KR20010013053A - Electronic component-protecting material - Google Patents

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KR20010013053A KR19997011029A KR19997011029A KR20010013053A KR 20010013053 A KR20010013053 A KR 20010013053A KR 19997011029 A KR19997011029 A KR 19997011029A KR 19997011029 A KR19997011029 A KR 19997011029A KR 20010013053 A KR20010013053 A KR 20010013053A
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쓰노가에야스오
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나까노 가쯔히꼬
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Abstract

Electronic component-protecting material excellent in mechanical properties, electric properties, heat resistance and chemical resistance and reduced in water absorption, made from a curable resin composition comprising (A) a cyclic olefinic polymer having a number-average molecular weight of 1,000 to 500,000 and (B) at least one curing agent selected from the group consisting of organic peroxides, curing agents which exhibit their effects upon heating and curing agents which exhibit their effects upon irradiation with a light.

Description

전자 부품 보호 재료{ELECTRONIC COMPONENT-PROTECTING MATERIAL}Electronic component protection material {ELECTRONIC COMPONENT-PROTECTING MATERIAL}

최근, 고도정밀화 사회의 급격한 진전에 따라 컴퓨터나 통신기기 등의 정보처리기기의 처리능력의 향상, 즉 고속화가 요구되고 있다. 또한, 정보통신망의 발달에 따라 그 통신파장영역의 확대가 필요해지며, 특히 ㎓ (기가헤르츠) 의 고주파영역의 통신파장으로 작동하는 통신기기의 개발이 서둘러지고 있다.In recent years, with the rapid progress of the high-precision society, there is a demand for improving the processing capacity of information processing devices such as computers and communication devices, that is, increasing the speed. In addition, with the development of the information communication network, it is necessary to expand the communication wavelength region, and in particular, the development of a communication device that operates with the communication wavelength of the high frequency region of GHz (GHz) is rushing.

이러한 요구에 부응해서 정보처리속도의 고속화, 통신파장영역의 고주파화를 달성하기 위하여, 예컨대 정보처리기기에 사용되는 반도체 칩 등의 전자 부품의 작동주파수가 종래의 100 ㎒ 정도에서 400 ㎒ 이상으로 고속화되고, 또한 통신기기에 사용되는 파장영역도 종래의 수십 ㎓ 에서 50 ㎓ 이상으로 초고주파화되고 있다.In order to meet such demands, in order to speed up the information processing speed and to increase the frequency of the communication wavelength range, for example, the operating frequency of electronic components such as semiconductor chips used in information processing equipment is increased to 400 MHz or more from the conventional 100 MHz. In addition, the wavelength range used for the communication equipment is also very high frequency, from the conventional tens of GHz to 50 GHz or more.

이러한 전자 부품은 소형화·고속화를 실현하기 위한 고밀도화나 고주파화의 상태에서 충분한 성능을 이끌어내기 위하여 보다 고도의 신뢰성이 요구된다. 따라서, 이들 전자 부품에 사용되는 봉지 재료나 오버코트재 등의 각종 보호 재료에 대해서도 고도의 신뢰성이 요구되어지고 있다.Such electronic components are required to have higher reliability in order to achieve sufficient performance in a state of high density or high frequency for realizing miniaturization and high speed. Therefore, high reliability is demanded also about various protective materials, such as the sealing material and overcoat material used for these electronic components.

보다 구체적으로 전자 부품 봉지 재료나 오버코트재에는, 특히 기계강도, 내열성, 저흡습성, 유전특성, 저불순물성 등이 현저하면서 종합적으로 향상되는 것이 요망되고 있다. 이를 위한 연구개발도 수많이 이루어지고 있다.More specifically, it is desired that mechanical strength, heat resistance, low hygroscopicity, dielectric properties, low impurity properties, etc. are remarkably and comprehensively improved in electronic component sealing materials and overcoat materials. There is also a lot of research and development.

종래, 컴퓨터의 중앙연산처리장치나 메모리 등으로 대표되는 반도체소자 등의 전자 부품의 봉지 재료로서, 크레졸 노볼락형 에폭시 수지를 주성분으로 한 봉지재가 널리 사용되고 있다. 그러나 이 봉지재를 사용해서 제조한 전자 부품은, 회로기판으로의 실장시의 땜납리 플로우시에 흡습한 에폭시 수지 봉지재중의 수분이 땜납의 고온으로 인해 기화, 발포되는 문제가 있었다. 또한, 에폭시 수지 봉지재는 기계강도 및 내열성이 부족하기 때문에, 상기 발포의 영향으로 인해 봉지재와 전자소자의 계면에 크랙이 발생하여 부품의 신뢰성을 해치는 것이 큰 문제가 되었다.Background Art Conventionally, a sealing material mainly composed of a cresol novolak type epoxy resin has been widely used as a sealing material for electronic components such as semiconductor devices such as a central processing unit of a computer, a memory, or the like. However, electronic components manufactured using this encapsulant have a problem in that moisture in the epoxy resin encapsulant absorbed during soldering flow at the time of mounting on a circuit board vaporizes and foams due to the high temperature of the solder. In addition, since the epoxy resin encapsulant lacks mechanical strength and heat resistance, cracking occurs at the interface between the encapsulant and the electronic device due to the foaming, which is a major problem to compromise the reliability of the part.

이와 같은 상황속에서 내열성, 저흡습성, 유전특성, 저불순물성이 뛰어난 열가소성 노르보르넨계 수지를 사용하여 반도체소자나 광소자 등을 봉지하는 기술이 연구되고 있다. 예컨대, 일본 공개특허공보 소62-27412 호에는 테트라시클로도데센과 에틸렌의 부가형 공중합체를 알릴글리시딜에테르나 무수말레산으로 그라프트 변성시킨 변성물을 사용하는 방법이 제안되어 있다. 일본 공개특허공보 평6-188336 호 및 평7-18161 호에는 메틸메톡시카르보닐테트라시클로도데센의 개환 중합체에 의해 광반도체소자를 봉지하는 방법이 개시되어 있다. 그러나, 이러한 봉지법에 사용되고 있는 열가소성 노르보르넨계 수지는, 열가소성이고 또한 열변형온도가 높지 않기 때문에 봉지된 전자 부품을 회로기판상에 표면실장할 때의 땜납리 플로우온도 (230 ℃ 이상) 로 변형되거나, 3 차원 가교 (경화) 되어 있지 않기 때문에 열팽창계수가 커서 반도체 칩과 봉지재 사이의 선팽창계수의 차의 영향으로 인해 히트사이클시험 등으로 패키지 크랙이 발생한다는 문제점이 있었다.In such a situation, a technique for encapsulating a semiconductor device or an optical device using a thermoplastic norbornene-based resin having excellent heat resistance, low hygroscopicity, dielectric properties, and low impurity has been studied. For example, Japanese Laid-Open Patent Publication No. 62-27412 proposes a method of using a modified product obtained by graft-modifying an adduct copolymer of tetracyclododecene and ethylene with allyl glycidyl ether or maleic anhydride. JP-A-6-188336 and JP-A-7-18161 disclose a method of encapsulating an optical semiconductor device with a ring-opening polymer of methylmethoxycarbonyltetracyclododecene. However, the thermoplastic norbornene-based resin used in this encapsulation method is deformed to the soldering flow temperature (230 ° C or higher) when the encapsulated electronic component is surface mounted on a circuit board because it is thermoplastic and does not have a high heat deformation temperature. Since the thermal expansion coefficient is not large because it is not three-dimensional crosslinked (hardened), there is a problem that a package crack occurs due to a heat cycle test or the like due to the influence of the difference of the linear expansion coefficient between the semiconductor chip and the encapsulant.

일본 공개특허공보 평6-318651 호에는 열가소성 노르보르넨계 수지를 불포화 실란과 라디칼발생제의 존재하에서 발생시켜 변성한 후에, 디부틸주석라우레이트 등의 실란올축합촉매를 배합한 가교성 열가소성 노르보르넨계 수지에 의해 전자소자를 봉지하고, 100 ℃ 의 열수로 2 시간 처리하여 가교시키는 기술이 개시되어 있다. 그러나 이 가교반응은 수분의 컨트롤이 어렵고, 그 결과 가교밀도가 충분히 올라가지 않는다는 문제가 있었다. 또한, 이 방법은 열수처리에 의해 전자소자의 부식이 촉진되는 문제가 있었다.JP-A-6-318651 discloses a crosslinkable thermoplastic norbor in which a thermoplastic norbornene-based resin is generated and modified in the presence of an unsaturated silane and a radical generator, and then formulated with a silanol condensation catalyst such as dibutyltin laurate. A technique is disclosed in which an electronic device is encapsulated with a nene resin, treated with 100 ° C hot water for 2 hours, and crosslinked. However, this crosslinking reaction is difficult to control moisture, and as a result, there is a problem that the crosslinking density does not sufficiently increase. In addition, this method has a problem in that corrosion of electronic devices is promoted by hydrothermal treatment.

한편, 컴퓨터의 중앙연산처리장치나 메모리 등으로 대표되는 반도체소자 등의 전자 부품의 오버코터재 중 하나로서, 버퍼코트막이나 패시베이션막이 있다. 이들 오버코트막을 형성하기 위해서는 종래부터 폴리이미드수지를 주성분으로 한 재료가 사용되고 있다. 그러나, 종래의 오버코트재는 내약품성이나 저흡습성이 불충분하기 때문에 에폭시 수지를 주성분으로 한 보호막으로 이중으로 더욱 보호하고 있다.On the other hand, as one of overcoat materials for electronic components such as semiconductor devices such as a central processing unit of a computer, a memory, or the like, there are a buffer coat film and a passivation film. In order to form these overcoat films, the material which has made polyimide resin the main component conventionally is used. However, since the conventional overcoat material is insufficient in chemical resistance and low hygroscopicity, double protection is further provided by a protective film mainly composed of an epoxy resin.

열가소성 노르보르넨계 수지를 퍼옥시드 등의 유기과산화물로 가교시켜 회로기판에 이용하는 기술 (일본 공개특허공보 평6-248164), 극성기를 도입한 열가소성 노르보르넨계 수지를 방향족계 비스아지드화합물이나 광아민발생제 등의 광경화제를 사용하여 경화시켜 회로기판의 층간절연막에 사용하는 기술 (일본 공개특허공보 평8-259784 호) 도 제안되어 있다. 그러나, 이들 재료를 봉지 재료로서 사용하는 것은 제안되어 있지 않다. 또한, 이들 재료는 그대로 봉지 재료로서 사용한 것에서는 봉지재의 크랙 발생 등을 효과적으로 방지하기가 어렵다. 그리고, 이들 재료의 대부분은 오버코트막으로서의 내열성이 충분치 못하다.A technique in which a thermoplastic norbornene-based resin is crosslinked with an organic peroxide such as peroxide and used for a circuit board (Japanese Patent Laid-Open No. Hei 6-248164), and a thermoplastic norbornene-based resin having a polar group introduced therein may be an aromatic bisazide compound or a photoamine. A technique (Japanese Patent Application Laid-open No. Hei 8-259784) for curing using a photocuring agent such as a generator and using it for an interlayer insulating film of a circuit board is also proposed. However, it is not proposed to use these materials as the sealing material. In addition, when these materials are used as the sealing material as they are, it is difficult to effectively prevent the occurrence of cracks in the sealing material. And most of these materials do not have sufficient heat resistance as an overcoat film.

종래, 열경화성 폴리페닐렌에테르수지를 전자 부품의 오버코트재로서 사용하는 방법이 수많이 제안되어 있다. 그러나, 이 수지는 특히 산이나 알칼리 등에 대한 내가수분해성에 대해서는 에폭시 수지보다 뛰어나지만 충분치는 못해서 단독으로는 사용이 어렵다는 문제가 있었다.Background Art Conventionally, a number of methods using thermosetting polyphenylene ether resins as overcoat materials for electronic parts have been proposed. However, this resin is superior to epoxy resins especially in respect of hydrolysis resistance to acids, alkalis and the like, but it is not sufficient and has a problem that it is difficult to use alone.

발명의 개시Disclosure of the Invention

본 발명의 목적은 기계적 강도, 전기적 특성, 내열성, 저흡수성, 내약품성 등이 뛰어난 전자 부품 보호 재료를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide an electronic component protective material excellent in mechanical strength, electrical properties, heat resistance, low absorption, chemical resistance and the like.

보다 구체적으로 본 발명의 목적은 전자 부품 봉지 재료로서 충분한 기계강도를 가지며, 열경화가 가능하고, 내열성, 저흡수성, 유전특성이 뛰어난 재료를 제공하는 데 있다.More specifically, an object of the present invention is to provide a material having sufficient mechanical strength as the electronic component encapsulation material, capable of thermal curing, and excellent in heat resistance, low water absorption, and dielectric properties.

또한, 본 발명의 목적은 내약품성, 내습성, 내열성, 기계강도, 전기특성 등의 밸런스가 뛰어나며, 특히 내열성이 현저하게 개선된 오버코트재를 제공하는 데 있다.It is also an object of the present invention to provide an overcoat material which is excellent in balance of chemical resistance, moisture resistance, heat resistance, mechanical strength, electrical properties, and the like, and in particular, heat resistance is remarkably improved.

본 발명자들은 상기 과제를 해결하기 위하여 예의 연구한 거듭한 결과, 수 평균 분자량 1,000 ∼ 500,000 의 환상 올레핀계 중합체와 경화제 (수가교계 경화제를 제외함) 를 함유하는 경화성 수지 조성물로 이루어지는 전자 부품 보호 재료에 상도하였다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM The present inventors earnestly researched in order to solve the said subject, As a result, in the electronic component protective material which consists of curable resin composition containing the cyclic olefin type polymer of number average molecular weights 1,000-500,000, and a hardening | curing agent (except a water-based hardening | curing agent), It was overlaid.

이 환상 올레핀계 중합체는, 경화제로 가교시킴으로써 가교밀도가 충분히 향상되어 기계강도 및 내열성이 대폭 향상되어 히트사이클이나 프레셔쿠커 등의 신뢰성시험이나 실장시의 크랙 발생을 대폭 저감시킬 수 있음을 발견하였다. 이 경화성 수지 조성물은 3 차원적으로 가교할 수 있기 때문에, 유리전이온도가 동등한 열가소성 수지에 비하여 내열성 및 기계적 물성이 현저하게 향상된다. 또한, 환상 올레핀계 중합체로서 높은 유리전이온도를 갖는 폴리머를 사용하면, 내열성을 더욱 개선시킬 수 있다.The crosslinking density was sufficiently improved by crosslinking the cyclic olefin polymer with a curing agent, and the mechanical strength and the heat resistance were greatly improved, and it was found that the generation of cracks during reliability tests such as heat cycles and pressure cookers and the packaging could be greatly reduced. Since this curable resin composition can be cross-linked three-dimensionally, heat resistance and mechanical properties are remarkably improved compared with the thermoplastic resin whose glass transition temperature is equal. In addition, when a polymer having a high glass transition temperature is used as the cyclic olefin polymer, heat resistance can be further improved.

본 발명에 의하면 (A) 수 평균 분자량 1,000 ∼ 500,000 의 환상 올레핀계 중합체와, (B) 유기과산화물, 열에 의해 효과를 발휘하는 경화제 및 빛에 의해 효과를 발휘하는 경화제로 이루어지는 군에서 선택된 1 종 이상의 경화제를 함유하는 경화성 수지 조성물로 이루어지는 전자 부품 보호 재료가 제공된다.According to the present invention, at least one member selected from the group consisting of (A) a cyclic olefin polymer having a number average molecular weight of 1,000 to 500,000, (B) an organic peroxide, a curing agent that is effective by heat, and a curing agent that is effective by light The electronic component protective material which consists of curable resin composition containing a hardening | curing agent is provided.

전자 부품 보호 재료로서는 봉지 재료 및 오버코트재가 대표적인 것이다. 그리고, 본 발명의 보호 재료는 사용하는 경화성 수지 조성물의 각 성분, 특히 환상 올레핀계 중합체의 종류나 물성을 제어함으로써, 각각의 용도에 적합한 고도의 특성을 부여할 수 있다.As an electronic component protection material, sealing material and overcoat material are typical. And the protective material of this invention can provide the high characteristic suitable for each use by controlling each component of the curable resin composition to be used, especially the kind and physical property of a cyclic olefin polymer.

또한 본 발명에 의하면, 이와 같은 뛰어난 제특성을 갖는 보호 재료에 의해 전자 부품이 봉지 또는 오버코트된 전자 부품 패키지가 제공된다. 그리고 본 발명에 의하면, 이와 같은 보호 재료를 사용한 봉지 방법이 제공된다.According to the present invention, there is provided an electronic component package in which an electronic component is sealed or overcoated by a protective material having such excellent properties. And according to this invention, the sealing method using such a protective material is provided.

본 발명은 이러한 지견에 의거하여 완성된 것이다.The present invention has been completed based on these findings.

본 발명은 전자 부품 보호 재료에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기계적 특성, 전기적 특성, 내열성, 저흡수성 (내습성), 내약품성이 뛰어난 전자 부품 보호 재료에 관한 것이다. 본 발명의 전자 부품 보호 재료는 전자 부품의 봉지 재료 및 오버코트재로서 특히 바람직하다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electronic component protection material, and more particularly, to an electronic component protection material excellent in mechanical properties, electrical properties, heat resistance, low absorption (moisture resistance), and chemical resistance. The electronic component protective material of the present invention is particularly preferable as a sealing material and overcoat material for electronic components.

또한, 본 발명은 이와 같은 전자 부품 보호 재료에 의해 봉지 또는 오버코트된 전자 부품 패키지, 봉지 방법에 관한 것이다.The present invention also relates to an electronic component package and a sealing method encapsulated or overcoated by such an electronic component protective material.

본 발명의 전자 부품 보호 재료는, 수 평균 분자량 1,000 ∼ 500,000 의 환상 올레핀계 중합체와 경화제를 함유하는 경화성 수지 조성물로 구성된다. 전자 부품 보호 재료로서는, 전자 부품 봉지 재료 및 전자 부품 오버코트재가 대표적인 것이다.The electronic component protective material of this invention is comprised from curable resin composition containing the cyclic olefin type polymer of number average molecular weights 1,000-500,000, and a hardening | curing agent. As an electronic component protective material, an electronic component sealing material and an electronic component overcoat material are typical.

본 발명에 있어서의 전자 부품 오버코트재란 (1) 반도체 베어 칩상의 미세배선의 보호 [소자 (반도체) 와 외적 요인의 쿠션재, 예컨대 선팽창율의 차이로 인해 발생하는 스트레스의 흡수] 나 봉지재에 함유되는 필러가 방출하는 α선을 차폐할 목적으로 사용되는 버퍼코트막, (2) 소자표면 (특히 배선) 의 보호막 (예컨대, 외적 오염물질 (유기, 산, 알칼리, 물), 필러접촉 등으로부터의 보호) 으로서의 패시베이션막, (3) 상기 버퍼코트막 또는 패시베이션막이 형성된 반도체 칩이나 반도체패키지 등을 봉지재나 외기로부터 더욱 보호하는 보호막 등으로서 사용할 수 있다.The electronic component overcoat material according to the present invention is contained in (1) protection of micro wiring on a semiconductor bare chip [absorption of stress caused by the difference between the element (semiconductor) and external factors, such as the coefficient of linear expansion, or an encapsulant. A buffer coat film used for the purpose of shielding α rays emitted by the filler, (2) a protective film on the surface of the device (especially wiring) (e.g., from external contaminants (organic, acid, alkali, water), filler contact, etc.). (3) a passivation film as a protective layer, and (3) a semiconductor chip, a semiconductor package, or the like, on which the buffer coat film or the passivation film is formed, can be used as a sealing film or a protective film for further protecting from outside air.

종래, 상기 (1) ∼ (3) 의 오버코트재는 각각 최적의 재료를 2 종류 이상 조합하여 사용하였으나, 본 발명의 오버코트재는 이들 (1) ∼ (3) 의 모든 기능을 가지며, 1 종류의 재료로 대용할 수 있는 신규한 오버코트재를 말한다.Conventionally, although the overcoat material of said (1)-(3) was used combining two or more types of optimal materials, respectively, the overcoat material of this invention has all the functions of these (1)-(3), and is made of one kind of material The new overcoat material which can substitute.

[환상 올레핀계 중합체][Cyclic olefin polymer]

본 발명에서 사용하는 환상 올레핀계 중합체는, 중합체의 전체반복단위중에 환상 올레핀계 단량체 유래의 반복단위를 함유하는 것이다. 환상 올레핀계 단량체 로서는, 예컨대 노르보르넨환을 갖는 지환족계 단량체, 단환의 환상 올레핀, 환상공액디엔 등을 들 수 있다. 이들 환상 올레핀계 단량체는 각각 단독이나 혹은 2 종류 이상을 조합하여 사용할 수 있고, 나아가서는 공중합가능한 다른 단량체와 공중합시킬 수 있다. 환상 올레핀계 단량체 유래의 반복단위는 환상 올레핀 단량체의 반복단위 뿐만 아니라 상기 반복단위가 변성된 것도 포함한다. 변성으로서는 수소첨가반응이나 극성기 함유 불포화화합물에 의한 그라프트 변성 반응 등을 들 수 있다.The cyclic olefin polymer used in the present invention contains a repeating unit derived from a cyclic olefin monomer in all the repeating units of the polymer. Examples of the cyclic olefin monomers include alicyclic monomers having a norbornene ring, monocyclic cyclic olefins and cyclic conjugated dienes. These cyclic olefin monomers can be used individually or in combination of 2 or more types, respectively, Furthermore, it can copolymerize with the other copolymerizable monomer. Repeating units derived from cyclic olefin monomers include not only the repeating units of the cyclic olefin monomers but also those in which the repeating units are modified. Examples of the modification include hydrogenation and graft modification by a polar group-containing unsaturated compound.

환상 올레핀계 단량체의 결합양식은 주쇄중에 환상구조를 도입할 수 있는 것이라면 특별히 한정되지 않으며, 부가중합 및 개환 중합 중 어느 것이어도 된다. 환상 올레핀계 중합체로서는, 예컨대 (1) 노르보르넨, 에틸리덴노르보르넨, 디시클로펜타디엔, 테트라시클로도데센 등의 노르보르넨환을 갖는 지환족계 단량체의 탄소-탄소불포화 결합을 부가중합한 부가중합체, (2) 노르보르넨환을 갖는 지환족계 단량체와 α-올레핀 등의 불포화단량체를 부가공중합한 부가공중합체, (3) 시클로펜텐, 시클로헥센 등의 단환의 환상 올레핀의 탄소-탄소불포화 결합을 부가중합한 부가중합체, (4) 시클로헥사디엔 등의 환상공액디엔을 1,4-부가중합한 부가중합체, (5) 노르보르넨환을 갖는 지환족계 단량체를 개환 중합시킨 개환 중합체 및 (6) 이들의 수소첨가물 등을 들 수 있다.The binding mode of the cyclic olefin monomer is not particularly limited as long as it can introduce a cyclic structure into the main chain, and may be any of addition polymerization and ring-opening polymerization. Examples of the cyclic olefin polymer include: (1) addition of a carbon-carbon unsaturated bond of an alicyclic monomer having a norbornene ring such as norbornene, ethylidene norbornene, dicyclopentadiene, and tetracyclododecene A carbon-carbon unsaturated bond of a polymer, (2) an additional copolymer obtained by addition copolymerization of an unsaturated monomer such as an alicyclic monomer having a norbornene ring and an α-olefin, and (3) a monocyclic cyclic olefin such as cyclopentene or cyclohexene. (B) ring-opening polymers obtained by ring-opening polymerization of an addition polymerized addition polymer, (4) a 1,4-addition polymerization product of cyclic conjugated dienes such as cyclohexadiene, (5) an alicyclic monomer having a norbornene ring, and (6) these Hydrogenated additives; and the like.

본 발명에서 사용하는 환상 올레핀계 중합체는 기계적 강도, 전기적 특성, 저흡수성이 양호하며, 또한 내열성이 뛰어난 것이 바람직하다. 이들 제특성이 뛰어난 점에서 환상 올레핀계 중합체로서는 열가소성 노르보르넨계 수지가 바람직하며, 특히 노르보르넨환을 갖는 지환족계 단량체 (즉, 노르보르넨계 모노머) 를 주성분으로 하는 부가(공)중합체 및 노르보르넨계 모노머의 개환 중합체의 수소첨가물 등의 열가소성 포화노르보르넨계 수지가 바람직하다. 또한, 내열성 등의 제특성이 뛰어난 점에서 1,3-시클로헥사디엔 등의 환상공액디엔의 1,4-부가형 중합체의 수소첨가물도 바람직하다.The cyclic olefin polymer used in the present invention preferably has good mechanical strength, electrical properties and low water absorption, and is excellent in heat resistance. Thermocyclic norbornene-based resins are preferred as the cyclic olefin polymers in view of these excellent properties, and in particular, addition (co) polymers and norbors mainly composed of alicyclic monomers (ie, norbornene-based monomers) having a norbornene ring Thermoplastic saturated norbornene-based resins such as hydrogenated products of the ring-opening polymer of the n-ene monomer are preferable. Moreover, the hydrogenated substance of the 1, 4- addition type polymer of cyclic conjugated diene, such as 1, 3- cyclohexadiene, is also preferable at the point which is excellent in various characteristics, such as heat resistance.

