KR20010026825A - Circuit for compensating angular velocity output in microgyroscope - Google Patents
Circuit for compensating angular velocity output in microgyroscope Download PDFInfo
- Publication number
- KR20010026825A KR20010026825A KR1019990038300A KR19990038300A KR20010026825A KR 20010026825 A KR20010026825 A KR 20010026825A KR 1019990038300 A KR1019990038300 A KR 1019990038300A KR 19990038300 A KR19990038300 A KR 19990038300A KR 20010026825 A KR20010026825 A KR 20010026825A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- voltage
- angular velocity
- peak value
- velocity output
- micro gyroscope
- Prior art date
Links
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 43
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 21
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 9
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 3
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
- G01C19/5649—Signal processing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
- G01C19/5656—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams the devices involving a micromechanical structure
-
- G01P9/04—
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 마이크로 자이로스코프의 각속도출력 보상회로에 관한 것으로, 특히 온도변화에 따라 각속도의 출력전압을 자동적으로 보상하여 온도변화에도 감지방향의 각속도출력을 항상 일정하도록 함으로써, 온도변화에 관계없이 항상 일정한 감도를 유지할 수 있어 보다 안정된 품질을 확보할 수 있도록한 마이크로 자이로스코프의 각속도출력 보상회로에 관한 것이다.The present invention relates to an angular velocity output compensation circuit of a micro gyroscope, in particular, by automatically compensating the output voltage of the angular velocity according to the temperature change so that the angular velocity output in the sensing direction is always constant even in the event of temperature change, thereby always being constant regardless of temperature change. The present invention relates to an angular velocity output compensating circuit of a micro gyroscope capable of maintaining sensitivity to ensure more stable quality.
일반적으로, 알려져 있는 관성체의 각속도를 검출하기 위한 각속도 센서 장치는 이미 오래전부터 선박, 항공기등에서 항법장치용 핵심부품으로 사용되어 왔으며, 현재는 자동차의 항법장치나, 또는 고배율 비데오 카메라의 손떨림을 검출하여 이를 보상하는 장치에 사용되고 있다. 그러나, 종래 군사용이나 항공기용으로 사용되는 각속도 감지용 자이로스코프는 다수의 복잡한 부품이 정밀가공 및 조립공정등을 통하여 제작되므로 정밀한 성능을 얻을 수 있으나, 제작비용이 많이 들게 되고, 부피가 대형화되어 일반 산업용이나, 민생용 가전제품에는 적용이 불가능한 실정인 것이다.In general, the angular velocity sensor device for detecting the angular velocity of an inertial body has been used as a key component for navigation devices in ships and aircrafts for a long time. It is used in the device to compensate for this. However, the conventional angular velocity sensing gyroscope used for military or aircraft can obtain precise performance because many complicated parts are manufactured through precision processing and assembly process, but the manufacturing cost is high, and the volume is large and general. Industrial or consumer electronics is not applicable to the situation.
최근에는 삼각 프리즘 형태의 비임(Beam)에 압전소자를 부착한 소형 자이로스코프를 개발하여 소형 비데오 카메라의 손떨림 감지용 센서로서 사용하고 있으며, 또한, 상기와 같은 압전소자를 부착한 자이로스코프의 제작에 따른 난점을 극복할 수 있도록 개선된 원통형 비임 구조를 갖는 소형 자이로스코프를 개발되고 있다. 그러나, 이와같은 두가지 형태의 소형 자이로스코프는 모두 정밀가공을 필요로하는 소형부품으로 이루어진 관계로, 제작이 어렵게 됨은 물론, 고가의 비용이 소요되는 단점이 있으며, 특히 상기와 같은 자이로스코프는 다수의 기계부품으로 이루어져 있기 때문에, 회로 일체형으로 적용하기가 곤란하게 되는 문제점이 있는 것이다.Recently, a small gyroscope with a piezoelectric element attached to a triangular prism-shaped beam has been developed and used as a sensor for detecting hand shake of a small video camera, and also used in the manufacture of a gyroscope with the piezoelectric element as described above. Miniature gyroscopes with improved cylindrical beam structures have been developed to overcome the difficulties. However, since these two types of small gyroscopes are made of small parts that require precision processing, they are difficult to manufacture and have a high cost. In particular, such gyroscopes have many Since it consists of mechanical parts, there is a problem that it is difficult to apply the integrated circuit.
이와같은 기존의 자이로스코프에 있어서, 진동구조물의 상부와 하부가 각각 상하방향의 불안정한 운동을 하는 단점과, 진동감지요소에서 감지되는 진동신호에 부정적인 간섭영향을 초래하게 되는 단점을 해결하기 위해서, 도1에 도시한 바와같은 마이크로 자이로스코프를 발명하여 특허출원(특허출원번호 : 1999년 제20651호)한 바 있다.In such a conventional gyroscope, in order to solve the disadvantage that the upper and lower portions of the vibration structure is unstable movement in the vertical direction, respectively, and the disadvantage that the negative interference effect on the vibration signal detected by the vibration sensing element, FIG. Invented a micro gyroscope as shown in Fig. 1 and filed a patent (Patent Application No .: 1999, 20651).
도 1은 마이크로 자이로스코프의 평면 구조도로서, 도1을 참조하면, 도1에 도시된 마이크로 자이로스코프에 대한 구조 및 동작은 한국특허 출원번호 1999년 제20651호에 상세하게 기재되어 있으며, 이 마이크로 자이로스코프의 구조에 대해서 간단히 설명하면, 마이크로 자이로스코프는 사각에 4개로 고정설치된 접지 고정부(20)에 가진용 스프링(23)을 통해 제1 방향(가진방향)으로 가진하도록 설치된 질량(Mo)의 외부 프레임(12)과, 이 외부 프레임(12)의 내측에 상기 외부 프레임(12)에 비임 스프링(13)을 통해 제1 방향과 수직방향인 제3 방향(감지방향)으로 가진도록 설치된 질량(m)의 내부 프레임(110)이 설치되어 있다.1 is a planar structural diagram of a micro gyroscope. Referring to FIG. 1, the structure and operation of the micro gyroscope shown in FIG. 1 are described in detail in Korean Patent Application No. 1999, No. 20651. Briefly describing the structure of the scope, the micro gyroscope has a mass (Mo) installed so as to excite in the first direction (vibration direction) through the spring 23 to the ground fixing portion 20 fixed to four squares. Mass provided so as to have the outer frame 12 and the inside of the outer frame 12 in the third direction (sensing direction) perpendicular to the first direction through the beam spring 13 to the outer frame 12 ( m) an inner frame 110 is provided.
