KR200174671Y1 - Videomicroscope - Google Patents
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Abstract
화상 현미경에 관하여 개시한다. 이를 위한 본 고안은, 본체와; 상기 본체에 설치되는 렌즈계와; 상기 렌즈계에 의해 확대된 피사체의 모습을 촬상하는 촬상소자와; 상기 렌즈계의 일단에 회전 가능하도록 구비되는 지지마운트 및; 상기 지지마운트 내부에 설치되는 피사체 거울과 렌즈거울을 구비하는 화상 현미경 장치에 있어서,상기 지지마운트에 대하여 회전가능하게 설치되는 조명광학계 마운트 및, 상기 조명광학계 마운트에 설치되는 다수의 광섬유를 더 구비하는 것을 특징으로 하며, 조명광학계 마운트의 내부에 광섬유를 장착시켜 피사체에 고르게 조사함으로써 기존 방식의 확산판이나 조명광원의 출력증강이 필요없고, 또한 상기 조명광학계 마운트의 단부가 피사체의 방향으로 경사지게 형성되어 있으므로, 상기 조명광학 마운트에 설치되는 광섬유로 부터의 조사광이 관찰하고자 하는 피사체에 직사됨으로서 저조도에서도 양호한 조명효과를 얻을 수 있다는 이점이 있다.Disclosed is an imaging microscope. The present invention for this, the main body; A lens system installed in the main body; An image pickup device for picking up an image of a subject enlarged by the lens system; A support mount rotatably provided at one end of the lens system; An image microscope apparatus having a subject mirror and a lens mirror installed inside the support mount, the image microscope device further comprising: an illumination optical system mount rotatably installed with respect to the support mount, and a plurality of optical fibers installed in the illumination optical system mount It is characterized in that, by mounting the optical fiber inside the illumination optical system mount evenly irradiating the subject, there is no need to increase the output of the conventional diffuser plate or illumination light source, and the end of the illumination optical system mount is formed to be inclined in the direction of the subject Therefore, since the irradiation light from the optical fiber installed in the illumination optical mount is directly directed to the subject to be observed, there is an advantage that a good lighting effect can be obtained even at low illumination.
Description
본 고안은 화상 현미경에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 조명장치가 개선된 화상 현미경에 관한 것이다.The present invention relates to an image microscope, and more particularly to an image microscope with an improved lighting device.
일반적으로 현미경은 관찰대상인 피사체를 고배율로 확대시켜서 관찰하기 위한 광학기기로서, 피사체가 배치되는 대물대에 근접한 위치에 설치되는 대물렌즈와, 관찰자의 눈에 근접한 위치에 설치되는 접안렌즈등으로 이루어지는 렌즈그룹을 통해서 피사체를 관찰할 수 있게 된다. 이러한 현미경은 학술 및 산업분야에서 광범위하게 사용되고 있다. 예를들면 생물학이나 의학분야에서 널리 이용되고 있고, 최근에 이르러서는 전기 전자 반도체분야의 칩을 설계 가공하거나 검사하는데 필수적인 장비로서 이용되고 있다.Generally, a microscope is an optical device for observing an object to be observed at a high magnification, and includes an objective lens installed at a position close to an object on which a subject is placed and an eyepiece lens positioned at a position close to an observer's eye. Through the group, the subject can be observed. Such microscopes are widely used in academic and industrial fields. For example, it is widely used in biology and medicine, and recently, it is used as an essential equipment for designing, processing or testing chips in the field of electric and electronic semiconductors.
광학 현미경을 응용한 광학기기의 하나인 화상 현미경은 현미경과 씨씨디 카메라(CCD camera)를 결합한 장치로서, 현미경에 의해 고배율로 확대된 모습을 칼라 음극선관과 같은 화상 표시수단을 통해 디스플레이하는 장치이다. 화상 현미경은 촬상수단을 이용하여, 접안렌즈 및 대물렌즈등의 렌즈를 통하여 피사체의 모습을 촬상하게 된다. 즉, 피사체의 모습을 사람의 눈으로 직접 관찰하지 않고 대신 촬상수단을 통해 촬상하고, 이를 모니터를 통해 디스플레이함으로써 다수의 관찰자가 동시에 피사체의 확대된 화상을 관찰하거나, 또는 비디오 테이프 레코더와 같은 기록수단을 이용하여 기록할 수 도 있도록 하는 장치이다.An image microscope, which is an optical device using an optical microscope, is a device that combines a microscope and a CDD camera. The image microscope is a device that displays a magnified image with a high magnification by a microscope through an image display means such as a color cathode ray tube. . The image microscope captures the image of a subject through lenses such as an eyepiece and an objective lens using an imaging means. In other words, instead of directly observing the state of the subject with the human eye, the image is captured by the image pickup means, and displayed on the monitor, so that a plurality of observers simultaneously observe the enlarged image of the subject, or a recording means such as a video tape recorder. It is a device that can record by using.