환상 올레핀계 중합체중의 환상 올레핀계 단량체 유래의 반복단위의 비율은 코모노머의 종류나 원하는 물성에 따라 적절히 정할 수 있는데, 중합체의 전체반복단위를 기준으로 통상 30 몰% 이상인 것이 기계적 강도, 전기적 특성, 저흡수성, 내열성 등의 관점에서 바람직하다. 환상 올레핀계 중합체중의 환상 올레핀계 단량체 유래의 반복단위는 고도의 내열성의 관점에서 바람직하게는 50 몰% 이상, 보다 바람직하게는 70 몰% 이상, 가장 바람직하게는 80 몰% 이상이다. 특히, 환상 올레핀계 중합체를 오버코트재로서 사용할 경우에는, 환상 올레핀계 중합체중의 환상 올레핀계 단량체 유래의 반복단위는 50 몰% 이상인 것이 바람직하다. 그 상한은 100 몰% 이다.The ratio of the repeating unit derived from the cyclic olefinic monomer in the cyclic olefinic polymer can be appropriately determined according to the type of comonomer or the desired physical properties, and the mechanical strength and the electrical properties are usually 30 mol% or more based on the total repeating units of the polymer. It is preferable from the viewpoint of low water absorption, heat resistance and the like. The repeating unit derived from the cyclic olefin monomer in the cyclic olefin polymer is preferably 50 mol% or more, more preferably 70 mol% or more, and most preferably 80 mol% or more from the viewpoint of high heat resistance. In particular, when using a cyclic olefin polymer as an overcoat material, it is preferable that the repeating unit derived from the cyclic olefin monomer in a cyclic olefin polymer is 50 mol% or more. The upper limit is 100 mol%.

환상 올레핀계 중합체는 시차주사열량계 (DSC) 로 측정한 유리전이온도 (Tg) 가 통상 100 ℃ 이상, 바람직하게는 120 ℃ 이상, 보다 바람직하게는 140 ℃ 이상인 것이 바람직하다. 환상 올레핀계 중합체의 Tg 가 비교적 낮아도 경화제로 경화함으로써, 봉지재의 용도 등에서는 대부분의 경우 필요한 내열성을 얻을 수 있다. 그리고, 고도의 내열성이 요구되는 경우에는 환상 올레핀계 중합체의 Tg 는 통상 150 ℃ 이상, 바람직하게는 160 ℃ 이상, 보다 바람직하게는 170 ℃ 이상인 것이 바람직하다. 특히, 환상 올레핀계 중합체를 오버코트재로서 사용하는 경우에는 Tg 가 160 ℃ 이상인 것이 바람직하고, 170 ℃ 이상인 것이 더욱 바람직하다. 환상 올레핀계 중합체는 고도의 내열성이 요구되는 경우, 단량체의 종류, 중합방법, 분자량, 변성 방법 등을 조정함으로써, Tg 가 200 ℃ 이상, 대부분의 경우 250 ℃ 이상, 나아가서는 300 ℃ 이상인 것을 얻을 수 있다. 환상 올레핀계 중합체의 Tg 가 높기 때문에, 상기 중합체를 사용해서 전자 부품의 봉지 등의 보호를 실시하면, 내열성이 뛰어난 봉지부나 보호막을 형성할 수 있으므로, 전자 부품의 신뢰성이 대폭 향상된다.The cyclic olefin polymer preferably has a glass transition temperature (Tg) measured by a differential scanning calorimeter (DSC) of usually 100 ° C or higher, preferably 120 ° C or higher, and more preferably 140 ° C or higher. Even if Tg of a cyclic olefin type polymer is comparatively low, by hardening | curing with a hardening | curing agent, the heat resistance required in many cases can be obtained in the use of a sealing material. And when high heat resistance is calculated | required, Tg of a cyclic olefin type polymer is 150 degreeC or more normally, Preferably it is 160 degreeC or more, More preferably, it is preferable that it is 170 degreeC or more. In particular, when using a cyclic olefin polymer as an overcoat material, it is preferable that Tg is 160 degreeC or more, and it is more preferable that it is 170 degreeC or more. When high heat resistance is required for the cyclic olefin polymer, by adjusting the type of monomer, polymerization method, molecular weight, modification method, etc., a Tg of 200 ° C. or higher, in most cases 250 ° C. or higher, and even 300 ° C. or higher can be obtained. have. Since Tg of a cyclic olefin type polymer is high, when sealing of electronic components etc. using the said polymer can be performed, the sealing part and protective film which are excellent in heat resistance can be formed, and reliability of an electronic component improves significantly.

본 발명에서 사용하는 환상 올레핀계 중합체의 분자량은, 겔·퍼미에이션·크로마토그래피 (GPC) 로 측정한 폴리스티렌 환산의 수 평균 분자량 (Mn) 으로 나타내면, 1,000 ∼ 500,000, 바람직하게는 3,000 ∼ 300,000, 보다 바람직하게는 5,000 ∼ 250,000, 가장 바람직하게는 10,000 ∼ 200,000 의 범위이다.When the molecular weight of the cyclic olefin polymer used by this invention is represented by the number average molecular weight (Mn) of polystyrene conversion measured by the gel permeation chromatography (GPC), it is 1,000-500,000, Preferably it is 3,000-300,000, More Preferably it is 5,000-250,000, Most preferably, it is the range of 10,000-200,000.

환상 올레핀계 중합체의 수 평균 분자량이 너무 작으면 봉지부나 보호막의 강도가 저하되어 크랙 등이 발생하는 원인이 되고, 반대로 수 평균 분자량이 너무 크면 중합체의 점도가 너무 커서 성형성이 악화되어 바람직하지 못하다. 따라서, 수 평균 분자량이 상기 범위에 있으면, 봉지부나 보호막의 강도와 점도 및 가공성이 적당하게 밸런스되어 특히 바람직하다.If the number average molecular weight of the cyclic olefin polymer is too small, the strength of the encapsulation portion or the protective film is lowered, which causes cracking. On the contrary, if the number average molecular weight is too large, the viscosity of the polymer is too large and moldability deteriorates, which is not preferable. . Therefore, when a number average molecular weight exists in the said range, the strength, viscosity, and workability of a sealing part and a protective film are suitably balanced, and it is especially preferable.

환상 올레핀계 중합체는 금속 배선 등과의 밀착성 향상 등을 목적으로 하여 극성기 (관능기) 를 함유하는 것이 바람직하다. 환상 올레핀계 중합체에 극성기를 함유시키는 방법으로서는, 환상 올레핀계 중합체를 변성하는 방법과 극성기를 갖는 환상 올레핀계 단량체를 (공)중합하는 방법을 들 수 있다.It is preferable that a cyclic olefin type polymer contains a polar group (functional group) for the purpose of improving adhesiveness with metal wiring, etc. As a method of containing a polar group in a cyclic olefin polymer, the method of modifying a cyclic olefin polymer and the method of (co) polymerizing the cyclic olefin monomer which has a polar group are mentioned.

[환상 올레핀계 단량체][Cyclic Olefin Monomer]

환상 올레핀계 중합체의 주성분이 되는 환상 올레핀계 단량체는 탄소-탄소불포화 결합을 갖는 환상의 탄화수소화합물이라면 특별히 한정되지는 않지만, 주된 것에는 (1) 노르보르넨환을 갖는 지환족계 단량체 (노르보르넨계 모노머), (2) 단환의 환상 올레핀계 단량체 및 (3) 환상공액디엔계 단량체를 들 수 있다.The cyclic olefin monomer which is the main component of the cyclic olefin polymer is not particularly limited as long as it is a cyclic hydrocarbon compound having a carbon-carbon unsaturated bond, but the main ones include (1) an alicyclic monomer having a norbornene ring (norbornene monomer) And (2) monocyclic cyclic olefin monomers and (3) cyclic conjugated diene monomers.

(1) 노르보르넨환을 갖는 지환족계 단량체(1) alicyclic monomer having a norbornene ring

노르보르넨환을 갖는 지환족계 단량체는 일본 공개특허공보 평5-320268 호나 평2-36224 호 등에 기재되어 있는 노르보르넨환을 갖는 지환족계 단량체이다. 이들 노르보르넨환을 갖는 지환족계 단량체는 각각 단독이나 혹은 2 종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.The alicyclic monomer having a norbornene ring is an alicyclic monomer having a norbornene ring described in JP-A-5-320268, JP-A 2-36224 and the like. The alicyclic monomers having these norbornene rings may be used alone or in combination of two or more thereof.

노르보르넨환을 갖는 지환족계 단량체로서는 (a) 노르보르넨, 테트라시클로도데센, 이들의 알킬치환체 등의 중합반응에 관여하는 탄소-탄소불포화 결합 이외의 불포화 결합을 갖지 않는 단량체, (b) 에틸리덴노르보르넨, 비닐노르보르넨, 에틸리덴테트라시클로도데센, 디시클로펜타디엔 등의 중합반응에 관여하는 탄소-탄소불포화 결합 이외의 불포화 결합을 갖는 단량체, (c) 디메타노테트라히드로플루오렌, 페닐노르보르넨 등의 방향환을 갖는 단량체, (d) 메톡시카르보닐노르보르넨, 메톡시카르보닐테트라시클로도데센 등의 극성기를 갖는 단량체 등을 들 수 있다. 보다 상세하게는 다음과 같다.Examples of the alicyclic monomer having a norbornene ring include (a) monomers having no unsaturated bonds other than carbon-carbon unsaturated bonds involved in polymerization reactions such as norbornene, tetracyclododecene, and alkyl substituents thereof, and (b) ethyl Monomers having unsaturated bonds other than carbon-carbon unsaturated bonds involved in polymerization reactions such as lidene norbornene, vinyl norbornene, ethylidene tetracyclododecene, dicyclopentadiene, and (c) dimethanotetrahydroflu The monomer which has aromatic rings, such as orene and phenyl norbornene, (d) Monomer which has polar groups, such as methoxycarbonyl norbornene and methoxycarbonyl tetracyclo dodecene, etc. are mentioned. In more detail as follows.

(a) 중합반응에 관여하는 탄소-탄소불포화 결합 이외에 불포화 결합을 갖지 않는 단량체의 구체예로서는, 예컨대 비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-메틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-에틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-부틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-헥실비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-데실비시클로[2.2.1]헵트-2-엔 등의 비시클로[2.2.1]헵트-2-엔 유도체 (노르보르넨류); 테트라시클로[4.4.12,5.17,10.0]-도데카-3-엔, 8-메틸테트라시클로[4.4.12,5.17,10.0]-도데카-3-엔, 8-에틸테트라시클로[4.4.12,5,17,10.0]-도데카-3-엔 등의 테트라시클로[4.4.12,5, 17,10.0]-도데카-3-엔 유도체 (테트라시클로도데센류); 트리시클로[4.3.12,5.0]-데카-3-엔; 5-시클로헥실비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-시클로펜틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔 등의 환상치환기를 갖는 비시클로[2.2.1]헵트-2-엔 유도체 등을 들 수 있다.(a) As a specific example of the monomer which does not have an unsaturated bond other than the carbon-carbon unsaturated bond which participates in a polymerization reaction, it is bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-methyl bicyclo [2.2.1] hept-, for example. 2-ene, 5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-butylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hexylbicyclo [2.2.1] hept-2- Bicyclo [2.2.1] hept-2-ene derivatives (norbornenes) such as N, 5-decylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene; Tetracyclo [4.4.1 2,5 .1 7,10 .0] -dodeca-3-ene, 8-methyltetracyclo [4.4.1 2,5 .1 7,10 .0] -dodeca-3 -ene, 8-ethyl tetracyclo [4.4.1 2,5, 1 7,10 .0] - dodeca-3-ene, such as the tetracyclo [4.4.1 2,5, 1 7,10 .0] - Dodeca-3-ene derivatives (tetracyclododecenes); Tricyclo [4.3.1 2,5.0 ] -deca-3-ene; Bicyclo [2.2.1] hept-2- which has cyclic substituent, such as 5-cyclohexyl bicyclo [2.2.1] hept-2-ene and 5-cyclopentyl bicyclo [2.2.1] hept-2-ene Ene derivatives; and the like.

(b) 중합반응에 관여하는 탄소-탄소불포화 결합 이외에 불포화 결합을 갖는 단량체의 구체예로서는, 예컨대 5-에틸리덴비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-비닐비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-프로페닐비시클로[2.2.1]헵트-2-엔 등의 환 이외에 불포화 결합을 갖는 비시클로[2.2.1]헵트-2-엔 유도체; 8-메틸리덴테트라시클로[4.4.12,5.17,10.0]-도데카-3-엔, 8-에틸리덴테트라시클로[4.4.12,5.17,10.0]-도데카-3-엔, 8-비닐테트라시클로[4.4.12,5.17,10.0]-도데카-3-엔, 8-프로페닐테트라시클로[4.4.12,5.17,10.0]-도데카-3-엔 등의 환 이외에 불포화 결합을 갖는 테트라시클로[4.4.12,5.17,10.0]-도데카-3-엔 유도체; 트리시클로[4.3.12,5.0]-데카-3,7-디엔; 5-시클로헥세닐비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-시클로펜테닐비시클로[2.2.1]헵트-2-엔 등의 불포화 결합을 갖는 환상치환기를 갖는 비시클로[2.2.1]헵트-2-엔 유도체 등을 들 수 있다.(b) Specific examples of the monomer having an unsaturated bond in addition to the carbon-carbon unsaturated bonds involved in the polymerization reaction include, for example, 5-ethylidenebicyclo [2.2.1] hept-2-ene and 5-vinylbicyclo [2.2.1 Bicyclo [2.2.1] hept-2-ene derivatives having an unsaturated bond in addition to rings such as] hept-2-ene and 5-propenylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene; 8-methylidenetetracyclo [4.4.1 2,5 .1 7,10 .0] -dodeca-3-ene, 8-ethylidenetetracyclo [4.4.1 2,5 .1 7,10 .0] -Dodeca-3-ene, 8-vinyltetracyclo [4.4.1 2,5 .1 7,10 .0] -dodeca-3-ene, 8-propenyltetracyclo [4.4.1 2,5 . 1 .0 7,10] - dodeca-3-en tetracyclo having an unsaturated bond in addition to the ring, such as [4.4.1 2,5 .1 7,10 .0] - dodeca-3-ene derivative; Tricyclo [4.3.1 2,5 .0] -deca-3,7-diene; Bicyclo [2.2.1 having a cyclic substituent having an unsaturated bond such as 5-cyclohexenylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene and 5-cyclopentenylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene ] Hept-2-ene derivative etc. are mentioned.

(c) 방향환을 갖는 단량체의 구체예로서는, 예컨대 5-페닐비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 테트라시클로[6.5.12,5.01,6.08,13]트리데카-3,8,10,12-테트라엔(1,4-메타노-1,4,4a,9a-테트라히드로플루오렌이라고도 함), 테트라시클로[6.6.12,5.01,6.08,13]테트라데카-3,8,10,12-테트라엔(1,4-메타노-1,4,4a,5,10,10a-헥사히드로안트라센이라고도 함) 등을 들 수 있다.(c) Specific examples of the monomer having an aromatic ring, such as 5-phenyl-bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, tetracyclo [6.5.1 2,5 .0 1,6 .0 8,13] Tree Deca-3,8,10,12-tetraene (also known as 1,4-methano-1,4,4a, 9a-tetrahydrofluorene), tetracyclo [6.6.1 2,5 .0 1,6 .0 8,13 ] tetradeca-3,8,10,12-tetraene (also called 1,4-methano-1,4,4a, 5,10,10a-hexahydroantracene), and the like. .

(d) 극성기 (관능기) 를 갖는 단량체의 구체예로서는, 예컨대 5-메톡시카르보닐비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-에톡시카르보닐비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-메틸-5-메톡시카르보닐비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-메틸-5-에톡시카르보닐비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 비시클로[2.2.1]헵트-5-에닐-2-메틸프로피오네이트, 비시클로[2.2.1]헵트-5-에닐-2-메틸옥타네이트, 비시클로[2.2.1]헵트-2-엔-5,6-디카르복실산무수물, 5-히드록시메틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5,6-디(히드록시메틸)비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-히드록시-i-프로필비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5,6-디카르복시비시클로[2.2.1]헵트-2-엔 등의 산소원자를 함유하는 치환기를 갖는 비시클로[2.2.1]헵트-2-엔 유도체; 8-메톡시카르보닐테트라시클로[4.4.12,5.17,10.0]-도데카-3-엔, 8-메틸-8-메톡시카르보닐테트라시클로[4.4.12,5.17,10.0]-도데카-3-엔, 8-히드록시메틸테트라시클로[4.4.12,5.17,10.0]-도데카-3-엔, 8-카르복시테트라시클로[4.4.12,5.17,10.0]-도데카-3-엔 등의 산소원자를 함유하는 치환기를 갖는 테트라시클로[4.4.12,5.17,10.0]-도데카-3-엔 유도체; 5-시아노비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 비시클로[2.2.1]헵트-2-엔-5,6-디카르복실산이미드 등의 질소원자를 함유하는 치환기를 갖는 비시클로[2.2.1]헵트-2-엔 유도체 등을 들 수 있다.(d) As a specific example of the monomer which has a polar group (functional group), it is 5-methoxycarbonyl bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-ethoxycarbonyl bicyclo [2.2.1] hept-2, for example. -Ene, 5-methyl-5-methoxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-methyl-5-ethoxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, ratio Cyclo [2.2.1] hept-5-enyl-2-methylpropionate, bicyclo [2.2.1] hept-5-enyl-2-methyloctanate, bicyclo [2.2.1] hept-2-ene -5,6-dicarboxylic acid anhydride, 5-hydroxymethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-di (hydroxymethyl) bicyclo [2.2.1] hept-2- A substituent containing an oxygen atom such as N, 5-hydroxy-i-propylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-dicarboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene Bicyclo [2.2.1] hept-2-ene derivative having; 8-methoxycarbonyltetracyclo [4.4.1 2,5 .1 7,10 .0] -dodeca-3-ene, 8-methyl-8-methoxycarbonyltetracyclo [4.4.1 2,5 .1 7,10 .0] -dodeca-3-ene, 8-hydroxymethyltetracyclo [4.4.1 2,5 .1 7,10 .0] -dodeca-3-ene, 8-carboxytetra Tetracyclo [4.4.1 2,5 .1 7,10 .0] having a substituent containing an oxygen atom such as cyclo [4.4.1 2,5 .1 7,10 .0] -dodeca-3-ene Dodeca-3-ene derivatives; Bicyclo which has a substituent containing nitrogen atoms, such as 5-cyanobicyclo [2.2.1] hept-2-ene and bicyclo [2.2.1] hept-2-ene-5, 6- dicarboxylic acid imide [2.2.1] hept-2-ene derivatives; and the like.

그리고 상기 모든 노르보르넨환을 갖는 지환족계 단량체에 공통적으로, 탄소수 4 개 이상의 알킬치환기를 갖는 노르보르넨환을 갖는 지환족계 단량체를 더욱 들 수 있다.And the alicyclic monomer which has a norbornene ring which has a C4 or more alkyl substituent group in common to the alicyclic monomer which has all said norbornene rings is further mentioned.

(2) 단환의 환상 올레핀계 단량체(2) monocyclic cyclic olefin monomer

단환의 환상 올레핀계 단량체는 탄소-탄소이중결합을 환내에 1 개 갖는 환상화합물이다. 그 구체예로서는 시클로부텐, 시클로펜텐, 시클로헥센, 시클로헵텐, 시클로옥텐 등을 들 수 있다 (일본 공개특허공보 소64-66216 호). 이들 단환의 환상 올레핀계 단량체는 각각 단독이나 혹은 2 종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.Monocyclic cyclic olefin monomers are cyclic compounds having one carbon-carbon double bond in the ring. Specific examples thereof include cyclobutene, cyclopentene, cyclohexene, cycloheptene and cyclooctene (Japanese Patent Laid-Open No. 64-66216). These monocyclic cyclic olefin monomers can be used individually or in combination of 2 or more types, respectively.

(3) 환상공액디엔계 단량체(3) Cyclic conjugated diene monomer

환상공액디엔계 단량체는 환내에 공액계 탄소-탄소이중결합을 갖는 환상화합물이다. 그 구체예로서는 1,3-디시클로펜타디엔, 1,3-시클로헥사디엔, 1,3-시클로헵타디엔, 1,3-시클로옥타디엔 등을 들 수 있다 (일본 공개특허공보 평7-258318 호). 이들 환상공액디엔계 단량체는 각각 단독이나 혹은 2 종 이상을 조합하여 사용할 수도 있다.The cyclic conjugated diene monomer is a cyclic compound having a conjugated carbon-carbon double bond in a ring. Specific examples thereof include 1,3-dicyclopentadiene, 1,3-cyclohexadiene, 1,3-cycloheptadiene, 1,3-cyclooctadiene and the like (Japanese Patent Laid-Open No. 7-258318). ). These cyclic conjugated diene type monomers can also be used individually or in combination of 2 or more types, respectively.

환상 올레핀계 단량체와 공중합가능한 불포화단량체로서는 에틸렌, 프로필렌, 1-부텐, 4-메틸-1-펜텐 등의 탄소수 2 ∼ 12 로 이루어지는 α-올레핀류; 스티렌, α-메틸스티렌, p-메틸스티렌, p-클로로스티렌 등의 스티렌류; 1,3-부타디엔, 이소프렌 등의 쇄상공액디엔; 에틸비닐에테르, 이소부틸비닐에테르 등의 비닐에테르류나 일산화탄소를 들 수 있다. 이와 같은 불포화단량체로서는 환상 올레핀계 단량체와 공중합이 가능하다면, 특별히 상기한 것으로 한정되는 것은 아니다. 노르보르넨환을 갖는 지환족계 단량체와 그 외의 불포화단량체를 부가공중합시키는 경우에는, 그 외의 불포화단량체로서 상기한 α-올레핀류 등의 비닐화합물이 바람직하고, 특히 에틸렌이 바람직하다.As an unsaturated monomer copolymerizable with a cyclic olefin type monomer, (alpha) -olefin which consists of C2-C12, such as ethylene, propylene, 1-butene, 4-methyl-1- pentene; Styrenes such as styrene, α-methylstyrene, p-methylstyrene, and p-chlorostyrene; Chain conjugated dienes such as 1,3-butadiene and isoprene; Vinyl ethers, such as ethyl vinyl ether and isobutyl vinyl ether, and carbon monoxide are mentioned. As such an unsaturated monomer, if copolymerization with a cyclic olefin monomer is possible, it will not specifically limit to what was mentioned above. When carrying out the addition copolymerization of the alicyclic monomer which has a norbornene ring, and other unsaturated monomer, as other unsaturated monomer, vinyl compounds, such as said alpha-olefin, are preferable, and ethylene is especially preferable.

[극성기 함유 환상 올레핀계 중합체][Polar group-containing cyclic olefin polymer]

환상 올레핀계 중합체는 금속과의 밀착성을 향상시키거나 감광성을 부여시키거나 경화방법에 다양성을 부여하거나 가교밀도를 높이거나 다른 배합제, 수지 등과의 상용성을 향상시키거나 내열성을 향상시키는 등의 목적으로 극성기 (관능기) 를 함유하고 있는 것이 바람직하다.Cyclic olefin polymers are intended to improve adhesion to metals, impart photosensitivity, impart variety to curing methods, increase crosslinking densities, improve compatibility with other compounding agents, resins, or improve heat resistance. It is preferable that the polar group (functional group) is contained.

본 발명에서 사용하는 극성기 함유 환상 올레핀계 중합체의 극성기란, 금속 (반도체 칩, 금속리드프레임, 와이어, 금속 배선 등) 과의 밀착성을 향상시키거나 경화반응시에 경화점이 되는 기능을 갖는 극성기라면 특별히 한정되지 않으며, 예컨대 에폭시기, 카르복실기, 히드록실기, 에스테르기, 실란올기, 아미노기, 니트릴기, 할로겐기, 아실기, 술폰기 등을 들 수 있다. 이들 극성기중에서도 ① 적은 변성율로 가교밀도나 밀착성의 향상이 가능하고, ② 경화제의 선택범위가 넓고, ③ 경화속도의 제어가 용이한 등의 이유에서 다가페놀이나 아민 등의 산성경화제 혹은 염기성 경화제와 반응할 수 있는 산소원자 함유의 극성기, 예컨대 에폭시기, 산무수물기, 카르복실기, 히드록실기 등이 바람직하고, 특히 경화후에 히드록실기 또는 카르복실기 등의 말단-OH 기를 생성하는 극성기, 예컨대 에폭시기, 산무수물기 등이 바람직하다.The polar group of the polar group-containing cyclic olefin polymer used in the present invention is particularly a polar group having a function of improving adhesion to metals (semiconductor chips, metal lead frames, wires, metal wirings, etc.) or having a curing point during the curing reaction. It does not limit, For example, an epoxy group, a carboxyl group, a hydroxyl group, an ester group, a silanol group, an amino group, a nitrile group, a halogen group, an acyl group, a sulfone group, etc. are mentioned. Among these polar groups, ① it is possible to improve the crosslinking density and adhesiveness with a small modification rate, ② wide selection of curing agent, ③ easy to control the curing rate, and the like. Polar groups containing an oxygen atom capable of reacting, such as an epoxy group, an acid anhydride group, a carboxyl group, a hydroxyl group, and the like are preferable, and in particular, a polar group such as an epoxy group, an acid anhydride which generates terminal-OH groups such as a hydroxyl group or a carboxyl group after curing Group and the like are preferable.

극성기 함유 환상 올레핀계 중합체는 환상 올레핀계 중합체에, 예컨대 하기 3 종류의 방법에 의해 극성기를 도입하여 얻을 수 있다.The polar group-containing cyclic olefin polymer can be obtained by introducing a polar group into the cyclic olefin polymer, for example, by the following three kinds of methods.

(1) 환상 올레핀계 중합체에 극성기 함유 불포화화합물을 그라프트 반응에 의해 부가시키는 방법,(1) a method in which a polar group-containing unsaturated compound is added to a cyclic olefin polymer by a graft reaction,

(2) 환상 올레핀계 중합체중의 탄소-탄소불포화 결합에 직접 극성기를 도입하는 방법,(2) introducing a polar group directly to a carbon-carbon unsaturated bond in a cyclic olefin polymer,

(3) 환상 올레핀계 중합체중에 극성기를 함유하는 환상 올레핀계 단량체를 공중합시키는 방법.(3) A method of copolymerizing a cyclic olefin monomer containing a polar group in a cyclic olefin polymer.

이하, 각각의 극성기의 도입 방법을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the introduction method of each polar group is demonstrated in detail.

