KR20000008964A - Method for manufacturing printed circuit board - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A method for manufacturing a printed circuit board(PCB) adjusts a clearance size formed in a via hole. CONSTITUTION: The method prepares a substrate which forms a clearance metal layer having a selective etching ability on a specific metal layer of a specific unit substrate forming a clearance, penetrates the clearance metal layer, forms a via hole for electrically connecting the metal layer, selectively etches the clearance metal layer about the metal layer, forms a clearance via to an inner wall of the hole, forms a clearance by filling the clearance via with an insulation resin, plates the inner wall of the via hole for electrically insulating the metal layer exposed to the inner wall of the via hole, and forms a plating layer. The clearance electrically insulates between the specific metal layer and the plating layer. Thereby, a clearance size formed in a via hole is easily adjusted.

Description

인쇄회로기판의 제조방법(Method for manufacturing PCB)Method for manufacturing PCB

본 발명은 인쇄회로기판의 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 비아 홀에 형성되는 클리어런스의 크기를 조절할 수 있는 인쇄회로기판의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing a printed circuit board, and more particularly, to a method of manufacturing a printed circuit board that can adjust the size of the clearance formed in the via hole.

오늘날 전자산업의 추세는 더욱 경량화, 소형화, 고속화, 다기능화, 고성능화 되고 높은 신뢰성을 갖는 제품을 저렴하게 제조하는 것이다. 이와 같은 제품 설계의 목표 달성을 가능하게 하는 중요한 기술 중의 하나가 바로 패키지(package) 조립 기술이며, 이에 따라 근래에 개발된 패키지 중의 하나가 볼 그리드 어레이(Ball Grid Array; BGA) 패키지이다. BGA 패키지는 통상적인 플라스틱 패키지에 비하여, 모 기판(mother board)에 대한 실장 면적을 축소시킬 수 있고, 전기적 특성이 우수하다는 장점들을 갖고 있다.The trend in today's electronics industry is to make products that are lighter, smaller, faster, more versatile, more powerful and more reliable. One of the important technologies that enables the accomplishment of such a product design goal is a package assembly technology. Accordingly, one of the recently developed packages is a ball grid array (BGA) package. The BGA package has advantages in that the mounting area on the mother board can be reduced and the electrical characteristics are excellent, compared to the conventional plastic package.

BGA 패키지는 통상적인 플라스틱 패키지와 달리 리드 프레임(lead frame) 대신에 인쇄회로기판(Printed Circuit Board; PCB)을 사용한다. 인쇄회로기판은 반도체 칩이 접착되는 면의 반대쪽 전면(全面)을 솔더 볼(solder ball)들을 배치할 수 있는 영역으로 제공할 수 있기 때문에, 모 기판에 대한 실장 밀도 면에서 유리한 점이 있다.Unlike conventional plastic packages, BGA packages use a printed circuit board (PCB) instead of a lead frame. The printed circuit board is advantageous in terms of mounting density on the parent substrate because the printed circuit board can provide the entire surface opposite to the surface where the semiconductor chip is bonded to the area where solder balls can be placed.

한편, 인쇄회로기판은 전기적 시스템(electronic system)의 각종 보드로도 광범위하게 사용이 되면서 반도체 소자와 함께 전기적 시스템을 구성하는데 있어서 중요한 역할을 담당하고 있다. 한편, 급격하게 고속도, 고집적화 되어가고 있는 집적회로는 반도체 소자의 패키징에서 입출력 단자의 수의 증가를 가져왔고, 이로 인하여 BGA 타입의 패키지의 볼 수의 증가와 함께 패키징 기판으로 사용되고 있는 인쇄회로기판의 회로 배선의 밀도는 계속하여 증가되고 있다.On the other hand, the printed circuit board is widely used as various boards of the electronic system (electronic system) and plays an important role in configuring the electrical system with the semiconductor device. On the other hand, integrated circuits, which are rapidly becoming high speed and highly integrated, have increased the number of input / output terminals in the packaging of semiconductor devices, thereby increasing the number of balls of BGA type packages and increasing the number of printed circuit boards used as packaging substrates. The density of circuit wiring continues to increase.

도 1에 도시된 바와 같이 통상적인 인쇄회로기판(10)은 기판 몸체(14)에 다층의 금속층(21)이 형성된 구조를 갖는데, 통상적으로 배선층(23, 25, 27), 그라운드 층(29) 및 파워 층(도시 안됨)을 포함하는 금속층(21)이 형성된 단위 기판을 적층하여 형성하게 되며, 금속층의 구성 재료로 구리(Cu)를 사용한다. 그리고, 상하 금속층(21) 사이의 전기적 연결은 비아 홀(12; via hole)을 통하여 이루어진다. 이러한 비아 홀 중에서 그라운드 층(29; ground layer)과 연결이 되지 않는 비아 홀(12)을 형성할 경우에, 그 비아 홀(12)이 형성될 그라운드 층(29)을 식각하여 비아 홀(12)보다 큰 직경의 클리어런스 비아(16; clearance via)를 미리 형성시켜 놓는다.As shown in FIG. 1, a conventional printed circuit board 10 has a structure in which a multilayer metal layer 21 is formed on a substrate body 14, and typically, wiring layers 23, 25, 27, and ground layer 29 are formed. And a unit substrate on which the metal layer 21 including the power layer (not shown) is formed, is laminated. Copper (Cu) is used as a constituent material of the metal layer. In addition, electrical connection between the upper and lower metal layers 21 is made through via holes 12. In the case of forming the via hole 12 which is not connected to the ground layer 29 among the via holes, the via hole 12 is etched by etching the ground layer 29 on which the via hole 12 is to be formed. Larger diameter clearance vias 16 are preformed.

