KR20010100808A - Photosensitive resin composition, spacer and liquid crystal display element - Google Patents

Photosensitive resin composition, spacer and liquid crystal display element Download PDF

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KR20010100808A
KR20010100808A KR1020010011741A KR20010011741A KR20010100808A KR 20010100808 A KR20010100808 A KR 20010100808A KR 1020010011741 A KR1020010011741 A KR 1020010011741A KR 20010011741 A KR20010011741 A KR 20010011741A KR 20010100808 A KR20010100808 A KR 20010100808A
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spacer
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이타미세쓰오
미타니세이키
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고토 기치
칫소가부시키가이샤
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Abstract

평판인쇄술에 의해 액정 디스플레이 소자용 스페이서를 형성시키는 경우에 있어서의 신규한 감광성 수지 조성물을 제공한다. 구체적으로는 종래 특성을 겸비하고, 고감도이고, 현상 잔사(스컴)가 없는 우수한 현상성, 내알칼리성, 내수성을 갖는 스페이서의 형성 재료로서 적합한 네가티브형 감광성 수지 조성물을 제공하고, 또한 당해 수지 조성물로 형성된 스페이서 및 당해 스페이서를 갖는 액정 디스플레이 소자를 제공한다.The novel photosensitive resin composition in the case of forming the spacer for liquid crystal display elements by flat plate printing is provided. Specifically, it provides a negative photosensitive resin composition having a conventional characteristic, high sensitivity, and suitable as a material for forming a spacer having excellent developability, alkali resistance, and water resistance without developing residue (scum), and formed of the resin composition. Provided are a spacer and a liquid crystal display device having the spacer.

본 발명의 감광성 수지 조성물은, 알칼리 가용성 수지[A], 에틸렌성 불포화 결합을 1개 이상 갖는 화합물[B], 벤조페논 구조를 갖는 유기 과산화물 광중합 개시제[C] 및 4,4'-비스(디알킬아미노)벤조페논 구조를 갖는 감광제[D]를 함유하고, 경우에 따라 에폭시기를 갖는 알칼리 불용성 비닐 공중합체[AIS]를 함유한다.The photosensitive resin composition of this invention is alkali-soluble resin [A], the compound [B] which has one or more ethylenically unsaturated bonds, the organic peroxide photoinitiator [C] which has a benzophenone structure, and 4,4'-bis (di It contains the photosensitive agent [D] which has an alkylamino) benzophenone structure, and optionally contains the alkali-insoluble vinyl copolymer [A IS ] which has an epoxy group.

Description

감광성 수지 조성물, 스페이서 및 액정 디스플레이 소자{Photosensitive resin composition, spacer and liquid crystal display element}Photosensitive resin composition, spacer and liquid crystal display element

본 발명은, 감광성 수지 조성물, 이것을 재료로 한 액정 디스플레이 소자 스페이서 및 액정 디스플레이 소자에 관한 것이다.This invention relates to the photosensitive resin composition, the liquid crystal display element spacer which used this material, and a liquid crystal display element.

종래, 액정 디스플레이(LCD)의 갭을 제어하는 기술로서는, 2장의 기판의 중간에 유리 비드, 플라스틱 비드 등의 스페이서 입자를 살포하고, 이들의 크기에 의해서 액정층의 두께를 제어하는 방식이 사용되고 있다. 그러나, 이 방식에서는, 다음과 같은 문제가 있었다.Conventionally, as a technique of controlling the gap of a liquid crystal display (LCD), the method of spraying spacer particles, such as glass beads and plastic beads, in the middle of two board | substrates, and controlling the thickness of a liquid crystal layer by these sizes is used. . However, this method has the following problems.

1) 스페이서 입자가 유효 화소부내에 배치된 경우, 스페이서 입자가 존재하는 면적 부분의 화소는 디스플레이에 기여하지 않기 때문에, 콘트라스트 및 개구율이 저하하여, 디스플레이 품질이 저하한다.1) When the spacer particles are arranged in the effective pixel portion, the pixels in the area portion in which the spacer particles are present do not contribute to the display, so the contrast and the aperture ratio are lowered, and the display quality is lowered.

2) 스페이서 입자의 이동에 의한 배향막의 손상, 스페이서 입자의 응집, 스페이서 입자 주변의 배향 이상에 의해 표시 불량을 야기한다.2) Display defects are caused by damage to the alignment film due to the movement of the spacer particles, aggregation of the spacer particles, and abnormal orientation around the spacer particles.

3) 스페이서 입자 직경의 격차에 의해 갭의 불균일이 생기기 쉽다.3) Unevenness of the gap is likely to occur due to the gap between the spacer particle diameters.

4) 스페이서 입자 직경이 작아지면 패널 강도가 저하한다.4) When the spacer particle diameter becomes small, the panel strength decreases.

또한, 이들의 문제는, LCD가 대화면화, 고세밀화(좁은 갭화, 고해상도화)됨에 따라서 현저하게 된다.In addition, these problems become remarkable as LCDs become larger and higher in size (narrower in gap, higher in resolution).

이들의 문제를 해결하기 위해서 스페이서를 평판인쇄술에 의해 형성하는 방법이 제안되었다. 이 방법에 의하면, 감광성 수지를 기판에 도포하고 소정의 마스크를 개재시켜 자외선을 조사한 후, 현상하여 도트 형상이나 스트라이프 형상의 스페이서를 형성할 수 있다. 이것에 의하면 유효 화소부 이외의 장소에 스페이서를 형성할 수 있다. 또한 이 방법이면, 셀 갭을 감광성 수지의 도포 막 두께에 의해 조절할 수 있기 때문에 갭 폭의 제어가 용이하고, 정밀도가 높게 되어 상기 문제를 해결할 수 있다.In order to solve these problems, a method of forming a spacer by plate printing has been proposed. According to this method, a photosensitive resin is apply | coated to a board | substrate, ultraviolet-ray is irradiated through a predetermined mask, and it develops, and can form a dot-shaped and stripe-shaped spacer. According to this, a spacer can be formed in places other than an effective pixel part. Moreover, with this method, since the cell gap can be adjusted by the coating film thickness of the photosensitive resin, control of the gap width is easy, and the precision is high, and the said problem can be solved.

LCD를 제조하는 공정에서, 스페이서와 러빙된 배향막을 구비하는 방법은, 이하의 3가지의 방법을 사용할 수 있다.In the process of manufacturing an LCD, the following three methods can be used as a method of providing a spacer and a rubbed alignment film.

① 배향막을 도포하기 전에 스페이서를 형성시키고, 도포후에 러빙을 수행한다.(1) A spacer is formed before applying the alignment film, and rubbing is performed after the application.

② 배향막을 도포한 후에 스페이서를 형성시키고, 러빙을 수행한다.(2) After applying the alignment film, spacers are formed and rubbing is performed.

③ 러빙한 배향막에 스페이서를 형성시킨다.(3) A spacer is formed in the rubbed alignment film.

감광성 수지에 의해 형성된 스페이서를, 이들 ① 내지 ③의 모든 방법으로 사용 가능하게 하기 위해서는, 다음과 같은 특성이 필요하게 된다.In order to enable the spacer formed by the photosensitive resin to be usable by all the methods of these (1)-(3), the following characteristics are required.

·스페이서를 형성하는 평판인쇄술 공정에서는, 수율 향상을 위해,In the plate printing process of forming a spacer, in order to improve the yield,

1) 고감도인 것.1) High sensitivity.

2) 현상후 현상 잔사(스컴)가 없는 것.2) There is no developing residue (scum) after development.

·형성된 스페이서에는,In the formed spacer,

1) 배향막을 도포하기 전의 세정 공정에서의 내알칼리성, 내수성을 구비하고 있는 것.1) It is equipped with alkali resistance and water resistance in the washing | cleaning process before apply | coating an oriented film.

2) 배향막에 사용되고 있는 용제에 대한 내용제성을 구비하고 있는 것.2) Having solvent resistance with respect to the solvent used for the oriented film.

3) 배향막의 소성 공정에서 열변형을 일으키지 않는 내열성을 구비하고 있는 것.3) It is equipped with heat resistance which does not produce heat deformation in the baking process of an oriented film.

4) 러빙에 의해 표시 불량이 생기지 않도록 내러빙성이 높은 것.4) High rubbing resistance to prevent display defects from rubbing.

5) 액정 배향 불량을 생기게 하지 않고, 전압 유지율, 잔류 직류 전압(잔류 DC)을 저하시키지 않는 것.5) It does not produce a liquid crystal orientation defect, and does not reduce voltage retention and residual DC voltage (residual DC).

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 평판인쇄술에 의해 액정 디스플레이 소자용 스페이서를 형성하는 경우에 있어서의 신규한 감광성 수지 조성물을 제공하는 일이고, 또한 상세하게는 종래 특성을 겸비하고, 고감도이고, 현상 잔사(스컴)가 없는 우수한 현상성, 내용제성을 갖는 스페이서의 형성 재료로서 적합한 네가티브형 감광성 수지 조성물을 제공하는 것이다. 또한 당해 수지 조성물로 형성된 스페이서 및 액정 디스플레이 소자를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The problem to be solved by the present invention is to provide a novel photosensitive resin composition in the case of forming a spacer for liquid crystal display elements by flat printing, and in detail, combines conventional characteristics, is highly sensitive, and develops. It is to provide a negative photosensitive resin composition suitable as a material for forming a spacer having excellent developability and solvent resistance without residues (scum). Moreover, it is providing the spacer and liquid crystal display element formed from the said resin composition.

본 발명자들은, 알칼리 가용성 수지[A], 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 화합물[B], 벤조페논 구조를 갖는 유기 과산화물 광중합 개시제[C] 및 4,4'-비스(디알킬아미노)벤조페논 구조를 갖는 감광제[D]를 함유하는 감광성 수지 조성물을 사용하여 형성되는 스페이서는, 내용제성, 내열성 및 내러빙성이 우수하고, 액정 배향 불량을 생기게 하지 않고, 전압 유지율, 잔류 DC를 저하시키지 않는다고 하는 특성도 겸비하고 있는 것을 발견하고, 본 발명을 달성하기에 이르렀다. 또한, 이 계에 에폭시기를 갖는 알칼리 불용성 비닐 중합체[AIS]를 첨가하여 수득되는 감광성 수지 조성물은 상기 조성물과 같은 특성을 갖음과 동시에, 또한, 더한층 내알칼리성 및 내수성이 개선된 피막을 제공하는 것이 명백하게 되었다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM The present inventors used alkali-soluble resin [A], the compound [B] which has an ethylenically unsaturated bond, the organic peroxide photoinitiator [C] which has a benzophenone structure, and the 4,4'-bis (dialkylamino) benzophenone structure. The spacer formed using the photosensitive resin composition containing the photosensitive agent [D] which has is excellent in solvent resistance, heat resistance, and rubbing resistance, and does not produce a liquid-crystal orientation defect, and does not reduce voltage retention and residual DC. It also found that it also has achieved the present invention. In addition, the photosensitive resin composition obtained by adding an alkali-insoluble vinyl polymer [A IS ] having an epoxy group to this system has the same characteristics as the composition, and at the same time, further provides a film having improved alkali resistance and water resistance. Became evident.

본 발명의 감광성 수지 조성물은, 다음의 (1) 내지 (12)로 나타낸다.The photosensitive resin composition of this invention is shown by following (1)-(12).

(1) 알칼리 가용성 수지[A], 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 화합물[B], 벤조페논 구조를 갖는 유기 과산화물 광중합 개시제[C] 및 4,4'-비스(디알킬아미노)벤조페논 구조를 갖는 감광제[D]를 함유함을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.(1) alkali-soluble resin [A], compound having ethylenically unsaturated bond [B], organic peroxide photopolymerization initiator [C] having a benzophenone structure and 4,4'-bis (dialkylamino) benzophenone structure A photosensitive resin composition containing a photosensitive agent [D].

(2) (1)에 있어서, 알칼리 가용성 수지[A]가 불포화 카복실산 단량체(a-1)와 기타의 라디칼 중합성 단량체와의 공중합체인 감광성 수지 조성물.(2) The photosensitive resin composition of (1) whose alkali-soluble resin [A] is a copolymer of unsaturated carboxylic monomer (a-1) and other radically polymerizable monomer.

(3) (2)에 있어서, 기타의 라디칼 중합성 단량체가 화학식 1의 라디칼 중합성 단량체(a-2)이거나, 화학식 1의 라디칼 중합성 단량체(a-2)와 라디칼 중합성 단량체(a-3)[(a-1)과 (a-2) 이외의 라디칼 중합성 단량체]인 감광성 수지 조성물.(3) In (2), the other radical polymerizable monomer is a radical polymerizable monomer (a-2) of formula (1), or a radical polymerizable monomer (a-2) and radical polymerizable monomer (a-) of formula (1). 3) [photosensitive resin composition which is a radically polymerizable monomer other than (a-1) and (a-2)].

화학식 1Formula 1

상기 식에서,Where

R1은 수소원자 또는 메틸기이고,R 1 is a hydrogen atom or a methyl group,

R2는 수소원자, 탄소수 1 내지 5의 알킬기이고,R 2 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms,

n은 0 내지 5의 정수이다.n is an integer of 0-5.

(4) (3)에 있어서, 화학식 1에서 n이 1 또는 2인 감광성 수지 조성물.(4) The photosensitive resin composition of (3) whose n is 1 or 2 in General formula (1).

(5) (3) 또는 (4)에 있어서, 화학식 1에서 R1및 R2가 수소원자인 감광성 수지 조성물.(5) Photosensitive resin composition as described in (3) or (4) whose R <1> and R <2> is a hydrogen atom in General formula (1).

(6) (2)에 있어서, 기타의 라디칼 중합성 단량체가 상기 (a-3)인 감광성 수지 조성물.(6) The photosensitive resin composition as described in (2) whose other radically polymerizable monomer is said (a-3).

(7) (1) 내지 (6) 중의 어느 하나에 있어서, 벤조페논 구조를 갖는 유기 과산화물 광중합 개시제[C]가 화학식 2의 화합물인 감광성 수지 조성물.(7) The photosensitive resin composition in any one of (1)-(6) whose organic peroxide photoinitiator [C] which has a benzophenone structure is a compound of General formula (2).

화학식 2Formula 2

상기 식에서,Where

R3, R4, R5및 R6은 각각 독립적으로 탄소수 1 내지 13의 알킬기이고,R 3 , R 4 , R 5 and R 6 are each independently an alkyl group having 1 to 13 carbon atoms,

X1및 X2는 각각 독립적으로 -O-, -O-O- 또는 -NH-이다.X 1 and X 2 are each independently —O—, —OO—, or —NH—.

(8) (7)에 있어서, 화학식 2에서 X1및 X2가 모두 -O-인 감광성 수지 조성물.(8) The photosensitive resin composition as described in (7) whose X <1> and X <2> are both -O- in general formula (2).

(9) (1) 내지 (8) 중의 어느 하나에 있어서, 화합물[B]가 에틸렌성 불포화 결합을 3 내지 6개 갖는 화합물인 감광성 수지 조성물.(9) The photosensitive resin composition in any one of (1)-(8) whose compound [B] is a compound which has 3-6 ethylenically unsaturated bonds.

(10) (1) 내지 (9) 중의 어느 하나에 있어서, 화합물[B]의 에틸렌성 불포화 결합이 아크릴로일기 또는 메타크릴로일기인 감광성 수지 조성물.(10) The photosensitive resin composition in any one of (1)-(9) whose ethylenically unsaturated bond of compound [B] is acryloyl group or methacryloyl group.

(11) (1) 내지 (10) 중의 어느 하나에 있어서, 에폭시기를 갖는 알칼리 불용성 비닐 중합체[AIS]가 추가로 첨가된 감광성 수지 조성물.(11) The photosensitive resin composition in any one of (1)-(10) which further added the alkali-insoluble vinyl polymer [A IS ] which has an epoxy group.

(12) (11)에 있어서, 에폭시기를 갖는 알칼리 불용성 비닐 중합체[AIS]가 에폭시기를 갖는 라디칼 중합성 단량체(a-4)의 중합체 또는 공중합체 또는 당해 단량체(a-4)와 기타의 라디칼 중합성 단량체(a-5)와의 공중합체인 감광성 수지 조성물.(12) The polymer or copolymer of the radically polymerizable monomer (a-4) in which the alkali-insoluble vinyl polymer [A IS ] having an epoxy group has an epoxy group or the radical (a-4) and other radicals according to (11). Photosensitive resin composition which is a copolymer with a polymerizable monomer (a-5).

본 발명의 피막, 스페이서 및 액정 디스플레이 소자는 다음 (13) 내지 (16)에 나타낸다.The film | membrane, spacer, and liquid crystal display element of this invention are shown to following (13)-(16).

