass ultraviolet rays generated in the plasma. To form.

제 1 기판부(26)와 제 2 기판부(32)의 구성 요소를 모두 형성한 후, 제 1 기판부(26)를 하부 기판으로 하고, 제 2 기판부(32)를 상부 기판으로 하여 봉지재(sealing material)(도면에 도시하지 않음)를 사용하여 밀봉한다. 이 때, 제 2 기판부(32)의 어드레스 라인(30)은 제 1 기판부(26)의 복수의 버스 라인(22)과 직교하면서 제 1 기판부(26)의 복수의 수직 격벽(24)사이에 위치한다. 그리고 제 2 기판부(32)의 복수의 유기 광발광층(28)은 제 1 기판부(26)의 복수의 버스 라인(22)과 일대일로 마주 보며 위치한다.After forming all the components of the 1st board | substrate part 26 and the 2nd board | substrate part 32, sealing is carried out using the 1st board | substrate part 26 as a lower board | substrate, and the 2nd board | substrate part 32 as an upper board | substrate. Seal using a sealing material (not shown). At this time, the address lines 30 of the second substrate portion 32 are orthogonal to the plurality of bus lines 22 of the first substrate portion 26, and the plurality of vertical partition walls 24 of the first substrate portion 26 are formed. Located in between. In addition, the plurality of organic light emitting layers 28 of the second substrate portion 32 are positioned to face each other with the plurality of bus lines 22 of the first substrate portion 26.

수직 격벽(24)의 높이를 일정하게 형성하는 것은 매우 어렵기 때문에, 제 1 기판부(26)의 가장 자리를 돌면서 수직 격벽(24)보다 약간 높은 최외각벽(도면에 도시하지 않음)을 설치한 후, 최외각벽을 제 2 상부보호막(31)에 봉지 접합시켜, 수직 격벽(24) 사이의 공간이 외부와 차단되도록 한다.Since it is very difficult to form the height of the vertical bulkhead 24 uniformly, the outermost wall (not shown) which is slightly higher than the vertical bulkhead 24 is provided while turning the edge of the first substrate portion 26. After that, the outermost wall is encapsulated and bonded to the second upper passivation layer 31 so that the space between the vertical partition walls 24 is blocked from the outside.

수직 격벽(24) 사이의 공간에는 He, Ne, Ar, Kr, Xe, Rn, 또는 Hg 등의 플라즈마 형성용 가스가 단독 혹은 혼합되어 채워지며, 수직 격벽(24)들 사이의 공간에서 플라즈마가 형성된다. 방전 가스 및 플라즈마에서 발생되는 자외선 파장을 표 1에 간단히 나타내었다.The space between the vertical bulkheads 24 is filled with a plasma forming gas such as He, Ne, Ar, Kr, Xe, Rn, or Hg alone or mixed, and plasma is formed in the space between the vertical bulkheads 24. do. Ultraviolet wavelengths generated in the discharge gas and the plasma are briefly shown in Table 1.

본 발명에 따른 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자의 동작 원리를 설명하면 다음과 같다.The operation principle of the plasma switch type organic light emitting display device according to the present invention is as follows.

동작은 크게 어드레스 단계(address step), 유지 단계(sustain step) 그리고 삭제 단계(erase step)로 구분된다.The operation is divided into an address step, a sustain step, and an erase step.

어드레스 단계는 특정한 선택 화소에 플라즈마를 발생시키는 단계이다. 버스라인 한 쌍 중의 하나의 버스 라인(22a)과 어드레스 라인(30)에 전압을 인가하면, 버스 라인(22a)과 어드레스 라인(30)에 신호가 동시에 가해지는 선택 화소(pixel)에 플라즈마가 발생하게 된다. 이 때 가해지는 전압을 방전 개시 전압(firing voltage, 이하 'Vf 전압' )이라고 한다. 또한 어드레스 단계에서 플라즈마가 형성된 공간에 벽전하(wall charge)가 생성된다.The address step is a step of generating a plasma in a specific selected pixel. When voltage is applied to one of the bus line 22a and the address line 30 of the pair of bus lines, plasma is generated at a selected pixel to which signals are simultaneously applied to the bus line 22a and the address line 30. Done. The voltage applied at this time is called a firing voltage (hereinafter, referred to as a 'Vf voltage'). In addition, wall charges are generated in the space where the plasma is formed in the address step.

