KR20000025665A - Chemical filter assembly of semiconductor manufacturing device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체장치 제조설비의 케미컬 필터 조립체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체장치 제조 공정에 요구되는 케미컬의 사용 관계에 있어서, 각종 형태의 파티클이 함유되어 유동하는 케미컬로부터 파티클을 여과시킴과 동시에 분리된 양질의 케미컬이 원활하게 공급되도록 하는 반도체장치 제조설비의 케미컬 필터 조립체에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chemical filter assembly of a semiconductor device manufacturing facility. More particularly, the present invention relates to a chemical filter assembly required for a semiconductor device manufacturing process. The present invention relates to a chemical filter assembly of a semiconductor device manufacturing facility which enables a smooth supply of separated high quality chemicals.
통상적으로 웨이퍼는 사진, 확산, 식각, 화학기상증착 및 금속증착 등의 공정이 반복 수행됨에 따라 반도체장치로 제작된다.In general, a wafer is manufactured as a semiconductor device as a process of photographing, diffusion, etching, chemical vapor deposition, and metal deposition is repeatedly performed.
이들 반도체장치는 극히 정교한 장치로서, 그 제조 공정은 엄격한 공정 조건과 정밀한 제조 기술 및 높은 수준의 청정도가 요구된다.These semiconductor devices are extremely sophisticated devices, and their manufacturing processes require strict process conditions, precise manufacturing techniques, and high levels of cleanliness.
상술한 청정도는 각종 형태의 파티클로부터 웨이퍼의 손상을 방지하기 위한 것으로서, 이러한 청정도를 유지 관리하기 위한 방법 중 하나는, 공정시 요구되는 케미컬의 유동 과정에서 함유된 파티클을 여과 분리시키고, 분리된 양질의 케미컬을 원활하게 유동시켜 공급하도록 하는 케미컬 필터 조립체의 사용 관계가 있다.The above-described cleanliness is to prevent damage of the wafer from various types of particles, and one of the methods for maintaining such cleanliness is to filter and separate particles contained in the flow of chemicals required during the process, There is a relationship of using a chemical filter assembly to smoothly flow and supply chemicals.
여기서, 케미컬 필터 조립체의 기본적인 원리는, 파티클을 여과하기 위한 멤브레인(membrane)에 대향하여 소정의 유동압력으로 케미컬을 통과시킴으로써 함유된 파티클이 멤브레인의 표면 상에서 여과되도록 하고, 이렇게 여과된 양질의 케미컬은 계속적인 유동압에 의해 요구되는 제조설비로 유동시키게 된다.Here, the basic principle of the chemical filter assembly is to pass the chemical at a predetermined flow pressure against the membrane for filtering the particles so that the contained particles are filtered on the surface of the membrane. The continuous flow pressure causes the flow to the required manufacturing equipment.
또한, 상술한 원리에 있어서, 멤브레인의 설치 관계와 멤브레인의 효율 증대 및 그에 따른 케미컬의 원활한 공급 관계 등이 요구된다.In addition, in the above-described principle, the relationship between the installation of the membrane and the efficiency of the membrane and the smooth supply of the chemical are required.
이러한 조건을 수용하기 위한 종래의 케미컬 필터 조립체(10)의 구성은, 도1에 도시된 바와 같이, 케미컬 공급부에서 수급부로 연결되는 연결라인 상에 내부가 구획 형성된 하우징(12)이 연통 설치된다.In the conventional chemical filter assembly 10 for accommodating such a condition, as shown in FIG. 1, a housing 12 having an internal partition formed thereon is connected to a connection line connected to a supply and a supply from a chemical supply.
이러한 하우징(12)의 구성은, 케미컬 공급부 측의 연결라인 단부에 통상의 방법으로 연통 연결되는 유입부 뚜껑(14)과 케미컬 수급부 측의 연결라인 단부에 통상의 방법으로 연통 연결되는 배출부 뚜껑(16) 및 이들 유입부 뚜껑(14)과 배출부 뚜껑(16) 사이에 소정 길이의 관 형상을 이루는 몸체(18)가 열융착 결합에 의해 실링되어 내부가 구획된 형상을 이룬다.The configuration of the housing 12 is the inlet lid 14 which is connected in the usual way to the connecting line end on the chemical supply side and the outlet lid which is normally connected to the connecting line end on the chemical supply side. (16) and the tubular body 18 which forms the tubular shape of predetermined length between these inlet lid 14 and the outlet lid 16 is sealed by heat fusion bonding, and it forms the shape where the inside was partitioned.
