KR20010074357A - material flow system for semiconductor process - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A material handling system for a semiconductor process is provided to decide a material returning method of a semiconductor process product automatically based on a lot identifying code, information of all sorts of servers, and information of a carrier buffer system. CONSTITUTION: A host receives LOT IDs, process results thereof, and information of test results from each server for deciding a returning of LOT IDs stocked in a CBS(carrier buffer system), and receives information of state of each server and CBS information(S10). The host collects data of the LOT IDs based on the received information(S12). As the result, a returning method with respect to the LOT IDs is decided(S14). A CBS positions are decided for adjusting the number of processing products being mounted in a carrier and it is decided whether the products are returned to the CBS(S16). If a consideration of a change factor as an amount adjustment of the product is necessary, the carrier is not returned and waited(S18). After that, the carrier is returned through a returning method deciding process in accordance with a re-acquisition and a collection of data.

Description

반도체 공정용 물류 시스템{material flow system for semiconductor process}Material flow system for semiconductor process

본 발명은 반도체 공정용 물류 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 공정 중 발생되는 물류를 캐리어 별로 부여되는 로트 식별부호(이하 'LOT ID'라 함)와 각종 서버정보 및 캐리어 버퍼 시스템에 관련된 데이터를 취득 및 취합하여 이를 근거로 자동으로 물류 반송 방식을 결정한 후 물류를 반송시킴으로써 물류 처리 작업성을 개선시킨 반도체 공정용 물류 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a logistics system for a semiconductor process, and more particularly, a lot identification code (hereinafter referred to as 'LOT ID') assigned to each carrier for logistics generated during a semiconductor process, data related to various server information and a carrier buffer system. The present invention relates to a logistics system for semiconductor processes that improves logistics processing workability by acquiring and collecting and automatically determining a logistics conveyance method based on this and then conveying the logistics.

통상, 반도체 공정은 다양한 복수의 제조 공정들과 테스트 공정들을 포함하며, 웨이퍼 레벨의 제조 공정들과 테스트 공정들을 거친 후 어셈블리 레벨의 제조 공정들과 테스트 공정들을 거친 후 완제품이 출하된다.In general, the semiconductor process includes a plurality of manufacturing processes and test processes, and after the wafer level manufacturing processes and the test processes, the finished product is shipped after the assembly level manufacturing processes and the test processes.

상술한 공정들을 거칠때 공정물 즉 웨이퍼나 패키지는 보통 반송매개물인 캐리어 단위로 관리되며, 캐리어 단위로 식별하기 위한 로트 식별 부호(이하, 'LOT ID'라 함)가 할당된다.When passing through the above-described processes, the workpiece, that is, the wafer or the package, is usually managed in a carrier unit, which is a carrier medium, and a lot identification code (hereinafter, referred to as 'LOT ID') is assigned to identify the carrier unit.

상술한 공정물인 웨이퍼나 패키지는 로트 단위로 현재 공정이나 테스트가 완료된 후 후속해야할 공정이나 테스트를 거치기 위하여 해당 설비가 위치된 장소에 반송되며, 만약 설비의 이상이 발생되거나 또는 용량의 차이로 인하여 즉시 후속 공정 또는 테스트를 수행하기 어려운 공정물은 캐리어 버퍼 시스템(Carrier buffer system, 이하 'CBS'라 함)과 같은 임시 저장 장소로 이송되어 일정 시간 보관된 후 후속해야할 공정으로 투입된다.The wafer or package, which is the above-mentioned process, is returned to the place where the facility is located for the subsequent process or test after the completion of the current process or test on a lot basis. Processes that are difficult to perform subsequent processes or tests are transferred to a temporary storage location, such as a carrier buffer system (hereinafter referred to as 'CBS'), stored for a period of time and then introduced into a process to be followed.

상술한 바와 같은 공정물의 반송되어야할 위치는 미리 정해진 공정 순서에 의하여 결정되거나 리워크(Rework)나 리턴(Return)과 같이 다양한 경우로 결정될 수 있으며, 각각의 경우에 따라서 반송 방법과 경로는 다르게 결정되어야 한다.The position to be returned of the process as described above may be determined by a predetermined process sequence or may be determined in various cases such as rework or return, and the conveyance method and route may be determined differently in each case. Should be.

구체적으로, 이러한 방법에 의해서 번인(Burn-in)과 같은 특정 공정이 완료된 반도체 제품을 실은 캐리어는 특정 라인으로 테스트를 위하여 일괄적으로 반송되거나 또는 복수 개의 라인 별로 일정 비율로 분할되어 반송될 수 있다.Specifically, by this method, a carrier carrying a semiconductor product having a specific process, such as burn-in, may be returned in batches for testing to a specific line or may be divided and conveyed in a plurality of lines. .

리워크나 리턴과 같은 경우에는 작업자의 지정에 따라서 특정 라인으로 반송이 결정될 수 있다.In the case of rework or return, the return to a particular line can be determined by the operator's designation.

상술한 바와 같이 다양한 방법과 경로가 적용되는 개별 공정물이 임시 저장 위치에 혼합되어 보관되며, 현재 각 공정물 별로 반송 방법과 경로의 확인은 일일이 작업자의 수작업에 의존하고 있다.As described above, the individual processes to which various methods and routes are applied are mixed and stored in a temporary storage location, and the identification of the return method and the route for each process is currently dependent on the manual labor of the operator.

그러므로, 물류의 반송의 정확성이 떨어지고, 반송 방식과 반송 경로가 다양해질수록 효율적인 물류의 관리가 어려워지는 문제점이 있다.Therefore, there is a problem that the accuracy of conveyance of the logistics is lowered, and the more efficient the conveyance method and the conveyance path, the more difficult the management of logistics is.

본 발명의 목적은 반도체 공정물의 물류 반송 방법을 로트 식별부호와 각종 서버의 정보 및 캐리어 버퍼 시스템의 정보를 근거로하여 자동으로 결정함에 있다.An object of the present invention is to automatically determine a logistics conveyance method of a semiconductor workpiece on the basis of a lot identification code, information of various servers, and information of a carrier buffer system.

본 발명의 다른 목적은 반도체 공정물의 물류 반송 경로를 로트 식별부호와 각종 서버의 정보 및 캐리어 버퍼 시스템의 정보를 근거로하여 자동으로 결정함에 있다.Another object of the present invention is to automatically determine the logistics return path of the semiconductor process based on the lot identification code, the information of various servers, and the information of the carrier buffer system.

본 발명의 또다른 목적은 반도체 공정물의 물류 반송 방법과 경로의 결정을 자동화함으로써 반송 방법과 경로의 수가 증가됨에 구애없이 효율적으로 물류 반송이 이루어지게 함에 있다.It is another object of the present invention to automate the determination of the logistics conveyance method and route of the semiconductor process to efficiently carry out the logistics conveyance regardless of the increase of the conveying method and the number of routes.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 공정용 물류 시스템의 바람직한 실시예를 나타내는 블록도1 is a block diagram showing a preferred embodiment of a logistics system for semiconductor processing according to the present invention

도 2는 본 발명에 따른 실시예의 동작을 설명하는 흐름도2 is a flow chart illustrating the operation of an embodiment according to the present invention.

본 발명에 따른 반도체 공정용 물류 시스템은, 작업자 서버, 테스트 서버, 공정 서버 및 캐리어 버퍼 시스템이 네트워크를 통하여 호스트 서버에 접속되고, 상기 호스트 서버는 상기 테스트 서버, 공정 서버 및 캐리어 버퍼 시스템 간에 캐리어에 실려서 반송되는 공정 대상물에 해당하는 각 로트 인식부호에 대한 데이터를 취득하여 취합하고, 상기 캐리어 버퍼 시스템은 상기 호스트 서버에서 취합된 결과로써 상기 각 로트 인식부호 별 반송 방식을 결정하여 해당 위치로 자동 반송한다.In the semiconductor processing logistics system according to the present invention, a worker server, a test server, a process server and a carrier buffer system are connected to a host server through a network, and the host server is connected to a carrier between the test server, the process server and the carrier buffer system. Acquiring and collecting data on each lot recognition code corresponding to a process object to be carried and returned, and the carrier buffer system determines the conveying method for each lot recognition code as a result of collecting by the host server and automatically returns to the corresponding position. do.

이때 상기 캐리어 버퍼 시스템은 로트 인식부호 별로 상기 취합된 결과로써 특정 위치로만 반송을 수행하는 제 1 방법과 반송될 위치의 설비들에 대한 용량과상태 그리고 공정의 특성을 고려하여 복수의 위치로 소정 비율로 분할하여 반송하는 제 2 방법을 선택적으로 수행함이 바람직하다.In this case, the carrier buffer system is configured to perform a return to a specific location only as a result of the collection by lot recognition codes, and a predetermined ratio to a plurality of locations in consideration of the capacity and state of the facilities of the location to be transported and the characteristics of the process. It is preferable to selectively carry out a second method of dividing into and returning to.

그리고, 상기 반송 방식 결정 후 변동 요인을 고려하여 반송을 선택적으로 수행함이 바람직하다.In addition, it is preferable to selectively perform the conveyance in consideration of the variation factor after determining the conveyance method.

이하, 본 발명에 따른 반도체 공정용 물류 시스템의 바람직한 실시예에 대하여 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of a semiconductor processing logistics system according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 실시예로써 호스트(14)가 네트워크(12)에 연결되며, 네트워크(12)에는 작업자 서버(14)와 공정서버(16)와 테스트 서버(18)와 CBS(20, 22)이 연결된다. 그리고, CBS(20, 22)에는 자동반송대차(Auto guided vehicle, 이하 'AGV'라 함)(26)와 레이저반송차량(Laser guided vehicle, 이하 'LGV'라 함)(28)이 연결된다.1 shows an embodiment according to the present invention in which a host 14 is connected to a network 12, in which a worker server 14, a process server 16, a test server 18, and a CBS 20, 22) is connected. The CBSs 20 and 22 are connected with an auto guided vehicle (AGV) 26 and a laser guided vehicle 28 (LGV) 28.

네트워크(12)는 다이렉트 접속 방법이나 근거리통신망(LAN) 또는 이더넷과 같은 인터넷 통신망으로 구성될 수 있으며, 네트워크(12)를 통하여 작업자 서버(14)와 공정서버(16)와 CBS(20, 22)는 작업 명령, 공정 명령 및 결과, 테스트 명령 및 결과 수용 상태 등에 대한 데이터를 호스트(10)를 포함한 필요한 해당 서버로 전송한다.The network 12 may be configured as a direct connection method or an Internet communication network such as a local area network (LAN) or an Ethernet, and the worker server 14, the process server 16, and the CBS 20, 22 may be connected through the network 12. Transmits data on work commands, process commands and results, test commands and result acceptance status, etc., to the corresponding servers required, including host 10.

구체적으로, 작업자 서버(14)는 작업자들이 현장에 작업하면서 실시간으로 데이터를 입력, 조정 및 조회하기 위한 것이며, 공정 서버(16)는 공정물에 대한 LOT ID 별로 특정 공정을 수행하기 위한 컨트롤을 수행하고, 테스트 서버(18)는 특정 공정이 수행된 LOT ID에 해당하는 공정물에 대한 테스트와 평가가 이루어지며,캐리어 버퍼 시스템(20, 22)들은 공정과 공정 간에 발생되는 캐리어 단위로 반송되는 공정물들을 LOT ID 단위로 임시 보관하기 위한 것이다.Specifically, the worker server 14 is for inputting, adjusting and inquiring data in real time while the workers are working in the field, and the process server 16 performs a control for performing a specific process for each lot ID for the process. In addition, the test server 18 tests and evaluates a process corresponding to a LOT ID in which a specific process is performed, and the carrier buffer systems 20 and 22 are carried in a carrier unit generated between processes. It is for temporary storage of water by LOT ID unit.

그리고, AGV(26)는 라인 내부 간의 캐리어에 실린 공정물 반송에 이용되며, LGV(28)는 라인 외부 간의 캐리어에 실린 공정물 반송에 이용된다.And AGV 26 is used for conveying the process goods carried in the carrier between lines, and LGV 28 is used for carrying the process goods carried in the carrier between lines.

상수한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 실시예의 작용에 대하여 도 2를 참조하여 설명한다.The operation of the embodiment according to the present invention configured as constant will be described with reference to FIG.

호스트(10)는 각종 서버로부터 정보를 취합한다. 즉, 작업자 서버(14)로부터 특정 공정이나 테스트 조건 변경 또는 LOT ID에 대한 공정 명령 및 데이터 입력이 이루어지고, 공정 서버(16)로부터 LOT ID 별 공정 결과에 대한 데이터가 수집되고, 테스트 서버(18)로부터 LOT ID 별 테스트 결과에 대한 데이터가 수집되며, CBS(20, 22)로부터 캐리어를 이용하여 입고 또는 출고를 위하여 반송되는 LOT ID 별 공정물의 수납 상태에 대한 데이터가 수집된다.The host 10 collects information from various servers. That is, a specific process or test condition change or process command and data input for the LOT ID are made from the worker server 14, data about the process result for each LOT ID is collected from the process server 16, and the test server 18 is collected. Data on the test result for each LOT ID is collected from the C-type, and data on the storage status of the process for each LOT ID returned for receipt or shipment using a carrier from the CBS 20 and 22 is collected.

CBS(20)에 입고된 LOT ID들에 대한 반송을 결정하기 위해서 호스트(10)는 각 서버들로부터 LOT ID들과 각각에 대한 공정 결과 및 테스트 결과에 대한 정보를 취득하며, 각 서버들의 상태에 대한 정보와 CBS 정보를 취득한다(S10).In order to determine the return for the LOT IDs received in the CBS 20, the host 10 obtains the information about the LOT IDs and the process results and test results for each of the servers. Information and CBS information are acquired (S10).

호스트(10)는 취득된 정보로써 LOT ID들에 대한 각각의 데이터를 취합한다(S12). 그 결과 반송 방식이 결정될 수 있다.The host 10 collects respective data for the LOT IDs as the acquired information (S12). As a result, the conveying method can be determined.

즉, 번인(Burn-in) 공정을 완료한 LOT ID들은 특정 테스트 설비로만 반송하는 제 1 방법으로 반송할 수 있고 이와 다르게 테스트 설비 별로 반송량을 조절하여 반송하는 제 2 방법으로 반송할 수 있다.That is, the LOT IDs that have completed the burn-in process may be returned by the first method of returning only to a specific test facility. Alternatively, the LOT IDs may be returned by a second method of adjusting and returning the transport amount for each test facility.

LOT ID들에 대한 데이터에는 공정을 진행할 때 특정 설비를 지정하여 공정이 진행하기 위한 데이터가 포함될 수 있으며, 이 경우 후속 설비의 상태와 무관하게 일괄되게 제 1 방법으로 특정 테스트 설비로 해당 LOT ID들에 대응되는 캐리어들이 반송된다.The data on the LOT IDs may include data for the process by designating a specific facility during the process, and in this case, the corresponding LOT IDs to the specific test facility in a first way in a batch regardless of the state of subsequent equipment. Carriers corresponding to are conveyed.

이와 다르게, LOT ID들에 대한 데이터에 후속 공정 진행 설비가 지정되지 않은 경우 후속 공정을 진행해야할 설비들의 상태를 판단한 후 그 용량과 현재 처리 상태 및 설비의 상태를 고려한 비율로 LOT ID에 대응되는 캐리어들이 분산 반송될 수 있으며, 그 예로써 1라인과 2라인 및 3라인에 각각 30퍼센트, 40퍼센트 및 30퍼센트의 비율로 LOT들을 분산할 수 있다.In contrast, if a subsequent process facility is not specified in the data for the LOT IDs, the carriers corresponding to the LOT IDs are determined in consideration of the capacity, the current processing state, and the state of the facility after determining the state of the facilities to be processed. Can be distributed and returned as an example, LOT can be distributed at rates of 30 percent, 40 percent and 30 percent, respectively, on lines 1, 2 and 3, respectively.

추가적으로 반송 방식은 LOT ID에 해당하는 공정물을 리워크할 것인지 리턴할 것인지에 따라서 반송 방식이 결정될 수 있으며, 이 경우 특정 설비나 CBS가 작업자에 의하여 지정될 수 있다.In addition, the conveying method may be determined according to whether to rework or return the process corresponding to the LOT ID, in which case a specific equipment or CBS can be specified by the operator.

상술한 바와 같은 방법으로 LOT ID들에 대한 반송 방식이 결정되고(S14), 그 후 캐리어를 수용되는 공정물의 수량을 조절을 위하여 CBS(20, 22) 위치를 정하여 CBS로 반송할 것인지 판단하고(S16), 공정물의 수량 조절과 같은 변동 요인에 대한 고려가 필요한 경우 캐리어는 반송되지 않고 대기(S18)된 후 데이터의 재취득 및 취합에 따른 반송 방식 결정 과정을 다시 거쳐서 반송된다.As described above, the conveying method for the LOT IDs is determined (S14), and then the CBSs 20 and 22 are positioned to determine the return of the LOT IDs in order to adjust the quantity of the process material accommodated with the carrier (S14). S16), when it is necessary to consider the factors of the fluctuation, such as adjusting the quantity of the workpiece, the carrier is not returned to the standby (S18) and then returned through the process of determining the return method according to the reacquisition and collection of data.

