KR20020036552A - 모듈램 테스트 핸들러의 셔터장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 모듈램 테스트 핸들러의 셔터장치에 관한 것으로, 셔터의 개폐동작이 원활히 이루어지면서 셔터와 챔버의 구조물이 서로 밀착될 수 있도록 하여 챔버 간의 밀폐가 완전히 이루어질 수 있도록 한 것이다.

이를 위해 본 발명은, 각각의 내부가 독립적으로 소정의 온도상태를 갖도록 조성되고 서로 연접하게 설치된 다수의 챔버들과, 일 챔버에서 다른 챔버로의 모듈램이 장착된 캐리어의 이동이 가능하도록 각 챔버들 사이에서 슬라이딩 이동하며 각 챔버들을 개폐하도록 된 셔터장치를 구비하여, 상기 캐리어들을 각 챔버들로 연속적으로 이송하며 소정의 온도 조건하에서 일련의 모듈램 테스트를 수행하도록 된 핸들러에 있어서, 챔버와 챔버 사이를 구획하는 단열벽체의 개방부의 양측면부 각각에서 슬라이딩 이동하며 상기 개방부를 개폐하도록 된 판형상의 한 쌍의 제1,2셔터와; 상기 제 1,2셔터들 사이에 위치되도록 상기 제 1셔터에 고정되게 설치된 중공의 홀더부와; 상기 제 2셔터에 고정되게 설치되어 상기 제 1셔터의 홀더부의 중공부에 삽입 결합되는 결합축과; 상기 홀더부와 상기 결합축의 결합부위에 설치되어 홀더부와 결합축 각각에 서로의 방향으로 향하는 탄성력을 부여하는 탄성부재를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한 모듈램 테스트 핸들러의 셔터장치를 제공한다.

Description

모듈램 테스트 핸들러의 셔터장치{Shutter for handler for testing Module RAM}

본 발명은 모듈램(Module RAM)과 같은 디바이스를 테스트하기 위한 핸들러에 관한 것으로, 특히 핸들러의 각 챔버 사이에 설치되어 모듈램을 장착한 캐리어들이 각 챔버들로 이송될 때 이들 챔버 사이를 개폐하도록 된 모듈램 테스트 핸들러의 셔터장치에 관한 것이다.

일반적으로, 모듈램은 복수개의 아이씨(IC) 및 기타 소자를 하나의 기판상에 납땜 고정하여 독립적인 회로를 구성한 것으로, 이러한 모듈램은 컴퓨터의 마더보드에 실장되는 여러가지의 부품들 중에서 매우 중요한 역할을 하기 때문에 생산 후 출하 전에 반드시 그의 이상상태를 점검하는 과정을 거치게 된다.

첨부된 도면 중 도 1은 상기와 같은 모듈램을 자동으로 로딩 및 언로딩하여 테스트하도록 된 모듈램 테스트 핸들러의 일례를 나타낸 것으로, 핸들러는, 트레이(미도시)에 수납되어 있는 다수의 모듈램들을 테스트용 캐리어(C)에 장착하는 로딩부(1)와, 상기 로딩부(1)의 모듈램 장착된 캐리어(C)를 별도의 이송장치(미도시)로 순차적으로 이동시키며 캐리어(C)의 모듈램들을 소정의 온도로 가열 또는 냉각시키는 예열챔버(2)와, 상기 예열챔버(2)에서 예열된 후 이송되어 온 캐리어(C)의 모듈램들을 외부의 테스트장치와 결합된 테스트소켓(7)에 장착하여 소정의 온도상태 하에서 테스트를 수행하게 되는 테스트챔버(3)와, 상기 테스트챔버(3)에서 테스트 완료된 후 이송되어 온 캐리어(C)에 상온 또는 고온의 공기를 공급함으로써 모듈램을 냉각 또는 가열하여 초기의 상온 상태로 만들어주는디프로스팅챔버(4; defrosting chamber) 및, 상기 디프로스팅챔버(4)를 통해 이송되어 온 캐리어(C)로부터 테스트 완료된 모듈램들을 분리하여 테스트 결과에 따라 지정된 트레이에 분류 적재하게 되는 언로딩부(5)로 크게 구성되어, 소정의 온도범위 내에서 모듈램의 상온 테스트와 고온 테스트 및 저온 테스트를 수행하게 된다.

여기서, 상기 예열챔버(2)와 테스트챔버(3) 및 디프로스팅챔버(4)는 서로 연접하게 설치되어 있으며, 각 챔버 사이에는 챔버들의 밀폐상태를 유지하면서 캐리어(C)들의 이송을 가능하게 하기 위하여 캐리어(C)들이 이송될 때 개폐가능하도록 구성된 셔터장치가 설치되어 있다.

도 2는 상기와 같은 종래의 셔터장치의 구성의 일례를 나타낸 것으로, 셔터장치는 챔버들의 단열벽체(80) 내외측 각각에 설치된 셔터(91, 92)들이 실린더(94)의 작동에 의해 동시에 좌우측으로 슬라이딩 이동하며 단열벽체(80)의 개방부(81)를 개폐시킬 수 있도록 된 2중셔터구조로 되어 있다.

상기와 같은 종래의 셔터장치에 있어서, 상기 셔터(91, 92)들은 그들 사이에 단열벽체(80)의 두께와 거의 동일한 크기를 갖는 스페이서(93)에 의해 서로 일정한 간격을 유지하면서 결합된 구조로 되어 있는데, 이와 같이 단일체로 된 스페이서(93)에 의해 셔틀 간격을 유지하는 방식은 셔틀장치의 동작에 문제를 일으킬 우려가 있으며, 챔버 간의 완전한 밀폐가 어렵다는 결점이 있다.

구체적으로, 종래의 셔터장치에서는 가공부품들의 제작공차에 의해서 셔터(91, 92)의 간격이 챔버의 단열벽체(80)의 두께와 정확히 일치하지 않으면, 셔터(91, 92)의 동작이 원활하지 않거나 혹은 단열벽체(80)와 셔터(91, 92) 간에 틈새가 발생하여 챔버 내의 공기가 이를 통해 출입하게 되고, 이에 따라 챔버 간의 완전한 밀폐가 이루어지지 않게 되어 테스트 효율이 저하되고 신뢰성에도 문제가 발생하게 되는 것이다.

이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 셔터장치의 구성을 개선하여 고도의 정밀성을 요하지 않고도 셔터의 개폐동작이 원활히 이루어지면서 셔터와 챔버의 구조물이 서로 밀착될 수 있도록 하여 챔버 간의 밀폐가 완전히 이루어질 수 있도록 한 모듈램 테스트 핸들러의 셔터장치를 제공함에 그 목적이 있다.

