KR19990066321A - 와이어본더 장비의 엑스와이제트축 구동장치 및 그의 위치제어방법 - Google Patents

와이어본더 장비의 엑스와이제트축 구동장치 및 그의 위치제어방법 Download PDF

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Abstract

1.청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
와이어본더 장비의 XYZ축 구동장치 및 그의 위치제어방법.
2. 발명이 해결하고자 하는 기술적 요지
본 발명은 XYZ 스테이지에 선형운동을 하는 리니어 모터를 직접 장착하여 별도의 직선 변환장치없이도 미세구동할 수 있고 고속 및 정밀제어가 가능한 XYZ축 구동장치 및 그의 위치제어방법을 제공함에 그 목적이 있다.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은 X축, Y축 운동을 안내하는 리니어 가이드부재; 인가되는 전원에 의해 유도 기전력을 발생시켜 상기 리니어 가이드부재에 X,Y축방향 직진 이동력을 제공하는 X,Y축구동수단; 인가되는 전원에 의해 유도 기전력을 발생시켜 본딩헤드의 이동블록에 상하방향인 Z축직진구동력을 제공하는 Z축 구동수단; 및 상기 본딩헤드의 이동블록과 와이어 클램프가 서로 반대방향으로 회동할 수 있도록 회동위치의 중심이 되어 Z축 구동수단의 직진구동력을 회동력으로 변환하는 힌지수단을 포함하는 와이어본더의 XYZ축 구동장치를 제공한다.
4. 발명의 중요한 용도
와이어본더 장비에서 X,Y, Z축 스테이지의 고속성능을 얻기 위한 것임.

Description

와이어본더 장비의 엑스와이제트축 구동장치 및 그의 위치제어방법.
본 발명은 반도체 패키지 조립공정을 수행하는 와이어 본딩장치에서, 본딩헤드를 본딩위치로 이송하여 본딩작업을 수행할 수 있도록 이송하는 XYZ축 구동장치 및 그의 위치제어방법에 관한 것으로, 특히 기구적인 구성요소를 간단히 하면서 X,Y,Z축으로 미세구동력을 제공하여 기계적인 마모없이 고속제어의 정밀도를 향상시킨 와이어본더 장비의 XYZ축 구동장치 및 그의 위치제어방법에 관한 것이다.
종래의 와이어본더 장비의 XYZ축 스테이지 구동장치는 로터리 서보모터를 사용함으로 인한 볼 스크류, 커플링등의 운동변환장치가 필요하게 되고 분해 조립시 세팅포인트(setting point)의 과다함으로 인한 분해 조립상의 어려움이 있었으며, 특히 모터에서위치를 환산함으로 인하여 마지막 위치 감지의 정밀도가 떨어지고 모터 구동력의 이동시스템의 질량 중심에 대한 이심으로 인하여 불필요한 운동 특성인 요잉(yawing), 피칭(pitching,), 롤링( rolling) 모멘트의 발생으로 시스템의 가이드 수명이 떨어지는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 상기의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, XYZ 스테이지에 선형운동을 하는 리니어 모터를 직접 장착하여 별도의 직선 변환장치없이도 미세구동할 수 있고 고속 및 정밀제어가 가능한 XYZ축 구동장치 및 그의 위치제어방법을 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 XYZ 스테이지를 이동시키는 리니어 모터와 위치측정을 위한 엔코더 시스템을 각각 분리하여 작동되도록 하므로써 스테이지의 마지막 위치 감지의 정밀도를 향상시킨 XYZ축 구동장치 및 그의 위치제어방법을 제공함에 다른 목적이 있다.
또한, 본 발명은 구성을 간단히 하면서 모터의 구동력을 직접 스테이지의 질량 중심에 인가하므로써 불필요한 구동 모멘트를 제거할 수 있고, 시스템 자체의 부피를 축소시킬 수 있는 XYZ축 구동장치 및 그의 위치제어방법을 제공함에 또 다른 목적이 있다.
도1은 본 발명에 의한 와이어본더 장비의 XYZ축 구동장치의 일실시예 구성을 나타낸 사시도.
도2는 본 발명의 요부인 XY축 리니어 모터의 구성을 나타낸 사시도.
도3a 및 도3b는 도2의 XY축 리니어모터의 작동을 설명하기 위한 개념도.
도4는 본 발명의 요부인 Z축 리니어 모터의 구성을 나타낸 분해 사시도.
도5는 본 발명의 요부인 Z축 리니어 모터의 조립사시도.