(1) 극성기 함유 불포화화합물의 그라프트 반응(1) Graft Reaction of Polar Group-Containing Unsaturated Compound

극성기 함유 환상 올레핀계 중합체는 환상 올레핀계 중합체를 유기과산화물의 존재하에 극성기 함유 불포화화합물과 반응시킴으로써 얻을 수 있다. 극성기 함유 불포화화합물로서는 특별히 한정되지 않으나, 소량으로 감광성의 부여가 가능하면서 밀착성이 향상되기 때문에, 에폭시기 함유 불포화화합물, 카르복실기 함유 불포화화합물, 히드록실기 함유 불포화화합물, 실릴기 함유 불포화화합물 등이 바람직하다.The polar group-containing cyclic olefin polymer can be obtained by reacting a cyclic olefin polymer with a polar group-containing unsaturated compound in the presence of an organic peroxide. Although it does not specifically limit as a polar group containing unsaturated compound, Since adhesiveness can be provided in small quantity and adhesiveness improves, an epoxy group containing unsaturated compound, a carboxyl group containing unsaturated compound, a hydroxyl group containing unsaturated compound, a silyl group containing unsaturated compound, etc. are preferable. .

에폭시기 함유 불포화화합물로서는, 예컨대 글리시딜아크릴레이트, 글리시딜메타크릴레이트, p-스티릴카르복실산글리시딜 등의 불포화 카르복실산의 글리시딜에스테르류; 엔도-시스-비시클로[2.2.1]헵트-5-엔-2,3-디카르복실산, 엔도-시스-비시클로[2.2.1]헵트-5-엔-2-메틸-2,3-디카르복실산 등의 불포화 폴리카르복실산의 모노글리시딜에스테르 혹은 폴리글리시딜에스테르류; 알릴글리시딜에테르, 2-메틸알릴글리시딜에테르, o-알릴페놀의 글리시딜에테르, m-알릴페놀의 글리시딜에테르, p-알릴페놀의 글리시딜에테르 등의 불포화 글리시딜에테르류; 2-(o-비닐페닐)에틸렌옥시드, 2-(p-비닐페닐)에틸렌옥시드, 2-(o-알릴페닐)에틸렌옥시드, 2-(p-알릴페닐)에틸렌옥시드, 2-(o-비닐페닐)프로필렌옥시드, 2-(p-비닐페닐)프로필렌옥시드, 2-(o-알릴페닐)프로필렌옥시드, 2-(p-알릴페닐)프로필렌옥시드, p-글리시딜스티렌, 3,4-에폭시-1-부텐, 3,4-에폭시-3-메틸-1-부텐, 3,4-에폭시-1-펜텐, 3,4-에폭시-3-메틸-1-펜텐, 5,6-에폭시-1-헥센, 비닐시클로헥센모노옥시드, 알릴-2,3-에폭시시클로펜틸에테르 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 특히 높은 반응율로 상기 에폭시기 함유 불포화화합물을 그라프트부가할 수 있다는 점에서 알릴글리시딜에스테르류 및 알릴글리시딜에테르류가 바람직하고, 알릴글리시딜에테르류가 특히 바람직하다. 이들 에폭시기 함유 불포화화합물은 각각 단독이나 혹은 2 종 이상을 조합하여 사용할 수 있다.As an epoxy-group-containing unsaturated compound, For example, glycidyl esters of unsaturated carboxylic acids, such as glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, and p-styryl carboxylic acid glycidyl; Endo-cis-bicyclo [2.2.1] hept-5-ene-2,3-dicarboxylic acid, endo-cis-bicyclo [2.2.1] hept-5-ene-2-methyl-2,3 Monoglycidyl esters or polyglycidyl esters of unsaturated polycarboxylic acids such as dicarboxylic acid; Unsaturated glycidyls such as allyl glycidyl ether, 2-methylallyl glycidyl ether, glycidyl ether of o-allylphenol, glycidyl ether of m-allylphenol, and glycidyl ether of p-allylphenol Ethers; 2- (o-vinylphenyl) ethylene oxide, 2- (p-vinylphenyl) ethylene oxide, 2- (o-allylphenyl) ethylene oxide, 2- (p-allylphenyl) ethylene oxide, 2- (o-vinylphenyl) propylene oxide, 2- (p-vinylphenyl) propylene oxide, 2- (o-allylphenyl) propylene oxide, 2- (p-allylphenyl) propylene oxide, p-glycid Dylstyrene, 3,4-Epoxy-1-butene, 3,4-epoxy-3-methyl-1-butene, 3,4-epoxy-1-pentene, 3,4-epoxy-3-methyl-1-pentene And 5,6-epoxy-1-hexene, vinylcyclohexene monooxide, allyl-2,3-epoxycyclopentyl ether and the like. Among them, allylglycidyl esters and allylglycidyl ethers are preferable, and allylglycidyl ethers are particularly preferable in that graft addition of the epoxy group-containing unsaturated compound can be performed at a high reaction rate. These epoxy group containing unsaturated compounds can be used individually or in combination of 2 or more types, respectively.

카르복실기 함유 불포화화합물로서는 일본 공개특허공보 평5-271356 호에 기재된 화합물 등을 들 수 있으며, 예컨대 아크릴산, 메타크릴산, α-에틸아크릴산 등의 불포화카르복실산; 말레산, 푸마르산, 이타콘산, 엔도시스-비시클로[2.2.1]헵트-5-엔-2,3-디카르복실산, 메틸-엔도시스-비시클로[2.2.1]헵트-5-엔-2,3-디카르복실산 등의 불포화 디카르복실산 등을 들 수 있다. 또한, 카르복시기 함유 불포화화합물에는 불포화 카르복실산 유도체도 포함된다. 불포화 카르복실산 유도체로서는, 예컨대 불포화 카르복실산의 산무수물, 에스테르, 산할라이드, 아미드, 이미드 등을 들 수 있으며, 구체적으로는 무수말레산, 클로로무수말레산, 부테닐무수호박산, 테트라히드로무수프탈산, 무수시트라콘산 등의 산무수물; 말레산모노메틸, 말레산디메틸, 글리시딜말레에이트 등의 에스테르; 염화말레닐, 말레이미드 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 상기 이유에 의해 불포화 디카르복실산 또는 그 산무수물이 바람직하고, 그 중에서도 무수말레산이나 이타콘산 등의 산무수물이 특히 바람직하다.As a carboxyl group-containing unsaturated compound, the compound of Unexamined-Japanese-Patent No. 5-271356, etc. are mentioned, For example, Unsaturated carboxylic acid, such as acrylic acid, methacrylic acid, (alpha)-ethylacrylic acid; Maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, endocys-bicyclo [2.2.1] hept-5-ene-2,3-dicarboxylic acid, methyl-endocys-bicyclo [2.2.1] hept-5-ene Unsaturated dicarboxylic acid, such as -2, 3- dicarboxylic acid, etc. are mentioned. The carboxyl group-containing unsaturated compound also includes an unsaturated carboxylic acid derivative. Examples of the unsaturated carboxylic acid derivatives include acid anhydrides, esters, acid halides, amides, imides, and the like of unsaturated carboxylic acids, and specific examples thereof include maleic anhydride, chloromaleic anhydride, butenyl anhydride and hydroxy acid. Acid anhydrides such as phthalic anhydride and citraconic anhydride; Esters such as monomethyl maleate, dimethyl maleate and glycidyl maleate; Maleyl chloride, maleimide, etc. are mentioned. Among these, unsaturated dicarboxylic acid or its acid anhydride is preferable for the said reason, and acid anhydrides, such as maleic anhydride and itaconic acid, are especially preferable.

히드록실기 함유 불포화화합물로서는, 예컨대 알릴알코올, 2-알릴-6-메톡시페놀, 4-알릴옥시-2-히드록시벤조페논, 3-알릴옥시-1,2-프로판디올, 2-알릴디페놀, 3-부텐-1-올, 4-펜텐-1-올, 5-헥센-1-올 등을 들 수 있다.Examples of the hydroxyl group-containing unsaturated compound include allyl alcohol, 2-allyl-6-methoxyphenol, 4-allyloxy-2-hydroxybenzophenone, 3-allyloxy-1,2-propanediol, and 2-allyldi. Phenol, 3-butene-1-ol, 4-penten-1-ol, 5-hexen-1-ol, and the like.

실릴기 함유 불포화화합물로서는, 예컨대 클로로디메틸비닐실란, 트리메틸실릴아세틸렌, 5-트리메틸실릴-1,3-시클로펜타디엔, 3-트리메틸실릴알릴알코올, 트리메틸실릴메타크릴레이트, 1-트리메틸실릴록시-1,3-부타디엔, 1-트리메틸실릴록시-시클로펜텐, 2-트리메틸실릴록시에틸메타크릴레이트, 2-트리메틸실릴록시푸란, 2-트리메틸실릴록시프로펜, 알릴옥시-t-부틸디메틸실란, 알릴옥시트리메틸실란 등을 들 수 있다.Examples of the silyl group-containing unsaturated compound include chlorodimethylvinylsilane, trimethylsilylacetylene, 5-trimethylsilyl-1,3-cyclopentadiene, 3-trimethylsilylallyl alcohol, trimethylsilyl methacrylate, and 1-trimethylsilyloxy-1. , 3-butadiene, 1-trimethylsilyloxy-cyclopentene, 2-trimethylsilyloxyethyl methacrylate, 2-trimethylsilyloxyfuran, 2-trimethylsilyloxypropene, allyloxy-t-butyldimethylsilane, allyloxy Trimethylsilane, etc. are mentioned.

유기과산화물로서는, 예컨대 유기퍼옥시드, 유기퍼에스테르 등이 바람직하게 사용된다. 이와 같은 유기과산화물의 구체예로서는 벤조일퍼옥시드, 디클로로벤조일퍼옥시드, 디쿠밀퍼옥시드, 디-tert-부틸퍼옥시드, 2,5-디메틸-2,5-디(퍼옥시드벤조에이트)헥신-3,1,4-비스(tert-부틸퍼옥시이소프로필)벤젠, 라우로일퍼옥시드, tert-부틸퍼아세테이트, 2,5-디메틸-2,5-디(tert-부틸퍼옥시)헥신-3,2,5-디메틸-2,5-디(tert-부틸퍼옥시)헥산, tert-부틸퍼벤조에이트, tert-부틸퍼페닐아세테이트, tert-부틸퍼이소부틸레이트, tert-부틸퍼-sec-옥토에이트, tert-부틸퍼피팔레이트, 쿠밀퍼피팔레이트 및 tert-부틸퍼디에틸아세테이트를 들 수 있다.As an organic peroxide, organic peroxide, organic perester, etc. are used preferably, for example. Specific examples of such organic peroxides include benzoyl peroxide, dichlorobenzoyl peroxide, dicumyl peroxide, di-tert-butyl peroxide, 2,5-dimethyl-2,5-di (peroxide benzoate) hexyne-3, 1,4-bis (tert-butylperoxyisopropyl) benzene, lauroylperoxide, tert-butylperacetate, 2,5-dimethyl-2,5-di (tert-butylperoxy) hexyne-3, 2,5-dimethyl-2,5-di (tert-butylperoxy) hexane, tert-butylperbenzoate, tert-butylperphenyl acetate, tert-butylperisobutylate, tert-butylper-sec-octo And tert-butylperpipalate, cumyl perpipalate and tert-butylperdiethyl acetate.

그리고, 본 발명에 있어서는 유기과산화물로서 아조 화합물을 사용할 수도 있다. 아조 화합물의 구체예로서는, 아조비스이소부틸로니트릴 및 디메틸아조이소부틸레이트를 들 수 있다.And in this invention, an azo compound can also be used as an organic peroxide. Specific examples of the azo compound include azobisisobutylonitrile and dimethyl azoisobutyrate.

이들 중에서도 유기과산화물로서 벤조일퍼옥시드, 디쿠밀퍼옥시드, 디-tert-부틸퍼옥시드, 2,5-디메틸-2,5-디(tert-부틸퍼옥시드)헥신-3,2,5-디메틸-2,5-디 (tert-부틸퍼옥시)헥산, 1,4-비스(tert-부틸퍼옥시이소프로필)벤젠 등의 디알킬퍼옥시드가 바람직하게 사용된다.Among these, as the organic peroxide, benzoyl peroxide, dicumyl peroxide, di-tert-butyl peroxide, 2,5-dimethyl-2,5-di (tert-butylperoxide) hexine-3,2,5-dimethyl- Dialkyl peroxides such as 2,5-di (tert-butylperoxy) hexane and 1,4-bis (tert-butylperoxyisopropyl) benzene are preferably used.

이들 유기과산화물은 각각 단독이나 혹은 2 종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. 유기과산화물의 사용비율은 반응시의 함량비율로 미변성 환상 올레핀계 중합체 100 중량부에 대하여 통상 0.001 ∼ 30 중량부, 바람직하게는 0.01 ∼ 20 중량부, 보다 바람직하게는 0.1 ∼ 10 중량부의 범위이다. 유기과산화물의 사용량이 이 범위에 있을 때, 극성기 함유 불포화화합물의 반응율, 얻어진 극성기 함유 중합체의 흡수율, 유전특성 등의 제물성이 고도로 밸런스되어 바람직하다.These organic peroxides can be used individually or in combination of 2 or more types, respectively. The use ratio of the organic peroxide is usually 0.001 to 30 parts by weight, preferably 0.01 to 20 parts by weight, and more preferably 0.1 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the unmodified cyclic olefin polymer in the content ratio during the reaction. . When the usage-amount of an organic peroxide exists in this range, the physical property, such as the reaction rate of a polar group containing unsaturated compound, the water absorption of the obtained polar group containing polymer, and a dielectric property, is highly balanced and is preferable.

그라프트 변성 반응은 특별히 한정은 없으며, 통상의 방법에 따라 실시할 수 있다. 반응온도는 통상 0 ∼ 400 ℃, 바람직하게는 60 ∼ 350 ℃ 이다. 반응시간은 통상 1 분 ∼ 24 시간, 바람직하게는 30 분 ∼ 10 시간의 범위이다. 반응 종료후에는 메탄올 등의 빈용매(용해도를 낮추는 용매)를 다량으로 반응계에 첨가하여 폴리머를 석출시키고, 여과분리하여 세정한 후, 감압건조 등에 의해 얻을 수 있다.The graft modification reaction is not particularly limited and can be carried out according to a conventional method. Reaction temperature is 0-400 degreeC normally, Preferably it is 60-350 degreeC. The reaction time is usually in the range of 1 minute to 24 hours, preferably 30 minutes to 10 hours. After completion of the reaction, a poor solvent such as methanol (solvent to lower the solubility) is added in a large amount to the reaction system to precipitate the polymer, filtered off and washed, followed by drying under reduced pressure.

(2) 탄소-탄소불포화 결합의 직접변성(2) Direct modification of carbon-carbon unsaturated bonds

극성기 함유 환상 올레핀계 중합체는 환상 올레핀계 중합체중의 올레핀성 탄소-탄소불포화 결합을 변성하여 극성기를 부가하거나, 상기 올레핀성 탄소-탄소불포화 결합에 극성기를 갖는 화합물을 결합시켜서 극성기를 도입할 수 있다.The polar group-containing cyclic olefin polymer may introduce a polar group by modifying an olefinic carbon-carbon unsaturated bond in the cyclic olefin polymer to add a polar group, or by bonding a compound having a polar group to the olefinic carbon-carbon unsaturated bond. .

극성기의 도입 방법에 관해서는 일본 공개특허공보 평6-172423 호에 기재되어 있는 바와 같은 방법을 이용할 수 있다. 구체적으로는 올레핀성 불포화 결합의 산화에 의한 방법, 분자내에 1 개 이상의 극성기를 함유하는 화합물의 올레핀성 불포화 결합으로의 부가반응에 의한 방법 및 그 외의 방법에 의해 에폭시기나 카르복실기, 히드록실기 등을 도입하는 방법을 들 수 있다.As for the method of introducing the polar group, a method as described in JP-A-6-172423 can be used. Specifically, an epoxy group, a carboxyl group, a hydroxyl group, or the like may be prepared by a method of oxidizing an olefinic unsaturated bond, a method of addition reaction of a compound containing at least one polar group in a molecule to an olefinic unsaturated bond, and other methods. A method of introducing is mentioned.

(3) 극성기 함유 환상 올레핀계 모노머의 공중합(3) Copolymerization of Polar Group-containing Cyclic Olefin Monomer

극성기 함유 환상 올레핀 모노머로서는 특별히 제한은 없지만, 상술한 중량체의 설명중 (d) 의 극성기를 갖는 단량체를 들 수 있다. 이들 중에서도 공중합하기 쉬운 것으로서 5-히드록시메틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-히드록시-i-프로필렌시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-메톡시카르보닐비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 8-메톡시카르보닐테트라시클로[4.4.0.12,5.17,10.]-도데카-3-엔, 5,6-디카르복시비시클로 [2.2.1]헵트-2-엔 등의 히드록시기, 카르복실기 또는 에스테르기를 함유하는 단량체가 바람직하다. 중합촉매 및 중합방법은 노르보르넨환을 갖는 지환족계 단량체의 중합촉매 및 중합방법을 이용할 수 있다.Although there is no restriction | limiting in particular as a polar group containing cyclic olefin monomer, The monomer which has a polar group of (d) in description of the weight mentioned above is mentioned. Among them, 5-hydroxymethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxy-i-propylenecyclo [2.2.1] hept-2-ene, and 5-methoxycarbo which are easy to copolymerize. Nylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 8-methoxycarbonyltetracyclo [4.4.0.1 2,5 .1 7,10 .]-Dodeca-3-ene, 5,6-dicarboxy ratio The monomer containing a hydroxyl group, a carboxyl group, or ester group, such as cyclo [2.2.1] hept-2-ene, is preferable. As the polymerization catalyst and the polymerization method, a polymerization catalyst and a polymerization method of an alicyclic monomer having a norbornene ring can be used.

이상의 것중에서도 산성기의 도입 방법으로서는, 용이한 반응조건으로 변성을 실시할 수 있고 높은 변성율로 극성기를 도입하기 쉬운 등의 이유에서 그라프트 변성법이 바람직하고, 그라프트 반응하는 극성기 함유 불포화화합물의 종류로서는 상술한 이유에서 에폭시기, 무수말레산 및 무수이타콘산 등의 분자내에 탄소-탄소불포화 결합을 갖는 디카르복실산무수물기를 갖는 불포화화합물이 특히 바람직하다.Among the above, as a method of introducing an acidic group, a graft modification method is preferable for the reason that the modification can be carried out under easy reaction conditions and the polar group is easily introduced at a high modification rate. As the kind of, an unsaturated compound having a dicarboxylic acid anhydride group having a carbon-carbon unsaturated bond in a molecule such as an epoxy group, maleic anhydride and itaconic anhydride is particularly preferable.

(4) 극성기 도입율(4) Polar group introduction rate

극성기 함유 환상 올레핀계 중합체의 극성기 도입율 (변성율) 은 사용목적에 따라 적절히 선택되는데, 중합체중의 총모노머단위수를 기준으로 하여 통상 0.1 ∼ 100 몰%, 바람직하게는 0.5 ∼ 70 몰%, 보다 바람직하게는 1 ∼ 50 몰% 의 범위이다. 용도가 봉지재인 경우에는 물성상, 변성율이 높은 편이 바람직하고, 보다 구체적으로 바람직하게는 5 ∼ 100 몰%, 보다 바람직하게는 10 ∼ 70 몰%, 가장 바람직하게는 15 ∼ 50 몰% 의 범위이다. 극성기 함유 환상 올레핀계 중합체의 극성기 도입율이 이 범위에 있을 때, 금속과의 접착강도, 내열성, 기계적 강도, 흡수율, 유전특성이 고도로 밸런스된다.The polar group introduction ratio (modification rate) of the polar group-containing cyclic olefin polymer is appropriately selected depending on the purpose of use, and is usually 0.1 to 100 mol%, preferably 0.5 to 70 mol%, based on the total number of monomer units in the polymer, More preferably, it is the range of 1-50 mol%. In the case where the use is an encapsulant, the higher the physical property and the higher the modification rate, the more preferably 5 to 100 mol%, more preferably 10 to 70 mol%, and most preferably 15 to 50 mol%. to be. When the polar group introduction ratio of the polar group-containing cyclic olefin polymer is within this range, the adhesion strength, heat resistance, mechanical strength, water absorption, and dielectric properties with the metal are highly balanced.

극성기 도입율 (변성율 : 몰%) 은 하기 식 (1) 로 표시된다.The polar group introduction ratio (modification rate: mol%) is represented by the following formula (1).

극성기 도입율 = (X/Y) ×100 (1)Polar group introduction rate = (X / Y) × 100 (1)

[X : (a) 그라프트 모노머 변성 잔기 전체몰수 혹은 (b) 불포화 결합 함유 모노머의 전체몰수 ×불포화 결합으로의 극성기 부가율 혹은 (c) 극성기 함유 모노머의 전체몰수. (모두1H-NMR 로 측정함)[X: total moles of (a) graft monomer-modified residues or (b) total moles of unsaturated bond-containing monomers x rate of polar group addition to unsaturated bonds or (c) total moles of polar group-containing monomers. (All measured by 1 H-NMR)

Y : 폴리머의 총모노머단위수 (폴리머의 중량평균분자량/모노머의 평균분자량)]Y: total number of monomer units of polymer (weight average molecular weight of polymer / average molecular weight of monomer)]

[경화성 수지 조성물]Curable Resin Composition

본 발명에서 사용하는 환상 올레핀계 중합체는 경화제를 첨가하여 경화성 환상 올레핀계 중합체 조성물 (경화성 수지 조성물) 로서 사용한다. 환상 올레핀계 중합체를 경화형으로 함으로써, 예컨대 (1) 금속과 수지 (봉지수지, 보호수지막) 사이의 선팽창계수의 차가 작아지고, (2) 전자 부품의 실장시 및 신뢰성시험시에 충분한 내열성을 발휘하는 등의 이점을 얻을 수 있다. 경화제는 특별히 한정은 없지만, (ⅰ) 유기과산화물, (ⅱ) 열에 의해 효과를 발휘하는 경화제, (ⅲ) 빛에 의해 효과를 발휘하는 경화제 등이 사용된다.The cyclic olefin polymer used in the present invention is used as a curable cyclic olefin polymer composition (curable resin composition) by adding a curing agent. By making the cyclic olefin polymer a curable type, for example, (1) the difference in the coefficient of linear expansion between the metal and the resin (sealing resin, protective resin film) is reduced, and (2) sufficient heat resistance is shown at the time of mounting the electronic component and reliability test. This can be obtained. Although a hardening | curing agent does not have limitation in particular, (i) an organic peroxide, (ii) the hardening agent which exhibits an effect by heat, (i) the hardening agent which exhibits an effect by light, etc. are used.

경화성 수지 조성물의 경화수단은 특별히 제한은 없으며, 예컨대 열, 빛 및 방사선 등을 사용하여 실시할 수 있고, 경화제의 종류는 이들 수단에 따라 적절히 선택된다. 경화성 수지 조성물에는 경화제 이외에 원하는 바에 따라 경화조제, 난연제, 그 외의 배합제 등을 배합할 수 있다.There is no restriction | limiting in particular in the hardening means of curable resin composition, For example, it can carry out using heat, light, a radiation, etc., and the kind of hardening | curing agent is suitably selected according to these means. A curing aid, a flame retardant, other compounding agents, etc. can be mix | blended with curable resin composition as needed other than a hardening | curing agent.

경화제Hardener

(1) 유기과산화물(1) organic peroxides

유기과산화물로서는, 예컨대 메틸에틸케톤퍼옥시드, 시클로헥사논퍼옥시드 등의 케톤퍼옥시드류; 1,1-비스(t-부틸퍼옥시)3,3,5-트리메틸시클로헥산, 2,2-비스(t-부틸퍼옥시)부탄 등의 퍼옥시케탈류; t-부틸하이드로퍼옥시드, 2,5-디메틸헥산-2,5-디하이드로퍼옥시드 등의 하이드로퍼옥시드류; 디쿠밀퍼옥시드, 2,5-디메틸-2,5-디(t-부틸퍼옥시)헥신-3,α,α'-비스(t-부틸퍼옥시-m-이소프로필)벤젠 등의 디알킬퍼옥시드류; 옥타노일퍼옥시드, 이소부티릴퍼옥시드 등의 디아실퍼옥시드류; 퍼옥시디카보네이트 등의 퍼옥시에스테르류를 들 수 있다. 이들 중에서도 경화후의 수지의 성능에서 디알킬퍼옥시드가 바람직하고, 알킬기의 종류는 경화온도 (성형온도) 에 의해 변경할 수 있다.As an organic peroxide, For example, ketone peroxides, such as methyl ethyl ketone peroxide and cyclohexanone peroxide; Peroxy ketals such as 1,1-bis (t-butylperoxy) 3,3,5-trimethylcyclohexane and 2,2-bis (t-butylperoxy) butane; hydroperoxides such as t-butylhydroperoxide and 2,5-dimethylhexane-2,5-dihydroperoxide; Dialkyls such as dicumyl peroxide, 2,5-dimethyl-2,5-di (t-butylperoxy) hexyne-3, α, α'-bis (t-butylperoxy-m-isopropyl) benzene Peroxides; Diacyl peroxides such as octanoyl peroxide and isobutyryl peroxide; Peroxy esters, such as a peroxydicarbonate, are mentioned. Among these, dialkyl peroxide is preferable in the performance of resin after hardening, and the kind of alkyl group can be changed with hardening temperature (molding temperature).