(13) (1) 내지 (12) 중의 어느 하나에 기재된 감광성 수지 조성물을 사용하여 형성된 피막.(13) A film formed using the photosensitive resin composition according to any one of (1) to (12).

(14) (1) 내지 (12) 중의 어느 하나에 기재된 감광성 수지 조성물을 사용하여 형성된 액정 디스플레이 소자용 스페이서.The spacer for liquid crystal display elements formed using the photosensitive resin composition in any one of (14) (1)-(12).

(15) (14)에 있어서, 감광성 수지 조성물을 평판인쇄술에 의해 패턴화한 후, 열경화시켜 형성된 액정 디스플레이 소자용 스페이서.(15) The liquid crystal display element spacer according to (14), wherein the photosensitive resin composition is patterned by plate printing, followed by thermosetting.

(16) (14) 또는 (15)에 기재된 스페이서를 갖는 액정 디스플레이 소자.(16) A liquid crystal display element having a spacer as described in (14) or (15).

본 발명의 감광성 수지 조성물에 사용되는 알칼리 가용성 수지[A]는, 불포화 카복실 단량체 1종 또는 2종 이상과 기타의 라디칼 중합성 화합물을 공중합시켜 수득된다.Alkali-soluble resin [A] used for the photosensitive resin composition of this invention is obtained by copolymerizing an unsaturated carboxyl monomer 1 type, or 2 or more types, and another radically polymerizable compound.

불포화 카복실산 단량체(a-1)로서는, [이하, (메트)는 메트가 있는 경우와 없는 경우의 양쪽의 화합물을 포함하는 것을 나타낸다] (메트)아크릴산, 크로톤산, 이타콘산, 말레산, 푸마르산, 시트라콘산, 메사콘산 등을 들 수 있다. 이들은 단독 또는 조합시켜 사용된다.As an unsaturated carboxylic monomer (a-1), hereafter ((meth) shows the thing containing both compounds with and without a meth). (Meth) acrylic acid, crotonic acid, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, Citraconic acid, mesaconic acid, and the like. These are used alone or in combination.

기타의 라디칼 중합성 화합물로서는, 우선, 화학식 1의 라디칼 중합성 단량체(a-2)를 들 수 있다.As another radically polymerizable compound, the radically polymerizable monomer (a-2) of General formula (1) is mentioned first.

화학식 1Formula 1

상기 식에서,Where

R1은 수소원자 또는 메틸기이고,R 1 is a hydrogen atom or a methyl group,

R2는 수소원자 또는 탄소수 1 내지 5의 알킬기이고,R 2 is a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms,

n은 0 내지 5의 정수이다.n is an integer of 0-5.

다음에, 상기 단량체(a-1)와 (a-2) 이외의 라디칼 중합성 단량체(a-3)로서, 스티렌, 메틸스티렌, 비닐톨루엔 등의 방향족 비닐 화합물; (메트)아크릴산메틸, (메트)아크릴산에틸, (메트)아크릴산부틸, 2-하이드록시에틸(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트 등의 불포화 카복실산알킬에스테르; 3-사이클로헥세닐메틸(메트)아크릴레이트, 디사이클로펜테닐(메트)아크릴레이트, 디사이클로펜테닐옥시에틸(메트)아크릴레이트, 트리사이클로[5·2·1·02.6]데카닐(메트)아크릴레이트, 2,2,6,6-테트라메틸피페리디닐(메트)아크릴레이트, N-메틸-2,2,6,6-테트라메틸피페리디닐(메트)아크릴레이트 등의 (메트)아크릴산에스테르; (메트)아크릴아미드, 디메틸아미노프로필(메트)아크릴아미드, N,N-디메틸(메트)아크릴아미드 등의 (메트)아크릴아미드류 등을 들 수 있다.Next, as radically polymerizable monomers (a-3) other than the said monomer (a-1) and (a-2), Aromatic vinyl compounds, such as styrene, methylstyrene, and vinyltoluene; Unsaturated carboxylic acid alkyl esters such as methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, and benzyl (meth) acrylate; 3-cyclohexenylmethyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate, tricyclo [5 · 2 · 1 · 0 2.6 ] decanyl (meth (Meth), such as an acrylate, 2,2,6,6- tetramethyl piperidinyl (meth) acrylate, and N-methyl-2,2,6,6- tetramethyl piperidinyl (meth) acrylate Acrylic acid esters; (Meth) acrylamides, such as (meth) acrylamide, dimethylaminopropyl (meth) acrylamide, and N, N-dimethyl (meth) acrylamide, etc. are mentioned.

시판품으로서는, 오사카유기가가쿠(주)제의 "비스코트 #193", "동 #320", "동 #2311HP", "동 #220", "동 #2000", "동 #2100", "동 #2150", "동 #2180", "동 3F", "동 3FM", "동 4F", "동 4FM", "동 6FM", "동 8F", "동 8FM", "동 17F", "동 17FM", "동 MTG"; 도아고세이(주)제의 "알로닉스 M-101", "동 M-102", "동 M-110", "동 M-113", "동 M-117", "동 M-120", "동 M-5300", "동 M-5400", "동 M-5600", "동 M-5700", "동 TO-850", "동 TO-851", "동 TO-1248", "동 TO-1249", "동 TO-1301", "동 TO-1315", "동 TO-1317", "동 TO-981", "동 TO-1215", "동 TO-1316", "동 TO-1322", "동 TO-1342", "동 TO-1340", "동 TO-1225"; 니혼가야쿠(주)제의 "KAYARAD R-564", "동 R-128H"; 히타치가세이고교(주)제의 "FANCRYL FA-511A", "동 FA-512A", "동 FA-513A", "동 FA-513M", "동 FA-711MM", "동 FA-712HM" 등을 들 수 있다. 이들은, 단독으로 또는 조합시켜 사용된다.Commercially available products include "Biscoat # 193", "East # 320", "Eastern # 2311HP", "Eastern # 220", "Eastern # 2000", "Eastern # 2100", "Osaka Yugigaku Co., Ltd." East # 2150 "," East # 2180 "," East 3F "," East 3FM "," East 4F "," East 4FM "," East 6FM "," East 8F "," East 8FM "," East 17F " , "East 17FM", "East MTG"; "Alonix M-101", "Mine M-102", "Mine M-110", "Mine M-113", "Mine M-117", "Mine M-120" manufactured by Toagosei Co., Ltd., "East M-5300", "East M-5400", "East M-5600", "East M-5700", "East TO-850", "East TO-851", "East TO-1248", " East TO-1249, East TO-1301, East TO-1315, East TO-1317, East TO-981, East TO-1215, East TO-1316, East East TO-1322, copper TO-1342, copper TO-1340, copper TO-1225; Nihon Kayaku Co., Ltd. "KAYARAD R-564", "East R-128H"; "FANCRYL FA-511A", "FA FA-512A", "FA FA-513A", "FA FA-513M", "FA FA-711MM" and "FA FA-712HM" manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd. Etc. can be mentioned. These are used individually or in combination.

기타의 라디칼 중합성 단량체[(a-1) 이외의 라디칼 중합성 단량체]로서 2종 이상의 단량체를 사용하는 것이 바람직하고, 화학식 1의 단량체(a-2)와, (a-1) 및 (a-2) 이외의 단량체인 라디칼 중합성 단량체(a-3)와의 조합이 보다 바람직하다.It is preferable to use 2 or more types of monomers as other radically polymerizable monomers [radical polymerizable monomers other than (a-1)], and the monomer (a-2) of Formula 1, (a-1), and (a A combination with a radically polymerizable monomer (a-3) which is a monomer other than -2) is more preferable.

에폭시기를 갖는 알칼리 불용성 비닐 중합체[AIS]는, 에폭시기를 함유하는 라디칼 중합성 단량체(a-4)의 1종의 중합체 또는 2종 이상의 공중합체, 또는 에폭시기를 함유하는 라디칼 중합성 단량체(a-4)의 1종 또는 2종 이상과 기타의 라디칼 중합성 화합물(a-5)를 공중합시켜 수득된다.Alkali-insoluble vinyl polymer [A IS ] which has an epoxy group is a radically polymerizable monomer (a-) containing 1 type of polymers or 2 or more types of copolymers of a radically polymerizable monomer (a-4) containing an epoxy group, or an epoxy group. Obtained by copolymerizing 1 type (s) or 2 or more types of 4) with another radically polymerizable compound (a-5).

에폭시기를 갖는 라디칼 중합성 단량체(a-4)로서는, 글리시딜(메트)아크릴레이트, 3,4-에폭시부틸(메트)아크릴레이트, 2-메틸-3,4-에폭시사이클로헥실(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 이들은, 단독으로 또는 조합시켜 사용된다. 기타의 라디칼 중합성 화합물(a-5)로서는, 상기 서술한 불포화 카복실산 단량체(a-1), 화학식 1의 라디칼 중합성 단량체(a-2) 및 라디칼 중합성 단량체(a-3)(단 (a-4)는 제외한다)를 들 수 있다. 이들은 단독으로 또는 조합시켜 사용된다. 기타의 라디칼 중합성 화합물(a-5)로서는, 단량체(a-3)의 항에서 열거한 단량체를 사용할 수 있다.As a radically polymerizable monomer (a-4) which has an epoxy group, glycidyl (meth) acrylate, 3, 4- epoxy butyl (meth) acrylate, 2-methyl-3, 4- epoxycyclohexyl (meth) acryl The rate etc. are mentioned. These are used individually or in combination. As other radically polymerizable compound (a-5), the unsaturated carboxylic acid monomer (a-1) mentioned above, the radically polymerizable monomer (a-2) of Formula (1), and the radically polymerizable monomer (a-3) ( a-4) is excluded). These are used alone or in combination. As another radically polymerizable compound (a-5), the monomer enumerated in the term of monomer (a-3) can be used.

상기 서술한 알칼리 가용성 수지[A]는 상기 불포화 카복실산 단량체 및 기타의 라디칼 중합성 단량체를 공중합체 성분으로 하고, 그 함유량은, 수득되는 감광성 수지 조성물의 특성 등에 따라서 적절히 선택할 수 있지만, 통상 공중합체 구성 단위를 불포화 카복실산 단량체를 5 내지 40중량%, 바람직하게는 10 내지 20중량%, 기타의 라디칼 중합성 단량체를 95 내지 60중량%, 바람직하게는 90 내지 80중량% 함유하고 있다.Alkali-soluble resin [A] mentioned above makes the said unsaturated carboxylic acid monomer and other radically polymerizable monomer a copolymer component, The content can be suitably selected according to the characteristic etc. of the photosensitive resin composition obtained, Usually, copolymer composition The unit contains 5 to 40% by weight of unsaturated carboxylic acid monomer, preferably 10 to 20% by weight and 95 to 60% by weight of other radically polymerizable monomer, preferably 90 to 80% by weight.

불포화 카복실산 단량체로부터의 공중합 구성 단위가 5중량% 미만이면 알칼리 현상액에 용해하기 어렵게 되고, 40중량%를 넘으면 알칼리 현상액에 대한 용해성이 너무 커져, 현상후의 피막에 막의 거칠어짐이 발생하기 쉽게 되는 경향이 있다.If the copolymerized structural unit from the unsaturated carboxylic acid monomer is less than 5% by weight, it is difficult to dissolve in the alkaline developer, and if it exceeds 40% by weight, the solubility in the alkaline developer is too high, and the film roughness tends to occur in the film after development. have.

기타의 라디칼 중합성 단량체로부터의 공중합체 구성 단위가 60중량% 미만이면 알칼리 현상액에 대한 용해성이 너무 커지고, 95중량%를 넘으면 알칼리 현상액에 용해되기 어렵게 된다.If the copolymer structural unit from other radically polymerizable monomers is less than 60% by weight, the solubility in the alkaline developer becomes too large, and if it exceeds 95% by weight, it becomes difficult to be dissolved in the alkaline developer.

기타의 라디칼 중합성 단량체 중 화학식 1에서 나타내는 (a-2)로 나타내여지는 라디칼 중합성 단량체를 공중합체내에 도입하면, 알칼리 수용액에 대한 용해성이 증가하고, 현상 시간이 짧게 된다. 단량체 중의 함유량은 30중량% 이하이지만, 5중량% 이하이면 용해성 증가의 효과는 얼마 안되고, 30중량% 이상이면, 용해성이 너무 커지고, 현상후의 피막에 막의 거칠어짐이 발생하기 쉽게 된다.When the radically polymerizable monomer represented by (a-2) shown in General formula (1) among other radically polymerizable monomers is introduce | transduced into a copolymer, the solubility to aqueous alkali solution increases and the developing time becomes short. Although content in a monomer is 30 weight% or less, when it is 5 weight% or less, the effect of the solubility increase is few, and when it is 30 weight% or more, solubility becomes large too much and a film | membrane roughness arises easily in the film after image development.

에폭시기를 갖는 알칼리 불용성 비닐 중합체[AIS]는, 상기 에폭시기를 함유하는 라디칼 중합성 단량체(a-4)의 1종의 중합 또는 2종 이상의 공중합, 또는 에폭시기를 함유하는 라디칼 중합성 단량체(a-4)의 1종 또는 2종 이상과 기타의 라디칼 중합성 화합물(a-5)의 공중합으로 수득된다. 이들의 함유량은, 수득되는 감광성 수지 조성물의 특성 등에 따라서 적절히 선정할 수 있지만, 에폭시기를 함유하는 라디칼 중합성 단량체(a-4)를 기본으로 한 구성 단위가 통상 20 내지 100중량%, 바람직하게는 50 내지 100중량%, 기타의 라디칼 중합성 화합물(a-5)를 기본으로 한 구성 단위가 통상 0 내지 80중량%, 바람직하게는 0 내지 50중량%이다.Alkali-insoluble vinyl polymer [A IS ] which has an epoxy group is a 1 type polymerization or 2 or more types of copolymerization of the radically polymerizable monomer (a-4) containing the said epoxy group, or a radically polymerizable monomer (a-) containing an epoxy group. It is obtained by copolymerization of one or two or more of 4) with other radically polymerizable compounds (a-5). Although these content can be suitably selected according to the characteristic etc. of the obtained photosensitive resin composition, the structural unit based on the radically polymerizable monomer (a-4) containing an epoxy group is usually 20-100 weight%, Preferably it is The structural unit based on 50-100 weight% and other radically polymerizable compound (a-5) is 0-80 weight% normally, Preferably it is 0-50 weight%.

에폭시기를 함유하는 라디칼 중합성 단량체(a-4)를 기본으로 한 구성 단위가 20중량% 미만, 또는 기타의 라디칼 중합성 화합물(a-5)를 기본으로 한 구성 단위가 80중량%를 넘으면, 패턴화후 열경화하여 수득된 피막의 내알칼리성이 저하하는 경우가 있다.When the structural unit based on the radically polymerizable monomer (a-4) containing an epoxy group is less than 20 weight%, or the structural unit based on the other radically polymerizable compound (a-5) exceeds 80 weight%, The alkali resistance of the film obtained by thermosetting after patterning may fall.

알칼리 가용성 수지[A] 및 에폭시기를 갖는 알칼리 불용성 비닐 중합체[AIS]는, 종래의 공지의 중합 방법에 의해서 수득된다. 중합 용매는, 메탄올, 에탄올, 2-프로판올, 아세트산에틸, 아세트산부틸, 에틸렌글리콜모노이소프로필에테르, 에틸렌글리콜모노부틸에테르, 에틸카르비톨, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 메틸에틸케톤, 사이클로헥사논, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 톨루엔, 크실렌, γ-부티로락톤, N,N-디메틸아세트아미드, 테트라하이드로푸란 등이 바람직하다. 특히 메탄올, 아세트산에틸, 사이클로헥사논, 메틸에틸케톤,프로필렌글리콜모노메틸에테르가 바람직하다. 물론 2종 이상의 혼합 용매라도 좋다.Alkali-insoluble vinyl polymer [A IS ] which has alkali-soluble resin [A] and an epoxy group is obtained by a conventionally well-known polymerization method. The polymerization solvent is methanol, ethanol, 2-propanol, ethyl acetate, butyl acetate, ethylene glycol monoisopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, ethyl carbitol, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol Monobutyl ether acetate, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, toluene, xylene, γ-butyrolactone, N, N-dimethylacetamide, tetrahydrofuran and the like are preferable. Do. In particular, methanol, ethyl acetate, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, and propylene glycol monomethyl ether are preferable. Of course, 2 or more types of mixed solvent may be sufficient.