도6은 도4의 Z축 리니어모터의 작동을 설명하기 위한 개념도.
도7은 본 발명에 의한 와이어본더 장비의 XYZ축 구동장치의 위치제어를 위한 흐름도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 와이어클램프 2 : 캐필러리
3 : 이동블록 11 : 리니어 가이드 스테이지
12 : 인터페이스 13, 14 : XY축 리니어모터
31 : X축 리니어모터 32 : 힌지 에셈블리
51 : XY축 리니어 엔코더 52 : Z축 리니어 엔코더
53 : 변환기 54 : 위치제어기
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, X축, Y축 운동을 안내하는 리니어 가이드부재; 인가되는 전원에 의해 유도 기전력을 발생시켜 상기 리니어 가이드부재에 수평 및 수직 방향인 XY축방향 직진 이동력을 제공하는 X,Y축 구동수단; 인가되는 전원에 의해 유도 기전력을 발생시켜 본딩헤드의 이동블록에 상하방향인 Z축직진구동력을 제공하는 Z축 구동수단; 및 상기 본딩헤드의 이동블록과 와이어 클램프간가 서로 반대방향으로 회동할 수 있도록 회동위치의 중심이 되어 Z축 구동수단의 직진구동력을 회동력으로 변환하는 힌지수단을 포함하는 와이어본더의 XYZ축 구동장치를 제공한다.
또한, 본 발명은 위치제어기에서 리니어가이드 부재의 X축, Y축 위치좌표 및 캐필러리의 Z축 위치좌표를 계산하여 설정하는 단계; 상기 기설정된 위치에서 리니어 가이드 부재의 현재위치를 뺀 에러차를 구하는 단계; 상기 에러차에 대한 명령을 속도명령으로 변환하여 X,Y축 및 Z축 리니어모터를 구동시키는 단계; 이동블록에 장착된 엔코더를 통하여 X,Y축 및 Z축 리니어모터의 회전구동에 따른 위치변화값을 측정하는 단계; 및 상기 측정된 위치변화값을 리니어 위치 데이터로 변환하여 에러차를 구하는 단계로 피드백하는 단계를 포함하는 와이어본더의 XYZ축 구동장치의 위치제어방법을 제공한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
본 발명에 의한 와이어본더 장비의 XYZ축 구동장치 및 그의 위치제어방법은 기계적인 마모없이 고속성능의 정밀도를 향상시킬 수 있도록 구현한 것으로, 본 발명은 도1에 도시한 바와 같이 크게 본딩헤드 어셈블리, XY축 구동부, Z축 구동부 및 XYZ축 구동부의 위치제어부로 이루어진다.
이에 대한 각 구성을 상세히 설명하면, 먼저 본딩헤드 어셈블리는 와이어와 패드간을 본딩하는 캐필리러(2)가 구비된 와이어 클램프(1)와, 상기 와이어 클램프(1)에 이동력을 제공하는 이동블록(3)으로 구성되어 있다.
그리고, 상기 본딩헤드 어셈블리에 수평방향인 XY축 직선이동력을 제공하는 XY축 구동부는 다음과 같다.
상면에 상기 본딩헤드 어셈블리가 놓여지며 그에 X축, Y축운동을 안내하는 리니어 가이드 스테이지(11)와, 상기 리니어 가이드 스테이지(11)의 X축, Y축단부에 각각 장착된 인터페이스(12)와, 상기 인터페이스(12)에 장착되며 외부로부터 인가되는 전원에 의해 유도 기전력을 발생시켜 상기 인터페이스(12)에 XY축방향으로 자유직진구동력을 제공하는 XY축리니어 모터(13, 14)로 이루어져 있다.
또한, 상기 본딩헤드 어셈블리에 수직 직선이동력을 제공하는 Z축 구동부는 다음과 같다.
상기 본딩헤드 어셈블리의 이동블록(3) 후단부에 장착되어 그에 직진구동력을 제공하는 Z축 리니어모터(31)와, 상기 이동블록(3)과 와이어 클램프(1)간을 연결하여 그들의 회동중심이 되며, 또한 상기 이동블록(3)에 제공되는 Z축 리니어모터(31)의 직진구동력을 소정각도만큼 회동시키기 위한 회동력으로 변환하는 힌지 어셈블리(32)로 구성되어 있다.