상기한 바와같은 마이크로 자이로스코프에 있어서, 마이크로 자이로스코프의 성능은 입력전압과 패키지내부의 진공도에 따라 결정되는데, 특히 외부온도에 따라 패키지 내부의 진공도가 변화하게 됨에 따라 마이크로 자이로스코프의 Q값을 변하게 되고, 이 경우 입력전압이 일정하다면 마이크로 자이로스코프의 가진변위를 작게 하여 결국 마이크로 자이로스코프의 감도는 이 가진변위에 비례해서 나타나므로 감도는 떨어지게 된다.In the micro gyroscope as described above, the performance of the micro gyroscope is determined by the input voltage and the degree of vacuum inside the package. In particular, the Q value of the micro gyroscope changes as the degree of vacuum inside the package changes according to the external temperature. In this case, if the input voltage is constant, the excitation displacement of the micro gyroscope is made small, so that the sensitivity of the micro gyroscope is proportional to the excitation displacement, and thus the sensitivity is inferior.
다시말해, 온도가 상승하면 마이크로 자이로스코프 패키지 내부의 압력이 상승되고 이에따라 Q값을 떨어뜨려 일정한 가진전압에 의한 가진변위의 크기를 줄어들게 한다. 결과적으로 가진변위의 감소는 마이크로 자이로스코프의 검출감도를 떨어뜨려 마이크로 자이로스코프 전체 감소를 감소시키게 된다. 따라서, 양산시에 제품의 품질산포를 줄이기 위해서는 온도에 따른 진공도의 변화가 있더라도 감지방향의 각속도출력을 일정하게 유지할 수 있도록 각속도 출력전압의 크기를 조절해야 할 필요가 있다.In other words, as the temperature rises, the pressure inside the micro gyroscope package rises and, accordingly, the Q value drops, reducing the magnitude of the excitation displacement due to a constant excitation voltage. As a result, the reduction of the excitation displacement decreases the sensitivity of the micro gyroscope and thus reduces the overall decrease in the micro gyroscope. Therefore, in order to reduce the quality distribution of the product during mass production, it is necessary to adjust the magnitude of the angular velocity output voltage so that the angular velocity output in the sensing direction can be kept constant even if there is a change in the degree of vacuum according to the temperature.
이와같은 각속도 출력전압을 조절하는 종래 마이크로 자이로스코프의 각속도출력 보상회로는 도2에 도시된 바와같으며, 도2를 참조하면, 종래 마이크로 자이로스코프의 각속도출력 보상회로는 마이크로 자이로스코프(10)의 가진신호를 반파정류하는 반파정류회로(34)와, 이 반파정류회로(34)의 출력신호를 스무드(smooth)하게 처리하는 스무팅회로(35)와, 이 스무팅회로(35)의 출력신호에 기초해서 상기 마이크로 자이로스코프(10)의 검출되어 차동증폭회로(31)를 통한 검출회로(32)의 출력신호에 대한 이득을 조절하는 자동이득제어회로(36)로 이루어져 있다.The angular velocity output compensation circuit of the conventional micro gyroscope for adjusting the angular velocity output voltage is shown in FIG. 2. Referring to FIG. 2, the angular velocity output compensating circuit of the conventional micro gyroscope is configured of the micro gyroscope 10. A half-wave rectifier circuit 34 for half-wave rectifying the excitation signal, a smoothing circuit 35 for smoothly processing the output signal of the half-wave rectifier circuit 34, and an output signal of the smoothing circuit 35 And an automatic gain control circuit 36 for detecting the gain of the output signal of the detection circuit 32 through the differential amplification circuit 31 based on the micro gyroscope 10.
이와같이 이루어진 종래의 마이크로 자이로스코프의 각속도출력 보상회로는 온도변화등의 환경변화에 따라서 마이크로 자이로스코프의 감도가 달라지기 때문에 이를 일정하게 유지하기 위해서 진동하고 있는 마이크로 자이로스코프의 가진신호를 측정하여 이에 비례하는 신호로 마이크로 자이로스코프의 출력, 즉 감지회로의 각속도 출력이득을 조절한다.The angular velocity output compensating circuit of the conventional micro gyroscope made in this way measures the excitation signal of the vibrating micro gyroscope in order to maintain the constant since the sensitivity of the micro gyroscope varies according to environmental changes such as temperature changes. This function adjusts the output of the micro gyroscope, that is, the angular velocity output gain of the sensing circuit.
그러나, 종래 마이크로 자이로스코프의 가진 구동전압 자동이득제어회로는 세라믹 자이로스코프에서는 적당하지만, 진공패키지 되어 있는 마이크로 자이로스코프는 온도변화에 따라 진공패키지의 진공도가 달라지는 이유로, 종래의 방법처럼 감지회로의 출력이득만을 조정하여서는 온도변화에 대응할 수 없으며, 따라서 진공패키지된 마이크로 자이로스코프는 온도변화에 따른 성능을 보상하기 위해서는 자이로가 일정하게 가진되도록 하는 부분과 감지된 전압이 온도에 따른 변동이 작도록 구현되어야 할 필요성이 있으며, 또한 자이로의 가진변위가 일정하게 유지하되 간단하고 쉬운 방법을 구현하여야 할 필요성이 있지만, 종래 마이크로 자이로스코프의 각속도출력 보상회로는 구현상의 어려움이 있는 문제점이 있었다.However, while the automatic gain control circuit of a conventional micro gyroscope is suitable for a ceramic gyroscope, a vacuum packaged micro gyroscope has a different vacuum degree of a vacuum package according to temperature change. It is not possible to adjust the gain alone to respond to temperature changes. Therefore, in order to compensate for the performance due to temperature change, a vacuum packaged micro gyroscope needs to be implemented so that the gyro part has a constant excitation and the sensed voltage changes little with temperature. In addition, there is a need to implement a simple and easy method while maintaining a constant displacement of the gyro, but the angular velocity output compensation circuit of the conventional micro gyroscope has a problem in that it is difficult to implement.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 따라서, 본 발명의 목적은 온도변화에 따라 각속도의 출력전압을 자동적으로 보상하여 온도변화에도 감지방향의 각속도출력을 항상 일정하도록 함으로써, 온도변화에 관계없이 항상 일정한 감도를 유지할 수 있어 보다 안정된 품질을 확보할 수 있도록한 마이크로 자이로스코프의 각속도출력 보상회로를 제공하는데 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and therefore, an object of the present invention is to automatically compensate the output voltage of the angular velocity according to the temperature change so that the angular velocity output in the sensing direction is always constant even in the temperature change, thereby changing the temperature. It is to provide an angular velocity output compensation circuit of a micro gyroscope that can maintain a constant sensitivity irrespective of time regardless.