도 1은 종래의 기술에 따른 화상 현미경의 개략적인 사시도이다.1 is a schematic perspective view of an image microscope according to the prior art.
도면을 참조하면, 화상 현미경(10)은 통상적인 광학 현미경과 유사한 형태로 구성될 수 있는 현미경 부분과 씨씨디 카메라(CCD camera) 부분을 구비한다. 이를 보다 상세히 설명하면, 현미경 부분을 지지하는 프레임(11)에는 다수의 렌즈로 구성된 렌즈그룹이 설치되어 있는 렌즈마운트(12)와, 피사체(18)를 지지하는 대물대(17)가 설치되어 있다. 렌즈마운트(12)는 프레임(11)에 지지되어 있는 상태로 상기 대물대(17)에 의해 지지되어진 피사체(18)에 근접하거나 또는 이격될 수 있으며, 이격거리는 조절나사(19)에 의해 조절된다. 렌즈마운트(12)의 하단부에는 배율이 상이한 복수개의 대물렌즈(13)들이 장착된 회전판(12a)이 상기 렌즈마운트(12)에 대하여 회전가능하게 설치되어 있다. 또한 대물대(17)의 하부에는 거울(16)이 프레임(11)에 대하여 회전가능하게 설치되어 있으며, 이것은 외부의 조명을 대물대(17)에 형성된 통공을 통해 피사체(18)에 반사시킬 수 있도록 하기 위한 것이다. 거울(16)에 의한 조명은 피사체(18)가 투명한 재질인 경우에 이용가능하며, 만일 반도체 웨이퍼와 같이 불투명한 피사체를 관찰 할 경우에는 별도의 조명장치를 이용하고 있다. 한편 씨씨디 카메라(15)는 그 촬상부(15a)가 렌즈마운트(12)의 상단에 설치된 카메라 장착부(14)에 삽입되어 설치되고 케이블을 통해 모니터(미도시)에 연결된다.Referring to the drawings, the image microscope 10 includes a microscope portion and a CCD camera portion, which may be configured in a form similar to a conventional optical microscope. More specifically, the frame 11 supporting the microscope portion is provided with a lens mount 12 in which a lens group composed of a plurality of lenses is provided, and an objective 17 for supporting the subject 18. . The lens mount 12 may be close to or spaced apart from the subject 18 supported by the objective 17 while being supported by the frame 11, and the separation distance is adjusted by the adjustment screw 19. . At the lower end of the lens mount 12, a rotating plate 12a on which the plurality of objective lenses 13 with different magnifications are mounted is rotatably installed with respect to the lens mount 12. In addition, the lower portion of the objective 17 is provided with a mirror 16 rotatably with respect to the frame 11, which can reflect external illumination to the subject 18 through the through hole formed in the objective 17. It is to ensure that. Illumination by the mirror 16 is available when the subject 18 is a transparent material, and if you observe an opaque subject, such as a semiconductor wafer, a separate illumination device is used. Meanwhile, the CD camera 15 has an image capturing unit 15a inserted into the camera mounting unit 14 installed at the upper end of the lens mount 12 and connected to a monitor (not shown) through a cable.
그런데, 상술한 바와 같은 종래의 화상 현미경은 그 조명장치에 있어서 피사체에 조사되는 조사광이 피사체의 일부분에만 집중되는 이른바 흰점현상이 발생하기 쉽고, 특히 상기한 바와 같이 불투명한 피사체를 관찰할 경우에는 균일한 조명의 조사를 위하여 별도의 광학소자, 예를 들면 확산판이 사용되어야 하므로 제작상의 어려움과 비용등이 추가로 부담된다.However, in the conventional image microscope as described above, a so-called white spot phenomenon is likely to occur in which the irradiated light irradiated to the subject is concentrated only on a part of the subject, especially when observing an opaque subject as described above. A separate optical element, for example, a diffuser plate should be used to uniformly illuminate the illumination, which additionally burdens manufacturing costs and costs.
