KR20000056855A - A gate valve actuator assembly - Google Patents

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윤종용
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Abstract

PURPOSE: A gate valve actuator assembly is provided to accomplish an improved tightness between a seal and a shaft while arranging packing members between the seal and shaft. CONSTITUTION: An assembly comprising a housing(12), a seal(14) having a front surface(14a) and a rear surface(14b) and which is installed within the housing(12) and performs a piston movement by an air pressure, a shaft(18) one end of which is coupled to the seal(14) at a front surface(14a) of the seal by a nut(16) and which moves along with the driving of the seal(14), a first packing member(30) arranged between the front surface(14a) of the seal and a contact surface between the end of the shaft(18) and the nut(16), and a second packing member(32) arranged between the rear surface(14b) of the seal and a contact surface of the shaft(18), wherein the first and second packing members are sealing plates or O-rings for sealing a portion for connecting the seal and the shaft.

Description

게이트 밸브 액츄에이터 어셈블리{A GATE VALVE ACTUATOR ASSEMBLY}Gate Valve Actuator Assembly {A GATE VALVE ACTUATOR ASSEMBLY}

본 발명은 게이트 밸브 액츄에이터 어셈블리에 관한 것이다.The present invention relates to a gate valve actuator assembly.

반도체 제조 장비 중 드라이 에칭 장비에서 챔버 게이트 밸브를 OPEN, CLOSE시키는 어셈블리가 있다. 이 어셈블리의 정확한 명칭은 게이크 밸브 액츄에이터 어셈블리이다. 밸브와 액츄에이터 간의 구동 방식은 액츄에이터가 상하로 구동되면 밸브가 좌우로 구동이 되어 OPEN, CLOSE 된다. 즉, 액츄에이터가 최고 상한점에 상기 밸브는 좌로 구동이 되어 OPEN 되고, 액츄에이터가 최저 하한점에 이르면 밸브는 우로 구동이 되어 CLOSE 된다.There is an assembly to open and close the chamber gate valve in the dry etching equipment of the semiconductor manufacturing equipment. The exact name of this assembly is the gage valve actuator assembly. In the driving method between the valve and the actuator, when the actuator is driven up and down, the valve is driven left and right to open and close. That is, when the actuator reaches the highest upper limit and the valve is driven to the left, the valve is opened. When the actuator reaches the minimum lower limit, the valve is driven to the right and closed.

이와 같은 게이트 밸브 액츄에이터 어셈블리는 장기간 사용에 따라 여러 가지 문제점을 안고 있으나, 그 중에 특히 하우징내부에 있는 실과 샤프트의 결합부분에서 리크(leak)가 생겨 밸브의 구동이 원활하지 못하는 문제점이 안고 있다.Such a gate valve actuator assembly has various problems according to its long-term use, but there is a problem in that the valve is not smoothly driven due to a leak in the coupling portion of the seal and the shaft in the housing.

좀 더 구체적으로 설명하면, 도 1에서 보여주는 바와 같이, 종래 게이트 밸브 액츄에이터 어셈블리(100)의 상기 샤프트(112)와 고무재질의 실(114)은 그 사이에 별도의 실링 구조 없이 너트(120)와 상기 너트가 풀리는 것을 방지하기 위한 록와셔(122;lock washer)로만 고정이 되어 있다. 결국, 종래 게이트 밸브 액츄에이터 어셈블리(100)는 장기간 사용하다 보면 실(114)의 "a"부위가 마모가 되어 헐거워지고, 너트(120)가 풀리게 되어 리크가 발생되는 문제점이 있었다. 따라서, 상기 게이트 밸브 액츄에이터 어셈블리(100)는 그 헐거워진 부분사이로 발생되는 리크로 인해 밸브 구동을 원활하게 수행할 수 없는 단점을 갖고 있다. 이와 같은 리크의 발생은 설비의 성능 가동률을 저하시키고, 설비의 메인티넌(maintain) 활동을 저하시키는 요인으로 작용된다.More specifically, as shown in FIG. 1, the shaft 112 of the conventional gate valve actuator assembly 100 and the seal 114 of rubber material have a nut 120 and a separate sealing structure therebetween. It is fixed only with a lock washer 122 to prevent the nut from loosening. As a result, when the gate valve actuator assembly 100 is used for a long time, the “a” portion of the seal 114 becomes worn and loosened, and the nut 120 is loosened, causing leakage. Therefore, the gate valve actuator assembly 100 has a disadvantage in that the valve operation cannot be performed smoothly due to leaks generated between the loose portions. The occurrence of such a leak lowers the performance utilization rate of the facility, and acts as a factor that lowers the maintenance activity of the facility.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 실고 샤프트 사이의 리크를 방지할 수 있는 새로운 형태의 게이트 밸브 액츄에이터 어셈블리를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a conventional problem, and an object thereof is to provide a new type of gate valve actuator assembly capable of preventing leaks between cargo shafts.