도 1은 모듈램 테스트 핸들러의 일례를 나타낸 평면 구성도

도 2는 종래의 핸들러용 셔터장치의 구조를 나타낸 요부 횡단면도

도 3은 본 발명에 따른 핸들러용 셔터장치의 제 1실시예의 구조를 나타낸 요부 횡단면도

도 4는 본 발명에 따른 핸들러용 셔터장치의 제 2실시예의 구조를 나타낸 요부 종단면도

도 5는 도 4의 셔터장치의 일부분을 절개하여 나타낸 부분 사시도

* 도면의 주요부분의 참조부호에 대한 설명 *

80 - 단열벽체 81 - 개방부

85 - 가이드레일 85a - 홈

91, 92, 191, 192 - 셔틀 930 - 컨넥팅블록

931 - 홀더부 933 - 걸림단

935 - 결합축 936 - 걸림단

937 - 압축스프링

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 한 형태에 따르면, 각각의 내부가 독립적으로 소정의 온도상태를 갖도록 조성되고 서로 연접하게 설치된 다수의 챔버들과, 일 챔버에서 다른 챔버로의 모듈램이 장착된 캐리어의 이동이 가능하도록 각 챔버들 사이에서 슬라이딩 이동하며 각 챔버들을 개폐하도록 된 셔터장치를 구비하여, 상기 캐리어들을 각 챔버들로 연속적으로 이송하며 소정의 온도 조건하에서 일련의 모듈램 테스트를 수행하도록 된 핸들러에 있어서, 상기 셔터장치는, 챔버와 챔버 사이를 구획하는 단열벽체의 개방부의 양측면부 각각에서 슬라이딩 이동하며 상기 개방부를 개폐하도록 된 판형상의 한 쌍의 제1,2셔터와, 상기 제 1,2셔터들 사이에 위치되도록 상기 제 1셔터에 고정되게 설치된 중공의 홀더부와, 상기 제 2셔터에 고정되게 설치되어 상기 제 1셔터의 홀더부의 중공부에 삽입 결합되는 결합축과, 상기 홀더부와 상기 결합축의 결합부위에 설치되어 홀더부와 결합축 각각에 서로의 방향으로 향하는 탄성력을 부여하는 탄성부재를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 홀더부는 그의 중공부의 끝단 내주면에 내측으로 돌출된 걸림단이 형성되고, 상기 결합축은 그의 끝단부 외주면에 외측으로 돌출된 걸림단이 형성되며, 상기 탄성부재는 상기 홀더부의 걸림단과 상기 결합축의 걸림단 사이에서 상기 결합축에 결합되어 일단이 상기 홀더부의 걸림단에 의해 지지되고 타단이 상기 결합축의 걸림단에 의해 지지되도록 된 압축스프링으로 구성된다.

그리고, 본 발명의 핸들러용 셔터장치의 다른 형태에 의하면, 셔터장치는, 챔버와 챔버 사이의 단열벽체의 일측부에 설치되어, 챔버의 상하부에 설치된 가이드레일의 홈을 따라 슬라이딩 이동하며 챔버 사이를 개폐하도록 된 판형상의 한 쌍의 제1,2셔터와, 상기 제 1,2셔터들 사이에 위치되도록 상기 제 1셔터에 고정되게 설치된 중공의 홀더부와, 상기 제 2셔터에 고정되게 설치되어 상기 제 1셔터의 홀더부의 중공부에 삽입 결합되는 결합축과, 상기 결합축에 결합되어 상기 홀더부를 탄발지지하는 압축스프링을 포함하여 구성되어, 상기 압축스프링에 의해 제 1셔터와 제 2셔터에 서로에 대해 미는 방향으로 탄성력을 부여함으로써 제 1셔터와 제 2셔터가 가이드레일의 홈의 외측부에 밀착될 수 있도록 한 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명에 따른 핸들러용 셔터장치의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 3은 본 발명에 따른 셔터장치의 제 1실시예의 구조를 나타낸 것으로, 챔버와 챔버 사이에 설치된 단열벽체(80)에는 모듈램이 장착된 캐리어가 통과하며 이송되는 개방부(81)가 형성되어 있고, 상기 단열벽체(80)의 양측면부에는 이 단열벽체(80)의 면을 따라 측방 이동하며 상기 개방부(81)을 개폐할 수 있도록 된 한 쌍의 판형상의 제 1,2셔터(91, 92)가 설치된다.

그리고, 상기 제 1셔터(91) 또는 제 2셔터(92) 중 어느 한 쪽의 외측면부에는 이 셔터들을 측방 이동시키기 위한 실린더(94)가 설치되어 있으며, 상기 제 1셔터(91)와 제 2셔터(92)는 그들 사이에 설치된 컨넥팅블록(930)에 의해 서로 탄성적으로 결합되어 있는 바, 이로써 상기 제 1셔터(91)와 제 2셔터(92)는 상기 실린더(94)의 작동에 의해 함께 연동하며 개방부(81)를 개폐하게 된다.