본 고안은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 개선된 조사성능을 구비하는 화상 현미경을 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the problems described above, to provide an image microscope having improved irradiation performance.
도 1은 종래의 기술에 따른 화상 현미경의 개략적인 사시도.1 is a schematic perspective view of an imaging microscope according to the prior art.
도 2는 본 고안에 따른 화상 현미경의 개략적인 단면도.2 is a schematic cross-sectional view of an imaging microscope according to the present invention.
< 도면의 주요 부분에 대한 간단한 설명 ><Brief description of the main parts of the drawing>
10:화상 현미경 11:프레임10: Image microscope 11: frame
12:렌즈마운트 12a:회전판12: lens mount 12a: rotating plate
13:대물렌즈 14:카메라 장착부13: Objective lens 14: Camera mounting portion
15:씨씨디 카메라 15a:촬상부15: CD camera 15a: Imaging part
16:거울 17:대물대16: Mirror 17: Object
18:피사체 19:조절나사18: Subject 19: Adjustment screw
100:본체 102:촬상소자100: main body 102: the image pickup device
104:배율렌즈계 106:지지마운트104: magnification lens system 106: support mount
108:조명광학계 마운트 110:광섬유108: lighting optical system mount 110: optical fiber
112:베어링 116:렌즈거울112: a bearing 116: a lens mirror
118:피사체거울 120:피사체118: subject mirror 120: subject
122:대물대122: The objective
상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은, 본체와, 상기 본체에 설치되는 렌즈계와, 상기 렌즈계에 의해 확대된 피사체의 모습을 촬상하는 촬상소자와, 상기 렌즈계의 일단에 회전 가능하도록 구비되는 지지마운트 및 상기 지지마운트 내부에 설치되는 피사체거울과 렌즈거울을 구비하는 화상 현미경 장치에 있어서, 상기 지지마운트의 외주면에 설치되는 조명광학계 마운트와 상기 조명광학계 마운트에 설치되는 광섬유를 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a main body, a lens system provided on the main body, an image pickup device for capturing a state of a subject enlarged by the lens system, a support mount rotatably provided at one end of the lens system, and An image microscope apparatus having a subject mirror and a lens mirror installed inside the support mount, characterized in that it comprises an illumination optical system mount installed on an outer circumferential surface of the support mount and an optical fiber installed on the illumination optical system mount.
이하, 본 고안을 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 보다 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to an embodiment shown in the accompanying drawings.
도 2는 본 고안에 따른 화상 현미경의 일부를 나타내보인 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing a part of an image microscope according to the present invention.
도면을 참조하면, 본 고안에 따른 화상 현미경은 본체(100)와, 상기 본체(100)내에 설치되는 렌즈계(104)와, 상기 렌즈계(104)의 상부에 위치하여 상기 렌즈계(104)에 의해 확대된 피사체(120)의 모습을 촬상하는 촬상소자(102)와, 상기 렌즈계(104)의 하단부에 회전 가능하도록 구비되는 지지마운트(106)와, 상기 지지마운트(106) 내부에 설치되는 피사체거울(118) 및 렌즈거울(116)과, 상기 지지마운트(106)의 외주면에 설치되는 조명광학계 마운트(108) 및, 상기 조명광학계 마운트(108)의 내부에 설치되어 광원(미도시)으로 부터의 조사광을 피사체에 전달하는 광섬유를 구비한다.Referring to the drawings, the image microscope according to the present invention is located on the main body 100, the lens system 104 installed in the main body 100, and the lens system 104 is enlarged by the lens system 104 An imaging device 102 for capturing the shape of the object 120, a support mount 106 provided to be rotatable at a lower end of the lens system 104, and a subject mirror installed inside the support mount 106. 118 and the lens mirror 116, the illumination optical system mount 108 installed on the outer circumferential surface of the support mount 106, and the illumination from the light source (not shown) installed inside the illumination optical system mount 108 An optical fiber for transmitting light to the subject.