중합은 통상 단량체 농도 5 내지 50중량%, 중합 개시제 0.01 내지 5중량%, 반응 온도 50 내지 160℃, 반응시간 3 내지 12시간으로 수행한다. 분자량을 조절하기 위해서 티오글리콜산 등의 연쇄이동제를 가하여도 좋다. 반응 종료후, 중합액을 그대로, 또는 반응액을 대량의 비용매 중에 투입하여 올리고머나 미반응 단량체를 제거하여 생성된 침전을 건조시킨 것을 감광성 수지 조성물용 수지 조성물로서 사용한다. 중합액을 대량의 비용매 중에 투입하여 정제하는 경우는, 메탄올과 아세트산에틸의 혼합액을 중합 용매로 하고, 사이클로헥산 또는 아세트산에틸/사이클로로헥산 혼합액을 비용매로서 사용하면 건조성이 양호하여 바람직하다.The polymerization is usually carried out at a monomer concentration of 5 to 50% by weight, a polymerization initiator at 0.01 to 5% by weight, a reaction temperature of 50 to 160 ° C, and a reaction time of 3 to 12 hours. In order to adjust molecular weight, you may add chain transfer agents, such as thioglycolic acid. After the completion of the reaction, the polymerization liquid is used as it is or a reaction liquid is introduced into a large amount of non-solvent to remove oligomers and unreacted monomers, and the resulting precipitate is dried as a resin composition for the photosensitive resin composition. In the case where the polymerization solution is added to a large amount of non-solvent and purified, it is preferable to use a mixed solution of methanol and ethyl acetate as a polymerization solvent and to use cyclohexane or an ethyl acetate / cyclochlorohexane mixture as a non-solvent, because it has good dryness. .

이렇게 하여 수득된 알칼리 가용성 수지[A] 및 에폭시기를 갖는 알칼리 불용성 비닐 중합체[AIS]의 분자량은 특별히 한정되지 않지만, N,N-디메틸포름아미드를 용매로 한 GPC에 의한 분석으로, 폴리에틸렌옥사이드 환산 중량 평균 분자량(Mw)이, 통상 1,000 내지 100,000, 바람직하게는 2,000 내지 30,000인 것을 사용하는 것이 바람직하다.Although the molecular weight of alkali-soluble resin [A] and alkali-insoluble vinyl polymer [A IS ] which have an epoxy group obtained in this way is not specifically limited, Analysis by GPC using N, N- dimethylformamide as a solvent converts polyethylene oxide. The weight average molecular weight (Mw) is preferably 1,000 to 100,000, preferably 2,000 to 30,000.

알칼리 가용성 수지[A] 및 에폭시기를 갖는 알칼리 불용성 비닐 중합체[AIS]의 폴리에틸렌옥사이드 환산 중량 평균 분자량(Mw)이 1,000 미만인 경우는 막의 강도가 약하고, 현상시의 막의 거칠어짐, 패턴의 박리가 일어나기 쉽다. 한편, 200,000을 넘으면, 현상성이나 감도가 저하되거나, 현상후에 잔사가 남는 일이 있다.When the polyethylene oxide equivalent weight average molecular weight (Mw) of the alkali-soluble resin [A] and the alkali-insoluble vinyl polymer [A IS ] having an epoxy group is less than 1,000, the strength of the film is weak, the film becomes rough during development, and the pattern is peeled off. easy. On the other hand, when it exceeds 200,000, developability and sensitivity may fall, or a residue may remain after image development.

에틸렌성 불포화 결합을 1개 이상 갖는 화합물[B]로서는, 메틸(메트)아크릴레이트, 에틸(메트)아크릴레이트, 부틸(메트)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메트)아크릴레이트, 페닐(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트 등의 (메트)아크릴산유도체; 2-하이드록시에틸(메트)아크릴레이트, 2-하이드록시프로필(메트)아크릴레이트, 2-하이드록시부틸(메트)아크릴레이트, 3-하이드록시프로필(메트)아크릴레이트 등의 하이드록시알킬에스테르류; ω-카복시폴리카프로락톤모노(메트)아크릴레이트, 프탈산모노하이드록시에틸(메트)아크릴레이트, 2-하이드록시-3-페녹시프로필(메트)아크릴레이트, 디사이클로펜테닐(메트)아크릴레이트, 디사이클로펜테닐옥시에틸(메트)아크릴레이트, 트리사이클로[5·2·1·02.6]데카닐(메트)아크릴레이트, 2,2,6,6-테트라메틸피페리디닐(메트)아크릴레이트, N-메틸-2,2,6,6-테트라메틸피페리디닐(메트)아크릴레이트 등의 단관능성 (메트)아크릴레이트 화합물; 1,4-부탄디올디(메트)아크릴레이트, 1,6-헥산디올디(메트)아크릴레이트, 에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메트)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 하이드록시피발산네오펜틸글리콜디(메트)아크릴레이트, 트리메틸롤프로판트리(메트)아크릴레이트, 에톡시화 트리메틸롤프로판트리(메트)아크릴레이트, 디트리메틸롤프로판테트라(메트)아크릴레이트, 펜타에리스리톨디(메트)아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라(메트)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타(메트)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사(메트)아크릴레이트, 디사이클로펜타닐디(메트)아크릴레이트, 에톡시화 수소첨가 비스페놀A 디(메트)아크릴레이트, 에톡시화 비스페놀A 디(메트)아크릴레이트, 에톡시화 비스페놀F 디(메트)아크릴레이트, 에톡시화 비스페놀S 디(메트)아크릴레이트, 하이드록시프로필디(메트)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜비스하이드록시프로필(메트)아크릴레이트, 모노하이드록시펜타에리스리톨트리(메트)아크릴레이트 등의 다관능성 (메트)아크릴레이트 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the compound [B] having one or more ethylenically unsaturated bonds include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, and phenyl (meth). (Meth) acrylic acid derivatives such as acrylate and benzyl (meth) acrylate; Hydroxyalkyl esters, such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, and 3-hydroxypropyl (meth) acrylate ; ω-carboxy polycaprolactone mono (meth) acrylate, monohydroxy hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, Dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate, tricyclo [5 · 2 · 1 · 0 2.6 ] decanyl (meth) acrylate, 2,2,6,6-tetramethylpiperidinyl (meth) acrylate Monofunctional (meth) acrylate compounds such as N-methyl-2,2,6,6-tetramethylpiperidinyl (meth) acrylate; 1,4-butanedioldi (meth) acrylate, 1,6-hexanedioldi (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycoldi (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth ) Acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, hydroxypivalate neopentyl glycoldi (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, ethoxylated trimethyl Roll propane tri (meth) acrylate, ditrimethylolpropane tetra (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol Penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dicyclopentanyldi (meth) acrylate, ethoxylated hydrogenated bisphenol A di (meth) acrylate, ethoxylated bisphenol A di (meth) acrylate, ethoxylated bisphenol F di (meth) acrylate, ethoxylated bisphenol S di (meth) acrylate, hydroxypropyldi (meth) acrylate And polyfunctional (meth) acrylate compounds such as diethylene glycol bishydroxypropyl (meth) acrylate and monohydroxypentaerythritol tri (meth) acrylate.

또한, 이들 화합물로서, 시판품의 단관능성 또는 다관능성 (메트)아크릴레이트 화합물을 그대로 사용할 수 있다. 구체적으로는, 도아고세이가가쿠고교(주)제의 "알로닉스 M-5400", "동 M-5700", "동 M-215", "동 M-220", "동 M-245", "동 M-305", "동 M-309", "동 M-315", "동 M-400", "동 M-450", "동 M-8060", "동 M-8560"; 오사카유기가가쿠고교(주)제의 "비스코트 #295", "동 #300", "동 #360", "동 #400"; 니혼가야쿠(주)제의 "KAYARADTMPTA", "동 PET-30", "동 DPHA", "동 D-310", "동 DPCA-60"; 히타치가세이고교(주)제의 "FANCRYL FA-511A", "동 FA-512A, "동 FA-513A", "동 FA-513M", "동 FA-711MM", "동 FA-712HM" 등을 들 수 있다.Moreover, as these compounds, the monofunctional or polyfunctional (meth) acrylate compound of a commercial item can be used as it is. Specifically, "Aronix M-5400", "Mine M-5700", "Mine M-215", "Mine M-220", "Mine M-245" manufactured by Toago Seigagaku Kogyo Co., Ltd., "M-305", "M-309", "M-315", "M-400", "M-450", "M-8060" and "M-8560"; "Biscourt # 295", "East # 300", "East # 360", "East # 400", manufactured by Osaka Yugigaku Kogyo Co., Ltd .; Nippon Kayaku Co., Ltd. "KAYARADTMPTA", "Dong PET-30", "Dong DPHA", "Dong D-310", "Dong DPCA-60"; "FANCRYL FA-511A", "FA FA-512A", "FA FA-513A", "FA FA-513M", "FA FA-711MM" and "FA FA-712HM" manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd. Can be mentioned.

상기 서술한 것 중에 바람직한 화합물로서는, 트리메틸롤프로판트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리스리톨트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리스리톨테트라(메트)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨펜타(메트)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨헥사(메트)아크릴레이트, "알로닉스 M-305", "동 M-309", "동 M-400", "동 M-450", "비스코트 #300", "동 #400", "KAYARAD TMPTA", "동 DPHA", "동 D-310", "동 PE3급-30"등의 2중 결합을 3개 이상 갖는 다관능 (메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다. 이들은, 단독으로 또는 조합시켜 사용된다.Preferred compounds among the above are trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate and dipentaerythritol Hexa (meth) acrylate, "Alonix M-305", "Copper M-309", "Copper M-400", "Copper M-450", "Biscote # 300", "Copper # 400", " Polyfunctional (meth) acrylate which has three or more double bonds, such as KAYARAD TMPTA "," copper DPHA "," copper D-310 ", and" copper PE3-30 ", etc. are mentioned. These are used individually or in combination.

벤조페논 구조를 갖는 유기 과산화물 광중합 개시제[C]로서는, 4,4'-디(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논, 3,3'-디(메톡시카보닐)-4,4'-디(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논, 4,4'-디(메톡시카보닐)-3,3'-디(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논, 3,4'-디(메톡시카보닐)-4,3'-디(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논, 3,4,4'-트리(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논, 3,5,4'-트리(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논, 3,4,5-트리(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논, 3,4,4'-트리(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논, 2,3,4-트리(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논, 3,4,4'-트리(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논, 3,4,4'-트리(3급-아밀퍼옥시카보닐)벤조페논, 3,4,4'-트리(3급-헥실퍼옥시카보닐)벤조페논, 3,4,4'-트리(3급-옥틸퍼옥시카보닐)벤조페논, 3,3,4'-트리(3급-쿠밀퍼옥시카보닐)벤조페논, 4-메톡시-2',4'-디(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논, 4-메톡시-2',4'-디(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논, 3-메톡시-2',4'-디(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논, 2-메톡시-2',4'-디(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논, 4-에톡시-2',4'-디(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논, 3,3',4,4'-테트라(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논, 3,3',4,4'-테트라(3급-헥실퍼옥시카보닐)벤조페논, 시판품인 "BTTB50", "BTTB 25"(니혼유시(주)제) 등을 들 수 있다. 이들은, 단독으로 또는 조합시켜 사용된다.Examples of the organic peroxide photopolymerization initiator [C] having a benzophenone structure include 4,4'-di (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,3'-di (methoxycarbonyl) -4,4 ' -Di (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 4,4'-di (methoxycarbonyl) -3,3'-di (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,4 '-Di (methoxycarbonyl) -4,3'-di (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,4,4'-tri (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,5,4'-tri (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,4,5-tri (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,4,4'-tri ( Tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 2,3,4-tri (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,4,4'-tri (tert-butylperoxycarbonyl) Benzophenone, 3,4,4'-tri (tert-amylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,4,4'-tri (tert-hexylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,4,4 '-Tri (tert-octylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,3,4'-tri (tert-cumylperoxycarbonyl) benzophenone, 4-methoxy-2', 4'-di ( Tert-butyl perox Carbonyl) benzophenone, 4-methoxy-2 ', 4'-di (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 3-methoxy-2', 4'-di (tert-butylperoxy Carbonyl) benzophenone, 2-methoxy-2 ', 4'-di (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 4-ethoxy-2', 4'-di (tert-butylperoxy Carbonyl) benzophenone, 3,3 ', 4,4'-tetra (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,3', 4,4'-tetra (tert-hexylperoxycarbonyl ) Benzophenone, "BTTB50" which is a commercial item, "BTTB25" (made by Nihon Yushi Co., Ltd.), etc. are mentioned. These are used individually or in combination.

또한, 상기 광중합 개시제[C]와 다른 광중합 개시제를 조합시켜 사용하는 것도 가능하다. 다른 광중합 개시제로서는, 2,2-디메톡시-1,2-디페닐에탄-1-온,1-하이드록시사이클로헥실페닐케톤, 2-메틸-1[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온-1,2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드, 비스(2,4,6-트리메틸벤조일)-페닐포스핀옥사이드, 2-(4-메톡시-1-나프틸)-4,6-비스(트리클로로메틸)-S-트리아진을 들 수 있다. 시판품으로서는 시바·스페셜티·케미칼즈(주)제)의 "Irgacure 651", "동 184", "동 500", "동 369", "동 907", "동 819"; BASF 제펜(주)제의 "Lucirin TPO"; 미도리가가쿠(주)제의 "TAZ-104", "동 106", "동 110", "동 118" 등을 들 수 있다.Moreover, it is also possible to use combining the said photoinitiator [C] and another photoinitiator. As another photoinitiator, 2, 2- dimethoxy- 1, 2- diphenyl ethane- 1-one, 1-hydroxy cyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl- 1 [4- (methylthio) phenyl] -2- Morpholinopropane-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, bis ( 2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide and 2- (4-methoxy-1-naphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine are mentioned. As a commercial item, "Irgacure 651", "E. 184", "E. 500", "E. 369", "E. 907", "E. 819" by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd .; "Lucirin TPO" manufactured by BASF Zefen Co., Ltd .; "TAZ-104", "Down 106", "Down 110", "Down 118" by Midoriga Gaku Co., Ltd. are mentioned.

바람직한 광중합 개시제[C]로서는, 3,3'-디(메톡시카보닐)-4,4'-디(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논, 4,4'-디(메톡시카보닐)-3,3'-디(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논, 3,4'-디(메톡시카보닐)-4,3'-디(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논을 들 수 있다.As preferable photoinitiator [C], 3,3'-di (methoxycarbonyl) -4,4'-di (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 4,4'-di (methoxycarbon) Nil) -3,3'-di (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,4'-di (methoxycarbonyl) -4,3'-di (tert-butylperoxycarbonyl ) Benzophenone is mentioned.

또한, [C]와 다른 광중합 개시제의 바람직한 조합으로서는, 3,3'-디(메톡시카보닐)-4,4'-디(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논과 "Irgacure 907"의 병용, 4,4'-디(메톡시카보닐)-3,3'-디(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논과 "Irgacure 907"의 병용, 3,4'-디(메톡시카보닐)-4,3'-디(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논과 "Irgacure 907"의 병용, 3,3'-디(메톡시카보닐)-4,4'-디(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논과 "Irgacure 369"의 병용, 4,4'-디(메톡시카보닐)-3,3'-디(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논과 "Irgacure 369"의 병용, 3,4'-디(메톡시카보닐)-4,3'-디(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논과 "Irgacure 369"의 병용, 3,4,4'-트리(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논, 3,3',4,4'-테트라(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논, 3,4,4'-트리(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논과 "Irgacure 907"의 병용, 3,4,4'-트리(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논과 "Irgacure 369"의 병용, 3,3',4,4'-테트라(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논과 "Irgacure 907"의 병용, 3,3',4,4'-테트라(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논과 "Irgacure 369"의 병용을 들 수 있다.Moreover, as a preferable combination of [C] and another photoinitiator, 3,3'-di (methoxycarbonyl) -4,4'-di (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone and "Irgacure 907" Combination of 4,4'-di (methoxycarbonyl) -3,3'-di (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone with "Irgacure 907", 3,4'-di (meth Combination of oxycarbonyl) -4,3'-di (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone with "Irgacure 907", 3,3'-di (methoxycarbonyl) -4,4'-di Combination of (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone with "Irgacure 369", 4,4'-di (methoxycarbonyl) -3,3'-di (tert-butylperoxycarbonyl) benzo Combination of phenone with "Irgacure 369", combination of 3,4'-di (methoxycarbonyl) -4,3'-di (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone with "Irgacure 369", 3, 4,4'-tri (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,3 ', 4,4'-tetra (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,4,4'- Combination of tri (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone with "Irgacure 907", 3,4,4'-tri (tert-butylperoxycarbonyl) benzophene Combination of "Irgacure 369" with 3,3 ', 4,4'-tetra (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone and "Irgacure 907", 3,3', 4,4'-tetra The combination of (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone and "Irgacure 369" is mentioned.