유지 단계는 상기 어드레스 단계 이후에 행해지는데, 어드레스 라인(30)에 인가되는 전압을 차단하고, 상기 Vf 전압보다 낮은 전압을 한 쌍으로 이루어진 버스라인(22a, 22b)에 인가하여 행한다. 이 때, 인가되는 전압을 플라즈마 유지전압(plasma sustain voltage, 이하 'Vs 전압' )이라고 한다.The sustaining step is performed after the addressing step, and is performed by cutting off the voltage applied to the address line 30 and applying a voltage lower than the Vf voltage to the pair of bus lines 22a and 22b. In this case, the voltage applied is referred to as a plasma sustain voltage (hereinafter, referred to as a 'Vs voltage').

상기 벽전하의 존재에 의해, Vf 전압보다 더 낮은 전압에서도 플라즈마가 유지될 수 있기 때문에, 상기 어드레스 단계에서 한번 선택된 화소에서는 Vs 전압에의해 플라즈마가 발생한다. 그러나, 상기 어드레스 단계에서 선택되지 않은 화소에서는 Vs 전압에 의해서는 플라즈마가 발생하지 않는다.Since the plasma can be maintained even at a voltage lower than the voltage Vf due to the presence of the wall charge, the plasma is generated by the voltage Vs in the pixel selected once in the address step. However, no plasma is generated by the Vs voltage in the pixel not selected in the address step.

삭제 단계(erase step)는 상기 벽전하를 소멸시켜 초기화하는 단계이며, 상기 유지 단계 다음에 행해진다.The erasing step is a step of erasing and initializing the wall charges, followed by the holding step.

그레이 스케일(Gray Scale)은 발광하는 시간으로 조절한다. 한 프레임(frame)을 여러 서브 프레임(sub-frame)으로 나누어 각 서브 프레임에서 상기 어드레스 단계, 유지 단계 및 삭제 단계를 반복하면서 각각의 화소의 발광 시간을 조절한다.Gray scale is adjusted by the time to emit light. One frame is divided into several sub-frames, and the light emission time of each pixel is adjusted while repeating the addressing step, holding step, and erasing step in each subframe.

도 4는 본 발명에 따른 플라즈마 스위치형 유기 광발광 소자의 제 1 기판부의 평면도이다.4 is a plan view of a first substrate of the plasma switch type organic light emitting device according to the present invention.

제 1 투명 기판(21)상에 1쌍의 전극(22a, 22b)이 서로 인접하여 배열되는 복수의 버스 라인(22)과, 복수의 버스 라인(22)과 직교하는 복수의 격벽(24)이 버스라인(22)을 포함하는 제 1 투명 기판(21)상에 적층된다. 여기서 유전막(23)과 하부보호막(25)은 도시하지 않았다.On the first transparent substrate 21, a plurality of bus lines 22 in which a pair of electrodes 22a and 22b are arranged adjacent to each other, and a plurality of partition walls 24 orthogonal to the plurality of bus lines 22 are provided. It is laminated on the first transparent substrate 21 including the bus line 22. Here, the dielectric layer 23 and the lower protective layer 25 are not shown.

도 5는 본 발명에 따른 플라즈마 스위치형 유기 광발광 소자의 제 2 기판부의 평면도이다.5 is a plan view of a second substrate portion of the plasma switch type organic light emitting device according to the present invention.

제 2 투명 기판(27)상에 복수의 유기 광발광층(28)이 적색 광발광층(28a),녹색 광발광층(28b), 그리고 청색 광발광층(28c)이 하나의 주기로 반복 배열된다. 복수의 유기 광발광층(28)과 직교하며, 제 1 기판부(26)의 수직 격벽(24) 사이와 대응되는 영역에 줄 무늬 형상의 복수의 어드레스 라인(30)이 배열된다. 복수의 유기 광발광층(28)은 제 1 기판부(26)의 복수의 버스 라인(22)과 일대일로 마주 보며 위치한다.On the second transparent substrate 27, the plurality of organic photoluminescent layers 28 are repeatedly arranged in one cycle of the red photoluminescent layer 28a, the green photoluminescent layer 28b, and the blue photoluminescent layer 28c. The plurality of address lines 30 having a stripe pattern are arranged in an area orthogonal to the plurality of organic photoluminescent layers 28 and corresponding to between the vertical partitions 24 of the first substrate portion 26. The plurality of organic photoluminescent layers 28 face each other in a one-to-one manner with the plurality of bus lines 22 of the first substrate portion 26.