여기서, 상기 XY축 리니어 모터(13, 14)는 도3에 도시된 바와 같이 내부에 홀(21a)이 관통되게 형성된 하우징(21)과, 상기 하우징(21)의 홀(21a) 상하면에 장착된 고정자석(22, 23)과, 상기 상하 고정자석(22, 23) 사이에 비접촉상태로 장착되며, 일단부가 상기 인터페이스(12)에 장착되어 외부로부터 전원을 인가받아 발생하는 유도 기전력에 의해 홀의 관통방향으로 자유직진 이동하는 이동코일(24)로 구성되어 있다.
상기와 같이 구성된 XY축 리니어모터(13, 14)의 동작을 설명하기 위한 개념을 도3a 및 3b를 통하여 간략히 설명한다.
도3a에 도시된 바와 같이 상측 고정자석(22)의 N극, S극과 하측 고정자석(23)의 N극, S극이 서로 반대로 대향되어 있는 상태에서 상기 이동코일(24)에 전원을 인가하게 되며, 도3b에 도시된 바와 같이 상기 이동코일(24)에 유도기전력을 발생시켜 자유직진이동하게 되는 것이며, 상기 이동코일(24)의 직진방향과 직각방향으로는 아무로 자장의 힘을 받지 않는다.
또한, 상기 Z축 리니어모터(31)는 와이어와 패드간의 접속을 수행하는 캐필러리(2)에 회동력을 전달하기 위한 구동원으로서, 도3에 도시된 바와 같이 소정간격을 두고 직립되게 장착된 양 측판(41a)과 상,하판(41b, 41c)으로 이루어진 본체(41)와, 상기 본체(41)의 양 측판(41a) 내면에 서로 반대의 극을 가지고 장착된 적어도 한쌍의 고정자석(42) 및 상기 본체(41)의 관통홀에 비접촉상태로 장착되어 유도 기전력에 의해 상하 자유직진이동하며, 일단부에 고정편(44)이 장착된 이동코일(43)으로 구성되어 있다.
본 발명에서의 상기 고정자석(42)은 양측판(41a)에 두 개씩 부착된 4개의 고정자석으로 이루어지며, 자극의 배열은 N-S극, S-N극 방향으로 서로 대향하는 면이 상극으로 배열되므로써 인력이 작용하도록 한 구조로 되어 있으며, 또한 상기 본체(41)의 상,하판(41b, 41c)의 일면에는 상기 이동코일(43)이 직진이동에 따른 충돌시 충격을 흡수할 수 있는 완충패드(45)가 장착된다.
상기 구성을 가지는 Z축 리니어 모터의 동작을 설명하기 위한 개념을 도6을 통하여 간략히 설명한다.
도면에 도시된 바와 같이 Z축 리니어 모터도 XTY축 리니어 모터와 동일한 동작 개념으로 이루어지는데, 단지 상기 Z축 리니어모터는 상하 직진이동을 하는 것이 다르다. 좀더 상세히 설명하면 양 측판(41a)에 장착되어 있는 고정자석(42)의 N극, S극이 서로 반대의 극성으로 대향되어 있는 상태에서 상기 이동코일(43)에 전원을 인가하게 됨에 따라 상기 이동코일(43)에 유도기전력이 발생하여 상하 자유직진이동하게 되는 것이며, 상기 이동코일(43)의 직진방향과 직각방향으로는 아무로 자장의 힘을 받지 않는다.
상기와 같은 개념으로 동작하는 XY축 리니어모터(13, 14)와 Z축 리니어모터(31)의 구성에서 상기 XY축 및 Z축 이동코일(24, 43)은 외부가 몰딩처리된 직사각형으로 납작하게 감긴 플랫타입 형상을 가지며, 외부가 몰딩처리되어 있다. 또한, 상기 고정자석과 이동코일 사이는 0.1 ∼0.2mm의 유격이 형성되어 있다.
상기와 같이 구성된 각 XYZ축 리니어모터(13, 14, 31)는 전원이 인가됨에 따라 X축, Y축, Z축방향운동이 동시에 발생되고 도한 고속운동을 할 수 있게 되는 것이다.
마지막으로, 상기 XYZ축 구동부의 XYZ축 구동위치를 제어하는 제어부는 다음과 같다.