도 1은 마이크로 자이로스코프의 평면 구조도이다.1 is a planar structural diagram of a micro gyroscope.
도 2는 종래 마이크로 자이로스코프의 각속도출력 보상회로도이다.2 is an angular velocity output compensation circuit diagram of a conventional micro gyroscope.
도 3은 본 발명의 제1실시예인 마이크로 자이로스코프의 각속도출력 보상회로도이다.3 is an angular velocity output compensation circuit diagram of a micro gyroscope according to a first embodiment of the present invention.
도 4는 본 발명의 제2실시예인 마이크로 자이로스코프의 각속도출력 보상회로도이다.4 is an angular velocity output compensation circuit diagram of a micro gyroscope according to a second embodiment of the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10 : 마이크로 자이로스코프 14,16 : 감지용 전극고정부10: micro gyroscope 14,16: electrode fixing for detection
15,17 : 감지용 전극 23 : 가진용 스프링15,17: sensing electrode 23: excitation spring
25a,25b : 가진구동용 전극고정부 22,26 : 가진구동용 전극25a, 25b: excitation driving electrode fixing part 22,26: excitation driving electrode
27a,27b : 가진검출용 전극고정부 28,29 : 가진검출용 전극27a, 27b: excitation detection electrode fixing part 28, 29: excitation detection electrode
131 : C/V증폭기 132 : 이득증폭기131: C / V amplifier 132: gain amplifier
133 : 위상시프터 134 : 전압리미터133: phase shifter 134: voltage limiter
135 : 버퍼 136 : 인버터135 buffer 136 inverter
137 : 피크검출기 138 : 감산기137: peak detector 138: subtractor
139 : 자동보상제어기 141,142 : C/V증폭기139: Automatic compensation controller 141,142: C / V amplifier
143 : 차동증폭기 144 : 곱셈기143: differential amplifier 144: multiplier
145 : 저역통과필터 146 : 이득/오프셋 조절회로145: low pass filter 146: gain / offset control circuit
151 : 피크치검출기 152 : 곱셈기151 peak value detector 152 multiplier
상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 기술적인 수단으로써, 본 발명의 제1 실시예에 해당하는 각속도출력 보상회로는 마이크로 자이로스코프의 각속도출력 보상회로에 있어서, 마이크로 자이로스코프의 가진방향의 변위를 일정하게 유지시키는 가진전압의 직류성분에 기초하여 감지방향의 각속도 출력에 대한 온도보상을 수행하는 각속도출력 보상회로를 구비함을 특징으로 한다.As a technical means for achieving the above object of the present invention, the angular velocity output compensation circuit according to the first embodiment of the present invention is characterized in that the displacement of the excitation direction of the micro gyroscope in the angular velocity output compensation circuit of the micro gyroscope. And an angular velocity output compensation circuit for performing temperature compensation on the angular velocity output in the sensing direction based on the DC component of the excitation voltage which is kept constant.
또한, 상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 기술적인 수단으로써, 본 발명의 제2 실시예에 해당하는 각속도출력 보상회로는 마이크로 자이로스코프의 각속도출력 보상회로에 있어서, 마이크로 자이로스코프의 가진방향의 변위에 해당하는 전압에 기초하여 전압리미터의 출력전압을 조절하고, 이 조절된 전압리미터의 출력전압을 이용하여 감지방향의 각속도 출력에 대한 온도보상을 수행하는 각속도출력 보상회로를 구비함을 특징으로 한다.In addition, as a technical means for achieving the above object of the present invention, the angular velocity output compensation circuit according to the second embodiment of the present invention is the angular velocity output compensation circuit of the micro gyroscope. And an angular velocity output compensation circuit for adjusting the output voltage of the voltage limiter based on the voltage corresponding to the displacement, and performing temperature compensation for the angular velocity output in the sensing direction by using the output voltage of the adjusted voltage limiter. do.
이하, 본 발명에 따른 마이크로 자이로스코프의 각속도출력 보상회로에 대해서 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 본 발명에 참조된 도면에서 실질적으로 동일한 구성과 기능을 가진 구성요소들은 동일한 부호를 사용할 것이다.Hereinafter, an angular velocity output compensation circuit of a micro gyroscope according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings referred to in the present invention, components having substantially the same configuration and function will use the same reference numerals.
도 3은 본 발명의 제1실시예인 마이크로 자이로스코프의 각속도출력 보상회로도로서, 도 3을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 해당하는 마이크로 자이로스코프의 각속도출력 보상회로는 마이크로 자이로스코프(10)의 가진방향의 변위를 일정하게 유지시키는 가진전압의 직류성분에 기초하여 감지방향의 각속도 출력에 대한 온도보상을 수행하는 각속도출력 보상회로를 구비한다.3 is an angular velocity output compensation circuit of a micro gyroscope according to a first embodiment of the present invention. Referring to FIG. 3, an angular velocity output compensation circuit of a micro gyroscope according to the first embodiment of the present invention may be a micro gyroscope (10). And an angular velocity output compensation circuit for performing temperature compensation on the angular velocity output in the sensing direction based on the direct current component of the excitation voltage which maintains a constant displacement in the excitation direction.