여기서 복수의 유기 광발광층(28)과 복수의 어드레스 라인(30)사이에 개재되어 있는 제 1 상부 보호막과 복수의 어드레스 라인(30)상에 적층되는 제 2 상부 보호막은 도시하지 않았다.Here, the first upper passivation layer interposed between the plurality of organic light emitting layers 28 and the plurality of address lines 30 and the second upper passivation layer stacked on the plurality of address lines 30 are not illustrated.

도 6는 도 4을 A-A'로 절단한 본 발명에 따른 플라즈마 스위치형 유기 광발광 소자에 대한 제 1 기판부의 공정 단면도이다.FIG. 6 is a cross-sectional view of the first substrate of the plasma switch type organic light emitting device according to the present invention, taken along line AA ′ of FIG. 4.

도 6a)와 같이, 글라스(glass)로 이루어진 제 1 투명기판(21)상에 금속층으로 버스 라인(22)을 형성한다. 도 3과 같이 버스 라인(22)은 2개의 전극(22a, 22b)이 서로 인접하여 한 쌍을 이루도록 배열한다. 그리고 버스 라인(22)의 전극(22a)과 후술하는 어드레스 라인(30)에 전압을 인가하면, 버스 라인(22)의 전극(22a)과 어드레스 라인(30)에 신호가 동시에 가해지는 선택 화소(pixel)에 플라즈마가 발생하게 된다.As shown in FIG. 6A, a bus line 22 is formed of a metal layer on a first transparent substrate 21 made of glass. As shown in FIG. 3, the bus lines 22 are arranged such that the two electrodes 22a and 22b are adjacent to each other to form a pair. When a voltage is applied to the electrode 22a of the bus line 22 and the address line 30 which will be described later, the selection pixel to which a signal is simultaneously applied to the electrode 22a and the address line 30 of the bus line 22 The plasma is generated in the pixel.

버스 라인(22)은 금속 재료를 페이스트(paste) 형태로 만들고, 도 7a)의 제 1 스크린 마스크(screen mask)(33)를 이용하는 스크린 프린팅(screen printing)방법을 사용하여 형성한다. 다른 방법은 감광 성분이 첨가된 금속 재료을 페이스트 형태로 만들어 사진 석판 기술(photolithography)을 이용할 수 있다. 또 다른 방법은 스퍼터링 방법으로 금속층을 형성하고 패터닝하는 방법이 있다.Bus line 22 is formed using a screen printing method using a first screen mask 33 of FIG. 7A in the form of a paste of metal material. Another method is to use photolithography to paste the metal material to which the photosensitive component is added in the form of a paste. Another method is to form and pattern a metal layer by sputtering.

버스 라인(22)의 금속 재료로는 은, 크롬, 구리, 니켈, 금, 크롬/구리로 이루어진 2 중층, 크롬/구리/크롬으로 이루어진 3 중층 중 하나를 선택하여 사용한다.As the metal material of the bus line 22, one of a double layer made of silver, chromium, copper, nickel, gold, chromium / copper, and a triple layer made of chromium / copper / chrome is selected and used.

도 6b)와 같이, 버스 라인(22)을 포함하는 제 1 투명 기판(21)상에 유전막(23)을 형성한다. 유전막(23)은 플라즈마가 발생했을 때 제 1 투명 기판(21)에서 자외선의 흡수율을 최대한 적게 하며, 벽전하를 축적하는 저장(memory) 기능을 한다. 즉 플라즈마가 유기 광발광층과 충돌하여 발생하는 가시광은 플라즈마에 존재하는 자외선이 유기 광발광층에 전달되는 양에 의해 효율이 결정되므로 표면 흡수율을 최소화하고 반사율을 최대로 할 필요가 있다. 유전막(23)으로 반사율이 50 ~ 60 % 정도인 물질을 사용한다.As shown in FIG. 6B, the dielectric film 23 is formed on the first transparent substrate 21 including the bus lines 22. The dielectric film 23 has a function of storing the wall charges as much as possible by reducing the absorption rate of ultraviolet rays in the first transparent substrate 21 when the plasma is generated. That is, since the efficiency of the visible light generated when the plasma collides with the organic light emitting layer is determined by the amount of ultraviolet rays present in the plasma to the organic light emitting layer, it is necessary to minimize the surface absorption and maximize the reflectance. As the dielectric film 23, a material having a reflectance of about 50 to 60% is used.