감광제[D]로서는, 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 4,4'-비스(디사이클로헥실아미노)벤조페논, 4,4'-비스(디하이드록시에틸아미노)벤조페논 등을 들 수 있다. 또한, 시판품으로서는 호도가야가가쿠고교(주)제의 "EAB", "EAB-F" 등을 들 수 있다. 이들은, 단독으로 또는 조합시켜 사용된다.As a photosensitizer [D], 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4'-bis (dicyclohexylamino) benzophenone, 4, 4'-bis (dihydroxyethylamino) benzophenone etc. are mentioned. Moreover, as a commercial item, "EAB", "EAB-F" by Hodogaya Chemical Co., Ltd., etc. are mentioned. These are used individually or in combination.

본 발명 감광성 수지 조성물의 성분 함유 비율은, 알칼리 가용성 수지[A] 100중량부에 대하여, 에폭시기를 갖는 알칼리 불용성 비닐 중합체[AIS]를 0 내지 50중량부, 내알칼리성 등의 효과를 현저히 발현시키기 위해서는 5 내지 50중량부, 바람직하게는 10 내지 30중량부, 에틸렌성 불포화 결합을 1개 이상 갖는 화합물[B]을 10 내지 200중량부, 바람직하게는 30 내지 150중량부, 벤조페논 구조를 갖는 유기 과산화물 광중합 개시제[C]를 0.1 내지 50중량부, 바람직하게는 1 내지 30중량부, 및 4,4'-비스(디알킬아미노)벤조페논 구조를 갖는 감광제[D]를 0.1 내지 30중량부, 바람직하게는 0.5 내지 20중량부이다. 벤조페논 구조를 갖는 유기 과산화물 광중합 개시제[C]와 다른 광중합 개시제를 병용하는 경우는, 광중합 개시제[C] 100중량부에 대하여, 다른 광중합 개시제 10 내지 100중량부를 사용하는 것이 바람직하다.The component content ratio of the photosensitive resin composition of this invention expresses effects, such as alkali resistance, 0-50 weight part of alkali-insoluble vinyl polymer [A IS ] which has an epoxy group remarkably with respect to 100 weight part of alkali-soluble resin [A]. In order to have 5 to 50 parts by weight, preferably 10 to 30 parts by weight, 10 to 200 parts by weight of a compound [B] having one or more ethylenically unsaturated bonds, preferably 30 to 150 parts by weight, and a benzophenone structure 0.1-50 weight part of organic peroxide photoinitiator [C], Preferably 1-30 weight part, and 0.1-30 weight part of photosensitive agent [D] which has a 4,4'-bis (dialkylamino) benzophenone structure. Preferably it is 0.5-20 weight part. When using together an organic peroxide photoinitiator [C] which has a benzophenone structure, and another photoinitiator, it is preferable to use 10-100 weight part of other photoinitiators with respect to 100 weight part of photoinitiators [C].

알칼리 가용성 수지[A] 100중량부에 대하여 에틸렌성 불포화 결합을 1개 이상 갖는 화합물[B]가 10중량부 미만이면, 감광성 수지의 광 경화가 불충분하게 되고, 현상액에 대한 용해성이 증가하여 현상후의 피막 표면에 막의 거칠어짐이 생기는 일이 있다. 한편, 화합물[B]가 200중량부를 넘은 경우에도, 피막 표면의 점착도(tack)가 너무 커져, 경화후에 수득되는 피막에 막의 거칠어짐이 생기거나, 현상후에 잔사가 남거나 하는 일이 있다.When the compound [B] having one or more ethylenically unsaturated bonds is less than 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin [A], the photocuring of the photosensitive resin becomes insufficient, solubility in the developing solution increases and after development Roughness of the film may occur on the surface of the film. On the other hand, even when the compound [B] exceeds 200 parts by weight, the tack on the surface of the film is too large, resulting in roughening of the film in the film obtained after curing, or residue after development.

알칼리 가용성 수지[A] 100중량부에 대하여 벤조페논 구조를 갖는 유기 과산화물 광중합 개시제[C]가 0.1중량부 미만이면, 에틸렌성 불포화 결합을 적어도 1개 이상 갖는 화합물[B]의 가교(경화) 반응이 충분히 진행되지 않고, 한편, 50중량부를 넘으면, 현상성이 저하된다.Crosslinking (curing) reaction of compound [B] having at least one ethylenically unsaturated bond when the organic peroxide photopolymerization initiator [C] having a benzophenone structure is less than 0.1 part by weight based on 100 parts by weight of the alkali-soluble resin [A]. If this does not fully progress and exceeds 50 weight part, developability will fall.

알칼리 가용성 수지[A] 100중량부에 대하여, 4,4'-비스(디알킬아미노)벤조페논 구조를 갖는 감광제[D]가 0.1중량부 미만이면, 벤조페논 구조를 갖는 유기 과산화물 광중합 개시제[C]에의 증감 작용이 불충분하게 되고, 감도가 저하하여, 현상후 막의 거칠어짐이 생기고, 한편, 30중량부를 넘으면, 수득되는 피막의 잔막율이 저하된다.Organic peroxide photopolymerization initiator [C] which has a benzophenone structure when the photosensitizer [D] which has a 4,4'-bis (dialkylamino) benzophenone structure is less than 0.1 weight part with respect to 100 weight part of alkali-soluble resin [A]. ], The sensitization effect is insufficient, the sensitivity is lowered, and roughening of the film after development occurs. On the other hand, if it exceeds 30 parts by weight, the remaining film ratio of the obtained film is lowered.

본 발명의 감광성 수지 조성물은, 본 발명의 목적을 손상하지 않은 범위에서, 필요에 따라서 상기 성분 이외의 다른 성분을 함유하여도 좋다. 이러한 다른 성분으로서는, 커플링제, 계면활성제 등을 들 수 있다.The photosensitive resin composition of this invention may contain other components other than the said component as needed in the range which does not impair the objective of this invention. As such another component, a coupling agent, surfactant, etc. are mentioned.

커플링제는, 기판과의 밀착성을 향상시키기 위해서 사용하는 것이고, 상기 감광성 수지 조성물로부터 용매를 제거한 나머지의 성분(이하 「고형분」이라고 약기한다) 100중량부에 대하여 10중량부 이하 첨가하여 사용된다.A coupling agent is used in order to improve adhesiveness with a board | substrate, 10 weight part or less is added and used with respect to 100 weight part of remaining components (henceforth abbreviated as "solid content") from which the solvent was removed from the said photosensitive resin composition.

커플링제로서는, 실란계, 알루미늄계 및 티타네이트계의 화합물이 사용된다. 구체적으로는, 3-글리시독시프로필디메틸에톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-아크릴옥시프로필디메틸에톡시실란, 3-아크릴옥시프로필메틸디에톡시실란, 3-아크릴옥시프로필트리에톡시실란, 3-메타크릴옥시프로필디메틸에톡시실란, 3-메타크릴옥시프로필메틸디에톡시실란, 3-메타크릴옥시프로필트리에톡시실란, 3-메타크릴옥시프로필디메틸메톡시실란, 3-메타크릴옥시프로필메틸디메톡시실란, 3-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란 등의 실란계, 아세트알콕시알루미늄디이소프로필레이트 등의 알루미늄계, 테트라이소프로필비스(디옥틸포스파이트)티타네이트 등의 티타네이트계 화합물을 들 수 있다.As the coupling agent, silane-based, aluminum-based, and titanate-based compounds are used. Specifically, 3-glycidoxy propyl dimethyl ethoxy silane, 3-glycidoxy propyl methyl diethoxy silane, 3-glycidoxy propyl trimethoxy silane, 3-acryloxy propyl dimethyl ethoxy silane, 3-acryl Oxypropylmethyldiethoxysilane, 3-acryloxypropyltriethoxysilane, 3-methacryloxypropyldimethylethoxysilane, 3-methacryloxypropylmethyldiethoxysilane, 3-methacryloxypropyltriethoxysilane, Silanes such as 3-methacryloxypropyldimethylmethoxysilane, 3-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, aluminum-based compounds such as acetalkoxy aluminum diisopropylate, tetra Titanate compounds such as isopropylbis (dioctylphosphite) titanate.

계면활성제는, 밑바탕 기판에의 습성, 레벨링성, 도포성을 향상시키기 위해서 사용하는 것이고, 상기 감광성 수지 조성물 100중량부에 대하여 0.01 내지 1중량부 첨가하여 사용된다.Surfactant is used in order to improve the wettability, leveling property, and applicability | paintability to a base substrate, and 0.01-1 weight part is added and used with respect to 100 weight part of said photosensitive resin compositions.

계면활성제로서는, 실리콘계 계면활성제, 아크릴계 계면활성제, 불소계 계면활성제 등이 사용된다. 구체적으로는, 빅·케미(주)제의 "Byk-300", "동 306", "동 335", "동 310", "동 341", "동 344", "동 370" 등의 실리콘계, "동 354", "동 358", "동 361" 등의 아크릴계; 아사히가라스(주)제의 "SC-101", (주)토켐프로덕츠제의 "EF-351", "동 352" 등의 불소계를 들 수 있다.As surfactant, silicone type surfactant, acrylic type surfactant, fluorine type surfactant, etc. are used. Specifically, BIC-300, "Bridge 306", "Bridge 335", "Bridge 310", "Bridge 341", "Bridge 344", "Bridge 370" manufactured by BIC Chemie Co., Ltd. Acrylics such as "dong 354", "east 358", and "east 361"; And fluorine-based compounds such as "SC-101" manufactured by Asahi Glass Co., Ltd., "EF-351" manufactured by Tochem Products Co., Ltd., and "Copper 352".

본 발명의 감광성 수지 조성물은, 통상 적당한 용매에 용해시켜 용액 상태로 사용된다. 이 용액은, 용매 중에 알칼리 가용성 수지[A] 및 에폭시기를 갖는 알칼리 불용성 비닐 중합체[AIS]를 투입하여 완전히 용해시킨 후, 그 용액 중에 에틸렌성 불포화 결합을 1개 이상 갖는 화합물[B], 벤조페논 구조를 갖는 유기 과산화물 광중합 개시제[C], 4,4'-비스(디알킬아미노)벤조페논 구조를 갖는 감광제[D], 및 필요에 따라서 커플링제, 계면활성제 등을 소정의 비율로 혼합하고, 고형분 농도가 10 내지 50중량%가 되도록 조제하고, 그 후, 교반하여 완전히 용해시킴으로써 수득된다.The photosensitive resin composition of this invention is melt | dissolved in a suitable solvent normally, and is used in a solution state. This solution is prepared by dissolving an alkali-insoluble vinyl polymer [A IS ] having an alkali-soluble resin [A] and an epoxy group in a solvent and completely dissolving the compound. [B] and benzo having one or more ethylenically unsaturated bonds in the solution. An organic peroxide photopolymerization initiator [C] having a phenone structure, a photosensitive agent [D] having a 4,4'-bis (dialkylamino) benzophenone structure, and a coupling agent, a surfactant, and the like, if necessary, are mixed in a predetermined ratio, It is obtained by preparing to have a solid content concentration of 10 to 50% by weight, then stirring and dissolving completely.

이 때에 사용되는 용매로서는, 메톡시디에탄올, 에톡시에탄올, 1-메톡시-2-프로판올, 메틸셀로솔브, 에틸셀로솔브, 부틸셀로솔브, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 메틸셀로솔브아세테이트, 에틸셀로솔브아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 락트산에틸, N-메틸-2-피롤리돈, N,N-디메틸아세트아미드 등을 들 수 있고, 이들의 용매는 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.As a solvent used at this time, methoxy diethanol, ethoxy ethanol, 1-methoxy-2-propanol, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol mono Ethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethyl lactate, N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, and the like. These solvents can be used individually or in mixture of 2 or more types.

상기 서술한 것과 같이 하여 제조된 감광성 수지 조성물 용액을, 기판 표면에 도포하고, 가열에 의해 용매를 제거하면, 피막을 형성시킬 수 있다.When the photosensitive resin composition solution prepared as mentioned above is apply | coated to the board | substrate surface, and a solvent is removed by heating, a film can be formed.

기판 표면으로의 감광성 수지 조성물 용액의 도포는, 스핀 도포법, 로울코트법, 침지법 등 종래부터 공지된 방법에 의해 행할 수 있다.Application | coating of the photosensitive resin composition solution to a board | substrate surface can be performed by conventionally well-known methods, such as a spin coating method, a roll coat method, and an immersion method.

이어서, 이 피막은 핫플레이트, 오븐 등으로 가열(이하 「예비소성」라고 약기한다)한다. 예비소성 조건은 각 성분의 종류, 배합 비율에 따라 다르지만, 통상 70 내지 110℃에서, 핫플레이트이면 1 내지 5분간, 오븐이면 5 내지 15분간이다.Subsequently, this film is heated by a hot plate, an oven or the like (hereinafter abbreviated as "preliminary baking"). Although prebaking conditions differ according to the kind and compounding ratio of each component, they are 1 to 5 minutes in a hotplate, and 5 to 15 minutes in an oven at 70-110 degreeC normally.

본 발명의 액정 디스플레이 소자용 스페이서는, 상기 서술한 예비소성된 피막을 액정 디스플레이 소자용의 전극 기판상에 형성시킨 후, 소정 패턴의 광 마스크를 통해 자외선 등을 조사한 후, 현상액에 의해 현상하여, 불필요한 부분을 제거하는 것에 의해 얻어진다. 한편, 스페이서의 형성 방법에 관해서, 본 발명의 액정 디스플레이 소자에 대한 설명 부분에서 더욱 자세히 후술한다.The liquid crystal display element spacer of the present invention is formed on the electrode substrate for liquid crystal display element described above, and then irradiated with ultraviolet rays or the like through a photo mask of a predetermined pattern, and then developed by a developer, It is obtained by removing unnecessary parts. In addition, the formation method of a spacer is mentioned later in detail in the description about the liquid crystal display element of this invention.

현상액으로서는, 탄산나트륨, 수산화나트륨, 수산화칼륨 등의 무기 알칼리류; 테트라메틸암모늄하이드록시드, 테트라에틸암모늄하이드록시드 등의 유기 알칼리류 등의 수용액을 들 수 있다. 또한, 상기 알칼리 수용액에 메탄올, 에탄올, 계면활성제 등을 적당량 첨가하여 사용하는 것도 가능하다.As a developing solution, Inorganic alkalis, such as sodium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide; Aqueous solutions, such as organic alkalis, such as tetramethylammonium hydroxide and tetraethylammonium hydroxide, are mentioned. Moreover, it is also possible to add methanol, ethanol, surfactant, etc. in an appropriate amount to the said alkali aqueous solution, and to use.

현상 방법은, 침지법, 샤워법, 분무법 등 어느 것을 사용하여도 좋고, 현상 시간은 통상 30 내지 240초이고, 현상후, 흐르는 물로 헹구고, 건조시켜 패턴을 형성시킬 수 있다.The developing method may be any of dipping, showering, spraying, and the like, and the developing time is usually 30 to 240 seconds. After development, the pattern can be rinsed with running water and dried.

그 후, 이 패턴을 핫플레이트, 오븐 등으로 가열(이하 「후소성」라고 약기한다)함으로써, 에틸렌성 불포화 결합을 1개 이상 갖는 화합물[B]의 미반응분의 가교를 더욱 진행시킴과 동시에 용매를 완전히 제거하고, 소정의 피막 패턴을 얻을 수 있다.Thereafter, the pattern is heated by a hot plate, oven, or the like (hereinafter abbreviated as "after-baking") to further crosslink unreacted powder of compound [B] having one or more ethylenically unsaturated bonds. The solvent can be completely removed to obtain a predetermined film pattern.

후소성 조건은 각 성분의 종류, 배합 비율에 따라 다르지만, 통상 180 내지 250℃에서, 핫플레이트이면 5 내지 30분간, 오븐이면 30 내지 90분간이다.The post-firing conditions vary depending on the type and the blending ratio of each component, but usually at 180 to 250 ° C for 5 to 30 minutes for a hot plate and for 30 to 90 minutes for an oven.

본 발명의 액정 디스플레이 소자는, 상기 서술한 본 발명의 감광성 수지 조성물에 의해 형성되는 스페이서가 설치된 것이 특징이다. 이 액정 디스플레이 소자의 제조 방법에 관해서 설명한다.The liquid crystal display element of this invention is characterized by the spacer provided with the photosensitive resin composition of this invention mentioned above. The manufacturing method of this liquid crystal display element is demonstrated.

상하의 기판의 안쪽에, 투명 도전성 전극{예를 들면 인듐-주석 산화물(IT0), 산화주석(SnOx))과 배향 처리면 또는 배향막(이하 배향막이라고 한다)이 순서대로 적층되어 있다. 또한, 이들의 상하의 한쪽 또는 양쪽의 적층 기판상의 배향막의 표면 또는 배향막과 전극 기판의 사이에 본 발명의 감광성 수지 조성물의 피막을 목적하는 두께가 되도록 형성시킨 후, 예를 들면 5μm×5μm 내지 15μm×15μm의 격자상의 투광 부분이 있는 패턴이 구획된 광 마스크를 통해서 방사선을 조사하고, 그 후, 현상에 의해 방사선 비조사 부분의 피막을 제거하고, 소성을 시행하는 것으로, 액정 패널의 개구부 이외의 부분(예를 들면, 화소간)에 기둥 모양(감광성 수지 조성물의 기둥 모양)의 경화막에 의해 격자상 모양이 된 스페이서를 형성시킨다.Inside the upper and lower substrates, a transparent conductive electrode (for example, indium-tin oxide (IT0) and tin oxide (SnO x )) and an alignment treatment surface or an alignment film (hereinafter referred to as an alignment film) are stacked in this order. Furthermore, after forming the film of the photosensitive resin composition of this invention so that it may become a target thickness between the surface of the oriented film on these one or both laminated substrates, or between an oriented film and an electrode substrate, for example, 5 micrometers x 5 micrometers-15 micrometers x Radiation is irradiated through the photomask in which the pattern with a 15 micrometers grating | transmission part is partitioned, and after that, the film of a non-irradiation part is removed by image development, and baking is performed and parts other than the opening part of a liquid crystal panel are performed. The spacer which became a grid | lattice form by the cured film of columnar shape (pillar shape of the photosensitive resin composition) is formed in (for example, between pixels).

당해 스페이서의 형상은, 특별히 제한은 없지만, 바로 위에서 본 경우, 정방형, 직사각형, 원형, 타원형인 것이 바람직하고, 직사각형, 타원형의 경우, 장축 방향이, 러빙 방향과 수평 또는 직교하고 있는 것이 바람직하다. 또한, 바로 옆에서 본 경우, 정방형, 직사각형, 사다리꼴이고, 특히 사다리꼴이 바람직하다. 또한, 사다리꼴의 상부의 각이 둥글게 되어 있어도 좋고, 사다리꼴의 하부가 옷자락이 끌리듯이 되어도 좋다. 사다리꼴의 형상은 스페이서 위에 배향막을 도포, 러빙 처리할 때, 균일하게 배향막을 도포하거나 또는 균일한 러빙 처리를 할 때에 특히 유효하다.Although the shape of the said spacer is not specifically limited, When viewed from the top, it is preferable that it is square, rectangular, circular, and elliptical, and in the case of rectangular and elliptical, it is preferable that the long-axis direction is horizontal or orthogonal to a rubbing direction. Moreover, when viewed from the side, it is square, rectangular, trapezoid, and trapezoid is especially preferable. In addition, the angle of the upper part of a trapezoid may be rounded, and the lower part of a trapezoid may be attracted to a hem. The trapezoidal shape is particularly effective when the alignment film is applied and rubbed on the spacer, when the alignment film is uniformly applied or when the rubbing treatment is performed uniformly.

기판으로서는, 예를 들면, 백판 유리, 청판 유리, 실리카 코팅 청판 유리 등의 투명 유리 기판, 폴리카보네이트, 폴리에스테르, 아크릴 수지, 염화 비닐 수지, 방향족 폴리아미드 수지, 폴리아미드이미드, 폴리이미드 등의 합성 수지제 시트, 필름 또는 기판, 알루미늄판, 동판, 니켈판, 스테인레스판 등의 금속 기판, 기타 세라믹판, 광전 변환 소자를 갖는 반도체 기판 등을 들 수 있다. 이들의 기판에는 경우에 따라, 실란 커플링제 등의 약품 처리, 플라스마 처리, 이온 도금, 스퍼터링, 기상 반응법, 진공 증착 등의 전처리를 행할 수 있다.As a board | substrate, the synthesis of transparent glass substrates, such as a white plate glass, a blue plate glass, a silica coated blue plate glass, polycarbonate, polyester, an acrylic resin, a vinyl chloride resin, an aromatic polyamide resin, a polyamideimide, a polyimide, etc. Metal substrates, such as a resin sheet, a film or a board | substrate, an aluminum plate, a copper plate, a nickel plate, and a stainless plate, other ceramic plates, the semiconductor substrate which has a photoelectric conversion element, etc. are mentioned. These substrates can be subjected to pretreatment such as chemical treatment such as a silane coupling agent, plasma treatment, ion plating, sputtering, vapor phase reaction, vacuum deposition, and the like, in some cases.

감광성 수지 조성물을 기판에 도포할 때, 스핀 도포법, 로울 코트법, 침지법 등 종래부터 공지된 방법에 의해 행할 수 있다.When apply | coating a photosensitive resin composition to a board | substrate, it can carry out by a conventionally well-known method, such as a spin coating method, a roll coat method, and an immersion method.

도포후 피막의 건조는, 피막에 대하여 과열된 공기를 취입하거나 또는 기판을 과열된 핫플레이트상에 올려 놓음으로써 행할 수 있다. 건조풍 또는 핫플레이트의 가열 온도는 통상 30 내지 300℃, 특히 바람직하게는 50 내지 200℃이다. 가열시간은 1 내지 30분이 적합하고, 가열 온도는 일정하게 유지하여도 좋지만, 단계적으로 상승시켜도 좋다. 건조후의 막 두께는 통상 0.1 내지 10μm, 바람직하게는 1 내지 7μm이다.Drying of the film after application can be performed by blowing air superheated with respect to a film, or placing a board | substrate on a superheated hotplate. The heating temperature of a dry wind or a hotplate is 30-300 degreeC normally, Especially preferably, it is 50-200 degreeC. The heating time is preferably 1 to 30 minutes, and the heating temperature may be kept constant, but may be increased in stages. The film thickness after drying is 0.1-10 micrometers normally, Preferably it is 1-7 micrometers.

스페이서를 형성할 때에 사용되는 방사선으로서는, 가시광선, 자외선, 원자외선, 전자선, X선 등을 사용할 수 있다. 특히 바람직하게는, 파장이 190nm 내지 450nm의 범위인 방사선이다. 방사선의 조사 에너지는, 바람직하게는 1 내지 1000mJ/㎠이다.As the radiation used when forming the spacer, visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, X-ray, or the like can be used. Especially preferably, the radiation is in the range of 190 nm to 450 nm. The irradiation energy of the radiation is preferably 1 to 1000 mJ / cm 2.

현상액으로서는, 탄산나트륨, 수산화나트륨, 수산화칼륨 등의 무기 알칼리류, 및 테트라메틸암모늄하이드록시드, 테트라에틸암모늄하이드록시드 등의 유기알칼리류 등의 수용액을 들 수 있다. 또한, 상기 알칼리 수용액에 메탄올, 에탄올, 계면활성제 등을 적당량 첨가하여 사용하는 것도 가능하다.As a developing solution, aqueous solutions, such as inorganic alkalis, such as sodium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide, and organic alkalis, such as tetramethylammonium hydroxide and tetraethylammonium hydroxide, are mentioned. Moreover, it is also possible to add methanol, ethanol, surfactant, etc. in an appropriate amount to the said alkali aqueous solution, and to use.

현상 방법은, 침지법, 샤워법, 분무법 등 어느 것을 사용하여도 좋고, 현상 시간은 통상 30 내지 240초이고, 현상후, 흐르는 물로 헹구고, 건조시켜 패턴을 형성할 수 있다.The developing method may be any of dipping, showering, spraying, and the like, and the developing time is usually 30 to 240 seconds. After development, the pattern can be rinsed with running water and dried.

이렇게 하여 형성되는 스페이서는 스폿(spot) 모양이라도 선 모양이라도 좋다. 또한, 당해 수지 피막 중에 종래부터 사용되어 온 비드를 분산시켜, 고정시켜 사용하는 것도 가능하다. 또한, 감광성 수지 조성물을 유리 기판상에 도포하고, 동일하게 패턴화를 행하여 기판의 주변부만 당해 조성물을 남기고, 그 위에 별도의 기판을 대향하도록 액정 셀을 조립하고, 압착하여, 소성하는 것에 의해 당해 조성물을 밀봉재로서 액정 소자에 조립할 수 있다. 또한, 당해 수지 피막상에 배향 처리를 행하는 막을 형성시켜도 좋다.The spacer formed in this way may be a spot shape or a line shape. Moreover, it is also possible to disperse | distribute and fix the bead which has conventionally been used in the said resin film, and to use. In addition, the photosensitive resin composition is applied onto a glass substrate, and patterned in the same manner, leaving only the periphery of the substrate, leaving the composition, and assembling the liquid crystal cell so as to face another substrate thereon, pressing and firing the substrate. The composition can be assembled into the liquid crystal element as a sealing material. Moreover, you may form the film | membrane which performs an orientation process on the said resin film.

액정 디스플레이 소자는, 상기한 바와 같이 하여 형성된 상하의 소자 기판의 위치를 맞추어 압착후 열 처리하여 조합시킨 후, 액정을 주입하고, 주입구를 밀봉함으로써 제조된다. 또한, 액정소자 기판상에 액정을 살포한 후, 기판을 적층시켜 액정이 새지 않도록 밀봉하여 액정 디스플레이 소자를 제조하여도 좋다. 이렇게 하여, 본 발명의 감광성 수지 조성물로 형성된 우수한 내액정성을 갖는 스페이서를 액정 디스플레이 소자 중에 존재시킬 수 있다.The liquid crystal display element is manufactured by integrating the positions of the upper and lower element substrates formed as described above, followed by heat treatment after compression, and then injecting a liquid crystal to seal the injection port. Further, after spreading the liquid crystal onto the liquid crystal element substrate, the substrate may be laminated to seal the liquid crystal so as not to leak to produce a liquid crystal display element. In this way, the spacer which has the outstanding liquid crystal resistance formed from the photosensitive resin composition of this invention can be existed in a liquid crystal display element.

본 발명의 액정 디스플레이 소자에 사용되는 액정, 즉 액정 화합물 및 액정 조성물로서는, 특별히 한정되는 것이 아니라, 액정 화합물 및 액정 조성물 어느 쪽이나 사용할 수도 있다.It does not specifically limit as a liquid crystal used for the liquid crystal display element of this invention, ie, a liquid crystal compound and a liquid crystal composition, Any of a liquid crystal compound and a liquid crystal composition can also be used.

본 발명의 액정 디스플레이 소자에 사용되는 배향 처리된 면 및 배향막으로서는, 액정 분자의 배향을 규제하는 것이면, 특별히 한정되지 않고, 무기물 또는 유기물 어느 것이나 좋다. 일반적으로는 폴리이미드계, 폴리아미드계의 수지가 많이 사용되고 있다. 배향막으로서 보다 구체적으로는 화학식의 구조 단위(여기서, G는 2가의 방향족기 또는 지방족기이고; Y는 4가의 방향족기, 지방족기, 또는 4, 5 또는 6원환 구조를 갖는 지방족기 등의 유기기를 나타낸다)를 갖는 배향막이 바람직하다.As an orientation-treated surface and an orientation film used for the liquid crystal display element of this invention, if the orientation of a liquid crystal molecule is regulated, it will not specifically limit, Any inorganic substance or organic substance may be sufficient. In general, polyimide-based and polyamide-based resins are frequently used. More specifically, as the alignment film The alignment film which has a structural unit of (wherein G is a divalent aromatic group or an aliphatic group; Y represents an organic group such as a tetravalent aromatic group, an aliphatic group, or an aliphatic group having a 4, 5 or 6 membered ring structure) is preferable. Do.

2가의 유기기 G의 구체예로서는, 화학식Specific examples of the divalent organic group G include

의 기(여기서, R8은 H 또는 탄소수 1 내지 10의 알킬기를 나타내고; R9는 탄소수 1 내지 10의 알킬렌기를 나타내고; n은 1 내지 3의 정수를 나타내고; m은 1 또는 2를 나타낸다)를 들 수 있다.Wherein R 8 represents H or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms; R 9 represents an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms; n represents an integer of 1 to 3; m represents 1 or 2 Can be mentioned.

4가의 유기기 Y의 구체예로서는 화학식Specific examples of the tetravalent organic group Y include

의 기(여기서, R8은 H 또는 탄소수 1 내지 10의 알킬기를 나타내고, n은 0 내지 4의 정수를 나타내고, m은 0 또는 l을 나타낸다)를 들 수 있다.And (wherein R 8 represents H or an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, n represents an integer of 0 to 4, and m represents 0 or 1).

실시예Example

이하, 본 발명을 실시예에 의해 더욱 상세히 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예에 한정되는 것이 아니다.Hereinafter, although an Example demonstrates this invention still in detail, this invention is not limited to these Examples.

(알칼리 가용성 수지[A]의 제조)(Manufacture of alkali-soluble resin [A])

실시예 및 비교예에서 사용하는 알칼리 가용성 수지 [A-1] 내지 [A-8]을 다음과 같이 제조한다.Alkali-soluble resins [A-1] to [A-8] used in the examples and the comparative examples are prepared as follows.

알칼리 가용성 수지(A-1):Alkali-soluble resin (A-1):

교반기, 냉각관, 질소 도입관 및 온도계를 장착한 분리 플라스크에, 불포화 카복실산 단량체(a-1)로서 메타크릴산 20g, 기타의 라디칼 중합성 화합물(a-3)으로서 벤질메타크릴레이트 130g 및 2-하이드록시에틸아크릴레이트 20g, 화학식 1의 라디칼 중합성 화합물(a-2)로서 5-테트라하이드로푸르푸릴옥시카보닐펜틸아크릴레이트(니혼가야쿠(주)제 "KAYARADTC-110S") 30g, 중합 개시제로서 2,2'-아조비스이소부티로니트릴 1g, 연쇄이동제로서 티오글리콜산 3g, 용매로서 메탄올 167g 및 아세트산에틸 333g을 투입한다. 그 후 30분간 질소로 플라스크내의 공기를 제거하고, 플라스크를 오일욕에서 내부 온도를 65℃로 유지하여 6시간 중합 반응을 수행한다.In a separate flask equipped with a stirrer, a cooling tube, a nitrogen introduction tube and a thermometer, 20 g of methacrylic acid as the unsaturated carboxylic acid monomer (a-1) and 130 g of benzyl methacrylate as the other radically polymerizable compound (a-3) and 2 20 g of hydroxyethyl acrylate, 30 g of 5-tetrahydrofurfuryloxycarbonylpentyl acrylate ("KAYARADTC-110S" manufactured by Nihon Kayaku Co., Ltd.) as a radical polymerizable compound (a-2) of Formula 1, and polymerization 1 g of 2,2'-azobisisobutyronitrile as an initiator, 3 g of thioglycolic acid as a chain transfer agent, 167 g of methanol and 333 g of ethyl acetate are added as a solvent. Thereafter, air in the flask is removed with nitrogen for 30 minutes, and the flask is maintained in an oil bath at 65 ° C. for 6 hours to carry out the polymerization reaction.

그 후, 중합액에 사이클로헥산 3,000g을 가하여 중합체를 석출시키고, 상등액을 경사 제거한 후, 40℃에서 20시간 진공 건조시켜 알칼리 가용성 수지(A-1) 180g을 수득한다.Thereafter, 3,000 g of cyclohexane was added to the polymerization solution to precipitate the polymer, the supernatant was decanted, and then vacuum dried at 40 ° C. for 20 hours to obtain 180 g of an alkali-soluble resin (A-1).

수득된 알칼리 가용성 수지의 폴리에틸렌옥사이드 환산 중량 평균 분자량은 7,000이다(표 1 참조).The polyethylene oxide equivalent weight average molecular weight of obtained alkali-soluble resin is 7,000 (refer Table 1).

알칼리 가용성 수지 (A-2) 내지 (A-8):Alkali-soluble resins (A-2) to (A-8):

표 1에 나타내는 바와 같이 단량체 성분의 비율을 바꿔 (A-1)와 동일하게 하여 알칼리 가용성 수지 (A-2) 내지 (A-8)을 수득한다. 수득량, 수득된 수지의 분자량을 표 1에 나타낸다.As shown in Table 1, alkali monomer-soluble resins (A-2) to (A-8) are obtained in the same manner as (A-1) by changing the ratio of monomer components. Table 1 shows the yield and the molecular weight of the obtained resin.

(알칼리 불용성 중합체[AIS]의 제조)(Preparation of alkali insoluble polymer [A IS ])

실시예 및 비교예에서 사용하는 알칼리 불용성 중합체 [AIS-1] 내지 [AIS-4]를 다음과 같이 제조한다.Alkali-insoluble polymers [A IS- 1] to [A IS- 4] used in Examples and Comparative Examples are prepared as follows.