상기 리니어 가이드 스테이지(11)와 인터페이스(12) 사이에 장착되어 XY축 리니어모터(13, 14)의 구동에 따른 위치변화를 감지하는 XY축 리니어 엔코더(51)와, 상기 이동블록(3)의 일측면에 장착되어 힌지 어셈블리(32)의 힌지점을 중심으로 한 상기 Z축 리니어모터(31)의 Z축 회동위치변화를 감지하는 Z축 리니어 엔코더(52)와 상기 캐필러리(2)의 하단부에 장착되어 Z축 리니어 엔코더(52)에서 출력되는 회전각 데이타를 캐필러리(2)가 운동하는 현재의 리니어 위치 데이터로 변환하는 변환기(53) 및 상기 XY축 리니어 엔코더(51)의 감지신호를 입력받고 기설정된 XY축값과 비교 연산한 XY축 좌표로서 XY축 리니어모터의 위치를 제어하고, 상기 Z축 리니어 엔코더(52)의 감지신호를 입력받아 상기 힌지 어셈블리의 힌지점에서 캐필러리(2) 끝단의 거리를 연산하여 얻은 Z축 좌표로서 캐필러리(2)의 Z축위치를 제어하는 위치제어기(54)로 구성된다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 XYZ축 구동장치의 위치제어를 도7의 흐름도를 기초하여 설명하면 다음과 같다.
도면에 도시된 바와 같이, 위치제어기(54)에서 리니어가이드 스테이지(11)의 X축, Y축 위치좌표 및 캐필러리(2)의 Z축 위치좌표를 계산하여 설정해 둔다(S121). 그리고, 상기 기설정된 위치에서 리니어 가이드 스테이지(11)의 현재위치를 뺀 에러차를 구한다(S122).
상기 위치제어기에서는 다시 산출된 에러차를 가지고 에러차에 대한 명령을 속도명령으로 변환하여 전력증폭기에 인가하게 되고, 상기 전력증폭기는 에러 명령에 상응하는 전압/전류를 X축,Y축 및 Z축 리니어 모터(13, 14, 31)에 인가하여 구동시킨다(S123, S124, S125, S126).
상기 X, Y축, Z축 리니어 모터(13, 14)의 구동에 따라 인터페이스(12)를 통하여 리니어 가이드 스테이지(11)에 전달되게 되며, 상기 리니어 가이드 스테이지(11)는 본딩헤드 어셈블리(1)가 X축, Y축으로 동시에 이동될 수 있도록 운동을 안내하게 된다.
또한, 리니어가이드 스테이지(11) 및 이동블록(3)에 각각 장착된 XYZ축 리니어 엔코더(51, 52)를 통하여 X,Y축 및 Z축 리니어모터의 회전구동에 따른 현재 위치변화값을 측정하고, 상기 측정된 위치변화값을 리니어 위치 데이터로 변환하여 에러차를 구하는 단계로 피드백하여 기존명령 위치와의 편차를 다시 위치제어기(54)에 인가하므로써 시스템의 전반적인 제어동작이 이루어진다(S127).
상기와 같이 구성된 본 발명의 작용상태를 설명하면 다음과 같다.
먼저, 위치제어기(54)로부터 XY축 위치명령이 출력됨에 따라 이 신호가 파워 증폭기에 전달된다. 이때, 상기 파워증폭기는 위치제어기(54)의 위치명령에 해당하는 일정 전류와 전압으로 증폭시켜 XY축 리니어모터(13, 14)의 이동코일(24)에 인가한다. 이에 따라 상기 이동코일(24)에는 유도기전력이 발생되고 이는 이동코일(24)에 구동력을 발생시켜 고속 직진이동을 하게된다. 그리고, 상기 이동코일(24)의 구동은 그와 연결된 인터페이스(12)를 통하여 리니어 가이드 스테이지(11)에 전달된다. 상기 리니어 가이드 스테이지(1)의 안내동작에 따라 본딩헤드 어셈블 리가 X,Y축방향으로 동시에 자유직진이동하면서 본딩위치로 이동시키게 된다. 이때, 발생한 리니어 가이드 스테이지(1)의 XY축 위치변화는 양방향 위치 검출 타입인 XY축 리니어 엔코더(11)에 의해 감지되고, 상기 감지신호는 위치제어기(54)에 전달된다. 상기 위치제어기(54)는 기 설정된 위치값과 현재위치의 실제 데이터값을 비교하고 분석하여 데이터간 편차가 발생되면 위치제어기(54)로부터 다시 그 편차만큼의 위치명령이 상기한 방식으로 XY축 리니어모터(13, 14)에 전달되어 구동하게 되는 것이다.
또한, 상기 위치제어기(54)에 의해 XY축 리니어모터가 위치이동함과 동시에 Z축 리니어모터(31)에도 전원이 인가되어 상하 직진구동을 하게 되는데, 상기 Z축 리니어모터(31)도 XY축 리니어모터(13, 14)와 마찬가지 방식으로 구동력을 발생하게 된다.