도 1은 종래 게이트 밸브 액츄에이터 어셈블리의 측면도;1 is a side view of a conventional gate valve actuator assembly;

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 게이트 밸브 액츄에이터 어셈블리의 분해 사시도;2 is an exploded perspective view of a gate valve actuator assembly in accordance with an embodiment of the present invention;

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 게이트 밸브 액츄에이터 어셈블리의 측면도;3 is a side view of a gate valve actuator assembly in accordance with an embodiment of the present invention;

도 4는 본 발명의 변형예에 따른 게이트 밸브 액츄에이터 어셈블리의 측면도이다.4 is a side view of a gate valve actuator assembly according to a variant of the invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

12 : 하우징 14 : 실12 housing 14 seal

15 : 홀 16 : 너트15: hole 16: nut

18 : 샤프트 20 : 벨로우즈18: shaft 20: bellows

22 : 너클 24 : 제 1 공압라인22: knuckle 24: first pneumatic line

26 : 제 2 공압라인 30 : 제 1 실링 플레이트26 second pneumatic line 30 first sealing plate

32 : 제 2 실링 플레이트 36 : 오-링32: second sealing plate 36: O-ring

이와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 공압을 사용하는 게이트 밸브 액츄에이터 어셈블리에 있어서: 하우징과; 전면과 후면을 갖고 상기 하우징 내부에 설치되며 상기 공압에 의해 왕복 피스톤 운동을 하는 실과; 일단이 상기 실의 전면에서 너트에 의해서 상기 실에 결합되는 그리고 상기 실의 구동에 의해 연동되는 샤프트와; 상기 실의 전면과 상기 샤프트의 일단에 체결된 너트의 접촉면 사이에 설치되는 제 1 패킹 부재와; 상기 실의 후면과 상기 샤프트의 접촉면 사이에 설치되는 제 2 패킹 부재를 포함하되; 상기 제 1 및 제 2 패킹 부재는 상기 실과 샤프트의 결합부분을 실링하기 위한 실링 플레이트 또는 오-링으로 이루어진다.In order to achieve this object, the present invention provides a gate valve actuator assembly using pneumatic: a housing; A seal having a front surface and a rear surface and installed inside the housing and performing reciprocating piston movement by the pneumatic pressure; A shaft, one end of which is coupled to the seal by a nut at the front of the seal and is linked by driving of the seal; A first packing member installed between a front surface of the seal and a contact surface of a nut fastened to one end of the shaft; A second packing member installed between a rear surface of the seal and a contact surface of the shaft; The first and second packing members consist of a sealing plate or o-ring for sealing the engagement portion of the seal and the shaft.

본 발명의 특징은 실링 플레이트를 실과 샤프트의 결합 부위 양방향에 각각 설치하여, 상기 실과 샤프트 결합 부위의 실링을 강화하는데 있다.A feature of the present invention is to install a sealing plate in both directions of the coupling portion of the seal and the shaft, thereby reinforcing the sealing of the seal and the shaft coupling portion.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 2 내지 도 4를 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 상기 도면들에 있어서 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호가 병기되어 있다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 2 to 4. In the drawings, the same reference numerals are given to components that perform the same function.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 게이트 밸브 액츄에이터 어셈블리의 분해 사시도이다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 게이트 밸브 액츄에이터 어셈블리의 측면도이다. 도 4는 본 발명의 변형예에 따른 게이트 밸브 액츄에이터 어셈블리의 측면도이다.2 is an exploded perspective view of a gate valve actuator assembly according to an embodiment of the present invention. 3 is a side view of a gate valve actuator assembly according to an embodiment of the invention. 4 is a side view of a gate valve actuator assembly according to a variant of the invention.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 게이트 밸브 액츄에이터 어셈블리(10)는 하우징(12), 실(14;Seal), 샤프트(18;Shaft), 벨로우즈(20), 너클(22;Knuckle), 제 1, 2 공압라인(24,26) 그리고 제 1 실링 플레이트(30) 및 제 2 실링 플레이트(32)로 이루어진다.2 and 3, the gate valve actuator assembly 10 according to the present invention includes a housing 12, a seal 14, a shaft 18, a bellows 20, and a knuckle 22. ), The first and second pneumatic lines (24, 26) and the first sealing plate 30 and the second sealing plate (32).

상기 실(14)은 상기 하우징(12) 내부에 설치된다. 상기 실(14)은 상기 제 1 공압라인(24) 또는 상기 제 2 공압라인(26)을 통해 상기 하우징(12) 내부로 공급되는 공기압에 의해 구동된다. 상기 실(14)의 중앙에는 전면(14a)에서 후면(14b)으로 관통된 홀(15)이 형성된다. 상기 샤프트(18)는 일단이 상기 실(14)의 후면으로부터 상기 홀을 통해 끼워지고 그 끼워진 부분은 상기 실(14)의 전면에서 너트(16;Nut)에 의해서 상기 실(14)에 결합된다. 상기 샤프트(18)는 상기 공기압에 의해 피스톤 운동되는 실(14)과 연동되어 구동된다. 상기 샤프트(18)의 타단은 상기 하우징(12) 외부로 노출되며 그 타단에는 챔버 게이트 밸브(미도시됨)와 연결된 너클(22)이 결합된다. 상기 벨로우즈(20)는 상기 너클(22)과 상기 하우징(12) 사이에 위치된다.The seal 14 is installed inside the housing 12. The seal 14 is driven by air pressure supplied into the housing 12 through the first pneumatic line 24 or the second pneumatic line 26. In the center of the seal 14, a hole 15 penetrated from the front surface 14a to the rear surface 14b is formed. One end of the shaft 18 is fitted through the hole from the rear side of the seal 14 and the fitted portion is coupled to the seal 14 by a nut 16 at the front of the seal 14. . The shaft 18 is driven in conjunction with the seal 14 which is piston driven by the air pressure. The other end of the shaft 18 is exposed to the outside of the housing 12, and the other end is coupled to a knuckle 22 connected to a chamber gate valve (not shown). The bellows 20 is located between the knuckle 22 and the housing 12.

한편, 상기 제 1 실링 플레이트(30)는 상기 실(14)의 전면과 상기 샤프트(18)의 일단에 체결된 너트(16)의 접촉면 사이에 끼워져 설치된다. 상기 제 1 실링 플레이트(30)는 상기 실(14)과 샤프트(18)의 결합 부위를 실링하기 위한 것이다. 상기 제 2 실링 플레이트(32)는 상기 제 1 실링 플레이트(30)에 대응되는 상기 실(14)의 후면과 상기 샤프트(18)의 접촉면 사이에 설치되며, 제 1 실링 플레이트(30)와 마찬가지로 상기 실(14)과 샤프트(18)의 결합 부위를 밀폐하기 위한 것이다.Meanwhile, the first sealing plate 30 is fitted between the front surface of the seal 14 and the contact surface of the nut 16 fastened to one end of the shaft 18. The first sealing plate 30 is for sealing the engagement portion of the seal 14 and the shaft 18. The second sealing plate 32 is installed between the rear surface of the seal 14 corresponding to the first sealing plate 30 and the contact surface of the shaft 18, and like the first sealing plate 30 It is for sealing the engagement site of the seal 14 and the shaft 18.

이와 같이 본 발명의 구조적인 특징은 실링 플레이트를 실과 샤프트의 결합 부위 양방향에 각각 설치하여, 상기 실과 샤프트 결합 부위의 실링을 강화할 수 있다는데 있다.As described above, the structural feature of the present invention is that the sealing plates are respectively installed at both sides of the coupling portion of the seal and the shaft, thereby enhancing the sealing of the seal and the shaft coupling portion.