유기과산화물의 배합량은 특별히 제한은 없지만, 가교반응을 효율적으로 실시시키면서 얻어지는 경화물의 물성개선을 도모하는 점, 나아가서는 경제성의 면 등에서 환상 올레핀계 중합체 100 중량부에 대하여 통상 0.1 ∼ 30 중량부, 바람직하게는 1 ∼ 20 중량부의 범위에서 사용된다. 이 배합량이 너무 적으면 가교가 일어나기 어려워서 충분한 내열성, 내용제를 얻을 수 없고, 또한 너무 많으면 가교한 수지의 흡수성, 유전특성 등의 특성이 저하되므로 바람직하지 못하다. 유기과산화물의 배합량이 상기 범위에 있을 때에 이들 특성이 고도로 밸런스되어 바람직하다.Although the compounding quantity of an organic peroxide does not have a restriction | limiting in particular, Usually, 0.1-30 weight part is preferable with respect to 100 weight part of cyclic olefin type polymers from the point of improving the physical property of the hardened | cured material obtained by carrying out a crosslinking reaction efficiently, and also from an economical viewpoint. Preferably it is used in the range of 1-20 weight part. If the amount is too small, crosslinking is unlikely to occur and sufficient heat resistance and solvent cannot be obtained. If the amount is too high, the water absorbency and dielectric properties of the crosslinked resin are lowered, which is not preferable. When the compounding quantity of an organic peroxide exists in the said range, these characteristics are highly balanced and it is preferable.

(2) 열에 의해 효과를 발휘하는 경화제(2) Curing agent which exerts effect by heat

열에 의해 효과를 발휘하는 경화제는 가열에 의해 가교반응시킬 수 있는 경화제라면 특별히 한정되지 않으나, 지방족 폴리아민, 지환족 폴리아민, 방향족 폴리아민비스아지드, 산무수물, 디카르복실산, 다가페놀, 폴리아미드 등을 들 수 있다.The curing agent which exerts the effect by heat is not particularly limited as long as it is a curing agent that can be crosslinked by heating, but is not limited to aliphatic polyamines, alicyclic polyamines, aromatic polyamine bisazides, acid anhydrides, dicarboxylic acids, polyhydric phenols, and polyamides. Can be mentioned.

구체적인 예로서는, 예컨대 헥사메틸렌디아민, 트리에틸렌테트라민, 디에틸렌트리아민, 테트라에틸렌펜타민 등의 지방족 폴리아민; 디아미노시클로헥산, 3(4),8(9)-비스(아미노메틸)트리시클로[5.2.1.02,6]데칸; 1,3-(디아미노메틸)시클로헥산, 멘센디아민, 이소포론디아민N-아미노에틸피페라진, 비스(4-아미노-3-메틸시클로헥실)메탄, 비스(4-아미노시클로헥실)메탄 등의 지환족 폴리아민; 4,4'-디아미노디페닐에테르, 4,4'-디아미노디페닐메탄, α-α'-비스(4-아미노페닐)-1,3-디이소프로필벤젠, α,α'-비스(4-아미노페닐)-1,4-디이소프로필벤젠, 4,4'-디아미노디페닐술폰, 메타페닐렌디아민 등의 방향족 폴리아민류; 4,4-비스아지드벤잘(4-메틸)시클로헥사논, 4,4'-디아지드칼콘, 2,6-비스(4'-아지드벤잘)시클로헥사논, 2,6-비스(4'-아지드벤잘)-4-메틸-시클로헥사논, 4,4'-디아지드디페닐술폰, 4,4'-디아지드디페닐메탄, 2,2'-디아지드스틸벤 등의 비스아지드; 무수푸마르산, 무수피로멜리트산, 벤조페논테트라카르복실산무수물, 나지크산무수물, 1,2-시클로헥산디카르복실산, 무수말레산 변성 폴리프로필렌, 무수말레산 변성 환상 올레핀수지 등의 산무수물류; 푸마르산, 프탈산, 말레산, 트리멜리트산, 하이미크산 등의 디카르복실산류; 페놀노볼락수지, 크레졸노볼락수지 등의 다가페놀류; 나일론-6, 나일론-66, 나일론-610, 나일론-11, 나일론-612, 나일론-12, 나일론-46, 메톡시메틸화폴리아미드, 폴리헥사메틸렌디아민테레프탈아미드, 폴리헥사메틸렌이소프탈아미드 등의 폴리아미드류 등을 들 수 있다.Specific examples include aliphatic polyamines such as hexamethylenediamine, triethylenetetramine, diethylenetriamine and tetraethylenepentamine; Diaminocyclohexane, 3 (4), 8 (9) -bis (aminomethyl) tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane; 1,3- (diaminomethyl) cyclohexane, mensendiamine, isophoronediamine N-aminoethylpiperazine, bis (4-amino-3-methylcyclohexyl) methane, bis (4-aminocyclohexyl) methane Alicyclic polyamines; 4,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenylmethane, α-α'-bis (4-aminophenyl) -1,3-diisopropylbenzene, α, α'-bis Aromatic polyamines such as (4-aminophenyl) -1,4-diisopropylbenzene, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone and metaphenylenediamine; 4,4-bisazidebenzal (4-methyl) cyclohexanone, 4,4'-diazidecalcon, 2,6-bis (4'-azidebenzal) cyclohexanone, 2,6-bis (4 Bis such as' -azidebenzal) -4-methyl-cyclohexanone, 4,4'-diazidediphenylsulfone, 4,4'-diazidediphenylmethane, 2,2'-diazidestilbene Jide; Acid anhydrides such as fumaric anhydride, pyromellitic anhydride, benzophenone tetracarboxylic anhydride, nazix anhydride, 1,2-cyclohexanedicarboxylic acid, maleic anhydride modified polypropylene, maleic anhydride modified cyclic olefin resin logistics; Dicarboxylic acids such as fumaric acid, phthalic acid, maleic acid, trimellitic acid, and high mymic acid; Polyhydric phenols such as phenol novolak resin and cresol novolak resin; Nylon-6, nylon-66, nylon-610, nylon-11, nylon-612, nylon-12, nylon-46, methoxymethylated polyamide, polyhexamethylenediamine terephthalamide, polyhexamethylene isophthalamide, etc. Polyamides; and the like.

이들 경화제는 1 종이나 2 종 이상의 혼합물로 사용하여도 된다. 이들 중에서도 경화물의 내열성, 기계강도, 금속과의 밀착성, 유전특성 (저유전율, 저유전정접) 이 뛰어난 등의 이유에서 방향족 폴리아민류, 산무수물류, 다가페놀류, 다가알코올류가 바람직하고, 그 중에서도 4,4'-디아미노디페닐메탄 (방향족 폴리아민류), 무수말레산 변성 환상 올레핀수지 (산무수물), 다가페놀류 등이 특히 바람직하다. 또한, 필요에 따라 경화촉진제를 배합하여 가교반응의 효율을 높일 수도 있다.You may use these hardening | curing agents by 1 type or in mixture of 2 or more types. Among these, aromatic polyamines, acid anhydrides, polyhydric phenols, and polyhydric alcohols are preferable because of excellent heat resistance, mechanical strength, adhesion to metals, and excellent dielectric properties (low dielectric constant, low dielectric loss tangent). 4,4'- diamino diphenylmethane (aromatic polyamines), maleic anhydride modified cyclic olefin resin (acid anhydride), polyhydric phenols, etc. are especially preferable. If necessary, a curing accelerator may be added to increase the efficiency of the crosslinking reaction.

경화제의 배합량은 특별히 제한은 없지만, 가교반응을 효율적으로 실시시키면서 얻어지는 경화물의 물성개선을 도모하는 점, 나아가서는 경제성의 면 등에서 환상 올레핀계 중합체 100 중량부에 대하여 통상 0.1 ∼ 30 중량부, 바람직하게는 1 ∼ 20 중량부의 범위에서 사용된다. 경화제의 양이 너무 적으면 가교가 일어나기 어려워서 충분한 내열성, 내용제를 얻을 수 없고, 또한 너무 많으면 가교한 수지의 흡수성, 유전특성 등의 특성이 저하되므로 바람직하지 못하다. 경화제의 배합량이 상기 범위에 있을 때에 이들 특성이 고도로 밸런스되어 바람직하다.Although the compounding quantity of a hardening | curing agent does not have a restriction | limiting in particular, Usually, 0.1-30 weight part is preferable with respect to 100 weight part of cyclic olefin type polymers from the point of improving the physical property of the hardened | cured material obtained by carrying out a crosslinking reaction efficiently, and also from an economical viewpoint. Is used in the range of 1 to 20 parts by weight. If the amount of the curing agent is too small, crosslinking is unlikely to occur, so that sufficient heat resistance and solvent cannot be obtained. If the amount of the curing agent is too high, properties such as water absorption and dielectric properties of the crosslinked resin are lowered, which is not preferable. When the compounding quantity of a hardening | curing agent exists in the said range, these characteristics are highly balanced and it is preferable.

경화촉진제로서는 피리딘, 벤질디메틸아민, 트리메탄올아민, 트리에틸아민, 이미다졸류 등의 아민류 등을 들 수 있다. 경화촉진제는 경화속도를 조정하거나 가교반응의 효율을 더욱 좋게 하는 목적으로 첨가된다. 경화촉진제의 배합량은 특별히 제한은 없지만, 환상 올레핀계 중합체 100 중량부에 대하여 통상 0.1 ∼ 30 중량부, 바람직하게는 1 ∼ 20 중량부의 범위에서 사용된다. 경화촉진제의 배합량이 이 범위에 있을 때에 가교밀도와, 유전특성, 흡수율 등이 고도로 밸런스되어 바람직하다. 또한, 이들 중에서도 이미다졸류가 유전특성이 뛰어나서 바람직하다.Examples of the curing accelerator include amines such as pyridine, benzyldimethylamine, trimethanolamine, triethylamine, and imidazole. A curing accelerator is added for the purpose of adjusting the curing rate or improving the efficiency of the crosslinking reaction. Although the compounding quantity of a hardening accelerator does not have a restriction | limiting in particular, Usually, it is 0.1-30 weight part with respect to 100 weight part of cyclic olefin polymers, Preferably it is used in the range of 1-20 weight part. When the compounding quantity of a hardening accelerator exists in this range, a crosslinking density, dielectric property, water absorption rate, etc. are highly balanced, and it is preferable. Among these, imidazoles are preferred because of their excellent dielectric properties.

(3) 빛에 의해 효과를 발휘하는 경화제(3) Curing agent which exerts effect by light

빛에 의해 효과를 발휘하는 경화제는 g 선, h 선, i 선 등의 자외선, 원자외선, x 선, 전자선 등의 활성광선의 조사에 의해 환상 올레핀계 중합체와 반응하여 가교화합물을 생성하는 광반응성 물질이라면 특별히 한정되지 않지만, 예컨대 방향족 비스아지드화합물, 광아민발생제, 광산발생제 등을 들 수 있다.A curing agent that exerts an effect by light is photoreactive to react with cyclic olefin polymers to produce crosslinked compounds by irradiation with actinic rays such as ultraviolet rays such as g rays, h rays, and i rays, far ultraviolet rays, x rays, and electron rays. The substance is not particularly limited, and examples thereof include aromatic bisazide compounds, photoamine generators, and photoacid generators.

방향족 비스아지드화합물의 구체예로서는 4,4'-디아지드칼콘, 2,6-비스(4'-아지드벤잘)시클로헥사논, 2,6-비스(4'-아지드벤잘)4-메틸시클로헥사논, 4,4'-디아지드디페닐술폰, 4,4'-디아지드벤조페논, 4,4'-디아지드디페닐, 2,7-디아지드플루오렌, 4,4'-디아지드페닐메탄 등을 들 수 있다. 이들은 1 종이나 2 종 이상 조합하여 사용할 수도 있다.Specific examples of the aromatic bisazide compound include 4,4'-diazidechalcone, 2,6-bis (4'-azidebenzal) cyclohexanone, and 2,6-bis (4'-azidebenzal) 4-methyl Cyclohexanone, 4,4'-diazidediphenylsulfone, 4,4'-diazidebenzophenone, 4,4'-diazidediphenyl, 2,7-diazidefluorene, 4,4'-dia Zide phenylmethane etc. are mentioned. These can also be used 1 type or in combination of 2 or more types.

광아민발생제의 구체예로서는, 방향족 아민 혹은 지방족 아민의 o-니트로벤질록시카르보닐카바메이트, 2,6-디니트로벤질록시카르보닐카바메이트 혹은 α,α-디메틸-3,5-디메톡시벤질록시카르보닐카바메이트체 등을 들 수 있다. 보다 구체적으로는 아닐린, 시클로헥실아민, 피페리딘, 헥사메틸렌디아민, 트리에틸렌테트라아민, 1,3-(디아미노메틸)시클로헥산, 4,4'-디아미노디페닐에테르, 4,4'-디아미노디페닐메탄, 페닐렌디아민 등의 o-니트로벤질록시카르보닐카바메이트체를 들 수 있다. 이들은 1 종이나 2 종 이상 조합하여 사용할 수도 있다.Specific examples of the photoamine generator include o-nitrobenzyloxycarbonylcarbamate, 2,6-dinitrobenzyloxycarbonylcarbamate or α, α-dimethyl-3,5-dimethoxybenzyl of aromatic amines or aliphatic amines. Oxycarbonyl carbamate and the like. More specifically, aniline, cyclohexylamine, piperidine, hexamethylenediamine, triethylenetetraamine, 1,3- (diaminomethyl) cyclohexane, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4 ' O-nitrobenzyloxycarbonylcarbamate bodies, such as -diaminodiphenylmethane and phenylenediamine, are mentioned. These can also be used 1 type or in combination of 2 or more types.

광산발생제란, 활성광선의 조사에 의해 노렌스테드산 혹은 루이스산을 생성하는 물질로서, 예컨대 오늄염, 할로겐화 유기화합물, 퀴논디아지드화합물, α,α-비스(술포닐)디아조메탄계 화합물, α-카르보닐-α-술포닐-디아조메탄계 화합물, 술폰화합물, 유기산에스테르화합물, 유기산아미드화합물, 유기산이미드화합물 등을 들 수 있다. 이들의 활성광선의 조사에 의해 해열되어 산을 생성할 수 있는 화합물은 단독이나 2 종류 이상 혼합하여 사용해도 된다.Photoacid generators are substances which generate norensedic acid or Lewis acid by irradiation with actinic light, for example, onium salts, halogenated organic compounds, quinonediazide compounds, α, α-bis (sulfonyl) diazomethanes The compound, the (alpha)-carbonyl (alpha)-sulfonyl- diazomethane type compound, a sulfone compound, an organic acid ester compound, an organic acid amide compound, an organic acid imide compound, etc. are mentioned. The compound which can dissociate by irradiation of these actinic rays and can generate an acid may be used individually or in mixture of 2 or more types.

광반응성 화합물의 배합량은 특별히 제한은 없지만, 상기 중합체와의 반응을 효율적으로 실시시키면서 얻어지는 가교수지의 물성을 해치지 않는 점, 나아가서는 경제성 등의 면에서 환상 올레핀계 중합체 100 중량부에 대하여 통상 0.1 ∼ 30 중량부, 바람직하게는 1 ∼ 20 중량부의 범위에서 사용된다. 광반응성 물질의 배합량이 너무 적으면 가교가 일어나기 어려워서 충분한 내열성, 내용제를 얻을 수 없고, 또한 너무 많으면 가교한 수지의 흡수성, 유전특성 등의 특성이 저하되므로 바람직하지 못하다. 배합량이 상기 범위에 있을 때에 이들 특성이 고도로 밸런스되어 바람직하다.Although the compounding quantity of a photoreactive compound does not have a restriction | limiting in particular, Usually 0.1-100 weight part with respect to the point which does not impair the physical property of the crosslinked resin obtained by carrying out reaction with the said polymer efficiently, and also economical efficiency etc. with respect to 100 weight part of cyclic olefin type polymers. It is used in 30 weight part, Preferably it is 1-20 weight part. If the amount of the photoreactive substance is too small, crosslinking is unlikely to occur, so that sufficient heat resistance and solvent cannot be obtained. If the amount of the photoreactive substance is too high, properties such as water absorption and dielectric properties of the crosslinked resin are deteriorated. When the compounding quantity is in the said range, these characteristics are highly balanced and it is preferable.

경화조제Hardening aid

본 발명에 있어서는 경화성 및 배합제의 분산성을 더욱 높이기 위하여 경화조제를 사용할 수 있다.In the present invention, a curing aid may be used in order to further increase the curability and dispersibility of the compounding agent.

경화조제로서는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 일본 공개특허공보 소62-34924 호 등에 개시되어 있는 공지의 것이면 되며, 예컨대 퀴논디옥심, 벤조퀴논디옥심, p-니트로소페놀 등의 옥심·니트로소계 경화조제; N,N-m-페닐렌비스말레이미드 등의 말레이미드계 경화조제; 디알릴프탈라이트, 트리알릴시아누레이트, 트리알릴이소시아누레이트 등의 알릴계 경화조제; 에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 트리메틸올프로판트리메타크릴레이트 등의 메타크릴레이트계 경화조제; 비닐톨루엔, 에틸비닐벤젠, 디비닐벤젠 등의 비닐계 경화조제 등을 들 수 있다. 이들 중에서도 알릴계 경화조제 및 메타크릴레이트계 경화조제가 균일하게 분산시키기 쉬우므로 바람직하다.Although it does not specifically limit as a hardening adjuvant, Well-known thing disclosed in Unexamined-Japanese-Patent No. 62-34924 etc. may be used, For example, oxime nitroso type hardening aids, such as quinone dioxime, benzoquinone dioxime, p-nitrosophenol, etc. ; Maleimide curing aids such as N, N-m-phenylenebismaleimide; Allyl curing aids such as diallyl phthalite, triallyl cyanurate and triallyl isocyanurate; Methacrylate-based curing aids such as ethylene glycol dimethacrylate and trimethylolpropane trimethacrylate; Vinyl curing aids such as vinyltoluene, ethylvinylbenzene and divinylbenzene; and the like. Among them, allyl curing aids and methacrylate curing aids are preferred because they are easy to disperse uniformly.

경화조제의 배합량은 경화제의 종류에 따라 적절히 선택되는데, 경화제 1 중량부에 대하여 통상 0.1 ∼ 10 중량부, 바람직하게는 0.2 ∼ 5 중량부이다. 경화조제의 배합량은 너무 적으면 경화가 일어나기 어렵고, 반대로 너무 많으면 경화된 수지의 전기특성, 방습성 등이 저하될 우려가 있다.Although the compounding quantity of a hardening | curing agent is suitably selected according to the kind of hardening | curing agent, it is 0.1-10 weight part normally with respect to 1 weight part of hardening | curing agents, Preferably it is 0.2-5 weight part. If the amount of the curing aid is too small, curing hardly occurs. On the contrary, if the amount of the curing aid is too high, the electrical properties, moisture resistance, and the like of the cured resin may be lowered.

[배합제][Formulations]

본 발명의 경화성 수지 조성물에는 필요에 따라 각종 배합제를 첨가할 수 있다.Various compounding agents can be added to curable resin composition of this invention as needed.

충전제Filler

본 발명의 경화성 수지 조성물에는 특히 선팽창계수의 저감을 목적으로 하여 무기 또는 유기충전제를 배합하는 경우가 있다. 특히, 경화성 수지 조성물을 봉지재로서 사용하는 경우에는, 충전제를 배합하는 것이 바람직한 경우가 많다. 충전제로서는 종래부터 수지봉지 재료에서 사용되는 것이라면 특별히 한정되지 않는다.The curable resin composition of this invention may mix | blend an inorganic or organic filler especially for the purpose of reducing a linear expansion coefficient. In particular, when using curable resin composition as a sealing material, it is often preferable to mix a filler. The filler is not particularly limited as long as it is conventionally used in a resin encapsulating material.

충전제로서는, 예컨대 실리카, 규조토, 알루미나, 산화티탄, 산화마그네슘, 경석분, 경석벌룬, 염기성 탄산마그네슘, 도로마이트, 황산칼슘, 티탄산칼륨, 황산발륨, 아황산칼슘, 탤크, 클레이, 마이카, 아스베스토, 글라스 플레이크, 글라스 비즈, 규산칼슘, 몬모릴로나이트, 벤토나이트, 그래파이트, 알루미늄분, 황화몰리브덴, 유리섬유, 보론섬유, 탄화규소섬유, 폴리에틸렌섬유, 폴리프로필렌섬유, 폴리에스테르섬유, 폴리아미드섬유 등의 분말상, 입자상, 플레이크상, 섬유상의 각종 충전제를 들 수 있다. 이들 충전제중에서도 특히 내열성, 저흡수율, 유전특성, 저불순물성 등이 뛰어난 이유에서 무기충전제가 바람직하고, 특히 실리카 등이 바람직하다. 이들 충전제는 비도전성인 것이 바람직하고, 또한 열전도성이 뛰어난 것이 바람직하다.As the filler, for example, silica, diatomaceous earth, alumina, titanium oxide, magnesium oxide, pumice powder, pumice balloon, basic magnesium carbonate, doromite, calcium sulfate, potassium titanate, valerium sulfate, calcium sulfite, talc, clay, mica, asbestos, Glass flakes, glass beads, calcium silicate, montmorillonite, bentonite, graphite, aluminum powder, molybdenum sulfide, glass fiber, boron fiber, silicon carbide fiber, polyethylene fiber, polypropylene fiber, polyester fiber, polyamide fiber and other powders , Flakes and fibrous fillers. Among these fillers, inorganic fillers are preferred, and silica and the like are particularly preferred because of their excellent heat resistance, low water absorption, dielectric properties, low impurity properties, and the like. It is preferable that these fillers are non-conductive, and it is preferable that they are excellent in thermal conductivity.

충전제의 배합량은 사용목적에 따라 적절히 정할 수 있고, 환상 올레핀계 중합체 100 중량부에 대하여 통상 1,000 중량부 이하, 바람직하게는 0.1 ∼ 1,000 중량부, 보다 바람직하게는 5 ∼ 800 중량부의 비율로 사용한다. 경화성 수지 조성물을 봉지재로 사용하고 또한 선팽창계수를 특히 작게 할 필요가 있는 경우에는, 환상 올레핀계 중합체 100 중량부에 대하여 바람직하게는 50 ∼ 1,000 중량부, 보다 바람직하게는 100 ∼ 800 중량부, 가장 바람직하게는 200 ∼ 600 중량부의 비율로 사용하는 것이 바람직하다.The blending amount of the filler can be appropriately determined according to the purpose of use, and is usually used in an amount of 1,000 parts by weight or less, preferably 0.1 to 1,000 parts by weight, and more preferably 5 to 800 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the cyclic olefin polymer. . In the case where the curable resin composition is used as the encapsulant and the linear expansion coefficient needs to be particularly small, it is preferably 50 to 1,000 parts by weight, more preferably 100 to 800 parts by weight, based on 100 parts by weight of the cyclic olefin polymer, Most preferably, it is used in the ratio of 200-600 weight part.

본 발명의 봉지 재료는 충전제의 종류와 배합량을 조정함으로써 기판이나 전자 부품 등과 봉지부 사이의 선팽창계수를 작아지도록 할 수 있다.In the sealing material of the present invention, the coefficient of linear expansion between the substrate, the electronic component, and the encapsulating portion can be reduced by adjusting the type and the amount of the filler.

반응성 희석제Reactive diluent

본 발명의 경화성 수지 조성물은 점도를 조정하는 목적으로 저분자량의 반응성 희석제를 배합할 수 있다. 상술한 경화제도 반응성 희석제로서의 기능을 갖지만, 그 외의 반응성 희석제로서 종래의 열이나 빛으로 가교반응을 일으켜서 상온에서 액상인 화합물을 사용할 수 있다. 보다 구체적으로는 예컨대 에폭시기 함유 화합물, 아크릴(메타크릴)산에스테르계 화합물, 비닐에테르계 화합물, 비닐화합물 등을 들 수 있다. 이들 그 외의 반응성 희석제중에서도 내열성, 저흡수성, 유전특성 등이 뛰어난 이유에서 에폭시기 함유 화합물이 특히 바람직하다.Curable resin composition of this invention can mix | blend a low molecular weight reactive diluent for the purpose of adjusting a viscosity. Although the above-mentioned hardening | curing agent has a function as a reactive diluent, as another reactive diluent, the compound which causes a crosslinking reaction by conventional heat or light, and can use a liquid at normal temperature can be used. More specifically, an epoxy group containing compound, an acryl (methacrylic) acid ester type compound, a vinyl ether type compound, a vinyl compound, etc. are mentioned, for example. Among these other reactive diluents, epoxy group-containing compounds are particularly preferable for reasons of excellent heat resistance, low water absorption and dielectric properties.

난연제Flame retardant

난연제는 필수성분은 아니지만, 특히 CPU 나 DRAM 등의 LSI 칩을 봉지하거나 보호막을 형성할 경우에는 첨가하는 것이 바람직하다. 난연제로서는 특별히 제약은 없지만, 경화제에 따라 분해, 변성, 변질되지 않는 것이 바람직하고, 통상 할로겐계 난연제가 사용된다.The flame retardant is not an essential component, but is preferably added when encapsulating an LSI chip such as a CPU or a DRAM or forming a protective film. Although there is no restriction | limiting in particular as a flame retardant, It is preferable that it does not decompose | disassemble, modify | denature, or deteriorate with a hardening | curing agent, A halogen type flame retardant is used normally.

할로겐계 난연제로서는 염소계 및 브롬계의 여러 가지 난연제를 사용할 수 있는데, 난연화 효과, 성형시의 내열성, 수지로의 분산성, 수지의 물성에 미치는 영향 등의 면에서 헥사브로모벤젠, 펜타브로모에틸벤젠, 헥사브로모비페닐, 데카브로모디페닐, 헥사브로모디페닐옥사이드, 옥타브로모디페닐옥사이드, 데카브로모디페닐옥사이드, 펜타브로모시클로헥산, 테트라브로모비스페놀 A 및 그 유도체 [예컨대, 테트라브로모비스페놀A-비스(히드록시에틸에테르), 테트라브로모비스페놀A-비스(2,3-디브로모프로필에테르), 테트라브로모비스페놀A-비스(브로모에틸에테르), 테트라브로모비스페놀A-비스(알릴에테르) 등], 테트라브로모비스페놀S 및 그 유도체 [예컨대, 테트라브로모비스페놀S-비스(히드록시에틸에테르), 테트라브로모비스페놀S-비스(2,3-디브로모프로필에테르) 등], 테트라브로모무수프탈산 및 그 유도체 [예컨대, 테트라브로모프탈이미드, 에틸렌비스테트라브로모프탈이미드 등], 에틸렌비스(5,6-디브로모노르보르넨-2,3-디카르복시이미드), 트리스-(2,3-디브로모프로필-1)-이소시아누레이트, 헥사클로로시클로펜타디엔의 딜스·알더반응의 첨가물, 트리브로모페닐글리시딜에테르, 트리브로모페닐아크릴레이트, 에틸렌비스트리브로모페닐에테르, 에틸렌비스펜타브로모페닐에테르, 테트라데카브로모디페녹시벤젠, 브롬화 폴리스티렌, 브롬화 폴리페닐렌옥사이드, 브롬화 에폭시 수지, 브롬화 폴리카보네이트, 폴리펜타브로모벤질아크릴레이트, 옥타브로모나프탈렌, 헥사브로모시클로도데칸, 비스(트리브로모페닐)푸마르아미드, N-메틸헥사브로모디페닐아민 등을 사용하는 것이 바람직하다.As the halogen flame retardant, various flame retardants such as chlorine and bromine can be used. In terms of flame retardant effect, heat resistance during molding, dispersibility into resin, and influence on resin physical properties, hexabromobenzene and pentabromo Ethylbenzene, hexabromobiphenyl, decabromodiphenyl, hexabromodiphenyloxide, octabromodiphenyloxide, decabromodiphenyloxide, pentabromocyclohexane, tetrabromobisphenol A and derivatives thereof [e.g. tetrabromo Mobisphenol A-bis (hydroxyethyl ether), tetrabromobisphenol A-bis (2,3-dibromopropyl ether), tetrabromobisphenol A-bis (bromoethyl ether), tetrabromobisphenol A -Bis (allyl ether) and the like], tetrabromobisphenol S and its derivatives [for example, tetrabromobisphenol S-bis (hydroxyethyl ether), tetrabromobisphenol S-bis (2,3-dibro Mopropyl ether) and the like], tetrabromo phthalic anhydride and derivatives thereof [e.g., tetrabromophthalimide, ethylene bistetrabromophthalimide and the like], ethylenebis (5,6-dibromonorbornene- 2,3-dicarboxyimide), tris- (2,3-dibromopropyl-1) -isocyanurate, additive of Diels-Alder reaction of hexachlorocyclopentadiene, tribromophenyl glycidyl ether , Tribromophenyl acrylate, ethylene bistribromophenyl ether, ethylenebispentabromophenyl ether, tetradecabromodiphenoxybenzene, brominated polystyrene, brominated polyphenylene oxide, brominated epoxy resin, brominated polycarbonate, poly It is preferable to use pentabromobenzyl acrylate, octabromonaphthalene, hexabromocyclododecane, bis (tribromophenyl) fumaramide, N-methylhexabromodiphenylamine, and the like.

난연제의 첨가량은 환상 올레핀계 중합체 100 중량부에 대하여 통상 3 ∼ 150 중량부, 바람직하게는 10 ∼ 140 중량부, 특히 바람직하게는 15 ∼ 120 중량부이다.The addition amount of a flame retardant is 3-150 weight part normally with respect to 100 weight part of cyclic olefin polymers, Preferably it is 10-140 weight part, Especially preferably, it is 15-120 weight part.

난연제의 난연화 효과를 보다 유효하게 발휘시키기 위한 난연조제로서, 예컨대 삼산화안티몬, 오산화안티몬, 안티몬산나트륨, 삼염화 안티몬 등의 안티몬계 난연조제를 사용할 수 있다. 이들 난연조제는 난연제 100 중량부에 대하여 통상 1 ∼ 30 중량부, 바람직하게는 2 ∼ 20 중량부의 비율로 사용한다.As a flame retardant aid for exhibiting the flame retardant effect of a flame retardant more effectively, antimony flame retardant aids, such as antimony trioxide, antimony pentoxide, sodium antimonate, antimony trichloride, can be used, for example. These flame retardant aids are usually used in an amount of 1 to 30 parts by weight, preferably 2 to 20 parts by weight, relative to 100 parts by weight of the flame retardant.

본 발명의 보호 재료는 이들 난연제 등의 종류와 배합량을 조정함으로써, 이 기술분야에서의 연소시험에 합격할 수 있다.The protective material of this invention can pass the combustion test in this technical field by adjusting the kind and compounding quantity of these flame retardants.

경화성 수지Curable resin

본 발명에 있어서는, 예컨대 경화성 수지 조성물의 가열용융시의 점도특성의 향상을 목적으로 종래부터 사용되던 에폭시 수지 등의 경화성 수지를 배합하여 가열용융가공할 때의 점도를 컨트롤할 수 있다.In this invention, the viscosity at the time of heat-melting processing, for example, mix | blending curable resin, such as an epoxy resin conventionally used for the purpose of the improvement of the viscosity characteristic at the time of heat-melting of a curable resin composition, can be controlled.

경화성 수지의 구체예로서는, 예컨대 열경화형 에폭시 수지, 감광성 에폭시 수지, 폴리이미드수지, 감광성 폴리이미드수지, 비스말레이미드·트리아진수지, 페놀수지, 페놀노볼락수지 등의 종래 공지의 경화성 수지를 배합할 수 있다.As a specific example of curable resin, conventionally well-known curable resins, such as a thermosetting epoxy resin, the photosensitive epoxy resin, polyimide resin, the photosensitive polyimide resin, bismaleimide triazine resin, a phenol resin, a phenol novolak resin, are mix | blended, for example. Can be.

그 외의 폴리머성분Other polymer ingredients

본 발명에 있어서는 경화성 수지 조성물에 필요에 따라 고무질 중합체나 그 외의 열가소성 수지를 배합할 수 있다.In this invention, a rubbery polymer and other thermoplastic resin can be mix | blended with curable resin composition as needed.

고무질 중합체는 상온 (25 ℃) 이하의 유리전이온도를 갖는 중합체로서, 통상의 고무상 중합체 및 열가소성 일레스터머가 함유된다. 고무질 중합체의 무니점도 (ML1+4, 100 ℃) 는 사용목적에 따라 적절히 선택되며, 통상 5 ∼ 200 이다.The rubbery polymer is a polymer having a glass transition temperature of room temperature (25 ° C.) or less, and contains a conventional rubbery polymer and a thermoplastic elastomer. The Mooney viscosity (ML 1 + 4 , 100 degreeC) of a rubbery polymer is suitably selected according to a use purpose, and is 5-200 normally.

고무상 중합체로서는, 예컨대 에틸렌-α-올레핀계 고무질 중합체; 에틸렌-α-올레핀-폴리엔공중합체 고무; 에틸렌-메틸메타크릴레이트, 에틸렌-부틸아크릴레이트 등의 에틸렌과 불포화카르복실산에스테르의 공중합체; 에틸렌-아세트산비닐 등의 에틸렌과 지방산비닐의 공중합체; 아크릴산에틸, 아크릴산부틸, 아크릴산헥실, 아크릴산2-에틸헥실, 아크릴산라우릴 등의 아크릴산알킬에스테르의 중합체; 폴리부타디엔, 폴리소블렌, 스티렌-부타디엔 또는 스티렌-이소프렌의 랜덤공중합체, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체, 부타디엔-이소프렌 공중합체, 부타디엔-(메타)아크릴산알킬에스테르 공중합체, 부타디엔-(메타)아크릴산알킬에스테르-아크릴로니트릴 공중합체, 부타디엔-(메타)아크릴산알킬에스테르-아크릴로니트릴-스티렌 공중합체 등의 디엔계 고무; 부티렌-이소프렌 공중합체 등을 들 수 있다.As a rubbery polymer, For example, Ethylene-alpha-olefin type rubbery polymer; Ethylene-α-olefin-polyene copolymer rubbers; Copolymers of ethylene and unsaturated carboxylic acid esters such as ethylene-methyl methacrylate and ethylene-butyl acrylate; Copolymers of ethylene and fatty acid vinyl such as ethylene-vinyl acetate; Polymers of alkyl acrylates such as ethyl acrylate, butyl acrylate, hexyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate and lauryl acrylate; Random copolymers of polybutadiene, polysoble, styrene-butadiene or styrene-isoprene, acrylonitrile-butadiene copolymer, butadiene-isoprene copolymer, butadiene- (meth) acrylic acid alkyl ester copolymer, butadiene- (meth) acrylic acid Diene rubbers such as alkyl ester-acrylonitrile copolymers and butadiene- (meth) acrylic acid alkyl ester-acrylonitrile-styrene copolymers; Butylene-isoprene copolymer etc. are mentioned.

열가소성 일레스터머로서는, 예컨대 스티렌-부타디엔 블록공중합체, 수소화스티렌-부타디엔 블록공중합체, 스티렌-이소프렌 블록공중합체, 수소화스티렌-이소프렌 블록공중합체 등의 방향족 비닐-공액디엔계 블록공중합체, 저결정성 폴리부타디엔수지, 에틸렌-프로필렌일레스터머, 스티렌그라프트에틸렌-프로필렌일레스터머, 열가소성 폴리에스테르일레스터머, 에틸렌계 이오노머수지 등을 들 수 있다. 이들 열가소성 일레스터머중에서도 수소화스티렌-부타디엔 블록공중합체, 수소화스티렌-이소프렌 블록공중합체 등이 바람직하고, 보다 구체적으로는 일본 공개특허공보 평2-133406 호, 공개특허공보 평2-305814 호, 공개특허공보 평3-72512 호, 공개특허공보 평3-74409 호 등에 기재되어 있는 것을 들 수 있다.Examples of the thermoplastic elastomers include aromatic vinyl-conjugated diene-based block copolymers such as styrene-butadiene block copolymers, styrene-butadiene block copolymers, styrene-isoprene block copolymers and styrene-isoprene block copolymers, and low crystals. Polybutadiene resin, ethylene-propylene elastomer, styrene graft ethylene-propylene elastomer, thermoplastic polyester elastomer, ethylene ionomer resin and the like. Among these thermoplastic elastomers, hydrogenated styrene-butadiene block copolymers, hydrogenated styrene-isoprene block copolymers, and the like are preferred, and more specifically, Japanese Patent Laid-Open Nos. 2-133406, 2-2305814, and What is described in Unexamined-Japanese-Patent No. 3-72512, Unexamined-Japanese-Patent No. 3-74409, etc. are mentioned.

그 외의 열가소성 수지로서는, 예컨대 저밀도 폴리에틸렌, 고밀도 폴리에틸렌, 직쇄상 저밀도 폴리에틸렌, 초저밀도 폴리에틸렌, 에틸렌-에틸아크릴레이트 공중합체, 에틸렌-아세트산비닐공중합체, 폴리스티렌, 폴리페닐렌술피드, 폴리페닐렌에테르, 폴리아미드, 폴리에스테르, 폴리카보네이트, 셀룰로오스트리아세테이트 등을 들 수 있다.As other thermoplastic resins, for example, low density polyethylene, high density polyethylene, linear low density polyethylene, ultra low density polyethylene, ethylene-ethyl acrylate copolymer, ethylene-vinyl acetate copolymer, polystyrene, polyphenylene sulfide, polyphenylene ether, poly Amide, polyester, polycarbonate, cellulose triacetate, etc. are mentioned.

이들 고무상 중합체나 그 외의 열가소성 수지는 각각 단독이나 혹은 2 종류 이상을 조합하여 사용할 수 있고, 그 배합량은 본 발명의 목적을 해치지 않는 범위에서 적절히 선택되는데, 절연재료의 특성을 해치지 않기 위해서는, 환상 올레핀계 중합체 100 중량부에 대하여 30 중량부 이하인 것이 바람직하다.These rubbery polymers and other thermoplastic resins may be used alone or in combination of two or more thereof, and the compounding amount thereof is appropriately selected within a range that does not impair the object of the present invention. It is preferable that it is 30 weight part or less with respect to 100 weight part of olefinic polymers.

그 외의 배합제Other compounding agents

본 발명의 경화성 수지 조성물에는 필요에 따라 내열안정제, 내후안정제, 레벨링제, 대전방지제, 슬립제, 안티블로킹제, 흐림방지제, 윤활제, 염료, 안료, 천연유, 합성유, 왁스 등의 그 외의 배합제를 적당량 첨가할 수 있다.In the curable resin composition of the present invention, other compounding agents such as heat stabilizers, weather stabilizers, leveling agents, antistatic agents, slip agents, anti blocking agents, antifog agents, lubricants, dyes, pigments, natural oils, synthetic oils, waxes, etc. An appropriate amount can be added.

구체적으로는, 예컨대 테트라키스[메틸렌-3(3,5-디-t-부틸-4-히드록시페닐)프로피오네이트]메탄, β-(3,5-디-t-부틸-4-히드록시페닐)프로피온산알킬에스테르, 2,2'-옥사미드비스[에틸-3(3,5-디-t-부틸-4-히드록시페닐)프로피오네이트] 등의 페놀계 산화방지제; 트리스노닐페닐포스파이트, 트리스(2,4-디-t-부틸페닐)포스파이트, 트리스(2,4-디-t-부틸페닐)포스파이트 등의 인계 안정제; 스테아린산아연, 스테아린산칼슘, 12-히드록시스테아린산칼슘 등의 지방산금속염; 글리세린모노스테아레이트, 글리세린모노라우레이트, 글리세린디스테아레이트, 펜타에리트리톨모노스테아레이트, 펜타에리트리톨디스테아레이트, 펜타에리트리톨트리스테아레이트 등의 다가알코올지방산에스테르; 합성하이드로탈사이트; 아민계의 대전방지제; 플루오르계 비이온 계면활성제, 특수아크릴수지계 레벨링제, 실리콘계 레벨링제 등 도료용 레벨링제; 실란커플링제, 티타네이트커플링제, 알루미늄계 커플링제, 지르코알루미네이트커플링제 등의 커플링제; 가소제; 카본블랙 등의 안료나 염료 등의 착색제 등을 들 수 있다.Specifically, for example, tetrakis [methylene-3 (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate] methane, β- (3,5-di-t-butyl-4-hydrate Phenolic antioxidants such as hydroxyphenyl) propionic acid alkyl ester and 2,2'-oxamide bis [ethyl-3 (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate]; Phosphorus stabilizers such as trisnonylphenyl phosphite, tris (2,4-di-t-butylphenyl) phosphite and tris (2,4-di-t-butylphenyl) phosphite; Fatty acid metal salts such as zinc stearate, calcium stearate and calcium 12-hydroxystearate; Polyhydric alcohol fatty acid esters such as glycerin monostearate, glycerin monolaurate, glycerin distearate, pentaerythritol monostearate, pentaerythritol distearate, and pentaerythritol tristearate; Synthetic hydrotalcite; Amine antistatic agents; Leveling agents for paints such as fluorine-based nonionic surfactants, special acrylic resin leveling agents, and silicone leveling agents; Coupling agents such as a silane coupling agent, a titanate coupling agent, an aluminum coupling agent and a zirco aluminate coupling agent; Plasticizers; Pigments, such as carbon black, and coloring agents, such as dye, etc. are mentioned.

[봉지 재료][Bag material]

봉지 재료의 형태Form of encapsulation material

본 발명의 봉지 재료는 환상 올레핀계 중합체, 경화제 및 원하는 바에 따라 배합되는 다른 배합제를 반응성 희석제로 희석한 상태, 희석제를 함유하지 않는 상태중 어느 하나로 제공되는데, 필요에 따라 점도조절을 목적으로 용매에 용해시켜도 된다.The encapsulation material of the present invention is provided in a state in which a cyclic olefin polymer, a curing agent, and other compounding agents blended as desired are diluted with a reactive diluent, and without a diluent. You may melt | dissolve in.

용매를 사용하는 경우에는, 예컨대 톨루엔, 크실렌, 에틸벤젠 등의 방향족 탄화수소; n-펜탄, 헥산, 헵탄 등의 지방족 탄화수소, 시클로헥산 등의 지환식 탄화수소; 클로로벤젠, 디클로르벤젠, 트리클로르벤젠 등의 할로겐화 탄화수소 등을 들 수 있다.When using a solvent, For example, aromatic hydrocarbons, such as toluene, xylene, ethylbenzene; alicyclic hydrocarbons such as aliphatic hydrocarbons such as n-pentane, hexane and heptane, and cyclohexane; Halogenated hydrocarbons, such as chlorobenzene, dichlorobenzene, and trichlorbenzene, etc. are mentioned.

용매는 환상 올레핀계 중합체, 경화제 및 필요에 따라 배합하는 각 성분을 균일하게 용해 내지는 분산하기에 충분한 양비로 사용된다. 용액의 고형분농도는 통상 1 ∼ 80 중량%, 바람직하게는 5 ∼ 60 중량%, 보다 바람직하게는 10 ∼ 50 중량% 가 되도록 조정된다.The solvent is used in an amount sufficient to uniformly dissolve or disperse the cyclic olefin polymer, the curing agent and each component to be blended as necessary. The solid content concentration of the solution is usually adjusted to 1 to 80% by weight, preferably 5 to 60% by weight, more preferably 10 to 50% by weight.

봉지 재료로서는 핸들링, 프로세스상의 장점 등에서 특히 용융점도가 100 ∼ 200 ℃ 범위에서 50 포이즈 이하, 나아가서는 20 포이즈 이하인 것이 바람직하다.As a sealing material, it is preferable that it is 50 poise or less and also 20 poise or less in the range of 100-200 degreeC especially in handling, process advantages, etc.

경화방법Curing method

본 발명에서 사용되는 봉지 재료는 상술한 바와 같이 열, 빛, 전자선 등 중 어떤 방법을 이용하여 경화시켜도 되는데, 특히 반도체부품 등의 전자 부품을 봉지할 경우에는, 오버코트법 등의 박막상태로 봉지하는 경우를 제외하고는 열에 의해 경화시키는 것이 바람직하다. 열에 의한 경화의 경우에는, 봉지 재료가 두꺼운 성형품인 경우, 광선이 일부 도달할 수 없는 복잡형상을 갖고 있는 경우, 충전제, 첨가제 등의 광선이 투과하지 못하는 배합제를 함유하는 경우 등에 바람직하다.The encapsulation material used in the present invention may be cured by any method of heat, light, electron beam, and the like as described above. Particularly, when encapsulating an electronic component such as a semiconductor component, the encapsulating material is encapsulated in a thin film such as an overcoat method. Except in the case, it is preferable to cure by heat. In the case of hardening by heat, when the sealing material is a thick molded article, when the light ray has a complicated shape which a part cannot reach, it is preferable when it contains the compounding agent which light rays, such as a filler and an additive, do not transmit.

봉지 방법Encapsulation method

본 발명에서 사용되는 전자 부품 봉지 재료는 주로 반도체 칩 등의 전자 부품을 봉지하는 목적으로 사용되는 방법, 예컨대 (1) 종래부터의 크레졸노볼락형 에폭시 수지계 봉지재를 사용하는 경우에 통상 사용되던 트랜스퍼성형법에 의한 봉지 방법, 그리고 (2) 최근의 LSI 베어 칩 실장의 봉지 방법으로서 액상에폭시 수지를 사용하는 경우에 통상 사용되던 포팅 (주형) 법에 의한 봉지 방법 등을 그대로 적용할 수 있다.The electronic component encapsulation material used in the present invention is a transfer method which is usually used in the case of using a method mainly used for encapsulating electronic components such as a semiconductor chip, such as (1) a conventional cresol novolak type epoxy resin encapsulant. The sealing method by the shaping | molding method, and (2) the sealing method by the potting (moulding) method normally used in the case of using liquid epoxy resin as a sealing method of the recent LSI bare chip mounting can be applied as it is.

이하, 각각의 봉지 방법으로의 적용방법을 설명하는데, 구체적인 봉지 방법의 상세에 관해서는, 예컨대「하이브리드마이크로일렉트로닉스협회편 : 일렉트로닉스 실장기술 기초강좌, 제 4 권, 실장조립기술, 제 5 장 : 반도체디바이스의 봉지기술·재료, 제 157 ∼ 186 페이지」등의 공지문헌을 참고로 할 수 있다.The application method to each encapsulation method will be described below. For details of the encapsulation method, see, for example, "Hybrid Microelectronics Association: Basics of Electronics Manufacturing Technology, Vol. 4, Assembly Assembly Technology, Chapter 5: Semiconductors". The well-known literatures, such as the sealing technique and material of a device, pages 157-186, etc. can be referred to.

(1) 트랜스퍼성형법(1) Transfer molding method

트랜스퍼성형법의 대표적인 방법은 저압트랜스퍼성형법이며, 종래에는 크레졸노볼락형 에폭시 수지 주체의 봉지 재료를 사용해서 봉지하고 있다. 이하, 그 프로세스를 간단하게 기재한다.A typical method of the transfer molding method is a low pressure transfer molding method, which is conventionally encapsulated using a sealing material of a cresol novolac epoxy resin main body. The process is briefly described below.

우선, 반도체 칩을 금속리드프레임의 중앙부에 금선 (와이어) 등으로 접속하여 예열된 금형에 장착한다. 봉지수지는 타블렛 (고체) 상태로 준비되며, 적당한 온도로 연화시킨 후에 금형포트에 충전하여 가열에 의해 완전 액상화시켜서 플런저압력에 의해 캐버티내로 주입한다. 이대로 압력을 가한 상태에서 봉지수지는 완전 경화된다. 금형 캐버티 주입시에는 금선에 손상을 주지 않고 보이드가 없는 성형품을 얻기 위하여 타블렛의 예열온도, 몰드금형온도, 트랜스퍼타임, 트랜스퍼압력, 큐어 (경화) 시간 등이 최적화될 필요가 있는데, 이 때 봉지 재료의 점도가 중요한 조건이 되기 때문에 상술한 점도범위는 중요하다.First, the semiconductor chip is connected to a central portion of the metal lead frame with a gold wire (wire) or the like and mounted on a preheated mold. The encapsulating resin is prepared in a tablet (solid) state, softened to an appropriate temperature, filled into a mold port, completely liquefied by heating, and injected into the cavity by plunger pressure. In this state, the resin is completely cured under pressure. When the mold cavity is injected, the tablet preheating temperature, mold mold temperature, transfer time, transfer pressure, curing time, etc. need to be optimized in order to obtain void-free molded parts without damaging the gold wire. The viscosity range described above is important because the viscosity of the material is an important condition.

(2) 포팅법(2) Potting method

상술한 바와 같은 트랜스퍼성형에 의해 봉지된 반도체패키지는 일반적으로 쿼드 플랫 패키지 (QFP) 라 불리고 있으며, 땜납에 의해 프린트기판에 실장된다. 이와 같은 방법에 대하여 최근 반도체 칩을 봉지하기 전에 직접 프린트기판에 실장하는 기술 (베어 칩 실장) 이 진보하고 있다. 이들 베어 칩 실장된 반도체 칩을 마지막으로 봉지하기 위해서는, 종래에는 상술한 비스페놀형 에폭시 수지를 주성분으로 한 액상 에폭시 봉지 재료를 사용하고 있으나, 베어 칩의 실장형태에 따라 통상의 포팅법, 오버코트법, 언더필법 등으로 분류된다.The semiconductor package encapsulated by transfer molding as described above is generally called a quad flat package (QFP), and is mounted on a printed circuit board by soldering. In recent years, techniques for directly mounting a printed circuit board (bare chip mounting) before encapsulating a semiconductor chip have been advanced. In order to finally encapsulate these bare chip-mounted semiconductor chips, conventionally, a liquid epoxy encapsulating material mainly composed of the above-described bisphenol-type epoxy resin is used. However, according to the mounting type of the bare chip, conventional potting method, overcoat method, It is classified into the underfill method.

특히, 베어 칩 실장방법중에서 칩 전극과 기판전극을 금선 (와이어) 으로 접속하는 경우에는 포팅법, 오버코트법 등의 상기 칩 및 금선을 봉지재로 덮는 방법이 적용되고, 칩을 표리 반대로 하여 상술한 전극끼리를 직접 접속하는 경우 (플립 칩 실장법) 에는 상기 칩과 기판간의 틈을 봉지재로 충전하는 언더필법이 적용된다.Particularly, in the case of the bare chip mounting method, when the chip electrode and the substrate electrode are connected by gold wires (wires), a method of covering the chip and gold wires with an encapsulant such as a potting method and an overcoat method is applied, and the chip is reversed from the front and rear surfaces. In the case of directly connecting the electrodes (flip chip mounting method), an underfill method for filling a gap between the chip and the substrate with a sealing material is applied.

전자 부품Electronic parts

본 발명에서 봉지되는 전자 부품은 집적회로부품, 혼성집적회로부품, 개별반도체부품 등의 능동부품; 수동부품, 기능부품 등의 일반전자 부품 등을 들 수 있다.Electronic components to be encapsulated in the present invention includes an active component such as an integrated circuit component, hybrid integrated circuit component, individual semiconductor component; General electronic components, such as a passive component and a functional component, etc. are mentioned.

집적회로부품으로서는, 예컨대 CPU (중앙연산처리장치), DRAM (메모리) 등의 반도체 (LSI) 칩 등을 들 수 있다. 혼성집적회로부품으로서는, 예컨대 복수의 집적회로부품이 탑재된 멀티 칩 모듈 (MCM), 집적회로부품과 개별반도체부품, 일반전자 부품이 혼성하여 탑재된 하이브리드 IC 등을 들 수 있다. 개별반도체부품으로서는, 예컨대 다이오드, 트랜지스터, 발광소자 (레이저 다이오드, LED 등), 수광소자 (포토다이오드 등), 광복합소자 (포토커플러 등) 등을 들 수 있다. 일반전자 부품으로서는, 예컨대 저항기, 콘덴서, 인덕터 등의 수동부품; 발진자, 세라믹필터, SAW 필터, NTC 칩 서미스터, 세라믹 배리스터 등의 기능부품 등을 들 수 있다.As an integrated circuit component, semiconductor (LSI) chips, such as a CPU (central processing unit) and DRAM (memory), etc. are mentioned, for example. As the hybrid integrated circuit component, for example, a multi-chip module (MCM) in which a plurality of integrated circuit components are mounted, a hybrid IC in which an integrated circuit component and an individual semiconductor component and a general electronic component are mixed and mounted. Examples of the individual semiconductor parts include diodes, transistors, light emitting elements (laser diodes, LEDs, and the like), light receiving elements (photodiodes and the like), and optical composite elements (photocouplers and the like). As a general electronic component, For example, passive components, such as a resistor, a capacitor, and an inductor; And functional parts such as oscillators, ceramic filters, SAW filters, NTC chip thermistors, ceramic varistors, and the like.

전자 부품 패키지Electronic component package

본 발명에 있어서는 이와 같은 전자 부품을 상술한 봉지 재료를 사용해서 봉지함으로써, 전자 부품 패키지를 얻을 수 있다. 특히, 상술한 트랜스퍼성형에 의해 봉지한 것은 QFP 로서 그대로 패키지로서 사용할 수 있다. 반도체 칩을 소형 프린트기판에 베어 칩 실장한 후, 상술한 액상봉지 재료로 봉지한 것은 이들을 일체로 패키지로 하여 사용된다. 상기 패키지에 머더보드의 프린트기판에 접속할 목적으로 땜납 볼 등의 접속부재를 부착한 것은 볼 그리드 어레이 (BGA) 라 하며, 신규 반도체부품 패키지로서 컴퓨터나 통신기기에 사용할 수 있다.In this invention, an electronic component package can be obtained by sealing such an electronic component using the sealing material mentioned above. In particular, the thing sealed by the above-mentioned transfer molding can be used as a package as a QFP as it is. After bare chip mounting of a semiconductor chip on a small printed circuit board, the semiconductor chip is sealed with the above-mentioned liquid sealing material, and these are used as a package. Attaching a connection member such as a solder ball to the package for connection to a printed circuit board of the motherboard is called a ball grid array (BGA), and can be used as a new semiconductor component package for a computer or a communication device.

[오버코트재료][Overcoat Material]

오버코트재료의 형태Type of Overcoat Material

본 발명의 오버코트재료는 환상 올레핀계 중합체, 경화제 및 원하는 바에 따라 배합되는 다른 배합제를 유기용매나 반응성 희석제로 희석한 상태로 제공된다. 유기용매로서는 상술한 바와 같은 각종 유기용매를 사용할 수 있다. 유기용매는 환상 올레핀계 중합체, 경화제 및 필요에 따라 배합하는 각 성분을 균일하게 용해 내지는 분산하기에 충분한 양비로 사용되고, 고형분농도가 통상 1 ∼ 80 중량%, 바람직하게는 5 ∼ 60 중량%, 보다 바람직하게는 10 ∼ 50 중량% 가 되도록 조정된다.The overcoat material of this invention is provided in the state which diluted cyclic olefin type polymer, a hardening | curing agent, and the other compounding compound mix | blended as desired with an organic solvent or a reactive diluent. As the organic solvent, various organic solvents as described above can be used. The organic solvent is used in an amount sufficient to uniformly dissolve or disperse the cyclic olefin polymer, the curing agent and each component to be blended as necessary, and the solid content concentration is usually 1 to 80% by weight, preferably 5 to 60% by weight, more Preferably it is adjusted to 10 to 50% by weight.

오버코트의 방법은 특별히 제한은 없으며, 종래 공지의 방법을 채택할 수 있다. 구체적으로는 예컨대 롤 코트법, 커튼코트법, 스크린인쇄법, 스핀코트법, 디핑법 등이 통상 사용된다.The method of overcoat is not specifically limited, A conventionally well-known method can be employ | adopted. Specifically, for example, a roll coating method, a curtain coating method, a screen printing method, a spin coating method, a dipping method and the like are usually used.

오버코트재료로서는 핸드링, 프로세스상의 장점 등에서 도포방법에 맞는 점도조정을 실시하는 것이 바람직하다. 예컨대, 스핀코트, 커튼코트 등에서는 25 ℃, E 형 점도계 측정으로 10 cps 이상 3000 cps 이상의 점도로 하는 것이 바람직하다. 점도가 너무 낮으면 충분한 막두께를 얻기 어렵고, 점도가 너무 높으면 균일한 막두께를 얻기 어렵다. 롤 코트, 바 코트 등에서는 1000 cps 이상 100000 cps 이하의 점도로 조정하는 것이 바람직하다. 점도가 너무 낮으면 균일한 막두께를 얻기 어렵고, 점도가 너무 높으면 작업성이 악화된다. 스크린인쇄에서는 요변성을 갖는 점도특성을 부여하는 것이 바람직하다.As an overcoat material, it is preferable to perform viscosity adjustment suitable for a coating method from a handing, a process advantage, etc. For example, in spin coat, curtain coat, etc., it is preferable to set it as the viscosity of 10 cps or more and 3000 cps or more by 25 degreeC and an E-type viscosity meter measurement. If the viscosity is too low, it is difficult to obtain a sufficient film thickness. If the viscosity is too high, it is difficult to obtain a uniform film thickness. In roll coat, bar coat, etc., it is preferable to adjust to the viscosity of 1000 cps or more and 100000 cps or less. If the viscosity is too low, it is difficult to obtain a uniform film thickness. If the viscosity is too high, workability deteriorates. In screen printing, it is preferable to give the viscosity characteristic which has thixotropy.

오버코트막의 두께는 버퍼코트막 또는 패시베이션막으로 사용할 경우에는 1 ∼ 10 ㎛, 보호막으로서 사용할 경우에는 30 ∼ 60 ㎛ 의 범위가 바람직한데, 이들 모두를 일괄하여 오버코트하는 경우에는 30 ㎛ 이상의 두께가 바람직하다.The thickness of the overcoat film is preferably in the range of 1 to 10 μm when used as a buffer coat film or passivation film, and 30 to 60 μm when used as a protective film. A thickness of 30 μm or more is preferable when all of these are collectively overcoated. .

경화방법Curing method

본 발명에서 사용되는 오버코트재료는 열, 빛, 전자선 등의 어떤 방법을 이용해서 경화시켜도 되는데, 비교적 막두께상태로 오버코트할 경우에는 열에 의해 경화시키는 것이 바람직하다. 열에 의한 경화의 경우에는, 오버코트할 전자 부품이 복잡한 삼차원형상인 경우, 충전제, 첨가제 등의 광선이 투과하지 못하는 배합제를 함유하는 경우 등에 적합하다.The overcoat material used in the present invention may be cured by any method such as heat, light, electron beam, or the like. When overcoat in a relatively thick film state, it is preferable to harden by heat. In the case of hardening by heat, it is suitable for the case where the electronic component to overcoat is a complicated three-dimensional shape, when it contains the compounding agent which light rays, such as a filler and an additive, cannot transmit.

전자 부품Electronic parts

본 발명에서 오버코트되는 전자 부품으로서는, 상술한 봉지 재료의 부분에서 설명한 것과 동일한 집적회로부품, 혼성집적회로부품, 개별반도체부품 등의 능동부품; 수동부품, 기능부품 등의 일반전자 부품 등을 들 수 있다. 또한, 전자 부품 패키지도 상술한 바와 같은 것을 들 수 있다.Examples of the electronic component to be overcoated in the present invention include active components such as integrated circuit components, hybrid integrated circuit components, and individual semiconductor components, which are the same as those described above for the encapsulation material; General electronic components, such as a passive part and a functional part, are mentioned. Moreover, the thing similar to the above is mentioned also in an electronic component package.

이하, 실시예, 비교예 및 합성예를 들어 본 발명을 구체적으로 설명한다. 이들 실시예 등에 있어서「부」및「%」는 특별히 지장이 없는 한 중량기준이다.Hereinafter, an Example, a comparative example, and a synthesis example are given and this invention is concretely demonstrated. In these examples, "part" and "%" are based on weight unless there is particular problem.

각종 물성의 측정법은 다음과 같다.The measuring method of various physical properties is as follows.

(1) 유리전이온도 (Tg) 는 시차주사열량법 (DSC 법) 으로 측정한다.(1) The glass transition temperature (Tg) is measured by differential scanning calorimetry (DSC method).

(2) 수 평균 분자량 (Mn) 및 중량평균분자량 (Mw) 은 특별히 기재하지 않는 한 톨루엔을 용매로 하는 겔·퍼미에이션·크로마토그래피 (GPC) 에 의한 폴리스티렌 환산치로서 측정한다.(2) The number average molecular weight (Mn) and the weight average molecular weight (Mw) are measured as polystyrene conversion values by gel permeation chromatography (GPC) using toluene as a solvent unless otherwise specified.

(3) 주쇄의 수소첨가율, 폴리머의 변성율 및 공중합비율은1H-NMR 에 의해 측정한다. 변성율은 상기 식 (1) 로 산출한다.(3) The hydrogenation rate of the main chain, the modification rate and the copolymerization ratio of the polymer are measured by 1 H-NMR. Modification rate is computed by said formula (1).

(4) 유전율 및 유전정접은 JIS C6481 에 준하여 1 ㎒ 에서 측정한다.(4) Dielectric constant and dielectric loss tangent are measured at 1 MHz according to JIS C6481.

(5) 상온에서의 굽힘강도, 인장강도, 인장신장율 및 온도 85 ℃ ×상대습도 (RH) 85 % ×300 시간의 조건하에서의 흡수율은 JIS K6911 에 준거하여 측정한다.(5) Bending strength at room temperature, tensile strength, tensile elongation, and water absorption under the conditions of 85 ° C x relative humidity (RH) 85% x 300 hours are measured according to JIS K6911.

(6) 유리전이온도는 TMA 에 의해 측정한다.(6) Glass transition temperature is measured by TMA.

(7) 순도의 지표로서 시료를 프레셔쿠커시험 PCT (160 ℃ ×20 시간, 4 기압) 에 가한 후, 그 추출수를 사용해서 이온 크로마토그래피 측정기에 의해 염소이온 및 금속이온량을 측정하고, 그 합계량을 산출하여 잔류이온량으로 한다.(7) The sample was added to the pressure cooker test PCT (160 ° C. × 20 hours, 4 atmospheres) as an indicator of purity, and then the amount of chlorine and metal ions was measured by an ion chromatography meter using the extracted water, and the total amount thereof. Calculate the value of Residual Ion.

(8) 온도사이클시험 (TCT) 은 -55 ℃ (30 min) →실온 (5 min) →150 ℃ (30 min) →실온 (5 min) 의 온도사이클을 500 회 반복함으로써 온도충격을 가하여 크랙 발생의 유무를 조사한다. 프레셔쿠커시험 (PCT) 은 습도 100 %, 105 ℃ 의 환경하에 300 시간 방치하여 불량발생의 유무를 조사한다.(8) The temperature cycle test (TCT) generates cracks by applying a temperature shock by repeating the temperature cycle of -55 ° C (30 min) → room temperature (5 min) → 150 ° C (30 min) → room temperature (5 min) 500 times. Investigate the presence of The pressure cooker test (PCT) is carried out in an environment of 100% humidity and 105 ° C for 300 hours to investigate the occurrence of defects.

(9) 보호막 등의 내습성의 평가는 시료를 온도 85 ℃, 상대습도 85 % 의 조건으로 1,000 시간 방치하며, 그 후 1 ㎸ 의 전압을 층간에 인가하여 불량율을 측정한다.(9) To evaluate the moisture resistance of the protective film and the like, the sample was left to stand for 1,000 hours at a temperature of 85 ° C. and a relative humidity of 85%, and then a 1 ㎸ voltage was applied between the layers to measure the defective rate.

[합성예 1]Synthesis Example 1

육염화 텅스텐, 트리이소부틸알루미늄, 이소부틸알코올을 중합촉매로 사용하고, 공지의 방법에 의해 8-에틸테트라시클로[4.4.12,5.17,10.0]-3-도데센 (이하, ETD 라 함) 을 개환 중합한다. 얻어진 개환 중합체를 니켈아세틸아세토네이트와 트리이소부틸알루미늄을 사용해서 공지의 방법으로 수소첨가하여 ETD 의 개환 중합체 수소첨가물 (수소화율 ≥ 99 %, Tg = 138 ℃, Mn = 18,500, Mw = 31,600) 을 얻는다. 이 수소첨가물 100 부에 대하여 무수말레산 30 부, 디쿠밀퍼옥시드 10 부, tert-부틸벤젠 300 부를 혼합하고, 오토클레이브중에서 150 ℃, 4 시간 반응을 실시한 후, 반응액을 300 부의 메탄올중에 부어 응고시킨다. 응고물을 건조시켜 무수말레산 변성 폴리머 (A) 를 얻는다. 그 합성결과를 표 1 에 나타낸다.Using tungsten hexachloride, triisobutylaluminum and isobutyl alcohol as a polymerization catalyst, 8-ethyl tetracyclo [4.4.1 2,5 .1 7,10 .0] -3-dodecene ( Hereinafter, ETD) is ring-opened polymerization. The obtained ring-opened polymer was hydrogenated using a known method using nickel acetylacetonate and triisobutylaluminum to give hydrogenated ring-opened polymer hydrogenated ETD (hydrogenation rate ≥ 99%, Tg = 138 ° C, Mn = 18,500, Mw = 31,600). Get 30 parts of maleic anhydride, 10 parts of dicumyl peroxide, and 300 parts of tert-butylbenzene were mixed with respect to 100 parts of the hydrogenated substance, and the reaction solution was poured into 300 parts of methanol after reacting at 150 DEG C for 4 hours in an autoclave. Solidify. The coagulum is dried to obtain maleic anhydride modified polymer (A). The synthesis results are shown in Table 1.

[합성예 2]Synthesis Example 2

무수말레산 30 부를 알릴글리시딜에테르 30 부로 변경한 것 이외에는 합성예 1 과 동일한 방법으로 에폭시 변성 폴리머 (B) 를 얻는다. 그 합성결과를 표 1 에 나타낸다.An epoxy modified polymer (B) is obtained in the same manner as in Synthesis example 1 except that 30 parts of maleic anhydride was changed to 30 parts of allylglycidyl ether. The synthesis results are shown in Table 1.

[합성예 3]Synthesis Example 3

테트라시클로[4.4.12,5, 17,10.0]-3-도데센 (이하, TCD 라 함) 과 에틸렌을 공지의 방법으로 부가공중합하여 부가형 공중합체 (TCD 함유량 38 몰%, Tg = 135 ℃, Mn = 15,200, Mw = 35,600) 를 얻는다. 이 부가형 공중합체를 사용하는 것 이외에는 합성예 1 과 동일한 방법으로 무수말레산 변성 폴리머 (C) 를 얻는다. 그 합성결과를 표 1 에 나타낸다.Tetracyclo [4.4.1 2,5 , 1 7,10 .0] -3-dodecene (hereinafter referred to as TCD) and ethylene by addition copolymerization by addition method to add copolymer (TCD content 38 mol%, Tg = 135 ° C, Mn = 15,200, Mw = 35,600). A maleic anhydride modified polymer (C) is obtained in the same manner as in Synthesis example 1 except using this addition type copolymer. The synthesis results are shown in Table 1.

[합성예 4]Synthesis Example 4

무수말레산 30 부를 알릴글리시딜에테르 30 부로 변경한 것 이외에는 합성예 3 과 동일한 방법으로 에폭시 변성 폴리머 (D) 를 얻는다. 그 합성결과를 표 1 에 나타낸다.An epoxy modified polymer (D) was obtained in the same manner as in Synthesis Example 3 except that 30 parts of maleic anhydride was changed to 30 parts of allylglycidyl ether. The synthesis results are shown in Table 1.

[합성예 5]Synthesis Example 5

일본 공개특허공보 평7-258318 호에 기재되어 있는 Li 계 리빙음이온 중합촉매 [n-BuLi/테트라메틸렌디아민 (TMEDA : 리빙음이온 안정화제) = 1/1 (몰비)] 를 사용해서 1,3-시클로헥사디엔 (C-HD) 을 중합하여 1,4-부가형 중합체를 얻는다. 이어서, 이 부가형 중합체를 수소첨가하여 수소첨가물 (수소화율 ≥ 99 %, Tg = 219 ℃, Mn = 53,400, Mw = 78,000) 을 얻는다. 이 수소첨가물을 사용하는 것 이외에는 합성예 1 과 동일한 방법으로 무수말레산 변성 폴리머 (E) 를 얻는다. 그 합성결과를 표 1 에 나타낸다.1,3- using Li-based living anion polymerization catalyst [n-BuLi / tetramethylenediamine (TMEDA: living anion stabilizer) = 1/1 (molar ratio)] described in JP-A-7-258318 Cyclohexadiene (C-HD) is polymerized to obtain a 1,4-addition polymer. This addition polymer is then hydrogenated to obtain a hydrogenated product (hydrogenation rate> 99%, Tg = 219 占 폚, Mn = 53,400, Mw = 78,000). A maleic anhydride modified polymer (E) is obtained in the same manner as in Synthesis example 1 except that this hydrogenated substance is used. The synthesis results are shown in Table 1.

[합성예 6]Synthesis Example 6

무수말레산 30 부를 알릴글리시딜에테르 30 부로 변경한 것 이외에는 합성예 5 와 동일한 방법으로 에폭시 변성 폴리머 (F) 를 얻는다. 그 합성결과를 표 1 에 나타낸다.An epoxy modified polymer (F) was obtained in the same manner as in Synthesis Example 5 except that 30 parts of maleic anhydride was changed to 30 parts of allylglycidyl ether. The synthesis results are shown in Table 1.

[합성예 7]Synthesis Example 7

수 평균 분자량 (Mn) 이 9,200 인 폴리(2,6-디메틸-1,4-페닐렌에테르) 100 부와, 무수말레산 6.0 부 및 2,5-디메틸-2,5-디(t-부틸퍼옥시)헥산 (닛폰유시(주) 제조 퍼헥사 25B) 2.0 부를 실온에서 드라이블렌드한 후, 실린더 온도 300 ℃, 스크루 회전수 230 rpm 의 조건으로 2 축압출기로 압출하여 무수말레산 변성 폴리페닐렌에테르 (PPE) (G) 를 얻는다. 그 합성결과를 표 1 에 나타낸다.100 parts of poly (2,6-dimethyl-1,4-phenylene ether) having a number average molecular weight (Mn) of 9,200, 6.0 parts of maleic anhydride and 2,5-dimethyl-2,5-di (t-butyl) 2.0 parts of peroxy) hexane (Nippon Yushi Co., Ltd. perhexa 25B) were dry blended at room temperature, and it extruded with a twin screw extruder on the conditions of a cylinder temperature of 300 degreeC, and a screw speed of 230 rpm, and a maleic anhydride modified polyphenylene. Ether (PPE) (G) is obtained. The synthesis results are shown in Table 1.

[합성예 8]Synthesis Example 8

합성예 1 에서 얻어진 개환 중합체 수소첨가물 100 부에 대하여 디쿠밀퍼옥사이드 1.0 부 및 비닐트리메톡시실란 3.0 부를 첨가하고, 2 축압출기를 사용해서 수지온도 240 ℃ 로 가열혼련하여 실란 변성 폴리머 (H) 를 얻는다. 그 합성결과를 표 1 에 나타낸다.To 100 parts of the ring-opened polymer hydrogenated compound obtained in Synthesis Example 1, 1.0 part of dicumyl peroxide and 3.0 parts of vinyltrimethoxysilane were added, and the mixture was heated and kneaded at a resin temperature of 240 ° C. using a twin screw extruder to produce the silane-modified polymer (H). Get The synthesis results are shown in Table 1.

(1) ETD : 에틸테트라시클로도데센개환중합체 (수첨물)(1) ETD: ethyl tetracyclododecene ring-opening polymer (hydrogen)

(2) TCD/에틸렌 : 테트라시클로도데센/에틸렌부가공중합체(2) TCD / ethylene: tetracyclododecene / ethylene copolymer

(3) C-HD : 1,3-시클로헥사디엔부가중합체 (수첨물)(3) C-HD: 1,3-cyclohexadiene addition polymer (hydride)

(4) PPE : 폴리페닐렌에테르(4) PPE: polyphenylene ether

(5) MAAH : 무수말레산(5) MAAH: maleic anhydride

(6) AGE : 알릴글리시딜에테르(6) AGE: allyl glycidyl ether

(7) BTMS : 비닐트리메톡시실란(7) BTMS: vinyltrimethoxysilane

[실시예 1 ∼ 6][Examples 1 to 6]

이하,수지단독의 경화물 및 반도체 봉지 재료에 관한 실시예 및 비교예를 설명한다.Hereinafter, the Example and comparative example regarding hardened | cured material of resin only and a semiconductor sealing material are demonstrated.

우선, 수지단독의 경화물의 시험편을 작성하기 위하여, 상기 합성예 1 ∼ 6 에서 합성한 변성폴리머 (A) ∼ (F) 와 경화제로서 페놀노볼락수지 (TD-2131 : 다이닛폰잉크가가쿠고교(주) 제조, 연화점 80 ℃), 경화촉진제로서 트리페닐포스핀 (TPP) 를 사용해서 표 2 에 나타낸 조성으로 혼합하여 경화성 수지 조성물을 조제한다.First, in order to prepare a test piece of a cured product of a resin alone, phenol novolac resin (TD-2131: Dainippon Ink & Chemicals Co., Ltd.) as a modified polymer (A) to (F) synthesized in Synthesis Examples 1 to 6 and a curing agent ( Note) The composition, the softening point of 80 ° C.), and triphenylphosphine (TPP) as a curing accelerator were mixed in the composition shown in Table 2 to prepare a curable resin composition.

이들 수지 조성물을 100 ℃ 에서 2 시간, 이어서 160 ℃ 에서 2 시간, 그리고 180 ℃ 에서 2 시간의 조건으로 경화시켜 시험편으로 하고, 상온에서의 굽힘강도, 인장강도, 인장신장율 및 85 ℃ ×85 % RH ×300 시간의 조건하에서의 흡수율을 측정한다. 그리고 유리전이온도,잔류이온량, 전기특성을 측정한다. 이들의 결과를 표 32 에 나타낸다.These resin compositions were cured under conditions of 2 hours at 100 ° C, 2 hours at 160 ° C, and 2 hours at 180 ° C to form test pieces, and were subjected to bending strength, tensile strength, tensile elongation, and 85 ° C x 85% RH at room temperature. The water absorption under the conditions of x300 hours is measured. The glass transition temperature, residual ions and electrical characteristics are measured. These results are shown in Table 32.

[비교예 1]Comparative Example 1

합성예 7 에서 합성한 무수말레산 변성 폴리페닐렌에테르 (PPE) (G) 를 사용하고 또한 경화제 및 경화촉진제를 표 2 로 변경한 것 이외에는 실시예 1 과 동일한 방법으로 실시한다. 조성 및 결과를 표 2 및 표 3 에 나타낸다.The same procedure as in Example 1 was carried out except that maleic anhydride-modified polyphenylene ether (PPE) (G) synthesized in Synthesis Example 7 was used, and the curing agent and curing accelerator were changed to Table 2. The compositions and results are shown in Tables 2 and 3.

[비교예 2]Comparative Example 2

합성예 8 에서 합성한 실란 변성 폴리머 (H) 를 사용하고, 경화제 및 경화촉진제를 첨가하는 대신에 실란올축합촉매인 디부틸주석라우레이트를 사용하고, 경화반응을 100 ℃ 의 열수중에서 2 시간 실시하는 것 이외에는 실시예 1 과 동일한 방법으로 시험편을 작성하여 평가한다. 결과를 표 2 및 표 3 에 나타낸다.The silane modified polymer (H) synthesized in Synthesis Example 8 was used, and instead of adding a curing agent and a curing accelerator, dibutyltin laurate, a silanol condensation catalyst, was used, and the curing reaction was carried out in hot water at 100 ° C. for 2 hours. A test piece was created and evaluated in the same manner as in Example 1 except that the test piece was made. The results are shown in Tables 2 and 3.

(1) PNR : 페놀노볼락수지 (다이닛폰잉크가가쿠고교(주) 제조, TD-2131, 연화점 80℃)(1) PNR: Phenol novolac resin (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd. make, TD-2131, softening point 80 ℃)

(2) PBH : 2,5-디메틸-2,5-디-t-부틸퍼옥시헥신-3(2) PBH: 2,5-dimethyl-2,5-di-t-butylperoxyhexine-3

(3) TPP : 트리페닐포스핀(3) TPP: triphenylphosphine

(4) TAIC : 트리알릴이소시아누레이트(4) TAIC: triallyl isocyanurate

표 3 의 결과에서 알 수 있는 바와 같이, 무수말레산 변성 PPE 를 사용한 경우 (비교예 1) 에는 흡수율이 높고 잔류이온량이 많다. 실란 변성 폴리머를 사용해서 수가교한 경우 (비교예 2) 는 경화반응이 충분히 진행되지 않고 가교밀도가 저하되어 굽힘강도 등의 기계적 물성이 불충분하다.As can be seen from the results in Table 3, when maleic anhydride-modified PPE is used (Comparative Example 1), the absorption rate is high and the amount of residual ions is large. In the case of water crosslinking using a silane-modified polymer (Comparative Example 2), the curing reaction does not proceed sufficiently, the crosslinking density decreases, and mechanical properties such as bending strength are insufficient.

[실시예 7 ∼ 14][Examples 7 to 14]

합성예 1 ∼ 6 에서 얻어진 폴리머 (A) ∼ (F) 100 부에 표 4 에 기재된 경화제 및 경화촉진제를 첨가하며, 그리고 난연제로서 브롬화 비스페놀 A 형 에폭시 수지 (EPI 152 : 다이닛폰잉크가가쿠고교(주) 제조) 20 부, 난연조제로서 Sb2O3를 10 부, 충전제로서 용융실리카 400 부, 그 외 배합제로서 카르나우바왁스 2 부, 카본블랙 1.5 부를 첨가하여 반도체 봉지 재료를 작성한다. 조성을 일괄하여 표 4 에 나타낸다.The hardening | curing agent and hardening accelerator of Table 4 are added to 100 parts of polymers (A)-(F) obtained by the synthesis examples 1-6, and a brominated bisphenol-A epoxy resin (EPI 152: Dainippon Ink & Chemicals Co., Ltd. Note) 20 parts of manufacture), 10 parts of Sb 2 O 3 as a flame retardant aid, 400 parts of fused silica as a filler, 2 parts of carnauba wax and 1.5 parts of carbon black as a compounding agent are added to prepare a semiconductor encapsulating material. The composition is collectively shown in Table 4.