또한 상기 렌즈계(104)의 하단부에 위치하는 지지마운트(106)는, 본체(100)의 중심축과 일치하는 자신의 중심축을 중심으로 본체(100)에 대하여 베어링(112) 에 의해 지지되면서 회전이 가능하도록 설치된다. 상기 지지마운트(106)의 회전운동을 통하여 피사체(120)의 측면을 모든 방향에서 관찰하게 되며 따라서 3차원의 화상을 구현할 수 있다. 즉, 피사체(120)의 모습은 상기 지지마운트(106)의 내부에 설치된 피사체 거울(118) 및 렌즈거울(116)을 통해서 렌즈계(104)로 입사된다. 이때 피사체 거울(118)은 피사체(120)의 측면을 비추도록 일정각도로 조절 가능하게 설치되어 있으며, 렌즈거울(116)은 상기 피사체 거울(118)에 입사된 피사체(120)의 모습을 자신의 상방향에 설치된 렌즈계(104)로 반사시킬 수 있도록 조절 가능하게 설치되어 있다.In addition, the support mount 106 located at the lower end of the lens system 104 is rotated while being supported by the bearing 112 with respect to the main body 100 about its central axis coinciding with the central axis of the main body 100. It is installed to be possible. The side of the subject 120 is observed in all directions through the rotational movement of the support mount 106, and thus a three-dimensional image may be realized. That is, the state of the subject 120 is incident on the lens system 104 through the subject mirror 118 and the lens mirror 116 installed inside the support mount 106. At this time, the subject mirror 118 is installed to be adjustable at a predetermined angle to reflect the side of the subject 120, the lens mirror 116 is to reflect the state of the subject 120 incident on the subject mirror 118 It is provided so that adjustment is possible so that it may reflect to the lens system 104 installed in an upward direction.
아울러 상기 지지마운트(106)가 상기 조명광학계 마운트(108)에 대하여 회전운동이 가능하도록, 상기 지지마운트(106)의 외주면과 조명광학계 마운트(108)의 내주면 사이에 베어링(112)이 개재되어 있다. 결국 베어링(112)은 상기 지지마운트(106)의 외주면과 조명광학계 마운트(108)의 내주면 사이와, 지지마운트(106)와 본체(100)사이에 설치되므로 상기 지지마운트(106)는 본체(100)와 조명광학계 마운트(108)에 대하여 회전운동을 할 수 있는 것이다.상기 베어링(112)는 예를 들면 볼 베어링인 것이 바람직하다.In addition, a bearing 112 is interposed between the outer circumferential surface of the support mount 106 and the inner circumferential surface of the illumination optical system mount 108 so that the support mount 106 can rotate in relation to the illumination optical system mount 108. . As a result, the bearing 112 is installed between the outer circumferential surface of the support mount 106 and the inner circumferential surface of the illumination optical system mount 108 and between the support mount 106 and the main body 100, so that the support mount 106 is the main body 100. ) And the illumination optical system mount 108. The bearing 112 is preferably a ball bearing, for example.
한편, 조명광학계 마운트(108)는 전체적으로 원통형의 형상을 가지며, 다수의 광섬유 다발이 그 내부에 설치될 수 있도록 광섬유 삽입공간이 마련되어 있다. 아울러 그 하단부는 자기 자신의 중심축을 향하여 일정각도로 경사짐으로써, 결과적으로 하단부가 오므라진 형상을 취하고 있다. 그러므로 상기와 같이 형성되어 있는 조명광학계 마운트(108)의 내부에 설치되는 광섬유의 단부의 방향은 상기 피사체(120)를 향하도록 위치되며, 상기 광섬유(110)를 통하여 별도의 광원(미도시)으로부터 공급된 조명광은 피사체에 집중될 수 있다.On the other hand, the illumination optical system mount 108 has a cylindrical shape as a whole, the optical fiber insertion space is provided so that a plurality of optical fiber bundles can be installed therein. In addition, the lower end portion is inclined at a predetermined angle toward its own central axis, and as a result, the lower end portion is taken up. Therefore, the direction of the end portion of the optical fiber installed in the illumination optical system mount 108 formed as described above is positioned to face the subject 120, and from a separate light source (not shown) through the optical fiber 110. The supplied illumination light may be focused on the subject.