본 발명에 따른 게이트 밸브 액츄에이터 어셈블리(10)는 기존의 구동방식과 동일하게 이루어진다. 간략하게 설명하면, 질소가스가 제 1 공압라인(24)을 통해 상기 하우징(12) 내부로 공급되면 상기 실(14)과 샤프트(18)가 CLOSE 방향으로 구동된다. 이때, 챔버 게이트 밸브(미도시됨)가 OPEN된다. 반대로, 질소가스가 상기 제 2 공압라인(26)을 통해 상기 하우징(12) 내부로 공급되면 상기 실(14)과 샤프트(18)가 그 공압에 의해 OPEN방향으로 구동된다. 이때, 챔버 게이트 밸브가 CLOSE된다. 한편, 이와 같이 실(14)과 샤프트(18)의 장기간 구동으로 상기 너트(16)가 풀리거나 또는 상기 실(14)의 홀(15)이 마모되고 헐거워져 상기 샤프트(18)와 실(14)의 결합부분에 틈새가 발생되어도 상기 제 1 실링 플레이트(30)와 제 2 실링 플레이트(32)가 상기 실(14)과 샤프트(18)의 사이를 실링하므로서 리크 발생을 억제할 수 있는 것이다. 따라서, 상기 실(14)과 샤프트(18)의 구동이 원활하게 이루어진다.Gate valve actuator assembly 10 according to the present invention is made in the same manner as the conventional drive method. In brief, when the nitrogen gas is supplied into the housing 12 through the first pneumatic line 24, the seal 14 and the shaft 18 are driven in the CLOSE direction. At this time, the chamber gate valve (not shown) is opened. On the contrary, when nitrogen gas is supplied into the housing 12 through the second pneumatic line 26, the seal 14 and the shaft 18 are driven in the OPEN direction by the pneumatic pressure. At this time, the chamber gate valve is closed. On the other hand, the nut 16 is loosened or the hole 15 of the seal 14 is worn and loosened by the long-term driving of the seal 14 and the shaft 18 as described above. Even if a gap is generated in the engaging portion of the c), the first sealing plate 30 and the second sealing plate 32 seal between the seal 14 and the shaft 18 to suppress the occurrence of leaks. Therefore, the seal 14 and the shaft 18 are driven smoothly.

한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 실링 플레이트(30)에 대응되는 상기 실(14)의 후면과 상기 샤프트(18)의 접촉면 사이에는 상기 제 2 실링 플레이트(32) 대신 오-링(36)이 설치될 수 있다. 상기 오-링(36)은 상기 제 2 실링 플레이트(32)와 마찬가지로 상기 실(14)과 샤프트(18)의 결합 부위의 실링을 강화시키기 위한 것이다.Meanwhile, as shown in FIG. 4, an o-ring instead of the second sealing plate 32 between the rear surface of the seal 14 corresponding to the first sealing plate 30 and the contact surface of the shaft 18. 36 may be installed. The o-ring 36, like the second sealing plate 32, is intended to reinforce the sealing of the engagement portion of the seal 14 and the shaft 18.

예컨대, 상기 실(14)과 샤프트(18) 사이에 설치되는 상기 제 1, 2 실링 플레이트 또는 오-링은 패킹을 위한 다른 구성으로 대체할 수 있는 것이다.For example, the first and second sealing plates or o-rings installed between the seal 14 and the shaft 18 may be replaced with other configurations for packing.

이와 같은 본 발명을 적용하면, 제 1 실링 플레이트와 제 2 실링 플레이트가 실과 샤프트 사이의 설치됨에 따라 실과 샤프트 사이의 기밀성이 현저하게 향상됨에 따라 리크 발생이 방지된다. 따라서, 상기 실과 샤프트의 안전한 구동이 이루어지게 되고, 결국, 설비의 가동률이 향상되고, 설비의 메인티넌 활동이 향상되는 이점이 있다.According to the present invention, as the first sealing plate and the second sealing plate are installed between the seal and the shaft, leakage is prevented as the airtightness between the seal and the shaft is remarkably improved. Therefore, there is an advantage that the safe driving of the seal and the shaft is made, and as a result, the operation rate of the equipment is improved and the maintenance activity of the equipment is improved.

Claims (1)

공압을 사용하는 게이트 밸브 액츄에이터 어셈블리에 있어서:For gate valve actuator assemblies using pneumatics: 하우징과;A housing; 전면과 후면을 갖고 상기 하우징 내부에 설치되며 상기 공압에 의해 왕복 피스톤 운동을 하는 실과;A seal having a front surface and a rear surface and installed inside the housing and performing reciprocating piston movement by the pneumatic pressure; 일단이 상기 실의 전면에서 너트에 의해서 상기 실에 결합되는 그리고 상기 실의 구동에 의해 연동되는 샤프트와;A shaft, one end of which is coupled to the seal by a nut at the front of the seal and is linked by driving of the seal; 상기 실의 전면과 상기 샤프트의 일단에 체결된 너트의 접촉면 사이에 설치되는 제 1 패킹 부재와;A first packing member installed between a front surface of the seal and a contact surface of a nut fastened to one end of the shaft; 상기 실의 후면과 상기 샤프트의 접촉면 사이에 설치되는 제 2 패킹 부재를 포함하되;A second packing member installed between a rear surface of the seal and a contact surface of the shaft; 상기 제 1 및 제 2 패킹 부재는 상기 실과 샤프트의 결합부분을 실링하기 위한 실링 플레이트 또는 오-링인 것을 특징으로 하는 게이크 밸브 액츄에이터 어셈블리.And the first and second packing members are sealing plates or o-rings for sealing the engagement portions of the seal and the shaft.
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