상기한 바와 같이 조제된 반도체 봉지 재료는 열 롤로 100 ℃ ×8 분간 혼련하고, 그 후 분쇄한 것을 1200 ∼ 1400 ㎏/㎠ 의 압력으로 타블렛을 작성하고, 이것을 사용해서 트랜스퍼성형기로 플런저압력 80 ㎏/㎠, 금형온도 175 ℃, 성형시간 100 초의 조건하에서 평가용 시험편 (반도체소자를 봉지한 패키지) 을 작성한다. 그 후, 175 ℃ 에서 8 시간의 후경화를 실시한다. 이것을 사용해서 온도사이클시험 (TCT) 및 프레셔쿠커시험 (PCT) 을 실시한다. 시험편 수는 20 개 (n = 20) 로 하고, 이들의 시험시의 크랙 발생율을 조사한다. 이들 결과를 표 5 에 나타낸다.The semiconductor encapsulating material prepared as described above was kneaded with a heat roll at 100 ° C. for 8 minutes, and thereafter, a tablet was prepared at a pressure of 1200 to 1400 kg / cm 2, and the plunger pressure was 80 kg / using a transfer molding machine. A test piece for evaluation (a package encapsulating a semiconductor element) was prepared under the conditions of cm 2, mold temperature of 175 ° C. and molding time of 100 seconds. Thereafter, postcure for 8 hours at 175 ° C. Using this, the temperature cycle test (TCT) and pressure cooker test (PCT) are carried out. The number of test pieces shall be 20 pieces (n = 20), and the crack generation rate at the time of these tests is investigated. These results are shown in Table 5.

[비교예 3]Comparative Example 3

합성예 7 에서 합성한 무수말레산 변성 폴리페닐렌에테르 (PPE) (G) 를 사용하고 또한 경화제 및 경화촉진제를 표 4 의 것으로 변경한 것 이외에는 실시예 7 과 동일한 방법으로 실시한다. 조성 및 결과를 표 4 및 표 5 에 나타낸다.The same procedure as in Example 7 was carried out except that maleic anhydride-modified polyphenylene ether (PPE) (G) synthesized in Synthesis Example 7 was used, and the curing agent and curing accelerator were changed to those in Table 4. The compositions and results are shown in Tables 4 and 5.

[비교예 4][Comparative Example 4]

합성예 8 에서 합성한 실란 변성 폴리머 (H) 를 사용하고, 경화제 및 경화촉진제 대신에 실란올축합촉매인 디부틸주석라우레이트를 사용하고, 경화반응을 100 ℃ 의 열수중에서 2 시간 실시하는 것 이외에는 실시예 7 과 동일한 방법으로 시험편을 작성하여 평가한다. 결과를 표 4 및 표 5 에 나타낸다.The silane-modified polymer (H) synthesized in Synthesis Example 8 was used, and dibutyltin laurate as a silanol condensation catalyst was used instead of the curing agent and the curing accelerator, and the curing reaction was carried out in hot water at 100 ° C. for 2 hours. Test pieces are prepared and evaluated in the same manner as in Example 7. The results are shown in Tables 4 and 5.

(1) PNR : 페놀노볼락수지 (다이닛폰잉크가가쿠고교(주) 제조, TD-2131, 연화점 80℃)(1) PNR: Phenol novolac resin (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd. make, TD-2131, softening point 80 ℃)

(2) TPP : 트리페닐포스핀(2) TPP: triphenylphosphine

(3) DADPM : 4,4'-디아미노디페닐메탄(3) DADPM: 4,4'-diaminodiphenylmethane

(4) MAAH : 무수말레산(4) MAAH: maleic anhydride

(5) PBH : 2,5-디메틸-2,5-디-t-부틸퍼옥시헥신-3(5) PBH: 2,5-dimethyl-2,5-di-t-butylperoxyhexine-3

(6) TAIC : 트리알릴이소시아누레이트(6) TAIC: triallyl isocyanurate

(7) BPAE : 브롬화 비스페놀A형 에폭시수지 (다이닛폰잉크가가쿠고교(주) 제조, EPI152)(7) BPAE: brominated bisphenol A epoxy resin (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals Co., Ltd., EPI152)

표 5 의 결과에서 알 수 있는 바와 같이, 무수말레산 변성 PPE 를 사용한 경우 (비교예 3) 에는 PCT 시험 및 TCT 시험 모두에서 크랙의 발생이 보인다. 또한, 실란 변성 폴리머를 사용해서 수가교한 경우 (비교예 4) 는 크랙의 발생이 현저했다.As can be seen from the results of Table 5, when maleic anhydride-modified PPE was used (Comparative Example 3), cracks were observed in both the PCT test and the TCT test. In addition, in the case of water crosslinking using a silane-modified polymer (Comparative Example 4), the generation of cracks was remarkable.

이상의 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, 변성할 때의 극성기 도입율이 적은 경우, 극성기와 경화제의 조합이 적당하지 않은 경우에는, 봉지 재료의 경화시의 가교밀도가 저하되어 기계강도가 저하되고, TCT 나 PCT 등의 신뢰성 시험에 있어서 크랙의 발생수가 대폭 증가함을 알 수 있다.As can be seen from the above results, when the ratio of polar group introduction at the time of denaturation is small, when the combination of the polar group and the curing agent is not suitable, the crosslinking density at the time of hardening of the encapsulating material is lowered and the mechanical strength is lowered. It can be seen that the number of cracks greatly increased in reliability tests such as PCT.

[합성예 9]Synthesis Example 9

(에폭시 변성 노르보르넨계 공중합체의 제조)(Preparation of epoxy modified norbornene-based copolymer)

〈중합〉<polymerization>

미국특허 제 5,468,819 호 명세서에 기재되어 있는 공지의 방법에 의해 2-노르보르넨 (NB) 과 5-데실-2-노르보르넨 (DNB) 의 부가공중합체 [폴리스티렌 환산으로 수 평균 분자량 (Mn) = 69,200, 중량평균분자량 (Mw) = 132,100, 공중합조성비 = NB/DNB = 76/24 (몰비), Tg = 260 ℃] 를 얻는다.Adduct copolymer of 2-norbornene (NB) and 5-decyl-2-norbornene (DNB) by the known method described in US Patent No. 5,468,819 [Number average molecular weight (Mn) = 69,200, weight average molecular weight (Mw) = 132,100, copolymerization composition ratio = NB / DNB = 76/24 (molar ratio), Tg = 260 ° C].

〈에폭시변성〉<Epoxy degeneration>

상기에서 얻어진 노르보르넨계 공중합체 28 부, 5,6-에폭시-1-헥센 10 부 및 디쿠밀퍼옥시드 2 부를 t-부틸벤젠 130 부에 용해시켜 140 ℃ 에서 6 시간 반응을 실시한다. 얻어진 반응생성물 용액을 300 부의 메탄올중에 붓고, 반응생성물을 응고시킨다. 응고된 에폭시 변성 중합체를 100 ℃ 에서 20 시간 진공건조시켜 에폭시 변성 노르보르넨계 공중합체를 26 부 얻는다. 이 수지의 분자량은 Mn = 72,600, Mw = 198,400 이고, Tg 는 265 ℃ 였다. 이 에폭시 변성 노르보르넨계 공중합체의1H-NMR 로 측정한 에폭시기 함유율은 폴리머의 반복구조단위당 2.4 % 였다. 이 에폭시 변성 노르보르넨계 공중합체 15 부와 광반응성 물질 (광경화제) 로서 4,4'-비스아지드벤잘(4-메틸)시클로헥사논 0.6 부를 크실렌 45 부에 용해시킨 결과, 침전을 일으키는 일 없이 균일한 용액이 되었다.28 parts of norbornene-based copolymers obtained above, 10 parts of 5,6-epoxy-1-hexene and 2 parts of dicumylperoxide are dissolved in 130 parts of t-butylbenzene, and the reaction is carried out at 140 ° C for 6 hours. The reaction product solution obtained is poured into 300 parts of methanol to solidify the reaction product. The coagulated epoxy modified polymer was vacuum dried at 100 ° C. for 20 hours to obtain 26 parts of epoxy modified norbornene-based copolymer. The molecular weight of this resin was Mn = 72,600, Mw = 198,400, and Tg was 265 degreeC. The epoxy group content rate measured by <1> H-NMR of this epoxy modified norbornene-type copolymer was 2.4% per repeating structural unit of a polymer. 15 parts of the epoxy-modified norbornene-based copolymer and 0.6 parts of 4,4'-bisazidebenzal (4-methyl) cyclohexanone as 45 parts of xylene as a photoreactive substance (photocuring agent) were dissolved to cause precipitation. It became a homogeneous solution without.

[합성예 10]Synthesis Example 10

(에폭시 변성 노르보르넨/에틸렌 공중합체의 제조)(Preparation of epoxy modified norbornene / ethylene copolymer)

〈중합〉<polymerization>

일본 공개특허공보 평7-292020 호에 기재되어 있는 공지의 방법에 의해 NB 와 에틸렌의 부가공중합체 [Mn = 66,200, Mw = 142,400, 공중합조성비 = NB/에틸렌=63/37 (몰비), Tg = 184 ℃] 를 얻는다.Addition copolymer of NB and ethylene [Mn = 66,200, Mw = 142,400, copolymer composition ratio = NB / ethylene = 63/37 (molar ratio), Tg = by a known method described in JP-A-7-292020 184 ° C.] is obtained.

〈에폭시변성〉<Epoxy degeneration>

상기에서 얻어진 노르보르넨/에틸렌 공중합체 30 부, 5,6-에폭시-1-헥센 10 부 및 디쿠밀퍼옥시드 2 부를 t-부틸벤젠 130 부에 용해시켜 140 ℃ 에서 6 시간 반응을 실시한다. 얻어진 반응생성물 용액을 300 부의 메탄올중에 붓고, 반응생성물을 응고시킨다. 응고된 에폭시 변성 중합체를 100 ℃ 에서 20 시간 진공건조시켜 에폭시 변성 노르보르넨/에틸렌 공중합체를 29 부 얻는다. 이 수지의 분자량은 Mn = 82,400, Mw = 192,300 이고, Tg 는 185 ℃ 였다. 이 에폭시 변성 노르보르넨계 공중합체의1H-NMR 로 측정한 에폭시기 함유율은 폴리머의 반복구조단위당 2.4 % 였다. 이 에폭시 변성 노르보르넨계 공중합체 15 부와 광반응성 물질로서 4,4'-비스아지드벤잘(4-메틸)시클로헥사논 0.6 부를 크실렌 45 부에 용해시킨 결과, 침전을 일으키는 일 없이 균일한 용액이 되었다.30 parts of norbornene / ethylene copolymers obtained above, 10 parts of 5,6-epoxy-1-hexene and 2 parts of dicumylperoxide are dissolved in 130 parts of t-butylbenzene, and the reaction is carried out at 140 ° C for 6 hours. The reaction product solution obtained is poured into 300 parts of methanol to solidify the reaction product. The coagulated epoxy modified polymer is vacuum dried at 100 ° C. for 20 hours to obtain 29 parts of epoxy modified norbornene / ethylene copolymer. The molecular weight of this resin was Mn = 82,400, Mw = 192,300 and Tg was 185 ° C. The epoxy group content rate measured by <1> H-NMR of this epoxy modified norbornene-type copolymer was 2.4% per repeating structural unit of a polymer. As a result of dissolving 15 parts of this epoxy-modified norbornene-based copolymer and 0.6 parts of 4,4'-bisazidebenzal (4-methyl) cyclohexanone in 45 parts of xylene as a photoreactive substance, a uniform solution without causing precipitation It became.

[합성예 11]Synthesis Example 11

(에폭시 변성 노르보르넨계 공중합체의 제조)(Preparation of epoxy modified norbornene-based copolymer)

〈중합〉<polymerization>

5-데실-2-노르보르넨 26 부 대신에 5-헥실-2-노르보르렌 (HNB) 18 부를 사용하고 또한 5-에틸리덴-2-노르보르넨 (ENB) 3 부를 첨가한 것 이외에는, 제조예 1 과 동일한 방법으로 중합을 실시한다. 21 부의 노르보르넨계 공중합체 [Mn = 71,100, Mw = 107,000, 공중합조성비 = NB/HNB/ENB = 74/23/3 (몰비), Tg = 323 ℃] 를 얻는다.18 parts of 5-hexyl-2-norbornene (HNB) were used instead of 26 parts of 5-decyl-2-norbornene and 3 parts of 5-ethylidene-2-norbornene (ENB) were added, The polymerization is carried out in the same manner as in Production Example 1. 21 parts of norbornene-based copolymer [Mn = 71,100, Mw = 107,000, copolymerization composition ratio = NB / HNB / ENB = 74/23/3 (molar ratio), Tg = 323 ° C] is obtained.

〈에폭시변성〉<Epoxy degeneration>

상기에서 얻어진 노르보르넨계 공중합체 30 부를 120 부의 톨루엔에 첨가하고, 120 ℃ 로 가열하여 용해하고, t-부틸히드로퍼옥시드 1.2 부와 헥사카르보닐몰리브덴 0.09 부를 첨가하여 2 시간 환류한다. 이것을 100 부의 냉메탄올중에 붓고, 반응생성물을 응고시킨다. 응고된 에폭시 변성 중합체를 80 ℃ 에서 20 시간 진공건조시켜 에폭시 변성 노르보르넨계 공중합체 30 부를 얻는다. 이 에폭시 변성 노르보르넨계 공중합체의 Mn = 85,200, Mw = 154,600, Tg = 328 ℃ 이고,1H-NMR 로 측정한 불포화 결합으로의 에폭시 변성율은 100 % 이고, 폴리머의 반복구조단위당 에폭시기 함유율은 3.0 % 였다. 이 에폭시 변성 노르보르넨계 공중합체 15 부와 광반응성 물질로서 4,4'-비스아지드벤잘(4-메틸)시클로헥사논 0.6 부를 크실렌 45 부에 용해시킨 결과, 침전을 일으키는 일 없이 균일한 용액이 되었다.30 parts of norbornene-based copolymers obtained above are added to 120 parts of toluene, heated to 120 ° C to dissolve, and 1.2 parts of t-butylhydroperoxide and 0.09 parts of hexacarbonyl molybdenum are added to reflux for 2 hours. This is poured into 100 parts of cold methanol to solidify the reaction product. The solidified epoxy-modified polymer is vacuum dried at 80 ° C. for 20 hours to obtain 30 parts of epoxy-modified norbornene-based copolymer. Mn = 85,200, Mw = 154,600, Tg = 328 ° C of the epoxy-modified norbornene-based copolymer, the epoxy modification ratio of the unsaturated bond measured by 1 H-NMR is 100%, and the epoxy group content per repeat structural unit of the polymer is 3.0%. As a result of dissolving 15 parts of this epoxy-modified norbornene-based copolymer and 0.6 parts of 4,4'-bisazidebenzal (4-methyl) cyclohexanone in 45 parts of xylene as a photoreactive substance, a uniform solution without causing precipitation It became.

[합성예 12] (말레산 변성 노르보르넨 공중합체)Synthesis Example 12 (Maleic Acid Modified Norbornene Copolymer)

〈말레산 변성〉<Maleic acid degeneration>

제조예 9 에서 얻어진 노르보르넨계 공중합체 30 부를 150 부의 톨루엔에 첨가하고, 120 ℃ 로 가열하여 용해하고, 무수말레산의 톨루엔용액 (3 부/100 부) 및 디쿠밀퍼옥시드의 톨루엔용액 (0.3 부/45 부) 를 서서히 첨가하여 4 시간 반응한다. 이것을 600 부의 냉메탄올중에 붓고, 반응생성물을 응고시킨다. 응고된 에폭시 변성 중합체를 80 ℃ 에서 20 시간 진공건조시켜 말레산 변성 노르보르넨계 공중합체 30 부를 얻는다. 이 수지의 Mn = 73,100, Mw = 162,400, Tg = 266 ℃ 이고,1H-NMR 로 측정한 폴리머의 반복구조단위당 말레산 함유율은 2.5 % 였다. 이 말레산 변성 노르보르넨계 공중합체 15 부와 가교조제로서 9 부의 트리알릴시아누레이트, 퍼옥사이드로서 1.2 부의 2,5-디메틸-2,5-디(t-부틸퍼옥시)헥신-3 을 크실렌 45 부에 용해시킨 결과, 침전을 일으키는 일 없이 균일한 용액이 되었다.30 parts of norbornene-based copolymer obtained in Production Example 9 was added to 150 parts of toluene, heated to 120 ° C to dissolve, toluene solution of maleic anhydride (3 parts / 100 parts) and toluene solution of dicumylperoxide (0.3 Parts / 45 parts) is added slowly and reacted for 4 hours. This is poured into 600 parts of cold methanol to solidify the reaction product. The solidified epoxy modified polymer is vacuum dried at 80 ° C. for 20 hours to obtain 30 parts of maleic acid-modified norbornene-based copolymer. Mn = 73,100, Mw = 162,400 and Tg = 266 ° C of this resin, and the maleic acid content per repeating structural unit of the polymer measured by 1 H-NMR was 2.5%. 15 parts of this maleic acid-modified norbornene-based copolymer, 9 parts of triallyl cyanurate as a crosslinking aid, and 1.2 parts of 2,5-dimethyl-2,5-di (t-butylperoxy) hexyne-3 as a peroxide As a result of dissolving in 45 parts of xylene, a uniform solution was obtained without causing precipitation.

[합성예 13] (히드록시 변성 NB/HNB/ENB 공중합체)Synthesis Example 13 (hydroxy-modified NB / HNB / ENB copolymer)

〈히드록시변성〉<Hydroxy modification>

합성예 11 에서 얻어진 노르보르넨계 공중합체 30 부를 300 부의 톨루엔에 첨가하고, 120 ℃ 로 가열하여 용해하고, 90 % 포름산 50 부와 30 % 과산화수소 7.5 부를 서서히 적하하여 2 시간 환류한다. 이어서, 수산화나트륨용액메탄올로 중화처리한 후, 700 부의 아세톤중에 부어 반응생성물을 응고시킨다. 응고된 변성중합체를 80 ℃ 에서 20 시간 진공건조시켜 히드록시 변성 노르보르넨계 공중합체 30 부를 얻는다. 이 수지의 Mn = 82,100, Mw = 133,400, Tg = 328 ℃ 이고,1H-NMR 로 측정한 불포화 결합의 히드록시 변성율은 100 % 이고, 폴리머의 반복구조단위당 히드록시기 함유율은 3.0 % 였다. 이 히드록시 변성 노르보르넨계 공중합체 15 부와, 9 부의 트리알릴시아누레이트 9 부, 1.2 부의 2,5'-디메틸-2,5-디(t-부틸퍼옥시)헥신-3 을 크실렌 45 부에 용해시킨 결과, 침전을 일으키는 일 없이 균일한 용액이 되었다.30 parts of norbornene-based copolymers obtained in Synthesis Example 11 are added to 300 parts of toluene, heated to 120 ° C to dissolve, and 50 parts of 90% formic acid and 7.5 parts of 30% hydrogen peroxide are slowly added dropwise to reflux for 2 hours. Subsequently, after neutralizing with sodium hydroxide solution methanol, the mixture was poured into 700 parts of acetone to solidify the reaction product. The coagulated modified polymer is vacuum dried at 80 ° C. for 20 hours to obtain 30 parts of hydroxy-modified norbornene-based copolymer. The resin had a Mn of 82,100, Mw = 133,400 and Tg = 328 ° C. The hydroxy modification rate of the unsaturated bond measured by 1 H-NMR was 100%, and the hydroxy group content per repeat structural unit of the polymer was 3.0%. 15 parts of this hydroxy-modified norbornene-based copolymer, 9 parts of 9 parts of triallyl cyanurate, and 1.2 parts of 2,5'-dimethyl-2,5-di (t-butylperoxy) hexine-3 were xylene 45 As a result of dissolving in a portion, a uniform solution was obtained without causing precipitation.

[합성예 14]Synthesis Example 14

〈중합〉<polymerization>

일본 공개특허공보 평4-77520 호에 기재된 공지의 방법에 의해 메틸메톡시테트라시클로도데센의 개환 중합 및 수소첨가반응을 실시하여 수소첨가율 100 %, 폴리스티렌 환산에 의한 수 평균 분자량 (Mn) = 16,400, 중량평균분자량 (Mw) = 58,100, Tg = 172 ℃ 의 개환 중합체 수소첨가물을 얻는다.The ring-opening polymerization and hydrogenation reaction of methylmethoxytetracyclododecene were carried out by the known method described in JP-A-477520, and the number average molecular weight (Mn) in terms of hydrogenation rate of 100% and polystyrene was 16,400. The ring-opened polymer hydrogenated substance with weight average molecular weight (Mw) = 58,100, Tg = 172 degreeC is obtained.

얻어진 개환 중합체 수소첨가물 15 부, 경화조제로서 9 부의 트리알릴시아누레이트, 1.2 부의 2,5-디메틸-2,5-디(t-부틸퍼옥시)헥신-3 을 크실렌 45 부에 용해시킨 결과, 침전을 일으키는 일 없이 균일한 용액이 되었다.As a result of dissolving 15 parts of the obtained ring-opened polymer hydrogenated substance and 9 parts of triallyl cyanurate and 1.2 parts of 2,5-dimethyl-2,5-di (t-butylperoxy) hexyne-3 in 45 parts of xylene as a curing aid It became a uniform solution without causing precipitation.

[합성예 15]Synthesis Example 15

〈중합〉<polymerization>

일본 공개특허공보 평7-258318 호에 기재된 공지의 방법에 의해 시클로헥사디엔의 부가중합 및 수소첨가반응을 실시하여 폴리스티렌 환산으로 수 평균 분자량 (Mn) = 48,300, 중량평균분자량 (Mw) = 72,200, Tg = 218 ℃ 의 중합체를 얻는다. 얻어진 환상공액디엔계 중합체 수소첨가물의1H-NMR 에 의한 수소첨가율은 85 % 였다.Cyclohexadiene addition polymerization and hydrogenation were carried out by a known method described in JP-A-7-258318, and the number average molecular weight (Mn) = 48,300, weight average molecular weight (Mw) = 72,200, in terms of polystyrene. A polymer of Tg = 218 ° C. is obtained. The hydrogenation rate by 1 H-NMR of the obtained cyclic conjugated diene type polymer hydrogenated substance was 85%.

〈에폭시변성〉<Epoxy degeneration>

상기에서 얻어진 환상공액디엔계 중합체 수소첨가물 30 부를 120 부의 톨루엔에 첨가하고, 120 ℃ 로 가열하여 용해하고, t-부틸히드로퍼옥시드 1.2 부와 헥사카르보닐몰리브덴 0.09 부를 첨가하여 2 시간 환류한다. 이것을 300 부의 냉메탄올중에 붓고, 반응생성물을 응고시킨다. 응고된 에폭시 변성 중합체를 80 ℃ 에서 20 시간 진공건조시켜 에폭시 변성 환상공액디엔계 중합체 수소첨가물 30 부를 얻는다. 이 에폭시 변성 환상공액디엔계 중합체 수소첨가물의 Mn = 68,200, Mw = 122,100, Tg = 220 ℃ 이고,1H-NMR 로 측정한 불포화 결합으로의 에폭시기 변성율은 100 % 이고, 폴리머의 반복구조단위당 에폭시기 함유율은 15 % 였다. 얻어진 환상공액디엔계 중합체 수소첨가물 15 부와 광반응성 물질로서 4,4'-비스아지드벤잘(4-메틸)시클로헥사논 0.6 부를 크실렌 45 부에 용해시킨 결과, 침전을 일으키는 일 없이 균일한 용액이 되었다.30 parts of the cyclic conjugated diene polymer hydrogenated additive obtained above is added to 120 parts of toluene, it is heated and dissolved at 120 degreeC, 1.2 parts of t-butyl hydroperoxides, and 0.09 parts of hexacarbonyl molybdenum are refluxed for 2 hours. This is poured into 300 parts of cold methanol to solidify the reaction product. The solidified epoxy-modified polymer is vacuum dried at 80 ° C. for 20 hours to obtain 30 parts of an epoxy-modified cyclic conjugated diene polymer hydrogenated product. The epoxy-modified cyclic conjugated diene-based polymer hydrogenated product of Mn = 68,200, Mw = 122,100, Tg = 220 ℃, epoxy group modification rate to 100% unsaturated bond measured by 1 H-NMR, epoxy group per repeat structural unit of the polymer The content rate was 15%. As a result of dissolving 15 parts of the obtained cyclic conjugated diene-based polymer hydrogenated additive and 0.6 parts of 4,4'-bisazidebenzal (4-methyl) cyclohexanone in 45 parts of xylene as a photoreactive substance, a uniform solution without causing precipitation It became.

[합성예 16] (개환 중합체 수소첨가물)Synthesis Example 16 (Opening Polymer Hydrogen Additive)

〈중합〉<polymerization>

일본 공개특허공보 평4-363312 호에 기재된 공지의 방법에 의해 테트라시클로도데센과 8-메틸테트라시클로도데센의 개환 중합 및 수소첨가를 실시하여 폴리스티렌 환산으로 수 평균 분자량 (Mn) = 31,200, 중량평균분자량 (Mw) = 55,800, Tg = 158 ℃ 의 개환공중합체 수소첨가물을 얻는다. 얻어진 폴리머의1H-NMR 에 의한 수소첨가율은 99 % 이상이었다.Ring-opening polymerization and hydrogenation of tetracyclododecene and 8-methyltetracyclododecene by the known method described in JP-A-4363312, number average molecular weight (Mn) = 31,200, weight average in terms of polystyrene The ring-opening copolymer hydrogenated substance of molecular weight (Mw) = 55,800 and Tg = 158 degreeC is obtained. The hydrogenation rate by 1 H-NMR of the obtained polymer was 99% or more.

〈에폭시변성〉<Epoxy degeneration>

상기에서 얻어진 개환공중합체 수소첨가물 28 부, 5,6-에폭시-1-헥센 10 부 및 디쿠밀퍼옥시드 2 중량부를 t-부틸벤젠 130 부에 용해하고, 140 ℃ 에서 6 시간 반응을 실시한다. 얻어진 반응생성물 용액을 300 부의 메탄올중에 붓고, 반응생성물을 응고시킨다. 응고된 에폭시 변성 중합체를 100 ℃ 에서 20 시간 진공건조시켜 에폭시 변성 개환공중합체 수소첨가물을 28 부 얻는다. 이 에폭시 변성 개환공중합체 수소첨가물의 분자량은 Mn = 38,600, Mw = 85,100 이고, Tg 는 165 ℃ 였다. 이 에폭시 변성 개환공중합체 수소첨가물의1H-NMR 로 측정한 에폭시기 함유율은 폴리머의 반복구조단위당 2.0 % 였다. 에폭시 변성 개환공중합체 수소첨가물 15 부와 광반응성 물질로서 4,4'-비스아지드벤잘(4-메틸)시클로헥사논 0.6 부를 크실렌 45 부에 용해시킨 결과, 침전을 일으키는 일 없이 균일한 용액이 되었다.28 parts of the ring-opened copolymer hydrogenated compounds obtained above, 10 parts of 5,6-epoxy-1-hexene and 2 parts by weight of dicumylperoxide are dissolved in 130 parts of t-butylbenzene, and the reaction is carried out at 140 ° C for 6 hours. The reaction product solution obtained is poured into 300 parts of methanol to solidify the reaction product. The coagulated epoxy modified polymer is vacuum dried at 100 ° C. for 20 hours to obtain 28 parts of epoxy modified ring-opening copolymer hydrogenated product. The molecular weight of this epoxy modified ring-opening copolymer hydrogenated product was Mn = 38,600, Mw = 85,100, and Tg was 165 degreeC. The epoxy group content rate measured by <1> H-NMR of this epoxy modified ring-opening copolymer hydrogenated substance was 2.0% per repeating structural unit of a polymer. As a result of dissolving 15 parts of epoxy-modified ring-opening copolymer hydrogenated product and 0.6 parts of 4,4'-bisazidebenzal (4-methyl) cyclohexanone as 45 parts of xylene as a photoreactive substance, a uniform solution was obtained without causing precipitation. It became.

이들 합성예 9 ∼ 16 의 결과를 표 6 에 나타낸다.Table 6 shows the results of these Synthesis Examples 9-16.

(1) NB/DNB : 2-노르보르넨/5-데실-2-노르보르넨부가공중합체(1) NB / DNB: 2-norbornene / 5-decyl-2-norbornene secondary copolymer

(2) NB/에틸렌 : 2-노르보르넨/에틸렌부가공중합체(2) NB / ethylene: 2-norbornene / ethylene copolymer

(3) NB/HNB/ENB : 2-노르보르넨/5-헥실-2-노르보르넨/5-에틸리덴-2-노르보르넨부가공중합체(3) NB / HNB / ENB: 2-norbornene / 5-hexyl-2-norbornene / 5-ethylidene-2-norbornene secondary copolymer

(4) MMTCD : 메틸메톡시테트라시클로도데센개환중합체 (수첨물)(4) MMTCD: Methylmethoxytetracyclododecene ring-opening polymer (Hydrated)

(5) C-HD : 1,3-시클로헥사디엔부가중합체 (수첨물)(5) C-HD: 1,3-cyclohexadiene addition polymer (hydride)

(6) TCD/MTCD : 테트라시클로도데센/8-메틸테트라시클로도데센개환공중합체 (수첨물)(6) TCD / MTCD: tetracyclododecene / 8-methyltetracyclododecene ring-opening copolymer (hydrogen)

[실시예 15]Example 15

〈오버코트막의 형성〉<Formation of Overcoat Film>

합성예 9 에서 얻어진 균일한 용액을 구멍직경 0.22 ㎛ 의 테트라플루오로에틸렌 (PTFE) 제 정밀필터로 여과하여 경화성 수지 조성물의 용액을 얻는다. 이 용액을 스피너를 사용해서 미세배선형성된 반도체 베어 칩상에 오버코트한 후, 80 ℃ 에서 90 초간 프리베이크하며, 그리고 180 ℃ 에서 1 시간 포스트베이크하여 막두께 40 ㎛ 의 버퍼코트막 겸 보호막을 형성시킨다.The homogeneous solution obtained in the synthesis example 9 is filtered with the tetrafluoroethylene (PTFE) fine filter of 0.22 micrometers of pore diameters, and the solution of curable resin composition is obtained. After overcoating this solution on the micro bare wiring chip | tip formed by using a spinner, it prebakes at 80 degreeC for 90 second, and post-bakes at 180 degreeC for 1 hour, and forms a buffer coat film and a protective film with a film thickness of 40 micrometers.

〈반도체패키지의 형성〉〈Formation of Semiconductor Packages〉

얻어진 막형성후의 반도체 칩을 와이어본딩에 의해 고밀도 실장기판상에 실장하고, 플럭스세정한 후, 액상에폭시 수지 봉지재에 의해 상기 칩 부분을 봉지하여 반도체패키지를 형성한다. 얻어진 반도체패키지에 대하여 내습성 시험을 실시한 결과, 불량율은 5 % 이하였다.The obtained semiconductor chip after film formation is mounted on a high-density mounting substrate by wire bonding, and subjected to flux cleaning, and then the chip portion is sealed with a liquid epoxy resin encapsulant to form a semiconductor package. The moisture resistance test of the obtained semiconductor package showed that the defective rate was 5% or less.

[실시예 16 ∼ 22][Examples 16-22]

각각 합성예 10 ∼ 16 에서 얻어진 균일한 용액을 사용한 것 이외에는 실시예 15 와 동일한 방법으로 오버코트막의 형성 및 반도체패키지의 형성을 실시한다. 평과결과, 모두 내습성의 평가에 있어서의 불량율은 1 % 이하로 뛰어난 값이었다.The overcoat film and the semiconductor package were formed in the same manner as in Example 15 except that the uniform solutions obtained in Synthesis Examples 10 to 16 were used, respectively. As a result of the evaluation, the defective rate in the evaluation of moisture resistance was excellent in 1% or less.

[비교예 5][Comparative Example 5]

미세배선이 형성된 반도체 베어 칩상에 폴리이미드 (도레(주) 제조, 세미코파인 SP-230) 를 스피너를 사용해서 도포한 후, 300 ℃ 에서 1 시간 베이크하여 폴리이미드 버퍼코트막을 형성한다. 얻어진 반도체 칩의 버퍼코트막상에 비스페놀형 에폭시 수지 (에피코트 828, 분자량 380, 에폭시당량 185 ∼ 195) 45 부, 크실렌 65 부, 에틸렌디아민 4 부로 조제한 용액을 구멍직경 0.22 ㎛ PTFE 제 정밀필터로 여과하여 경화성 수지 조성물을 얻는다. 이 용액을 스피너를 사용해서 미세배선이 형성된 반도체 베어 칩상에 오버코트한 후, 80 ℃ 에서 120 초간 프리베이크하며, 그리고 180 ℃ 에서 4 시간 포스트베이크하여 막두께 40 ㎛ 의 보호막을 형성시킨다. 얻어진 반도체패키지에 대하여 내습성 시험을 실시한 결과, 불량율은 12 % 였다.Polyimide (manufactured by Toray Co., Ltd., semicofine SP-230) is applied on a semiconductor bare chip on which fine wiring is formed using a spinner, and then baked at 300 ° C. for 1 hour to form a polyimide buffer coat film. A solution prepared from 45 parts of bisphenol-type epoxy resin (epicoat 828, molecular weight 380, epoxy equivalent 185 to 195), 65 parts of xylene, and 4 parts of ethylenediamine was filtered on a buffer coat film of the obtained semiconductor chip with a 0.22 μm PTFE fine filter. To obtain a curable resin composition. After overcoating this solution on the semiconductor bare chip | tip with a micro wiring using a spinner, it pre-bakes at 80 degreeC for 120 second, and post-bakes at 180 degreeC for 4 hours, and forms a protective film with a film thickness of 40 micrometers. When the moisture resistance test was done with respect to the obtained semiconductor package, the defective rate was 12%.

[비교예 6]Comparative Example 6

무수말레산 변성 PPE 폴리머의 합성Synthesis of Maleic Anhydride Modified PPE Polymer

수 평균 분자량 (Mn) 이 9,200 인 폴리(2,6-디메틸-1,4-페닐렌에테르) 100 부와, 무수말레산 1.5 부 및 2,5-디메틸-2,5-디(t-부틸퍼옥시)헥산 (닛폰유시(주) 제조 퍼헥사 25B) 1.0 부를 실온에서 드라이블렌드한 후, 실린더온도 300 ℃, 스크루 회전수 230 rpm 의 조건에서 2 축압출기로 압출하여 무수말레산 변성 폴리페닐렌에테르 (PPE) 를 얻는다.100 parts of poly (2,6-dimethyl-1,4-phenylene ether) having a number average molecular weight (Mn) of 9,200, 1.5 parts of maleic anhydride and 2,5-dimethyl-2,5-di (t-butyl) 1.0 part of peroxy) hexane (Per Hexa 25B manufactured by Nippon Yushi Co., Ltd.) was dry blended at room temperature, and then extruded with a twin screw extruder at a cylinder temperature of 300 ° C. and a screw rotation speed of 230 rpm to modify maleic anhydride-modified polyphenylene. Obtain ether (PPE).

얻어진 무수말레산 변성 PPE 폴리머 15 부, 경화조제로서 9 부의 트리알릴시아누레이트, 1.2 부의 2,5-디메틸-2,5-디(t-부틸퍼옥시)헥신-3 을 열톨루엔 45 부에 용해시킨 결과, 침전을 일으키는 일 없이 균일한 용액이 되었다.15 parts of obtained maleic anhydride modified PPE polymer, 9 parts of triallyl cyanurate as a hardening adjuvant, and 1.2 parts of 2, 5- dimethyl- 2, 5- di (t-butylperoxy) hexyn-3 to 45 parts of thermal toluene As a result of dissolution, a uniform solution was obtained without causing precipitation.

열경화 PPE 수지 오버코트막의 작성Preparation of Thermoset PPE Resin Overcoat Film

상기에서 합성한 PPE 수지 조성물을 사용한 것 이외에는 실시예 15 와 동일한 방법으로 반도체 베어 칩을 오버코트하며, 그리고 반도체패키지를 작성하여 평가한다. 그 결과, 플럭스세정시의 약품처리에 의해 가수분해가 약간 일어나서 내습시험에 의한 신뢰성이 마이그레이션에 의해 대폭 저하되었다. 불량율은 20 % 이상이었다.Except for using the PPE resin composition synthesize | combined above, the semiconductor bare chip is overcoat by the method similar to Example 15, and a semiconductor package is created and evaluated. As a result, hydrolysis slightly occurred by the chemical treatment at the time of flux cleaning, and the reliability by moisture resistance test drastically decreased by migration. Defective rate was more than 20%.

(1) BABC : 4,4'-비스아지드벤잘(4-메틸)시클로헥사논(1) BABC: 4,4'-bisazidebenzal (4-methyl) cyclohexanone

(2) 퍼옥시드 : 2,5-디메틸-2,5-디(t-부틸퍼옥시)헥신-3(2) peroxide: 2,5-dimethyl-2,5-di (t-butylperoxy) hexyne-3

(3) TAC : 트리알릴시아누레이트(3) TAC: triallyl cyanurate

(4) 변성PPE : 무수말레산변성폴리페닐렌에테르(4) Modified PPE: Maleic anhydride modified polyphenylene ether

본 발명에 의하면 기계적 강도, 내약품성, 내열성, 저흡수성, 전기적 특성 등이 뛰어난 전자 부품용 보호 재료가 제공된다.According to the present invention, a protective material for an electronic component excellent in mechanical strength, chemical resistance, heat resistance, low water absorption, electrical characteristics, and the like is provided.

보다 구체적으로 본 발명에 의하면, 특히 반도체 칩 등의 전자 부품의 봉지에 적합한 강도특성, 내열성이 뛰어난 경화성 수지 조성물로 이루어지는 전자 부품 봉지 재료가 제공된다. 또한 본 발명에 의하면, 상기 봉지 재료를 사용한 반도체 칩 등의 전자 부품 패키지가 제공된다. 본 발명의 봉지 재료는 유전율이나 유전정접 등의 전기특성 및 내습성이 뛰어나며 또한 금속리드프레임이나 LSI 칩 등과의 밀착성이 뛰어나다. 본 발명의 전자 부품 봉지 재료는 전기·전자기기분야에서 특히 고속성, 고신뢰성이 요구되는 반도체패키지용 봉지 재료 등으로서 광범위한 분야에서 유용하다.More specifically, according to the present invention, there is provided an electronic component sealing material composed of a curable resin composition excellent in strength characteristics and heat resistance, particularly suitable for sealing electronic components such as semiconductor chips. Moreover, according to this invention, electronic component packages, such as a semiconductor chip using the said sealing material, are provided. The encapsulation material of the present invention is excellent in electrical properties such as dielectric constant and dielectric loss tangent and moisture resistance, and also excellent in adhesion to metal lead frames, LSI chips and the like. The electronic component sealing material of the present invention is useful in a wide range of fields as a sealing material for semiconductor packages requiring high speed and high reliability, particularly in the field of electric and electronic devices.

또한 본 발명에 의하면, 특히 반도체 칩 등의 전자 부품의 버퍼코트막이나 패시베이션막, 보호막 등에 적합한 내약품성, 저흡습성, 내열성이 뛰어난 전자 부품 오버코트재료가 제공된다. 그리고 본 발명에 의하면, 상기 오버코트재료를 사용한 반도체 칩 등의 전자 부품이 제공된다. 본 발명의 오버코트재료는 유전율이나 유전정접 등의 전기특성 및 저분술물성이 뛰어나며 또한 LSI 칩이나 금속 배선과의 밀착성이 뛰어나다. 본 발명의 전자 부품 오버코트재료는 전기·전자기기분야에 있어서 특히 고속성, 고신뢰성이 요구되는 반도체부품용 오버코트재료 등으로서 광범위한 분야에서 유용하다.Moreover, according to this invention, the electronic component overcoat material excellent in chemical-resistance, low hygroscopicity, and heat resistance especially suitable for buffer coating films, passivation films, protective films, etc. of electronic components, such as a semiconductor chip, is provided. And according to this invention, electronic components, such as a semiconductor chip using the said overcoat material, are provided. The overcoat material of the present invention is excellent in electrical properties such as dielectric constant and dielectric loss tangent, low powder properties, and excellent adhesion to an LSI chip or metal wiring. The electronic component overcoat material of the present invention is useful in a wide range of fields as the overcoat material for semiconductor components and the like, which requires high speed and high reliability, particularly in the field of electric and electronic devices.

Claims (31)

(A) 수 평균 분자량 1,000 ∼ 500,000 의 환상 올레핀계 중합체와, (B) 유기과산화물, 열에 의해 효과를 발휘하는 경화제 및 빛에 의해 효과를 발휘하는 경화제로 이루어지는 군에서 선택된 1 종 이상의 경화제를 함유하는 경화성 수지 조성물로 이루어지는 전자 부품 보호 재료.(A) A cyclic olefin polymer having a number average molecular weight of 1,000 to 500,000, (B) an organic peroxide, a curing agent exerting an effect by heat, and a curing agent selected from the group consisting of curing agents exerting an effect by light. Electronic component protective material which consists of curable resin composition. 제 1 항에 있어서, 환상 올레핀계 중합체 (A) 가 상기 중합체의 총모노머단위수를 기준으로 하여 5 ∼ 100 몰% 의 극성기를 갖는 것인 전자 부품 보호 재료.The electronic component protective material according to claim 1, wherein the cyclic olefin polymer (A) has a polar group of 5 to 100 mol% based on the total number of monomer units of the polymer. 제 2 항에 있어서, 극성기가 에폭시기, 카르복실기, 산무수물기, 히드록실기 또는 카르보닐기인 전자 부품 보호 재료.The electronic component protective material according to claim 2, wherein the polar group is an epoxy group, a carboxyl group, an acid anhydride group, a hydroxyl group or a carbonyl group. 제 1 항에 있어서, 환상 올레핀계 중합체 (A) 가 (1) 노르보르넨환을 갖는 지환족 단량체의 부가(공)중합체, (2) 노르보르넨환을 갖는 지환족 단량체와 비닐화합물의 부가공중합체, (3) 노르보르넨환을 갖는 지환족 단량체의 개환(공)중합체 및 (4) 노르보르넨환을 갖는 지환족 단량체의 개환(공)중합체의 수소첨가물로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 이상의 열가소성 노르보르넨계 수지인 전자 부품 보호 재료.The addition (co) polymer of the alicyclic monomer which has a cyclic olefin type polymer (A) which has a norbornene ring, (2) The addition copolymer of the alicyclic monomer and vinyl compound which have a norbornene ring At least one thermoplastic nord selected from the group consisting of (3) a ring-opening (co) polymer of an alicyclic monomer having a norbornene ring and (4) a hydrogenated compound of a ring-opening (co) polymer of an alicyclic monomer having a norbornene ring Electronic component protection material which is a borenic resin. 제 1 항에 있어서, 환상 올레핀계 중합체 (A) 가 환상공액디엔의 부가중합체 및 상기 부가중합체의 수소첨가물로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 이상인 전자 부품 보호 재료.The electronic component protective material according to claim 1, wherein the cyclic olefin polymer (A) is at least one member selected from the group consisting of an addition polymer of a cyclic conjugated diene and a hydrogenated product of the addition polymer. 제 1 항에 있어서, 환상 올레핀계 중합체 (A) 의 수 평균 분자량이 10,000 ∼ 200,000 의 범위인 전자 부품 보호 재료.The electronic component protective material according to claim 1, wherein the number average molecular weight of the cyclic olefin polymer (A) is in the range of 10,000 to 200,000. 제 1 항에 있어서, 환상 올레핀계 중합체 (A) 100 중량부에 대하여 경화제 (B) 0.1 ∼ 30 중량부를 함유하는 전자 부품 보호 재료.The electronic component protective material of Claim 1 containing 0.1-30 weight part of hardening | curing agents (B) with respect to 100 weight part of cyclic olefin type polymers (A). 제 1 항에 있어서, 충전제 (C) 를 더욱 함유하는 전자 부품 보호 재료.The electronic component protective material according to claim 1, further comprising a filler (C). 제 1 항에 있어서, 난연제 (D) 를 더욱 함유하는 전자 부품 보호 재료.The electronic component protective material according to claim 1, further comprising a flame retardant (D). 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서, 전자 부품 보호 재료가 전자 부품 봉지 재료인 전자 부품 보호 재료.The electronic component protection material according to any one of claims 1 to 9, wherein the electronic component protection material is an electronic component sealing material. 제 10 항에 있어서, 환상 올레핀계 중합체 (A) 가 환상 올레핀계 단량체 유래의 반복단위를 상기 중합체의 전체반복단위를 기준으로 하여 30 ∼ 100 몰% 범위로 함유하는 것인 전자 부품 보호 재료.The electronic component protective material according to claim 10, wherein the cyclic olefin polymer (A) contains a repeating unit derived from a cyclic olefin monomer in the range of 30 to 100 mol% based on the total repeating units of the polymer. 제 10 항에 있어서, 환상 올레핀계 중합체 (A) 의 유리전이온도가 100 ℃ 이상인 전자 부품 보호 재료.The electronic component protective material of Claim 10 whose glass transition temperature of a cyclic olefin type polymer (A) is 100 degreeC or more. 제 10 항에 있어서, 경화성 수지 조성물이 난연제 (C) 및 충전제 (D) 를 더욱 함유하는 것인 전자 부품 보호 재료.The electronic component protective material according to claim 10, wherein the curable resin composition further contains a flame retardant (C) and a filler (D). 제 10 항에 있어서, 경화성 수지 조성물이 환상 올레핀계 중합체 (A) 100 중량부에 대하여 경화제 (B) 0.1 ∼ 30 중량부, 충전제 (C) 50 ∼ 1,000 중량부 및 난연제 (D) 3 ∼ 150 중량부를 함유하는 것인 전자 부품 보호 재료.The curable resin composition according to claim 10, wherein the curable resin composition contains 0.1 to 30 parts by weight of the curing agent (B), 50 to 1,000 parts by weight of the filler (C) and 3 to 150 parts by weight of the flame retardant (D) based on 100 parts by weight of the cyclic olefin polymer (A). An electronic component protective material containing a part. 제 10 항에 있어서, 환상 올레핀계 중합체 (A) 가 테트라시클로도데센류의 개환공중합체의 수소첨가물, 테트라시클로도데센류와 비닐화합물의 부가공중합체 또는 1,3-시클로헥사디엔의 부가중합체의 수소첨가물을 극성기 함유 불포화화합물에 의해 그라프트 변성하여 극성기를 도입한 변성폴리머인 전자 부품 보호 재료.The cyclic olefin polymer (A) is a hydrogenated product of a ring-opening copolymer of tetracyclododecenes, an addition copolymer of tetracyclododecene and a vinyl compound, or hydrogen of an addition polymer of 1,3-cyclohexadiene. An electronic component protective material which is a modified polymer in which an additive is grafted with a polar group-containing unsaturated compound to introduce a polar group. 제 14 항에 있어서, 충전제 (C) 가 무기충전제인 전자 부품 보호 재료.The electronic component protective material according to claim 14, wherein the filler (C) is an inorganic filler. 제 16 항에 있어서, 무기충전제가 실리카인 전자 부품 보호 재료.17. The electronic component protective material according to claim 16, wherein the inorganic filler is silica. 제 14 항에 있어서, 난연제 (D) 가 브롬계 난연제인 전자 부품 보호 재료.The electronic component protective material according to claim 14, wherein the flame retardant (D) is a bromine flame retardant. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서, 전자 부품 보호 재료가 전자 부품 오버코트재인 전자 부품 보호 재료.The electronic component protection material according to any one of claims 1 to 9, wherein the electronic component protection material is an electronic component overcoat material. 제 19 항에 있어서, 환상 올레핀계 중합체 (A) 가 환상 올레핀계 단량체 유래의 반복단위를 상기 중합체의 전체반복단위를 기준으로 하여 50 ∼ 100 몰% 범위로 함유하는 것인 전자 부품 보호 재료.The electronic component protective material according to claim 19, wherein the cyclic olefin polymer (A) contains a repeating unit derived from a cyclic olefin monomer in a range of 50 to 100 mol% based on the total repeating units of the polymer. 제 19 항에 있어서, 환상 올레핀계 중합체 (A) 의 유리전이온도가 160 ℃ 이상인 전자 부품 보호 재료.The electronic component protective material according to claim 19, wherein the glass transition temperature of the cyclic olefin polymer (A) is 160 ° C or higher. 제 19 항에 있어서, 환상 올레핀계 중합체 (A) 가, 노르보르넨류의 부가(공)중합체, 테트라시클로도데센류의 개환(공)중합체의 수소첨가물 또는 1,3-시클로헥사디엔의 부가중합체의 수소첨가물로서, 극성기가 도입된 폴리머인 전자 부품 보호 재료.20. The cyclic olefin polymer (A) according to claim 19, wherein the cyclic olefin polymer (A) is an addition (co) polymer of norbornenes, a hydrogenated product of a ring-opening (co) polymer of tetracyclododecenes, or an addition polymer of 1,3-cyclohexadiene. Electronic component protective material which is a polymer in which a polar group was introduce | transduced as a hydrogenated substance. 제 19 항에 있어서, 전자 부품 오버코트재가 버퍼코트막, 패시베이션막 또는 보호막인 전자 부품 보호 재료.20. The electronic component protective material according to claim 19, wherein the electronic component overcoat material is a buffer coat film, a passivation film or a protective film. 제 10 항 내지 제 19 항 중 어느 한 항에 기재된 전자 부품 보호 재료에 의해 전자 부품을 봉지하여 이루어지는 전자 부품 패키지.The electronic component package formed by sealing an electronic component with the electronic component protection material as described in any one of Claims 10-19. 제 24 항에 있어서, 전자 부품이 기판상에 직접 탑재된 것인 전자 부품 패키지.25. The electronic component package of claim 24 wherein the electronic component is mounted directly on a substrate. 제 24 항 또는 제 25 항에 있어서, 전자 부품이 반도체소자인 전자 부품 패키지.The electronic component package according to claim 24 or 25, wherein the electronic component is a semiconductor element. 제 10 항 내지 제 19 항 중 어느 한 항에 기재된 전자 부품 보호 재료를 사용하여,. 기판상에 직접 탑재된 전자 부품을 트랜스퍼성형법, 포팅법 또는 오버코트법에 의해 봉지하는 전자 부품의 봉지 방법.Using the electronic component protection material as described in any one of Claims 10-19. A method of encapsulating an electronic component, in which an electronic component mounted directly on a substrate is sealed by a transfer molding method, a potting method, or an overcoat method. 제 27 항에 있어서, 전자 부품이 반도체소자인 봉지 방법.28. The method of claim 27, wherein the electronic component is a semiconductor element. 제 20 항 내지 제 23 항 중 어느 한 항에 기재된 전자 부품 보호 재료에 의해 전자 부품을 오버코트하여 이루어지는 전자 부품 패키지.The electronic component package formed by overcoat an electronic component with the electronic component protection material as described in any one of Claims 20-23. 제 29 항에 있어서, 전자 부품이 기판상에 직접 탑재된 것인 전자 부품 패키지.30. The electronic component package of claim 29, wherein the electronic component is mounted directly on the substrate. 제 29 항 또는 제 30 항에 있어서, 전자 부품이 반도체소자인 전자 부품 패키지.The electronic component package according to claim 29 or 30, wherein the electronic component is a semiconductor element.
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