유전막(23)은 유전물질을 페이스트 형태로 만들고, 제 2 스크린 마스크(도면에 도시하지 않음)을 이용하는 스크린 프린팅(screen printing)방법을 사용하여 형성한다.The dielectric film 23 is formed by using a screen printing method using a second screen mask (not shown) by making the dielectric material into a paste form.

그리고 유전막(23)의 재료는 산화 알루미늄, 산화연, 산화 티타늄, 산화지르코늄으로 이루어지는 백색의 유전막중 하나 또는 둘 이상의 복합층을 사용한다. 또는 붕소규산염(borosilicate) 계열의 물질을 사용하기도 한다.As the material of the dielectric film 23, one or two or more composite layers of a white dielectric film made of aluminum oxide, lead oxide, titanium oxide, and zirconium oxide are used. Alternatively, borosilicate-based materials may be used.

도 6c)와 같이, 유전막(23)상에 하부 보호막(25)을 적층한다. 플라즈마가 발생할 때, 이온에 의한 유전막(23)의 손상을 방지하고, 플라즈마 발생 전압을 감소시키기 위해 2 차 전자 방출 계수가 큰 물질로 하부 보호막(25)을 형성한다. 그리고 하부 보호막(25)는 MgO와 같은 산화물 계열의 박막을 보호막으로 사용한다. 하부 보호막(25)은 플라즈마의 스퍼터링에 대한 내성이 강하고 2차 전자 방출 계수가 높기 때문에 저전압 방전 특성을 가진다. 하부 보호막(25)은 표면 특성이 양호한 박막으로 형성하기 위해 전자 빔(beam) 증착 또는 진공 증착법으로 적층한다.As shown in FIG. 6C, a lower passivation layer 25 is stacked on the dielectric layer 23. When the plasma is generated, the lower protective film 25 is formed of a material having a large secondary electron emission coefficient to prevent damage to the dielectric film 23 by ions and to reduce the plasma generation voltage. The lower passivation layer 25 uses an oxide-based thin film such as MgO as the passivation layer. The lower passivation layer 25 has a low voltage discharge characteristic because it has a high resistance to plasma sputtering and a high secondary electron emission coefficient. The lower protective film 25 is laminated by electron beam deposition or vacuum deposition to form a thin film having good surface characteristics.

도 6d)와 같이, 하부 보호막(25)상에 버스 라인(22)과 직교하는 수직 격벽(24)을 형성한다. 수직 격벽(24)은 방전 형성을 위한 전극간 거리를 결정하며, 인접 셀에서 발생하는 방전에 의한 상호 혼신(cross-talk)을 방지하는 기능을 한다.As shown in FIG. 6D, a vertical partition wall 24 perpendicular to the bus line 22 is formed on the lower passivation layer 25. The vertical partition wall 24 determines the distance between electrodes for forming a discharge, and serves to prevent cross-talk due to discharge occurring in adjacent cells.

수직 격벽(24)은 PbO, B2O3, SiO2, Al2O3등의 산화물 계열의 무기 물질에서 하나 또는 2 이상의 복합층을 선택하여 상기 무기 물질을 페이스트 형태로 만들고, 제 3 스크린 마스크(screen mask)(34)을 이용해서 10회 이상의 스크린 프린팅(screen printing)방법으로 형성한다. 하층의 수직 격벽(24)은 백색 물질(white material)로 형성하고, 상층의 수직 격벽(24)은 흑색 물질(black material)로 형성한다. 흑색 물질의 수직 격벽(24)은 대조비(contrast ratio)를 개선시키는 기능을 한다. 여기서 유전막(23)상에 수직 격벽(24)을 형성하고, 하부 보호막(25)을 형성할 수 있다. 하부 보호막(25)은 수직 격벽(24)사이의 노출된 유전막(23)상에 적층되도록 전자 빔 또는 진공 증착법으로 형성한다.The vertical partition wall 24 selects one or two or more composite layers from an oxide-based inorganic material such as PbO, B 2 O 3 , SiO 2 , and Al 2 O 3 to form the inorganic material in a paste form, and forms a third screen mask. A screen mask 34 is used to form a screen printing method of 10 or more times. The lower vertical partition wall 24 is formed of a white material, and the upper vertical partition wall 24 is formed of a black material. Vertical bulkheads 24 of black material serve to improve the contrast ratio. In this case, the vertical barrier rib 24 may be formed on the dielectric layer 23, and the lower passivation layer 25 may be formed. The lower passivation layer 25 is formed by electron beam or vacuum deposition so as to be stacked on the exposed dielectric layer 23 between the vertical partition walls 24.

