KR20000009900A - Method and apparatus for dividing an input/output signal of hardware of a semiconductor manufacturing equipment - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체 제조설비의 하드웨어 입출력신호 분배방법 및 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 제조설비의 서비스용 콘트롤러 및 오퍼레이션용 콘트롤러를 하나의 공통 하드웨어로 통합하여 사용하기 위한 신호분배방법 및 그 장치에 대한 것이다.The present invention relates to a method and apparatus for distributing hardware input / output signals of a semiconductor manufacturing facility, and more particularly, to a signal distribution method and apparatus for integrating and using a service controller and an operation controller of a semiconductor manufacturing facility into one common hardware. It is about.
반도체 제조설비는 일반적으로 서로 다른 두 영역에서 설비를 제어하게 되는데, 그것은 서비스 영역과 오퍼레이션 영역에서 각각 콘트롤러를 구비하여 반도체 제조설비를 제어하게 된다.The semiconductor manufacturing equipment generally controls the equipment in two different areas, which have controllers in the service area and the operation area, respectively, to control the semiconductor manufacturing facility.
반도체 제조설비를 제어하는 기존의 방식을 보면 서비스용 콘트롤러를 구비하는 서비스영역에서는 피.엠 체크(Preventive Maintenance Check)를 행하거나 장비의 이상발생시 수리를 진행하는 등의 유지, 보수의 기능을 가지며, 오퍼레이션용 콘트롤러를 구비하는 오퍼레이션 영역에서는 평상시의 설비 운전이나, 프로세스를 진행할 때 상기 반도체 설비를 제어하게 된다.According to the existing method of controlling semiconductor manufacturing equipment, the service area equipped with a service controller has functions of maintenance and repair, such as performing a Preventive Maintenance Check or repair in the event of a malfunction of the equipment. In the operation area including the operation controller, the semiconductor equipment is controlled during normal equipment operation or process.
상기 서비스용 및 오퍼레이션용 콘트롤러는 일반적으로 개별적인 설비마다 동일한 구성요소로 이루어지고 있다. 콘트롤러의 구성을 보면 하드웨어, 모니터, 키보드, 트랙볼을 한 세트로 하고 있다.The service and operation controllers generally comprise the same components for individual installations. The controller configuration is a set of hardware, monitor, keyboard, and trackball.
또한, 하나의 반도체 제조설비에는 상기 서비스용 콘트롤러와 오퍼레이션용 콘트롤러가 각각 구비되어 연결된다.In addition, one semiconductor manufacturing facility is provided with the service controller and the operation controller, respectively.
도1은 반도체 제조설비의 종래의 콘트롤러의 구성도의 일예를 도시하고 있는데, 반도체 제조설비(30)을 제어하는 콘트롤러(10, 20)는 서비스 영역과 오퍼레이션 영역에서 각 설비마다 구비되고 있다. 오퍼레이션 영역의 콘트롤러(20)는 평상시의 프로세스 진행시에 설비(30)를 제어하는데 이용된다. 또한, 서비스 영역의 콘트롤러(10)는 설비(30)의 이상 발생시와 피.엠. 체크를 하는 등 유지, 보수용으로 기능한다. 이때, 각각의 콘트롤러(10, 20)는 본체, 모니터, 키보드 및 트랙볼이 일세트를 이루어 콘트롤러(10, 30)가 구성된다.Fig. 1 shows an example of the configuration diagram of a conventional controller of a semiconductor manufacturing facility. The controllers 10 and 20 for controlling the semiconductor manufacturing facility 30 are provided for each facility in the service area and the operation area. The controller 20 in the operation area is used to control the facility 30 in the course of normal processing. In addition, the controller 10 of the service area may detect the abnormality of the facility 30 and the P.M. Functions for maintenance and repair, such as checking. At this time, each controller (10, 20) is a set of the main body, a monitor, a keyboard and a track ball is composed of a controller (10, 30).
그러나, 종래의 콘트롤러의 구성과 그 운용에는 다음과 같은 문제점이 있다.However, the configuration and operation of the conventional controller has the following problems.
첫째, 구성요소가 동일한 오퍼레이션용 콘트롤러와 서비스용 콘트롤러를 각 설비마다 설치해야 하므로 구입비용이 과다하게 소요된다.First, since the components for the same operation controller and service controller must be installed in each facility, the purchase cost is excessive.
둘째, 서비스용 콘트롤러를 다른 설비에 사용하기 위해 이동시에는 콘트롤러의 하드와 메인 보드가 이탈하거나 접촉불량이 자주 일어나므로써, 동작오류 및 자체 다운(Down)이 발생하여 진행중인 작업중단 및 메인 설비의 다운을 초래하게 된다.Second, when moving the controller for use in another facility, the controller's hard board and main board may be dislodged or badly contacted. Therefore, operation errors and downs may occur, resulting in ongoing interruption of work and down of the main facility. Will result.
세째, 서비스용 콘트롤러를 다른 설비에 연결하여 사용하기 위해서는 메인 설비를 중단시키고 다시 부팅을 하여 작업을 함으로써 메인설비를 자주 다운시켜 설비에 영향을 주어 설비 고장 발생의 주요 원인이 된다.Third, in order to use the service controller connected to other equipment, the main equipment is frequently shut down and rebooted so that the main equipment is frequently down and the equipment is affected.
따라서, 상술한 문제점을 해결하여 경제적이고, 보다 더 신뢰적인 콘트롤러 운영 방법과 중복되는 장치의 단순화가 필요하다.Accordingly, there is a need to solve the above problems and simplify the apparatus that overlaps with an economical and more reliable method of operating a controller.
본 발명의 목적은, 서비스용 콘트롤러를 개별설비에 설치하지 않고, 통합하여 운영하기 위해 중복되는 서비스용 콘트롤러를 없애고, 오퍼레이션용 콘트롤러와 이동가능한 서비스 콘트롤러를 변환하여 연결할 수 있는 신호분배장치 및 방법을 설비 내부에 제공하므로써, 상술한 문제점을 해결하고자 한다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a signal distribution apparatus and method capable of connecting and converting an operation controller and a movable service controller without eliminating redundant service controllers to integrate and operate the service controller without installing the service controller in a separate facility. By providing the inside of the installation, it is intended to solve the above problems.
도1은 반도체 제조설비의 콘트롤러의 종래의 구성도이다.1 is a conventional configuration diagram of a controller of a semiconductor manufacturing facility.
도2는 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 콘트롤러의 운용 계통도이다.2 is an operating system diagram of a controller of a semiconductor manufacturing facility according to the present invention.
도3은 본 발명에 따른 신호분배장치에 관계된 신호 흐름도이다.3 is a signal flow diagram related to a signal distribution device according to the present invention.
도4는 본 발명에 따른 신호분배장치에서 3색으로 분리되어 처리하는 회로부의 일실시예를 나타내는 도면이다.4 is a view showing an embodiment of a circuit unit for separating and processing in three colors in the signal distribution apparatus according to the present invention.
