KR200168639Y1 - Laser focus control apparatus - Google Patents
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Abstract
본 고안은 반사경의 각도를 조절하여 웨이퍼로 조사되는 레이저광의 각도를 조절하는 장치에 있어서, 상기 반사경을 일체로 고정하고, 저면에 제3나사공이 형성된 반사경고정체와, 상기 반사경고정체의 저면에 위치하여 상하로 관통된 제1나사공 및 제2나사공이 형성되고, 일측단부에 가이드레일돌기가 형성된 지지대와, 상기 지지대의 가이드레일돌기가 가이드레일홈에 슬라이딩 삽입되어 상,하로 지지대의 이동을 안내하고 지지하는 가이드본체와, 상기 지지대의 두 개의 제2나사공에 체결되어 조여주므로 반사경고정체의 좌,우 방향각도를 지지대에 대하여 조절시키는 좌,우조절나사와, 상기 두 개의 좌,우조절나사의 사이에 있는 제1나사공에 제2나사부가 체결되고 이 제2나사부의 대향된 부분에서 반대방향으로 나사산이 형성된 제1나사부가 반사경고정체의 제3나사공에 체결되어 반사경고정체의 전,후각도를 조절하는 양방향나사로 구성된 나사식 레이저 초점조절장치인 바, 반사경의 전,후,좌,우각도를 용이하게 조절하고, 반사경의 상,하방향 초점 조절성능을 현저하게 향상시키도록 하는 매우 유용하고 효과적인 고안이다.The present invention is a device for adjusting the angle of the laser light irradiated onto the wafer by adjusting the angle of the reflector, the reflector fixing body integrally fixed, the third screw hole is formed on the bottom surface, and the bottom of the reflector fixing body The first screw hole and the second screw hole penetrated up and down are formed and the support rail is formed with a guide rail protrusion at one end thereof, and the guide rail protrusion of the support slides into the guide rail groove to move the support up and down. Guide body for guiding and supporting, and fastened by tightening to the two second screw hole of the support, left and right adjusting screw for adjusting the left and right direction angle of the reflector fixture relative to the support, and the two left and right The first threaded portion is fastened to the first threaded hole between the adjusting screws, and the first threaded portion having the thread formed in the opposite direction from the opposite portion of the second threaded portion is reflected. It is a screw-type laser focusing device composed of bidirectional screws that are fastened to the third screw hole of the fixture to adjust the front and rear angles of the reflector fixture, and easily adjusts the front, rear, left, and right angles of the reflector. It is a very useful and effective design to remarkably improve the up and down focus control performance.
Description
본 고안은 웨이퍼의 패턴을 레이저로 커팅하기 위한 장치에 관한 것으로, 특히, 반사경고정체의 지지대를 관통하여 체결되는 다수의 나사로 고정시켜 반사경의 전,후,좌,우각도를 용이하게 조절하도록 하고, 지지대의 가이드레일돌기가 가이드본체의 가이드레일홈에 슬라이드 결합되어 캠에 의하여 상,하로 이동하여 반사경의 상,하이동초점을 조절하므로 반사경의 초점 조절성능을 향상시키도록 하는 나사식 레이저초점조절장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for cutting a pattern of a wafer with a laser, in particular, by fixing a plurality of screws fastened through the support of the reflector fixing body to easily adjust the front, rear, left, right angle of the reflector. Screw guided laser focus adjustment to improve the focus adjustment performance of the reflector because the guide rail protrusion of the support slides to the guide rail groove of the guide body and moves up and down by the cam to adjust the upper and lower moving focus of the reflector. Relates to a device.
일반적으로, 웨이퍼를 제조하다가 반도체소자 상에 각종의 패턴이 형성되어지게 되고, 필요에 따라 이러한 패턴을 레이저광이 조사되는 별도의 장치를 사용하여 커팅(Cutting)을 하여야 하는 경우가 빈번하게 발생된다.In general, various patterns are formed on a semiconductor device while manufacturing a wafer, and if necessary, cutting of the patterns using a separate device to which a laser beam is applied is frequently generated. .