도 7는 도 4을 B-B'로 절단한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플라즈마 스위치형 유기 광발광 소자의 제 1 기판부의 공정 단면도이다.FIG. 7 is a cross-sectional view of the first substrate of the plasma switch type organic light emitting device according to the first exemplary embodiment of the present invention, taken along the line BB ′ of FIG. 4.

도 8은 도 5를 A-A'로 절단한 본 발명에 따른 플라즈마 스위치형 유기 광발광 소자의 제 2 기판부의 공정 단면도이다.8 is a cross-sectional view of the second substrate of the plasma switch type organic light emitting device according to the present invention, taken along line AA ′ of FIG. 5.

도 8a)와 같이, 제 2 투명 기판(27)상에 제 1 기판부(26)의 수직 격벽(24)과 직교하며, 버스 라인(22)과 일대일로 마주 보는 줄 무늬 형상의 유기 광발광층(28)을 적층한다. 유기 광발광층(28)은 적색 발광층(28a), 녹색 광발광층(28b), 그리고 청색 광발광층(28c)을 하나의 주기로 하여 반복 배열한다.As shown in FIG. 8A, an organic light emitting layer having a stripe shape orthogonal to the vertical partition wall 24 of the first substrate portion 26 on the second transparent substrate 27 and facing the bus line 22 in a one-to-one manner ( 28) is laminated. The organic light emitting layer 28 is repeatedly arranged with a red light emitting layer 28a, a green light emitting layer 28b, and a blue light emitting layer 28c as one cycle.

유기 광발광층(28)은 제 1 기판부(26)상의 버스 라인(22)에서 발생하는 플라즈마에서 나오는 자외선과 충돌하여 가시광을 발광할 수 있는 유기물질을 사용한다. 그 예로 물질의 종류와 발광 파장을 표 2에 나타내었다.The organic photoluminescent layer 28 uses an organic material capable of colliding with ultraviolet rays emitted from the plasma generated from the bus line 22 on the first substrate portion 26 to emit visible light. For example, the types of materials and emission wavelengths are shown in Table 2.

또한 유기 광발광층(28)은 줄 무늬 형상뿐 만 아니라 스크린 마스크(도면에 도시하지 않음) 등을 이용하여, 각 화소가 독립되어 있는 형태로 형성할 수 있다.In addition, the organic light emitting layer 28 may be formed in a form in which each pixel is independent using not only a stripe shape but also a screen mask (not shown).

도 8b)와 같이, 유기 광발광층(28)을 포함하는 제 2 투명 기판(27)상에 제1 상부보호막(29)을 적층한다. 제 1 상부 보호막(29)은 유기 광발광층(28)의 보호를 위하여 적층한다. 제 1 상부 보호막(29)은 플라즈마에서 발생하는 자외선을 통과시키는 MgF2또는 SiO2를 사용하며, 진공 증착 방법을 사용하여 형성한다. 특히 MgF2는 147nm 이상의 파장을 가지는 광을 투과시킨다고 알려져 있다.As shown in FIG. 8B, a first upper passivation layer 29 is laminated on the second transparent substrate 27 including the organic light emitting layer 28. The first upper passivation layer 29 is laminated to protect the organic light emitting layer 28. The first upper passivation layer 29 uses MgF 2 or SiO 2 which passes ultraviolet rays generated in the plasma, and is formed using a vacuum deposition method. In particular, MgF 2 is known to transmit light having a wavelength of 147 nm or more.

도 8c)와 같이, 제 1 상부 보호막(29)상에 유기 광발광층(28)과 직교하며, 제 1 기판부(26)의 수직 격벽(24)사이와 대응되는 영역에 줄 무늬 형상의 어드레스라인(30)을 형성한다. 어드레스 라인(30)은 특정한 화소를 선택하여 플라즈마를 발생시키는 기능을 한다. 어드레스 라인은 니켈, 은, 텅스텐, 그리고 알루미늄 중 하나를 사용하며 진공 증착 방법으로 형성한다.As shown in FIG. 8C, an address line having a stripe pattern is formed on the first upper passivation layer 29 at an orthogonal angle to the organic light emitting layer 28 and in a region corresponding to between the vertical partitions 24 of the first substrate portion 26. 30 is formed. The address line 30 selects a specific pixel to generate a plasma. The address line uses one of nickel, silver, tungsten, and aluminum and is formed by a vacuum deposition method.