한편, 상술한 하우징(12)의 내부에는, 배출부 뚜껑(16)에 대향하여 중심 부위에 구멍이 형성된 원판 형상의 서포트 스크린(20)이 일렬 적층되는 형상으로 배치되고, 이들 각 서포트 스크린(20)은 형성된 각각의 구멍이 상술한 배출부 뚜껑(16)의 배출구와 연통하는 하나의 통로로 형성되도록 배출부 뚜껑(16)에서부터 하나씩 열융착되어 조립된다.On the other hand, in the inside of the housing 12 described above, a disk-shaped support screen 20 having a hole formed in a center portion of the housing 12 facing the discharge portion cap 16 is arranged in a line stacked shape, and these support screens 20 ) Is heat-sealed and assembled one by one from the outlet lid 16 so that each formed hole is formed into one passage communicating with the outlet of the outlet lid 16 described above.
또한, 상술한 조립 관계에 있어서, 유입부 뚜껑(14)에 대향하는 서포트 스크린(20)의 구멍에는 하나의 통로로 연계 형성된 일측을 차단하는 형상으로 통상의 막음부재(22)가 구비된다.In addition, in the above-described assembling relationship, the hole of the support screen 20 facing the inlet cap 14 is provided with a conventional blocking member 22 in a shape of blocking one side formed in one passage.
그리고, 서포트 스크린(20)의 양면 상에는, 구멍을 중심으로 점차 직경을 달리하는 원주 형상의 원주홈과 이들 원주홈을 연결하는 방사홈이 형성되고, 이 방사홈의 일측 단부는 소정 부위에서 서포트 스크린(20)의 양면을 관통하는 형상으로 굴곡되어 구멍의 내벽까지 연장된다.And, on both sides of the support screen 20, a circumferential circumferential groove gradually varying in diameter around the hole and a radial groove connecting these circumferential grooves is formed, one end of the radial groove is a support screen at a predetermined portion It is bent in a shape penetrating both sides of (20) and extends to the inner wall of the hole.
또한, 서포트 스크린(20)의 양면에는, 원주홈과 방사홈의 굴곡된 부위를 커버하는 형상으로 멤브레인(24)이 부착된다.In addition, the membrane 24 is attached to both surfaces of the support screen 20 in a shape to cover curved portions of the circumferential groove and the radial groove.
이러한 구성의 케미컬 필터 조립체(10)에 의하면, 유입부 뚜껑(14)을 통해 하우징(12) 내부로 유입되는 케미컬은 적층 결합된 각각의 서포트 스크린(20)의 표면에서 부착된 멤브레인(24)을 통과하여 멤브레인(24)과 원주홈 또는 방사홈 사이의 틈새를 통해 연계 형성되는 케미컬 통로로 유동하게 되고, 이때 케미컬이 멤브레인(24)을 통과하는 과정에서 케미컬에 함유된 파티클은 멤브레인(24)의 외측 표면에서 여과되는 구성을 이룬다.According to the chemical filter assembly 10 of this configuration, the chemical flowing into the housing 12 through the inlet lid 14 causes the membrane 24 attached at the surface of each laminated support screen 20 to be laminated. It passes through the gap between the membrane 24 and the circumferential groove or the radial groove flows into the chemical passage formed, wherein the particles contained in the chemical in the process of the chemical passes through the membrane 24 It is configured to be filtered at the outer surface.
따라서, 멤브레인(24)을 통과한 케미컬은, 각종 형태의 파티클이 여과된 양질의 케미컬로서 배출부 뚜껑(16)의 배출구를 통해 케미컬 수급부로 유동하게 된다.Accordingly, the chemical passing through the membrane 24 is a high quality chemical in which various types of particles are filtered to flow through the outlet of the outlet cap 16 to the chemical supply section.
그러나, 상술한 바와 같이, 멤브레인이 부착된 다수개의 서포트 스크린을 상호 연계시켜 케미컬 유동 통로를 형성함에 있어서, 각각의 서포트 스크린은 하나씩 일렬 배치시키며 상호 이웃하는 구멍 주연 부위를 열융착시켜 조립하게 됨에 따라 제작이 어렵고, 열융착에 따른 공정수가 많아 제작 시간과 제작비용이 많이 소요되는 비경제적인 문제가 있었다.However, as described above, in forming a chemical flow passage by interconnecting a plurality of membrane-supported support screens, each support screen is arranged one by one and assembling by heat-sealing neighboring hole peripheral portions. Production is difficult, there are a lot of processes due to heat fusion, there was an uneconomical problem that takes a lot of production time and production costs.
또한, 서포트 스크린을 열융착하여 제작함에 있어서, 상호 대응하는 접합 부위가 과도하게 열융착 될 경우 구멍에 근접된 방사홈 단부 부위가 막혀 케미컬의 유동을 차단하게 되어 교체가 불가피한 비경제적인 문제가 있었다.In addition, when manufacturing the support screen by heat-sealing, when the corresponding joint sites are excessively heat-sealed, there is an uneconomical problem that replacement is inevitable because the end portions of the radial grooves close to the holes are blocked to block the flow of the chemical.
그리고, 상술한 구성에 있어서, 멤브레인을 통과한 케미컬은 각각의 원주홈에서 방사홈으로 유동하는 그 길이가 길게 형성되고, 또 특정 부위의 멤브레인 표면에 파티클이 여과된 정도가 심화될 경우 케미컬 유동압이 필요 이상으로 요구됨과 동시에 정상적인 케미컬 공급이 이루어지지 않아 공정 불량을 초래하는 문제가 있었다.In the above-described configuration, the chemical which has passed through the membrane has a length that flows from the respective circumferential grooves to the radial grooves, and the chemical flow pressure is increased when the particle is filtered on the membrane surface of the specific portion. At the same time as required and at the same time a normal chemical supply is not made there was a problem that causes a process failure.
또한, 케미컬의 충분한 유동량을 확보하기 위해서는 복수개의 유동라인을 구비하여 각 부위에 대응하여 소모성이며 고가(高價)인 케미컬 필터 조립체의 설치가 요구되며, 복수개의 케미컬 필터 조립체의 교체 작업에 따른 번거로움과 그 소요 비용에 따른 비경제적인 문제가 있었다.In addition, in order to secure a sufficient flow amount of the chemical, a plurality of flow lines may be provided to install a consumable and expensive chemical filter assembly corresponding to each portion, and the cumbersomeness of the replacement of the plurality of chemical filter assemblies is required. There was an uneconomical problem with the cost.
본 발명의 목적은, 케미컬 필터 조립체를 구성함에 있어서, 멤브레인이 부착된 다수개의 서포트 스크린의 조립 공정수와 제작비용을 감소시키도록 하고, 케미컬의 유동압과 설치 개수에 대응하여 케미컬의 유동이 원활하게 이루어지도록 하여 공정 불량을 방지토록 함과 동시에 교체 작업에 따른 번거로움과 그에 따른 경비를 절감하도록 하는 반도체장치 제조설비의 케미컬 필터 조립체를 제공함에 있다.An object of the present invention, in the construction of a chemical filter assembly, to reduce the number of fabrication process and manufacturing cost of a plurality of support screens with a membrane, and the flow of the chemical smoothly corresponding to the flow pressure and the number of installation of the chemical It is to provide a chemical filter assembly of a semiconductor device manufacturing equipment to prevent the process defects, and at the same time to reduce the hassle and the cost associated with the replacement operation.
도1은 종래의 케미컬 필터 조립체의 구성 및 케미컬의 공급 관계를 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a configuration of a conventional chemical filter assembly and a chemical supply relationship.
도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 필터 조립체의 구성 및 그에 대한 케미컬의 공급 관계를 나타낸 단면도이다.Figure 2 is a cross-sectional view showing the configuration of the chemical filter assembly and the supply relationship of the chemical filter assembly according to an embodiment of the present invention.
도3은 도2에 도시된 케미컬 필터 조립체의 구성을 부분 단면하여 나타낸 평면도이다.FIG. 3 is a plan view partially showing a configuration of the chemical filter assembly shown in FIG.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of codes for main parts of drawing
10, 30: 케미컬 필터 조립체 12: 하우징10, 30: chemical filter assembly 12: housing
14: 유입부 뚜껑 16: 배출부 뚜껑14: inlet lid 16: outlet lid
18: 몸체 20, 32: 서포트 스크린18: body 20, 32: support screen
22: 막음부재 24, 36: 멤브레인22: blocking member 24, 36: membrane
34: 케미컬 통로 38: 어댑터34: Chemical passage 38: Adapter
40: 고정체 42: 지지판40: stationary body 42: support plate
44: 커버체 46a, 46b: 벤트부44: cover body 46a, 46b: vent part
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체장치 제조설비의 케미컬 필터 조립체의 특징은, 케미컬 유동라인 상에 연통 설치되는 하우징 내부에 멤브레인이 부착된 서포트 스크린이 연계 조립되어 이루어진 케미컬 필터 조립체에 있어서, 장방형의 판 형상으로 내부에 일측으로 개방된 소정 깊이의 케미컬 통로가 형성되고, 양면에 다수 갈래의 유도홈이 형성되며, 상기 유도홈 상의 소정 부위가 상기 케미컬 통로와 연통되며, 양면에 상기 유도홈을 커버하는 형상으로 멤브레인이 부착되는 서포트 스크린과; 복수개의 관통홀이 형성되고, 상기 관통홀이 상기 케미컬 통로의 개방된 부위에 각각 대응하도록 상기 복수개 서포트 스크린의 일측에 융착되며, 상기 상기 관통홀을 통해 유도되는 케미컬을 합류시켜 상기 케미컬 유동라인의 수급부로 유도하도록 상기 하우징에 연통 융착되는 어댑터;를 포함한 구성으로 이루어진다.A characteristic of the chemical filter assembly of the semiconductor device manufacturing equipment of the present invention for achieving the above object is, in the chemical filter assembly is formed by the support screen attached to the membrane in the housing which is installed in communication on the chemical flow line in a rectangular shape, A chemical passage of a predetermined depth is formed inside the plate shape in one side, a plurality of guide grooves are formed on both sides, a predetermined portion on the guide groove is in communication with the chemical passage, the guide groove on both sides A support screen to which the membrane is attached in a covering shape; A plurality of through holes are formed, and the through holes are fused to one side of the plurality of support screens so as to correspond to the open portions of the chemical passage, respectively, and the chemicals guided through the through holes are joined to each other. It consists of a configuration including; adapter fused to the housing so as to guide the supply portion.
또한, 상기 어댑터는, 소정 간격으로 복수개 배치되는 상기 서포트 스크린의 일측 부위에 대향하여 상기 케미컬 통로의 개방된 부위에 형성된 복수개의 관통홀이 각각 대응하도록 융착되는 지지판과; 일측 부위가 상기 지지판 상대측 가장자리 부위를 따라 커버하는 형상으로 융착되고, 다른 일측은 상기 하우징의 배출부와 연통하도록 융착되어 상기 구멍을 통해 유도되는 케미컬을 합류토록 함과 동시에 합류된 케미컬을 상기 하우징의 배출부로 유도하도록 하는 깔때기 형상의 커버체;로 구성함이 바람직하다.The adapter may further include: a support plate in which a plurality of through holes formed in an open portion of the chemical passage are respectively fused to face one side portion of the support screen disposed at a plurality of predetermined intervals; One side is fused in a shape to cover along the edge portion of the support plate, the other side is fused to communicate with the discharge portion of the housing to join the chemicals guided through the hole and at the same time the joined chemicals of the housing A funnel-shaped cover body to guide to the discharge portion; is preferably configured.
또한, 상기 서포트 스크린의 상대측 부위에는 상기 서포트 스크린이 상기 어댑터에 융착 고정된 상태를 유지하도록 융착 고정되는 고정체;를 더 구비함이 바람직하다.In addition, it is preferable to further include a fixing body that is fusion-fixed to maintain the fusion-fixed state of the support screen to the adapter at the relative side portion of the support screen.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체장치 제조설비의 케미컬 필터 조립체의 구성 및 케미컬의 유동 관계에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the configuration of the chemical filter assembly of the semiconductor device manufacturing apparatus and the flow relationship of the chemicals according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체장치 제조설비의 케미컬 필터 조립체의 구성을 나타낸 회전 단면도이고, 도3은 도2에 도시된 케미컬 필터 조립체를 상측에서 부분 단면하여 나타낸 평면도로서, 종래와 동일한 부분에 대하여 동일한 부호를 부여하고, 그에 따른 상세한 설명은 생략하기로 한다.FIG. 2 is a sectional view showing a rotation of a chemical filter assembly of a semiconductor device manufacturing apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention. FIG. 3 is a plan view showing a partial cross-sectional view of the chemical filter assembly shown in FIG. Like reference numerals refer to like parts, and detailed description thereof will be omitted.
본 발명에 따른 케미컬 필터 조립체(30)의 구성은, 도1에 도시된 바와 같이, 케미컬 유동라인 상에는 유입구를 갖는 유입부 뚜껑(14)과 배출구를 갖는 배출부 뚜껑(16) 및 이들 유입부 뚜껑(14)과 배출부 뚜껑(16) 사이를 연결하는 관 형상의 몸체(18)가 열융착으로 기밀이 유지되도록 결합되어 형성된 하우징(12)이 설치된다.The configuration of the chemical filter assembly 30 according to the present invention, as shown in Figure 1, on the chemical flow line inlet cap 14 having an inlet and outlet cap 16 having an outlet and these inlet caps A housing 12 is formed in which a tubular body 18 connecting between the 14 and the outlet lid 16 is coupled to be kept airtight by heat fusion.
이러한 하우징(12)의 내부에는, 소정 두께와 넓이를 갖는 직사각형 형상의 서포트 스크린(32) 복수개가 일정 간격으로 배치되고, 이들 각각의 서포트 스크린(32)의 내부에는, 도2에 도시된 바와 같이, 일측으로 개방 부위를 갖는 가로 세로 방향으로 교차하는 형상으로 케미컬 통로(34)가 형성된다.In the housing 12, a plurality of rectangular support screens 32 having a predetermined thickness and width are arranged at regular intervals, and inside each of the support screens 32, as shown in FIG. , The chemical passage 34 is formed in a shape that intersects in the transverse and longitudinal direction with an open portion on one side.
또한, 서포트 스크린(32)의 양 표면에는 소정 깊이와 길이를 갖는 다수개의 유도홈이 형성되어 있으며, 이들 유도홈은 서포트 스크린(32)의 표면상에 다수개 갈래를 갖는 케미컬 통로(34)와 연통하게 된다.In addition, a plurality of guide grooves having a predetermined depth and length are formed on both surfaces of the support screen 32, and these guide grooves include a chemical passage 34 having a plurality of branches on the surface of the support screen 32. Communicate.
그리고, 이렇게 다수개의 유도홈이 형성된 서포트 스크린(32) 상에는, 유도홈의 형성 부위를 커버하는 형상으로 멤브레인(36)이 부착된다.The membrane 36 is attached to the support screen 32 on which the plurality of guide grooves are formed in such a manner as to cover the formation portion of the guide groove.
한편, 멤브레인(36)이 부착된 각각의 서포트 스크린(32)은 다시 케미컬 통로(34)의 개방된 부위가 하우징(12)의 배출부 측에 연통하여 열융착되는 어댑터(38)에 대응하여 열융착되고, 서포트 스크린(32)의 상대측 부위는 고정체(40)에 의해 고정되는 구성을 이룬다.On the other hand, each of the support screens 32 to which the membrane 36 is attached is heated in response to the adapter 38 in which the open portion of the chemical passage 34 communicates with the outlet side of the housing 12 and is heat-sealed. It is fused and the other part of the support screen 32 has the structure fixed by the fixing body 40. As shown in FIG.
또한, 상술한 어댑터(38)의 구성은, 서포트 스크린(32)의 개방된 케미컬 통로(34) 부위에 대응하는 복수개의 구멍이 형성된 지지판(42)이 있고, 이 지지판(42)의 일측 표면과 이에 대향하는 서포트 스크린(32)의 일측 부위는 상호 밀착되어 통상의 방법으로 열융착되며, 이때 개방된 케미컬 통로(34)는 지지판(42) 상에 형성된 각각의 구멍에 연통하게 된다.Moreover, the structure of the adapter 38 mentioned above has the support plate 42 in which the some hole corresponding to the open chemical channel 34 site | part of the support screen 32 was formed, and the surface of one side of this support plate 42 and One side portions of the support screen 32 facing each other are in close contact with each other and thermally fused in a conventional manner, and the open chemical passage 34 communicates with each hole formed on the support plate 42.
그리고, 이 지지판(42)의 상대측 부위에는, 상술한 케미컬 통로(34)와 연통하는 구멍으로부터 유도되는 케미컬이 합류되도록 하여 이것을 하우징(12)의 배출부를 통해 케미컬 수급부로 유도하도록 하는 깔때기 형상의 커버체(44)가 융착된 구성을 이룬다.And the funnel-shaped cover which joins the chemical guide | induced from the hole communicating with the chemical path 34 mentioned above to the mating side part of this support plate 42, and guides it to the chemical supply part through the discharge part of the housing 12. The sieve 44 has a fused configuration.