상술한 단계 S16에서 CBS의 위치 정함이 불필요하면 설정된 방식에 따라서 해당 후속 설비 위치로 LOT ID에 대한 캐리어가 반송된다.If the positioning of the CBS is unnecessary in the above-described step S16, the carrier for the LOT ID is returned to the corresponding facility location according to the set method.

즉, 본 발명에 따르면, CBS에 입고되고 출고되는 모든 LOT ID에 대한 캐리어들의 반송 방식과 반송 위치는 해당 LOT ID에 대한 공정 및 테스트 정보와, 설비 용량 및 상태 등을 고려하여 자동으로 결정될 수 있으며, 결정된 바에 따라서 정해진 위치로 AGV 또는 LGV를 이용하여 자동 반송된다.That is, according to the present invention, the carriers and the return position of the carriers for all LOT IDs received and released in the CBS can be automatically determined in consideration of the process and test information, the capacity and state of the corresponding LOT ID, etc. In this case, it is automatically returned to the designated location using AGV or LGV.

그러므로, 작업자가 반송 방식과 반송 결정에 개입할 필요가 없으며, 그에 따른 작업효율이 개선될 수 있다.Therefore, the operator does not need to intervene in the conveying manner and the conveying decision, and the working efficiency can be improved accordingly.

따라서, 반도체 공정물의 물류 반송 방법과 반송 경로 및 위치가 LOT ID와 각종 서버의 정보 및 캐리어 버퍼 시스템의 정보를 근거로하여 자동으로 결정됨에 따라서 물류 반송 관리가 효율화되고, 물류 관리도가 개선되는 효과가 있다.Therefore, the logistics transport method and the transport path and the location of the semiconductor process are automatically determined based on the LOT ID, the information of various servers, and the information of the carrier buffer system, thereby improving the logistics transport management and improving the logistics control. have.

Claims (3)

작업자 서버, 테스트 서버, 공정 서버 및 캐리어 버퍼 시스템이 네트워크를 통하여 호스트 서버에 접속되고,Worker server, test server, process server and carrier buffer system are connected to host server through network, 상기 호스트 서버는 상기 테스트 서버, 공정 서버 및 캐리어 버퍼 시스템 간에 캐리어에 실려서 반송되는 공정 대상물에 해당하는 각 로트 인식부호에 대한 데이터를 취득하여 취합하고,The host server acquires and collects data for each lot recognition code corresponding to a process object carried on a carrier between the test server, the process server, and the carrier buffer system, 상기 캐리어 버퍼 시스템은 상기 호스트 서버에서 취합된 결과로써 상기 각 로트 인식부호 별 반송 방식을 결정하여 해당 위치로 자동 반송함을 특징으로 하는 반도체 공정용 물류 시스템.The carrier buffer system is a semiconductor processing logistics system, characterized in that for determining the conveying method for each lot recognition code as a result of the collection in the host server and automatically conveyed to the location. 제 1 항에 있어서, 상기 캐리어 버퍼 시스템은 로트 인식부호 별로 상기 취합된 결과로써 특정 위치로만 반송을 수행하는 제 1 방법과 반송될 위치의 설비들에 대한 용량과 상태 그리고 공정의 특성을 고려하여 복수의 위치로 소정 비율로 분할하여 반송하는 제 2 방법을 선택적으로 수행함을 특징으로 하는 반도체 공정용 물류 시스템.The method of claim 1, wherein the carrier buffer system includes a first method of performing a return to a specific location only as a result of the aggregation by lot recognition codes, and a plurality of services in consideration of the capacity, state, and process characteristics of the facilities of the location to be returned. And selectively performing a second method of dividing and returning the substrate at a predetermined ratio to a position of. 제 1 항에 있어서, 상기 캐리어 버퍼 시스템은 상기 반송 방식을 결정한 후 변동 요인을 고려하여 반송을 선택적으로 수행함을 특징으로 하는 반도체 공정용 물류 시스템.The logistics system of claim 1, wherein the carrier buffer system selectively performs the transfer in consideration of a variation factor after determining the transfer method.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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