상기 각속도출력 보상회로는 마이크로 자이로스코프(10)의 가진검출용 전극고정부(27a)의 커패시턴스(Cx)를 전압(Vx)으로 변환하여 증폭하는 C/V증폭기(131)와, 상기 C/V증폭기(131)의 출력전압(Vx)의 피크치(Vp)를 검출하는 피크치검출기(137)와, 상기 피크치검출기(10)의 피크치전압(Vp)과 기준전압(Vref)과 감산하는 감산기(138)와, 상기 감산기(138)의 출력전압(Vref-Vp)을 비례 제어하여 보상전압을 제공하는 자동보상제어기(139)와, 상기 자동보상제어기(139)의 출력전압과 저역통과필터(145)를 통한 감지방향의 각속도 출력전압을 곱셈하는 곱셈기(152)를 포함한다.The angular velocity output compensation circuit includes a C / V amplifier 131 for converting and amplifying the capacitance Cx of the excitation detecting electrode fixing part 27a of the micro gyroscope 10 to a voltage Vx, and the C / V. A peak value detector 137 that detects the peak value Vp of the output voltage Vx of the amplifier 131, and a subtractor 138 that subtracts the peak value voltage Vp and the reference voltage Vref of the peak value detector 10. And an automatic compensation controller 139 which provides a compensation voltage by proportionally controlling the output voltage Vref -Vp of the subtractor 138, and an output voltage and a low pass filter 145 of the automatic compensation controller 139. And a multiplier 152 for multiplying the angular velocity output voltage in the sensing direction.
상기 C/V증폭기(131)는 바람직하게는 차지(charge)증폭기로 구성하고, 그리고, 상기 피크치검출기(137)는 바람직하게는 자승-평균-평방근(Root-Mean-Square:RMS) 검출기로 구성한다. 또한, 상기 자동보상제어기(139)는 비례 제어기, 비례-적분 제어기, 비례-미적분 제어기중 하나를 사용하여 구성할 수 있다.The C / V amplifier 131 is preferably configured as a charge amplifier, and the peak detector 137 is preferably configured as a root-mean-square (RMS) detector. do. In addition, the automatic compensation controller 139 may be configured using one of a proportional controller, a proportional-integral controller, and a proportional-integral controller.
이와같이 본 발명의 제1실시예에서는 온도변화에 대응하여 각속도 출력전압의 크기를 조절함으로써 감지방향의 각속도 출력전압을 온도변화에 관계없이 항상 일정하게 유지시킬 수 있게 된다.Thus, in the first embodiment of the present invention, by adjusting the magnitude of the angular velocity output voltage in response to the temperature change, the angular velocity output voltage in the sensing direction can be kept constant regardless of the temperature change.
한편, 본 발명이 적용되는 마이크로 자이로스코프에 있어서, 이 마이크로 자이로스코프에 가진방향의 변위에 해당하는 전압을 검출한후, 이 검출전압의 피크치전압을 이용하여 각속도 출력전압에 대한 온도보상을 수행하는 것으로서, 이때 본 발명의 제1 실시예에 해당하는 마이크로 자이로스코프의 각속도출력 보상회로는 피크치전압(Vp)에 대한 자동 온도보상 제어를 수행한후 이 온도보상 제어된 전압을 이용하여 각속도 출력전압에 온도보상을 수행하는 것이고, 이하 설명할 본 발명의 제2 실시예에 해당하는 마이크로 자이로스코프의 각속도출력 보상회로는 피크치전압(Vp)에 대한 자동 온도보상 제어를 수행한후 이 온도보상 제어된 전압을 이용하여 전압리미터의 출력전압을 보상하며, 이 전압리미터의 출력전압을 이용하여 각속도 출력전압에 온도보상을 수행하는 것이다.On the other hand, in the micro gyroscope to which the present invention is applied, after detecting a voltage corresponding to the displacement in the excitation direction of the micro gyroscope, temperature compensation for the angular velocity output voltage is performed using the peak value voltage of the detected voltage. In this case, the angular velocity output compensation circuit of the micro gyroscope according to the first embodiment of the present invention performs an automatic temperature compensation control for the peak value voltage Vp and then uses the voltage compensation controlled voltage to apply the angular velocity output voltage. The angular velocity output compensation circuit of the micro gyroscope according to the second embodiment of the present invention, which will be described below, performs temperature compensation controlled voltage after performing automatic temperature compensation control for the peak value voltage Vp. Compensate the output voltage of the voltage limiter by using, and use the output voltage of this voltage limiter to To perform the walk.
도 4는 본 발명의 제2실시예인 마이크로 자이로스코프의 각속도출력 보상회로도로서, 도 4를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 해당하는 마이크로 자이로스코프의 각속도출력 보상회로는 마이크로 자이로스코프(10)의 가진방향의 변위에 해당하는 전압에 기초하여 전압리미터의 출력전압을 조절하고, 이 조절된 전압리미터의 출력전압을 이용하여 감지방향의 각속도 출력에 대한 온도보상을 수행하는 각속도출력 보상회로를 구비한다.4 is an angular velocity output compensation circuit of a micro gyroscope according to a second embodiment of the present invention. Referring to FIG. 4, an angular velocity output compensation circuit of a micro gyroscope according to a second embodiment of the present invention may be a micro gyroscope 10. The angular velocity output compensation circuit adjusts the output voltage of the voltage limiter based on the voltage corresponding to the displacement of the excitation direction and performs temperature compensation for the angular velocity output in the sensing direction by using the output voltage of the adjusted voltage limiter. Equipped.
