KR20000014436U

KR20000014436U - Motor Support Block

Info

Publication number: KR20000014436U
Application number: KR2019980027742U
Authority: KR
Inventors: 권오현; 김보현
Original assignee: 윤종용; 삼성전자 주식회사
Priority date: 1998-12-30
Filing date: 1998-12-30
Publication date: 2000-07-25

Abstract

본 고안은 모터 지지용 블록(Motor supporting block)에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 노광장치(Stepper)의 웨이퍼 공급부 몸체(Wafer loader housing) 내부에 설치되어 있는 모터를 웨이퍼 공급부 몸체 외부에 설치할 수 있도록 함으로써 모터에 대한 정비를 손쉽게 하기 위한 모터 지지용 블록에 관한 것이며, 이를 위하여 웨이퍼 공급부 몸체 내부에서 고정되는 수평블록과 웨이퍼 공급부 몸체 외부에서 수평블록에 결합되는 수직블록 및 모터와 가이드 사이를 연결하는 커플링 블록을 포함하는 모터 지지용 블록의 구조를 개시하고, 수평블록과 수직블록에 각각 장홈들이 형성된 구조를 개시하며, 이러한 구조들을 통하여 모터가 웨이퍼 공급부 몸체의 외부에서 돌출 되어 고정됨으로써 소모품인 모터가 교체될 때 모터를 분리하기 위하여 웨이퍼 공급부 몸체를 분해하는 등의 작업자의 과도한 작업량을 줄일 수 있고, 모터가 각 장홈들의 길이 범위 내에서 자유도를 가지고 설치됨으로써 모터와 가이드가 어긋남을 쉽게 보정할 수 있다.The present invention relates to a motor supporting block, and more particularly, by allowing a motor installed in a wafer loader housing of a stepper to be installed outside the wafer supply body. The present invention relates to a motor support block for easy maintenance of a motor. For this purpose, a horizontal block fixed inside the wafer supply body and a vertical block coupled to a horizontal block outside the wafer supply body and a coupling connecting the motor and the guide. Disclosed is a structure of a motor support block including a block, and a structure in which long grooves are formed in a horizontal block and a vertical block, respectively, through which the motor protrudes from the outside of the wafer supply body and is fixed to replace the motor as a consumable. The wafer feeder body to disconnect the motor when Excessive work load of the worker, such as harm, can be reduced, and the motor can be easily compensated for the deviation between the motor and the guide by installing the motor with a degree of freedom within the length of each long groove.

Description

Motor supporting block

본 고안은 모터 지지용 블록(Motor supporting block)에 관한 것이며, 더욱 구체적으로는 노광장치(Stepper)의 웨이퍼 공급부 몸체(Wafer loader housing) 내에 설치되어 있는 모터를 웨이퍼 공급부 몸체 외부에 설치할 수 있도록 함으로써 모터에 대한 정비를 손쉽게 하기 위한 모터 지지용 블록에 관한 것이다.The present invention relates to a motor supporting block, and more particularly, a motor installed in a wafer loader housing of a stepper can be installed outside the wafer supply body. It relates to a motor support block for easy maintenance.

웨이퍼 공급부는 웨이퍼를 직접 지지하며 운반하는 받침대와 받침대를 구동시키기 위한 구동부분으로 구분될 수 있다. 구동부분은 다시 받침대와 직접 연결되어 받침대의 움직임을 보조해주는 가이드들과 각 가이드를 움직이는 모터와 같은 구동수단들을 포함한다.The wafer supply unit may be divided into a pedestal for directly supporting and transporting the wafer and a driving part for driving the pedestal. The driving part is again connected directly to the pedestal includes guides to assist the movement of the pedestal and drive means such as a motor for moving each guide.

모터는 웨이퍼 공급부 몸체와 같은 내부(Inner part)에 지지블록을 통하여 고정되는 것이 일반적이며, 이와 같은 모습이 도 1에 도시되어 있다. 도 1은 웨이퍼 공급부 몸체(100)의 내부를 부분적으로 투시하여 모터(50)가 웨이퍼 공급부 몸체의 내부에서 고정되는 모습을 나타내는 분해 사시도이다.The motor is generally fixed to the inner part, such as the wafer supply body, through a support block, which is shown in FIG. FIG. 1 is an exploded perspective view illustrating a state in which the motor 50 is fixed inside the wafer supply body by partially viewing the inside of the wafer supply body 100.

도 1에 따르면, 웨이퍼 공급부 몸체(100)의 내부에서 모터(50)는 모터 지지용 블록(10)을 통해 고정되어 있으며, 모터의 동력축(52)이 커플링(70)을 통해 가이드(60)와 연결되어 있다. 모터 지지용 블록(10)은 "ㄱ"자 형태의 꺽쇠이며, 일면이 볼트(54)와 같은 결합수단을 통해 웨이퍼 공급부 몸체(100) 내부에 고정되고 다른 면에 모터 고정홀(18)이 형성된 것을 특징으로 하며, 모터 고정홀(18)을 통해 모터(50)가 끼워져 모터가 지지된다.According to FIG. 1, in the wafer supply body 100, the motor 50 is fixed through the motor support block 10, and the power shaft 52 of the motor is guided through the coupling 70. ) The motor support block 10 is a cramp of “a” shape, one side of which is fixed inside the wafer supply body 100 through a coupling means such as a bolt 54, and a motor fixing hole 18 is formed on the other side thereof. The motor 50 is inserted through the motor fixing hole 18 to support the motor.

이와 같은 모터는 소모품이므로 일정한 주기마다 교체를 해 주어야 한다. 모터를 교체하기 위해서는 웨이퍼 공급부 몸체를 분해하여야 하며, 교체주기가 짧아질수록 웨이퍼 몸체를 분해·조립하기 위한 작업자의 작업량이 증가될 수 있다.These motors are consumables and must be replaced at regular intervals. In order to replace the motor, the wafer supply body needs to be disassembled, and as the replacement cycle becomes shorter, an operator's work for disassembling and assembling the wafer body may increase.

또한, 모터 지지용 블록이 웨이퍼 공급부 몸체 내부에 고정된 형태이기 때문에 모터와 가이드의 연결상태를 변경하는 것이 불가능하며, 이에 따라 가이드와 모터의 연결상태가 어긋나는 경우에 이를 보정하는 것이 어려우며, 결과적으로 웨이퍼가 이송되는 공정의 불량이 지속적으로 발생할 수 있다.In addition, since the motor support block is fixed inside the wafer supply body, it is impossible to change the connection state of the motor and the guide, and thus it is difficult to correct this in the case where the connection state between the guide and the motor is misaligned. Failure of the process in which the wafers are transported can continue to occur.

본 고안의 목적은 모터를 웨이퍼 공급부 몸체 외부에 고정시킬 수 있는 모터 지지용 블록을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a motor support block capable of fixing the motor outside the wafer supply body.

본 고안의 또 다른 목적은 모터를 고정시킬 때 수평/수직방향으로 일정한 범위 내에서 자유도를 줄 수 있는 모터 지지용 블록을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a motor support block which can give a degree of freedom within a certain range in the horizontal / vertical direction when fixing the motor.

도 1은 종래의 모터 지지용 블록과 모터를 도시한 분해 사시도,1 is an exploded perspective view showing a conventional motor support block and a motor;

도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 모터 지지용 블록과 모터를 도시한 분해 사시도,Figure 2 is an exploded perspective view showing a motor support block and a motor according to an embodiment of the present invention,

도 3a 내지 도 3c는 도 2의 모터 지지용 블록을 각각 상세히 도시한 사시도,3A to 3C are perspective views illustrating each of the motor supporting blocks of FIG. 2 in detail;

도 4는 본 고안의 다른 실시예에 따른 모터 지지용 블록이 구비된 웨이퍼 공급부를 간략히 도시한 구성도이다.Figure 4 is a schematic diagram showing a wafer supply unit having a motor support block according to another embodiment of the present invention.

〈도면의 주요 부분에 대한 설명〉<Description of Main Parts of Drawing>

10, 110 : 모터 지지용 블록(Motor supporting block)10, 110: Motor supporting block

18, 138 : 모터 고정홀 50, 150 : 모터18, 138: motor fixing holes 50, 150: motor

52, 512 : 동력축 54, 154 : 볼트52, 512: power shaft 54, 154: bolt

60, 160 : 가이드 70, 170 : 커플링60, 160: guide 70, 170: coupling

100, 200 : 웨이퍼 공급부 몸체 120 : 수평블록100, 200: wafer supply body 120: horizontal block

122 : 고정블록 124, 134 : 장홈122: fixed block 124, 134: long groove

126 : 연결블록 128 : 홈126: connection block 128: groove

130 : 수직블록 132 : 피연결블록130: vertical block 132: connected block

136 : 지지블록 140 : 커플링 블록136: support block 140: coupling block

142 : 커플링 연결부 144 : 가이드 연결부142: coupling connection 144: guide connection

146 : 연결홈 190 : 받침대146: connecting groove 190: pedestal

이러한 목적들을 달성하기 위하여 본 고안은 수평방향의 장홈들이 형성된 고정블록과, 고정블록의 일측에 부착되어 나사산이 형성된 홈들이 구비된 연결블록을 포함하며, 웨이퍼 공급부 몸체 내부에 고정되는 수평블록과; 연결블록의 홈들에 대응되는 수직방향의 장홈들이 형성된 피연결블록과, 피연결블록의 일측에 부착되며 수평방향과 수직방향에 각각 수직을 이루는 지지블록을 포함하며, 웨이퍼 공급부 몸체 외부에 돌출되는 수직블록; 및 수평방향을 축으로 하는 가이드와 가이드를 구동시키며 지지블록에 고정된 모터 사이에 개재되며, 모터의 회전운동을 가이드로 전달하는 커플링 블록;을 포함하고, 수평블록과 수직블록을 통해 모터가 웨이퍼 공급부 몸체의 외부에 고정되는 것을 특징으로 하는 모터 지지용 블록을 제공한다.In order to achieve these objects, the present invention includes a fixed block having horizontal long grooves, and a connecting block having threaded grooves attached to one side of the fixed block, the horizontal block being fixed inside the wafer supply body; And a support block having vertical long grooves corresponding to the grooves of the connection block, and a support block attached to one side of the connection block, the support block being perpendicular to the horizontal direction and the vertical direction, respectively. block; And a coupling block interposed between the guide having the horizontal axis as a guide and the motor fixed to the support block, the coupling block transferring the rotational movement of the motor to the guide. The motor includes a horizontal block and a vertical block. It provides a motor support block which is fixed to the outside of the wafer supply body.

또한, 본 고안은 위의 수직블록과 수평블록의 장홈의 길이와 같은 범위 내에서 자유도를 가지고 수직/수평방향으로 설치되어 고정되는 것을 특징으로 한다.In addition, the present invention is characterized in that it is installed and fixed in the vertical / horizontal direction with a degree of freedom within the same range as the length of the long groove of the vertical block and the horizontal block.

이하, 첨부도면을 참고로 하여 본 고안에 따른 바람직한 실시예들을 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 모터 지지용 블록(110)을 도시한 것이며, 좀 더 상세하게는 웨이퍼 공급부 몸체(200)의 내부를 부분적으로 투시하여 모터(150)가 웨이퍼 공급부 몸체의 외부에서 고정되는 모습을 나타내는 분해 사시도이다. 또한 도 3a 내지 도 3c는 도 2의 모터 지지용 블록(110)을 구성하는 수평블록(120)과 수직블록(130) 및 커플링 블록(140)을 도시한 사시도이다. 도 2 내지 도 3c를 참고로 모터 지지용 블록(110)의 구조와 이를 통해 모터가 고정되는 상태를 설명하면 다음과 같다.Figure 2 shows a motor support block 110 according to an embodiment of the present invention, in more detail the partially through the inside of the wafer supply body 200, the motor 150 of the wafer supply body An exploded perspective view showing the state of being fixed from the outside. 3A to 3C are perspective views illustrating a horizontal block 120, a vertical block 130, and a coupling block 140 constituting the motor support block 110 of FIG. 2. Referring to FIGS. 2 to 3C, the structure of the motor support block 110 and the state in which the motor is fixed are described as follows.

본 고안에 따른 모터 지지용 블록(110)은 크게 수평블록(120)과 수직블록(130) 및 커플링 블록(140)을 포함한다. 수평블록(120)은 일정한 길이(A)의 장홈들이 형성된 고정블록(122)과 고정블록(122)에 부착된 연결블록(126)으로 구성되며, 연결블록(122)에는 나사산이 형성된 홈들(128)이 형성되어 있다.The motor support block 110 according to the present invention includes a horizontal block 120, a vertical block 130, and a coupling block 140. The horizontal block 120 is composed of a fixed block 122 having a certain length (A) of long grooves and a connection block 126 attached to the fixed block 122, the connection block 122 is threaded grooves 128 ) Is formed.

수직블록(130)은 일정한 길이(B)의 장홈들이 형성된 피연결블록(132)과 피연결블록(132)에 부착된 지지블록(136)으로 구성되며, 피연결블록(132)의 장홈을 통해 볼트(154)와 같은 결합수단이 연결블록(126)의 홈(128)에 끼워져 수평블록(120)과 결합된다.The vertical block 130 is composed of a connected block 132 in which long grooves of a predetermined length (B) are formed and a support block 136 attached to the connected block 132, and through the long groove of the connected block 132. A coupling means such as a bolt 154 is fitted into the groove 128 of the connection block 126 and coupled to the horizontal block 120.

모터(150)는 수직블록(130)의 지지블록(136)에 형성된 모터 고정홀(138)에 끼워져 고정된다.The motor 150 is fitted into and fixed to the motor fixing hole 138 formed in the support block 136 of the vertical block 130.

수평블록(120)은 종래와 마찬가지로 웨이퍼 공급부 몸체(200)의 내부에 고정되며, 수평블록(120)의 연결블록(126)이 웨이퍼 공급부 몸체(200) 외부로 돌출 되고, 이 연결블록(126)에 수직블록(130)의 피연결블록(132)이 결합되면서 수직블록(130)은 웨이퍼 공급부 몸체(200)의 외부에 돌출된 형태로 형성될 수 있다.The horizontal block 120 is fixed to the inside of the wafer supply body 200 as in the prior art, the connection block 126 of the horizontal block 120 protrudes outside the wafer supply body 200, the connection block 126 As the connected block 132 of the vertical block 130 is coupled to the vertical block 130, the vertical block 130 may be formed to protrude to the outside of the wafer supply unit 200.

따라서, 모터(150)는 수평블록(120)에 의해 연장된 길이만큼 웨이퍼 공급부 몸체(200)의 외부에서 고정될 수 있으며, 가이드(160)와 벌어진 거리만큼의 길이로 형성되는 커플링 블록(140)을 통하여 가이드에 연결된다.Accordingly, the motor 150 may be fixed at the outside of the wafer supply body 200 by a length extended by the horizontal block 120, and the coupling block 140 may be formed to have a length corresponding to the distance from the guide 160. Is connected to the guide.

커플링 블록(140)은 봉 형태의 커플링 연결부(142)와 가이드(160)의 끝단이 끼워져 결합될 수 있는 연결홈(146)이 형성된 가이드 연결부(144)로 구성되며, 모터(150)의 회전운동을 전달하기에 적합한 내구력을 갖는 재질로 형성된다.Coupling block 140 is composed of a coupling coupling portion 142 in the form of a rod and the guide coupling portion 144 is formed with a connection groove 146 that can be coupled to the end of the guide 160, the motor 150 It is formed of a material having durability suitable for transmitting rotational motion.

가이드 연결부(144)는 연결홈(146)으로 관통하는 볼트(154)를 통해 가이드(160)를 고정시킬 수 있으며, 커플링 연결부(142)는 탄성 소재의 커플링(170)에 끼워져 모터(150)의 동력축(152)에 결합될 수 있다.The guide connection part 144 may fix the guide 160 through the bolt 154 penetrating into the connection groove 146, and the coupling connection part 142 may be inserted into the coupling 170 made of an elastic material to supply the motor 150. It may be coupled to the power shaft 152 of the).

도 4는 위와 같은 구조의 모터 지지용 블록(110)이 구비된 웨이퍼 공급부 몸체(200)와 웨이퍼 공급부 몸체(200)의 외부에 모터(150)가 고정된 모습을 도시한 개략적인 사시도이며, 도 4를 참고로 하여 설명하면 다음과 같다.4 is a schematic perspective view illustrating a state in which the motor 150 is fixed to the outside of the wafer supply unit 200 and the wafer supply unit 200 having the motor support block 110 having the above structure. Referring to Figure 4 as follows.

웨이퍼 공급부 몸체(200) 내부에 고정되는 수평블록(120)과 웨이퍼 공급부 몸체(200) 외부에서 수평블록(120)에 결합된 수직블록(130)을 통해 모터(150)가 웨이퍼 공급부 몸체(200)의 외부에 고정되어 있으며, 모터(150)와 가이드(160) 사이의 벌어진 간극을 커플링 블록(140)이 연결해 주고 있다.The motor 150 is connected to the wafer supply unit 200 through a horizontal block 120 fixed inside the wafer supply unit 200 and a vertical block 130 coupled to the horizontal block 120 outside the wafer supply unit 200. It is fixed to the outside of the coupling block 140 is connected to the gap between the motor 150 and the guide 160.

모터(150)가 구동됨에 따라 가이드(160)가 회전하며, 가이드(160)의 회전운동에 의해 웨이퍼(도시되지 않음)를 지지하는 받침대(190)가 상하로 움직일 수 있다.As the motor 150 is driven, the guide 160 rotates, and the pedestal 190 supporting the wafer (not shown) may move up and down by the rotational movement of the guide 160.

이와 같이, 모터가 웨이퍼 공급부 몸체 외부에 돌출된 형태로 고정됨으로써 모터를 교체하기 위한 작업이 웨이퍼 공급부 몸체의 분해 없이 수행될 수 있으며, 이를 통하여 모터를 교체하기 위한 작업자의 작업량이 크게 감소할 수 있다.As such, since the motor is fixed in a form protruding outside the wafer supply body, the work for replacing the motor may be performed without disassembling the wafer supply body, thereby greatly reducing the amount of work for the operator to replace the motor. .

또한, 모터를 고정시키는 모터 지지용 블록이 수평블록의 장홈의 길이(도 3a의 A)와 수직블록의 장홈의 길이(도 3b의 B)의 범위 내에서 수평방향과 수직방향으로 자유도를 가지고 설치될 수 있게 되어 모터와 가이드가 어긋나는 경우 이를 쉽게 보정할 수 있다. 따라서, 모터와 가이드가 어긋남으로 인한 불량을 조기에 개선할 수 있다.In addition, the motor support block for fixing the motor is installed with a degree of freedom in the horizontal and vertical direction within the range of the length of the long groove of the horizontal block (A of Fig. 3a) and the length of the long groove of the vertical block (b of Fig. 3b). This makes it easy to correct if the motor and guide are misaligned. Therefore, the defect by the motor and guide shift | offset | difference can be improved early.

본 고안에 따른 모터 지지용 블록은 웨이퍼 공급부 몸체 내부에서 고정되는 수평블록과 웨이퍼 공급부 몸체 외부에서 수평블록에 결합되는 수직블록 및 모터와 가이드 사이의 벌어진 간격을 이어주는 커플링 블록을 포함하는 것을 특징으로 하며, 이러한 특징에 따라 모터가 웨이퍼 공급부 몸체의 외부에서 고정될 수 있게 되어 소모품인 모터가 교체될 때 모터를 분리하기 위하여 웨이퍼 공급부 몸체를 분해하는 등의 작업자의 과도한 작업량을 줄일 수 있으며, 수평블록과 수직블록에 형성된 장홈을 이용하여 모터를 각 장홈들의 길이 범위 내에서 자유도를 가지고 고정시킬 수 있게 되어 모터와 가이드가 어긋남을 쉽게 보정할 수 있다.The motor support block according to the present invention includes a horizontal block fixed inside the wafer supply body and a vertical block coupled to the horizontal block outside the wafer supply body, and a coupling block connecting a gap between the motor and the guide. According to this feature, the motor can be fixed at the outside of the wafer supply body so that an excessive amount of work by the operator, such as disassembling the wafer supply body to separate the motor when the consumable motor is replaced, can be reduced. By using the long groove formed in the vertical block and the motor can be fixed with a degree of freedom within the length range of each long groove can easily correct the displacement of the motor and the guide.

Claims

A horizontal block including a fixed block having horizontal long grooves and a connecting block having threaded grooves attached to one side of the fixed block, the horizontal block being fixed inside the wafer supply body;

And a support block having vertical long grooves corresponding to the grooves of the connection block, and a support block attached to one side of the connected block and perpendicular to the horizontal direction and the vertical direction, respectively. Vertical block protruding to the outside; And

A coupling block interposed between the guide having the horizontal axis as the axis and the power shaft of the motor supported by the support block, the coupling block transferring the rotational motion of the motor to the guide;

And a motor supporting block supported by the outside of the wafer supply body through the horizontal block and the vertical block.

The block of claim 1, wherein the blocks are bolted and fixed through the long grooves, and the motor is freely installed in a vertical / horizontal direction within a length range of the long grooves.