클리어런스 비아(16)는 비아 홀의 홀 랜드(23a, 27a; hole land)의 크기(a)보다 2배 내지 3배 더 크게 형성된다. 이렇게 형성하는 이유는, 인쇄회로기판(10) 제조시 비아 홀(12)을 뚫는 드릴링(drilling) 공정의 정확도의 한계와, 비아 홀(12)과 전기적으로 연결되지 않은 그라운드 층(29)과 비아 홀(12) 사이에 일정한 정도의 절연저항 신뢰성을 확보하기 위해서이다. 즉, 기판 몸체(14) 상하부면의 마주보는 방향에 형성된 홀 랜드(23a, 27a)를 뚫어 비아 홀(12)을 형성할 때, 비아 홀(12)의 중심이 어느 정도 기준점에서 벗어나더라도 클리어런스 비아(16)가 비아 홀(12)보다 크게 형성되어 있기 때문에, 비아 홀(12)과 그라운드 층(29) 사이에 일정한 거리를 유지하여 절연저항을 확보할 수 있다. 한편, 클리어런스 비아(16)는 인쇄회로기판(10)을 제조하는 단계에서 기판 몸체(14)의 재질로 채워지며, 본 실시예에 따른 설명에서는 그라운드 층(29)에 클리어런스 비아(16)가 형성된 구조를 설명하였지만, 특정 비아 홀과 파워 층(power layer)을 연결하지 않는 경우에도 파워 층에 클리어런스 비아를 형성한다. 도면부호 b는 클리어런스(16)의 크기를 나타낸다.The clearance via 16 is formed two to three times larger than the size a of the hole lands 23a and 27a of the via holes. The reason for this formation is the limitation of the accuracy of the drilling process for drilling the via hole 12 in manufacturing the printed circuit board 10, and the ground layer 29 and the via which are not electrically connected to the via hole 12. This is to ensure a certain degree of insulation resistance reliability between the holes 12. That is, when the via holes 12 are formed through the hole lands 23a and 27a formed in the opposite direction of the upper and lower surfaces of the substrate body 14, the clearance vias may be removed even if the center of the via holes 12 deviates from the reference point to some extent. Since the width 16 is larger than the via hole 12, an insulation resistance can be secured by maintaining a constant distance between the via hole 12 and the ground layer 29. Meanwhile, the clearance via 16 is filled with the material of the substrate body 14 in the manufacturing of the printed circuit board 10. In the description according to the present embodiment, the clearance via 16 is formed in the ground layer 29. Although the structure has been described, clearance vias are formed in the power layer even when a specific via hole is not connected to the power layer. Reference numeral b denotes the size of the clearance 16.

그러나, 비아 랜드(23)보다 2배 내지 3배나 넓은 클리어런스 비아(16)를 형성해야 하기 때문에, 비아 홀(12) 사이의 간격이 좁아지는 경우, 즉 도 2에 도시된 바와 같이 홀 랜드(23a, 27a) 사이의 간격이 좁아져 인접한 클리어런스 비아(16) 사이에 겹쳐는 부분(17)이 생길 수 있다. 특히, 볼 사이의 간격이 좁은 파인피치(Fine Pitch) BGA 패키지 유형에 사용되는 인쇄회로기판에서 심하게 나타난다. 도면부호 10a, 10b, 10c는 인쇄회로기판을 이루는 단위 기판을 나타내며, 가운데 있는 단위 기판(10a)이 그라운드 층(49)이 형성되는 단위 기판(10a)이다.However, since clearance vias 16 should be formed two to three times wider than via lands 23, the gap between via holes 12 becomes narrow, i.e., as shown in FIG. 2, hole lands 23a. , 27a) may be narrowed, resulting in overlapping portions 17 between adjacent clearance vias 16. In particular, printed circuit boards are used in fine pitch PGA BGA package types with narrow spacing between balls. Reference numerals 10a, 10b, and 10c denote unit boards constituting the printed circuit board, and the unit board 10a in the center is the unit board 10a on which the ground layer 49 is formed.

그리고, 클리어런스 비아(16)가 겹치는 부분(17)에는 그라운드 층(29)이 존재하기 않는 빈 공간이 형성되기 때문에, 클리어런스 비아(16)가 겹치는 부분(17)에서는 그라운드 영역을 형성하지 못하여 인접한 배선층의 임피던스 값이 원래의 값에서 벗어나며, 클리어런스 비아(16)가 겹치는 빈도에 따라서 임피던스 값의 변동이 크게 일어날 수 있다.In the portion 17 where the clearance via 16 overlaps, an empty space in which the ground layer 29 does not exist is formed. Therefore, in the portion 17 where the clearance via 16 overlaps, the ground region cannot be formed, and thus the adjacent wiring layer is not formed. The impedance value of deviates from the original value, and a large variation in the impedance value may occur depending on the frequency at which the clearance vias 16 overlap.

또한, 종래와 같이 클리어런스 비아를 형성할 경우에, 인쇄회로기판의 배선의 미세피치화로 인하여 비아 홀이 밀집되는 부분에서의 클리어런스 비아의 겹치는 빈도는 더욱 증가할 것으로 기대된다. 이렇게 될 경우, 밀집된 비아 홀 영역에서는 그라운드 층이 존재하지 않기 때문에, 그라운드 층의 존재의 실효성이 없어진다.In addition, when the clearance via is formed as in the related art, the overlapping frequency of the clearance via in the portion where the via holes are concentrated is expected to increase due to the fine pitch of the wiring of the printed circuit board. In this case, since there is no ground layer in the dense via hole region, the effectiveness of the ground layer is lost.