상기 각속도출력 보상회로는 마이크로 자이로스코프(10)의 가진검출용 전극고정부(27a)의 커패시턴스(Cx)를 전압(Vx)으로 변환하여 증폭하는 C/V증폭기(131)와, 상기 C/V증폭기(131)의 출력전압(Vx)의 피크치(Vp)를 검출하는 피크치검출기(137)와, 상기 피크치검출기(10)의 피크치전압(Vp)과 기준전압(Vref)과 감산하는 감산기(138)와, 상기 감산기(138)의 출력전압(Vref-Vp)을 비례 제어하여 보상전압을 리미터 레벨전압(Vlevel)으로 제공하는 자동보상제어기(139)와, 상기 자동보상제어기(139)의 리미터 레벨전압(Vlevel)에 따라 위상시프터(133)의 출력전압을 제한하는 전압리미터(134)와, 상기 전압리미터(134)의 출력전압의 피크치를 검출하는 피크치검출기(151)와, 상기 피크치검출기(151)의 피크치전압과 저역통과필터(145)를 통한 감지방향의 각속도 출력전압을 곱셈하는 곱셈기(152)를 포함한다.The angular velocity output compensation circuit includes a C / V amplifier 131 for converting and amplifying the capacitance Cx of the excitation detecting electrode fixing part 27a of the micro gyroscope 10 to a voltage Vx, and the C / V. A peak value detector 137 that detects the peak value Vp of the output voltage Vx of the amplifier 131, and a subtractor 138 that subtracts the peak value voltage Vp and the reference voltage Vref of the peak value detector 10. And an automatic compensation controller 139 for proportionally controlling the output voltage Vref-Vp of the subtractor 138 to provide a compensation voltage as the limiter level voltage Vlevel, and the limiter level voltage of the automatic compensation controller 139. A voltage limiter 134 for limiting the output voltage of the phase shifter 133 in accordance with Vlevel, a peak value detector 151 for detecting peak values of the output voltage of the voltage limiter 134, and the peak value detector 151 A multiplier (15) multiplies the peak value voltage of the signal by the angular velocity output voltage in the sensing direction through the low pass filter (145). It includes 2).
상기 C/V증폭기(131)는 상기한 본 발명의 제1 실시예의 구성에서 설명한 바와 동일하게 구성되는 것으로서, 바람직하게는 차지증폭기로 구성하고, 그리고, 상기 피크치검출기(137)는 바람직하게는 자승-평균-평방근(Root-Mean-Square:RMS) 검출기로 구성한다. 또한, 상기 자동보상제어기(139)는 비례 제어기, 비례-적분 제어기, 비례-미적분 제어기중 하나를 사용하여 구성할 수 있다.The C / V amplifier 131 is configured in the same manner as described in the configuration of the first embodiment of the present invention. Preferably, the C / V amplifier 131 is configured of a charge amplifier, and the peak value detector 137 is preferably squared. It consists of a root-mean-square (RMS) detector. In addition, the automatic compensation controller 139 may be configured using one of a proportional controller, a proportional-integral controller, and a proportional-integral controller.
이와같이 구성된 본 발명의 회로에 따른 동작을 첨부도면에 의거하여 하기에 상세히 설명한다.Operation according to the circuit of the present invention configured as described above will be described in detail below based on the accompanying drawings.
보통, 마이크로 자이로스코프의 성능은 가진방향의 변위, 가진 및 감지모드의 튜닝정도, 진공도에 따라 좌우되는데, 이때 외부의 환경변화, 즉 온도변화에 따라 진공도가 변화될 수 있으며, 이에따라 진동구조물의 감쇠값을 변화시켜 마이크로 자이로스코프의 성능을 변환시키는데, 이때, 마이크로 자이로스코프의 안정된 성능을 보장하기 위해서는 환경변화에 대해 감지방향의 각속도출력을 일정하게 유지하고 튜닝정도를 유지시킬 수 있는 방법이 필요하게 되며, 본 발명은 이와같은 감지방향의 각속도출력을 일정하게 유지하기 위한 것이다.In general, the performance of a micro gyroscope depends on the displacement of the excitation direction, the degree of tuning of the excitation and sensing modes, and the degree of vacuum. In this case, the degree of vacuum can be changed according to the external environmental change, that is, the temperature change. By changing the value, the performance of the micro gyroscope is transformed. In order to ensure the stable performance of the micro gyroscope, it is necessary to maintain a constant angular velocity output in the sensing direction and to maintain the tuning accuracy against environmental changes. The present invention is to maintain a constant angular velocity output in such a sensing direction.
도 1에 도시한 마이크로 자이로스코프는 인가되는 가진방향의 구동전압(또는 가진전압)에 의해 변위가 발생하는데, 이때 구동전압에 의한 가진방향(X)의 변위(x)는 하기 수학식1에 보인 바와같이 가진전압의 직류전압(Vdc)과 교류전압(Vac)의 곱에 비례한다.In the micro gyroscope shown in FIG. 1, displacement occurs due to a driving voltage (or an excitation voltage) in an applied excitation direction, wherein the displacement x of the excitation direction X due to the driving voltage is shown in Equation 1 below. As is proportional to the product of the excitation voltage of DC voltage (Vdc) and AC voltage (Vac).
여기서, ε는 유전상수, t는 마주보는 빔의 두께, nx는 가진 코옴의 개수, qx는 코옴의 갭, kx는 가진방향의 기계적인 강성이다. 상기한 가진방향의 변위에 해당하는 전압변화는 하기 수학식2에 보인 바와같다.Where ε is the dielectric constant, t is the thickness of the beam facing each other, nx is the number of coils with excitation, qx is the gap of the coils, and kx is the mechanical stiffness in the excitation direction. The voltage change corresponding to the displacement in the excitation direction is as shown in Equation 2 below.
이에따라, 마이크로 자이로스코프에서의 감지방향에 대한 변위는 감지방향에 대한 변위에 직접 관련되므로, 본 발명에 적용되는 마이크로 자이로스코프의 감지방향의 각속도 출력전압도 가진전압의 직류전압(Vdc)과 교류전압(Vac)의 곱에 비례함을 알 수 있다.Accordingly, since the displacement with respect to the sensing direction in the micro gyroscope is directly related to the displacement with respect to the sensing direction, the direct current voltage (Vdc) and the alternating voltage of the voltage having the angular velocity output voltage also in the sensing direction of the micro gyroscope applied to the present invention. It can be seen that it is proportional to the product of (Vac).
이와같이, 가진전압의 직류나 교류중 어느 하나를 고정하고 나머지 하나를 제어하면 감지방향의 각속도 출력을 일정하게 유지시킬 수 있음을 알 수 있으며, 본 발명의 제1 실시예에 해당하는 마이크로 자이로스코프의 각속도출력 보상회로는 직류의 보상전압인 바이어스전압을 이용하여 각속도 출력전압에 대해 온도보상을 적용한 것이며, 그리고, 본발명의 제2 실시예에 해당하는 마이크로 자이로스코프의 각속도출력 보상회로는 보상된 직류전압인 레벨전압(Vlevel)에 의해 조절된 교류전압(Vac)을 이용하여 각속도 출력전압에 온도보상을 적용한 것이다.In this way, it can be seen that by fixing either the direct current or alternating current of the excitation voltage and controlling the other one, the angular velocity output in the sensing direction can be kept constant, and according to the first embodiment of the present invention, The angular velocity output compensation circuit is a temperature compensation applied to the angular velocity output voltage using a bias voltage which is a direct current compensation voltage, and the angular velocity output compensation circuit of the micro gyroscope according to the second embodiment of the present invention is a compensated direct current. The temperature compensation is applied to the angular velocity output voltage by using the AC voltage (Vac) controlled by the voltage level (Vlevel).
한편, 도3 및 도 4에 도시된 회로중, 마이크로 자이로스코프(10), C/V증폭기(131), 이득증폭기(132), 위상시프트(133), 전압리미터(134), 버퍼(135) 및 인버터(136)는 자기발진회로는 구성하는 것으로서, 이에 대한 구체적인 내용은 본 발명의 출원인에 의해 기출원된 한국 특허출원번호 1999년 제31070호(출원일:'99.7.29)호에 상세하게 설명되어 있으며, 이에 대한 상세한 설명은 본 발명에서는 생략한다.Meanwhile, among the circuits shown in FIGS. 3 and 4, the micro gyroscope 10, the C / V amplifier 131, the gain amplifier 132, the phase shift 133, the voltage limiter 134, and the buffer 135. And the inverter 136 constitutes a self-oscillating circuit, the details of which are described in detail in Korean Patent Application No. 1999 No. 31070 (filed date: '99 .7.29) filed by the applicant of the present invention The detailed description thereof is omitted in the present invention.
먼저, 도 3을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 해당하는 마이크로 자이로스코프의 각속도출력 보상회로에 대해서 설명하면, 다음과 같다.First, the angular velocity output compensation circuit of the micro gyroscope according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 3.
도 3에 도시된 마이크로 자이로스코프(10)의 가진검출용 전극고정부(27a)에서 검출되는 가진방향의 변위에 해당하는 커패시터(Cx)는 C/V증폭기(131)에서 전압(Vx)으로 변환된후 증폭되는데, 이 C/V증폭기(131)의 출력전압(Vx)에 대한 피크치가 피크치검출기(137)에서 검출된다. 이후, 기준전압(Vref)과 피크치검출기(137)의 출력전압(Vp)을 감산기(138)가 감산하여 출력한다.The capacitor Cx corresponding to the displacement of the excitation direction detected by the excitation detection electrode fixing part 27a of the micro gyroscope 10 shown in FIG. 3 is converted from the C / V amplifier 131 to the voltage Vx. After amplification, the peak value for the output voltage Vx of the C / V amplifier 131 is detected by the peak value detector 137. Thereafter, the subtractor 138 subtracts and outputs the reference voltage Vref and the output voltage Vp of the peak value detector 137.
그리고, 도 3의 자동보상제어기(139)는 비례-제어기, 비례-적분 제어기 및 비례-미적분 제어기로 구성되는데, 이에따라 상기 자동보상제어기(139)는 구현하는 제어기에 따라 각각 상기 감산기(138)의 출력전압(Vref-Vp)에 대한 비례제어, 비례적분제어, 또는 비례미적분제어를 수행한후 이 수행결과에 의한 보상된 직류전압(Vdc)을 버퍼(135) 및 인버터(136)에 직류바이어스전압으로 제공한다. 이와같이 상기 자동보상제어기(139)에 의해서 온도변화에 따른 감지방향의 출력변동을 보상할 수 있는 보상전압이 제공된다.In addition, the automatic compensation controller 139 of FIG. 3 includes a proportional controller, a proportional-integral controller, and a proportional-integral controller. Accordingly, the automatic compensation controller 139 of the subtractor 138 may be configured according to a controller. After performing proportional control, proportional integral control, or proportional calculus control on the output voltage (Vref-Vp), the DC voltage compensated by the result of the execution is applied to the buffer 135 and the inverter 136. To provide. As such, the automatic compensation controller 139 provides a compensation voltage capable of compensating for the output variation in the sensing direction according to the temperature change.
한편, 본 발명이 적용되는 마이크로 자이로스코프(10)에 있어서, 가진방향의 변위를 증가시키기 위해서, 도3에 도시된 바와같이, 마이크로 자이로스코프(10)의 가진변향의 변위에 해당하는 커패시턴스를 전압으로 변환 및 증폭하는 C/V증폭기(131)와, 이 C/V증폭기(131)의 출력전압의 이득을 증폭하는 이득증폭기(132)와, 이 이득증폭기(132)의 출력전압의 위상을 시프트시키는 위상시프트(133)와, 이 위상시프터(133)의 출력전압을 소정레벨로 제한하는 전압리미터(134)와, 이 전압리미터(134)에서 출력되는 교류전압과 상기 보상전압인 직류전압을 마이크로 자이로스코프(10)에 구동전압으로 제공하는 버퍼(135) 및 인버터(136)로 이루어진 자기발진회로를 포함하고 있다.On the other hand, in the micro gyroscope 10 to which the present invention is applied, in order to increase the displacement in the excitation direction, as shown in Fig. 3, the capacitance corresponding to the displacement of the excitation displacement of the micro gyroscope 10 is applied to a voltage. Shifts the phase of the C / V amplifier 131 for converting and amplifying the gain, the gain amplifier 132 for amplifying the gain of the output voltage of the C / V amplifier 131, and the output voltage of the gain amplifier 132. A phase shifter 133, a voltage limiter 134 for limiting the output voltage of the phase shifter 133 to a predetermined level, an AC voltage output from the voltage limiter 134 and a DC voltage as the compensation voltage. It includes a self-oscillating circuit consisting of a buffer 135 and an inverter 136 to provide a gyroscope 10 as a driving voltage.
또한 마이크로 자이로스코프(10)의 감지정도를 증가시키기 위해서, 도3에 도시된 바와같이, 마이크로 자이로스코프(10)의 감지방향의 변위에 해당하는 커패시턴스를 전압으로 변환 및 증폭하는 2개의 C/V증폭기(141,142)와, 이 2개의 C/V증폭기(141,142)의 출력전압을 차동증폭하는 차동증폭기(143)와, 이 차동증폭기(143)의 출력전압과 상기 위상시프터(133)의 입력전압을 곱셈하는 곱셈기(144)와, 이 곱셈기(144)의 출력전압을 저역통과시키는 저역통과필터(145) 및 이득/오프셋 조절회로(146)를 포함한다.Also, in order to increase the detection degree of the micro gyroscope 10, as shown in FIG. 3, two C / Vs converting and amplifying the capacitance corresponding to the displacement in the sensing direction of the micro gyroscope 10 into voltage. The amplifiers 141 and 142, the differential amplifier 143 for differentially amplifying the output voltages of the two C / V amplifiers 141 and 142, the output voltage of the differential amplifier 143 and the input voltage of the phase shifter 133. A multiplier 144 for multiplying, a low pass filter 145 for low-passing the output voltage of the multiplier 144, and a gain / offset adjustment circuit 146.
상기한 회로에 관련해서, 상기 자동보상제어기(139)의 보상된 직류 바이어스전압(Vdc)과 상기 저역통과필터(145)의 출력전압을 곱셈기(152)가 곱셈하여 상기 저역통과필터(145)에서 출력되는 각속도 출력전압에 대한 온도보상을 수행한다.In relation to the circuit described above, a multiplier 152 multiplies the compensated DC bias voltage Vdc of the automatic compensation controller 139 by the output voltage of the low pass filter 145 to generate a low pass filter 145. Perform temperature compensation for the output angular velocity output voltage.
상기한 바와같은 본 발명의 제1 실시예에 해당하는 각속도출력 보상회로에 의해서, 최종 마이크로 자이로스코프(10)의 감지방향의 각속도 출력전압은 온도변화등의 환경변화에 관계없이 항상 일정하게 유지되게 된다.By the angular velocity output compensation circuit according to the first embodiment of the present invention as described above, the angular velocity output voltage in the sensing direction of the final micro gyroscope 10 is always kept constant regardless of environmental changes such as temperature change. do.
다음으로, 도 4를 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 해당하는 마이크로 자이로스코프의 각속도출력 보상회로에 대해서 설명하면 다음과 같다.Next, the angular velocity output compensation circuit of the micro gyroscope according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 4.
도 4에 도시된 마이크로 자이로스코프(10)의 가진검출용 전극고정부(27a)에서 검출되는 가진방향의 변위에 해당하는 커패시터(Cx)는 C/V증폭기(131)에서 전압(Vx)으로 변환된후 증폭되는데, 이 C/V증폭기(131)의 출력전압(Vx)에 대한 피크치가 피크치검출기(137)에서 검출된다. 이후, 기준전압(Vref)과 피크치검출기(137)의 출력전압(Vp)을 감산기(138)가 감산하여 출력한다.The capacitor Cx corresponding to the displacement of the excitation direction detected by the excitation detection electrode fixing part 27a of the micro gyroscope 10 shown in FIG. 4 is converted from the C / V amplifier 131 to the voltage Vx. After amplification, the peak value for the output voltage Vx of the C / V amplifier 131 is detected by the peak value detector 137. Thereafter, the subtractor 138 subtracts and outputs the reference voltage Vref and the output voltage Vp of the peak value detector 137.
그리고, 도 3의 자동보상제어기(139)는 비례-제어기, 비례-적분 제어기 및 비례-미적분 제어기로 구성되는데, 이에따라 상기 자동보상제어기(139)는 상기 감산기(138)의 출력전압(Vref-Vp)에 대한 비례제어, 비례적분제어, 또는 비례미적분제어를 수행한후 이 수행결과에 의한 보상된 직류전압을 전압리미터(134)에 리미터 레벨전압(Vlevel)으로 제공한다. 이와같이 상기 자동보상제어기(139)에 의해서 온도변화에 따른 감지방향의 출력변동을 보상할 수 있는 레벨전압이 제공된다.In addition, the automatic compensation controller 139 of FIG. 3 is composed of a proportional controller, a proportional-integral controller, and a proportional-integral controller. Accordingly, the automatic compensation controller 139 is an output voltage Vref-Vp of the subtractor 138. After the proportional control, the proportional integral control, or the proportional calculus control, the DC voltage compensated by the result is provided to the voltage limiter 134 as the limiter level voltage (Vlevel). In this way, the automatic compensation controller 139 is provided with a level voltage that can compensate for the output variation in the sensing direction according to the temperature change.
이때, 상기 전압리미터(134)는 자동보상제어기(139)에서 제공되는 리미터 레벨전압에 따라 위상시프터(133)의 출력전압을 제한하여 버퍼(135) 및 인버터(136)에 교류전압(Vac)을 제공한다.At this time, the voltage limiter 134 limits the output voltage of the phase shifter 133 according to the limiter level voltage provided from the automatic compensation controller 139 to supply the AC voltage Vac to the buffer 135 and the inverter 136. to provide.
그리고, 상기 전압리미터(134)의 출력전압(Vac)에 대한 피크치전압을 피크치검출기(151)가 검출하고, 이 피크치검출기(151)의 출력전압과 상기 저역통과필터(145)의 출력전압을 곱셈기(152)가 곱셈하여 상기 저역통과필터(145)에서 출력되는 각속도 출력전압에 대한 온도보상을 수행한다.The peak value detector 151 detects the peak value voltage of the voltage limiter 134 with respect to the output voltage Vac, and multiplies the output voltage of the peak value detector 151 by the output voltage of the low pass filter 145. 152 multiplies and performs temperature compensation on the angular velocity output voltage output from the low pass filter 145.
상기한 바와같은 본 발명의 제2 실시예에 해당하는 각속도출력 보상회로에 의해서, 최종 마이크로 자이로스코프(10)의 감지방향의 각속도 출력전압은 온도변화등의 환경변화에 관계없이 항상 일정하게 유지되게 된다.By the angular velocity output compensation circuit according to the second embodiment of the present invention as described above, the angular velocity output voltage in the sensing direction of the final micro gyroscope 10 is always kept constant regardless of environmental changes such as temperature changes. do.
상술한 바와같은 본 발명에 따르면, 온도변화에 따라 각속도의 출력전압을 자동적으로 보상하여 온도변화에도 감지방향의 각속도출력을 항상 일정하도록 함으로써, 온도변화에 관계없이 항상 일정한 감도를 유지할 수 있어 온도변화에 둔감하고 보다 안정된 품질 및 제품의 균일성을 확보할 수 있는 특별한 효과가 있는 것이다.According to the present invention as described above, by automatically compensating the output voltage of the angular velocity in accordance with the temperature change to always constant the angular velocity output in the sensing direction even in the temperature change, it is possible to maintain a constant sensitivity regardless of the temperature change at all times It has a special effect to ensure insensitive and more stable quality and uniformity of the product.