이러한 구성의 본 발명에 의하면, 직사각형 형상으로 형성된 서포트 스크린(32) 복수개가 상술한 어댑터(38)에 대응하도록 위치되어 한 번의 열융착 작업으로 결합이 이루어지고, 각각의 서포트 스크린(32)에 형성된 케미컬 통로(34)는 어댑터(38) 내부에서 합류되는 구성으로 형성됨으로써 열융착에 따른 조립 작업이 단순 용이하게 되고, 작업 시간의 단축이 이루어진다.According to the present invention having such a configuration, a plurality of support screens 32 formed in a rectangular shape are positioned to correspond to the adapter 38 described above, and are combined in one heat fusion operation, and formed on each support screen 32. Since the chemical passage 34 is formed in a configuration in which the adapter 38 is joined, the assembling work due to heat fusion is easily facilitated, and the working time is shortened.
또한, 멤브레인(36)의 형상이 단순하고, 케미컬의 유동압력에 대응하는 면적이 넓게 형성된다.In addition, the shape of the membrane 36 is simple, and the area corresponding to the flow pressure of the chemical is formed wide.
그리고, 멤브레인(36)을 통과하는 케미컬은 서포트 스크린(32) 상에 형성된 유도홈과 케미컬 통로(34)와의 길이가 비교적 짧게 형성되어 케미컬의 유동압에 대응하기 용이하게 형성될 뿐 아니라 케미컬의 유동압력에 대한 멤브레인(36)의 전체 면적의 효율이 증대되어 케미컬 필터 조립체(30)의 효율 증대 효과를 기대할 수 있으며, 케미컬의 유동압을 조절하기 용이함으로써 교체 시기의 확인 및 설치 수를 감소시킬 수 있게 된다.In addition, the chemical passing through the membrane 36 has a relatively short length between the guide groove formed on the support screen 32 and the chemical passage 34, so that the chemical is easily formed to cope with the flow pressure of the chemical as well as the flow of the chemical. The efficiency of the overall area of the membrane 36 with respect to pressure can be increased to increase the efficiency of the chemical filter assembly 30, and the flow rate of the chemical can be easily adjusted to reduce the number of installations and the number of installations. Will be.
한편, 상술한 하우징(12)의 형상은 서포트 스크린(32)의 결합 관계에 의한 육면체 형상으로 형성함이 바람직하다.On the other hand, the shape of the housing 12 described above is preferably formed into a hexahedral shape by the coupling relationship of the support screen 32.
또한, 미 설명 부호인 46a, 46b는 소모된 케미컬의 교환시 또는 내부에 생성 가능한 가스 등을 배출시킬 때 사용하는 벤트부를 나타낸다.Further, reference numerals 46a and 46b denote vent parts used for exchanging consumed chemicals or for discharging gas or the like that can be generated therein.
따라서, 본 발명에 의하면, 멤브레인이 부착된 다수개의 서포트 스크린이 어댑터에 한 번의 열융착 작업으로 조립됨에 따라 열융착에 따른 공정수와 제작비용이 감소되고, 케미컬의 유동압에 대응하여 케미컬 통로로 이어지는 유도홈의 길이가 짧게 형성됨으로써 케미컬의 유동이 원활하게 이루어져 설치 개수에 의한 교체 작업의 번거로움과 케미컬 공급에 따른 공정불량을 방지하게 되며, 멤브레인의 효율 증대와 그에 따른 교체 시기를 감지하기 용이한 이점이 있다.Therefore, according to the present invention, as the plurality of support screens with membranes are assembled in one heat welding operation to the adapter, the number of processes and manufacturing costs due to heat welding are reduced, and the chemical passages correspond to the flow pressure of the chemicals. As the length of the induction groove is shortened, the flow of the chemical is smooth, thereby preventing the hassle of replacement work due to the number of installations and process defects due to chemical supply, and increasing the efficiency of the membrane and easy detection of the replacement time. There is one advantage.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical scope of the present invention, and such modifications and modifications are within the scope of the appended claims.
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980042825A KR100278177B1 (en) | 1998-10-13 | 1998-10-13 | Chemical Filter Assembly in Semiconductor Device Manufacturing Equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019980042825A KR100278177B1 (en) | 1998-10-13 | 1998-10-13 | Chemical Filter Assembly in Semiconductor Device Manufacturing Equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20000025665A true KR20000025665A (en) | 2000-05-06 |
| KR100278177B1 KR100278177B1 (en) | 2001-01-15 |
Family
ID=19553923
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019980042825A KR100278177B1 (en) | 1998-10-13 | 1998-10-13 | Chemical Filter Assembly in Semiconductor Device Manufacturing Equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100278177B1 (en) |
-
1998
- 1998-10-13 KR KR1019980042825A patent/KR100278177B1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100278177B1 (en) | 2001-01-15 |
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