알칼리 불용성 중합체[AIS-1]Alkali Insoluble Polymer [A IS- 1]

교반기, 냉각관, 질소 도입관 및 온도계를 장착한 분리 플라스크에, 에폭시기를 갖는 라디칼 중합성 단량체로서 글리시딜메타크릴레이트 160g, 기타의 라디칼 중합성 화합물(a-5)로서 메틸메타크릴레이트 40g, 중합 개시제로서 2,2'-아조비스이소부티로니트릴의 8g, 용매로서 메틸에틸케톤 800g을 투입한다. 그 후 30분간 질소로 플라스크내의 공기를 제거하고, 플라스크를 오일욕에서 내부 온도를 80℃로 유지하여 6시간 중합 반응을 수행한다.In a separate flask equipped with a stirrer, a cooling tube, a nitrogen introduction tube, and a thermometer, 160 g of glycidyl methacrylate as a radical polymerizable monomer having an epoxy group and 40 g of methyl methacrylate as another radical polymerizable compound (a-5) 8 g of 2,2'-azobisisobutyronitrile as a polymerization initiator and 800 g of methyl ethyl ketone are added as a solvent. Thereafter, air in the flask was removed with nitrogen for 30 minutes, and the flask was kept in an oil bath at 80 ° C. for 6 hours to carry out a polymerization reaction.

그 후, 중합액에 사이클로헥산 3,000g을 가하여 중합체를 석출시키고, 상등액을 경사 제거한 후, 40℃에서 20시간 진공 건조시켜 알칼리 불용성 중합체(AIS-1)를 수득한다.Thereafter, 3,000 g of cyclohexane was added to the polymerization solution to precipitate the polymer, the supernatant was decanted, and then vacuum dried at 40 ° C. for 20 hours to obtain an alkali insoluble polymer (A IS- 1).

수득된 알칼리 가용성 수지의 폴리에틸렌옥사이드 환산 중량 평균 분자량은 6,100이다(표 2 참조).The polyethylene oxide equivalent weight average molecular weight of obtained alkali-soluble resin is 6,100 (refer Table 2).

알칼리 불용성 중합체 [AIS-2] 내지 [AIS-4]Alkali insoluble polymer [A IS -2] to [A IS -4]

표 2에 나타내는 바와 같이 단량체 성분의 비율을 바꿔 (AIS-1)와 동일하게 하여 알칼리 불용성 중합체를 수득한다. 수득된 수지의 분자량을 표 2에 나타낸다.As shown in Table 2, the proportion of the monomer component is changed to be the same as in (A IS- 1) to obtain an alkali insoluble polymer. The molecular weight of the obtained resin is shown in Table 2.

이하에 감광성 수지 조성물의 제조, 그 성능 평가, 이것을 사용한 스페이서와 액정 디스플레이 소자의 제조, 및 이들의 평가를 행한 결과를 이하의 실시예에서 설명한다.Below, the manufacture of the photosensitive resin composition, its performance evaluation, the manufacture of the spacer and liquid crystal display element using this, and the result of having performed these evaluation are demonstrated in the following Example.

(감광성 수지 조성물의 제조)(Production of Photosensitive Resin Composition)

(실시예 1)(Example 1)

알칼리 가용성 수지(a-1) 100중량부를 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 200중량부에 혼합하여 용해시킨 후, 수득된 용액에 또한 화합물[B]로서 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트 및 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트의 혼합물{도아고세이가가쿠고교(주)제 "알로닉스 M400"} 100중량부, 광중합 개시제[C]로서 3,3',4,4'-테트라(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논의 25중량% 톨루엔 용액{니혼유시(주)제 "BTTB25"}(고형분) 10중량부, 감광제[D]로서 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논{호도가야가가쿠고교(주)제 "EAB-F"} 1중량부, 및 기타의 성분으로서 실리콘계 계면활성제(빅케미·제펜(주)제 "Byk-344"} 0.3중량부를 혼합하고, 이 혼합 용액의 고형분 농도가 39중량%가 되도록 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 가한다. 그 후, 균일한 용액이 수득될 때까지 교반하고, 공극 직경 0.22μm의 멤브레인 필터로 여과하여 감광성 수지 조성물의 용액을 수득한다.After dissolving 100 parts by weight of alkali-soluble resin (a-1) by mixing 200 parts by weight of propylene glycol monomethyl ether acetate, and dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate as compound [B] in the obtained solution. 100 parts by weight of a mixture of Toago Seigagaku Kogyo Co., Ltd. "Alonics M400"}, 3,3 ', 4,4'-tetra (tert-butylperoxycarbonyl) benzo as photopolymerization initiator [C] 10 parts by weight of a 25% by weight toluene solution of phenone {"BTTB25" (manufactured by Nihon Yushi Co., Ltd.)} (solid content) and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone as a photosensitive agent [D] 1 part by weight of "EAB-F"}, and 0.3 parts by weight of a silicone-based surfactant ("Byk-344" manufactured by BIC Chemie Zepen Co., Ltd.) as other components, and the solid content concentration of this mixed solution is 39 Propylene glycol monomethyl ether acetate is added to the weight percent, after which the mixture is stirred until a homogeneous solution is obtained. On the other hand, the membrane filter having a pore diameter of 0.22 탆 is filtered to obtain a solution of the photosensitive resin composition.

(실시예 2 내지 46)(Examples 2 to 46)

표 3 내지 5에 기재된 각 성분을 소정량 가하는 이외는, 실시예 1과 같이 행하여, 감광성 수지 조성물을 수득한다.Except having added the predetermined amount of each component of Tables 3-5, it carries out like Example 1 and obtains the photosensitive resin composition.

(비교예 1)(Comparative Example 1)

광중합 개시제[C]를 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온-1{시바·스페셜티·케미칼즈(주)제 "Irgacure 369") 30중량부로 하고, 감광제[D]를사용하지 않은 이외는 실시예 1과 같이 하여 용액을 제조한다.Photoinitiator [C] is 30 parts by weight of 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1 ("Irgacure 369" manufactured by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.) , A solution was prepared in the same manner as in Example 1 except that the photosensitive agent [D] was not used.

(비교예 2)(Comparative Example 2)

중합 개시제[C]를 2,4,6-트리메티렐벤조일디페닐포스핀옥사이드{BASF 제펜(주)제 "Lucirin TPO"} 30중량부로 하고, 감광제[D]를 사용하지 않은 이외는 실시예 1과 같이 하여 감광성 수지 조성물 용액을 제조한다.The polymerization initiator [C] was 2,4,6-trimethyrelbenzoyldiphenylphosphine oxide (BASF Zepen Co., Ltd. "Lucirin TPO") 30 parts by weight, except that no photosensitive agent [D] was used. A photosensitive resin composition solution is prepared in the same manner as 1.

(실시예 47)(Example 47)

알칼리 가용성 수지(a-1) 100중량부, 알칼리 불용성 중합체(AIS-1) 15중량부 및 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 250중량부를 혼합하여 용해시킨 후, 화합물[B]로서 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트 및 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트의 혼합물(도아고세이가가쿠고교(주)제 "알로닉스 M400") 60중량부, 광중합 개시제[C]로서의 3,3',4,4'-테트라(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논의 25중량% 톨루엔 용액(니혼유시(주)제 "BTTB25")(고형분) 6중량부, 감광제[D]로서의 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논(호도가야가가쿠고교(주)제 "EAB-F") 3중량부 및 기타의 성분으로서의 실리콘계 계면활성제(빅케미·제펜(주)제 "Byk-344") 0.3중량부를 혼합하고, 고형분 농도가 39중량%가 되도록 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트를 가한다. 그 후, 균일한 용액이 수득될 때까지 교반하고, 공극 직경 0.22μm의 멤브레인 필터로 여과하여 감광성 수지 조성물의 용액을 수득한다.100 weight part of alkali-soluble resin (a-1), 15 weight part of alkali insoluble polymers (A IS- 1), and 250 weight part of propylene glycol monomethyl ether acetates were mixed and dissolved, and it was dipentaerythritol hexaacryl as a compound [B]. 60 parts by weight of a mixture of latex and dipentaerythritol pentaacrylate ("Aronix M400" manufactured by Toago Seigagaku Kogyo Co., Ltd.), 3,3 ', 4,4'-tetra (class 3) as a photopolymerization initiator [C] 6 parts by weight of a 25% by weight toluene solution of butylperoxycarbonyl) benzophenone ("BTTB25" manufactured by Nippon Yushi Co., Ltd.) (solid content), 4,4'-bis (diethylamino) benzo as a photosensitizer [D] 3 parts by weight of phenone ("EAB-F" manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) and 0.3 parts by weight of a silicone-based surfactant ("Byk-344" manufactured by BIC Chemie Zepen Co., Ltd.) as other components, Propylene glycol monomethyl ether acetate is added so that the concentration is 39% by weight. Thereafter, the mixture is stirred until a uniform solution is obtained, and filtered through a membrane filter having a pore diameter of 0.22 µm to obtain a solution of the photosensitive resin composition.

(실시예 47 내지 80)(Examples 47 to 80)

표 6 및 7에 기재된 각 성분을 소정량 가하는 이외는, 실시예 47와 같이 행하여, 감광성 수지 조성물을 수득한다.Except having added predetermined amount each component of Table 6 and 7, it carries out like Example 47 and obtains the photosensitive resin composition.

표 3 내지 7에 있어서의 약칭에 관해서 이하에 설명한다.The abbreviated-name in Tables 3-7 is demonstrated below.

화합물[B]:Compound [B]:

B-1: 디펜타에리스리톨헥사아크릴레이트와 디펜타에리스리톨펜타아크릴레이트의 혼합물(도아고세이가가쿠고교(주)제 "알로닉스 M-400")B-1: A mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate ("Alonix M-400" manufactured by Toagosei Chemical Co., Ltd.)

B-2: 트리메틸롤프로판트리아크릴레이트(도아고세이가가쿠고교(주)제 "알로닉스 M-309")B-2: trimethylolpropane triacrylate ("Aronix M-309" made by Toago Seigagaku Kogyo Co., Ltd.))

B-3: 펜타에리스리톨트리아크릴레이트(도아고세이가가쿠고교(주)제 "알로닉스 M-305")B-3: pentaerythritol triacrylate ("Alonix M-305" made by Toagosei Chemical Co., Ltd.)

B-4: 펜타에리스리톨테트라아크릴레이트(도아고세이가가쿠고교(주)제 "알로닉스 M-450")B-4: pentaerythritol tetraacrylate ("Aronix M-450" made by Toago Seigagaku Kogyo Co., Ltd.)

광중합 개시제[C]:Photopolymerization initiator [C]:

C-1: 3,3',4,4'-테트라(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논의 25중량% 톨루엔 용액(니혼유시(주)제 "BTTB25")C-1: 25 wt% toluene solution of 3,3 ', 4,4'-tetra (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone ("BTTB25" manufactured by Nihon Yushi Co., Ltd.)

C-2: 3,4,4'-트리(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논의 25중량% 톨루엔 용액C-2: 25 wt% toluene solution of 3,4,4'-tri (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone

C-3: 3,3'-디(메톡시카보닐)-4,4'-디(3급-부틸퍼옥시카보닐)벤조페논의 20중량% 톨루엔 용액C-3: 20 wt% toluene solution of 3,3'-di (methoxycarbonyl) -4,4'-di (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone

C-4: 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부탄온-1-(시바·스페셜티·케미칼즈(주)제 "Irgacure 369")C-4: 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1-("Irgacure 369" made by Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.)

C-5: 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드C-5: 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide

(BASF 제펜(주)제 "Lucirin TPO")(BASF Zepen Co., Ltd. "Lucirin TPO")

감광제[D]:Photosensitizer [D]:

D-1: 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논(호도가야가가쿠고교(주)제 "EAB-F")D-1: 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone (made by Hodogaya Chemical Co., Ltd. "EAB-F")

D-2: 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논D-2: 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone

기타의 성분(계면활성제):Other Ingredients (Surfactants):

E-1: 실리콘계 계면활성제(빅케미·제펜(주)제 "Byk-344")E-1: Silicone type surfactant ("Byk-344" made by BIC Chemie Zepen Co., Ltd.)

기타의 성분(커플링제):Other Ingredients (Coupling Agents):

F-1: 3-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란(칫소(주)제 "사이라에스S710")F-1: 3-methacryloxypropyl trimethoxysilane ("Syirasu S710" made by Chisso Corporation)

상기 실시예에서 수득된 감광성 수지 조성물을 사용하여, 피막, 스페이서를 형성하여 그 성능을 평가한다. 그 방법과 결과를 이하에 서술한다.Using the photosensitive resin composition obtained in the said Example, a film and a spacer are formed and the performance is evaluated. The method and results are described below.

감광성 수지 조성물 평가(스페이서의 형성):Photosensitive resin composition evaluation (formation of a spacer):

스페이서의 형성법(a)Formation method of spacer (a)

실시예 및 비교예에서 수득된 감광성 수지 조성물 용액을, 유리 기판/또는 ITO 막으로 이루어진 투명 전극 부착 유리 기판상에 소정량 분배하여, 900rpm으로 15초간 스핀 도포한 후, 핫플레이트로 90℃, 3분간 예비소성하여 피막을 형성시킨다.The photosensitive resin composition solutions obtained in Examples and Comparative Examples were distributed on a glass substrate / or a glass substrate with a transparent electrode made of an ITO film, and spun for 15 seconds at 900 rpm, followed by a hot plate at 90 ° C., 3 Prebaking for a minute forms a film.

그 후, 수득된 피막을, PLA-501F 마스크 얼라이너{캐논(주)제}를 사용하여, 10μm×10μm의 투광 부분에 의해 격자상 패턴 모양을 형성하는 광 마스크를 통해 노광한다. 또한, 노광은, 공기 대기중 전체 선(필터 없음)에서 행하고 노광량 100mJ/㎠의 자외선을 조사한다. 노광량의 측정에는 적산 광량계 UIT-102(우시오(주)제)를 사용하고, 수광기는, UVD-365PD(우시오(주)제)를 사용한다. 이어서, 0.05중량% 수산화칼륨 수용액을 사용하여, 23℃에서 소정 시간(30 내지 120초) 현상(샤워 현상, 샤워압 0.04MPa)을 행한 후, 순수한 물로 15초간 샤워하여 헹구고 건조시킨다. 또한, 오븐에서 200℃, 30분간 가열 소성하여 기판상에 10μm×10μm 기둥 모양의 감광성 수지 조성물의 경화막에 의해 격자상 패턴 모양으로 패턴화된 두께 5μm의 스페이서를 형성시킨다.Then, the obtained film is exposed through the photomask which forms a grid pattern pattern by the light transmission part of 10 micrometers x 10 micrometers using PLA-501F mask aligner (made by Canon Corporation). In addition, exposure is performed in the whole line (without a filter) in air | atmosphere, and it irradiates the ultraviolet-ray of 100 mJ / cm <2> of exposure amount. Accumulated photometer UIT-102 (made by Ushio Corporation) is used for the measurement of an exposure amount, and a light receiver uses UVD-365PD (made by Ushio Corporation). Subsequently, after developing predetermined time (30-120 second) (shower image development, shower pressure 0.04 MPa) at 23 degreeC using 0.05 weight% potassium hydroxide aqueous solution, it washes with pure water for 15 second, and rinses and dries. Furthermore, it heat-fires at 200 degreeC for 30 minute (s) in oven, and forms the spacer of 5 micrometers thickness patterned by the cured film of the 10 micrometers x 10 micrometers columnar photosensitive resin composition in grid pattern shape on a board | substrate.

스페이서의 형성법(b)Formation method of spacer (b)

1000rpm의 회전 속도로 스핀 도포하고, 피막 두께를 4.8μm로 바꾸는 이외는형성법(a)와 같이 수행한다.Spin coating is carried out at a rotational speed of 1000 rpm, and the coating is carried out as in the formation method (a) except that the film thickness is changed to 4.8 µm.

스페이서의 형성법(c)Formation method of spacer (c)

노광량을 200mJ/㎠의 자외선 조사로 바꾸는 이외는 형성법(a)와 같이 수행한다.The exposure was carried out in the same manner as the formation method (a) except that the exposure amount was changed to ultraviolet irradiation of 200 mJ / cm 2.

상기한 바와 같이 하여 수득된 스페이서(피막)에 대하여 다음과 같은 물성을 측정한다.The following physical properties of the spacer (film) obtained as described above were measured.

·감도:·Sensitivity:

상기한 바와 같이 하여 수득된 스페이서에 있어서, 40초 현상후의 잔막율((현상후의 막 두께/예비소성 후의 막 두께)×100) 및 수득된 피막의 잔막율을 측정하여, 다음의 기준으로 판정한다.In the spacer obtained as described above, the residual film ratio ((film thickness after development / film thickness after preliminary development) x 100) after the development for 40 seconds and the residual film ratio of the obtained film were measured and judged by the following criteria. .

○… 잔막율이 90% 이상○… Residual rate is over 90%

×… 잔막율이 90% 미만×… Residual rate is less than 90%

· 현상성:Developability:

상기한 바와 같이 하여 스페이서를 형성시킨 경우(주사형 전자현미경을 사용하여 10000배로 관찰한다), 현상후의 미노광부에 막이 없어지는 시간 즉 현상 시간을 다음 기준으로 평가한다.In the case where the spacer is formed as described above (observed at 10,000 times using a scanning electron microscope), the time when the film disappears, that is, the development time, is evaluated based on the following criteria.

◎… 현상 시간<40초◎… Developing time <40 seconds

○… 현상 시간 40 내지 60초○… Developing time 40 to 60 seconds

×… 현상 시간>60초×… Developing time > 60 seconds

·내알칼리성:Alkali resistance:

상기한 바와 같이 하여 수득된 4cm×4cm의 벌크 패턴 부착 유리 기판을, 5중량% 수산화나트륨 수용액에 60℃에서 10분간 침지 처리를 한 후, 바둑판 눈금 테이프법(JIS K5400, 8.5.2항, 크로스 컷 가이드(cross cut guide) 1 mm2×100개를 사용)에 의한 밀착성 시험을 시행하고, 또한 침지 처리 전후의 막 두께의 변화율, 및 400배의 광학현미경으로 피막 표면의 변화를 관찰하여, 다음의 기준으로 판정한다.The glass substrate with a bulk pattern of 4 cm x 4 cm obtained as described above was immersed in a 5 wt% sodium hydroxide aqueous solution at 60 ° C. for 10 minutes, and then the checkerboard scale tape method (JIS K5400, Clause 8.5.2, cross Adhesion test using 1 mm 2 × 100 cross cut guides) was carried out, and the change of the film surface was observed with a change rate of the film thickness before and after the immersion treatment and a 400 times optical microscope. It is judged on the basis of.

○… 바둑판 눈금 테이프법으로 박리가 없고, 막 두께의 변화율이 5% 미만인 동시에 처리 전후에 피막 표면에 변화가 없다○… There is no peeling by the checkerboard graduation tape method, and the change rate of the film thickness is less than 5%, and there is no change in the film surface before and after treatment.

×… 상기 이외의 경우×… When other than the above

·내수성:Water resistance:

상기한 바와 같이 하여 수득된 4cm×4cm의 벌크 패턴 부착 유리 기판에, 초정제수에 80℃에서 1시간 침지 처리 및 초정제수에 60℃에서 1시간 초음파 세정을 병용한 침지 처리를 따로따로 시행한 후, 바둑판 눈금 테이프법(JIS K5400, 8.5.2항, 크로스 컷 가이드 1mm2× 100개를 사용)에 의한 밀착성 테스트를 시행하고, 또한 처리 전후의 막 두께의 변화율 및 400배의 광학 현미경으로 피막 표면의 변화를관찰하여, 다음의 기준으로 판정한다.After the glass substrate with a bulk pattern of 4 cm × 4 cm obtained as described above, the immersion treatment was performed separately using immersion treatment at 80 ° C. for 1 hour and ultrasonic cleaning at 60 ° C. for 1 hour in ultrapure water. , Adhesion test by the checker scale method (JIS K5400, Clause 8.5.2, 1mm 2 × 100 cross-cut guide) is used, and the surface of the film by the change rate of the film thickness before and after treatment and 400 times optical microscope Observation of the change of and determination based on the following criteria are made.

○… 어느 쪽의 처리에 있어서도, 바둑판 눈금 테이프법으로 박리가 없고, 막 두께의 변화율이 5% 미만인 동시에, 처리 전후에 피막 표면에 변화가 없다.○… In either treatment, there was no peeling by the checkerboard graduation tape method, the rate of change of the film thickness was less than 5%, and there was no change in the film surface before and after the treatment.

×… 그 이외의 경우×… Otherwise

·내열성:Heat resistance:

기판에 형성된 스페이서를 240℃로 1시간 재가열한 후, 재가열후의 잔막율((재가열후의 막 두께/후소성 후의 막 두께)×100)을 측정하여, 다음 기준으로 판정한다.After reheating the spacer formed on the substrate at 240 ° C. for 1 hour, the residual film ratio ((film thickness after reheating / film thickness after post-baking) × 100) after reheating was measured, and determined according to the following criteria.

○… 재가열후의 잔막율이 95% 이상○… Remnant rate after reheating is 95% or more

×… 재가열후의 잔막율이 95% 미만×… Residual rate after reheating is less than 95%

·내용제성:Solvent resistance:

기판에 형성된 스페이서를, N-메틸-2-피롤리돈에 25℃로 1시간 침지 처리를 시행한 후, 처리 전후의 막 두께의 변화율, 및 400배의 광학현미경으로 피막 표면의 변화를 관찰하여, 다음 기준으로 판정한다.After the spacer formed on the substrate was immersed in N-methyl-2-pyrrolidone for 1 hour at 25 ° C., the change of the film surface was observed by the rate of change of the film thickness before and after the treatment and 400 times optical microscope. The determination is made based on the following criteria.

○… 막 두께의 변화율이 5% 미만인 동시에, 처리 전후에 피막 표면에 변화가 없다○… While the rate of change of the film thickness is less than 5%, there is no change in the film surface before and after the treatment.

×… 막 두께의 변화율이 5% 이상×… 5% or more change in film thickness

결과를 표 8 내지 표 14에 나타낸다.The results are shown in Tables 8-14.

감광성 수지 조성물Photosensitive resin composition 피막(스페이서)의 형성Formation of film (spacer) 피막(스페이서) 물성Film (Spacer) Properties 방법Way 기판Board 감도Sensitivity 현상성Developability 내열성Heat resistance 내용제성Solvent resistance 실시예 1Example 1 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass (b)(b) 유리Glass (b)(b) ITO/유리ITO / Glass (c)(c) 유리Glass (c)(c) ITO/유리ITO / Glass 실시예 2Example 2 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 3Example 3 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 4Example 4 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 5Example 5 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 6Example 6 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 7Example 7 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 8Example 8 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 9Example 9 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 10Example 10 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 11Example 11 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass

감광성 수지 조성물Photosensitive resin composition 피막(스페이서)의 형성Formation of film (spacer) 피막(스페이서) 물성Film (Spacer) Properties 방법Way 기판Board 감도Sensitivity 현상성Developability 내열성Heat resistance 내용제성Solvent resistance 실시예 12Example 12 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 13Example 13 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 14Example 14 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 15Example 15 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 16Example 16 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 17Example 17 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 18Example 18 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 19Example 19 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 20Example 20 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 21Example 21 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 22Example 22 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 23Example 23 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 24Example 24 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass

감광성 수지 조성물Photosensitive resin composition 피막(스페이서)의 형성Formation of film (spacer) 피막(스페이서) 물성Film (Spacer) Properties 방법Way 기판Board 감도Sensitivity 현상성Developability 내열성Heat resistance 내용제성Solvent resistance 실시예 25Example 25 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 26Example 26 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 27Example 27 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 28Example 28 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 29Example 29 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 30Example 30 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 31Example 31 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 32Example 32 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 33Example 33 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 34Example 34 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 35Example 35 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 36Example 36 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 37Example 37 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass

감광성 수지 조성물Photosensitive resin composition 피막(스페이서)의 형성Formation of film (spacer) 피막(스페이서) 물성Film (Spacer) Properties 방법Way 기판Board 감도Sensitivity 현상성Developability 내열성Heat resistance 내용제성Solvent resistance 실시예 38Example 38 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 39Example 39 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 40Example 40 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 41Example 41 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 42Example 42 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 43Example 43 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 44Example 44 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 45Example 45 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 비교예 1Comparative Example 1 (a)(a) 유리Glass ×× ×× ×× ×× (a)(a) ITO/유리ITO / Glass ×× ×× ×× ×× 비교예 2Comparative Example 2 (a)(a) 유리Glass ×× ×× ×× ×× (a)(a) ITO/유리ITO / Glass ×× ×× ×× ××

감광성 수지 조성물Photosensitive resin composition 피막(스페이서)의 형성Formation of film (spacer) 피막(스페이서) 물성Film (Spacer) Properties 방법Way 기판Board 감도Sensitivity 내알칼리성Alkali resistance 현상성Developability 내열성Heat resistance 내용제성Solvent resistance 실시예 47Example 47 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass (b)(b) 유리Glass (b)(b) ITO/유리ITO / Glass (c)(c) 유리Glass (c)(c) ITO/유리ITO / Glass 실시예 48Example 48 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 49Example 49 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 50Example 50 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 51Example 51 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 52Example 52 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 53Example 53 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 54Example 54 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 55Example 55 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 56Example 56 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass

감광성 수지 조성물Photosensitive resin composition 피막(스페이서)의 형성Formation of film (spacer) 피막(스페이서) 물성Film (Spacer) Properties 방법Way 기판Board 감도Sensitivity 내알칼리성Alkali resistance 현상성Developability 내열성Heat resistance 내용제성Solvent resistance 실시예 57Example 57 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 58Example 58 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 59Example 59 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 60Example 60 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 61Example 61 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 62Example 62 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 63Example 63 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 64Example 64 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 65Example 65 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 66Example 66 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 67Example 67 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 68Example 68 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass

감광성 수지 조성물Photosensitive resin composition 피막(스페이서)의 형성Formation of film (spacer) 피막(스페이서) 물성Film (Spacer) Properties 방법Way 기판Board 감도Sensitivity 내알칼리성Alkali resistance 현상성Developability 내열성Heat resistance 내용제성Solvent resistance 실시예 69Example 69 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 70Example 70 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 71Example 71 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 72Example 72 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 73Example 73 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 74Example 74 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 75Example 75 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 76Example 76 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 77Example 77 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 78Example 78 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 79Example 79 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass 실시예 80Example 80 (a)(a) 유리Glass (a)(a) ITO/유리ITO / Glass

다음에 본 발명의 감광성 수지 조성물을 사용하여 액정 소자용 스페이서를 제조하고, 또한 당해 스페이서를 갖는 본 발명의 액정 디스플레이 소자를 제조한다. 그 실시예에 관해서 이하에 서술한다.Next, the liquid crystal element spacer is manufactured using the photosensitive resin composition of this invention, and the liquid crystal display element of this invention which has the said spacer is manufactured. The embodiment is described below.

액정 디스플레이 소자의 형성Formation of Liquid Crystal Display Devices

(실시예 201)(Example 201)

ITO 막으로 이루어진 투명 전극 부착 유리 기판상에, 상기 서술한 스페이서 형성법(a), 즉 스핀 도포, 예비소성, 노광, 현상, 후소성 공정을 거쳐서, 10μm×10μm인 스페이서 패턴을 격자상으로 세로 100μm 간격, 가로 50μm 간격으로 스페이서 부착 기판을 형성시킨다.On a glass substrate with a transparent electrode made of an ITO film, a spacer pattern of 10 μm × 10 μm in a lattice shape is vertically 100 μm in a lattice form through the above-described spacer forming method (a), that is, spin coating, prefiring, exposure, development and post-firing processes. The spacer-attached substrates are formed at intervals of 50 μm in width.

다음에 액정 배향제(칫소(주)제 "LIXON 얼라이너 PIA-5004")를, 상기 스페이서 형성 기판에 도포한 후, 70℃, 10분간 핫플레이트상에서 건조시키고, 또한 오븐 중 200℃에서 60분간 가열 처리를 행하고, 막 두께 0.06μm의 배향막을 스페이서 부착 기판상에 형성시킨다.Next, after apply | coating a liquid crystal aligning agent ("LIXON aligner PIA-5004" by Chisso Corp.) to the said spacer formation board | substrate, it dried on a hotplate for 70 minutes and 10 minutes, and also 60 minutes at 200 degreeC in oven. The heat treatment is performed to form an alignment film having a film thickness of 0.06 µm on the substrate with spacers.

이 배향막을, 나일론제의 천을 감아 붙인 로울을 갖는 러빙 장치에 의해, 로울의 회전수 1000rpm, 단계의 이동 속도 59mm/초로 러빙 처리를 수행한다.The rubbing treatment is performed at a rotational speed of 1000 rpm and a step movement speed of 59 mm / second by a rubbing device having a roll wound with a cloth made of nylon.

또한, 상기의 배향 처리된 배향막면을 갖는 스페이서 부착 기판의 외부 테두리에, 유리 섬유 스페이서를 2% 혼합한 에폭시계 밀봉제를 도포한 후, 한 쌍의 기판을 액정 배향막면이 마주보도록, 또한 러빙 방향이 직교하도록 적층시켜 압착하고 열경화시킨다. 다음에 이 한 쌍의 기판 사이에 액정 주입구에서 TFT용 액정(칫소(주)제 "FB01")을 봉입한 후, 광경화성 수지로 주입구를 밀봉한다. 그 후, 110℃로 30분간 등방성(isotropic) 처리를 행하고 실온까지 서냉하여 액정 디스플레이 소자를 얻는다.Furthermore, after apply | coating the epoxy type sealing agent which mixed 2% of glass fiber spacers to the outer edge of the board | substrate with a spacer which has the said orientation-treated oriented film surface, rubbing a pair of board | substrates so that a liquid crystal aligning film surface may face. The laminates are compressed so that the directions are perpendicular to each other, and then thermally cured. Next, liquid crystal for TFT ("FB01" made by Tosso Co., Ltd.) is sealed between the pair of substrates, and then the inlet is sealed with a photocurable resin. Thereafter, an isotropic treatment is performed at 110 ° C. for 30 minutes, and slowly cooled to room temperature to obtain a liquid crystal display device.

이렇게 하여 수득된 액정 디스플레이 소자의 내러빙성, 액정 배향성, 전압 유지율, 및 잔류 DC에 관해서 하기의 방법으로 평가한다.The rubbing resistance, liquid crystal orientation, voltage retention, and residual DC of the thus obtained liquid crystal display device were evaluated by the following method.

·내러빙성:Rubbing resistance:

ITO 막으로 이루어진 투명 전극 부착 유리 기판상에, 상기한 바와 같이 하여 10μm×10μm의 스페이서 패턴을 격자상으로 세로 100μm 간격, 가로 50μm 간격으로 형성시킨다.On the glass substrate with a transparent electrode which consists of an ITO film | membrane, the spacer pattern of 10 micrometers x 10 micrometers is formed in a grid | lattice form at 100 micrometer-long space | interval and 50 micrometer space | interval as mentioned above.

다음에 액정 배향제(칫소(주)제 "LIXON 얼라이너 PIA-5004")를, 상기 스페이서 형성 기판에 도포한 후, 70℃, 10분간 핫플레이트상에서 건조시키고, 또한 오븐 중 200℃에서 60분간 가열 처리를 행하고, 막 두께 0.06μm의 배향막을 스페이서상에 형성시킨 기판을 얻는다.Next, after apply | coating a liquid crystal aligning agent ("LIXON aligner PIA-5004" by Chisso Corp.) to the said spacer formation board | substrate, it dried on a hotplate for 70 minutes and 10 minutes, and also 60 minutes at 200 degreeC in oven. The heat treatment is performed to obtain a substrate in which an alignment film having a film thickness of 0.06 μm is formed on a spacer.

이 배향막면에, 나일론제의 천을 감아 붙인 로울을 갖는 러빙 장치에 의해, 로울의 회전수 1000rpm, 단계의 이동 속도 59mm/초로 러빙 처리를 행할 때의 상태를 다음의 기준으로 판정한다.By the rubbing device which has the roll which rolled up the cloth made from nylon on this oriented film surface, the state at the time of performing a rubbing process at 1000 rpm of rolls and 59 mm / sec of moving speed of a step is determined based on the following reference | standard.

○… 스페이서에 깎임이나 박리가 없다○… Spacer does not cut or peel

×… 그 이외의 경우×… Otherwise

·액정 배향성:Liquid crystal orientation:

배향성의 확인은 편광판을 사용하여 행하고, 다음 기준으로 판정한다.Confirmation of orientation is performed using a polarizing plate, and the following criteria are determined.

○… 양호한 배향성을 갖는다○… Has good orientation

×… 배향 불량이다×… Bad orientation

·전압 유지율:Voltage retention:

측정은, 게이트 펄스폭 69μs, 주파수 60Hz, 파고(波高) ±4.5V의 구형파를 소스에 인가(印加)함으로써 변화하는 드레인을 오실로스코프로 판독하여 수행한다. 이것을 4회 행하여 평균치를 사용하여, 전혀 전압이 감소하지 않은 경우를 100%로 하고 상대치를 전압 유지율로 한다. 또한, 측정은 60℃에서 수행한다.The measurement is performed by reading a varying drain with an oscilloscope by applying a square wave having a gate pulse width of 69 μs, a frequency of 60 Hz, and a wave height of ± 4.5 V to the source. This is carried out four times and using the average value, the case where the voltage does not decrease at all is set to 100% and the relative value is used as the voltage retention. In addition, measurement is performed at 60 degreeC.

·잔류 DC:Residual DC:

측정은, C-V 커브법을 사용하여 수행한다. C-V 커브법은 액정 소자에 25mV, 1 KHz의 교류를 인가하고, 또한 주파수 0.0036Hz의 직류의 삼각파를 중첩시키고, 전압을 -10 내지 10V의 범위로 소인(掃引)함으로써 변화하는 용량 C를 기록하는 방법이다. 또한, 측정은 60℃에서 수행한다.The measurement is performed using the C-V curve method. The CV curve method applies a 25 mV and 1 KHz alternating current to the liquid crystal element, superimposes a triangular wave of a direct current with a frequency of 0.0036 Hz, and records the capacitance C changed by sweeping the voltage in the range of -10 to 10 V. Way. In addition, measurement is performed at 60 degreeC.

각 특성의 측정 및 판정 결과를 표 15에 나타낸다.Table 15 shows the results of the measurement and determination of each characteristic.

(실시예 202 내지 236) 및 (실시예 301 내지 334)(Examples 202 to 236) and (Examples 301 to 334)

다음에 나타내는 표 15 내지 표 17에 나타내는 바와 같이, 실시예 2 내지 36에서 수득된 감광성 수지 조성물 또는 실시예 47 내지 80에서 수득된 감광성 수지 조성물과 액정 조성물과의 조합에 의해, 실시예 201과 같이 하여 액정 디스플레이 소자를 제조하고, 얻어진 결과를 표 15 내지 표 17에 나타낸다.As shown in Tables 15 to 17 shown below, the photosensitive resin composition obtained in Examples 2 to 36 or the combination of the photosensitive resin composition obtained in Examples 47 to 80 and the liquid crystal composition was obtained in the same manner as in Example 201. To produce a liquid crystal display device, and the results obtained are shown in Tables 15 to 17.

실시예Example 액정 디스플레이 소자Liquid crystal display elements 디스플레이 소자 특성Display element characteristics 감광성 수지
조성물
Photosensitive resin
Composition
액정
조성물
LCD
Composition
내러빙성Rubbing resistance 액정 배향성Liquid crystal alignment 전압유지율[%]Voltage retention rate [%] 잔류DC[V]Residual DC [V]
201201 실시예 1Example 1 FB01FB01 97.597.5 0.290.29 202202 실시예 2Example 2 LALA 97.697.6 0.200.20 203203 실시예 3Example 3 LBLB 97.697.6 0.220.22 204204 실시예 4Example 4 LCLC 97.897.8 0.180.18 205205 실시예 5Example 5 LDLD 97.897.8 0.200.20 206206 실시예 6Example 6 LELE 97.997.9 0.180.18 207207 실시예 7Example 7 FB01FB01 97.497.4 0.280.28 208208 실시예 8Example 8 FB01FB01 97.597.5 0.250.25 209209 실시예 9Example 9 FB01FB01 97.597.5 0.230.23 210210 실시예 10Example 10 FB01FB01 97.797.7 0.290.29 211211 실시예 11Example 11 FB01FB01 97.597.5 0.250.25 212212 실시예 12Example 12 FB01FB01 97.597.5 0.290.29 213213 실시예 13Example 13 FB01FB01 97.497.4 0.280.28 214214 실시예 14Example 14 LALA 97.597.5 0.210.21 215215 실시예 15Example 15 LBLB 97.597.5 0.220.22 216216 실시예 16Example 16 LCLC 97.797.7 0.170.17 217217 실시예 17Example 17 LDLD 97.897.8 0.210.21 218218 실시예 18Example 18 LELE 97.997.9 0.190.19 219219 실시예 19Example 19 FB01FB01 97.697.6 0.290.29 220220 실시예 20Example 20 LALA 97.697.6 0.210.21 221221 실시예 21Example 21 LBLB 97.697.6 0.210.21 222222 실시예 22Example 22 LCLC 97.897.8 0.170.17 223223 실시예 23Example 23 LDLD 97.997.9 0.220.22

실시예Example 액정 디스플레이 소자Liquid crystal display elements 디스플레이 소자 특성Display element characteristics 감광성 수지
조성물
Photosensitive resin
Composition
액정
조성물
LCD
Composition
내러빙성Rubbing resistance 액정 배향성Liquid crystal alignment 전압유지율[%]Voltage retention rate [%] 잔류DC[V]Residual DC [V]
224224 실시예 24Example 24 LELE 97.897.8 0.180.18 225225 실시예 25Example 25 FB01FB01 97.697.6 0.250.25 226226 실시예 26Example 26 LALA 97.597.5 0.200.20 227227 실시예 27Example 27 LBLB 97.697.6 0.220.22 228228 실시예 28Example 28 LCLC 97.797.7 0.180.18 229229 실시예 29Example 29 LDLD 97.897.8 0.210.21 230230 실시예 30Example 30 LELE 97.797.7 0.170.17 231231 실시예 31Example 31 FB01FB01 97.597.5 0.290.29 232232 실시예 32Example 32 LALA 97.597.5 0.210.21 233233 실시예 33Example 33 LBLB 97.697.6 0.220.22 234234 실시예 34Example 34 LCLC 97.997.9 0.170.17 235235 실시예 35Example 35 LDLD 97.997.9 0.220.22 236236 실시예 36Example 36 LELE 97.997.9 0.180.18 301301 실시예 47Example 47 FB01FB01 97.497.4 0.280.28 302302 실시예 48Example 48 FB01FB01 97.597.5 0.250.25 303303 실시예 49Example 49 FB01FB01 97.597.5 0.230.23 304304 실시예 50Example 50 FB01FB01 97.797.7 0.290.29 305305 실시예 51Example 51 FB01FB01 97.597.5 0.250.25 306306 실시예 52Example 52 FB01FB01 97.597.5 0.290.29 307307 실시예 53Example 53 FB01FB01 97.497.4 0.280.28 308308 실시예 54Example 54 FB01FB01 97.497.4 0.280.28 309309 실시예 55Example 55 LALA 97.697.6 0.200.20 310310 실시예 56Example 56 LBLB 97.697.6 0.220.22

실시예Example 액정 디스플레이 소자Liquid crystal display elements 디스플레이 소자 특성Display element characteristics 감광성 수지
조성물
Photosensitive resin
Composition
액정
조성물
LCD
Composition
내러빙성Rubbing resistance 액정 배향성Liquid crystal alignment 전압유지율[%]Voltage retention rate [%] 잔류DC[V]Residual DC [V]
311311 실시예 57Example 57 LCLC 97.897.8 0.180.18 312312 실시예 58Example 58 LDLD 97.897.8 0.200.20 313313 실시예 59Example 59 LELE 97.997.9 0.180.18 314314 실시예 60Example 60 LALA 97.597.5 0.210.21 315315 실시예 61Example 61 LBLB 97.597.5 0.220.22 316316 실시예 62Example 62 LCLC 97.797.7 0.170.17 317317 실시예 63Example 63 LDLD 97.897.8 0.210.21 318318 실시예 64Example 64 LELE 97.997.9 0.190.19 319319 실시예 65Example 65 FB01FB01 97.697.6 0.290.29 320320 실시예 66Example 66 FB01FB01 97.697.6 0.210.21 321321 실시예 67Example 67 FB01FB01 97.697.6 0.210.21 322322 실시예 68Example 68 FB01FB01 97.897.8 0.170.17 323323 실시예 69Example 69 LALA 97.597.5 0.210.21 324324 실시예 70Example 70 LALA 97.597.5 0.220.22 325325 실시예 71Example 71 LALA 97.797.7 0.170.17 326326 실시예 72Example 72 LALA 97.897.8 0.210.21 327327 실시예 73Example 73 LBLB 97.997.9 0.180.18 328328 실시예 74Example 74 LBLB 97.597.5 0.210.21 329329 실시예 75Example 75 LBLB 97.597.5 0.220.22 330330 실시예 76Example 76 LBLB 97.797.7 0.170.17 331331 실시예 77Example 77 LCLC 97.897.8 0.180.18 332332 실시예 78Example 78 LCLC 97.897.8 0.200.20 333333 실시예 79Example 79 LCLC 97.997.9 0.180.18 334334 실시예 80Example 80 LCLC 97.597.5 0.210.21

상기 실시예의 액정 디스플레이 소자에 사용한 액정 조성물의 조성을 다음에 나타낸다. 또한, 이들의 물성치를 표 18에 나타낸다.The composition of the liquid crystal composition used for the liquid crystal display element of the said Example is shown next. In addition, these physical properties are shown in Table 18.

조성물(LA)Composition (LA)

액정 조성물(LB)Liquid Crystal Composition (LB)

액정 조성물(LC)Liquid Crystal Composition (LC)

액정 조성물(LD)Liquid Crystal Composition (LD)

액정 조성물(LE)Liquid crystal composition (LE)

액정 조성물(FB01)Liquid Crystal Composition (FB01)

본 발명의 감광성 수지 조성물은, 내용제성, 내열성 및 내러빙성이 우수하고, 액정 배향 불량을 발생시키지 않고, 전압 유지율, 잔류 DC를 저하시키지 않는특성을 겸비하고 있을 뿐만 아니라, 고감도이고 현상 잔사(스컴)가 없어 현상성이 우수하고, 또한 내용제성을 갖는 액정 표시용 스페이서를 형성한다.The photosensitive resin composition of this invention is excellent in solvent resistance, heat resistance, and rubbing resistance, has the characteristic which does not produce the liquid-crystal orientation defect, and does not reduce voltage retention and residual DC, but it is highly sensitive and the development residue ( There is no scum), and thus the liquid crystal display spacer having excellent developability and solvent resistance is formed.

또한, 본 발명의 감광성 수지 조성물을 재료로 하여 형성되는 스페이서를 갖는 본 발명의 액정 디스플레이 소자는, 내러빙성이 우수하고, 액정의 잔상 현상, 전압 유지율 등의 전기 특성에 영향을 주지 않고, 또한 개구율, 콘트라스트가 우수하고, 기계적 강도가 높고 액정층의 층 두께가 균일하다.Moreover, the liquid crystal display element of this invention which has a spacer formed using the photosensitive resin composition of this invention as material is excellent in rubbing resistance, and does not affect electrical characteristics, such as an afterimage phenomenon of a liquid crystal, voltage retention, and also The aperture ratio and contrast are excellent, the mechanical strength is high, and the layer thickness of the liquid crystal layer is uniform.

Claims (16)

알칼리 가용성 수지[A], 에틸렌성 불포화 결합을 갖는 화합물[B], 벤조페논 구조를 갖는 유기 과산화물 광중합 개시제[C] 및 4,4'-비스(디알킬아미노)벤조페논 구조를 갖는 감광제[D]를 함유함을 특징으로 하는 감광성 수지 조성물.Alkali-soluble resin [A], the compound [B] which has ethylenically unsaturated bond, the organic peroxide photoinitiator [C] which has a benzophenone structure, and the photosensitizer which has a 4,4'-bis (dialkylamino) benzophenone structure [D] ], The photosensitive resin composition characterized by including the. 제1항에 있어서, 알칼리 가용성 수지[A]가 불포화 카복실산 단량체(a-1)와 기타의 라디칼 중합성 단량체와의 공중합체인 감광성 수지 조성물.The photosensitive resin composition of Claim 1 whose alkali-soluble resin [A] is a copolymer of unsaturated carboxylic monomer (a-1) and other radically polymerizable monomer. 제2항에 있어서, 기타의 라디칼 중합성 단량체가 화학식 1의 라디칼 중합성 단량체(a-2)이거나, 화학식 1의 라디칼 중합성 단량체(a-2)와 라디칼 중합성 단량체(a-3)[(a-1)과 (a-2) 이외의 라디칼 중합성 단량체]인 감광성 수지 조성물.The radically polymerizable monomer (a-2) of the formula (1) or the radically polymerizable monomer (a-2) and the radically polymerizable monomer (a-3) of the formula (1). Radical polymerizable monomers other than (a-1) and (a-2)]. 화학식 1Formula 1 상기 식에서,Where R1은 수소원자 또는 메틸기이고,R 1 is a hydrogen atom or a methyl group, R2는 수소원자, 탄소수 1 내지 5의 알킬기이고,R 2 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, n은 0 내지 5의 정수이다.n is an integer of 0-5. 제3항에 있어서, 화학식 1에서 n이 1 또는 2인 감광성 수지 조성물.The photosensitive resin composition of claim 3, wherein n is 1 or 2 in the general formula (1). 제3항 또는 제4항에 있어서, 화학식 1에서 R1및 R2가 수소원자인 감광성 수지 조성물.The photosensitive resin composition according to claim 3 or 4, wherein in Formula 1, R 1 and R 2 are hydrogen atoms. 제2항에 있어서, 기타의 라디칼 중합성 단량체가 라디칼 중합성 단량체(a-3)인 감광성 수지 조성물.The photosensitive resin composition of Claim 2 whose other radically polymerizable monomer is a radically polymerizable monomer (a-3). 제1항 내지 제6항 중의 어느 한 항에 있어서, 벤조페논 구조를 갖는 유기 과산화물 광중합 개시제[C]가 화학식 2의 화합물인 감광성 수지 조성물.The photosensitive resin composition of any one of Claims 1-6 whose organic peroxide photoinitiator [C] which has a benzophenone structure is a compound of General formula (2). 화학식 2Formula 2 상기 식에서,Where R3, R4, R5및 R6은 각각 독립적으로 탄소수 1 내지 13의 알킬기이고,R 3 , R 4 , R 5 and R 6 are each independently an alkyl group having 1 to 13 carbon atoms, X1및 X2는 각각 독립적으로 -O-, -O-O- 또는 -NH-이다.X 1 and X 2 are each independently —O—, —OO—, or —NH—. 제7항에 있어서, 화학식 2에서 X1및 X2가 모두 -O-인 감광성 수지 조성물.The photosensitive resin composition of claim 7, wherein in Formula 2, X 1 and X 2 are both -O-. 제1항 내지 제8항 중의 어느 한 항에 있어서, 화합물[B]가 에틸렌성 불포화 결합을 3 내지 6개 갖는 화합물인 감광성 수지 조성물.The photosensitive resin composition of any one of Claims 1-8 whose compound [B] is a compound which has 3-6 ethylenically unsaturated bonds. 제1항 내지 제9항 중의 어느 한 항에 있어서, 화합물[B]의 에틸렌성 불포화 결합이 아크릴로일기 또는 메타크릴로일기인 감광성 수지 조성물.The photosensitive resin composition of any one of Claims 1-9 whose ethylenically unsaturated bond of compound [B] is acryloyl group or methacryloyl group. 제1항 내지 제10항 중의 어느 한 항에 있어서, 에폭시기를 갖는 알칼리 불용성 비닐 중합체[AIS]가 추가로 첨가된 감광성 수지 조성물.The photosensitive resin composition of any one of Claims 1-10 which further added the alkali insoluble vinyl polymer [A IS ] which has an epoxy group. 제11항에 있어서, 에폭시기를 갖는 알칼리 불용성 비닐 중합체[AIS]가 에폭시기를 갖는 라디칼 중합성 단량체(a-4)의 중합체 또는 공중합체 또는 당해 단량체(a-4)와 기타의 라디칼 중합성 단량체(a-5)와의 공중합체인 감광성 수지 조성물.The polymer or copolymer of the radically polymerizable monomer (a-4) having an epoxy group or the radically polymerizable monomer of the monomer (a-4) according to claim 11, wherein the alkali insoluble vinyl polymer [A IS ] having an epoxy group is used. Photosensitive resin composition which is a copolymer with (a-5). 제1항 내지 제12항 중의 어느 한 항에 따른 감광성 수지 조성물을 사용하여 형성된 피막.The film formed using the photosensitive resin composition of any one of Claims 1-12. 제1항 내지 제12항 중의 어느 한 항에 따른 감광성 수지 조성물을 사용하여 형성된 액정 디스플레이 소자용 스페이서.The spacer for liquid crystal display elements formed using the photosensitive resin composition of any one of Claims 1-12. 제14항에 있어서, 감광성 수지 조성물을 평판인쇄술에 의해 패턴화한 후, 열경화시켜 형성된 액정 디스플레이 소자용 스페이서.The liquid crystal display device spacer according to claim 14, wherein the photosensitive resin composition is thermally cured after being patterned by plate printing. 제14항 또는 제15항에 따른 스페이서를 갖는 액정 디스플레이 소자.A liquid crystal display element having a spacer as claimed in claim 14 or 15.
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KR20020053757A (en) * 2000-12-27 2002-07-05 고토 기치 Photosensitive resin compositions, spacer forming materials, color filter forming materials and liquid crystal display elements
KR100463309B1 (en) * 2001-03-31 2004-12-23 주식회사 아담스테크놀로지 Resist Composition For Column Spacer of LCD
KR100873558B1 (en) * 2004-02-20 2008-12-12 제이에스알 가부시끼가이샤 Radiation Sensitive Resin Composition for Forming Spacer, Spacer and Its Forming Method, and Liquid Crystal Display Device

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