이상의 설명은 본 발명의 일실시예에 대한 설명에 불과하며, 본 발명은 그 구성의 범위내에서 다양한 변경 및 개조가 가능하다.The above description is only a description of one embodiment of the present invention, the present invention is capable of various changes and modifications within the scope of the configuration.
Claims (8)
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019990038300A KR100363783B1 (en) | 1999-09-09 | 1999-09-09 | Circuit for compensating angular velocity output in microgyroscope |
| JP2000273100A JP3421310B2 (en) | 1999-09-09 | 2000-09-08 | Micro-gyroscope angular velocity output compensation circuit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019990038300A KR100363783B1 (en) | 1999-09-09 | 1999-09-09 | Circuit for compensating angular velocity output in microgyroscope |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20010026825A true KR20010026825A (en) | 2001-04-06 |
| KR100363783B1 KR100363783B1 (en) | 2002-12-11 |
Family
ID=19610701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019990038300A KR100363783B1 (en) | 1999-09-09 | 1999-09-09 | Circuit for compensating angular velocity output in microgyroscope |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3421310B2 (en) |
| KR (1) | KR100363783B1 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100832411B1 (en) * | 2004-06-16 | 2008-05-26 | 에이엠아이 세미컨덕터, 인코포레이티드 | A method and system for detecting and compensating response of sensor, a sensor module and a method of calibraing the same, and an integrated circuit |
| CN114018233A (en) * | 2021-04-01 | 2022-02-08 | 东方空间技术(山东)有限公司 | Temperature compensation method and device of micromechanical gyroscope |
| CN114018235A (en) * | 2021-09-27 | 2022-02-08 | 北京控制工程研究所 | Full-temperature full-dynamic pulse compensation method for wide-range fiber-optic gyroscope |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4534741B2 (en) * | 2004-12-10 | 2010-09-01 | 株式会社デンソー | Gyro sensor |
| KR100771492B1 (en) | 2005-11-23 | 2007-10-30 | 세종대학교산학협력단 | A Method for Controlling a Vibrating Micro Gyroscope to Measure a Attitude Angle in a Direct Manner |
| JP5041122B2 (en) * | 2006-04-27 | 2012-10-03 | セイコーエプソン株式会社 | Vibration gyro sensor |
| JP2010054431A (en) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Murata Mfg Co Ltd | External force detecting apparatus and method of correcting output signal |
| US8096179B2 (en) * | 2009-04-09 | 2012-01-17 | Freescale Semiconductor, Inc. | Sensor device with reduced parasitic-induced error |
-
1999
- 1999-09-09 KR KR1019990038300A patent/KR100363783B1/en not_active IP Right Cessation
-
2000
- 2000-09-08 JP JP2000273100A patent/JP3421310B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100832411B1 (en) * | 2004-06-16 | 2008-05-26 | 에이엠아이 세미컨덕터, 인코포레이티드 | A method and system for detecting and compensating response of sensor, a sensor module and a method of calibraing the same, and an integrated circuit |
| CN114018233A (en) * | 2021-04-01 | 2022-02-08 | 东方空间技术(山东)有限公司 | Temperature compensation method and device of micromechanical gyroscope |
| CN114018233B (en) * | 2021-04-01 | 2023-03-14 | 东方空间技术(山东)有限公司 | Temperature compensation method and device of micromechanical gyroscope |
| CN114018235A (en) * | 2021-09-27 | 2022-02-08 | 北京控制工程研究所 | Full-temperature full-dynamic pulse compensation method for wide-range fiber-optic gyroscope |
| CN114018235B (en) * | 2021-09-27 | 2022-08-12 | 北京控制工程研究所 | Full-temperature full-dynamic pulse compensation method for wide-range fiber-optic gyroscope |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001099658A (en) | 2001-04-13 |
| KR100363783B1 (en) | 2002-12-11 |
| JP3421310B2 (en) | 2003-06-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6360601B1 (en) | Microgyroscope with closed loop output | |
| US5806364A (en) | Vibration-type angular velocity detector having sensorless temperature compensation | |
| US9605964B2 (en) | Gyro quadrature stabalization with demodulation phase error nulling | |
| US9846055B2 (en) | Continuous mode reversal for rejecting drift in gyroscopes | |
| JP5725687B2 (en) | Micromechanical rotational speed sensor | |
| US6621279B2 (en) | Drive feedthrough nulling system | |
| US6327907B1 (en) | Microgyroscope having asymmetric comb sensors | |
| US8800371B2 (en) | Electrostatic force generator and force measurement system and accelerometer having the same | |
| US10418962B2 (en) | System and method for resonator amplitude control | |
| KR100363782B1 (en) | Automatic gain control circuit of excitation driving voltage of microgyroscope | |
| KR100363783B1 (en) | Circuit for compensating angular velocity output in microgyroscope | |
| JP2007255890A (en) | Gyroscope device | |
| US20100122577A1 (en) | Evaluation electronics system for a rotation-rate sensor | |
| JPH10221083A (en) | Vibration-type gyro apparatus | |
| EP0835453B1 (en) | Ratiometric circuit | |
| US6301963B1 (en) | Microgyroscope having inner and outer mass parts | |
| Sung et al. | Development and test of MEMS accelerometer with self-sustatined oscillation loop | |
| US11274925B2 (en) | Readout circuit for a MEMS gyroscope and method for operating such a readout circuit | |
| US6316942B1 (en) | Electrical potential sensor | |
| JP7302129B2 (en) | Gyro device and control method for gyro device | |
| Geiger et al. | Improved Rate Gyroscope Designs Designated for Fabrication by Modern Deep Silicon Etching | |
| US6765305B2 (en) | Sensor-independent oscillation amplitude control | |
| JPH0814916A (en) | Vibration gyro detection circuit | |
| JP2548679B2 (en) | Vibrating gyroscope | |
| JPS6338110A (en) | Gyro device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121002 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130916 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141001 Year of fee payment: 13 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |