KR20000050249A

KR20000050249A - The Measurement System of Static Electricity

Info

Publication number: KR20000050249A
Application number: KR1020000029413A
Authority: KR
Inventors: 신이균
Original assignee: 신이균
Priority date: 2000-05-30
Filing date: 2000-05-30
Publication date: 2000-08-05

Abstract

PURPOSE: A system for measuring static electricity is provided to remarkably reduce the damages due to the static electricity by monitoring the degree of the static electricity occurrence all the time. CONSTITUTION: A film(2) is formed to detect a static electricity discharge degree between an electrified body(1) and a transparent electrode plate(3) attached on a glass plate(4). A scanner(5) is formed below the film(2). The static electricity discharge phenomenon detected on the film(2) is drawn out as digital data. The drawn-out digital data is calculated in an image processing system to display the magnitude of the static electricity on a monitor(8). The magnitude of the discharge image is calculated and compared with a reference value for determining a static electricity occurrence value.

Description

Static Measurement System {The Measurement System of Static Electricity}

본 발명은 정전기 측정시스템에 관한 것이다. 정전기는 전자회로를 연결해 놓고 측정할 수는 없다. 그 이유는 전자회로를 연결하여 측정하려고 할 경우 전자회로를 통하여 방전되고 만다. 따라서 전자회로를 이용하여 정전기를 측정하는 것은 현실적으로 대단히 곤란하다.The present invention relates to an electrostatic measuring system. Static electricity cannot be measured with electronic circuits connected. The reason for this is that when an electronic circuit is connected and measured, it is discharged through the electronic circuit. Therefore, measuring static electricity using an electronic circuit is very difficult in reality.

따라서 본 발명에서는 도 1에서와 같이 대전체(1)에 대전된 정전기를 정전기 검출용 필름(2)를 거쳐 투명전극판(3)을 통하여 방전하게 한다. 정전기의 방전 현상에 의한 영상이 필름에 도 5와 같은 방전영상으로 나타나게 된다.Accordingly, in the present invention, as shown in FIG. 1, the static electricity charged in the charging member 1 is discharged through the transparent electrode plate 3 via the static electricity detecting film 2. The image by the discharge phenomenon of static electricity is shown as a discharge image as shown in FIG.

필름에 나타난 영상은 투명 전극판(4)아래의 스캐너(5)에 의하여 디지털데이터로 검출되고 데이터 전송로(6)를 거쳐 영상처리시스템(7)으로 입력된다.The image shown on the film is detected as digital data by the scanner 5 under the transparent electrode plate 4 and input to the image processing system 7 via the data transmission path 6.

영상처리 시스템으로 입력된 영상은 도2에서와 같이 방전영상의 면적과 방전영상의 크기(9)를 계산하여 정전기량의 수치화를 위한 기준값과 비교하여 정전기의 수치를 결정하게 되고 결정된 수치는 모니터를 통하여 디스플레이 되게 한다.The image input to the image processing system calculates the area of the discharge image and the size of the discharge image (9) as shown in FIG. 2 and compares it with a reference value for quantifying the amount of static electricity. To be displayed.

정전기로 인하여 반도체 및 기타 기기는 치명적인 손상을 입을 수 있다. 이런 손상을 방지하는 길은 여러 가지가 있을 수 있으나 우선적으로 정전기의 발생정도를 측정시스템을 사용하여 수치로 알려주는 일이라 생각된다. 그러나 종래의 전자회로를 이용해서는 수치로 할 수 없다.Static electricity can seriously damage semiconductors and other devices. There are many ways to prevent this kind of damage, but I think it is the first thing to tell the numerical level of the generation of static electricity by using a measuring system. However, the numerical value cannot be used using a conventional electronic circuit.

따라서 본 발명은 정전기의 발생정도를 수치로 표시할 수 있는 정전기 측정시스템을 이용하여 정전기로 인한 피해를 최소화 하고자 하는데 목적이 있다. 이런 목적을 달성하기 위하여 도1에서와 같이 구성된 수단과 도2에서와 같은 방법에 의하여 가능하게 한다.Therefore, an object of the present invention is to minimize the damage caused by static electricity by using a static electricity measurement system that can display the degree of generation of static electricity. In order to achieve this object, it is possible by means configured as in FIG. 1 and a method as in FIG.

정전기의 측정 관련 분야로 종래의 경우 일본에서 정전기의 발생정도를 측정하는 경우가 있는데 이 경우는 외부 전원에 의하여 코로나 방전을 인위적으로 일으키고 난 다음 공기이온의 조사를 통하여 측정한다. 방전성 시험 방법은 일본의 JIS L1094-198C에 의한 반감기 측정에 준하여 측정하고 있다.In the related field of measurement of static electricity, the occurrence of static electricity is measured in Japan. In this case, the corona discharge is artificially generated by an external power source and then measured by air ion irradiation. The discharge test method is measured according to the half life measurement by Japanese JIS L1094-198C.

본 발명을 실현을 위한 근원적인 기술적 문제점은 없다. 그러나 일본 제품과 달리 정전기량 자체를 측정대상으로 하기 때문에 정전기 발생부분의 조건, 방전영상에 대한 기준값에 의한 수치화등을 위한 표준화 작업이 향후 있어야 한다. 이를 위해서는 장기간에 걸친 실험에 의하여 진행되어야 할 것이다.There is no underlying technical problem for realizing the present invention. However, unlike Japanese products, since the amount of static electricity is measured, the standardization work for the quantification by the condition of the static electricity generating part and the reference value for the discharge image should be performed in the future. This may need to be done by long term experiments.