어드레스 라인(30)을 포함한 제 1 상부 보호막(29)상에 제 2 상부 보호막(31)을 적층한다. 제 2 상부 보호막(31)은 플라즈마로부터 어드레스 라인(30)을 보호하기 위하여 적층한다. 그리고 제 2 상부 보호막(31)은 MgF2또는 SiO2를 사용하며 진공 증착 방법으로 형성한다.The second upper passivation layer 31 is stacked on the first upper passivation layer 29 including the address line 30. The second upper passivation layer 31 is stacked to protect the address line 30 from the plasma. The second upper passivation layer 31 uses MgF 2 or SiO 2 and is formed by a vacuum deposition method.

도 9는 도 5를 B-B'로 절단한 본 발명에 따른 플라즈마 스위치형 유기 광발광 소자의 제 2 기판부의 공정 단면도이다.9 is a cross-sectional view of the second substrate of the plasma switch type organic light emitting device according to the present invention, taken along line BB ′ in FIG. 5.

도 6 ~ 도 9와 같이 제 1 기판부(26)과 제 2 기판부(32)가 완성되면, 제 1 기판부(26)를 배면 기판으로 하고, 제 2 기판부(32)를 표시 기판으로 하여 봉지재(sealing material)(도면에 도시하지 않음)를 사용하여 밀봉한다. 봉지재로는 에폭시(epoxy) 수지 등을 사용하며, 에폭시 수지를 제 1 기판부(26)와 제 2 기판부(32)의 봉합 부분에 노즐(nozzle)을 인출(drawing)한 후, 에폭시는 수은 램프(Hg lamp)를 사용하여 UV 경화시켜서 봉지한다. 이 때, 제 2 기판부(32)의 어드레스 라인(30)이 제 1 기판부(26)의 수직 격벽(24)사이에 위치하며, 버스라인(22)과 직교하도록 배치한다. 어드레스 라인(30)은 화소의 개구 영역을 최대한 확보하기 위하여 수직 격벽(24) 사이의 일측에 편중되도록 위치시킨다.6 to 9, when the first substrate portion 26 and the second substrate portion 32 are completed, the first substrate portion 26 is used as the back substrate, and the second substrate portion 32 is used as the display substrate. Sealed using a sealing material (not shown). Epoxy resin or the like is used as the encapsulating material, and after drawing the nozzle to the sealing portions of the first substrate portion 26 and the second substrate portion 32, the epoxy It is sealed by UV curing using a mercury lamp (Hg lamp). At this time, the address line 30 of the second substrate portion 32 is located between the vertical partition walls 24 of the first substrate portion 26 and is disposed to be orthogonal to the bus line 22. The address line 30 is positioned so as to be biased on one side between the vertical partition walls 24 in order to maximize the opening area of the pixel.

이와 같은 본 발명에 따른 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자 및 그 제조 방법은 다음과 같은 효과가 있다.Such a plasma switch type organic light emitting display device and a method of manufacturing the same according to the present invention have the following effects.

유기 광발광층과 어드레스 라인을 평행하게 배열하면 중첩 영역이 증가된다. 따라서 이러한 중첩 영역의 증가를 방지하기 위하여 유기 광발광층과 어드레스 라인을 직교하도록 배치하면 중첩되는 면적을 최소화되어 플라즈마가 발생할 때 인가되는 전압에 의해 유기 광발광층이 열화되는 것을 방지한다. 이로 인해 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시소자는 긴수명, 고휘도, 그리고 고대조비를 가지는 효과가 있다.Arranging the organic light emitting layer and the address line in parallel increases the overlapping area. Therefore, in order to prevent the increase in the overlapping area, the organic light emitting layer and the address line are disposed orthogonally to minimize the overlapping area, thereby preventing the organic light emitting layer from being deteriorated by the voltage applied when the plasma is generated. Accordingly, the plasma switch type organic light emitting display device has an effect of long life, high brightness, and high contrast.

유기 발광 물질이 전류에 의하여 발광되는 것이 아니라, 플라즈마에서 방출되는 자외선에 의해서 발광한다. 따라서 종래 기술의 유기 전계 발광 표시소자의 발광 효율을 증대시키기 위한 정공 주입층, 정공 수송층 또는 전자 수송층 등과 같은 보조층이 필요없게 되어 제조 방법이 용이하고 저가의 대면적 능동형 표시소자를 구현할 수 있게 된다.The organic light emitting material does not emit light by electric current, but emits light by ultraviolet rays emitted from the plasma. Therefore, an auxiliary layer such as a hole injection layer, a hole transport layer, or an electron transport layer is not required to increase the luminous efficiency of the organic light emitting display device according to the related art. .

또한, 전류구동에 의한 유기 광발광층의 열화가 발생되지 않기 때문에 표시소자의 성능이 향상된다.In addition, since the organic light emitting layer is not deteriorated by current driving, the performance of the display device is improved.

아울러 본 발명의 바람직한 실시예들은 예시의 목적을 위해 개시된 것이며, 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가등이 가능할 것이며, 이러한 수정 변경등은 이하의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다In addition, preferred embodiments of the present invention are disclosed for the purpose of illustration, those skilled in the art will be able to various modifications, changes, additions, etc. within the spirit and scope of the present invention, these modifications and changes should be seen as belonging to the following claims. something to do

Claims (10)

줄 무늬 형상으로 배열되는 복수의 제 1 전극과 상기 복수의 제 1 전극상에 유전막을 가지는 제 1 기판부;A first substrate portion having a plurality of first electrodes arranged in a stripe shape and a dielectric film on the plurality of first electrodes; 상기 복수의 제 1 전극과 직교하며 줄 무늬 형상으로 배열되는 복수의 제 2 전극을 가지는 제 2 기판부;A second substrate portion having a plurality of second electrodes orthogonal to the plurality of first electrodes and arranged in a stripe shape; 상기 제 1 기판부와 상기 제 2 기판부 사이에 상기 복수의 제 1 전극과 상기 복수의 제 2 전극이 직교하는 영역에 형성되는 복수의 방전 공간;A plurality of discharge spaces formed in a region where the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes are orthogonal between the first substrate portion and the second substrate portion; 상기 복수의 방전 공간내의 상기 제 2 기판부상에 상기 복수의 제 2 전극과 직교하며 배열되는 복수의 유기 광발광층을 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마스위치형 유기 광발광 표시 소자.And a plurality of organic light emitting layers arranged orthogonally to the plurality of second electrodes on the second substrate portion in the plurality of discharge spaces. 제 1 항에 있어서, 상기 복수의 제 1 전극은 2개의 전극이 서로 인접하여 한쌍으로 이루어진 것을 특징으로 하는 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자.The organic light emitting display device of claim 1, wherein the plurality of first electrodes comprises a pair of two electrodes adjacent to each other. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 유전막상에 보호막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자.The plasma switch type organic light emitting display device according to claim 1 or 2, further comprising a protective film on the dielectric film. 제 1 항 내지는 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 유기 광발광층과 상기 복수의 제 2 전극 사이와 상기 복수의 제 2 전극상에 각각 제 1 보호막및 제 2 보호막을 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자.The method according to any one of claims 1 to 3, wherein a first protective film and a second protective film are formed between the plurality of organic photoluminescent layers and the plurality of second electrodes and on the plurality of second electrodes, respectively. A plasma switch type organic light emitting display device. 제 1 항 내지는 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 복수의 방전 공간은 상기 제 1 기판부상에 상기 복수의 제 1 전극과 직교하며 배열되는 복수의 수직 격벽에 의해 구분되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자.The plasma of any one of claims 1 to 4, wherein the plurality of discharge spaces are divided by a plurality of vertical barrier ribs arranged orthogonal to the plurality of first electrodes on the first substrate portion. Switched organic light emitting display device. 줄 무늬 형상으로 배열되는 복수의 제 1 전극과 상기 복수의 제 1 전극상에 유전막과 상기 복수의 제 1 전극과 직교하는 복수의 격벽을 가지는 제 1 기판부를 준비하는 단계;Preparing a first substrate portion having a plurality of first electrodes arranged in a stripe shape and a plurality of partitions orthogonal to the dielectric film and the plurality of first electrodes on the plurality of first electrodes; 상기 복수의 제 1 전극과 일대일로 마주보며 상기 복수의 격벽과 직교하는 줄 무늬 형상의 복수의 유기 광발광층과 상기 복수의 유기 광발광층과 직교하며 상기 복수의 수직 격벽사이에 위치하는 줄 무늬 형상의 복수의 제 2 전극을 가지는 제 2 기판부을 준비하는 단계;A plurality of organic light emitting layers having a stripe shape orthogonal to the plurality of partition walls and facing the plurality of first electrodes and a plurality of organic light emitting layers orthogonal to the plurality of organic light emitting layers and positioned between the plurality of vertical partitions. Preparing a second substrate portion having a plurality of second electrodes; 상기 제 1 기판부의 상기 복수의 격벽 사이에 상기 제 2 기판부의 상기 복수의 제 2 전극이 위치하도록 봉지재를 사용하여 상기 제 1 기판부와 상기 제 2 기판부를 봉지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자의 제조 방법.And encapsulating the first substrate portion and the second substrate portion using an encapsulant such that the plurality of second electrodes of the second substrate portion are positioned between the plurality of partition walls of the first substrate portion. A method of manufacturing a plasma switch organic light emitting display device. 제 6 항에 있어서, 상기 복수의 격벽 사이의 공간에 He, Ne, Ar, Kr, Xe, Rn, 그리고 Hg 등의 플라즈마 형성용 가스를 단독 혹은 혼합 충진시키는 것을 특징으로 하는 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시소자의 제조 방법.The plasma switch type organic photoluminescence method according to claim 6, wherein plasma forming gases such as He, Ne, Ar, Kr, Xe, Rn, and Hg are individually or mixedly filled in the spaces between the plurality of partition walls. Manufacturing method of display element. 제 6 항 또는 제 7항에 있어서, 상기 제 1 기판부를 준비하는 단계는,The method of claim 6 or 7, wherein the preparing of the first substrate portion, 투명 기판상에 상기 복수의 제 1 전극으로 사용하는 복수의 버스 라인을 형성하는 단계;Forming a plurality of bus lines for use as the plurality of first electrodes on a transparent substrate; 상기 복수의 버스 라인을 포함하는 상기 투명 기판상에 유전막을 형성하는 단계;Forming a dielectric film on the transparent substrate including the plurality of bus lines; 상기 유전막상에 보호막을 형성하는 단계;Forming a protective film on the dielectric film; 상기 보호막상에 상기 복수의 격벽을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자의 제조 방법.And forming the plurality of barrier ribs on the passivation layer. 제 6 항 내지는 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 2 기판부를 준비하는 단계는,The method of claim 6, wherein the preparing of the second substrate part comprises: 투명 기판상에 상기 복수의 제 1 전극과 일대일로 마주보는 상기 복수의 유기 광발광층을 형성하는 단계;Forming the plurality of organic photoluminescent layers facing one-to-one with the plurality of first electrodes on a transparent substrate; 상기 복수의 유기 광발광층을 포함하는 상기 투명 기판상에 제 1 보호막을 형성하는 단계;Forming a first passivation layer on the transparent substrate including the plurality of organic light emitting layers; 상기 제 1 보호막상에 상기 복수의 유기 광발광층과 직교하며 상기 복수의격벽 사이에 위치하는 상기 복수의 제 2 전극으로 사용하는 복수의 어드레스 라인을 형성하는 단계;Forming a plurality of address lines on the first passivation layer, the plurality of address lines being used as the plurality of second electrodes orthogonal to the plurality of organic light emitting layers and positioned between the plurality of partition walls; 상기 복수의 어드레스 라인을 포함하는 상기 제 1 보호막상에 제 2 보호막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자의 제조 방법.And forming a second passivation layer on the first passivation layer including the plurality of address lines. 제 6 항 내지는 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제 1 기판부와 상기 제 2 기판부사이의 봉합 부분에 봉지재로 에폭시 수지를 사용하여 접착하고 수은 램프를 사용하여 UV 경화시켜서 봉지하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 스위치형 유기 광발광 표시 소자의 제조 방법.10. The method according to any one of claims 6 to 9, wherein the sealing portion between the first substrate portion and the second substrate portion is bonded using an epoxy resin as an encapsulant and UV cured using a mercury lamp. A method of manufacturing a plasma switch organic light emitting display device.
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