KR19990070783A - High Density Data Storage Using Ferroelectric - Google Patents

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이내성
한인택
김병만
유인경
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윤종용
삼성전자 주식회사
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    • H10B53/00Ferroelectric RAM [FeRAM] devices comprising ferroelectric memory capacitors
    • H10B53/30Ferroelectric RAM [FeRAM] devices comprising ferroelectric memory capacitors characterised by the memory core region

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Abstract

본 발명은, 기판 상에 하부 전극, 강유전체가 순착적으로 적층된 데이터 저장 메디어와, 상기 데이터 저장 메디어에 국부적인 전계를 형성하기 위한 팁과, 상기 팁을 고정시키는 팁 홀더를 구비한 고밀도 데이터 저장 장치에 관한 것으로서, 특히 데이터 저장 메디어의 강유전체 상에 다이아몬드-라이크 카본(DLC; Diamond-Like Carbon) 박막이 적층된 점에 그 특징이 있다. 이에 따르면, 니어 컨택트(near contact) 혹은 풀 컨택트(full contact) 모드에서도 마찰 및 마모 특성이 개선되는 이점이 있다.The present invention provides a high-density data storage including a data storage medium in which lower electrodes and ferroelectrics are stacked on a substrate, a tip for forming a local electric field in the data storage medium, and a tip holder for fixing the tip. In particular, the device is characterized in that a diamond-like carbon (DLC) thin film is laminated on a ferroelectric material of a data storage medium. Accordingly, there is an advantage that the friction and wear characteristics are improved even in the near contact or the full contact mode.

Description

강유전체를 이용한 고밀도 데이터 저장 장치High Density Data Storage Using Ferroelectric

본 발명은 강유전체를 이용한 고밀도 데이터 저장 장치(High Density Data Storage System)에 관한 것이다.The present invention relates to a high density data storage system using a ferroelectric.

일반적으로, 물체의 표면 상태를 분석하기 위하여 AFM(Atomic Force Microscope) 또는 STM(Scanning Tunneling Microscope; STM)을 사용한다. 이 경우에, 팁을 물체의 표면에 주사(scanning) 하면서 분석하는데, 팁과 물체 사이의 전기적 바이어스(bias)를 걸어주면 STM 모드(mode), 바이어스가 없으면 AFM 모드로 분류한다.Generally, AFM (Atomic Force Microscope) or STM (Scanning Tunneling Microscope) is used to analyze the surface state of an object. In this case, the tip is analyzed while scanning the surface of the object, and the electrical bias between the tip and the object is applied, and the STM mode is classified, and if there is no bias, the AFM mode is classified.

이와 같이 STM 모드를 사용한 고밀도 데이터 저장 장치의 구동 방법은 도 1에 도시된 바와 같다. 도전성 물질로 형성된 팁(1)이 일단에 형성된 팁 홀더(2)와 데이터 저장 메디어인 강유전체(4) 간에 전압을 인가하여 도전성 팁(1)과 강유전체(4) 사이에 전계(3)를 형성함으로써 강유전체(4) 박막 위에 데이터를 기록하게 된다. 이 때, 비트(bit) 크기는 팁(1)과 강유전체(4) 사이의 전계 분포에 의해 결정되므로, 기록 밀도는 팁(1)과 강유전체(4) 사이의 거리에 좌우된다. 따라서, 기록 밀도를 향상시키기 위해서는, 팁(1)과 강유전체(4) 사이의 거리를 가깝게 하는 니어 컨택트 모드(near contact mode) 또는 팁(1)과 강유전체(4)를 접촉시키는 풀 컨택트 모드(full contact mode)에서 고밀도 데이터 저장 장치를 작동시켜야 한다.As described above, the method of driving the high density data storage device using the STM mode is illustrated in FIG. 1. By applying a voltage between the tip holder 2 formed at one end of the conductive material 1 and the ferroelectric 4 which is a data storage medium, the electric field 3 is formed between the conductive tip 1 and the ferroelectric 4 Data is recorded on the thin film of the ferroelectric 4. At this time, since the bit size is determined by the electric field distribution between the tip 1 and the ferroelectric 4, the recording density depends on the distance between the tip 1 and the ferroelectric 4. Therefore, in order to improve the recording density, a near contact mode that closes the distance between the tip 1 and the ferroelectric 4 or a full contact mode that brings the tip 1 and the ferroelectric 4 into contact with each other. High density data storage must be operated in contact mode.

