KR20010002116A - Semiconductor integrated circuit using SRAM between DRAM and logic circuit as buffer - Google Patents

Semiconductor integrated circuit using SRAM between DRAM and logic circuit as buffer Download PDF

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KR20010002116A KR1019990021753A KR19990021753A KR20010002116A KR 20010002116 A KR20010002116 A KR 20010002116A KR 1019990021753 A KR1019990021753 A KR 1019990021753A KR 19990021753 A KR19990021753 A KR 19990021753A KR 20010002116 A KR20010002116 A KR 20010002116A
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Abstract

PURPOSE: A semiconductor integrated circuit using a static random access memory as a buffer between a dynamic random access memory and a logic circuit is provided to improve function and reduce electric power consumption. CONSTITUTION: A semiconductor integrated circuit includes first and second pad portions, an upper memory bank portion, a lower memory bank portion, a data path for a dynamic random access memory, a static random access memory portion, and a logic circuit. The first pad portion includes power supply pads for a dynamic random access memory. The upper memory bank portion at least includes one or more dynamic random access memory banks. The lower memory bank portion at least includes one or more dynamic random access memory banks. The data path for a dynamic random access memory gives and takes a data to the upper memory bank portion and the lower memory bank portion. The static random access memory portion gives and takes a data to the data path. The logic circuit is arranged in close to the static random access memory portion, and gives and takes a data to the static random access memory portion. The second pad portion is arranged in close to the logic circuit and includes power supply pads and input and output pads for the logic circuit.

Description

스태틱 랜덤 액세스 메모리를 다이내믹 랜덤 액세스 메모리와 로직회로 사이에서 버퍼로 사용하는 반도체 집적회로{Semiconductor integrated circuit using SRAM between DRAM and logic circuit as buffer}Semiconductor integrated circuit using SRAM between DRAM and logic circuit as buffer}

본 발명은 반도체 집적회로에 관한 것으로, 특히 스태틱 랜덤 액세스 메모리(static random access memory, 이하 SRAM이라 함)를 다이내믹 랜덤 액세스 메모리(dynamic random access memory, 이하 DRAM이라 함)와 로직회로 사이에서 버퍼로 사용하는 반도체 집적회로에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to semiconductor integrated circuits, in particular using static random access memory (hereinafter referred to as SRAM) as a buffer between a dynamic random access memory (DRAM) and a logic circuit. It relates to a semiconductor integrated circuit.

최근 그래픽 시스템 중 하이엔드(high-end) 제품들은 고해상도와 3차원 그래픽 기능을 수행하기 위하여 보다 대용량의 메모리를 요구하고 있고, 또한 메모리와 그래픽 엔진 기능을 수행하는 로직회로 사이에 보다 큰 대역을 요구하고 있다.High-end products in recent graphics systems require larger memory capacity to perform high resolution and 3D graphics functions, and also require larger bandwidths between the logic circuitry that performs the memory and graphics engine functions. Doing.

이를 위해 램버스 DRAM 처럼 핀당 대역을 최대한으로 높이고 패키지당 핀수를 감소시켜 그래픽 시스템에 채용하는 방법이 있다. 그러나 이 경우 핀당 대역도 결국은 어느 한계가 있으며, 여러개의 구성요소를 인쇄회로기판 상에 배치하게 됨으로써 인쇄회로기판의 면적이 늘어나며, 핀당 커패시턴스에 의해 소모되는 전력도 무시할 수 없으므로 시스템 전체적인 면에서 전력 소모가 커지는 문제점이 있다.To achieve this, there is a method such as Rambus DRAM, which maximizes the bandwidth per pin and reduces the number of pins per package to be adopted in graphic systems. However, in this case, the band-per-pin also has some limitations, and by placing several components on the printed circuit board, the area of the printed circuit board is increased and the power consumed by the capacitance per pin cannot be ignored. There is a problem that the consumption is large.

그래픽 메모리와 그래픽 엔진 사이의 고속 대역을 실현하기 위한 다른 방법으로는 최근의 메모리-로직 복합(MML: Merged Memory with Logic) 구조가 다른 하나의 해결책으로 제시되고 있다. 이 경우 다수의 입출력을 가지는 대용량의 DRAM과 데이터 처리를 하는 로직회로가 하나의 칩에 존재하게 되는데, 이 때 DRAM은 다수의 입출력(512개 이하)을 가지고 있다. 그리고 그래픽 로직회로가 내부 데이터 처리를 DRAM이 가지고 있는 입출력수보다 더 적은 단위로 할 경우 DRAM과 로직회로 사이에 SRAM이 버퍼로 사용되면 더 효과적이다. 이 때 SRAM은 다중 포트를 구비하여 하나의 포트는 다수의 입출력으로 DRAM과 데이터를 주고 받고, 다른쪽 포트로는 로직회로와 보다 적은 입출력으로 데이터를 주고 받을 수 있다. 적당한 크기의 SRAM을 사용하게 되면 SRAM을 DRAM과 로직회로 사이에서 버퍼로 사용할 수 있을 뿐만 아니라 임시 저장 장소로 사용할 수 있다. 하지만, 상기와 같은 메모리-로직 복합 칩에서 SRAM과 DRAM 및 로직회로 등의 여러가지 구성요소의 배치 및 배선은 메모리-로직 복합칩의 성능과 전체 칩의 면적 및 전력 소모를 좌우하는 결정적인 요인이 되기 때문에, SRAM과 DRAM 및 로직회로 등을 효율적으로 배치하지 않으면 전체 메모리-로직 복합칩의 성능이 떨어지고 전체 칩의 면적이 커지며 전력소모가 커지는 문제가 발생된다.As another method for realizing a high speed band between the graphics memory and the graphics engine, a recent Merged Memory with Logic (MML) structure has been proposed as another solution. In this case, a large-capacity DRAM having a plurality of inputs and outputs and a logic circuit for processing data exist on one chip. At this time, the DRAM has a plurality of inputs and outputs (512 or less). And if the graphic logic circuit uses internal data processing in fewer units than the number of I / O that DRAM has, it is more effective if SRAM is used as a buffer between DRAM and logic circuit. At this time, the SRAM has multiple ports so that one port can exchange data with DRAM through multiple inputs and outputs, while the other port can exchange data with logic circuits and less input / output. With the right size of SRAM, the SRAM can be used not only as a buffer between DRAM and logic but also as a temporary storage location. However, since the arrangement and wiring of various components such as SRAM, DRAM, and logic circuit in the memory-logic composite chip as described above are critical factors that determine the performance of the memory-logic composite chip, the area and power consumption of the entire chip. If the SRAM, DRAM, and logic circuits are not placed efficiently, the performance of the entire memory-logic complex chip is reduced, the area of the entire chip is increased, and the power consumption is increased.