따라서, 본 발명의 목적은 클리어런스 비아가 겹치는 것을 억제하여 비아 홀 사이에 비아 홀과 이격된 금속층이 존재할 수 있는 인쇄회로기판의 제조 방법을 제공하는 데 있다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a printed circuit board in which clearance vias may be suppressed from overlapping, and a metal layer spaced apart from a via hole may exist between the via holes.

본 발명의 다른 목적은 클리어런스 비아의 크기를 조절할 수 잇는 인쇄회로기판의 제조 방법을 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a printed circuit board that can adjust the size of the clearance via.

도 1은 종래기술에 따른 인쇄회로기판을 나타내는 단면도,1 is a cross-sectional view showing a printed circuit board according to the prior art,

도 2는 클리어런스 비아가 겹친 인쇄회로기판을 개략적으로 나타내는 도면,2 is a schematic view of a printed circuit board having clearance vias overlapped;

도 3은 본 발명에 따른 인쇄회로기판의 제조 방법의 실시예를 나타내는 공정 흐름도,3 is a process flowchart showing an embodiment of a method of manufacturing a printed circuit board according to the present invention;

도 4 내지 도 13은 도 3에 도시된 제조 방법의 각 단계들을 보여주는 도면으로서,4 to 13 show the steps of the manufacturing method shown in FIG.

도 4 내지 도 8은 클리어런스 금속층이 형성된 단위 기판의 제조단계를 보여주는 단면도,4 to 8 are cross-sectional views illustrating a manufacturing step of a unit substrate on which a clearance metal layer is formed;

도 9는 복수의 단위 기판이 적층된 상태를 보여주는 단면도,9 is a cross-sectional view illustrating a state in which a plurality of unit substrates are stacked;

도 10은 비아 홀을 형성하는 단계를 보여주는 단면도,10 is a cross-sectional view illustrating a step of forming a via hole;

도 11은 클리어런스 금속층을 선택적으로 식각하여 클리어런스 비아를 형성하는 단계를 보여주는 단면도,11 is a cross-sectional view showing a step of selectively etching a clearance metal layer to form a clearance via;

도 12는 선택적으로 식각된 부분에 절연성 물질로 채워 클리어런스를 형성하는 단계를 보여주는 단면도,12 is a cross-sectional view illustrating a step of forming a clearance by filling an insulating material with an selectively etched portion;

도 13은 비아 홀의 내부를 도금하는 단계를 보여주는 단면도이다.FIG. 13 is a cross-sectional view illustrating plating of an inside of a via hole. FIG.

* 도면의 주요 부분에 대한 설명 *Description of the main parts of the drawing

30 : 인쇄회로기판 32 : 비아 홀30: printed circuit board 32: via hole

34 : 기판 몸체 38 : 도금층34: substrate body 38: plating layer

41 : 금속층 43 : 상부 배선층41 metal layer 43 upper wiring layer

45 : 내부 배선층 47 : 하부 배선층45: internal wiring layer 47: lower wiring layer

49 : 그라운드 층 50 : 클리어런스 금속층49: ground layer 50: clearance metal layer

59 : 클리어런스 61 : 포토레지스트59: clearance 61: photoresist

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 클리어런스를 갖는 인쇄회로기판의 제조 방법으로서, (a) 기판 몸체에 금속층이 형성된 다수의 단위 기판을 적층하여 형성된 기판으로서, 단위 기판 중에서 클리어런스를 형성할 특정 단위 기판의 특정 금속층에 특정 금속층과는 선택적인 식각능력을 갖는 클리어런스 금속층을 형성한 기판을 준비하는 단계와; (b) 클리어런스 금속층을 관통하고, 금속층을 전기적으로 연결하기 위한 비아 홀을 형성하는 단계와; (c) 클리어런스 금속층을 금속층에 대하여 선택적으로 식각하여 비아 홀의 내벽 안쪽으로 클리어런스 비아를 형성하는 단계와; (d) 클리어런스 비아를 절연성 수지로 메워 클리어런스를 형성하는 단계; 및 (e) 비아 홀 내벽에 노출된 금속층을 전기적으로 연결하기 위하여 비아 홀 내벽을 도금하여 도금층을 형성하는 단계;를 포함하며, 클리어런스는 특정 금속층과 비아 홀에 형성된 도금층을 전기적으로 절연시키는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조 방법을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is a manufacturing method of a printed circuit board having a clearance, (a) a substrate formed by laminating a plurality of unit substrates with a metal layer formed on the substrate body, a specific unit to form a clearance among the unit substrate Preparing a substrate having a clearance metal layer having a selective etching ability with a specific metal layer on the specific metal layer of the substrate; (b) forming a via hole through the clearance metal layer and for electrically connecting the metal layer; (c) selectively etching the clearance metal layer with respect to the metal layer to form a clearance via into the inner wall of the via hole; (d) filling the clearance vias with an insulating resin to form a clearance; And (e) plating the via hole inner wall to form a plating layer to electrically connect the exposed metal layer to the via hole inner wall, wherein the clearance electrically insulates the specific metal layer and the plating layer formed in the via hole. Provided is a method of manufacturing a printed circuit board.

본 발명에 따른 금속층은, 기판 몸체 상부에 형성되는 상부 배선층과, 기판 몸체 내부에 형성되는 내부 배선층 및 기판 몸체 하부에 형성되는 하부 배선층을 포함하는 회로 배선층과, 기판 몸체 내부에 형성되는 그라운드 층을 포함하며, 그라운드 층이 특정 금속층인 것을 특징으로 한다.The metal layer according to the present invention includes a circuit wiring layer including an upper wiring layer formed on the substrate body, an internal wiring layer formed inside the substrate body, and a lower wiring layer formed under the substrate body, and a ground layer formed inside the substrate body. It is characterized in that the ground layer is a specific metal layer.

본 발명에 따른 제조 방법에 있어서, (a) 단계에서 클리어런스 금속층을 형성하는 단계는 (a1) 기판 몸체 상부에 그라운드 층이 형성된 단위 기판을 준비하는 단계와, (a2) 그라운드 층상에 포토레지스트를 도포하고, 클리어런스 비아로 형성될 그라운드 층상의 포토레지스트를 현상하여 윈도우를 형성하는 단계와, (a3) 윈도우에 노출된 그라운드 층을 식각하여 홈을 형성하는 단계와, (a4) 홈에 그라운드 층과는 선택적인 식각능력을 갖는 클리어런스 금속층을 형성하는 단계 및 (a5) 포토레지스트를 제거하는 단계를 포함한다.In the manufacturing method according to the present invention, the step of forming a clearance metal layer in step (a) comprises (a1) preparing a unit substrate having a ground layer formed on the substrate body, and (a2) applying a photoresist on the ground layer And developing a photoresist on the ground layer to be formed with a clearance via to form a window, (a3) etching the ground layer exposed to the window to form a groove, and (a4) the ground layer in the groove. Forming a clearance metal layer with selective etching capability and (a5) removing the photoresist.

본 발명의 제조 방법에 따른 (a4) 단계는, 홈에 무전해 도금 방법으로 니켈의 매개 금속층을 형성하는 단계와, 매개 금속층 상에 전해 도금 방법으로 홈을 메우는 니켈의 클리어런스 금속층을 형성하는 단계를 포함한다.Step (a4) according to the manufacturing method of the present invention includes the steps of forming an intermediate metal layer of nickel in the groove by an electroless plating method, and forming a clearance metal layer of nickel filling the groove by the electrolytic plating method on the intermediate metal layer. Include.

본 발명의 제조 방법에 따른 (c) 단계에서, 클리어런스 비아는 클리어런스 금속층 내부에 형성되는 것이 바람직하다.In step (c) according to the manufacturing method of the present invention, the clearance via is preferably formed inside the clearance metal layer.

본 발명의 제조 방법에 따른 (d) 단계의 절연성 수지는, 에폭시 계열의 플라스틱 수지이며, 유체 상태의 플라스틱 수지를 모세관 현상을 이용하여 클리어런스 비아를 메우게 된다. 그리고, (d) 단계 이후에 비아 홀의 내벽에 형성된 절연성 수지를 과망간산을 사용하여 제거하는 단계를 진행하는 것이 바람직하다.The insulating resin of step (d) according to the manufacturing method of the present invention is an epoxy-based plastic resin, and fills the clearance via the plastic resin in a fluid state using a capillary phenomenon. After step (d), it is preferable to proceed with the step of removing the insulating resin formed on the inner wall of the via hole using permanganic acid.

또한, 본 발명에 따른 금속층은 파워 층을 더 포함하며, 파워 층이 클리어런스가 형성된 특정 금속층인 것을 특징으로 한다.In addition, the metal layer according to the present invention further comprises a power layer, characterized in that the power layer is a specific metal layer formed with a clearance.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 인쇄회로기판의 제조 방법의 실시예를 나타내는 공정 흐름도이다. 그리고, 도 4 내지 도 13은 도 3에 나타난 제조 방법의 각 단계들을 보여주는 단면들이다. 도 3 내지 도 13을 참조하여 본 발명에 따른 제조 방법의 실시예에 대하여 설명하겠다. 한편 도면을 통틀어 동일한 도면부호는 동일한 구성 요소를 나타낸다.3 is a process flowchart showing an embodiment of a method of manufacturing a printed circuit board according to the present invention. 4 to 13 are cross-sectional views showing respective steps of the manufacturing method shown in FIG. 3. An embodiment of a manufacturing method according to the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 13. On the other hand, the same reference numerals throughout the drawings represent the same components.

본 실시예의 제조 공정은 단위 기판(도 8의 30a)을 형성하는 단계로부터 시작된다. 단위 기판은 기판 몸체와, 기판 몸체 상부에 형성된 금속층으로 구성되며, 금속층은 기판 몸체의 상부에 열압착된 금속 박막을 사진석판술을 이용하여 배선층으로 형성한다. 금속 박막으로는 구리 박막(Cu foil)을 주로 사용하고, 기판 몸체의 재질로는 금속층 사이의 층간 절연층 역할을 하는 FR-4 계통의 프리그레그(prepreg)를 사용한다.The manufacturing process of this embodiment starts with the step of forming the unit substrate (30a in FIG. 8). The unit substrate is composed of a substrate body and a metal layer formed on the substrate body, and the metal layer is formed of a wiring layer using a photolithography on a thin metal film thermally compressed on the upper portion of the substrate body. Cu foil is mainly used as the metal thin film, and FR-4 based prepreg that serves as an interlayer insulating layer between the metal layers is used as the material of the substrate body.

한편, 도 4 내지 도 8은 단위 기판 중에서 그라운드 층(49)이 형성된 단위 기판(30a)의 제조 공정(71)을 도시하고 있다.4 to 8 illustrate a manufacturing process 71 of the unit substrate 30a in which the ground layer 49 is formed among the unit substrates.

도 4에 도시된 바와 같이, 기판 몸체(34) 상부에 그라운드 층(49)이 형성된 반제품 상태의 단위 기판을 준비한 상태에서, 클리어런스 비아로 형성될 그라운드 층(49)을 식각하기 위하여 그라운드 층(49) 상부에 포토레지스트(61; photoresist)를 도포하고, 클리어런스 비아로 형성될 그라운드 층(49) 상의 포토레지스트(61)를 현상하여 윈도우(63; window)를 형성한다.As shown in FIG. 4, in a state in which a semi-finished unit substrate having a ground layer 49 formed on the substrate body 34 is prepared, the ground layer 49 is etched to etch the ground layer 49 to be formed as clearance vias. A photoresist 61 is applied on the upper surface of the photoresist, and the photoresist 61 on the ground layer 49 to be formed as a clearance via is developed to form a window 63.

다음으로 도 5에 도시된 바와 같이, 윈도우(63) 상에 노출된 그라운드 층(49)을 식각하여 기판 몸체(34)의 상부면이 노출될 수 있도록 홈(48)을 형성한다. 홈(48)은 비아 랜드(도 10의 43a, 47a)의 넓이(c)의 2배 내지 3배 정도의 넓이를 갖도록 형성하는 것이 바람직하다.Next, as shown in FIG. 5, the ground layer 49 exposed on the window 63 is etched to form a groove 48 so that the top surface of the substrate body 34 is exposed. The groove 48 is preferably formed to have an area of about 2 to 3 times the area c of the via land (43a, 47a in FIG. 10).

다음으로 그라운드 층(49)에 형성된 홈(48)에 클리어런스 금속층(50)을 형성하기 위하여, 도 6에 도시된 바와 같이 홈(48)에 클리어런스 금속층(50)을 이루는 금속(53)이 잘 형성될 수 있도록 매개 금속층(51)을 형성하고, 도 7에 도시된 바와 같이 홈(48)을 금속(53)으로 매워 클리어런스 금속층(50)을 형성한다. 한편, 클리어런스 금속층(50)의 재질로는 화학적 식각 공정에서 주위의 배선층인 구리에 비해서 선택비가 높은 금속 예를 들면 니켈(Ni)을 사용하는 것이 바람직하다. 따라서, 본 발명의 실시예에서는 매개 금속층(51)인 니켈(Ni)을 무전해 도금 방법으로 형성하고, 클리어런스 금속층(50)은 니켈(Ni)을 전기 도금 방법으로 형성한다.Next, in order to form the clearance metal layer 50 in the groove 48 formed in the ground layer 49, as shown in FIG. 6, the metal 53 forming the clearance metal layer 50 in the groove 48 is well formed. The intermediate metal layer 51 is formed so as to be possible, and the clearance metal layer 50 is formed by filling the groove 48 with the metal 53 as shown in FIG. 7. On the other hand, as the material of the clearance metal layer 50, it is preferable to use a metal, for example, nickel (Ni), having a high selectivity compared to copper, which is a peripheral wiring layer, in the chemical etching process. Therefore, in the embodiment of the present invention, the intermediate metal layer 51 is formed of nickel (Ni) by the electroless plating method, and the clearance metal layer 50 is formed of nickel (Ni) by the electroplating method.

다음으로, 그라운드 층(49) 상부의 포토레지스트(61)를 제거하여 도 8에 도시된 바와 같은 단위 기판(30a)의 제조를 완료하게 된다.Next, the photoresist 61 on the ground layer 49 is removed to complete the manufacturing of the unit substrate 30a as shown in FIG. 8.

한편, 본 발명의 실시예에서는 그라운드 층(49)에 클리어런스 금속층(50)을 형성하는 공정을 설명하였지만, 파워 층에 클리어런스 금속층을 형성하는 공정 또한 전술된 공정과 동일하다.Meanwhile, in the embodiment of the present invention, the process of forming the clearance metal layer 50 in the ground layer 49 has been described, but the process of forming the clearance metal layer in the power layer is the same as the above-described process.

전술된 공정에 의해 제조된 단위 기판(30a)과, 금속층(41)이 형성된 단위 기판을 적층하여 도 9에 도시된 바와 같은 반제품 상태의 다층의 금속층(41)이 형성된 기판을 형성한다.(72) 기판은 기판 몸체(34)와, 다층의 금속층(41)으로 구성된다. 금속층(41)은 전기적 통로의 역할을 하는 회로 배선층(43, 45, 47)과, 그라운드 영역을 형성하는 그라운드 층(49) 및 전원을 공급하는 파워 층(도시안됨)으로 구성된다. 회로 배선층(43, 45, 47)은 기판 몸체(34) 상부의 상부 배선층(43)과, 기판 몸체(34) 내부에 형성되는 내부 배선층(45) 및 기판 몸체 하부의 하부 배선층(47)으로 구성된다. 그라운드 층(49)은 기판 몸체(34) 내부에 형성된다. 그리고, 상부 배선층(43) 및 하부 배선층(47)은 서로 대칭되는 위치에 비아 홀을 뚫을 수 있는 원판 형태의 홀 랜드(43a, 47a)가 형성되어 있다.The unit substrate 30a manufactured by the above-described process and the unit substrate on which the metal layer 41 is formed are laminated to form a substrate on which a multi-layer metal layer 41 in a semi-finished state as shown in FIG. 9 is formed. The substrate is composed of a substrate body 34 and a multilayer metal layer 41. The metal layer 41 is composed of circuit wiring layers 43, 45, and 47 serving as electrical passages, a ground layer 49 forming a ground region, and a power layer (not shown) for supplying power. The circuit wiring layers 43, 45, and 47 are formed of an upper wiring layer 43 on the substrate body 34, an internal wiring layer 45 formed inside the substrate body 34, and a lower wiring layer 47 below the substrate body. do. The ground layer 49 is formed inside the substrate body 34. In addition, the upper wiring layer 43 and the lower wiring layer 47 are formed in the disk-shaped hole lands 43a and 47a through which via holes can be symmetrical to each other.

다음으로 도 10에 도시된 바와 같이, 상부 배선층(43)과 내부 배선층(45) 및 하부 배선층(47)을 전기적으로 연결하는 비아 홀(32)을 형성하기 위하여 드릴링 방법으로 상부 및 하부 배선층(43, 47)의 서로 대칭되는 위치의 홀 랜드(43a, 47a)를 관통하는 구멍을 뚫는다.(73) 비아 홀(32) 내벽에 기판 몸체(34) 내부에 형성된 내부 배선층(45)이 노출되며, 비아 홀(32)은 그라운드 층의 클리어런스 금속층(50) 사이를 관통하여 형성되기 때문에, 클리어런스 금속층(50) 또한 비아 홀(32) 내벽에 노출된다.Next, as shown in FIG. 10, the upper and lower wiring layers 43 are drilled to form a via hole 32 that electrically connects the upper wiring layer 43, the inner wiring layer 45, and the lower wiring layer 47. Holes 47a and 47a which are symmetrical to each other, 47. The inner wiring layer 45 formed inside the substrate body 34 is exposed on the inner wall of the via hole 32. Since the via hole 32 is formed through the clearance metal layer 50 of the ground layer, the clearance metal layer 50 is also exposed to the inner wall of the via hole 32.

한편, 종래에는 단위 기판을 제조하는 단계에서 클리어런스 비아를 형성하지만, 본 발명에서는 비아 홀(32)을 형성한 이후에 클리어런스 비아(도 11의 57)를 형성하게 된다. 따라서, 비아 홀의 내벽에 노출되는 그라운드 층을 그대로 노출시킬 경우에 다른 배선층과 재질이 동일한 그라운드 층만을 비아 홀의 내벽 안쪽으로 식각하여 클리어런스 비아를 형성하는 것이 용이하지 않기 때문에, 전술된 바와 같이 구리와는 선택적인 식각 능력을 갖는 클리어런스 금속층(50)을 형성한 것이다. 즉, 도 11에 도시된 바와 같이, 클리어런스 금속층(50)인 니켈은 구리에 비하여 선택비가 크기 때문에, 식각 공정에서 클리어런스 금속층(50)이 비아 홀(32)의 내벽에 노출된 배선층(41)에 비하여 빠르게 식각되어 비아 홀(32) 내벽 안쪽으로 클리어런스 금속층(50)이 식각되어 클리어런스 비아(57)를 형성한다.(74) 이때, 클리어런스 금속층(50)이 식각되는 정도는 식각 환경의 조건을 바꿔줌으로써 조절이 가능하며, 클리어런스 비아(57)는 비아 홀(32)의 내벽에서 그라운드 층(49) 사이의 클리어런스 금속층(50) 내부에 형성하는 것이 바람직하다. 더욱 바람직하게는 비아 홀(32)의 상부 및 하부에 형성된 비아 랜드(43a, 47a)의 직경에 근접하게 클리어런스 비아(57)를 형성하는 것이다.Meanwhile, although a clearance via is conventionally formed in the step of manufacturing a unit substrate, in the present invention, a clearance via (57 in FIG. 11) is formed after the via hole 32 is formed. Therefore, when exposing the ground layer exposed to the inner wall of the via hole as it is, it is not easy to form a clearance via by etching only the ground layer having the same material as the other wiring layer into the inner wall of the via hole. The clearance metal layer 50 having the selective etching capability is formed. That is, as shown in FIG. 11, the clearance metal layer 50 has a higher selectivity than copper, so that the clearance metal layer 50 is exposed to the wiring layer 41 exposed to the inner wall of the via hole 32 in the etching process. In comparison, the metal layer 50 is quickly etched to form a clearance via 57 in the inner wall of the via hole 32. (74) The degree of etching of the clearance metal layer 50 changes the conditions of the etching environment. The clearance via 57 is preferably formed in the clearance metal layer 50 between the ground layer 49 at the inner wall of the via hole 32. More preferably, the clearance via 57 is formed close to the diameter of the via lands 43a and 47a formed on the upper and lower portions of the via hole 32.

다음으로 도 12에 도시된 바와 같이 클리어런스 비아(도 11의 57)를 높은 절연저항을 갖는 절연성 수지로 메워 클리어런스(59)를 형성한다.(75) 즉, 액체 상태의 절연성 수지를 비아 홀(32)에 공급하게 되면, 모세관 현상에 의해 비아 홀(32)로 들어간 절연성 수지는 클리어런스 비아(도 11의 57)를 메우게 된다. 절연성 수지로는 에폭시 계열의 플라스틱 수지를 사용하는 것이 바람직하다. 그리고, 비아 홀(32)의 내벽에 형성된 절연성 수지는 도금 공정을 진행하기 위하여 제거하게 된다. 본 발명의 실시예에서는 과망간산을 사용하여 비아 홀(32)의 내벽에 형성된 절연성 수지를 제거한다.Next, as shown in FIG. 12, the clearance via (57 in FIG. 11) is filled with an insulating resin having a high insulation resistance to form a clearance 59. That is, the insulating resin in the liquid state is formed through the via hole 32. ), The insulating resin entering the via hole 32 by capillary action fills the clearance via (57 in FIG. 11). It is preferable to use an epoxy-based plastic resin as the insulating resin. In addition, the insulating resin formed on the inner wall of the via hole 32 is removed in order to proceed with the plating process. In an embodiment of the present invention, the insulating resin formed on the inner wall of the via hole 32 is removed using permanganic acid.

다음으로 도 13에 도시된 바와 같이 비아 홀(32)의 내벽을 구리와 같은 도전성 금속으로 도금하여 도금층(38)을 형성(76)함으로써, 인쇄회로기판(30)의 제조 공정은 완료한다. 도금 방법으로 무전해 도금 방법을 사용하는 것이 바람직하며, 비아 홀(32)에 형성된 도금층(38)은 상부 배선층(43)과 내부 배선층(45) 및 하부 배선층(49)을 전기적으로 연결한다.Next, as illustrated in FIG. 13, the inner wall of the via hole 32 is plated with a conductive metal such as copper to form the plating layer 38, thereby completing the manufacturing process of the printed circuit board 30. It is preferable to use an electroless plating method as the plating method, and the plating layer 38 formed in the via hole 32 electrically connects the upper wiring layer 43, the inner wiring layer 45, and the lower wiring layer 49.

따라서, 그라운드 층(49)과 도금층(38) 사이에는 절연층인 클리어런스(59)가 형성되어 그라운드 층(49)은 비아 홀(32)과 전기적으로 절연된다. 그리고, 그라운드 층(49)과 연결된 클리어런스 금속층(50)이 비아 홀(32) 주위에 형성되어 비아 홀(32)을 통하여 전달되는 신호에 노이즈가 발생되는 것을 억제한다. 클리어런스(59) 외측의 클리어런스 금속층(50)은 그라운드 층(49)과 전기적으로 연결되어 그라운드 영역을 구축한다.Accordingly, a clearance 59, which is an insulating layer, is formed between the ground layer 49 and the plating layer 38 so that the ground layer 49 is electrically insulated from the via hole 32. In addition, a clearance metal layer 50 connected to the ground layer 49 is formed around the via hole 32 to suppress generation of noise in a signal transmitted through the via hole 32. The clearance metal layer 50 outside the clearance 59 is electrically connected to the ground layer 49 to establish a ground region.

그리고, 본 발명의 실시예에서는 그라운드 층에 클리어런스를 형성하는 공정을 설명하였지만, 파워 층에 클리어런스를 형성하는 공정 또한 전술된 공정과 동일하기 때문에 상세한 설명은 생략한다.In the embodiment of the present invention, the process of forming the clearance in the ground layer has been described. However, since the process of forming the clearance in the power layer is also the same as the above-described process, a detailed description thereof will be omitted.

한편, 본 발명에서는 비아 홀(32)에 각기 대응하여 클리어런스 금속층(50)을 형성하였지만, 비아 홀이 세밀하게 밀집되어 있다면, 비아 홀이 밀집된 부분의 전체에 배선층을 식각하여 클리어런스 금속층을 형성하더라도 본 발명의 기술적 사상의 범위를 벗어나는 것은 아니다.Meanwhile, in the present invention, the clearance metal layer 50 is formed in correspondence to the via holes 32, but if the via holes are densely packed, the wiring layer is etched in the entire area where the via holes are densely formed to form the clearance metal layer. It does not fall outside the scope of the technical idea of the invention.

따라서, 본 발명의 구조를 따르면 인접한 비아 홀 사이의 클리어런스 비아의 크기를 작게 조절함으로써 그라운드/파워 층에서의 인접한 클리어런스 비아가 겹치는 현상을 방지할 수 있기 때문에, 그라운드 층의 경우 비아 홀 사이에 그라운드 영역을 할 수 있고, 파워 층의 경우 비아 홀과 전기적으로 절연되어 인쇄회로기판의 각 지점에서의 임피던스 값을 균일하게 유지할 수 있다.Therefore, according to the structure of the present invention, by overlapping the clearance vias in the ground / power layer by preventing the size of the clearance vias between the adjacent via holes small, the ground area between the via holes in the ground layer can be prevented. The power layer may be electrically insulated from the via hole to maintain a uniform impedance value at each point of the printed circuit board.

그리고, 비아 홀을 형성한 이후에 클리어런스 비아를 형성하기 때문에, 클리어런스 금속층의 식각 조건을 조절하여 클리어런스 비아의 크기를 용이하게 조절할 수 있다.Since the clearance via is formed after the via hole is formed, the size of the clearance via may be easily adjusted by adjusting the etching condition of the clearance metal layer.

Claims (9)

클리어런스를 갖는 인쇄회로기판의 제조 방법으로서,As a method of manufacturing a printed circuit board having a clearance, (a) 기판 몸체에 금속층이 형성된 다수의 단위 기판을 적층하여 형성된 기판으로서, 상기 단위 기판 중에서 클리어런스를 형성할 특정 단위 기판의 특정 금속층에 상기 특정 금속층과는 선택적인 식각능력을 갖는 클리어런스 금속층을 형성한 기판을 준비하는 단계와;(A) a substrate formed by stacking a plurality of unit substrates having a metal layer on the substrate body, wherein a clearance metal layer having a selective etching ability with the specific metal layer is formed on a specific metal layer of a specific unit substrate to form a clearance among the unit substrates; Preparing a substrate; (b) 상기 클리어런스 금속층을 관통하고, 상기 금속층을 전기적으로 연결하기 위한 비아 홀을 형성하는 단계와;(b) forming a via hole through the clearance metal layer and for electrically connecting the metal layer; (c) 상기 클리어런스 금속층을 상기 금속층에 대하여 선택적으로 식각하여 상기 비아 홀의 내벽 안쪽으로 클리어런스 비아를 형성하는 단계와;(c) selectively etching the clearance metal layer with respect to the metal layer to form a clearance via inside the inner wall of the via hole; (d) 상기 클리어런스 비아를 절연성 수지로 메워 클리어런스를 형성하는 단계; 및(d) filling the clearance vias with an insulating resin to form a clearance; And (e) 상기 비아 홀 내벽에 노출된 상기 금속층을 전기적으로 연결하기 위하여 상기 비아 홀 내벽을 도금하여 도금층을 형성하는 단계;를 포함하며,(e) plating an inner wall of the via hole to form a plating layer to electrically connect the metal layer exposed to the inner wall of the via hole; 상기 클리어런스는 상기 특정 금속층과 상기 비아 홀에 형성된 도금층과 전기적으로 절연시키는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조 방법.And the clearance is electrically insulated from the specific metal layer and the plating layer formed in the via hole. 제 1항에 있어서, 상기 금속층은,The method of claim 1, wherein the metal layer, 상기 기판 몸체 상부에 형성되는 상부 배선층과, 상기 기판 몸체 내부에 형성되는 내부 배선층 및 상기 기판 몸체 하부에 형성되는 하부 배선층을 포함하는 회로 배선층; 및A circuit wiring layer including an upper wiring layer formed on the substrate body, an internal wiring layer formed inside the substrate body, and a lower wiring layer formed under the substrate body; And 상기 기판 몸체 내부에 형성되는 그라운드 층;으로 구성되며,A ground layer formed inside the substrate body; 상기 그라운드 층이 상기 특정 금속층인 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조 방법.And said ground layer is said specific metal layer. 제 2항에 있어서, 상기 (a) 단계에서 클리어런스 금속층을 형성하는 단계는The method of claim 2, wherein the forming of the clearance metal layer in the step (a) (a1) 상기 기판 몸체 상부에 상기 그라운드 층이 형성된 단위 기판을 준비하는 단계와;(a1) preparing a unit substrate having the ground layer formed on the substrate body; (a2) 상기 그라운드 층상에 포토레지스트를 도포하고, 클리어런스 비아로 형성될 상기 그라운드 층상의 상기 포토레지스트를 현상하여 윈도우를 형성하는 단계와;(a2) applying a photoresist on the ground layer and developing the photoresist on the ground layer to be formed with clearance vias to form a window; (a3) 상기 윈도우에 노출된 상기 그라운드 층을 식각하여 홈을 형성하는 단계와;(a3) etching the ground layer exposed to the window to form a groove; (a4) 상기 홈에 상기 그라운드 층과는 선택적인 식각능력을 갖는 클리어런스 금속층을 형성하는 단계; 및(a4) forming a clearance metal layer in the groove having a selective etching ability with respect to the ground layer; And (a5) 상기 포토레지스트를 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조 방법.(a5) removing the photoresist; manufacturing method of a printed circuit board comprising a. 제 3항에 있어서, 상기 (a4) 단계는,The method of claim 3, wherein step (a4) comprises: 상기 홈에 무전해 도금 방법으로 니켈의 매개 금속층을 형성하는 단계와, 상기 매개 금속층 상에 전해 도금 방법으로 상기 홈을 메우는 니켈의 클리어런스 금속층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조 방법.Forming an intermediate metal layer of nickel in the groove by an electroless plating method, and forming a clearance metal layer of nickel filling the groove on the intermediate metal layer by an electrolytic plating method. Manufacturing method. 제 2항에 있어서, 상기 금속층은 파워 층을 더 포함하며, 상기 파워 층이 상기 클리어런스가 형성된 상기 특정 금속층인 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조 방법.The method of claim 2, wherein the metal layer further comprises a power layer, wherein the power layer is the specific metal layer on which the clearance is formed. 제 1항에 있어서, 상기 (c) 단계에서 클리어런스 비아는 상기 클리어런스 금속층 내부에 형성되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조 방법.The method of claim 1, wherein in the step (c), a clearance via is formed in the clearance metal layer. 제 1항에 있어서, 상기 (d) 단계의 절연성 수지는 에폭시 계열의 플라스틱 수지이며, 유체 상태의 상기 플라스틱 수지를 모세관 현상을 이용하여 상기 클리어런스 비아를 메우는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조 방법.The method of claim 1, wherein the insulating resin of step (d) is an epoxy-based plastic resin and fills the clearance via using the capillary action of the plastic resin in a fluid state. 제 1항에 있어서, 상기 (d) 단계 이후에 상기 비아 홀의 내벽에 형성된 절연성 수지를 과망간산을 사용하여 제거하는 단계를 진행하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조 방법.The method of claim 1, wherein after the step (d), the insulating resin formed on the inner wall of the via hole is removed using permanganic acid. 제 1항에 있어서, 상기 (e) 단계는 무전해 도금 방법으로 구리 도금층을 상기 비아 홀의 내벽에 형성하는 특징으로 하는 인쇄회로기판의 제조방법.The method of claim 1, wherein the step (e) comprises forming a copper plating layer on an inner wall of the via hole by an electroless plating method.
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