한편, 상기 컨넥팅블록(930)은 상기 제 1셔터(91)와 제 2셔터(92)를 서로의 방향으로 끌어당기는 탄성력을 부여하며 결합시키도록 되어 있고, 이로써 상기 제 1셔터(91)와 제 2셔터(92)가 항상 단열벽체(80)의 양측면에 대해 단단히 밀착될 수 있도록 되어 있는데, 상기 컨넥팅블록(930)은 상기 제 1,2셔터(91, 92)들 사이에 위치되도록 상기 제 1셔터(91)에 고정되게 설치된 중공의 홀더부(931)와, 상기 제 2셔터(92)에 고정되어 상기 제 1셔터(91)의 홀더부(931)의 중공부(932)에 삽입 결합되는 결합축(935)과, 상기 홀더부(931)와 상기 결합축(935)의 결합부위에 설치되어 이들 각각에 서로의 방향으로 향하는 탄성력을 부여하며 결합시키는 압축스프링(937)으로 구성된다.

여기서, 상기 홀더부(931)는 그의 중공부(932)의 끝단 내주면에 내측으로 돌출된 걸림단(933)이 형성되고, 상기 결합축(935)은 그의 끝단부 외주면에 외측으로돌출된 걸림단(936)이 형성되며, 상기 압축스프링(937)은 상기 홀더부(931)의 걸림단(933)과 상기 결합축(935)의 걸림단(936) 사이에서 상기 결합축(935)에 결합되어 그의 일단이 상기 홀더부(931)의 걸림단(933)에 의해 지지되고 타단이 상기 결합축(935)의 걸림단(936)에 의해 지지되도록 구성되어 있다.

그리고, 상기 홀더부(931)의 중공부(932)의 내측단과 외측단 각각에는 이 중공부(932)내로 삽입되는 결합축(935)을 선형이동 가능하게 지지하도록 리니어베어링(938)이 설치되어 있다.

따라서, 상기와 같이 결합된 압축스프링(937)에 의해 홀더부(931)가 제 2셔터(92)쪽으로 탄성력을 받게 되고, 반대로 결합축(935)은 제 1셔터(91)쪽으로 탄성력을 받게 되므로, 제 1셔터(91)와 제 2셔터(92)는 항상 단열벽체(80)에 단단히 밀착될 수 있게 되는 것이다.

한편, 도 4와 도 5는 본 발명에 따른 셔터장치의 제 2실시예를 나타낸 것으로, 이 제 2실시예는 셔틀들이 챔버의 단열벽체에 대해 밀착하는 방식이 아닌 셔틀들이 결합되어 안내되는 가이드레일의 홈에 탄성적으로 밀착되도록 한 방식을 적용한 것이다.

도 4와 도 5에 도시된 바와 같이, 챔버와 챔버의 경계부분의 상하부면 각각에 홈(85a)이 형성된 가이드레일(85)들이 설치되고, 이들 가이드레일(85)의 홈(85a)의 각각에는 판형상의 제 1셔터(191)와 제 2셔터(192)가 이동가능하게 결합되어 있다.

그리고, 상기 제 1셔터(191)와 제 2셔터(192) 중 어느 하나의 외측면부에는이들 셔터들을 가이드레일(85)을 따라 이동시키며 챔버를 개폐하는 실린더(198)가 장착되고, 상기 제 1셔터(191)와 제 2셔터(192)의 사이에는 이들 제 1,2셔터(191, 192)들을 탄성적으로 결합시키는 컨넥팅블록(193)이 설치된다.

여기서, 상기 컨넥팅블록(193)은, 상기 제 1,2셔터(191, 192)들 사이에 위치되도록 상기 제 1셔터에 고정되게 설치된 중공의 홀더부(194)와, 상기 제 2셔터(192)에 고정되게 설치되어 상기 제 1셔터(191)의 홀더부의 중공부에 삽입 결합되는 결합축(195)과, 상기 결합축(195)에 결합되어 상기 홀더부(194)의 외측 끝단부를 탄발지지하는 압축스프링(196)으로 구성되어 있다.

따라서, 상기 제 1셔터(191)의 홀더부(194)가 상기 압축스프링(196)에 의해 지속적으로 탄성력을 받음으로 인하여 상기 제 1셔터(191)와 제 2셔터(192)가 항상 서로에 대해 미는 방향으로 탄성력을 받게 되고, 이로써 제 1셔터(191)와 제 2셔터(192)는 가이드레일(85)의 홈(85a)의 외측부에 밀착될 수 있게 된다.

이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 2중 셔터구조를 갖는 셔터장치에 있어 각 부품들의 제작공차가 발생하더라도 셔터들이 항상 챔버의 구조물에 대해 밀착된 상태를 유지하면서 개폐동작이 원활히 이루어질 수 있게 되므로, 챔버들 간의 기밀성이 향상되어 테스트의 신뢰성이 향상됨과 더불어 테스트효율이 향상된다.

Claims (4)

1. 각각의 내부가 독립적으로 소정의 온도상태를 갖도록 조성되고 서로 연접하게 설치된 다수의 챔버들과, 일 챔버에서 다른 챔버로의 모듈램이 장착된 캐리어의 이동이 가능하도록 각 챔버들 사이에서 슬라이딩 이동하며 각 챔버들을 개폐하도록 된 셔터장치를 구비하여, 상기 캐리어들을 각 챔버들로 연속적으로 이송하며 소정의 온도 조건하에서 일련의 모듈램 테스트를 수행하도록 된 핸들러에 있어서,

   챔버와 챔버 사이를 구획하는 단열벽체의 개방부의 양측면부 각각에서 슬라이딩 이동하며 상기 개방부를 개폐하도록 된 판형상의 한 쌍의 제1,2셔터와, 상기 제 1,2셔터들 사이에 위치되도록 상기 제 1셔터에 고정되게 설치된 중공의 홀더부와, 상기 제 2셔터에 고정되게 설치되어 상기 제 1셔터의 홀더부의 중공부에 삽입 결합되는 결합축과, 상기 홀더부와 상기 결합축의 결합부위에 설치되어 홀더부와 결합축 각각에 서로의 방향으로 향하는 탄성력을 부여하는 탄성부재를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 모듈램 테스트 핸들러의 셔터장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 홀더부는 그의 중공부의 끝단 내주면에 내측으로 돌출된 걸림단이 형성되고, 상기 결합축은 그의 끝단부 외주면에 외측으로 돌출된 걸림단이 형성되며, 상기 탄성부재는 상기 홀더부의 걸림단과 상기 결합축의 걸림단 사이에서 상기 결합축에 결합되어 일단이 상기 홀더부의 걸림단에 의해 지지되고 타단이 상기 결합축의 걸림단에 의해 지지되도록 된 압축스프링으로 구성된 것을특징으로 하는 모듈램 테스트 핸들러의 셔터장치.
3. 각각의 내부가 독립적으로 소정의 온도상태를 갖도록 조성되고 서로 연접하게 설치된 다수의 챔버들과, 일 챔버에서 다른 챔버로의 모듈램이 장착된 캐리어의 이동이 가능하도록 각 챔버들 사이에서 슬라이딩 이동하며 각 챔버들을 개폐하도록 된 셔터장치를 구비하여, 상기 캐리어들을 각 챔버들로 연속적으로 이송하며 소정의 온도 조건하에서 일련의 모듈램 테스트를 수행하도록 된 핸들러에 있어서,

   상기 셔터장치는, 챔버와 챔버 사이의 단열벽체의 일측부에 설치되어, 챔버의 상하부에 설치된 가이드레일의 홈을 따라 슬라이딩 이동하며 챔버 사이를 개폐하도록 된 판형상의 한 쌍의 제1,2셔터와, 상기 제 1,2셔터들 사이에 위치되도록 상기 제 1셔터에 고정되게 설치된 중공의 홀더부와, 상기 제 2셔터에 고정되게 설치되어 상기 제 1셔터의 홀더부의 중공부에 삽입 결합되는 결합축과, 상기 결합축에 결합되어 상기 홀더부를 탄발지지하는 탄성부재를 포함하여 구성되어, 상기 탄성부재에 의해 제 1셔터와 제 2셔터가 서로에 대해 미는 방향으로 탄성력이 부여됨으로써 제 1셔터와 제 2셔터가 가이드레일의 홈의 외측부에 밀착될 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 모듈램 테스트 핸들러의 셔터장치.
4. 제 3항에 있어서, 상기 탄성부재는 압축스프링으로 된 것을 특징으로 하는 모듈램 테스트 핸들러의 셔터장치.