그런데, 이와 같은 고밀도 데이터 저장 장치에서 강유전체는 고속으로 회전한다. 따라서, 상기 니어 컨택트 모드 혹은 풀 컨택트 모드에서 동작하는 고밀도 데이터 저장 장치에서는, 강유전체의 회전에 따른 진동이 발생되기 쉽고, 이로 인한 팁과 강유전체 사이의 마찰 및 마모가 발생하여 수명이 단축되는 문제가 있다.However, in such a high density data storage device, the ferroelectric rotates at high speed. Therefore, in the high-density data storage device operating in the near contact mode or the full contact mode, vibration due to the rotation of the ferroelectric tends to occur, which causes friction and wear between the tip and the ferroelectric, thereby shortening the lifespan. .

본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위하여 창출된 것으로서, 니어 컨택트 모드 또는 풀 컨택트 모드에서 마찰 및 마모 특성이 개선된 강유전체를 이용한 고밀도 데이터 저장 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a high-density data storage device using a ferroelectric having improved friction and wear characteristics in a near contact mode or a full contact mode.

도 1은 종래의 고밀도 데이터 저장 장치를 나타내 보인 도면.1 is a view showing a conventional high density data storage device.

도 2는 본 발명에 따른 고밀도 데이터 저장 장치의 니어 컨택트 모드를 나타내 보인 도면.2 illustrates a near contact mode of a high density data storage device in accordance with the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 고밀도 데이터 저장 장치의 풀 컨택트 모드를 나타내 보인 도면.3 illustrates a full contact mode of a high density data storage device in accordance with the present invention.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for the main parts of the drawings

10...팁 홀더10 ... tip holder

20...전도성 다이아몬드-라이크 카본(DLC) 박막이 증착된 팁20 ... tip deposited conductive diamond-like carbon (DLC) thin film

30...데이터 저장 메디어 310...기판30 ... Data Storage Media 310 ... Substrate

320...하부 전극 330...강유전체320 ... bottom electrode 330 ... ferroelectric

340...다이아몬드-라이크 카본(DLC) 박막340 Diamond-like Carbon (DLC) Thin Films

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 강유전체를 이용한 고밀도 데이터 저장 장치는, 기판 상에 하부 전극, 강유전체가 순착적으로 적층된 데이터 저장 메디어; 상기 데이터 저장 메디어에 국부적인 전계를 형성하기 위한 팁; 및 상기 팁을 고정시키는 팁 홀더;를 구비한 고밀도 데이터 저장 장치에 있어서, 상기 데이터 저장 메디어의 강유전체 상에 다이아몬드-라이크 카본(DLC) 박막이 적층된 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the high-density data storage device using a ferroelectric according to the present invention, the data storage medium in which the lower electrode, the ferroelectric is deposited on the substrate; A tip for forming an electric field local to the data storage media; And a tip holder for fixing the tip, wherein the thin film has a diamond-like carbon (DLC) thin film laminated on the ferroelectric of the data storage medium.

본 발명에 있어서, 상기 팁에는 전도성 다이아몬드-라이크 카본(DLC) 박막, 전도성 세라믹 및 전도성 다이아몬드 박막이 증착된 것이 바람직하다. 이 경우에, 상기 팁에 증착된 상기 전도성 다이아몬드-라이크 카본 박막 또는 상기 전도성 다이아몬드 박막은 p형 또는 n형으로 도핑된 것이 바람직하다.In the present invention, the tip is preferably a conductive diamond-like carbon (DLC) thin film, conductive ceramic and conductive diamond thin film is deposited. In this case, the conductive diamond-like carbon thin film or the conductive diamond thin film deposited on the tip is preferably doped with p-type or n-type.