본 발명이 이루고자하는 기술적 과제는, 향상된 성능을 가지며 전체 칩의 면적 및 전력 소모를 줄일 수 있는 스태틱 랜덤 액세스 메모리를 다이내믹 랜덤 액세스 메모리와 로직회로 사이에서 버퍼로 사용하는 반도체 집적회로를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in an effort to provide a semiconductor integrated circuit using a static random access memory as a buffer between a dynamic random access memory and a logic circuit, which has improved performance and may reduce an area and power consumption of an entire chip.

도 1은 본 발명의 실시예에 의한 스태틱 랜덤 액세스 메모리를 다이내믹 랜덤 액세스 메모리와 로직회로 사이에서 버퍼로 사용하는 반도체 집적회로의 배치도 이다.1 is a layout view of a semiconductor integrated circuit using a static random access memory as a buffer between a dynamic random access memory and a logic circuit according to an embodiment of the present invention.

도 2는 메모리 셀 어레이내의 메탈 배선도이다.2 is a metallization diagram in a memory cell array.

도 3은 센스증폭기 영역에서 비트라인과 입출력라인 및 컬럼선택라인의 연결도이다.3 is a diagram illustrating a connection between a bit line, an input / output line, and a column select line in a sense amplifier region.

상기 과제를 이루기 위하여 본 발명에 의한 스태틱 랜덤 액세스 메모리를 다이내믹 랜덤 액세스 메모리와 로직회로 사이에서 버퍼로 사용하는 반도체 집적회로는, 다이내믹 랜덤 액세스 메모리용 전원 패드들을 구비한 제1패드부; 상기 제1패드부에 인접하여 배치되고 하나 이상의 다이내믹 랜덤 액세스 메모리 뱅크를 구비한 상부 메모리 뱅크부; 하나 이상의 다이내믹 랜덤 액세스 메모리 뱅크를 구비한 하부 메모리 뱅크부; 상기 상부 메모리 뱅크부와 상기 하부 메모리 뱅크부 사이에 배치되어 상기 상부 메모리 뱅크부 및 상기 하부 메모리 뱅크부와 데이터를 주고 받는 다이내믹 랜덤 액세스 메모리용 데이터패스; 상기 하부 메모리 뱅크부에 인접하여 배치되고 상기 데이터패스와 데이터를 주고 받는 스태틱 랜덤 액세스 메모리부; 상기 스태틱 랜덤 액세스 메모리부에 인접하여 배치되고 상기 스태틱 랜덤 액세스 메모리부와 데이터를 주고 받는 로직회로; 및 상기 로직회로에 인접하여 배치되고 상기 로직회로용 전원 패드들 및 입출력 패드들을 구비한 제2패드부를 포함한다.In accordance with one aspect of the present invention, a semiconductor integrated circuit using a static random access memory as a buffer between a dynamic random access memory and a logic circuit includes: a first pad unit including power pads for a dynamic random access memory; An upper memory bank unit disposed adjacent the first pad unit and having one or more dynamic random access memory banks; A lower memory bank unit having one or more dynamic random access memory banks; A data path for dynamic random access memory disposed between the upper memory bank unit and the lower memory bank unit to exchange data with the upper memory bank unit and the lower memory bank unit; A static random access memory unit disposed adjacent to the lower memory bank unit to exchange data with the data path; A logic circuit disposed adjacent to the static random access memory unit and exchanging data with the static random access memory unit; And a second pad unit disposed adjacent to the logic circuit and having power pads and input / output pads for the logic circuit.

제1층에 구비된 메탈라인을 제1메탈이라 하고 상기 제1층과 다른 평면상에 위치한 제2층에 구비된 메탈라인을 제2메탈이라 하며 상기 제1층 및 상기 제2층과 다른 평면상에 위치한 제3층에 구비된 메탈라인을 제3메탈이라 할 때, 상기 상부 메모리 뱅크부 및 상기 하부 메모리 뱅크부의 각 메모리 셀 어레이에서, 비트라인들은 텅스텐을 사용하여 수직으로 형성되고, 정상 워드라인 인에이블 라인들은 상기 제1메탈을 사용하여 수평으로 형성되며, 상기 메모리 셀 어레이용 전원라인들 및 접지라인들은 상기 제2메탈을 사용하여 수평으로 형성되고, 입출력라인들 및 상기 메모리 셀 어레이용 전원라인들 및 접지라인들은 상기 제3메탈을 사용하여 수직으로 형성되어 상기 메모리 셀 어레이용 전원라인들 및 상기 접지라인들이 그물형태로 연결되는 것이 바람직하다.The metal line provided in the first layer is called a first metal, and the metal line provided in the second layer located on a plane different from the first layer is called a second metal, and is different from the first layer and the second layer. When the metal line provided in the third layer positioned above is called a third metal, in each memory cell array of the upper memory bank portion and the lower memory bank portion, bit lines are vertically formed using tungsten, and a normal word Line enable lines are horizontally formed using the first metal, and power lines and ground lines for the memory cell array are horizontally formed using the second metal, and are used for input / output lines and the memory cell array. The power lines and the ground lines are formed vertically using the third metal so that the power lines for the memory cell array and the ground lines are connected in a net form. Preferable.

또한, 상기 상부 메모리 뱅크부 및 상기 하부 메모리 뱅크부의 각 센스 증폭기 영역에서, 컬럼선택라인들은 상기 제1메탈 및 제2메탈을 각각 사용하여 수평으로 형성됨으로써 상기 컬럼선택라인들이 각 컬럼선택라인 게이트부의 제1단에 연결되고, 상기 메모리 셀 어레이로부터 나온 상기 각 텅스텐 비트라인은 상기 각 컬럼선택라인 게이트부의 제2단에 연결되며, 상기 각 컬럼선택라인 게이트부의 제3단은 텅스텐, 콘택, 상기 제1메탈, 비아, 상기 제2메탈을 통해 입출력 노드에 연결되고, 상기 메모리 셀 어레이용 전원라인들 및 접지라인들은 상기 제2메탈을 사용하여 상기 컬럼선택라인들과 평행하게 형성되는 것이 바람직하다.Further, in each sense amplifier region of the upper memory bank unit and the lower memory bank unit, column select lines are horizontally formed by using the first metal and the second metal, respectively, so that the column select lines are formed in each column select line gate unit. Each tungsten bit line connected to a first end and exiting from the memory cell array is connected to a second end of each column select line gate part, and a third end of each column select line gate part is tungsten, a contact, the first end; The first metal, the via, and the second metal may be connected to the input / output node, and the power lines and the ground lines for the memory cell array may be formed in parallel with the column select lines using the second metal.

이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 의한 스태틱 랜덤 액세스 메모리를 다이내믹 랜덤 액세스 메모리와 로직회로 사이에서 버퍼로 사용하는 반도체 집적회로에 대해 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, a semiconductor integrated circuit using a static random access memory as a buffer between a dynamic random access memory and a logic circuit will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 의한 스태틱 랜덤 액세스 메모리를 다이내믹 랜덤 액세스 메모리와 로직회로 사이에서 버퍼로 사용하는 반도체 집적회로의 배치도이다. 통상의 그래픽 시스템에 사용되는 메모리는 여러개의 메모리 뱅크를 가지고 있다. 이것은 그래픽 응용에서 여러개의 메모리 뱅크를 인터리브(interleave)하여 사용하는 것이 전체적으로 대역을 효과적으로 높이는 방법이 되기 때문이다. 도 1에 도시된 본 발명의 실시예에서는 DRAM 영역에 제1메모리뱅크(12)와 제2메모리뱅크(16)의 2개의 메모리 뱅크가 존재하는 것으로 가정한다.1 is a layout view of a semiconductor integrated circuit using a static random access memory as a buffer between a dynamic random access memory and a logic circuit according to an embodiment of the present invention. The memory used in a typical graphics system has several memory banks. This is because interleaving multiple memory banks in graphics applications is an effective way of increasing bandwidth overall. In the embodiment of the present invention illustrated in FIG. 1, it is assumed that two memory banks of a first memory bank 12 and a second memory bank 16 exist in a DRAM area.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 의한 스태틱 랜덤 액세스 메모리를 다이내믹 랜덤 액세스 메모리와 로직회로 사이에서 버퍼로 사용하는 반도체 집적회로는, DRAM용 전원 패드들(11)을 구비한 제1패드부(10)와, 제1패드부(10)에 인접하여 배치되고 DRAM을 구비한 제1메모리뱅크(12)와, DRAM을 구비한 제2메모리뱅크(16)와, 제1메모리뱅크(12)와 제2메모리뱅크(16) 사이에 배치되어 제1메모리뱅크(12) 및 제2메모리뱅크(16)와 데이터를 주고 받는 DRAM용 데이터패스(14)와, 제2메모리뱅크(16)에 인접하여 배치되고 데이터패스(14)와 데이터를 주고 받는 SRAM(18)과, SRAM(18)에 인접하여 배치되고 SRAM(18)과 데이터를 주고 받는 로직회로(20) 및 로직회로(20)에 인접하여 배치되고 로직회로용 전원 패드들 및 입출력 패드들을 구비한 제2패드부(22)를 구비하고 있다.Referring to FIG. 1, a semiconductor integrated circuit using a static random access memory as a buffer between a dynamic random access memory and a logic circuit according to an embodiment of the present invention may include a first pad including DRAM power supply pads 11. The first memory bank 12 including DRAM, the first memory bank 12 including DRAM, the second memory bank 16 including DRAM, and the first memory bank 12 disposed adjacent to the first pad unit 10. ) Is disposed between the second memory bank 16 and the data path 14 for DRAM that exchanges data with the first memory bank 12 and the second memory bank 16, and the second memory bank 16. SRAM 18 disposed adjacently and exchanging data with the datapath 14, and in the logic circuit 20 and logic circuit 20 disposed adjacent to the SRAM 18 and exchanging data with the SRAM 18. The second pad unit 22 is disposed adjacent to each other and includes power pads for logic circuits and input / output pads.

도 1을 참조하면, 최상부에 DRAM용 전원 패드들(11)을 구비한 제1패드부(10)가 존재한다. 상기 전원 패드들(11)들은 DRAM 어레이 동작에 사용되는 전원 및 DRAM의 입출력 동작에 필요한 전원을 공급한다. 제1패드부(10) 밑에는 DRAM의 하나의 메모리 뱅크인 제1메모리뱅크(12)가 존재한다. 제1메모리뱅크(12)에는 로우 제어를 위한 로우 어드레스 스트로보 체인(RAS CHAIN) 및 입력된 로우 어드레스로부터 선택되는 특정 워드라인을 활성화시키기 위한 로우 디코더(R/D)와 센스증폭기 영역(24)에 배선되는 컬럼선택라인(M1&M2 CSL)의 컬럼선택신호를 제어하기 위한 컬럼 디코더들(C/D)이 존재한다. 메모리 셀 어레이(26) 상에 배선되는 비트라인(도 2의 W B/L)은 센스증폭기 영역(24)에 배선되는 컬럼선택라인(M1&M2 CSL)의 컬럼선택신호에 의해 제어되어 센스증폭기 영역(24)에서 입출력라인(M3 I/O)과 연결되고, 입출력라인(M3 I/O)은 비트라인(W B/L)과 같은 방향으로 상위 메탈을 이용하여 메모리 셀 어레이(26) 위에 배선되어 제1메모리뱅크(12)와 제2메모리뱅크(16) 사이에 존재하는 데이터패스(14)에 연결된다. 제2메모리뱅크(16)에 존재하는 비트라인들도 제1메모리뱅크(12)에서 비트라인(W B/L)들이 입출력라인(M3 I/O)을 통해 데이터패스(14)에 연결되는 방법과 동일한 방법으로 데이터패스(14)에 연결된다. 한편, 참조부호 34는 뱅크제어신호에 따라 제1메모리뱅크(12) 또는 제2메모리뱅크(16)의 입출력라인을 글로벌 입출력라인(33)에 연결하기 위한 멀티플렉서를 나타낸다.Referring to FIG. 1, there is a first pad part 10 having power pads 11 for DRAM at the top thereof. The power pads 11 supply power used for DRAM array operation and power required for input / output operation of the DRAM. Under the first pad unit 10, a first memory bank 12, which is one memory bank of a DRAM, is present. The first memory bank 12 includes a row address strobe chain (RAS CHAIN) for row control and a row decoder (R / D) and a sense amplifier region 24 for activating a specific word line selected from an input row address. There are column decoders C / D for controlling the column select signal of the column select lines M1 & M2 CSL to be wired. The bit line (WB / L in FIG. 2) wired on the memory cell array 26 is controlled by the column select signal of the column select lines M1 & M2 CSL wired to the sense amplifier area 24 so as to be sensed. ) Is connected to the input / output line M3 I / O, and the input / output line M3 I / O is wired on the memory cell array 26 using the upper metal in the same direction as the bit line WB / L to be connected to the first cell. It is connected to a data path 14 existing between the memory bank 12 and the second memory bank 16. The bit lines existing in the second memory bank 16 are also connected to the data path 14 through the input / output lines M3 I / O in the first memory bank 12. It is connected to the datapath 14 in the same way. Meanwhile, reference numeral 34 denotes a multiplexer for connecting the input / output line of the first memory bank 12 or the second memory bank 16 to the global input / output line 33 according to the bank control signal.

제1메모리뱅크(12)에서 나오는 입출력라인(M3 I/O)과 제2메모리뱅크(16)에서 나오는 입출력라인(M3 I/O)은 데이터패스(14)에서 멀티플렉서(34)를 통하여 글로벌 입출력라인(33)에 연결되고, 글로벌 입출력라인(33)은 통상의 DRAM처럼 입출력과 관련된 회로들, 즉 입출력 센스증폭기(I/O S/A)와 라이트 드라이버(WRDV) 등에 연결된다. 따라서, 데이터패스(14)에는 SRAM(18)에 연결되는 입출력 센스증폭기(I/O S/A)의 출력과 SRAM(18)으로부터 데이터를 받는 데이터 입력포트가 나와 있다.The input / output line M3 I / O coming from the first memory bank 12 and the input / output line M3 I / O coming from the second memory bank 16 are global input / output through the multiplexer 34 in the data path 14. The global input / output line 33 is connected to the input / output circuits, i.e., the input / output sense amplifier I / OS / A and the write driver WRDV. Accordingly, the data path 14 shows the output of the input / output sense amplifiers I / O S / A connected to the SRAM 18 and a data input port for receiving data from the SRAM 18.

한편, 제2메모리뱅크(16) 아래에는 데이터패스(14)와 DRAM 입출력라인(M4 DRAM DIN/DOUT)을 통해 데이터를 주고 받으며, 또한, 로직회로(20)와도 데이터를 주고 받는 다중 포트 SRAM(18)이 배치되며, SRAM(18) 밑에는 SRAM(18)과 데이터를 주고 받는 로직회로(20)가 존재한다. 로직회로(20) 밑에는 로직용 전원 패드들과 로직용 입출력 패드들을 구비한 제2패드부(22)가 배치된다.On the other hand, under the second memory bank 16, a multi-port SRAM (transmitting / receiving data through the data path 14 and the DRAM input / output line (M4 DRAM DIN / DOUT) and also exchanging data with the logic circuit 20 ( 18 is disposed, and under the SRAM 18, there is a logic circuit 20 that exchanges data with the SRAM 18. Below the logic circuit 20, a second pad portion 22 including logic power pads and logic input / output pads is disposed.