도5는 본 발명에 따른 신호분배장치에서 동기신호를 처리하는 회로부의 일실시예를 나타내는 도면이다.5 is a view showing an embodiment of a circuit unit for processing a synchronization signal in the signal distribution apparatus according to the present invention.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of codes for main parts of drawing
10 : 서비스용 콘트롤러 12 : 서비스용 키보드10: service controller 12: service keyboard
14 : 서비스용 모니터 20 : 오퍼레이션용 콘트롤러14: service monitor 20: operation controller
22 : 오퍼레이션용 키보드 24 : 오퍼레이션용 모니터22: operation keyboard 24: operation monitor
30 : 반도체 제조 설비 32 : 하드웨어30: semiconductor manufacturing equipment 32: hardware
40 : 신호분배장치 42 : 전환 스위치40: signal distribution device 42: changeover switch
44 : 회로부44: circuit part
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 제조 설비의 하드웨어 입출력신호 분배방법은, 모니터, 키보드를 각각 구비하는 오퍼레이션용 콘트롤러와 서비스용 콘트롤러를 이용하여 반도체 제조설비를 제어할 때, 상기 하드웨어로부터 출력되는 신호는 오퍼레이션용 콘트롤러 및 서비스용 콘트롤러의 각각의 모니터에 적색, 녹색, 황색, 수직동기, 수평동기 신호로 분배하여 전송하는 단계 및 상기 하드웨어로 입력되는 신호에 대해서는 전환 스위치를 구비하여 서비스용 콘트롤러의 키보드와 오퍼레이션용 키보드를 교대로 사용하여 각각의 입력신호를 상기 하드웨어로 전송하는 단계로 이루어진다.The hardware input / output signal distribution method of the semiconductor manufacturing equipment according to the present invention for achieving the above object is output from the hardware when controlling the semiconductor manufacturing equipment using an operation controller and a service controller each having a monitor and a keyboard; The signal is distributed to each monitor of the operation controller and the service controller as red, green, yellow, vertical synchronous and horizontal synchronous signals, and is provided with a switching switch for the signal input to the hardware. And alternately using the keyboard and the operation keyboard to transmit each input signal to the hardware.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 하드웨어 입출력신호 분배 장치는 모니터, 키보드를 각각 구비하는 오퍼레이션용 콘트롤러와 서비스용 콘트롤러를 이용하여 반도체 제조설비를 제어할 때, 상기 반도체 제조설비의 하드웨어 입출력신호 분배장치에 있어서, 상기 하드웨어로부터 출력되는 신호는 오퍼레이션용 콘트롤러 및 서비스용 콘트롤러의 각각의 모니터에 적색, 녹색, 황색, 수직동기, 수평동기 신호로 분배하여 전송하기 위하여 하드웨어에서 출력되어 상기 신호분배장치로 입력되는 상기 신호를 처리하여 출력시키기 위한 회로부와 서비스용 콘트롤러의 키보드와 오퍼레이션용 키보드를 선택하여 상기 하드웨어로 신호를 입력시키기 위한 전환 스위치부를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.Hardware input and output signal distribution device of the semiconductor manufacturing equipment according to the present invention for achieving the above object is to control the semiconductor manufacturing equipment using an operation controller and a service controller, each having a monitor, a keyboard, In the hardware input / output signal distribution device, the signal output from the hardware is output from the hardware to distribute and transmit the red, green, yellow, vertical synchronization, horizontal synchronization signals to each of the monitor of the operation controller and the service controller and the Circuit unit for processing and outputting the signal input to the signal distribution device, the switching switch unit for selecting the keyboard of the service controller and the operation keyboard to input the signal to the hardware It is characterized by comprising.
상기 반도체 제조 설비의 하드웨어 입출력신호 분배장치에서 상기 회로부의 회로부분 중 적색, 녹색, 황색 신호를 처리하는 회로 구성은 모두 동일하게 될 수 있다.In the hardware input / output signal distribution device of the semiconductor manufacturing facility, the circuit configuration for processing red, green, and yellow signals in the circuit portion of the circuit portion may be the same.
또한, 상기 반도체 제조 설비의 하드웨어 입출력신호 분배장치에서 상기 회로부의 회로부분 중 상기 수직 동기 신호 및 수평 동기 신호를 처리하는 회로구성이 모두 동일하게 될 수도 있다.Further, the circuit arrangement for processing the vertical synchronizing signal and the horizontal synchronizing signal among the circuit portions of the circuit portion in the hardware input / output signal distribution device of the semiconductor manufacturing facility may be the same.
바람직하게는, 상기 신호분배장치는 보드(Board)로 구성될 수 있다.Preferably, the signal distribution device may be configured as a board.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도2는 본 발명에 따른 반도체 제조설비의 운용 방법을 나타내는 블럭도이다. 반도체 제조설비(30)내의 하드웨어(32)에 연결된 신호분배장치(Distributor) (40)가 구비되어 두 영역의 콘트롤러(10, 20)에 연결되며 제조설비의 하드웨어(32)로 접속되는 각 콘트롤러의 입출력신호를 제어하고 있다. 따라서 상기 신호분배장치에 의하여 서비스 영역의 콘트롤러(10)는 오퍼레이션 영역쪽의 하드웨어(32)를 공통으로 이용하게 된다. 따라서, 서비스용 콘트롤러(10)의 하드웨어는 생략이 가능하다. 또한, 상기 서비스용 콘트롤러는 다른 반도체 설비에서도 똑같이 그 오퍼레이션 영역의 하드웨어를 사용할 수 있게 되어 다른 설비에도 이동하여 사용이 가능하다.2 is a block diagram showing a method of operating a semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention. A distributor 40 is provided which is connected to the hardware 32 in the semiconductor manufacturing facility 30 and is connected to the controllers 10 and 20 of the two areas and connected to the hardware 32 of the manufacturing facility. I / O signals are controlled. Therefore, the controller 10 of the service area uses the hardware 32 of the operation area in common by the signal distribution device. Therefore, the hardware of the service controller 10 can be omitted. In addition, the service controller can use the hardware of the operation area in the same way in other semiconductor equipment, it is possible to move and use in other equipment.
도3은 본 발명에 따른 신호분배장치와 각각의 콘트롤러 사이의 신호의 흐름을 나타내고 있다. 스위치 전환부(42)는 키보드(12, 22)가 하드웨어(32)로 입력신호를 보낼 때 서비스용(12)과 키보드(22)용을 선택하기 위한 것이다. 피엠 체크나 수리 시에는 서비스용 콘트롤러의 키보드(12)에 설비의 하드웨어(32)가 선택, 연결되고 한편 평상시에 프로세스가 진행될 때에는 오퍼레이션용 키보드(22)로 전환, 연결시킬 수 있다. 트랙볼도 키보드와 동일하게 다룰 수 있다.Figure 3 shows the flow of signals between the signal distribution device and each controller according to the present invention. The switch switching unit 42 is for selecting the service 12 and the keyboard 22 when the keyboard 12 or 22 sends an input signal to the hardware 32. The hardware check 32 of the facility is selected and connected to the keyboard 12 of the service controller during the PM check or repair, and the operation keyboard 22 can be switched and connected when the process is normally performed. The trackball can be handled just like a keyboard.
한편, 신호분배장치의 회로부(44)는 설비의 하드웨어(32)로부터 나오는 3색신호인, 적색신호, 황색신호, 흑색신호와 수평 및 수직 동기신호를 서비스용 콘트롤러(10)의 모니터(14)와 오퍼레이션용 콘트롤러(20)의 모니터(24)에 각각 전송한다. 회로부(44)중 CR1은 3색신호부를 처리하는 회로부분이고, CR2는 수평, 수직 동기 신호를 처리하는 부분이다.On the other hand, the circuit section 44 of the signal distribution device is configured to monitor the monitor 14 of the service controller 10 and the red, yellow, black signals and horizontal and vertical synchronization signals, which are three color signals from the hardware 32 of the facility. It transfers to the monitor 24 of the operation controller 20, respectively. CR1 of the circuit section 44 is a circuit section for processing the three-color signal section, and CR2 is a section for processing horizontal and vertical synchronization signals.
도4에서 상기 신호 분배장치 중 3색 신호를 처리하는 회로부의 실제적인 설계예를 나타낸다. 도4의 설계된 회로도에서는 3개의 색신호 모두가 동일한 회로를 거쳐 양쪽 영역의 콘트롤러 모니터(14, 24)에 연결된다. 상기예에서는 R1=R2=R3=R4=R6=R7=R8=R9= 330Ω, R5=R10= 1000㏀, C1=C2=C3=C4=C5=C6= 47μ／10V로 구성된다. 입력된 적색신호는 콘덴서 C1을 거치면서 직류성분은 제거되고 병렬연결된 트랜지스터 Q1,Q2를 통과하여 오퍼레이터용 콘트롤러(20)의 모니터(24)로 전송된다. 마찬가지로 콘덴서 C2를 통과한 신호는 동일한 회로를 거쳐 서비스용 콘트롤러(10)의 모니터(14)로 전송된다. 녹색, 흑색 신호에 대해서도 동일하다.4 shows an actual design example of a circuit portion for processing three-color signals in the signal distribution device. In the designed circuit diagram of Fig. 4, all three color signals are connected to the controller monitors 14 and 24 in both regions via the same circuit. In the above example, R 1 = R 2 = R 3 = R 4 = R 6 = R 7 = R 8 = R 9 = 330 ms, R 5 = R 10 = 1000 ms, C 1 = C 2 = C 3 = C 4 = C 5 = C 6 = 47 µ / 10 V. The red input signal is sent to the monitor 24 of the capacitor C 1 goes through the DC component is removed is connected parallel transistor Q 1, a controller 20 for an operator to pass the Q 2. Similarly, the signal passing through the capacitor C 2 is transmitted to the monitor 14 of the service controller 10 via the same circuit. The same applies to the green and black signals.
도5는 수직, 수평 동기 신호를 처리하는 회로 부분을 나타내는데 두개의 인버터를 통과하여 각각의 모니터(14, 24)에 신호를 전송한다.5 shows a portion of a circuit that processes vertical and horizontal sync signals, which pass through two inverters to transmit signals to each of the monitors 14 and 24.
따라서, 본 발명에 의하면 종래의 서비스영역의 콘트롤러의 구성을 모니터, 키보드, 트랙볼만으로 간단하게 1세트로 구성하여 기존에 개별설비마다 사용되던 서비스용 콘트롤러를 모두 없애고 이동하면서 사용이 가능한 1세트로 다수의 설비의 서비스용 콘트롤러로 사용하므로써 다음과 같은 효과를 기대할 수 있다.Therefore, according to the present invention, the configuration of the controller of the conventional service area is simply configured as one set only by the monitor, the keyboard, and the trackball, so that a plurality of sets can be used while removing and removing all the service controllers previously used for individual facilities. The following effects can be expected when used as a service controller for service facilities.
(1) 종래에 서비스용과 오퍼레이션용으로 각각 본체를 설치했던 문제를 해결하기 위하여 신호분배장치(Distributor)를 채용함으로써 전환 스위치에 의하여 설비의 하드웨어를 양 영역에서 공통으로 사용할 수 있다.(1) In order to solve the problem of conventionally installing the main body for service and operation, by employing a signal distribution device, the hardware of the equipment can be commonly used in both areas by the changeover switch.
(2) 장비당 설치되어 있던 모든 서비스용 콘트롤러를 1세트의 이동가능한 서비스용 콘트롤러로 대치하여 사용함으로써 각각의 설비마다 설치하던 서비스용 콘트롤러를 별도로 구입하지 않아도 된다.(2) By replacing all the service controllers installed per equipment with one set of movable service controllers, there is no need to purchase a service controller separately for each facility.
(3) 기존의 서비스용 콘트롤러를 연결하기 위해서는 주 설비의 운전을 정지시키고 재부팅(Rebooting)하던 작업을 제거함으로써 주 설비를 자주 다운시켜 문제가 발생되던 것을 해결 할 수 있다.(3) To connect the existing service controller, stop the operation of the main equipment and remove the work of rebooting (Rebooting) can be solved the problem occurred by frequently down the main equipment.
(4) 오퍼레이션용 콘트롤러에서 문제가 발생하면 주 설비의 유지, 보수를 하지 못하여 프로세스가 중단되는 일은 없게된다.(4) If a problem occurs in the operation controller, the process will not be interrupted because the main equipment cannot be maintained.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical scope of the present invention, and such modifications and modifications are within the scope of the appended claims.
Claims (6)
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| KR1019980030570A KR20000009900A (en) | 1998-07-29 | 1998-07-29 | Method and apparatus for dividing an input/output signal of hardware of a semiconductor manufacturing equipment |
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| KR (1) | KR20000009900A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7388797B2 (en) | 2005-09-28 | 2008-06-17 | Hynix Semiconductor Inc. | Semiconductor memory device |
-
1998
- 1998-07-29 KR KR1019980030570A patent/KR20000009900A/en not_active Application Discontinuation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7388797B2 (en) | 2005-09-28 | 2008-06-17 | Hynix Semiconductor Inc. | Semiconductor memory device |
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