그리고, 상기 강유전체 위에 증착된 상기 다이아몬드-라이크 카본 박막의 두께는 0.001㎛ 내지 1㎛인 것이 바람직하다.In addition, the thickness of the diamond-like carbon thin film deposited on the ferroelectric is preferably 0.001 μm to 1 μm.

상기 팁과 상기 다이아몬드-라이크 카본 박막 사이의 간격은 200㎚ 이하인 것이 바람직하다.The gap between the tip and the diamond-like carbon thin film is preferably 200 nm or less.

이하, 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 강유전체를 이용한 고밀도 데이터 저장 장치를 설명한다.Hereinafter, a high density data storage device using a ferroelectric according to the present invention with reference to the drawings.

본 발명에서는 강 유전체를 이용한 고밀도 데이터 저장 장치를 실현하기 위하여, 전도성 다이아몬드-라이크 카본(DLC; Diamond-Like Carbon) 박막이 증착된 팁(tip)을 사용하고, 데이터 저장 메디어로서 강유전체를 사용하되, 강유전체의 위에도 다이아몬드-라이크 카본(DLC; Diamond-Like Carbon) 박막을 증착시킨다.In the present invention, in order to realize a high-density data storage device using a steel dielectric, a tip on which a conductive diamond-like carbon (DLC) thin film is deposited is used, and a ferroelectric is used as a data storage medium. A diamond-like carbon (DLC) thin film is also deposited on the ferroelectric.

본 명세서에서, 다이아몬드-라이크 카본(DLC)은 수소화된 비정질 카본(hydrogenerated amorphous carbon), 사면형으로 결합된 비정질 카본(tetrahedrally bonded amorphous carbon) 등과 같이 경도가 높은 비정질 카본을 포함한다.In the present specification, diamond-like carbon (DLC) includes high hardness amorphous carbon such as hydrogenated amorphous carbon, tetrahedrally bonded amorphous carbon, and the like.

이와 같은 본 발명에 따르면, 팁과 다이아몬드-라이크 카본(DLC) 박막 사이의 간격을 매우 근접시키는 니어 컨택트(near contact) 상태 또는 팁과 다이아몬드-라이크 카본(DLC) 박막을 접촉시키는 풀 컨택트(full contact) 상태에서, 데이터 저장 메디어를 고속으로 회전시킬 수 있으므로 고밀도로 데이터를 저장할 수 있다. 이를 실시예를 들어 상세하게 설명하면 다음과 같다.According to the present invention, there is a near contact state that closely closes the gap between the tip and the diamond-like carbon (DLC) thin film or a full contact contacting the tip and the diamond-like carbon (DLC) thin film. ), The data storage media can be rotated at high speed, so that data can be stored at a high density. This will be described in detail with reference to Examples.

도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 강유전체를 이용한 고밀도 데이터 저장 장치를 나타내 보인 도면으로서, 도 2는 팁과 데이터 저장 메디어를 니어 컨택트 모드로 작동시키는 경우를 나타낸 도면이며, 도 3은 팁과 데이터 저장 메디어를 풀 컨택트 모드로 작동시키는 경우를 나타낸 도면이다.2 and 3 are diagrams illustrating a high-density data storage device using a ferroelectric according to the present invention, and FIG. 2 is a diagram illustrating a case where the tip and the data storage media are operated in the near contact mode, and FIG. 3 is a tip and data. A diagram showing a case where the storage media is operated in the full contact mode.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 고밀도 데이터 저장 장치는, 팁 홀더(10)에 의해 지지되는 팁(20) 및 데이터 저장 메디어(30)를 구비한다. 팁(20)에는 전도성 다이아몬드-라이크 카본(DLC) 박막, 전도성 세라믹 및 전도성 다이아몬드 박막이 증착된다. 이 경우에, 증착되는 전도성 다이아몬드-라이크 카본(DLC) 박막 또는 전도성 다이아몬드 박막은 p형(또는 n형)으로 도핑된다. 데이터 저장 메디어(30)는 기판(310), 하부 전극(320), 강유전체(330) 및 다이아몬드-라이크 카본(DLC) 박막(340)이 순차적으로 적층된 구조로 이루어져 있다. 다이아몬드-라이크 카본(DLC) 박막(340)의 두께는 0.001㎛ 내지 1㎛이다. 한편, 팁(20)과 다이아몬드-라이크 카본(DLC) 박막(340) 사이의 간격은 200㎚ 이하가 되도록 한다.As shown in FIGS. 2 and 3, the high density data storage device according to the present invention includes a tip 20 and a data storage medium 30 supported by the tip holder 10. Tip 20 is deposited with a conductive diamond-like carbon (DLC) thin film, conductive ceramic and conductive diamond thin film. In this case, the deposited conductive diamond-like carbon (DLC) thin film or conductive diamond thin film is doped to p-type (or n-type). The data storage media 30 has a structure in which a substrate 310, a lower electrode 320, a ferroelectric 330, and a diamond-like carbon (DLC) thin film 340 are sequentially stacked. The diamond-like carbon (DLC) thin film 340 has a thickness of 0.001 μm to 1 μm. On the other hand, the distance between the tip 20 and the diamond-like carbon (DLC) thin film 340 is to be 200nm or less.

이와 같은 구성의 강유전체를 이용한 고밀도 데이터 저장 장치는 다음과 같이 동작한다.A high density data storage device using a ferroelectric having such a configuration operates as follows.

먼저, 상부 전극의 역할을 하는 팁(20)과, 데이터 저장 메디어(30)의 하부 전극(320) 사이에 전계를 걸어준다. 이 전계에 의해 강유전체 물질(330) 내에는 분극 현상이 발생된다. 강유전체 물질(330) 내에서 발생되는 분극 현상은 팁(20)의 위치에 따라 국부적으로 발생되며, 분극된 영역(일반적으로 비트(bit)의 기준이 된다)의 크기는 팁(20)과 데이터 저장 메디어(30) 사이의 전계 분포에 의해 결정된다. 따라서, 팁(20)과 데이터 저장 메디어(30) 사이의 간격이 줄어들수록 등전계선(equi-potential electric field line)의 분포가 조밀하게 되어 분극된 영역이 작아지고, 이에 따라 데이터 저장의 고밀도율이 달성된다.First, an electric field is applied between the tip 20 serving as the upper electrode and the lower electrode 320 of the data storage medium 30. Due to this electric field, polarization occurs in the ferroelectric material 330. Polarization in the ferroelectric material 330 occurs locally depending on the position of the tip 20, and the size of the polarized region (typically a bit reference) is the tip 20 and data storage. It is determined by the electric field distribution between the media 30. Therefore, as the distance between the tip 20 and the data storage medium 30 decreases, the distribution of the equi-potential electric field line becomes dense and the polarized area becomes smaller, thereby increasing the density of data storage. Is achieved.

즉, 도 2에 도시된 바와 같이, 팁(20)과 데이터 저장 메디어(30)가 200㎚ 이하의 간격으로 이격되어 있는 니어 컨택트 모드인 경우에는, 그 거리가 감소할수록 팁(20)과 데이터 저장 메디어(30) 사이의 등전계선의 분포가 조밀해지며, 이에 따라 강유전체(330)에 형성되는 분극 영역의 크기가 줄어든다. 또한, 데이터 저장 메디어(30)가 고속으로 회전하더라도, 팁(20)에 증착된 전도성 다이아몬드-라이크 카본(DLC) 박막과, 강유전체(330) 위에 증착된 다이아몬드-라이크 카본(DLC)(340)으로 인하여, 마찰 및 마모 특성이 향상된다.That is, as shown in FIG. 2, when the tip 20 and the data storage medium 30 are in the near contact mode spaced apart at intervals of 200 nm or less, the tip 20 and the data storage are reduced as the distance decreases. The distribution of the isoelectric lines between the media 30 becomes dense, thereby reducing the size of the polarization region formed in the ferroelectric 330. Further, even if the data storage media 30 rotates at high speed, the conductive diamond-like carbon (DLC) thin film deposited on the tip 20 and the diamond-like carbon (DLC) 340 deposited on the ferroelectric 330 may be used. Due to this, the friction and wear characteristics are improved.