도 1에 도시된 바와 같이 본 발명의 실시예에 의한 스태틱 랜덤 액세스 메모리를 다이내믹 랜덤 액세스 메모리와 로직회로 사이에서 버퍼로 사용하는 반도체 집적회로는, 메모리뱅크(12, 16) 사이에 데이터패스(14)를 배치하고, 제2메모리뱅크(16) 밑에 SRAM(18)을 배치하고, SRAM(18) 하부에 로직회로(20)를 배치하며, DRAM용 전원 패드들(11)을 상부 메모리뱅크(12) 위에 배치하고, 로직회로용 전원 패드들과 입출력패드들을 로직회로(20) 하부에 배치함으로써, 데이터를 주고 받는 해당 구성요소간의 데이터 경로를 최적화하여 전체 칩의 면적 및 전력 소모를 줄일 수 있고, 성능을 대폭적으로 향상시킬 수 있는 구조로 되어 있다.As shown in FIG. 1, a semiconductor integrated circuit using a static random access memory according to an embodiment of the present invention as a buffer between a dynamic random access memory and a logic circuit includes a data path 14 between the memory banks 12 and 16. ), The SRAM 18 under the second memory bank 16, the logic circuit 20 under the SRAM 18, and the power pads 11 for the DRAM are disposed in the upper memory bank 12. ) And by placing the power supply pads and input / output pads for the logic circuit under the logic circuit 20, it is possible to reduce the area and power consumption of the entire chip by optimizing the data path between the corresponding components to send and receive data, It has a structure that can greatly improve performance.

도 2는 메모리 셀 어레이(26)내의 메탈 배선도로서, 주요 신호선의 배선을 도시한 것이다. 도 2를 참조하여 메모리 셀 어레이(26)내의 배선에 대해 설명하기로 한다. 우선 제1메탈, 제2메탈, 제3메탈, 제4메탈은 각각 다른 평면상에 형성되는 메탈라인이라고 가정하고, 수직방향을 비트라인(W B/L)과 평행한 방향, 수평방향을 정상 워드라인 인에이블 라인(M1 NWE)과 평행한 방향이라고 정의하자. 도 2에서, 비트라인(W B/L)은 텅스텐 메탈을 사용한다. 텅스텐 메탈은 메모리 셀 어레이(26)내에서 다이렉트 콘택(Direct contact, 이하 DC라 함)을 이용하여 셀 트랜지스터와 연결된다. 메모리 셀 어레이(26) 위에 배선되는 텅스텐 비트라인(W B/L)은 센스 증폭기(36)를 경유하여 컬럼선택라인 게이트 트랜지스터(38)의 제1접합에 DC를 통하여 연결되고, 컬럼선택라인 게이트 트랜지스터(38)의 제2접합은 DC와 텅스텐 메탈 및 콘택에 의해 제1메탈(M1)에 연결된다. 그리고 상기 제1메탈(M1)은 메모리 셀 어레이(26) 위에 수직으로 배선되는 제3메탈의 입출력라인(M3 I/O)과 연결된다.FIG. 2 is a metal wiring diagram in the memory cell array 26, showing the wiring of main signal lines. The wiring in the memory cell array 26 will be described with reference to FIG. 2. First, the first metal, the second metal, the third metal, and the fourth metal are assumed to be metal lines formed on different planes, and the vertical direction is parallel to the bit line (WB / L) and the horizontal direction is normal word. Define the direction parallel to the line enable line (M1 NWE). In FIG. 2, the bit line W B / L uses tungsten metal. Tungsten metal is connected to the cell transistor using direct contact (hereinafter referred to as DC) in the memory cell array 26. The tungsten bit line (WB / L) wired over the memory cell array 26 is connected to the first junction of the column select line gate transistor 38 via a sense amplifier 36 via DC, and the column select line gate transistor. The second junction of 38 is connected to the first metal M1 by DC and tungsten metal and contacts. The first metal M1 is connected to an input / output line M3 I / O of a third metal that is vertically wired on the memory cell array 26.

도 3에는 센스증폭기 영역(24)에서 비트라인(W B/L)과 입출력라인(M3 I/O)이 컬럼선택라인(M1 CSL, M2 CSL)에 의해 연결되는 회로도가 도시된다. 여기에서는 연속하는 16개의 비트라인 쌍이 하나의 입출력라인을 공유하는 경우, 즉, 컬럼어드레스가 4비트인 경우가 예로서 도시된다. 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 컬럼선택라인 게이트 트랜지스터(38)의 게이트에 연결된 컬럼선택라인(M1 CSL, M2 CSL)은 제1메탈과 제2메탈을 혼용하여 형성될 수 있다. 이와 같은 경우에는, 센스증폭기 영역(24)의 컬럼선택라인을 8라인 피치를 모두 쓰지 않고 5라인 피치내에 형성할 수 있으므로, 센스증폭기 영역(24)의 컬럼선택라인이 차지하는 면적을 줄일 수 있다.FIG. 3 shows a circuit diagram in which the bit line W B / L and the input / output line M3 I / O are connected by column selection lines M1 CSL and M2 CSL in the sense amplifier region 24. Here, an example is shown when 16 consecutive bit line pairs share one input / output line, that is, the column address is 4 bits. As illustrated in FIGS. 2 and 3, the column select lines M1 CSL and M2 CSL connected to the gate of the column select line gate transistor 38 may be formed by mixing the first metal and the second metal. In such a case, since the column select line of the sense amplifier region 24 can be formed within the 5-line pitch without using all eight line pitches, the area occupied by the column select line of the sense amplifier region 24 can be reduced.

다시 도 2를 참조하면, 도 2에서 기존의 센스증폭기 영역(24)에 배선되는 센스증폭기 제어신호들은 모두 제1메탈(M1)을 이용하여 수평으로 배선된다. 컬럼선택라인 게이트 트랜지스터(38)에 연결된 제1메탈(M1)의 입출력라인들은 데이터입출력라인(M3 I/O, 도 3 참조)을 공유하는 연속하는 비트라인끼리 제1메탈(M1)로 센스증폭기 영역(24)내에서 수평으로 연결된다. 상기 센스증폭기 영역(24)에서 제1메탈(M1)로 형성된 입출력노드는 제1비아(미도시)를 통하여 센스증폭기 영역(24)에서 제2메탈층과 연결된다. 즉, 센스증폭기 영역(24)내의 텅스텐 비트라인(W B/L)은 컬럼선택라인 게이트 트랜지스터(38)를 통하여 제2메탈층의 입출력 노드에 전기적으로 연결된다.Referring back to FIG. 2, all of the sense amplifier control signals wired to the existing sense amplifier region 24 in FIG. 2 are horizontally wired using the first metal M1. Input / output lines of the first metal M1 connected to the column select line gate transistor 38 are connected to the first metal M1 by successive bit lines sharing the data input / output line M3 I / O (see FIG. 3). It is connected horizontally in the region 24. An input / output node formed of the first metal M1 in the sense amplifier region 24 is connected to the second metal layer in the sense amplifier region 24 through a first via (not shown). That is, the tungsten bit line W B / L in the sense amplifier region 24 is electrically connected to the input / output node of the second metal layer through the column select line gate transistor 38.

계속하여, 센스증폭기 영역(24)의 제2메탈층에 연결된 입출력 노드가 메모리 셀 어레이(26)를 지나 두 메모리 뱅크(12, 16, 도 1 참조)의 가운데 배치된 데이터패스(14)에 연결되는 방법 및 메모리 셀 어레이(26)내의 전원 연결 방법에 대해 설명하기로 한다.Subsequently, an input / output node connected to the second metal layer of the sense amplifier region 24 passes through the memory cell array 26 to the data path 14 disposed in the middle of the two memory banks 12, 16 (see FIG. 1). The method and the power supply method in the memory cell array 26 will be described.

먼저 메모리 셀 어레이(26) 위에서 제1메탈은 정상 워드라인 인에이블 라인(M1 NWE)이 수평으로 배선되어 부 워드라인 드라이버(미도시)에 연결된다. 도 2에서 메모리 셀 어레이(26) 위에 배선되는 입출력라인(M3 I/O)은 제3메탈을 사용한다. 이 때 입출력라인은 연속하는 비트라인 쌍 16개의 피치 위에 두개의 라인(IO, IOB)만 배선하면 되므로, 상대적으로 여유 공간이 있다. 따라서, IO 라인과 IOB 라인(M3 I/O) 사이에 메모리 셀 어레이용 내부 전원 라인(M3 ARRAY POWER) 및 접지 라인(M3 ARRAY GROUND)을 교대로 배선한다. 이에 따라 메모리 셀 어레이(26) 위에서 제3메탈로 I/O 라인(M3 I/O)과 메모리 셀 어레이용 전원 라인(M3 ARRAY POWER) 및 접지 라인(M3 ARRAY GROUND)이 배선된다.First, on the memory cell array 26, the first metal has a normal word line enable line M1 NWE wired horizontally and is connected to a secondary word line driver (not shown). In FIG. 2, the input / output line M3 I / O wired on the memory cell array 26 uses a third metal. In this case, since the input / output line only needs to wire two lines IO and IOB on the pitches of 16 consecutive bit line pairs, there is a relatively free space. Therefore, the internal power line M3 ARRAY POWER and the ground line M3 ARRAY GROUND for the memory cell array are alternately wired between the IO line and the IOB line M3 I / O. Accordingly, the I / O line M3 I / O, the power supply line M3 ARRAY POWER and the ground line M3 ARRAY GROUND for the memory cell array are wired on the memory cell array 26.

메모리 셀 어레이(26) 위에 배선된 제3메탈의 I/O라인(M3 I/O)은 센스증폭기 영역(24)에 배선되며 제2메탈층에 올라와 있는 센스증폭기 영역(24)내의 입출력노드와 제2비아(미도시) 통하여 연결된다. 이렇게 하면 수직으로 배선된 제3메탈의 I/O라인(M3 I/O)은 모든 센스증폭기 영역(24)의 입출력노드와 연결될 수 있고, 이렇게 연결된 제3메탈라인은 메모리 셀 어레이 영역(26)을 지나 두 메모리 뱅크(12, 16) 사이에 존재하는 데이터패스(14)에 멀티플렉서(미도시)를 통하여 연결되게 된다.The I / O line M3 I / O of the third metal wired on the memory cell array 26 is connected to the input / output node in the sense amplifier area 24 which is wired to the sense amplifier area 24 and is raised to the second metal layer. Connected via a second via (not shown). In this way, vertically wired I / O lines M3 I / O of the third metal may be connected to the input / output nodes of all the sense amplifier regions 24, and the third metal lines thus connected may be connected to the memory cell array region 26. The data path 14 existing between the two memory banks 12 and 16 is connected through a multiplexer (not shown).

계속하여 메모리 셀 어레이(26)에서의 전원 및 접지 연결 방법에 대해 설명하기로 한다. 센스증폭기 영역(24)에는 제2메탈로 컬럼선택라인 및 입출력노드가 형성된다. 그러므로, 수평으로 제2메탈을 사용하여 메모리 셀 어레이용 전원 라인 및 접지 라인이 배선되고, 센스증폭기 영역(24)에서, 메모리 셀 어레이(26) 위에 수직으로 교대로 배선된 제3메탈 전원라인 및 접지라인에 제2메탈로 형성된 메모리 셀 어레이용 전원 라인 및 접지 라인이 각각 연결된다. 수평으로 배선되는 제2메탈은 센스증폭기 영역(24)과 부 워드라인 드라이버 영역의 교차 부분인 콘정션(conjuction) 영역(미도시)에 존재하는 LA 드라이버의 전원 라인(미도시)에 연결된다. LA 드라이버는 센스증폭기 영역(24)에 존재하는 비트라인 센스증폭기에 전원을 공급하는 회로이다.Subsequently, a power and ground connection method of the memory cell array 26 will be described. A column selection line and an input / output node are formed in the sense amplifier area 24 as the second metal. Therefore, the power line and the ground line for the memory cell array are wired horizontally using the second metal, and in the sense amplifier region 24, the third metal power line, which is alternately wired vertically over the memory cell array 26, and The power line and the ground line for the memory cell array formed of the second metal are connected to the ground line, respectively. The second metal, which is wired horizontally, is connected to a power supply line (not shown) of the LA driver which exists in a conjuction area (not shown) which is an intersection of the sense amplifier area 24 and the sub word line driver area. The LA driver is a circuit for supplying power to the bit line sense amplifiers present in the sense amplifier region 24.

메모리 셀 어레이(26) 위에서는 제1메탈로 정상 워드라인 인에이블 라인(M1 NWE)이 수평으로 배선되고 제3메탈이 수직으로 입출력라인 및 메모리 셀 어레이용 전원라인과 접지라인으로 배선되므로, 제2메탈은 사용되지 않았다. 따라서, 제2메탈을 이용하여 수평으로 메모리 셀 어레이용 전원라인(M2 ARRAY POWER) 및 접지 라인(M2 ARRAY GROUND)이 교대로 배선되고, 교대로 수직으로 배선된 제3메탈의 메모리 셀 어레이용 전원라인(M3 ARRAY POWER) 및 접지라인(M2 ARRAY GROUND)에 각각 연결된다. 상기와 같이 전원라인 및 접지라인이 연결되면, 메모리 셀 어레이용 전원 및 접지가 메모리 셀 어레이 내에서 그물 형태로 연결되는 것이며, 전원이 메탈 금속라인이 아니라 메모리 셀 어레이 위에서 두꺼운 폭을 가지는 메탈 판의 효과를 가지게 되므로, 비트라인 센싱을 상당히 향상시키는 결과를 가져오게 되어 DRAM의 로우 액세스 스피드가 향상된다.The normal word line enable line M1 NWE is horizontally wired to the first metal on the memory cell array 26, and the third metal is vertically wired to the power line and the ground line for the input / output line and the memory cell array. 2 metals were not used. Therefore, the memory cell array power line M2 ARRAY POWER and the ground line M2 ARRAY GROUND are alternately wired alternately and alternately vertically wired using the second metal. It is connected to the line M3 ARRAY POWER and the ground line M2 ARRAY GROUND, respectively. When the power line and the ground line are connected as described above, the power source and the ground for the memory cell array are connected in a mesh form in the memory cell array, and the power source is a metal plate having a thick width on the memory cell array instead of the metal metal line. This has the effect of significantly improving bitline sensing, which in turn improves the low access speed of DRAM.

이제 두 메모리 뱅크(12, 16) 사이에 존재하는 데이터패스(14)에서 나오는 데이터버스들은 제2메모리 뱅크(16) 위를 건너 제2메모리 뱅크(16) 밑에 존재하는 SRAM(18)에 연결되는데, 메모리 셀 어레이(26)내에서 제3메탈까지 사용하였으므로, 제4메탈을 사용한 DRAM 입출력라인(M4 DRAM DIN/DOUT)을 이용하여 연결된다. 그리고 SRAM(18)의 로직회로쪽 포트는 임의의 메탈을 사용해도 되며, DRAM용 전원 패드(11)로부터 DRAM의 전원 포트까지의 연결은 제4메탈을 이용하여 행한다.Now data buses coming out of the datapath 14 between the two memory banks 12 and 16 are connected to the SRAM 18 that crosses over the second memory bank 16 and is below the second memory bank 16. Since up to the third metal is used in the memory cell array 26, it is connected using a DRAM input / output line (M4 DRAM DIN / DOUT) using the fourth metal. The logic circuit side port of the SRAM 18 may use any metal, and the connection from the power supply pad 11 for DRAM to the power supply port of the DRAM is performed using a fourth metal.

본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 예를 들면, 본 발명의 실시예에서는 DRAM 영역에 제1메모리뱅크(12)와 제2메모리뱅크(16)의 2개의 메모리 뱅크가 존재하는 것으로 가정하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고 DRAM 영역에 각각 복수의 메모리 뱅크가 존재하는 메모리-로직 복합칩에도 적용가능하다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, this is merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom. For example, in the exemplary embodiment of the present invention, it is assumed that two memory banks of the first memory bank 12 and the second memory bank 16 exist in the DRAM area, but the present invention is not limited thereto. The present invention is also applicable to a memory-logic composite chip in which a plurality of memory banks each exist. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

상술한 바와 같이 본 발명에 의한 스태틱 랜덤 액세스 메모리를 다이내믹 랜덤 액세스 메모리와 로직회로 사이에서 버퍼로 사용하는 반도체 집적회로는, 전체 칩의 면적 및 전력 소모를 줄일 수 있고 메모리 셀 어레이의 전원 및 접지를 강화하여 전체 칩의 성능을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.As described above, the semiconductor integrated circuit using the static random access memory according to the present invention as a buffer between the dynamic random access memory and the logic circuit can reduce the area and power consumption of the entire chip and reduce the power supply and ground of the memory cell array. There is an advantage that can be enhanced to improve the performance of the entire chip.

Claims (3)

다이내믹 랜덤 액세스 메모리용 전원 패드들을 구비한 제1패드부;A first pad section having power pads for dynamic random access memory; 상기 제1패드부에 인접하여 배치되고 하나 이상의 다이내믹 랜덤 액세스 메모리 뱅크를 구비한 상부 메모리 뱅크부;An upper memory bank unit disposed adjacent the first pad unit and having one or more dynamic random access memory banks; 하나 이상의 다이내믹 랜덤 액세스 메모리 뱅크를 구비한 하부 메모리 뱅크부;A lower memory bank unit having one or more dynamic random access memory banks; 상기 상부 메모리 뱅크부와 상기 하부 메모리 뱅크부 사이에 배치되어 상기 상부 메모리 뱅크부 및 상기 하부 메모리 뱅크부와 데이터를 주고 받는 다이내믹 랜덤 액세스 메모리용 데이터패스;A data path for dynamic random access memory disposed between the upper memory bank unit and the lower memory bank unit to exchange data with the upper memory bank unit and the lower memory bank unit; 상기 하부 메모리 뱅크부에 인접하여 배치되고 상기 데이터패스와 데이터를 주고 받는 스태틱 랜덤 액세스 메모리부;A static random access memory unit disposed adjacent to the lower memory bank unit to exchange data with the data path; 상기 스태틱 랜덤 액세스 메모리부에 인접하여 배치되고 상기 스태틱 랜덤 액세스 메모리부와 데이터를 주고 받는 로직회로; 및A logic circuit disposed adjacent to the static random access memory unit and exchanging data with the static random access memory unit; And 상기 로직회로에 인접하여 배치되고 상기 로직회로용 전원 패드들 및 입출력 패드들을 구비한 제2패드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 집적회로.And a second pad portion disposed adjacent to the logic circuit and having power pads and input / output pads for the logic circuit. 제 1 항에 있어서, 제1층에 구비된 메탈라인을 제1메탈이라 하고 상기 제1층과 다른 평면상에 위치한 제2층에 구비된 메탈라인을 제2메탈이라 하며 상기 제1층 및 상기 제2층과 다른 평면상에 위치한 제3층에 구비된 메탈라인을 제3메탈이라 할 때, 상기 상부 메모리 뱅크부 및 상기 하부 메모리 뱅크부의 각 메모리 셀 어레이에서, 비트라인들은 텅스텐을 사용하여 수직으로 형성되고, 정상 워드라인 인에이블 라인들은 상기 제1메탈을 사용하여 수평으로 형성되며, 상기 메모리 셀 어레이용 전원라인들 및 접지라인들은 상기 제2메탈을 사용하여 수평으로 형성되고, 입출력라인들 및 상기 메모리 셀 어레이용 전원라인들 및 접지라인들은 상기 제3메탈을 사용하여 수직으로 형성되어 상기 메모리 셀 어레이용 전원라인들 및 상기 접지라인들이 그물형태로 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 집적회로.The method of claim 1, wherein the metal line provided in the first layer is called a first metal, and the metal line provided in the second layer located on a plane different from the first layer is called a second metal. When the metal line provided in the third layer located on a plane different from the second layer is called a third metal, in each memory cell array of the upper memory bank part and the lower memory bank part, the bit lines are vertical using tungsten. Normal word line enable lines are horizontally formed using the first metal, power lines and ground lines for the memory cell array are horizontally formed using the second metal, and input / output lines And the power lines and the ground lines for the memory cell array are vertically formed using the third metal such that the power lines and the ground lines for the memory cell array are meshed. That result a semiconductor integrated circuit according to claim. 제 2 항에 있어서, 상기 상부 메모리 뱅크부 및 상기 하부 메모리 뱅크부의 각 센스 증폭기 영역에서, 컬럼선택라인들은 상기 제1메탈 및 제2메탈을 각각 사용하여 수평으로 형성됨으로써 상기 컬럼선택라인들이 각 컬럼선택라인 게이트부의 제1단에 연결되고, 상기 메모리 셀 어레이로부터 나온 상기 각 텅스텐 비트라인은 상기 각 컬럼선택라인 게이트부의 제2단에 연결되며, 상기 각 컬럼선택라인 게이트부의 제3단은 텅스텐, 콘택, 상기 제1메탈, 비아, 상기 제2메탈을 통해 입출력 노드에 연결되고, 상기 메모리 셀 어레이용 전원라인들 및 접지라인들은 상기 제2메탈을 사용하여 상기 컬럼선택라인들과 평행하게 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 집적회로.3. The column select lines of claim 2, wherein the column select lines are horizontally formed using the first metal and the second metal, respectively, in the sense amplifier regions of the upper memory bank unit and the lower memory bank unit. Each tungsten bit line from the memory cell array is connected to a second end of each column select line gate part, and a third end of each column select line gate part is tungsten, The contact line is connected to an input / output node through the first metal, the via, and the second metal, and the power lines and the ground lines for the memory cell array are formed in parallel with the column select lines using the second metal. Semiconductor integrated circuit, characterized in that.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US9305616B2 (en) 2012-07-17 2016-04-05 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor memory cell array having fast array area and semiconductor memory including the same

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