이러한 웨이퍼의 패턴을 커팅하기 위한 장치는 레이저 초점조절장치(Laser Spot Center Point Calibration)라고 하는 장치를 주로 사용하여 웨이퍼를 지지대 위에 안치시키고 패턴을 커팅하고자 하는 부분에 레이저광의 초점을 기구적인 장치를 이용하여 정확하게 맞춘 후에 레이저광을 조사하여 웨이퍼의 패턴을 커팅하도록 하는 장치로서 레이저광이 조사되는 방향을 조절하기 위하여 레이저광을 반사시키는 반사경이 캠을 회전시켜 일정기간 대략 일개월 혹은 이개월만에 조절시키도록 구성된 장치이다.The device for cutting the pattern of the wafer mainly uses a device called a laser spot center point calibration device to place the wafer on a support and to use a mechanical device to focus the laser light on the part to be cut the pattern. Device to cut the pattern of the wafer by irradiating the laser light after it is precisely adjusted, and the reflector reflecting the laser light is adjusted in about one month or two months by rotating the cam to adjust the direction in which the laser light is irradiated. It is a device configured to.
이와 같이, 도 1은 종래의 레이저 초점조절장치를 개략적으로 보인 도면이고, 도 2는 종래 레이저 초점조절장치의 "A"부분을 확대하여 보인 도면으로서, 종래의 레이저 초점조절장치(8)의 레이저광을 각도에 따라 적절하게 반사시키는 반사경(3)을 동작시키 위한 구성은 레이저광이 조사되는 각도를 조절하여 주는 반사경(3)을 회전가능하게 지지하는 회전축(4)이 있으며, 이 회전축(4)의 반대측으로 반사경(3)의 회전을 지지하기 위한 지지대(6)가 벽면부분에 부착되어 있다.As such, FIG. 1 is a view schematically showing a conventional laser focusing apparatus, and FIG. 2 is an enlarged view of a portion “A” of the conventional laser focusing apparatus, and the laser of the conventional laser focusing apparatus 8 is shown. The configuration for operating the reflector 3 for properly reflecting the light according to the angle includes a rotation shaft 4 rotatably supporting the reflector 3 for adjusting the angle at which the laser light is irradiated. A support 6 for attaching the rotation of the reflecting mirror 3 to the opposite side of) is attached to the wall portion.
그리고, 회전축(4)의 외주면에는 코일스프링(5)이 감겨져서 일측단이 반사경(3)의 일측면에 접촉 되어지고, 타단은 지지대(6)의 일측면에 접촉되어서 반사경(3)이 항상 복원력을 받도록 구성된다.In addition, the coil spring 5 is wound around the outer circumferential surface of the rotation shaft 4 so that one end thereof contacts one side surface of the reflector 3, and the other end contacts one side surface of the support 6 so that the reflector 3 always remains. It is configured to receive resilience.
또한, 상기 반사경(3)의 저면에는 캠샤프트(2)에 의하여 축이 어긋나서 결합된 캠(1)이 접촉되어 동작되도록 구성되며, 이 반사경(3)에 반사되는 레이저광의 각도를 조절하기 위하여 캠샤프트(2)에 대하여 캠(1)이 회전하므로 반사경(3)이 회전축(4)에 대하여 일정각도 회전하도록 구성된다.In addition, the bottom surface of the reflector 3 is configured such that the cam 1 coupled with the shaft is shifted by the cam shaft 2 to be in contact with and operated to adjust the angle of the laser light reflected by the reflector 3. Since the cam 1 rotates with respect to the camshaft 2, the reflecting mirror 3 is comprised so that it may rotate by a predetermined angle with respect to the rotating shaft 4. As shown in FIG.
그런데, 상기한 바와 같이, 웨이퍼에 조사되는 레이저광의 각도를 조절하기 위하여 캠샤프트(2)에 대하여 캠(1)이 회전함에 따라 반사경(3)이 회전축(4)에 대하여 일정각도 회전하게 되고, 이 캠(1)이 반사경(3)의 배면을 밀거나 스프링(5)에 의해 복귀되면서 레이저광의 조사되는 각도를 조절하는 것으로서, 이 회전축(4)을 장시간에 걸쳐서 사용하다가 보면 회전축(4)과 그 외측부분이 마모에 의하여 회전공차가 커지게 되고, 캠(1) 작동시에 회전축(4)의 회전공차로 인하여 반사경(3)이 흔들려짐으로 인하여 정확한 레이저 초점 포인트를 잡기가 어려울 뿐만아니라 이로 인하여 웨이퍼의 패턴을 정확하게 커팅하지 못하는 문제점이 있었다.However, as described above, as the cam 1 rotates with respect to the cam shaft 2 to adjust the angle of the laser beam irradiated onto the wafer, the reflector 3 rotates at a predetermined angle with respect to the rotation shaft 4, The cam 1 pushes the rear surface of the reflector 3 or returns by the spring 5 to adjust the angle at which the laser beam is irradiated. When the cam 4 is used for a long time, the cam 4 is rotated. The outer part of the outer surface becomes large due to abrasion, and the reflecting mirror 3 is shaken due to the rotational tolerance of the rotating shaft 4 when the cam 1 is operated. Due to this, there was a problem in that the pattern of the wafer was not cut accurately.
또한, 반사경(3)으로 레이저광의 초점을 정확하게 맞추는 작업에 시간이 많이 걸리므로 인하여 동작 조절시간이 많이 걸리는 단점이 있었다.In addition, since the operation of accurately focusing the laser light with the reflector 3 takes a lot of time, there was a disadvantage in that it takes a lot of operation adjustment time.
본 고안은 이러한 점을 감안하여 안출한 것으로서, 웨이퍼에 조사되는 레이저광의 초점을 반사시키는 반사경을 반사경고정체에 일체로 고정시키고, 이 반사경고정체를 지지대를 관통하여 체결되는 다수의 나사로 고정시켜 반사경의 전,후,좌,우각도를 용이하게 조절하도록 하고, 지지대의 가이드레일돌기가 가이드본체의 가이드레일홈에 슬라이드 결합되어 캠에 의하여 상,하로 이동하여 반사경의 상,하이동초점을 조절하므로 반사경의 초점 조절성능을 향상시키는 것이 목적이다.The present invention has been devised in view of such a point, and the reflector reflecting the focus of the laser light irradiated onto the wafer is integrally fixed to the reflector fixture, and the reflector fixture is fixed by a plurality of screws fastened through the support to reflect the reflector. The front, rear, left, right angle of the easy to adjust, and the guide rail protrusion of the support slides coupled to the guide rail groove of the guide body to move up and down by the cam to adjust the upper and lower focus of the reflector The purpose is to improve the focusing performance of the reflector.
도 1은 종래의 레이저 초점조절장치를 개략적으로 보인 도면이고,1 is a view schematically showing a conventional laser focusing apparatus,
도 2는 종래 레이저 초점조절장치의 "A"부분을 확대하여 보인 도면이고,2 is an enlarged view of a portion "A" of a conventional laser focusing apparatus,
도 3은 본 고안에 따른 나사식 레이저초점조절장치를 개략적으로 보인 도면이고,3 is a view schematically showing a screw-type laser focus control device according to the present invention,
도 4는 본 고안에 따른 나사식 레이저초점조절장치의 분해 상태를 보인도면이고,Figure 4 is a view showing an exploded state of the screw-type laser focus control device according to the present invention,
도 5는 본 고안에 따른 나사식 레이저초점조절장치의 결합 상태를 보인 도면이고,5 is a view showing a coupling state of the screw-type laser focus control device according to the present invention,
도 6는 본 고안에 따른 나사식 레이저초점조절장치의 단면도로서 사용 상태를 보이는 도면이다.Figure 6 is a view showing a state of use as a cross-sectional view of the threaded laser focusing device according to the present invention.
-도면의 주요부분에 대한 부호의 설명-Explanation of symbols on the main parts of the drawing
10 : 캠 12 : 캠샤프트10: cam 12: camshaft
20 : 지지대 22 : 가이드레일돌기20: support 22: guide rail protrusion
24 : 제1나사공 26 : 제2나사공24: 1st screw thread 26: 2nd screw thread
30 : 반사경고정체 32 : 반사경30: reflector fixture 32: reflector
34 : 제3나사공 40 : 가이드본체34: third thread 40: guide body
42 : 가이드레일홈 50 : 양방향나사42: guide rail groove 50: bidirectional screw
52 : 단턱부 54 : 제1나사부52: stepped portion 54: first screw portion
56 : 제2나사부 60 : 좌,우조절나사56: 2nd screw part 60: Left and right adjustment screw
이러한 목적은 반사경의 각도를 조절하여 웨이퍼로 조사되는 레이저광의 각도를 조절하는 장치에 있어서, 상기 반사경을 일체로 고정하고 있고, 저면에 제3나사공이 형성된 반사경고정체와, 상기 반사경고정체의 저면에 위치하여 상하로 관통된 제1나사공 및 제2나사공이 형성되고, 일측단부에 가이드레일돌기가 형성된 지지대와, 상기 지지대의 가이드레일돌기가 가이드레일홈에 슬라이딩 삽입되어 상,하로 지지대의 이동을 안내하고 지지하는 가이드본체와, 상기 지지대의 두 개의 제2나사공에 체결되어 조여주므로 반사경고정체의 좌,우 방향각도를 지지대에 대하여 조절시키는 좌,우조절나사와, 상기 두 개의 좌,우조절나사의 사이에 있는 제1나사공에 제2나사부가 체결되고 이 제2나사부의 대향된 부분에서 반대방향으로 나사산이 형성된 제1나사부가 반사경고정체의 제3나사공에 체결되어 반사경고정체의 전,후각도를 조절하는 양방향나사로 구성된 것을 특징으로 하는 나사식 레이저 초점조절장치를 제공함으로써 달성된다.This object is to adjust the angle of the reflector to adjust the angle of the laser light irradiated to the wafer, the reflector is fixed integrally, the reflector fixture having a third screw hole formed on the bottom surface, and the bottom of the reflector fixture The first screw hole and the second screw hole penetrated up and down are formed on the supporter, and the support rail is formed with a guide rail protrusion at one end thereof, and the guide rail protrusion of the support slides into the guide rail groove to move the support up and down. Guide body for guiding and supporting the fastening and fastening and fastening to the two second screw hole of the support, the left, right adjusting screw to adjust the left and right direction angle of the reflector fixture relative to the support, and the two left, The first screw thread is coupled to the first screw hole between the right adjusting screw and the thread is formed in the opposite direction from the opposite portion of the second screw portion. The reflective warning is fastened to the third screw hole of the fixture is achieved by providing a threaded laser focusing device, characterized in that a two-way screw that is configured around the reflective warning traffic jam, control the smell FIG.
그리고, 상기 지지대의 저면에는 캠샤프트에 의하여 회전하는 캠이 접촉되어 지지대의 가이드레일돌기를 가이드본체의 가이드레일홈을 따라 상,하로 이동시키도록 구성되며, 상기 양방향나사의 중심부에는 반사경고정체와 지지대사이의 간격을 유지하도록 하는 단턱부를 형성하는 것이 바람직하다.In addition, the bottom surface of the support is in contact with the cam rotating by the cam shaft is configured to move the guide rail projection up and down along the guide rail groove of the guide body, and in the center of the two-way screw and the reflector fixing body It is preferable to form the stepped portion to maintain the gap between the supports.
이하, 첨부한 도면에 의거하여 본 고안의 구성에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the configuration of the present invention.
우선, 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 고안인 나사식 레이저 초점조절장치의 구성을 살펴 보면, 반사경(32)의 각도를 조절하여 웨이퍼로 조사되는 레이저광의 각도를 조절하는 장치에 있어서, 상기 반사경(32)이 일체로 고정되고, 저면에 제3나사공(34)이 형성된 반사경고정체(30)와, 상기 반사경고정체(30)의 저면에 위치하여 상하로 관통된 두 개의 제1나사공(24) 및 제2나사공(26)이 형성되고, 일측단부에 상,하이동을 안내 받기 위한 가이드레일돌기(22)가 형성된 지지대(20)와, 상기 지지대(20)의 가이드레일돌기(22)가 가이드레일홈(42)에 슬라이딩 삽입되어 상,하로 지지대(20)의 이동을 안내하도록 지지하는 가이드본체(40)와, 상기 지지대(20)의 두 개의 제2나사공(26)에 체결되고 조절되어서 반사경고정체(30)의 좌,우 방향각도를 지지대(20)에 대하여 조절시키는 좌,우조절나사(60)와, 상기 두 개의 좌,우조절나사(60)의 사이에 있는 제1나사공(24)에 제2나사부(56)가 체결되고 이 제2나사부(56)의 대향된 부분에서 반대방향으로 나사산이 형성된 제1나사부(54)가 반사경고정체(10)의 제3나사공(34)에 체결되어 반사경고정체(30)의 전,후각도를 조절하는 양방향나사(50)로 구성된다.First, as shown in Figures 3 to 6, looking at the configuration of the screw-type laser focusing apparatus of the present invention, in the device for adjusting the angle of the laser light irradiated onto the wafer by adjusting the angle of the reflector 32 In addition, the reflector 32 is integrally fixed, and the reflector fixture 30 having a third screw hole 34 formed on the bottom thereof, and two agents penetrating up and down on the bottom surface of the reflector fixture 30. The first screw hole 24 and the second screw hole 26 are formed, the support 20 is formed with a guide rail protrusion 22 for guiding up and down movement at one end, and the guide of the support 20 The rail protrusion 22 is slidably inserted into the guide rail groove 42 to support the guide body 40 to guide the movement of the support 20 up and down, and two second screw holes of the support 20. 26) fastened and adjusted to adjust the left and right angles of the reflector fixture 30 with respect to the support 20. The second screw part 56 is fastened to the first screw hole 24 between the left and right adjusting screws 60 and the two left and right adjusting screws 60. The first screw portion 54 having a thread formed in the opposite direction at the opposite side of the) is fastened to the third screw hole 34 of the reflector fixture 10 to adjust the front and rear angles of the reflector fixture 30. It consists of a bidirectional screw (50).
그리고, 상기 지지대(20)의 저면에는 캠샤프트(12)에 의하여 회전하는 캠(10)이 접촉되어 지지대(20)의 가이드레일돌기(22)를 가이드본체(40)의 가이드레일홈(42)을 따라 상,하로 이동시키도록 구성된다.In addition, the cam 10 rotated by the cam shaft 12 is in contact with the bottom of the support 20 to guide the guide rail protrusion 22 of the support 20 to the guide rail groove 42 of the guide body 40. It is configured to move up and down along.
또한, 상기 양방향나사(50)의 중심부에는 반사경고정체(30)와 지지대(20)의 외측면 사이의 상,하 간격을 일정하게 유지하여 양자가 접촉되는 것을 방지하도록 하는 단턱부(52)가 형성되어 지며, 이 양방향나사(50)의 제1나사부(54)와 제2나사부(56)의 나사산의 방향은 각각 반대로 형성되도록 하여 양방향나사(50)를 회전시키는 경우에 반사경고정체(30)와 지지대(20)의 동작이 반대로 이루어져서 양자가 오므려지거나 벌려지도록 구성시킨다.In addition, at the center of the bidirectional screw 50, the stepped portion 52 which maintains a constant upper and lower interval between the reflector fixing body 30 and the outer surface of the support 20 to prevent them from contacting each other. When the bidirectional screw 50 is rotated so that the directions of the threads of the first screw portion 54 and the second screw portion 56 of the bidirectional screw 50 are respectively reversed, the reflector fixture 30 is rotated. And the operation of the support 20 is made to be reversed so that both are enclosed or spread.
이하, 본 고안의 작용을 개략적으로 살펴보도록 한다.Hereinafter, look at the operation of the present invention schematically.
먼저, 본 발명의 조립 상태를 살펴 보면, 양방향나사(50)의 제2나사부(56)를 지지대(20)의 제1나사공(24)에 체결하여 고정시킨 후에 이 양방향나사부(50)의 제1나사부(54)를 반사경고정체(30)의 제3나사공(34)에 체결시키도록 하고, 두 개의 좌,우 조절나사(60)를 지지대(20)의 제2나사공(26)에 체결시켜서 좌,우조절나사(60)의 끝단부가 반사경고정체(30)의 저면부분에 접촉되도록 한다.First, looking at the assembled state of the present invention, after the second screw portion 56 of the bidirectional screw 50 is fastened and fixed to the first screw hole 24 of the support 20, the first of the bidirectional screw portion 50 One screw portion 54 is fastened to the third screw hole 34 of the reflector fixture 30, and two left and right adjusting screws 60 are fastened to the second screw hole 26 of the support 20. By fastening the left and right ends of the adjusting screw 60 is in contact with the bottom portion of the reflector fixture 30.
그리고, 상기 지지대(20)의 가이드레일돌기(22)를 가이드본체(40)의 가이드레일홈(42)에 슬라이딩으로 상측으로부터 하측으로 슬라이딩시켜 조립하게 되면, 지지대(20)와 이 지지대(20)에 결합된 반사경고정체(30)가 자중에 의하여 가이드레일홈(42)을 따라 이동하면서 지지대(20)의 저면부가 캠(10)의 외주면에 접촉되어진다.When the guide rail protrusion 22 of the support 20 is slid to the guide rail groove 42 of the guide body 40 by sliding from the upper side to the lower side, the support 20 and the support 20 are assembled. The bottom surface of the support 20 is brought into contact with the outer circumferential surface of the cam 10 while the reflector fixing body 30 coupled to the guide rail groove 42 moves by its own weight.