한편, 도 3에 도시된 바와 같이, 팁(20)과 데이터 저장 메디어(30)가 접촉되어 있는 풀 컨택트 모드인 경우에는, 팁(20)과 데이터 저장 메디어(30) 사이의 등전계선의 분포가 최대로 조밀해져서, 강유전체(330)에 형성되는 분극 영역의 크기가 최소화된다. 또한, 팁(20)과 고속으로 회전하는 데이터 저장 메디어(30) 사이의 풀 컨택트에 의해 저하되는 마찰 및 마모 특성은, 팁(20)에 증착된 전도성 다이아몬드-라이크 카본 박막과, 강유전체(330) 위에 증착된 다이아몬드-라이크 카본 박막(340)으로 인하여 개선된다.Meanwhile, as shown in FIG. 3, in the full contact mode where the tip 20 and the data storage medium 30 are in contact with each other, the distribution of the isoelectric line between the tip 20 and the data storage medium 30 is The density is maximized, and the size of the polarization region formed in the ferroelectric 330 is minimized. In addition, the friction and wear characteristics degraded by the full contact between the tip 20 and the data storage media 30 that rotates at high speed may include the conductive diamond-like carbon thin film deposited on the tip 20 and the ferroelectric 330. It is improved due to the diamond-like carbon thin film 340 deposited thereon.

이상의 설명에서와 같이, 본 발명에 따른 강유전체를 이용한 고밀도 데이터 저장 장치에 의하면, 팁(2)에 전도성 다이아몬드-라이크 카본 박막을 증착시키고, 강유전체(33) 위에 다이아몬드-라이크 카본 박막(34)을 증착시킴으로써, 니어 컨택트 혹은 풀 컨택트 모드에서도 마찰 및 마모 특성이 개선되어 소자의 수명이 연장되는 이점이 있다.As described above, according to the high-density data storage device using the ferroelectric according to the present invention, the conductive diamond-like carbon thin film is deposited on the tip 2 and the diamond-like carbon thin film 34 is deposited on the ferroelectric 33. In this way, the friction and wear characteristics are improved even in the near contact or full contact mode, thereby extending the life of the device.

Claims (5)

기판 상에 하부 전극, 강유전체가 순착적으로 적층된 데이터 저장 메디어;A data storage medium in which lower electrodes and ferroelectrics are sequentially stacked on the substrate; 상기 데이터 저장 메디어에 국부적인 전계를 형성하기 위한 팁; 및A tip for forming an electric field local to the data storage media; And 상기 팁을 고정시키는 팁 홀더;를 구비한 고밀도 데이터 저장 장치에 있어서,A high density data storage device having a tip holder for fixing the tip, comprising: 상기 데이터 저장 메디어의 강유전체 상에 다이아몬드-라이크 카본(DLC) 박막이 적층된 것을 특징으로 하는 고밀도 데이터 저장 장치.High density data storage device, characterized in that the diamond-like carbon (DLC) thin film is laminated on the ferroelectric of the data storage media. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 팁에는 전도성 다이아몬드-라이크 카본(DLC) 박막, 전도성 세라믹 및 전도성 다이아몬드 박막이 증착된 것을 특징으로 하는 고밀도 데이터 저장 장치.And a conductive diamond-like carbon (DLC) thin film, a conductive ceramic and a conductive diamond thin film deposited on the tip. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 팁에 증착된 상기 전도성 다이아몬드-라이크 카본 박막 또는 상기 전도성 다이아몬드 박막은 p형 또는 n형으로 도핑된 것을 특징으로 하는 고밀도 데이터 저장 장치.The conductive diamond-like carbon thin film or the conductive diamond thin film deposited on the tip is doped with p-type or n-type. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 강유전체 위에 증착된 상기 다이아몬드-라이크 카본 박막의 두께는 0.001㎛ 내지 1㎛인 것을 특징으로 하는 고밀도 데이터 저장 장치.The diamond-like carbon thin film deposited on the ferroelectric has a thickness of 0.001 μm to 1 μm. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 팁과 상기 다이아몬드-라이크 카본 박막 사이의 간격은 200㎚ 이하인 것을 특징으로 하는 고밀도 데이터 저장 장치.And a gap between the tip and the diamond-like carbon thin film is 200 nm or less.
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