전술한 바와 같은 구성을 가지는 본 고안에 따른 화상 현미경의 작동을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the imaging microscope according to the present invention having the configuration as described above are as follows.
대물대(122)에 위치된 피사체(120)의 모습은 피사체거울(118)에 전달되고, 이어서 렌즈거울(116)을 거쳐서 렌즈계(104)에 도달한다. 이와 동시에 상기 피사체(120)로 조명광이 조사될 수 있도록 조명광학계 마운트(108)의 내부에 설치된 광섬유(110)로부터 화살표 (a) 방향으로 조명광이 조사된다. 즉, 별도의 광원(미도시)으로 부터 공급되는 조명광은, 상기 조명광학계 마운트(108)의 내부에 설치된 다수의 광섬유(110) 다발을 통하여 피사체(120)에 조사됨으로써, 피사체의 관찰에 필요한 조명을 제공한다. 한편 렌즈계(104)를 통과하면서 상기 피사체(120)의 모습은 소정배율로 확대되고, 촬상소자(102)에 의하여 촬상되어 별도의 모니터(미도시)를 통해서 디스플레이 된다. 또는 다른 기록 수단을 통해서 상기 피사체의 모습을 저장할 수 도 있다. 또한 상기 지지마운트(106)를 별도의 구동수단(미도시)를 통하여 회전시키면 상기 피사체(120)의 모습을 다양한 방향에서 관찰할 수 있게 된다.The state of the subject 120 positioned on the object 122 is transmitted to the subject mirror 118, and then reaches the lens system 104 via the lens mirror 116. At the same time, the illumination light is irradiated toward the arrow (a) from the optical fiber 110 installed inside the illumination optical system mount 108 so that the illumination light can be irradiated to the subject 120. That is, the illumination light supplied from a separate light source (not shown) is irradiated onto the subject 120 through a plurality of optical fiber 110 bundles installed inside the illumination optical system mount 108, so that illumination necessary for observing the subject is provided. To provide. On the other hand, while passing through the lens system 104, the state of the subject 120 is enlarged at a predetermined magnification, is picked up by the imaging device 102 and displayed on a separate monitor (not shown). Alternatively, the image of the subject may be stored by other recording means. In addition, when the support mount 106 is rotated through a separate driving means (not shown), the state of the subject 120 can be observed in various directions.
이와 같이 이루어지는 본 고안에 따른 화상 현미경은 다음과 같은 효과를 같는다.The image microscope according to the present invention made as described above has the following effects.
즉, 마운트의 내부에 광섬유를 장착시킨 조명광학계를 이용하여 피사체를 균일하게 조명함으로써, 기존 방식의 화상현미경에 사용되는 확산판이나 조명광원의 출력증강이 필요없고, 또한 상기 조명광학계 마운트의 단부가 피사체의 방향으로 경사지게 형성되어 있으므로, 광섬유로부터의 조명광이 피사체에 직사됨으로써 저조도에서도 양호한 조명효과를 얻을 수 있다.That is, by uniformly illuminating the subject using an illumination optical system in which the optical fiber is mounted inside the mount, the output enhancement of the diffuser plate or illumination light source used in the conventional image microscope is unnecessary, and the end of the illumination optical system mount is Since it is formed to be inclined in the direction of the subject, the illumination light from the optical fiber is directly directed to the subject, so that a good lighting effect can be obtained even at low illumination.
이상 본 고안은 구체적인 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 고안은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 고안의 기술적 상상의 범위내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.Although the present invention has been described in detail with reference to specific embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments and various modifications may be made by those skilled in the art within the scope of the technical imagination of the present invention. .
Claims (4)
Priority Applications (1)
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Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| KR2019970019247U KR200174671Y1 (en) | 1997-07-21 | 1997-07-21 | Videomicroscope |
Publications (2)
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Family
ID=19506223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR2019970019247U KR200174671Y1 (en) | 1997-07-21 | 1997-07-21 | Videomicroscope |
Country Status (1)
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- 1997-07-21 KR KR2019970019247U patent/KR200174671Y1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| KR19990005866U (en) | 1999-02-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| REGI | Registration of establishment | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20071129 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |