KR19990071137A - Precise positioning device and method for 2-axis linear motor - Google Patents

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KR19990071137A KR1019980006403A KR19980006403A KR19990071137A KR 19990071137 A KR19990071137 A KR 19990071137A KR 1019980006403 A KR1019980006403 A KR 1019980006403A KR 19980006403 A KR19980006403 A KR 19980006403A KR 19990071137 A KR19990071137 A KR 19990071137A
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박금생
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이종수
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Abstract

2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정장치 및 방법은 2-축 선형 모터의 시 그 이송 위치를 피드백하여 정밀한 위치를 결정하도록 하기 위한 것으로서, 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정장치는 제 1 및 제 2 리니어 모터 구동부와 평판을 구비한 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정장치에 있어서, 제 1 및 제 2 리니어 모터 구동부의 구동 신호에 따라 구동되어 소정 위치로 이송되는 2축 리니어 모터와, 상기 2축 리니어 모터의 하부에 형성되어 상기 2축 리니어 모터의 이송에 따라 상기 평판에 광을 송출한 후 반사되는 신호를 수광하는 광 센싱수단과, 상기 광 센싱수단에서 수광된 신호의 차를 소정 레벨로 증폭한 후 그에 상응하는 펄스를 발생하는 신호 증폭 및 펄스 발생수단과, 상기 신호 증폭 및 펄스 발생수단에서 발생된 펄스의 수를 카운팅한 후 이를 내부의 메로리에 저장하는 펄스 카운트수단과, 상기 제 1 및 제 2 리니어 모터 구동부로 제어신호를 출력하거나 상기 펄스 카운트수단에 저장된 피드백하여 그 피드백된 펄스수에 따라 상기 평판상의 2축 리니어 모터의 이송을 제어하는 모션 제어수단으로 구성됨에 그 요지가 있다.Precise positioning device and method for a two-axis linear motor is to feed back the feed position of the two-axis linear motor to determine the precise position. A precise positioning device for a two-axis linear motor having a two linear motor drive unit and a flat plate, comprising: a two-axis linear motor driven according to a drive signal of the first and second linear motor drive units and transported to a predetermined position; A light sensing means formed at a lower portion of the axial linear motor to receive the reflected signal after transmitting light to the plate according to the transfer of the two-axis linear motor, and a difference between the signal received by the light sensing means to a predetermined level Signal amplification and pulse generating means for amplifying and generating a pulse corresponding thereto, and counting the number of pulses generated by the signal amplification and pulse generating means and counting them. A pulse counting means for storing in a negative memory and a control signal output to the first and second linear motor driving units or feedback stored in the pulse counting means to transfer the two-axis linear motor on the plate according to the feedback pulse number. The gist of the present invention consists of a motion control means for controlling.

Description

2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정장치 및 방법Precise positioning device and method for 2-axis linear motor

본 발명은 2-축 선형 모터에 관한 것으로, 특히 2-축 선형 모터의 시 그 이송 위치를 피드백하도록 한 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a two-axis linear motor, and more particularly, to a precise positioning device and method for a two-axis linear motor to feed back the feed position of the two-axis linear motor.

이하, 종래 기술에 따른 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정장치에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings for a precise positioning device of a two-axis linear motor according to the prior art as follows.

도 1 은 종래 기술에 따른 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정장치를 나타낸 개략 구성도로서, 평판상의 2축 리니어 모터(1)를 일정한 위치로 이동시키기 위한 X방향 펄스와, Y방향 펄스를 출력하는 모션 제어부(2)와, 상기 모션 제어부(2)의 X방향 펄스에 따라 상기 평판상의 2축 리니어 모터(1)를 X방향으로 이동시키는 제 1 리니어 모터 구동부(3)와, 상기 모션 제어부(2)의 Y방향 펄스에 따라 상기 평판상의 2축 리니어 모터(1)를 Y방향으로 이동시키는 제 2 리니어 모터 구동부(4)로 구성된다.1 is a schematic configuration diagram showing a precise positioning device of a two-axis linear motor according to the prior art, and outputs an X-direction pulse and a Y-direction pulse for moving a two-axis linear motor 1 on a plate to a fixed position. A motion control unit 2, a first linear motor drive unit 3 for moving the flat 2-axis linear motor 1 in the X direction according to the X-direction pulse of the motion control unit 2, and the motion control unit ( It consists of the 2nd linear motor drive part 4 which moves the said flat biaxial linear motor 1 to a Y direction according to the pulse of Y direction of 2).

이와 같이 구성된 종래 기술에 따른 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정장치의 동작을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the accompanying drawings, the operation of the precise positioning device of the two-axis linear motor according to the prior art configured as described in detail as follows.

먼저, 유저가 평판상의 소정 위치에 있는 2축 리니어 모터(1)를 일정 방향으로 이동시키기 위한 신호를 입력하면 모션 제어부(2)는 유저의 이동 방향 선택에 따른 모션 프로파일(motion profile)을 작성한 후 이에 따른 제어신호를 출력한다.First, when a user inputs a signal for moving the two-axis linear motor 1 at a predetermined position on the flat plate in a predetermined direction, the motion control unit 2 creates a motion profile according to the user's moving direction selection. This outputs a control signal.

즉 모션 제어부(2)는 상기 작성된 모션 프로파일(motion profile)에 따라 평판상의 소정 위치에 있는 2축 리니어 모터(1)를 일정한 위치로 이동시키기 위한 X, Y방향 펄스를 출력한다.That is, the motion control unit 2 outputs X and Y direction pulses for moving the two-axis linear motor 1 at a predetermined position on the flat plate according to the created motion profile.

이때 모션 제어부(2)는 상기 X, Y방향 펄스를 상기 모션 프로파일(motion profile)에 따라 동시 또는 각각 다른 시간에 출력한다.In this case, the motion control unit 2 outputs the X and Y direction pulses at the same time or at different times according to the motion profile.

그러면 제 1 리니어 모터 구동부(3)는 상기 출력된 X방향 펄스에 따라 적절한 전류 신호를 발생시켜 상기 2축 리니어 모터(1)를 구동하여 상기 평판상의 소정 위치로부터 상기 X방향 펄스에 상응하는 X축 방향의 일정한 위치로 이동시키게 된다.Then, the first linear motor driver 3 generates an appropriate current signal according to the output X-direction pulse to drive the two-axis linear motor 1 to correspond to the X-axis pulse from a predetermined position on the flat plate. It moves to a certain position in the direction.

아울러 제 2 리니어 모터 구동부(4)는 상기 출력된 Y방향 펄스에 따라 적절한 전류 신호를 발생시켜 상기 2축 리니어 모터(1)를 구동하여 상기 평판상의 소정 위치로부터 상기 Y방향 펄스에 상응하는 Y축 방향의 일정한 위치로 이동시키게 된다.In addition, the second linear motor driver 4 generates an appropriate current signal according to the output Y-direction pulse to drive the 2-axis linear motor 1 to correspond to the Y-axis pulse from a predetermined position on the flat plate. It moves to a certain position in the direction.

여기서 2축 리니어 모터(1)의 구동 방향은 상기 모션 제어부(2)이 제어신호에 따라 변하게 된다.Here, the driving direction of the two-axis linear motor 1 is changed by the motion control unit 2 in accordance with the control signal.

그러나 종래 기술에 따른 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정장치는 X, Y방향의 펄스수에 상응하는 위치로 모터를 이동한 후 이에 따른 위치가 피드백되지 않음으로써 모터의 이탈 방지를 위하여 모터의 속도 및 가속도의 제한이 있고 모터의 이탈을 감지할 수 있는 장치를 필요로 하였다.However, the precise positioning device of a two-axis linear motor according to the prior art moves the motor to a position corresponding to the number of pulses in the X and Y directions, and the position thereof is not fed back so that the speed of the motor is prevented to prevent the departure of the motor. In addition, there is a need for a device capable of detecting a deviation of the motor and limiting acceleration.

또한, 종래 기술은 위치의 피드백이 없으므로 인하여 일정한 수치이하로 정밀도를 제어할 수 없고 스테핑 모터의 특성상의 오실레이션에 의한 세틸링 타임만큼의 시스템의 수행손실이 발생하는 문제점이 있다.In addition, the prior art has a problem that can not control the precision to a certain value or less because there is no feedback of the position, the performance loss of the system by the time of the stirling due to the oscillation on the characteristics of the stepping motor.

따라서 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 2-축 선형 모터의 이송시 그 이송 위치를 피드백하여 정밀한 위치를 결정하도록 하기 위한 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, to provide a precise positioning device for a two-axis linear motor for determining a precise position by feeding back the feed position during the transfer of the two-axis linear motor The purpose is.

또한, 상기와 같은 장치에 상응하는 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정방법을 제공하는데 그 목적이 있다.It is also an object of the present invention to provide a precise positioning method of a two-axis linear motor corresponding to the above apparatus.

도 1 - 종래 기술에 따른 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정장치를 나타낸 개략 구성도1-schematic configuration diagram showing a precise positioning device of a two-axis linear motor according to the prior art

도 2 - 본 발명에 따른 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정장치를 나타낸 구성도2-a block diagram showing a precise positioning device of a two-axis linear motor according to the present invention

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts of the drawings

110 : 2축 리니어 모터 120 : 광 센서 어레이110: 2-axis linear motor 120: optical sensor array

130 : 평판 140 : 신호 증폭 및 펄스 발생부130: plate 140: signal amplification and pulse generator

150 : 펄스 카운트부 160 : 모션 제어부150: pulse counting unit 160: motion control unit

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정장치의 특징은, 제 1 및 제 2 리니어 모터 구동부와 평판을 구비한 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정장치에 있어서, 제 1 및 제 2 리니어 모터 구동부의 구동 신호에 따라 구동되어 소정 위치로 이송되는 2축 리니어 모터와, 상기 2축 리니어 모터의 하부에 형성되어 상기 2축 리니어 모터의 이송에 따라 상기 평판에 광을 송출한 후 반사되는 신호를 수광하는 광 센싱수단과, 상기 광 센싱수단에서 수광된 신호의 차를 소정 레벨로 증폭한 후 그에 상응하는 펄스를 발생하는 신호 증폭 및 펄스 발생수단과, 상기 신호 증폭 및 펄스 발생수단에서 발생된 펄스의 수를 카운팅한 후 이를 내부의 메로리에 저장하는 펄스 카운트수단과, 상기 제 1 및 제 2 리니어 모터 구동부로 제어신호를 출력하거나 상기 펄스 카운트수단에 저장된 펄스수를 피드백하여 그 피드백된 펄스수에 따라 상기 평판상의 2축 리니어 모터의 이송을 제어하는 모션 제어수단을 포함하여 구성되는데 있다.A feature of the precise positioning device of a two-axis linear motor according to the present invention for achieving the above object is a precision positioning device of a two-axis linear motor having a first and second linear motor drive unit and a flat plate. And a two-axis linear motor driven according to a drive signal of the first and second linear motor driving units and fed to a predetermined position, and formed on a lower portion of the two-axis linear motor, to the flat plate according to the transfer of the two-axis linear motor. Light sensing means for receiving the reflected signal after transmitting the light, signal amplification and pulse generating means for amplifying a difference between the signal received by the light sensing means to a predetermined level and generating a corresponding pulse, and the signal A pulse counting means for counting the number of pulses generated by the amplification and pulse generating means and storing the number of pulses in the internal memory, and the first and second linear motor driving parts. And a motion control means for outputting the fish signal or feeding back the number of pulses stored in the pulse counting means and controlling the transfer of the two-axis linear motor on the plate according to the number of the fed back pulses.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정방법의 특징은, 2축 리니어 모터의 이송에 따라 평판으로 광을 송출한 후 상기 평판 치형의 산과 골에 따라 반사되는 신호를 수광하여 그 수광된 신호의 차를 증폭한 후 그에 따른 펄스를 발생하고 그 발생된 펄스의 수를 카운트하여 저장한 후 필요한 경우 상기 저장된 펄스의 수를 피드백하여 그 피드백된 펄스수에 따라 정밀한 위치를 결정하는데 있다.A feature of the precise positioning method of a two-axis linear motor according to the present invention for achieving the above object is that, after the light is sent to the plate in accordance with the transfer of the two-axis linear motor is reflected along the peaks and valleys of the plate teeth After receiving the received signal and amplifying the difference between the received signal and generating a pulse accordingly, counting and storing the number of the generated pulse, and if necessary feeds back the number of stored pulses according to the feedback pulse number In determining the precise position.

이하, 본 발명에 따른 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정장치 및 방법의 바람직한 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a preferred embodiment of a precise positioning device and method for a two-axis linear motor according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2 는 본 발명에 따른 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정장치의 구성도를 나타낸 것으로서, 제 1 및 제 2 리니어 모터 구동부(미도시)의 구동 신호에 따라 구동되어 소정 위치로 이송되는 2축 리니어 모터(110)와, 상기 2축 리니어 모터(110)의 하부에 형성되어 상기 2축 리니어 모터(110)의 이송에 따라 평판(130)에 광을 송출한 후 반사되는 신호를 수광하는 광 센서 어레이(120)와, 상기 광 센서 어레이(120)에서 수광된 신호의 차를 소정 레벨로 증폭한 후 그에 상응하는 펄스를 발생하는 신호 증폭 및 펄스 발생부(140)와, 상기 신호 증폭 및 펄스 발생부(140)에서 발생된 펄스의 수를 카운팅한 후 이를 내부의 메로리에 저장하는 펄스 카운트부(150)와, 상기 제 1 및 제 2 리니어 모터 구동부로 제어신호를 출력하거나 상기 펄스 카운트부(150)에 저장된 펄스수를 피드백하여 그 피드백된 펄스수에 따라 상기 평판(130)상의 2축 리니어 모터(110)의 이송을 제어하는 모션 제어부(160)로 구성된다.2 is a block diagram of a precise positioning device of a two-axis linear motor according to the present invention, which is driven in accordance with a drive signal from a first and a second linear motor driver (not shown) and is moved to a predetermined position. An optical sensor formed under the linear motor 110 and the two-axis linear motor 110 to receive the reflected signal after transmitting light to the flat plate 130 according to the transfer of the two-axis linear motor 110. A signal amplification and pulse generator 140 for amplifying a difference between the array 120 and the signal received by the optical sensor array 120 to a predetermined level and generating a corresponding pulse, and the signal amplification and pulse generation The pulse counting unit 150 counts the number of pulses generated by the unit 140 and stores them in the internal memory, and outputs a control signal to the first and second linear motor driving units or outputs the pulse counting unit 150. Feedback the number of pulses stored in And a motion control unit 160 for controlling the transfer of the biaxial linear motor 110 on the flat plate 130 according to the number of feedback pulses.

상기 평판(130)은 일정한 패턴의 치형의 산(131)과 치형의 골(132)로 구성된다.The flat plate 130 is composed of a tooth 131 and a tooth 132 of a tooth of a predetermined pattern.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정장치 및 방법에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Precise positioning apparatus and method for a two-axis linear motor according to the present invention configured as described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 유저가 평판(130)상의 소정 위치에 있는 2축 리니어 모터(110)를 일정 방향으로 이동시키기 위한 신호를 입력하면 모션 제어부(160)는 유저의 이동 방향 선택에 따른 모션 프로파일(motion profile)을 작성한 후 이에 따른 제어신호를 출력한다.First, when a user inputs a signal for moving the two-axis linear motor 110 at a predetermined position on the flat plate 130 in a predetermined direction, the motion controller 160 may generate a motion profile according to the user's movement direction selection. After writing, output the control signal accordingly.

여기서 상기 평판(130)은 일정한 패턴의 치형의 산(131)과 골(132)로 형성되어 있으며 모션 제어부(160)는 상기 평판(130)상의 2축 리니어 모터(110)의 이송시 각 샘플링 타임마다 이송 위치를 검출하여 기 저장한다.Here, the flat plate 130 is formed of a tooth 131 and a valley 132 of a tooth of a predetermined pattern, the motion control unit 160 each sampling time during the transfer of the 2-axis linear motor 110 on the flat plate 130 Each time the transfer position is detected and stored.

즉 모션 제어부(160)는 상기 작성된 모션 프로파일(motion profile)에 따라 평판상의 소정 위치에 있는 2축 리니어 모터(110)를 일정한 위치로 이동시키기 위한 X, Y방향 펄스를 출력한다.That is, the motion controller 160 outputs X and Y direction pulses for moving the two-axis linear motor 110 at a predetermined position on the flat plate according to the created motion profile.

이때 모션 제어부(160)는 상기 X, Y방향 펄스를 상기 모션 프로파일(motion profile)에 따라 동시 또는 각각 다른 시간에 출력한다.In this case, the motion controller 160 outputs the X and Y direction pulses at the same time or at different times according to the motion profile.

그러면 제 1 리니어 모터 구동부는 상기 출력된 X방향 펄스에 따라 적절한 전류 신호를 발생시켜 상기 2축 리니어 모터(110)를 구동하여 상기 평판(130)상의 소정 위치로부터 상기 X방향 펄스에 상응하는 X축 방향의 일정한 위치로 이동시키게 된다.Then, the first linear motor driver generates an appropriate current signal according to the output X-direction pulse to drive the 2-axis linear motor 110 to correspond to the X-axis pulse from a predetermined position on the flat plate 130. It moves to a certain position in the direction.

아울러 제 2 리니어 모터 구동부는 상기 출력된 Y방향 펄스에 따라 적절한 전류 신호를 발생시켜 상기 2축 리니어 모터(1)를 구동하여 상기 평판(130)상의 소정 위치로부터 상기 Y방향 펄스에 상응하는 Y축 방향의 일정한 위치로 이동시키게 된다.In addition, the second linear motor driver generates an appropriate current signal according to the output Y-direction pulse to drive the 2-axis linear motor 1 to correspond to the Y-axis pulse from a predetermined position on the flat plate 130. It moves to a certain position in the direction.

여기서 2축 리니어 모터(110)의 구동 방향은 상기 모션 제어부(160)이 제어신호에 따라 변하게 된다.Here, the driving direction of the two-axis linear motor 110 is changed by the motion control unit 160 in accordance with the control signal.

이와 같은 상태에서 상기 2축 리니어 모터(110)의 하부에 형성된 광 센서 어레이(120)는 상기 평판(130)으로 광을 송출한다.In this state, the optical sensor array 120 formed below the biaxial linear motor 110 transmits light to the flat plate 130.

이후 광 센서 어레이(120)는 상기 송출된 광이 평판(130)의 치형의 산(131)과 골(132)에 따라 반사되는 신호를 수광하여 출력한다.Then, the optical sensor array 120 receives and outputs a signal reflected by the transmitted light according to the tooth 131 and the valley 132 of the tooth plate 130.

그러면 신호 증폭 및 펄스 발생부(140)는 상기 출력된 신호의 차를 소정 레벨로 증폭한 후 그에 상응하는 펄스를 발생한다.Then, the signal amplification and pulse generator 140 amplifies the difference between the output signal to a predetermined level and generates a corresponding pulse.

이에 따라 펄스 카운트부(150)는 상기 발생된 펄스의 수를 카운팅한 후 이를 내부의 메로리에 저장한다.Accordingly, the pulse counting unit 150 counts the number of generated pulses and stores them in the internal memory.

이후 모션 제어부(160)는 필요한 경우 상기 상기 펄스 카운트부(150)에 저장된 펄스수를 피드백하여 그 피드백된 펄스수에 따라 상기 평판(130)상의 2축 리니어 모터(110)의 이송을 제어한다.Then, the motion control unit 160 feeds back the number of pulses stored in the pulse counting unit 150 if necessary and controls the transfer of the 2-axis linear motor 110 on the plate 130 according to the feedback pulse number.

즉 모션 제어부(160)는 상기 피드백된 펄스수와 모션의 치형의 거리만큼 승산하여 이동 거리하거나 상기 산출된 이동 거리를 각 샘플링 타임마다 산정된 위치로 제산하여 이송 속도를 검출하여 상기 2축 리니어 모터(110)의 이송을 제어한다.That is, the motion controller 160 multiplies the number of feedback pulses by the distance of the teeth of the motion, or divides the calculated movement distance to a position calculated for each sampling time to detect a feed speed, thereby detecting the two-axis linear motor. Control the transfer of 110.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정장치 및 방법은 2-축 선형 모터의 시 그 이송 위치를 피드백하여 위치를 제어함으로써 종래 모터의 사용보다 속도와 가속도를 이탈의 문제없이 모터의 성능 사양까지 높일 수 있는 효과가 있다.As described above, the precise positioning device and method for a two-axis linear motor according to the present invention provide feedback of the feed position of the two-axis linear motor to control its position, thereby deviating from the speed and acceleration of the conventional motor. This can increase the performance specifications of the motor without problems.

또한, 본 발명은 피드백된 위치에 따라 속도 제어가 가능함으로써 모션의 스무씽(smoothing)과 세틸링 타임(settling time)을 줄여 전체적인 시스템의 성능 향상 및 드로우-풋(through-put;처리량)을 혁신적으로 향상시킬 수 있는 이점도 있다.In addition, the present invention can control the speed according to the feedback position, thereby reducing the smoothing and the settling time of the motion, thereby improving the performance of the overall system and improving the throughput of the through-put. There is also an advantage that can be improved.

Claims (6)

제 1 및 제 2 리니어 모터 구동부와 평판을 구비한 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정장치에 있어서,In the precise positioning device of a two-axis linear motor having a first and second linear motor drive unit and a flat plate, 제 1 및 제 2 리니어 모터 구동부의 구동 신호에 따라 구동되어 소정 위치로 이송되는 2축 리니어 모터와;A two-axis linear motor driven according to a drive signal of the first and second linear motor driver and fed to a predetermined position; 상기 2축 리니어 모터의 하부에 형성되어 상기 2축 리니어 모터의 이송에 따라 상기 평판에 광을 송출한 후 반사되는 신호를 수광하는 광 센싱수단과;Optical sensing means formed under the two-axis linear motor and receiving a signal reflected after transmitting the light to the plate according to the transfer of the two-axis linear motor; 상기 광 센싱수단에서 수광된 신호의 차를 소정 레벨로 증폭한 후 그에 상응하는 펄스를 발생하는 신호 증폭 및 펄스 발생수단과;Signal amplification and pulse generating means for amplifying the difference between the signals received by the optical sensing means to a predetermined level and generating a corresponding pulse; 상기 신호 증폭 및 펄스 발생수단에서 발생된 펄스의 수를 카운팅한 후 이를 내부의 메로리에 저장하는 펄스 카운트수단과;Pulse counting means for counting the number of pulses generated by the signal amplification and pulse generating means and storing the number of pulses in an internal memory; 상기 제 1 및 제 2 리니어 모터 구동부로 제어신호를 출력하고 필요한 경우 상기 펄스 카운트수단에 저장된 펄스수를 피드백하여 그 피드백된 펄스수에 따라 상기 평판상의 2축 리니어 모터의 이송을 제어하는 모션 제어수단을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정장치.A motion control means for outputting a control signal to the first and second linear motor driving units and, if necessary, feeding back the number of pulses stored in the pulse counting means and controlling the transfer of the two-axis linear motor on the plate according to the feedback pulse number. Precise positioning device for a 2-axis linear motor, characterized in that configured to include. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 광 센싱수단은 광 센서 어레이임을 특징으로 하는 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정장치.The optical sensing device is a precise positioning device of a two-axis linear motor, characterized in that the optical sensor array. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 신호 증폭 및 펄스 발생수단의 펄스는 상기 평판 치형의 산과 골에 광을 송출한 후 반사되는 신호의 차에 의해 발생됨을 특징으로 하는 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정장치.The pulse of the signal amplification and pulse generating means is a precise positioning device of a two-axis linear motor, characterized in that is generated by the difference between the signal reflected after the light is sent to the mountain and valley of the flat tooth. 2축 리니어 모터의 이송에 따라 평판으로 광을 송출한 후 상기 평판 치형의 산과 골에 따라 반사되는 신호를 수광하는 단계와;Transmitting light to the plate according to the transfer of the biaxial linear motor and receiving a signal reflected by the peaks and valleys of the plate tooth; 상기 수광된 신호의 차를 증폭한 후 그에 상응하는 펄스를 발생하는 단계와;Amplifying the difference between the received signals and generating a corresponding pulse; 상기 발생된 펄스의 수를 카운트하여 저장하는 단계와;Counting and storing the number of generated pulses; 필요한 경우 상기 저장된 펄스의 수를 피드백하여 그 피드백된 펄스수에 따라 정밀한 위치를 결정하는 단계로 이루어짐을 특징으로 하는 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정방법.And if necessary, feeding back the number of stored pulses to determine a precise position according to the number of feedback pulses. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 펄스를 발생하는 단계에서의 펄스는 상기 송출된 광이 평판의 치형의 산과 골에 따라 반사되는 신호의 차에 의해 발생됨을 특징으로 하는 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정방법.The pulse in the step of generating the pulse is a precise positioning method of a two-axis linear motor, characterized in that the emitted light is generated by the difference of the signal reflected along the peak and the valley of the tooth of the plate. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 정밀한 위치를 결정하는 단계는 상기 피드백된 펄스수와 모션의 치형의 거리만큼 승산하여 이동 거리를 산출하는 단계와;The determining of the precise position may include calculating a moving distance by multiplying the number of feedback pulses by a distance of a tooth of motion; 상기 산출된 이동 거리를 기 설정된 각 샘플링 타임마다 산정된 위치로 제산하여 이송 속도를 검출하는 단계를 더 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 2-축 선형 모터의 정밀한 위치 결정방법.And dividing the calculated moving distance to a position calculated for each preset sampling time to detect a feed rate. 2.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100857607B1 (en) * 2006-03-31 2008-09-16 (주)와이티에스 Control apparatus for LCD panel cutting machine

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