도 1 - 본 발명에 따른 정전기 측정시스템 구성도1-Static electricity measuring system configuration according to the present invention

도 2 - 본 발명에 따른 영상데이터에 의한 정전기 발생정도 결정 과정2-Determination process of generating static electricity by the image data according to the present invention

도 3 - 본 발명에 따른 방전 영상데이터의 형상3-Shape of discharge image data according to the present invention

상기의 목적을 달성하기 위하여 1차적으로 필름에 방전영상을 얻어야 하므로 이를 위하여 대전체, 필름, 투명전극판, 유리판으로 구성한다. 2차적으로 얻어진 영상을 수치화하여야 하므로 이를 위하여 영상처리 시스템에서 방전영상의 면적을 산출하고 방전영상의 높이를 산출하여 기준값과 비교하여 정전기 발생수치를 모니터에 표시하게 구성된다.In order to achieve the above object, it is necessary to obtain a discharge image on a film first, and for this purpose, a charge body, a film, a transparent electrode plate, and a glass plate are configured. Since the image obtained secondarily needs to be digitized, the area of the discharge image is calculated in the image processing system, the height of the discharge image is calculated, and the static electricity generation value is displayed on the monitor by comparing with the reference value.

본 발명의 바람직한 실시예에 대해 도면을 참고로 하여 자세하게 설명하면 다음과 같다.Preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 전체적 구성을 나타낸 도면의 하나이다. 도 1에서 참조부호(2)는 정전기를 일차적으로 기록하게 되는 매체로 필름이며 (1)은 측정대상인 정전기로 대전된 대전체이다. 필름의 아래에 있는 (3)은 투명전극판으로 방전전류를 흐르게 하기 위한 회로로 구성된다. 유리판(4)는 투명전극판(3)을 고정하기 위하여 구성되었다. 따라서 정전기가 대전된 대전체를 필름(2)위에 가까이 대면 정전전류는 순간적으로 필름(2)을 통하여 방전하게 되고 방전전류는 유리판(4)위의 튜명전극판(3)을 거쳐 흐르게 된다.1 is a view showing the overall configuration according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 2 denotes a film that primarily records static electricity, and reference numeral 1 denotes a charged electrostatically charged object. (3) below the film is constituted by a circuit for flowing a discharge current to the transparent electrode plate. The glass plate 4 was configured to fix the transparent electrode plate 3. Therefore, when the charged electrostatic charge is placed close to the film 2, the electrostatic current is instantaneously discharged through the film 2, the discharge current flows through the transparent electrode plate 3 on the glass plate (4).

또한 도 1에서 방전으로 인한 영상이 필름에 생기게 되면 이 영상을 영상처리시스템(7)에서 영상신호 처리를 하기 위해 스캐너(5)를 사용하여 디지털 데이터를 얻고 영상데이터전송로(6)를 통하여 영상처리시스템(7)에 공급하고 공급된 디지털 영상신호는 도 2에서와 같이 분석되어 수치화 되어 모니터에(8) 표시하게 된다.In addition, in FIG. 1, when an image due to discharge is generated on a film, digital data is obtained by using a scanner 5 to process the image signal in the image processing system 7, and the image is transmitted through the image data transmission path 6. The digital video signal supplied to the processing system 7 is analyzed, digitized as shown in FIG. 2, and displayed on the monitor 8.

도 1에서 스캐너(5)에 의해 받은 디지털 방전영상은 데이터전송로(6)를 통하여 영상처리시스템(7)으로 공급되면 도 2에서와 같이 먼저 방전영상의 면적과 도 3에서와 같은 방전영상의 크기(9)를 계산하여 도 2에서의 기준표화 비교하여 해당되는 정전기 수치를 결정하게 되며 결정된 수치는 모니터를 통하여 항상 볼수 있게 한다. 정전기 수치는 향후 많은 실험을 통하여 표준화 될 것이다.When the digital discharge image received by the scanner 5 in FIG. 1 is supplied to the image processing system 7 through the data transmission path 6, the area of the discharge image and the discharge image as shown in FIG. The magnitude 9 is calculated and compared to the reference label in FIG. 2 to determine the corresponding static electricity level and the determined value is always visible through the monitor. Static electricity levels will be standardized through many experiments in the future.

본 발명으로 반도체 산업 현장이나 정전기로 인한 피해가 자주 발생하는 위험 지역의 사무실 공장등에 본 시스템을 설치하여 도 1의 (1),(2),(3),(4),(5)와 (6),(7),(8)에 의하여 정전기의 발생정도를 모니터를 통해 항상 알수 있게됨으로써 정전기로 인한 피해를 획기적으로 줄일 수 있다.In accordance with the present invention, the system is installed in a semiconductor industrial site or an office factory in a hazardous area where damages caused by static electricity are frequently generated, and thus (1), (2), (3), (4), (5) and ( 6), (7), (8) by the monitor can always know the degree of the occurrence of static electricity can significantly reduce the damage caused by static electricity.

Claims

In the measurement of static electricity, a film 2 for detecting the degree of electrostatic discharge is formed between the charging electrode 1 and the transparent electrode plate 3 attached to the glass plate 4 as shown in FIG. (5) extracting the discharge shape of the static electricity detected on the film of the same type as in the case shown in FIG. 3 by digital data (6), and the extracted digital data is calculated by the image processing system to calculate the magnitude of the static electricity on the monitor. Electrostatic measuring system, characterized in that for displaying.

In the image processing system of claim 1, the digital discharge image obtained by the scanner calculates the area of the discharge image as shown in FIG. 2 and calculates the size of the discharge image as shown in FIG. Electrostatic measurement system, characterized in that to determine the occurrence of static electricity on the monitor.