KR20000003017A - Flash memory device and program method thereof - Google Patents

Flash memory device and program method thereof Download PDF

Info

Publication number
KR20000003017A
KR20000003017A KR1019980024084A KR19980024084A KR20000003017A KR 20000003017 A KR20000003017 A KR 20000003017A KR 1019980024084 A KR1019980024084 A KR 1019980024084A KR 19980024084 A KR19980024084 A KR 19980024084A KR 20000003017 A KR20000003017 A KR 20000003017A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
voltage
program
circuit
memory cell
threshold voltage
Prior art date
Application number
KR1019980024084A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR100572302B1 (en
Inventor
고용남
Original Assignee
윤종용
삼성전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 윤종용, 삼성전자 주식회사 filed Critical 윤종용
Priority to KR1019980024084A priority Critical patent/KR100572302B1/en
Publication of KR20000003017A publication Critical patent/KR20000003017A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100572302B1 publication Critical patent/KR100572302B1/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/10Programming or data input circuits
    • G11C16/12Programming voltage switching circuits
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/08Address circuits; Decoders; Word-line control circuits
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/26Sensing or reading circuits; Data output circuits
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/30Power supply circuits
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/34Determination of programming status, e.g. threshold voltage, overprogramming or underprogramming, retention
    • G11C16/3436Arrangements for verifying correct programming or erasure
    • G11C16/3454Arrangements for verifying correct programming or for detecting overprogrammed cells
    • G11C16/3459Circuits or methods to verify correct programming of nonvolatile memory cells

Abstract

PURPOSE: A flash memory device and a program method thereof is provided to reduce the programming time. CONSTITUTION: A flash memory device comprises: a program voltage generating circuit(100) for generating the program voltage; a row decoder(200) for supplying one of program detecting voltages supplied from the program voltage generating circuit when performing the program detecting to the memory cell; a detecting circuit(400) for detecting the plural data for detecting if the program from the memory cell is real.

Description

플래시 메모리 장치와 그의 프로그램 방법(A FLASH MEMORY DEVICE AND METHOD FOR PROGRAMMING THE SAME)A FLASH MEMORY DEVICE AND METHOD FOR PROGRAMMING THE SAME

본 발명은 플래시 메모리 장치(flash memory device)에 관한 것으로서, 구체적으로는 멀티 비트 데이터(multi bit data)를 갖는 플래시 메모리 장치와 그의 프로그램 방법(programming method)에 관한 것이다.The present invention relates to a flash memory device, and more particularly, to a flash memory device having multi bit data and a programming method thereof.

최근 전기적으로 프로그램(program)과 소거(erase)가 가능하며, 일정 주기로 데이터를 재작성하는 리프레시(refresh) 기능이 필요없는 반도체 메모리 소자의 수요가 증가하고 있다. 그리고, 많은 데이터(data)를 저장할 수 있는 대용량 메모리 소자의 개발을 위해서 메모리 셀(memory cell)의 고집적화 기술이 개발되고 있다. 상기 플래시 메모리의 소거 및 프로그램은 에프-엔 터널링(F-N tunneling) 방식과 핫 캐리어(hot carrier) 방식을 이용하여 플로팅 게이트(floating gate)에 전자를 주입하거나 방출하면서 메모리 셀의 드레솔드 전압(threshold voltage : Vth)을 제어함으로써 이루어진다.Recently, the demand for semiconductor memory devices that can be electrically programmed and erased and that does not require a refresh function to rewrite data at regular intervals is increasing. In addition, in order to develop a large-capacity memory device capable of storing a large amount of data, a high integration technology of memory cells has been developed. The erase and program of the flash memory uses a FN tunneling method and a hot carrier method to inject or emit electrons into a floating gate, thereby removing the threshold voltage of the memory cell. : By controlling Vth).

상기 플래시 메모리 장치의 프로그램 방법은 프로그램 성능(performance) 및 프로그램된 셀들의 상기 드레솔드 전압(Vth) 분포가 크게 좌우된다. 특히, 하나의 메모리 셀에 복수개의 데이터가 프로그램되는 멀티 레벨 셀(multi level cell : MLC)은 일반적인 싱글 레벨 셀(single level cell : SLC)에 비해 상기 드레솔드 전압(Vth)의 분포가 매우 좁고(tight), 프로그램할 상기 드레솔드 전압(Vth) 범위들이 많기 때문에 프로그램 시간이 길어진다. 따라서, 상기 멀티 레벨 셀(MLC)은 좁은 분포와 짧은 프로그램 시간을 만족하기 위하여 최적화된 프로그램 방법이 요구된다. 상기 프로그램 방법은 상기 멀티 레벨 셀(MLC)뿐만 아니라 싱글 레벨 셀(SLC)의 경우에 대해서도 마찬가지로 적용된다.The programming method of the flash memory device is highly dependent on program performance and distribution of the threshold voltage Vth of the programmed cells. In particular, a multi level cell (MLC) in which a plurality of data is programmed in one memory cell has a very narrow distribution of the threshold voltage (Vth) compared to a general single level cell (SLC) ( tight), the programming time is long because the threshold voltage (Vth) ranges to be programmed are large. Therefore, the multi-level cell (MLC) requires an optimized programming method to satisfy a narrow distribution and short program time. The programming method is similarly applied to the case of the single level cell SLC as well as the multi level cell MLC.

종래의 기술에 따른 프로그램은 상기 드레솔드 전압(Vth) 분포를 최적화하기 위해 매 프로그램시마다 원하는 상기 드레솔드 전압 분포를 벗어나지 않고 단계적으로 승압(stepping)되는 프로그램 전압(program voltage : Vpgm)으로 상기 셀들을 프로그램한다. 예컨대, 상기 드레솔드 전압(Vth)의 분포를 '0.2V' 이내로 하면 상기 프로그램 전압(Vpgm)을 소정의 전압(0.2V)씩 단계적으로 승압하면서 상기 프로그램 동작을 수행한다. 예컨대, 2 비트의 데이터를 프로그램할 수 있는 상기 멀티 레벨 셀(MLC)은 프로그램할 3 개의 드레솔드 전압 분포들을 갖는다. 소거된 상기 셀의 드레솔드 전압(Vth)이 '-3V'이고 프로그램할 드레솔드 전압(Vth)이 '3V'인 상기 멀티 레벨 셀(MLC)은 '-3V'에서 '3V'까지 프로그램 동작의 수행 횟수는 (3V-(-3V))/0.2V = 30회가 소요된다. 따라서, 종래의 프로그램 방법은 상기 드레솔드 전압(Vth)의 분포는 만족하지만, 프로그램 수행 횟수가 많아짐에 따라 프로그램 시간이 증가하는 문제점이 발생한다.The program according to the prior art has the cells at a program voltage (Vpgm) stepped up step by step without deviating from the desired threshold voltage distribution at every program to optimize the threshold voltage (Vth) distribution. Program. For example, when the distribution of the threshold voltage Vth is within 0.2V, the program operation is performed by stepping up the program voltage Vpgm step by step by a predetermined voltage (0.2V). For example, the multi-level cell MLC capable of programming two bits of data has three threshold voltage distributions to program. The multi-level cell MLC having the erased voltage Vth of the erased cell '-3V' and the thresholded voltage Vth to be programmed '3V' is programmed to operate from '-3V' to '3V'. The number of executions is (3V-(-3V)) / 0.2V = 30 times. Thus, the conventional program method satisfies the distribution of the threshold voltage Vth, but the program time increases as the number of program executions increases.

따라서 본 발명의 목적은 프로그램 시간을 감소시킬 수 있는 플래시 메모리 장치와 그의 프로그램 방법을 제공하는 것이다.It is therefore an object of the present invention to provide a flash memory device and a program method thereof which can reduce program time.

도 1은 본 발명에 따른 플래시 메모리 장치의 회로도;1 is a circuit diagram of a flash memory device according to the present invention;

도 2a는 도 1의 플래시 메모리 장치에 구비되는 행 디코더의 회로도;FIG. 2A is a circuit diagram of a row decoder provided in the flash memory device of FIG. 1; FIG.

도 2b는 도 1의 플래시 메모리 장치에 구비되는 감지 회로의 회로도 및;2B is a circuit diagram of a sensing circuit included in the flash memory device of FIG. 1;

도 3은 본 발명에 따른 플래시 메모리 장치의 동작 설명을 위한 타이밍도이다.3 is a timing diagram for describing an operation of a flash memory device according to the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호 설명* Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100 : 프로그램 전압 발생 회로 200 : 행 디코더100: program voltage generation circuit 200: row decoder

300 : 메모리 셀 어레이 400 : 감지 회로300: memory cell array 400: detection circuit

500 : 출력 버퍼500: output buffer

(구성)(Configuration)

상술한 바와같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일특징에 의하면, 대응하는 워드 라인 및 비트 라인에 연결되며, 하나의 드레솔드 전압 분포로 적어도 1 비트의 데이터가 프로그램되는 복수개의 메모리 셀들을 구비하는 플래시 메모리 장치는 프로그램 동작시 외부 클럭 신호에 응답해서 단계적으로 승압되는 프로그램 전압을 발생하는 프로그램 전압 발생 회로와; 외부 어드레스에 응답해서 상기 프로그램 동작시 상기 프로그램 전압을 상기 외부 어드레스에 해당하는 워드 라인을 통해 상기 메모리 셀들 중 하나의 메모리 셀로 공급하고 그리고 프로그램 검증 동작시 외부로부터 공급되는 프로그램 검증 전압들 중 하나의 프로그램 검증 전압을 상기 메모리 셀로 공급하는 행 디코더 및; 프로그램 검증 동작시 상기 메모리 셀로부터 출력되는 복수개의 검증 데이터들을 감지하는 감지 회로를 포함하되; 상기 프로그램 전압 발생 회로는, 상기 검증 데이터들 중 하나의 검증 데이터에 응답해서 상기 프로그램 전압의 승압 레벨을 조절하는 것을 포함한다.According to one aspect of the present invention for achieving the above object, there is provided a plurality of memory cells connected to corresponding word lines and bit lines, wherein at least one bit of data is programmed in one threshold voltage distribution. The flash memory device includes a program voltage generation circuit for generating a program voltage stepped up in response to an external clock signal during a program operation; In response to an external address, the program voltage is supplied to one of the memory cells of the memory cells through a word line corresponding to the external address during the program operation, and the program of one of the program verify voltages supplied from the outside during the program verify operation. A row decoder for supplying a verify voltage to the memory cell; A sensing circuit for sensing a plurality of verification data output from the memory cell during a program verify operation; The program voltage generation circuit includes adjusting a boost level of the program voltage in response to one of the verify data.

이 실시예에 있어서, 상기 프로그램 전압 발생 회로는, 상기 외부 클럭 신호와 비교 신호에 응답해서 상기 프로그램 전압을 발생하는 고전압 발생기와, 상기 검증 데이터에 응답해서 상기 프로그램 전압을 검출하여 검출 전압을 출력하는 전압 검출 회로 및, 상기 검출 전압과 외부로부터 공급되는 기준 전압을 비교하여 비교 신호를 출력하는 비교 회로를 포함한다.In this embodiment, the program voltage generating circuit includes a high voltage generator generating the program voltage in response to the external clock signal and a comparison signal, and detecting the program voltage in response to the verification data and outputting a detection voltage. And a voltage detecting circuit and a comparing circuit for comparing the detected voltage with a reference voltage supplied from the outside and outputting a comparison signal.

이 실시예에 있어서, 상기 전압 검출 회로는, 상기 검증 데이터에 응답해서 상기 프로그램 전압을 선택적으로 출력하는 제 1 스위치 회로와, 상기 제 1 스위치 회로를 통해 공급되는 상기 프로그램 전압을 분압하여 상기 검출 전압으로서의 제 1 및 제 2 분압들을 출력하는 분압 회로 및, 상기 검증 데이터에 응답해서 상기 제 1 및 제 2 분압들을 선택적으로 출력하는 제 2 스위치 회로를 포함하되, 상기 분압 회로는, 상기 프로그램 전압을 분압하여 상기 제 1 분압을 출력하는 제 1 분압 회로 및, 상기 프로그램 전압을 분압하여 상기 제 2 분압을 출력하는 제 2 분압 회로를 포함한다.In this embodiment, the voltage detection circuit includes a first switch circuit for selectively outputting the program voltage in response to the verification data, and the program voltage supplied through the first switch circuit to divide the detection voltage. A divider circuit for outputting first and second divided voltages, and a second switch circuit for selectively outputting the first and second divided voltages in response to the verification data, wherein the divided voltage circuit divides the program voltage. And a second voltage dividing circuit for outputting the first divided voltage, and a second voltage dividing circuit for dividing the program voltage to output the second voltage.

이 실시예에 있어서, 상기 감지 회로는, 상기 메모리 셀로부터 출력되는 제 1 검증 데이터를 래치하는 제 1 래치 회로 및, 상기 메모리 셀로부터 출력되는 제 2 검증 데이터를 래치하는 제 2 래치 회로를 포함한다.In this embodiment, the sensing circuit includes a first latch circuit for latching first verify data output from the memory cell, and a second latch circuit for latching second verify data output from the memory cell. .

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 하나의 드레솔드 전압 분포로 적어도 1 비트의 데이터가 프로그램되는 복수개의 메모리 셀들을 구비하는 플래시 메모리 장치의 프로그램 방법은 상기 메모리 셀들 중 선택되는 메모리 셀의 드레솔드 전압이 복수개의 드레솔드 전압 분포들 중 하나의 목표 드레솔드 전압 분포를 갖도록 하는 단계와; 상기 메모리 셀의 드레솔드 전압이 상기 목표 드레솔드 전압 분포의 최하위 전압보다 낮은 소정의 전압 레벨을 갖도록 제 1 프로그램 전압으로 프리-프로그램하는 단계 및; 프리-프로그램된 상기 메모리 셀의 드레솔드 전압을 상기 목표 드레솔드 전압 분포내의 전압을 갖도록 상기 제 1 프로그램 전압보다 낮은 전압 레벨을 갖는 제 2 프로그램 전압으로 메인-프로그램하는 단계를 포함한다.According to still another aspect of the present invention, a method of programming a flash memory device having a plurality of memory cells in which at least one bit of data is programmed in one threshold voltage distribution may include a threshold voltage of a memory cell selected from among the memory cells. Having a target threshold voltage distribution of one of the plurality of threshold voltage distributions; Pre-programming with a first program voltage such that the threshold voltage of the memory cell has a predetermined voltage level lower than the lowest voltage of the target threshold voltage distribution; Main-programming a threshold voltage of the pre-programmed memory cell to a second program voltage having a voltage level lower than the first program voltage to have a voltage within the target threshold voltage distribution.

(작용)(Action)

이와같은 장치와 방법에 의해서, 각 프로그램 단계에 따라 각기 다른 프로그램 전압으로 프로그램 동작을 수행함으로써, 프로그램 시간을 줄일 수 있다.With such an apparatus and method, the program time can be reduced by performing a program operation with different program voltages according to each program step.

(실시예)(Example)

이하 본 발명의 실시예에 따른 참조도면 1 내지 도 3에 의거하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 3 according to embodiments of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 플래시 메모리 장치는 프로그램 전압 발생 회로, 행 디코더, 메모리 셀 어레이 및 감지 회로를 제공한다. 상기 프로그램 전압 발생 회로는 상기 감지 회로로부터 공급되는 검증 데이터의 제어에 의해 매 프로그램시마다 단계적으로 승압되는 제 1 및 제 2 프로그램 전압들을 발생한다. 상기 행 디코더는 상기 제 1 및 제 2 프로그램 전압들과 제 1 및 제 2 프로그램 검증 전압들을 외부 어드레스에 해당하는 워드 라인을 통해 메모리 셀로 공급한다. 상기 감지 회로는 상기 메모리 셀로부터 출력되는 검증 데이터들 중 하나의 검증 데이터를 상기 프로그램 전압 발생 회로로 공급하여 상기 프로그램 전압의 승압 레벨을 제어한다.Referring to FIG. 1, a flash memory device according to the present disclosure provides a program voltage generation circuit, a row decoder, a memory cell array, and a sensing circuit. The program voltage generation circuit generates first and second program voltages that are stepped up step by step every time under the control of verification data supplied from the sensing circuit. The row decoder supplies the first and second program voltages and the first and second program verify voltages to a memory cell through a word line corresponding to an external address. The sensing circuit supplies one of the verification data output from the memory cell to the program voltage generation circuit to control a boost level of the program voltage.

도 1은 본 발명에 따른 플래시 메모리 장치의 회로도이다.1 is a circuit diagram of a flash memory device according to the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 플래시 메모리 장치는 프로그램 전압 발생 회로(100), 행 디코더(200), 메모리 셀 어레이(300), 감지 회로(400) 그리고 출력 버퍼(500)를 포함한다. 상기 프로그램 전압 발생 회로(100)는 고전압 발생기(110), 검출 회로(120) 그리고 비교 회로(130)를 포함한다. 상기 고전압 발생기(110)는 외부로부터 공급되는 클럭 신호(CLK)와 상기 비교 회로(130)로부터 출력되는 비교 신호(COM)의 제어에 의해 단계적으로 승압되는 프로그램 전압(Vpgm)을 발생한다. 상기 검출 회로(120)는 제 1 스위치 회로(121), 분압 회로(122) 그리고 제 2 스위치 회로(123)를 포함한다. 상기 제 1 스위치 회로(121)의 일단자는 상기 고전압 발생기(110)와 상기 행 디코더(200)의 사이에 연결되고, 타 단자는 상기 분압 회로(122)의 제 1 및 제 2 입력 단자들에 선택적으로 연결되며, 상기 감지 회로(400)로부터 출력되는 제 1 검증 데이터(RV1)의 제어에 의해 상기 고전압 발생기(110)로부터 출력되는 상기 프로그램 전압(Vpgm)을 상기 분압 회로(122)의 제 1 및 제 2 입력 단자들 중 하나의 입력 단자로 공급한다.Referring to FIG. 1, a flash memory device according to the present invention includes a program voltage generation circuit 100, a row decoder 200, a memory cell array 300, a sensing circuit 400, and an output buffer 500. The program voltage generator circuit 100 includes a high voltage generator 110, a detection circuit 120, and a comparison circuit 130. The high voltage generator 110 generates a program voltage Vpgm stepped up by the control of the clock signal CLK supplied from the outside and the comparison signal COM output from the comparison circuit 130. The detection circuit 120 includes a first switch circuit 121, a voltage divider circuit 122, and a second switch circuit 123. One end of the first switch circuit 121 is connected between the high voltage generator 110 and the row decoder 200, and the other terminal is selective to the first and second input terminals of the voltage divider circuit 122. The program voltage Vpgm, which is output from the high voltage generator 110 by the control of the first verification data RV1 output from the sensing circuit 400, may be connected to the first and second voltages of the voltage dividing circuit 122. Supply to one of the second input terminals.

상기 분압 회로(122)는 가변저항(R1)과 저항(R2)이 직렬로 연결되며, 상기 가변저항(R1)과 상기 저항(R2)의 접속점에 연결되는 제 1 출력 단자를 갖는 제 1 분압 회로(122a) 및 가변 저항(R3)과 저항(R4)이 직렬로 연결되며, 상기 가변 저항(R3)과 상기 저항(R4)의 접속점에 연결되는 제 2 출력 단자를 갖는 제 2 분압 회로(122b)를 포함한다. 상기 가변 저항들(R1, R3)은 일정한 전압에 대해 각각 다른 변화량을 갖는다. 상기 분압 회로(122)는 상기 제 1 스위치 회로(121)로부터 선택적으로 공급되는 상기 프로그램 전압(Vpgm)을 상기 제 1 및 제 2 분압 회로들(122a, 122b)을 통해 분압한 제 1 및 제 2 분압들(Vd1, Vd2)을 출력한다. 상기 제 2 스위치 회로(123)의 일 단자는 상기 분압 회로(122)의 제 1 및 제 2 출력 단자에 연결되며, 상기 감지 회로(400)로부터 출력되는 제 1 검증 데이터(RV1)의 제어에 의해 상기 분압 회로(122)로부터 출력되는 제 1 및 제 2 분압들(Vd1, Vd2) 중 하나의 분압(Vd)을 상기 비교 회로(130)로 공급한다. 상기 비교 회로(130)는 상기 제 2 스위치 회로(123)를 통해 공급되는 분압(Vd)과 외부로부터 공급되는 기준 전압(Vref)을 비교하여 상기 비교 신호(COM)를 상기 고전압 발생기(110)로 공급한다.The voltage divider circuit 122 includes a first voltage divider circuit having a first output terminal connected to a variable resistor R1 and a resistor R2 in series and connected to a connection point between the variable resistor R1 and the resistor R2. A second voltage divider circuit 122b having a second output terminal 122a connected to the variable resistor R3 and the resistor R4 in series and connected to a connection point of the variable resistor R3 and the resistor R4; It includes. The variable resistors R1 and R3 have different amounts of change with respect to a constant voltage. The voltage dividing circuit 122 divides the program voltage Vpgm selectively supplied from the first switch circuit 121 through the first and second voltage dividing circuits 122a and 122b. The partial pressures Vd1 and Vd2 are output. One terminal of the second switch circuit 123 is connected to the first and second output terminals of the voltage divider circuit 122, and is controlled by the first verification data RV1 output from the sensing circuit 400. The divided voltage Vd of one of the first and second divided voltages Vd1 and Vd2 output from the voltage dividing circuit 122 is supplied to the comparison circuit 130. The comparison circuit 130 compares the divided voltage Vd supplied through the second switch circuit 123 with a reference voltage Vref supplied from the outside, and transmits the comparison signal COM to the high voltage generator 110. Supply.

상기 행 디코더(200)는 외부로부터 공급되는 외부 어드레스(Add_x)를 받아들여서, 프로그램 동작시 상기 프로그램 전압(Vpgm)을 상기 외부 어드레스(Add_x)에 해당하는 워드 라인을 통해 대상 메모리 셀로 공급하고 그리고 프로그램 검증 동작시 외부로부터 공급되는 검증 전압(Va)을 상기 외부 어드레스(Add_x)에 해당하는 워드 라인을 통해 메모리 셀로 공급한다. 상기 메모리 셀 어레이(300)는 도면에는 도시되지 않았지만, 복수개의 워드 라인(W/L)들과 상기 워드 라인들과 교차되도록 배치되는 복수개의 비트 라인(B/L)들에 각각 연결된 복수개의 메모리 셀들을 포함한다. 상기 감지 회로(400)는 상기 프로그램 검증 동작시 상기 메모리 셀로부터 출력되는 제 1 및 제 2 검증 데이터들(RV1, RV2)을 래치한다. 상기 출력 버퍼(500)는 상기 감지 회로(400)로부터 출력되는 상기 제 1 및 제 2 검증 데이터들(RV1, RV2)을 데이터 라인(data line : D/L)으로 출력한다.The row decoder 200 receives an external address Add_x supplied from the outside, supplies the program voltage Vpgm to a target memory cell through a word line corresponding to the external address Add_x during a program operation, and then During the verify operation, the verify voltage Va supplied from the outside is supplied to the memory cell through the word line corresponding to the external address Add_x. Although not shown in the drawing, the memory cell array 300 includes a plurality of memories each connected to a plurality of word lines W / L and a plurality of bit lines B / L disposed to intersect the word lines. It contains cells. The sensing circuit 400 latches the first and second verification data RV1 and RV2 output from the memory cell during the program verify operation. The output buffer 500 outputs the first and second verification data RV1 and RV2 output from the sensing circuit 400 to a data line D / L.

도 2a는 도 1의 플래시 메모리 장치에 구비되는 행 디코더의 상세 회로도이다.FIG. 2A is a detailed circuit diagram of the row decoder included in the flash memory device of FIG. 1.

도 2a를 참조하면, 본 발명에 따른 행 디코더(200)는 스위치 회로(210) 및 NMOS 트랜지스터들(S1, S2, S3, S4, S5)을 포함한다. 상기 스위치 회로(210)는 외부로부터 공급되는 펄스 신호(øp)와 상기 외부 어드레스(Add_x) 및 프로그램 신호(PGM)의 제어에 의해 상기 NMOS 트랜지스터(S1)를 도통시키기 위한 신호(EN)를 출력한다. 상기 NMOS 트랜지스터(S1)는 상기 프로그램 전압 발생 회로(100)와 상기 NMOS 트랜지스터(S2)의 사이에 형성되는 전류 통로 및 상기 스위치 회로(210)로부터 출력되는 상기 신호(EN)에 의해 제어되는 게이트를 갖는다.Referring to FIG. 2A, the row decoder 200 according to the present invention includes a switch circuit 210 and NMOS transistors S1, S2, S3, S4, and S5. The switch circuit 210 outputs a signal EN for conducting the NMOS transistor S1 under the control of a pulse signal? P supplied from the outside, the external address Addxx, and a program signal PGM. . The NMOS transistor S1 may control a gate controlled by a current path formed between the program voltage generation circuit 100 and the NMOS transistor S2 and the signal EN output from the switch circuit 210. Have

상기 NMOS 트랜지스터(S2)는 상기 NMOS 트랜지스터(S1)와 상기 워드 라인(W/L) 사이에 형성되는 전류 통로 및 상기 워드 라인(W/L)을 선택하기 위한 내부 어드레스(Add_B)에 의해 제어되는 게이트를 갖는다. 상기 NMOS 트랜지스터(S3)는 상기 NMOS 트랜지스터(S2)와 상기 NMOS 트랜지스터들(S4, S5)의 접속점의 사이에 형성되는 전류 통로 및 신호(VFY)에 의해 제어되는 게이트를 갖는다. 상기 NMOS 트랜지스터(S4)는 상기 NMOS 트랜지스터(S3)와 제 1 검증 전압 입력 단자의 사이에 형성되는 전류 통로 및 신호(PVF)에 의해 제어되는 게이트를 갖는다. 상기 NMOS 트랜지스터(S5)는 상기 NMOS 트랜지스터(S3)와 제 2 검증 전압 입력 단자의 사이에 형성되는 전류 통로 및 신호(MVF)에 의해 제어되는 게이트를 갖는다.The NMOS transistor S2 is controlled by a current path formed between the NMOS transistor S1 and the word line W / L and an internal address Add_B for selecting the word line W / L. Has a gate. The NMOS transistor S3 has a gate controlled by a current path and a signal VFY formed between a connection point of the NMOS transistor S2 and the NMOS transistors S4 and S5. The NMOS transistor S4 has a current path formed between the NMOS transistor S3 and the first verify voltage input terminal and a gate controlled by the signal PVF. The NMOS transistor S5 has a current path formed between the NMOS transistor S3 and the second verify voltage input terminal and a gate controlled by the signal MVF.

도 2b는 도 1의 플래시 메모리 장치에 구비되는 감지 회로의 상세 회로도이다.FIG. 2B is a detailed circuit diagram of a sensing circuit included in the flash memory device of FIG. 1.

도 2b를 참조하면, 본 발명의 감지 회로(400)는 제 1 래치 회로(410), 제 2 래치 회로(420) 및 NMOS 트랜지스터들(M1, M2, ... M8, M9)을 포함한다. 상기 제 1 래치 회로(410)는 교차 접속된 2개의 인버터들(I1, I2)을 포함한다. 상기 인버터(I1)의 입력 단자는 상기 NMOS 트랜지스터(M2)의 전류 통로에 연결되고 그리고 출력 단자는 상기 NMOS 트랜지스터(M4)의 게이트에 연결된다. 상기 인버터(I2)의 입력 단자는 상기 인버터(I1)의 상기 출력 단자에 연결되고 그리고 출력 단자는 상기 인버터(I1)의 상기 입력 단자에 연결된다. 상기 제 2 래치 회로(420)는 교차 접속된 2개의 인버터들(I3, I4)을 포함한다. 상기 인버터(I3)의 입력 단자는 상기 NMOS 트랜지스터(M3)의 전류 통로에 연결되고 그리고 출력 단자는 상기 NMOS 트랜지스터(M7)의 드레인에 연결된다. 상기 인버터(I4)의 입력 단자는 상기 인버터(I3)의 상기 출력 단자에 연결되고 그리고 출력 단자는 상기 인버터(I3)의 상기 입력 단자에 연결된다.Referring to FIG. 2B, the sensing circuit 400 of the present invention includes a first latch circuit 410, a second latch circuit 420, and NMOS transistors M1, M2,..., M8, M9. The first latch circuit 410 includes two inverters I1 and I2 cross connected. The input terminal of the inverter I1 is connected to the current path of the NMOS transistor M2 and the output terminal is connected to the gate of the NMOS transistor M4. The input terminal of the inverter I2 is connected to the output terminal of the inverter I1 and the output terminal is connected to the input terminal of the inverter I1. The second latch circuit 420 includes two inverters I3 and I4 cross connected. The input terminal of the inverter I3 is connected to the current path of the NMOS transistor M3 and the output terminal is connected to the drain of the NMOS transistor M7. The input terminal of the inverter I4 is connected to the output terminal of the inverter I3 and the output terminal is connected to the input terminal of the inverter I3.

상기 NMOS 트랜지스터(M1)는 상기 비트 라인(B/L)과 접지 전압(VSS)의 사이에 형성되는 전류 통로 및 신호(RST)에 의해 제어되는 게이트를 갖는다. 상기 NMOS 트랜지스터(M2)는 상기 비트 라인(B/L)과 상기 제 1 래치 회로(410)의 사이에 형성되는 전류 통로 및 신호(SB1)에 의해 제어되는 게이트를 갖는다. 상기 NMOS 트랜지스터(M3)는 상기 NMOS 트랜지스터(M5)의 전류 통로와 상기 제 2 래치 회로(420)의 사이에 형성되는 전류 통로 및 신호(SB2)에 의해 제어되는 게이트를 갖는다. 상기 NMOS 트랜지스터(M4)는 상기 비트 라인(B/L)과 상기 NMOS 트랜지스터(M6)의 게이트의 사이에 형성되는 전류 통로 및 상기 노드(411)의 전압에 의해 제어되는 게이트를 갖는다. 상기 NMOS 트랜지스터(M5)는 상기 비트 라인(B/L)과 상기 NMOS 트랜지스터(M3)의 전류 통로의 사이에 형성되는 전류 통로 및 노드(412)의 전압에 의해 제어되는 게이트를 갖는다.The NMOS transistor M1 has a current path formed between the bit line B / L and the ground voltage VSS and a gate controlled by a signal RST. The NMOS transistor M2 has a current path formed between the bit line B / L and the first latch circuit 410 and a gate controlled by the signal SB1. The NMOS transistor M3 has a gate controlled by a current path and a signal SB2 formed between the current path of the NMOS transistor M5 and the second latch circuit 420. The NMOS transistor M4 has a current path formed between the bit line B / L and the gate of the NMOS transistor M6 and a gate controlled by the voltage of the node 411. The NMOS transistor M5 has a current path formed between the bit line B / L and the current path of the NMOS transistor M3 and a gate controlled by the voltage of the node 412.

상기 NMOS 트랜지스터(M6)는 상기 제 1 래치 회로(410)와 상기 NMOS 트랜지스터(M8)의 전류 통로의 사이에 연결되는 전류 통로 및 신호(Sense)에 의해 제어되는 게이트를 갖는다. 상기 NMOS 트랜지스터(M7)는 상기 제 2 래치 회로(420)와 상기 NMOS 트랜지스터(M9)의 사이에 연결되는 전류 통로 및 신호(Sense)에 의해 제어되는 게이트를 갖는다. 상기 NMOS 트랜지스터(M6)와 상기 접지 전압(VSS)의 사이에 형성되는 전류 통로 및 신호(øsense1)에 의해 제어되는 게이트를 갖는다. 상기 NMOS 트랜지스터(M9)는 상기 NMOS 트랜지스터(M7)와 상기 접지 전압(VSS)의 사이에 형성되는 전류 통로 및 신호(øsense1)에 의해 제어되는 게이트를 갖는다.The NMOS transistor M6 has a current path and a gate controlled by a signal sense connected between the first latch circuit 410 and the current path of the NMOS transistor M8. The NMOS transistor M7 has a current path connected between the second latch circuit 420 and the NMOS transistor M9 and a gate controlled by a signal Sense. It has a gate controlled by a signal øsense1 and a current path formed between the NMOS transistor M6 and the ground voltage VSS. The NMOS transistor M9 has a current path formed between the NMOS transistor M7 and the ground voltage VSS and a gate controlled by a signal? Sense1.

도 3은 본 발명에 따른 플래시 메모리 장치의 동작 설명을 위한 타이밍도이다.3 is a timing diagram for describing an operation of a flash memory device according to the present invention.

이하 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명에 따른 플래시 메모리 장치와 그의 프로그램 방법이 설명된다.Hereinafter, a flash memory device and a program method thereof according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3.

상기 멀티 레벨 셀(MLC)은 하나의 메모리 셀내에 복수 비트의 데이터가 프로그램되는 메모리 셀이다. 2 비트의 데이터를 프로그램할 수 있는 상기 멀티 레벨 셀(MLC)은 4개의 드레솔드 전압 분포를 갖는다. 즉, 상기 메모리 셀은 하나의 소거 드레솔드 전압 분포와 3 개의 프로그램 드레솔드 전압 분포들을 갖는다. 예컨대 상기 소거 드레솔드 전압 분포가 '-3V이하'이고 그리고 상기 프로그램 드레솔드 전압 분포들이 '0.4V∼0.6V', '1.4V∼1.6V', '2.4V∼2.6V'이면, 상기 멀티 레벨 셀(MLC)의 프로그램은 상기 소거된 메모리 셀의 드레솔드 전압(-3V이하)을 상기 프로그램 드레솔드 전압 분포들(0.4V∼0.6V, 1.4V∼1.6V, 2.4V∼2.6V)내로 이동시키는 것이다.The multi-level cell MLC is a memory cell in which a plurality of bits of data are programmed in one memory cell. The multi-level cell (MLC) capable of programming two bits of data has four threshold voltage distributions. In other words, the memory cell has one erase threshold voltage distribution and three program threshold voltage distributions. For example, if the erase threshold voltage distribution is '-3V or less' and the program threshold voltage distributions are '0.4V to 0.6V', '1.4V to 1.6V' and '2.4V to 2.6V', the multi-level The program of the cell MLC shifts the erase voltage (below -3V) of the erased memory cell into the program threshold voltage distributions (0.4V to 0.6V, 1.4V to 1.6V, 2.4V to 2.6V). It is to let.

본 발명에 따른 플래시 메모리 장치의 프로그램 동작은 크게 프리-프로그램(pre-program) 동작과 메인-프로그램(main-program) 동작으로 구분된다. 예컨대, 상기 메모리 셀의 드레솔드 전압(Vth)을 상기 프로그램 드레솔드 전압 분포들(0.4V∼0.6V, 1.4V∼1.6V, 2.4V∼2.6V) 중 상기 프로그램 드레솔드 전압 분포(0.4V∼0.6V)내로 프로그램할 때, 상기 프리-프로그램 동작은 소거된 상기 메모리 셀의 드레솔드 전압(-3V이하)을 상기 프로그램 드레솔드 전압 분포(0.4V∼0.6V)의 최하위 전압(0.4V)보다 낮은 소정의 전압(0V)을 기준으로 프로그램한다. 이때, 도 1의 상기 고전압 발생 회로(110)는 상기 외부 클럭 신호(CLK)와 상기 비교 신호(COM)의 제어에 의해 제 1 프리-프로그램 전압(14V)을 상기 행 디코더(200)로 공급한다. 상기 행 디코더(200)는 도 2a의 상기 신호들(Add_x, øp, PGM, Add_B)의 제어에 의해 상기 제 1 프로그램 전압(14V)을 상기 외부 어드레스(Add_x)에 해당하는 워드 라인(W/L)을 통해 상기 메모리 셀로 공급한다. 이때, 도 2b의 상기 감지 회로(400)의 상기 제 1 및 제 2 래치 회로들(410, 420)과 비트 라인(B/L)은 상기 신호(RST)의 제어에 의해 상기 NMOS 트랜지스터(M1)의 상기 전류 통로가 도통됨으로써 초기화된다.The program operation of the flash memory device according to the present invention is largely divided into a pre-program operation and a main-program operation. For example, the threshold voltage Vth of the memory cell is determined by the program threshold voltage distribution (0.4V to 0.6V) among the program threshold voltage distributions (0.4V to 0.6V, 1.4V to 1.6V, and 2.4V to 2.6V). When programming within 0.6V), the pre-program operation causes the erased voltage of the erased memory cell (below -3V) to be less than the lowest voltage (0.4V) of the program threshold voltage distribution (0.4V to 0.6V). Programming is based on a low predetermined voltage (0V). In this case, the high voltage generation circuit 110 of FIG. 1 supplies the first pre-program voltage 14V to the row decoder 200 under the control of the external clock signal CLK and the comparison signal COM. . The row decoder 200 sets the first program voltage 14V to the word line W / L corresponding to the external address Add_x under the control of the signals Add_x,? P, PGM, and Add_B of FIG. 2A. Is supplied to the memory cell. In this case, the first and second latch circuits 410 and 420 and the bit line B / L of the sensing circuit 400 of FIG. 2B are connected to the NMOS transistor M1 under the control of the signal RST. Is initialized by conducting the current path.

상기 프리-프로그램 동작이 종료되면, 상기 행 디코더(200)는 도 2a의 상기 신호들(Add_B, VFY, PVF)의 제어에 의해 상기 제 1 프로그램 검증 전압(Va1)을 상기 외부 어드레스(Add_x)에 해당하는 상기 워드 라인(W/L)을 통해 상기 메모리 셀로 공급한다. 이때, 도 2b의 상기 감지 회로(400)는 상기 NMOS 트랜지스터들(M2, M4)을 통해 상기 메모리 셀로 전류(Sense)를 공급한다. 상기 메모리 셀의 드레솔드 전압(Vth)이 상기 소정의 전압(0V)보다 낮으면, 상기 감지 회로(400)의 상기 제 1 래치 회로(410)에는 '0'의 상기 제 1 검증 데이터(RV1)가 래치된다.When the pre-program operation ends, the row decoder 200 transmits the first program verify voltage Va1 to the external address AddX by the control of the signals AddVB, VFY and PVF of FIG. 2A. The memory cell is supplied to the memory cell through the corresponding word line W / L. In this case, the sensing circuit 400 of FIG. 2B supplies a current Sense to the memory cell through the NMOS transistors M2 and M4. When the threshold voltage Vth of the memory cell is lower than the predetermined voltage 0V, the first latch circuit 410 of the sensing circuit 400 has the first verification data RV1 of '0'. Is latched.

상기 프로그램 전압 발생 회로(100)의 상기 제 1 및 제 2 스위치 회로들(121, 123)은 상기 제 1 검증 데이터(RV1)의 제어에 의해 상기 제 1 분압 회로(122a)에 연결된다. 상기 프로그램 검증 동작이 종료되면, 제 2 프리-프로그램 동작이 시작된다. 상기 제 2 프리-프로그램 동작이 시작되면 상기 고전압 발생기(110)는 상기 제 1 프리-프로그램 전압(14V)보다 '0.6V' 높은 제 2 프리-프로그램 전압(14.6V)을 출력한다. 상기 제 1 분압 회로(122a)는 상기 제 1 스위치 회로(121)를 통해 공급되는 상기 제 2 프로그램 전압(14.6V)을 분압하여 상기 제 2 스위치 회로(123)로 공급한다. 상기 제 2 프리-프로그램 전압(14.6V)이 공급될 때, 상기 제 1 분압(Vd1)이 일정하게 출력되도록 상기 가변 저항(R1)의 저항값이 낮아진다. 상기 비교기(130)는 상기 제 2 스위치 회로(123)를 통해 공급되는 상기 분압(Vd1)을 상기 기준 전압(Vref)과 비교하여 상기 비교 신호(COM)를 상기 고전압 발생기(110)로 공급한다. 상기 고전압 발생기(110)는 상기 비교 신호(COM)의 제어에 의해 상기 전압(14.6V)을 초과하지 않는 상기 제 2 프리-프로그램 전압(14.6V)을 출력한다.The first and second switch circuits 121 and 123 of the program voltage generation circuit 100 are connected to the first voltage divider circuit 122a by the control of the first verification data RV1. When the program verify operation ends, the second pre-program operation starts. When the second pre-program operation is started, the high voltage generator 110 outputs a second pre-program voltage 14.6V that is '0.6V' higher than the first pre-program voltage 14V. The first voltage dividing circuit 122a divides the second program voltage 14.6V supplied through the first switch circuit 121 and supplies the divided voltage to the second switch circuit 123. When the second pre-program voltage 14.6V is supplied, the resistance value of the variable resistor R1 is lowered so that the first divided voltage Vd1 is constantly output. The comparator 130 compares the divided voltage Vd1 supplied through the second switch circuit 123 with the reference voltage Vref and supplies the comparison signal COM to the high voltage generator 110. The high voltage generator 110 outputs the second pre-program voltage 14.6V which does not exceed the voltage 14.6V under the control of the comparison signal COM.

상기 행 디코더(200)는 상기 신호들(Add_x, øp, PGM, Add_B)의 제어에 의해 상기 제 2 프로그램 전압(14.6V)을 상기 외부 어드레스(Add_x)에 해당하는 워드 라인(W/L)을 통해 상기 메모리 셀로 공급한다. 이때, 상기 감지 회로(400)의 상기 제 1 및 제 2 래치 회로들(410, 420)과 비트 라인(B/L)은 초기화된다. 상기 제 2 프리-프로그램 동작이 종료된후, 상기 행 디코더(200)는 상기 신호들(Add_B, VFY, PVF)의 제어에 의해 상기 제 1 프로그램 검증 전압(Va1)을 상기 외부 어드레스(Add_x)에 해당하는 상기 워드 라인(W/L)을 통해 상기 메모리 셀로 공급한다. 이때, 상기 감지 회로(400)는 상기 NMOS 트랜지스터들(M2, M4)을 통해 상기 메모리 셀로 전류(Sense)를 공급한다. 상기 메모리 셀의 드레솔드 전압(Vth)이 상기 소정의 전압(0V)을 초과하면, 상기 감지 회로(400)의 상기 제 1 래치 회로(410)에는 '1'의 상기 제 1 검증 데이터(RV1)가 래치된다.The row decoder 200 sets the second program voltage 14.6V to the word line W / L corresponding to the external address Add_x under the control of the signals Add_x,? P, PGM, and Add_B. Supply to the memory cell through. In this case, the first and second latch circuits 410 and 420 and the bit line B / L of the sensing circuit 400 are initialized. After the second pre-program operation ends, the row decoder 200 transfers the first program verify voltage Va1 to the external address AddX by the control of the signals AddVB, VFY and PVF. The memory cell is supplied to the memory cell through the corresponding word line W / L. In this case, the sensing circuit 400 supplies a current Sense to the memory cell through the NMOS transistors M2 and M4. When the threshold voltage Vth of the memory cell exceeds the predetermined voltage 0V, the first latch data 410 of the sensing circuit 400 includes the first verification data RV1 of '1'. Is latched.

상기 제 1 래치 회로(410)에서 '1'의 제 1 검증 데이터(RV1)가 출력되면, 상기 프리-프로그램 동작이 종료되고 상기 메인-프로그램 동작이 시작된다. 상기 프로그램 드레솔드 전압 분포(0.4V∼0.6V)내로 프로그램할 때, 상기 메인-프로그램 동작은 상기 전압(0V)을 초과한 상기 메모리 셀의 드레솔드 전압(Vth)을 상기 프로그램 드레솔드 전압 분포(0.4V∼0.6V)로 프로그램한다. 상기 메인-프로그램 동작이 시작되면, 상기 프로그램 전압 발생 회로(100)의 상기 제 1 및 제 2 스위치 회로들(121, 123)은 상기 제 1 검증 데이터(RV1)의 제어에 의해 상기 제 2 분압 회로(122b)에 연결된다. 상기 제 2 분압 회로(122b)의 상기 가변 저항(R3)은 상기 제 1 분압 회로(122a)의 상기 가변 저항(R1)보다 큰 변화율을 갖는다. 즉, 단계적으로 승압되는 상기 메인-프로그램 전압의 변화량을 상기 프리-프로그램 전압의 변화율보다 작게 만든다. 상기 가변 저항(R3)은 상기 프리-프로그램 전압이 '0.6V'씩 승압되면, 상기 메인-프로그램 전압은 상기 프로그램 드레솔드 전압 분포(0.4V∼0.6V)를 벗어나지 않는 전압(0.2V)으로 승압되게 상기 비교 회로(130)를 통해 제어한다.When the first verification data RV1 of '1' is output from the first latch circuit 410, the pre-program operation ends and the main-program operation starts. When programming into the program threshold voltage distribution (0.4V to 0.6V), the main-program operation converts the threshold voltage (Vth) of the memory cell above the voltage (0V) into the program threshold voltage distribution ( 0.4V to 0.6V). When the main-program operation is started, the first and second switch circuits 121 and 123 of the program voltage generation circuit 100 are controlled by the first voltage divider circuit under control of the first verification data RV1. Is connected to 122b. The variable resistor R3 of the second voltage dividing circuit 122b has a change rate larger than that of the variable resistor R1 of the first voltage dividing circuit 122a. That is, the change amount of the main-program voltage stepped up is made smaller than the rate of change of the pre-program voltage. When the pre-program voltage is boosted by '0.6 V', the variable resistor R3 is boosted to a voltage (0.2 V) that does not deviate from the program threshold voltage distribution (0.4 V to 0.6 V). Control through the comparison circuit 130.

상기 메인-프로그램 동작이 시작되면, 상기 고전압 발생기(110)는 상기 제 2 프리-프로그램 전압(14.6V)보다 '0.2V' 높은 제 1 메인-프로그램 전압(14.8V)을 상기 행 디코더(200)로 공급한다. 상기 행 디코더(200)는 상기 신호들(Add_x, øp, PGM, Add_B)의 제어에 의해 상기 제 1 메인-프로그램 전압(14.8V)을 상기 외부 어드레스(Add_x)에 해당하는 워드 라인(W/L)을 통해 상기 메모리 셀로 공급한다. 이때, 상기 감지 회로(400)의 상기 제 2 래치 회로(420)와 비트 라인(B/L)은 초기화된다. 상기 메인-프로그램 동작이 종료되면, 상기 행 디코더(200)는 상기 신호들(Add_B, VFY, PVF)의 제어에 의해 상기 제 2 프로그램 검증 전압(Va2)을 상기 외부 어드레스(Add_x)에 해당하는 상기 워드 라인(W/L)을 통해 상기 메모리 셀로 공급한다.When the main-program operation starts, the high voltage generator 110 applies the first main-program voltage 14.8V that is '0.2V' higher than the second pre-program voltage 14.6V to the row decoder 200. To supply. The row decoder 200 sets the first main-program voltage 14.8 V to the word line W / L corresponding to the external address Add_x under the control of the signals Add_x,? P, PGM, and Add_B. Is supplied to the memory cell. In this case, the second latch circuit 420 and the bit line B / L of the sensing circuit 400 are initialized. When the main-program operation ends, the row decoder 200 sets the second program verify voltage Va2 corresponding to the external address Add_x under the control of the signals Add_B, VFY and PVF. The memory cell is supplied to the memory cell through a word line W / L.

이때, 상기 제 1 래치 회로(410)는 상기 NMOS 트랜지스터(M2)의 상기 전류 통로가 차단됨에 따라 상기 제 1 검증 데이터(RV1) '1'을 계속적으로 래치하게 되고 그리고 상기 제 2 래치 회로(420)는 상기 신호(SB2)의 제어에 의해 도통되는 상기 NMOS 트랜지스터(M3)에 의해 래치 동작이 수행된다. 상기 메인-프로그램 검증 동작이 시작되면, 상기 감지 회로(400)는 상기 NMOS 트랜지스터(M4)를 통해 상기 메모리 셀로 전류(Sense)를 공급한다. 상기 메모리 셀의 드레솔드 전압(Vth)이 상기 프로그램 드레솔드 전압 분포(0.4V∼0.6V)의 최하위 전압(0.4V)보다 낮으면, 상기 감지 회로(400)의 상기 제 2 래치 회로(420)에는 '0'의 상기 제 2 검증 데이터(RV2)가 래치된다.In this case, the first latch circuit 410 continuously latches the first verification data RV1 '1' as the current path of the NMOS transistor M2 is blocked, and the second latch circuit 420 ) Is latched by the NMOS transistor M3 which is conducted by the control of the signal SB2. When the main-program verify operation is started, the sensing circuit 400 supplies a current Sense to the memory cell through the NMOS transistor M4. When the threshold voltage Vth of the memory cell is lower than the lowest voltage (0.4V) of the program threshold voltage distribution (0.4V to 0.6V), the second latch circuit 420 of the sensing circuit 400 The second verification data RV2 of '0' is latched.

상기 메인-프로그램 검증 동작이 종료되면, 다시 제 2 메인-프로그램 동작이 시작된다. 상기 제 2 메인-프로그램 동작이 시작되면 상기 고전압 발생기(110)는 상기 제 1 메인-프로그램 전압(14.8V)보다 '0.2V' 높은 제 2 메인-프로그램 전압(15V)을 출력한다. 상기 제 2 분압 회로(122b)는 상기 제 1 스위치 회로(121)를 통해 공급되는 상기 제 2 메인-프로그램 전압(15V)을 분압하여 상기 제 2 스위치 회로(123)로 공급한다. 상기 제 2 메인-프로그램 전압(15V)이 공급될 때, 상기 제 2 분압(Vd2)이 일정하게 출력되도록 상기 가변 저항(R3)의 저항값이 낮아진다. 상기 비교기(130)는 상기 제 2 스위치 회로(123)를 통해 공급되는 상기 분압(Vd2)을 상기 기준 전압(Vref)과 비교하여 상기 비교 신호(COM)를 상기 고전압 발생기(110)로 공급한다. 상기 고전압 발생기(110)는 상기 비교 신호(COM)의 제어에 의해 상기 전압(15V)을 초과하지 않는 상기 제 2 메인-프로그램 전압(15V)을 출력한다.When the main-program verify operation ends, the second main-program operation starts again. When the second main-program operation is started, the high voltage generator 110 outputs a second main-program voltage 15V that is '0.2V' higher than the first main-program voltage 14.8V. The second voltage dividing circuit 122b divides the second main-program voltage 15V supplied through the first switch circuit 121 and supplies the divided voltage to the second switch circuit 123. When the second main-program voltage 15V is supplied, the resistance value of the variable resistor R3 is lowered so that the second divided voltage Vd2 is constantly output. The comparator 130 compares the divided voltage Vd2 supplied through the second switch circuit 123 with the reference voltage Vref and supplies the comparison signal COM to the high voltage generator 110. The high voltage generator 110 outputs the second main-program voltage 15V that does not exceed the voltage 15V under the control of the comparison signal COM.

상기 행 디코더(200)는 상기 신호들(Add_x, øp, PGM, Add_B)의 제어에 의해 상기 제 2 메인-프로그램 전압(15V)을 상기 외부 어드레스(Add_x)에 해당하는 워드 라인(W/L)을 통해 상기 메모리 셀로 공급한다. 이때, 상기 감지 회로(400)의 상기 제 2 래치 회로(420)와 비트 라인(B/L)은 초기화된다. 상기 제 2 메인-프로그램 동작이 종료된후, 상기 행 디코더(200)는 상기 신호들(Add_B, VFY, PVF)의 제어에 의해 상기 제 2 프로그램 검증 전압(Va2)을 상기 외부 어드레스(Add_x)에 해당하는 상기 워드 라인(W/L)을 통해 상기 메모리 셀로 공급한다. 이때, 상기 감지 회로(400)는 상기 NMOS 트랜지스터(M4)를 통해 상기 메모리 셀로 전류(Sense)를 공급한다. 상기 메모리 셀의 드레솔드 전압(Vth)이 상기 프로그램 드레솔드 전압 분포(0.4V∼0.6V)의 최하위 전압(0V)을 초과하면, 상기 감지 회로(400)의 상기 제 2 래치 회로(420)에는 '1'의 상기 제 2 검증 데이터(RV2)가 래치된다. 상기 제 1 및 제 2 검증 데이터들(RV1, RV2)이 '1'로 출력되면, 상기 메모리 셀의 프로그램이 종료되고, 다음 외부 어드레스(Add_x)에 해당하는 메모리 셀의 프로그램 동작이 수행된다. 상기 소거 드레솔드 전압 분포(-3V이하)에서 상기 프로그램 드레솔드 전압 분포들(1.4V∼1.6V, 2.4V∼2.6V)로 프로그램할 경우에도 상기 프리-프로그램 동작과 상기 메인-프로그램 동작이 동일하게 수행된다.The row decoder 200 sets the second main-program voltage 15V to the word line W / L corresponding to the external address Add_x under the control of the signals Add_x,? P, PGM, and Add_B. Supply to the memory cell through. In this case, the second latch circuit 420 and the bit line B / L of the sensing circuit 400 are initialized. After the second main-program operation is finished, the row decoder 200 transfers the second program verify voltage Va2 to the external address AddX by the control of the signals AddVB, VFY and PVF. The memory cell is supplied to the memory cell through the corresponding word line W / L. In this case, the sensing circuit 400 supplies a current Sense to the memory cell through the NMOS transistor M4. When the threshold voltage Vth of the memory cell exceeds the lowest voltage (0V) of the program threshold voltage distribution (0.4V to 0.6V), the second latch circuit 420 of the sensing circuit 400 The second verification data RV2 of '1' is latched. When the first and second verification data RV1 and RV2 are output as '1', the program of the memory cell is terminated and the program operation of the memory cell corresponding to the next external address Add_x is performed. The pre-program operation and the main-program operation are the same even when programming to the program threshold voltage distributions (1.4 V to 1.6 V and 2.4 V to 2.6 V) in the erase threshold voltage distribution (-3 V or less). Is performed.

도 3을 참조하면, 상기 프리-프로그램 동작과 상기 메인-프로그램 동작에 의해서 상기 소거 드레솔드 전압 분포(-3V이하)를 갖는 메모리 셀의 드레 전압이 제 1 프로그램 드레솔드 전압 분포(0.4V∼0.6V : A state), 제 2 프로그램 드레솔드 전압 분포(1.4V∼1.6V : B state) 및 제 3 프로그램 드레솔드 전압 분포(2.4V∼2.6V : C state)로 프로그램된다. 도 3의 각 프로그램 드레솔드 전압 분포들을 살펴보면, 상기 프리-프로그램 구간에서는 소정의 전압(△V1 : 0.6V)으로 프리-프로그램되고, 상기 메인-프로그램 구간에서는 소정의 전압(△V1)보다 낮은 전압(△V2 : 0.2V)으로 프로그램된다.Referring to FIG. 3, a draw voltage of a memory cell having the erase threshold voltage distribution (-3V or less) is determined by the pre-program operation and the main-program operation, and thus the first program threshold voltage distribution (0.4V to 0.6). V: A state), the second program threshold voltage distribution (1.4V to 1.6V: B state), and the third program threshold voltage distribution (2.4V to 2.6V: C state). Referring to the respective program threshold voltage distributions of FIG. 3, in the pre-program period, the voltage is pre-programmed with a predetermined voltage (ΔV1: 0.6V), and in the main-program period, a voltage lower than the predetermined voltage (ΔV1). (ΔV2: 0.2V).

본 발명의 플래시 메모리 장치에서의 프로그램 동작은 종래의 기술에 따른 플래시 메모리 장치보다 짧은 프로그램 동작 시간을 갖는다. 예컨대, 소거 드레솔드 전압 분포(-3V이하)에서 상기 프로그램 드레솔드 전압 분포(0.4V∼0.6V)로 프로그램하고자 할 때, 종래의 기술에 따른 프로그램 동작 횟수는 (0.4V-(-3V))/0.2V = 17회이다. 또한, 1 회 프로그램 동작시 소요되는 프로그램 시간이 50μsec라면 하나의 셀당 소요되는 총 프로그램 시간은 50μsec * 17 = 0.85msec가 된다. 그러나, 본 발명의 프로그램 방법에 따른 프로그램 동작 횟수는 [{(0V-(-3V))/0.6} + {(0.4V-(0V))/0.2}] = 5 + 2 = 7회이다. 그러므로, 1 회 프로그램 동작시 소요되는 프로그램 시간이 50μsec라면 하나의 셀당 소요되는 총 프로그램 시간은 50μsec * 7 = 0.35msec가 된다. 상기한 바와같이, 프로그램 동작에 있어서, 상기 프로그램 드레솔드 전압 분포들의 최하위값들보다 일정 레벨 낮은 전압을 기준으로 프로그램 동작을 분할하여 수행함으로써, 프로그램 동작시 소요되는 시간을 줄일 수 있다.The program operation in the flash memory device of the present invention has a shorter program operation time than the flash memory device according to the prior art. For example, when programming from the erase threshold voltage distribution (-3V or less) to the program threshold voltage distribution (0.4V to 0.6V), the number of program operations according to the prior art is (0.4V-(-3V)). /0.2V = 17 times. In addition, if the program time required for one program operation is 50μsec, the total program time required for one cell is 50μsec * 17 = 0.85msec. However, the number of program operations according to the program method of the present invention is [{(0V-(-3V)) / 0.6} + {(0.4V- (0V)) / 0.2}] = 5 + 2 = 7 times. Therefore, if the program time required for one program operation is 50 μsec, the total program time required for one cell is 50 μsec * 7 = 0.35 msec. As described above, the program operation may be performed by dividing the program operation on the basis of a voltage lower than the lowest values of the program threshold voltage distributions, thereby reducing the time required for the program operation.

상기한 바와같이, 프로그램 동작을 프리-프로그램과 메인-프로그램으로 분할하여 수행함으로써, 프로그램 드레솔드 전압 분포를 벗어나지 않으면서 프로그램 수행 시간을 줄일 수 있다.As described above, by dividing the program operation into a pre-program and a main-program, the program execution time can be reduced without departing from the program threshold voltage distribution.

Claims (6)

대응하는 워드 라인 및 비트 라인에 연결되며, 하나의 드레솔드 전압 분포로 적어도 1 비트의 데이터가 프로그램되는 복수개의 메모리 셀들을 구비하는 플래시 메모리 장치에 있어서:A flash memory device having a plurality of memory cells connected to corresponding word lines and bit lines, wherein at least one bit of data is programmed with one threshold voltage distribution: 프로그램 동작시 외부 클럭 신호에 응답해서 단계적으로 승압되는 프로그램 전압을 발생하는 프로그램 전압 발생 회로와;A program voltage generation circuit for generating a program voltage stepped up in response to an external clock signal during a program operation; 외부 어드레스에 응답해서 상기 프로그램 동작시 상기 프로그램 전압을 상기 외부 어드레스에 해당하는 워드 라인을 통해 상기 메모리 셀들 중 하나의 메모리 셀로 공급하고 그리고 프로그램 검증 동작시 상기 프로그램 전압 발생 회로로부터 공급되는 프로그램 검증 전압들 중 하나의 프로그램 검증 전압을 상기 메모리 셀로 공급하는 행 디코더 및;Program verify voltages supplied to the memory cell of one of the memory cells through a word line corresponding to the external address in response to an external address and supplied from the program voltage generation circuit in a program verify operation; A row decoder for supplying one of the program verify voltages to the memory cells; 프로그램 검증 동작시 상기 메모리 셀로부터의 프로그램 여부를 검증하는 복수개의 검증 데이터들을 감지하는 감지 회로를 포함하되;A sensing circuit for sensing a plurality of verification data for verifying whether or not a program is from the memory cell during a program verify operation; 상기 프로그램 전압 발생 회로는,The program voltage generator circuit, 상기 검증 데이터들 중 하나에 응답해서 상기 프로그램 전압의 승압 레벨을 조절하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 장치.And adjusting the boost level of the program voltage in response to one of the verification data. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 프로그램 전압 발생 회로는,The program voltage generator circuit, 상기 외부 클럭 신호와 비교 신호에 응답해서 상기 프로그램 전압을 발생하는 고전압 발생기와,A high voltage generator generating the program voltage in response to the external clock signal and the comparison signal; 상기 검증 데이터에 응답해서 상기 프로그램 전압을 검출하여 검출 전압을 출력하는 전압 검출 회로 및,A voltage detection circuit for detecting the program voltage in response to the verification data and outputting a detection voltage; 상기 검출 전압과 외부로부터 공급되는 기준 전압을 비교하여 비교 신호를 출력하는 비교 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 장치.And a comparison circuit for comparing the detected voltage with a reference voltage supplied from the outside and outputting a comparison signal. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 프로그램 발생 회로는,The program generation circuit, 목표 프로그램 전압 분포 범위보다 큰 제 1 전압 레벨씩 반복적으로 증가되는 제 1 프로그램 전압을 발생하고,Generate a first program voltage that is repeatedly increased by a first voltage level that is greater than a target program voltage distribution range, 상기 검증 데이터에 응답해서 상기 목표 프로그램 전압 분포 범위보다 작은 제 2 전압 레벨씩 증가되는 제 2 프로그램 전압를 발생하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 장치.And generating a second program voltage increased in response to the verification data by a second voltage level smaller than the target program voltage distribution range. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 전압 검출 회로는,The voltage detection circuit, 상기 검증 데이터에 응답해서 상기 프로그램 전압을 선택적으로 출력하는 제 1 스위치 회로와,A first switch circuit for selectively outputting the program voltage in response to the verification data; 상기 제 1 스위치 회로를 통해 공급되는 상기 프로그램 전압을 분압하여 상기 검출 전압으로서의 제 1 및 제 2 분압들을 출력하는 분압 회로 및,A voltage divider circuit for dividing the program voltage supplied through the first switch circuit to output first and second voltage dividers as the detection voltage; 상기 검증 데이터에 응답해서 상기 제 1 및 제 2 분압들을 선택적으로 출력하는 제 2 스위치 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 장치.And a second switch circuit for selectively outputting the first and second partial voltages in response to the verification data. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 감지 회로는,The sensing circuit, 상기 메모리 셀로부터 출력되는 제 1 검증 데이터를 래치하는 제 1 래치 회로 및,A first latch circuit for latching first verify data output from the memory cell; 상기 메모리 셀로부터 출력되는 제 2 검증 데이터를 래치하는 제 2 래치 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 장치.And a second latch circuit for latching second verification data output from the memory cell. 하나의 드레솔드 전압 분포로 적어도 1 비트의 데이터가 프로그램되는 복수개의 메모리 셀들을 구비하는 플래시 메모리 장치의 프로그램 방법에 있어서:A program method of a flash memory device having a plurality of memory cells in which at least one bit of data is programmed in one threshold voltage distribution, the method comprising: 상기 메모리 셀들 중 선택되는 메모리 셀의 드레솔드 전압이 복수개의 드레솔드 전압 분포들 중 하나의 목표 드레솔드 전압 분포를 갖도록 하는 단계와;Causing a threshold voltage of a selected memory cell of the memory cells to have a target threshold voltage distribution of one of a plurality of threshold voltage distributions; 상기 메모리 셀의 드레솔드 전압이 상기 목표 드레솔드 전압 분포의 최하위 전압보다 낮고 그리고 프로그램 시간을 단축하기에 충분한 소정의 전압 레벨을 갖는 제 1 프로그램 전압으로 프리-프로그램하는 단계 및;Pre-programming with a first program voltage having a predetermined voltage level below which the threshold voltage of said memory cell is below the lowest voltage of said target threshold voltage distribution and shortening a program time; 프리-프로그램된 상기 메모리 셀의 드레솔드 전압을 상기 목표 드레솔드 전압 분포내의 전압을 갖도록 상기 제 1 프로그램 전압보다 낮은 전압 레벨을 갖는 제 2 프로그램 전압으로 메인-프로그램하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플래시 메모리 장치의 프로그램 방법.Main-programming a threshold voltage of the pre-programmed memory cell to a second program voltage having a voltage level lower than the first program voltage to have a voltage within the target threshold voltage distribution. Program method of flash memory device.
KR1019980024084A 1998-06-25 1998-06-25 A flash memory device and method for programming the same KR100572302B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019980024084A KR100572302B1 (en) 1998-06-25 1998-06-25 A flash memory device and method for programming the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019980024084A KR100572302B1 (en) 1998-06-25 1998-06-25 A flash memory device and method for programming the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20000003017A true KR20000003017A (en) 2000-01-15
KR100572302B1 KR100572302B1 (en) 2006-07-12

Family

ID=19540749

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019980024084A KR100572302B1 (en) 1998-06-25 1998-06-25 A flash memory device and method for programming the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100572302B1 (en)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100453853B1 (en) * 2001-08-28 2004-10-20 삼성전자주식회사 Low-voltage non-volatile semiconductor memory device and read method thereof
KR100705219B1 (en) * 2004-12-29 2007-04-06 주식회사 하이닉스반도체 Method of programing in a NAND flash memory device
KR100758300B1 (en) * 2006-07-26 2007-09-12 삼성전자주식회사 Flash memory device and program method thereof
KR100839700B1 (en) * 2001-07-06 2008-06-19 가부시끼가이샤 도시바 Non-volatile semiconductor memory device
KR100890045B1 (en) * 2007-06-26 2009-03-25 주식회사 하이닉스반도체 Method for programming multi level cell flash memory device
KR100933860B1 (en) * 2007-06-27 2009-12-24 주식회사 하이닉스반도체 Multi-level cell program method of nonvolatile memory device

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3737525B2 (en) * 1994-03-11 2006-01-18 株式会社東芝 Semiconductor memory device
JPH1055691A (en) * 1996-08-08 1998-02-24 Ricoh Co Ltd Non-volatile semiconductor memory
JP3397600B2 (en) * 1996-11-01 2003-04-14 株式会社東芝 Nonvolatile semiconductor memory device

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100839700B1 (en) * 2001-07-06 2008-06-19 가부시끼가이샤 도시바 Non-volatile semiconductor memory device
KR100453853B1 (en) * 2001-08-28 2004-10-20 삼성전자주식회사 Low-voltage non-volatile semiconductor memory device and read method thereof
KR100705219B1 (en) * 2004-12-29 2007-04-06 주식회사 하이닉스반도체 Method of programing in a NAND flash memory device
KR100758300B1 (en) * 2006-07-26 2007-09-12 삼성전자주식회사 Flash memory device and program method thereof
KR100890045B1 (en) * 2007-06-26 2009-03-25 주식회사 하이닉스반도체 Method for programming multi level cell flash memory device
KR100933860B1 (en) * 2007-06-27 2009-12-24 주식회사 하이닉스반도체 Multi-level cell program method of nonvolatile memory device

Also Published As

Publication number Publication date
KR100572302B1 (en) 2006-07-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR0172401B1 (en) Non-volatile semiconductor memory device
US6285598B1 (en) Precision programming of nonvolatile memory cells
US6771547B2 (en) Boosted voltage generating circuit and semiconductor memory device having the same
US6542411B2 (en) Nonvolatile memory and semiconductor device with controlled voltage booster circuit
KR0157342B1 (en) Voltage sensing method of nonvolatile semiconductor memory
KR100371022B1 (en) Techniques for sensing data of multi-bit memory cell
US6240019B1 (en) Non-volatile semiconductor memory device having a function for controlling the range of distribution of memory cell threshold voltages
US6411551B1 (en) Multi-state nonvolatile semiconductor memory device which is capable of regularly maintaining a margin between threshold voltage distributions
US7839692B2 (en) Soft program method in a non-volatile memory device
US6259624B1 (en) Nonvolatile semiconductor storage device and data writing method thereof
US20100329013A1 (en) Semiconductor memory device including nonvolatile memory cell and data writing method thereof
US7489566B2 (en) High voltage generator and related flash memory device
JPH09180472A (en) Multivalued storage nonvolatile semiconductor memory and its column selection circuit
US5801991A (en) Deselected word line that floats during MLC programming of a flash memory
US20030107919A1 (en) Nonvolatile semiconductor memory and method for controlling programming voltage of nonvolatile semiconductor memory
US7173860B2 (en) Source controlled operation of non-volatile memories
KR100735010B1 (en) Flash memory device and voltage generating circuit for the same
US6762956B2 (en) High-speed data programmable nonvolatile semiconductor memory device
US8743621B2 (en) Operating method in a non-volatile memory device
KR20090079657A (en) Flash memory device capable of generating a stable wordline voltage
KR100572302B1 (en) A flash memory device and method for programming the same
US6487116B2 (en) Precision programming of nonvolatile memory cells
JP2000163977A (en) Nonvolatile semiconductor storage device and its data writing method
KR20190092265A (en) Semiconductor memory device
KR20090028012A (en) High voltage generator

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
J201 Request for trial against refusal decision
AMND Amendment
B701 Decision to grant
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20100315

Year of fee payment: 5

LAPS Lapse due to unpaid annual fee