이와 같이 구성된 상태에서 본 장치의 반사경(32)의 레이저 초점각도를 조절하고자 한다면, 지지대(20)의 가이드레일돌기(22)를 가이드본체(40)의 가이드레일홈(42)을 따라 상측으로 이동시켜서 분리시킨 후에 지지대(20)의 저면으로 부터 드라이버와 같은 공구를 사용하여 양방향나사(50) 및 좌,우조절나사(60)를 회전시켜 반사고정체(30)를 전,우,좌,우방향으로 동작시키면서 반사경(32)의 각도를 레이저의 초점에 맞도록 적절하게 조절하도록 한다.If you want to adjust the laser focus angle of the reflector 32 of the device in this configuration, the guide rail projection 22 of the support 20 is moved upward along the guide rail groove 42 of the guide body 40 After the separation by separating the rotation of the bidirectional screw 50 and the left and right adjusting screw 60 using a tool such as a screwdriver from the bottom of the support 20 to the front, right, left, right While operating in the direction to properly adjust the angle of the reflector 32 to match the focus of the laser.
그리고, 상기 반사경(32)의 각도를 양방향나사(50) 및 좌,우조절나사(60)로 조절한 후에는 지지대(20)의 가이드레일돌기(22)를 가이드본체(40)의 가이드레일홈(42)을 따라 슬라이딩 삽입시킨 후에 반사경(32)으로 레이저광을 반사시켜 사용하도록 한다.After adjusting the angle of the reflector 32 with the bidirectional screw 50 and the left and right adjusting screw 60, the guide rail protrusion 22 of the support 20 is guide rail groove of the guide body 40. After sliding along 42, the reflector 32 is used to reflect the laser light.
한편, 상기 반사경(32)으로 레이저 초점을 상,하방향으로 조절하고자 한다면, 캠샤프트(12)를 동작하여 캠(10)으로 지지대(20)의 저면으로 밀어올리거나 자중을 이용하여 하측으로 내리면서 상,하방향 동작을 수행하여 반사경(32)의 상,하방향 초점을 조절할 수도 있다.On the other hand, if you want to adjust the laser focus in the up and down direction with the reflector 32, the cam shaft 12 is operated to push up to the bottom surface of the support 20 with the cam 10 or to lower down using its own weight. While performing the up and down operation, the up and down focus of the reflector 32 may be adjusted.
따라서, 상기한 바와 같이 본 고안에 따른 나사식 레이저 초점조절장치를 사용하게 되면, 웨이퍼에 조사되는 레이저광의 초점을 반사시키는 반사경을 반사경고정체에 일체로 고정시키고, 이 반사경고정체를 지지대를 관통하여 체결되는 다수의 나사로 고정시켜 반사경의 전,후,좌,우각도를 용이하게 조절하도록 하고, 지지대의 가이드레일돌기가 가이드본체의 가이드레일홈에 슬라이드 결합되어 캠에 의하여 상,하로 이동하여 반사경의 상,하이동초점을 조절하므로 반사경의 레이저광 초점 조절성능을 향상시킬 뿐만아니라 레이저초점이 정밀하고 정교하게 이루어지도록 하는 매우 유용하고 효과적인 고안이다.Therefore, when the screw type laser focusing apparatus according to the present invention is used as described above, the reflector reflecting the focus of the laser beam irradiated onto the wafer is integrally fixed to the reflector fixture, and the reflector fixture is penetrated through the support. Fixed by a number of screws fastened to facilitate adjustment of the front, rear, left and right angles of the reflector, and the guide rail protrusion of the support slides into the guide rail groove of the guide body and moves up and down by a cam to reflect the mirror. It is a very useful and effective design that not only improves the laser beam focusing performance of the reflector by adjusting the high and high focus of the reflector, but also makes the laser focus precise and precise.
Claims (3)
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| KR2019970024772U KR200168639Y1 (en) | 1997-08-30 | 1997-08-30 | Laser focus control apparatus |
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| KR19990011418U KR19990011418U (en) | 1999-03-25 |
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ID=19509621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR200168639Y1 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1997
- 1997-08-30 KR KR2019970024772U patent/KR200168639Y1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR19990011418U (en) | 1999-03-25 |
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