유도자기장에 의해 구동하는 상기 Z축 리니어모터(31)는 이동블록(3)의 일측단에서 Z축방향으로 직진이동을 하며, 이에따라 이동블록도 연동하게 된다. 이때, 상기 힌지 어셈블리(32)에 의해 이동블록이 힌지점을 중심으로 소정각만큼 상하회동으로 변환되며, 아울러 Z축 리니어모터도 또한 회동하게 되는 것이다.
그리고, 상기 힌지 어셈블리의 힌지점을 중심으로 와이어클램프의 캐필러리가 이동블록의 회동방향과 반대방향으로 회동이 유발되어 리드프레임과 패드간의 와이어 본딩을 수행하게 되는 것이다. 이때, 상기 Z축 리니어모터(31)의 위치는 Z축 리니어 엔코더(52)에 의해 감지되고, 또한 상기 Z축 리니어 엔코더(52)에서 출력되는 회전각 데이타는 변환기(53)에 의해 캐필러리(2)가 운동하는 현재의 리니어 위치 데이터로 변환되어 위치제어기(54)에 전달되므로써 상기 XY축 데이터 전달방식과 동일하게 전달되어 위치편차보정이 이루어지게 되는 것이다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
전술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 별도의 회전운동을 직진운동으로 변환하는 장치의 필요없이 유도기전력을 발생시켜 구동하는 플랫타입의 리니어모터에 의해 직접 X, Y축 스테이지를 구동시키므로써 취부가 간단하고, 부피의 제약을 받지 않아 마그네트의 수를 다수개 사용할 수 있다.
또한, 동작상 불필요한 모멘트인 요잉(yawing), 피칭(pitching,), 롤링( rolling) 모멘트의 발생을 억제할 수 있어 리니어 가이드 부재의 수명을 향상시킬 뿐만 아니라, 상하 고정자석 사이에서 비접촉상태로 이동코일이 장착되어 XY축방향으로 직진이동하므로 기계적인 마찰이 전혀 없으며, 부피의 축소로 인한 이동질량을 감소시켜 정확한 위치제어가 가능하고, 고속이동을 가능하게 할 뿐만 아니라, 저속구간에서 이력현상의 발생을 방지한다.
또한, XYZ축 리니어 모터의 구동과 그의 각도를 측정하는 엔코더시스템을 분리 사용하므로써 최종 위치 감지에서의 시스템정밀도를 극대화할 수 있는 효과를 가진다.

Claims (17)

  1. X축, Y축 운동을 안내하는 리니어 가이드 부재;
    인가되는 전원에 의해 유도 기전력을 발생시켜 상기 리니어 가이드 부재에 수평 및 수직 방향인 XY축방향 직진 이동력을 제공하는 X,Y축 구동수단;
    인가되는 전원에 의해 유도 기전력에을 발생시켜 본딩헤드의 이동블록에 상하방향인 Z축직진구동력을 제공하는 Z축 구동수단; 및
    상기 본딩헤드의 이동블록과 와이어 클램프가 서로 반대방향으로 회동할 수 있도록 회동위치의 중심이 되어 Z축 구동수단의 직진구동력을 회동력으로 변환하는 힌지수단;
    을 포함하는 와이어본더의 XYZ축 구동장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 XY축 구동수단은
    내부에 홀이 관통되게 형성된 하우징;
    상기 하우징의 홀 상하면에 장착된 고정자석;
    상기 상하 고정자석 사이에 장착되며, 외부로부터 전원을 인가받아 발생하는 유도 기전력에 의해 홀의 관통방향으로 자유직진 이동하는 이동코일 및
    상기 리니어 가이드 부재와 이동코일을 연결하는 연결수단
    을 포함하는 와이어본더의 XYZ축 구동장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 Z축 구동수단은
    소정간격을 두고 직립되게 장착된 양 측판과 상하판으로 이루어진 본체;
    상기 본체의 양 측판 내면에 서로 반대의 극을 가지고 장착된 적어도 한쌍의 고정자석;
    상기 본체의 관통홀에 장착되며, 유도 기전력에 의해 상하 직진이동되는 이동코일; 및
    상기 이동코일과 본딩헤드의 이동블록을 연결하는 연결수단
    을 포함하는 와이어본더의 XYZ축 구동장치.
  4. 제 2 항에 있어서.
    상기 XY축 구동수단의 이동코일이 고정자석 사이에 비접촉상태로 장착되는 와이어본더의 XYZ축 구동장치.
  5. 제 3 항에 있어서.
    상기 Z축 구동수단의 이동코일이 고정자석 사이에 비접촉상태로 장착되는 와이어본더의 XYZ축 구동장치.
  6. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 고정자석과 이동코일 사이가 0.1 ∼0.2mm의 유격으로 형성된 와이어본더의 XYZ축 구동장치.
  7. 제 1 항 내지 제 5 항중 어느 한 항에 있어서.
    상기 XY축 구동수단 및 Z축 구동수단은 축방향으로 구동력이 발생되며, 상기 구동력 발생방향과 직각방향으로는 구동력이 전달되지 않는 와이어본더의 XYZ축 구동장치.
  8. 제 1 항 내지 제 5 항중 어느 한 항에 있어서.
    상기 XY축 구동수단 및 Z축 구동수단은 X축, Y축, Z축방향운동이 동시에 발생되는 와이어본더의 XYZ축 구동장치.
  9. 제 1 항 내지 제 5 항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 XY축 구동수단 및 Z축 구동수단의 이동코일이 직사각형으로 납작하게 감긴 코일권선으로 이루어진 와이어본더의 XYZ축 구동장치.
  10. 제 1 항 내지 제 5 항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이동코일은 외부가 몰딩처리된 와이어본더의 XYZ축 구동장치.
  11. 제 1 항 내지 제 5 항중 어느 한항에 있어서,
    상기 XY축 구동수단 및 Z축 구동수단이 리니어모터인 와이어본더의 XYZ축 구동장치.
  12. 제 1 항 내지 제 5 항중 어느 한 항에 있어서,
    상기 XY축 구동수단의 X축 및 Y축 위치변화를 감지하는 XY축 위치감지수단 및
    상기 본딩헤드의 이동블록 일측면에 장착되어 힌지수단의 힌지점을 중심으로 한 상기 Z축 구동수단의 Z축 회동위치변화를 감지하는 Z축 위치감지수단;
    상기 XY축 위치감지수단의 감지신호를 입력받고 기설정된 XY축값과 비교 연산한 XY축 좌표로서 XY축 구동수단의 위치를 제어하고, 상기 Z축 위치감지수단의 감지신호를 입력받아 상기 힌지수단의 힌지점에서 캐필러리 끝단의 거리를 연산하여 얻은 Z축 좌표로서 캐필러리의 Z축위치를 제어하는 위치제어기를 더 포함하는 와이어본더의 XYZ축 구동장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 XY축 위치감지수단 및 Z축 위치감지수단이 리니어 엔코더로 이루어진 와이어본더의 XYZ축 구동장치.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 와이어 클램프의 캐필러리에 연결되어 Z축 감지수단에서 출력되는 회전각 데이타를 캐필러리가 운동하는 현재의 리니어 위치 데이터로 변환하는 수단을 포함하는 와이어본더의 XYZ축 구동장치.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 힌지수단이 소정 두께만큼 얇은 박판으로 형성된 판 스프링을 포함하는 와이어본더의 XYZ축 구동장치.
  16. 위치제어기에서 리니어가이드 부재의 X축, Y축 위치좌표 및 캐필러리의 Z축 위치좌표를 계산하여 설정하는 단계;
    상기 기설정된 위치에서 리니어 가이드 부재의 현재위치를 뺀 에러차를 구하는 단계;
    상기 에러차에 대한 명령을 속도명령으로 변환하여 X,Y축 및 Z축 리니어모터를 구동시키는 단계;
    이동블록에 장착된 엔코더를 통하여 X,Y축 및 Z축 리니어모터의 회전구동에 따른 위치변화값을 측정하는 단계; 및
    상기 측정된 위치변화값을 리니어 위치 데이터로 변환하여 에러차를 구하는 단계로 피드백하는 단계
    를 포함하는 와이어본더의 XYZ축 구동장치의 위치제어방법.
  17. 제 14 항에 있어서,
    상기 XYZ 리니어모터를 구동시키는 단계는
    속도명령을 전력증폭기에 전달하는 과정과,
    상기 전력증폭기를 통하여 에러 명령에 상응하는 전압/전류를 리니어 모터에 인가하는 과정과,
    상기 리니어모터가 유도기전력에 의해 직진구동하는 과정을 포함하는 와이어본더의 XYZ축 구동장치의 위치제어방법.
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