KR19990051282A - Linear waveguide thermal grating wavelength division optical waveguide device using total reflection - Google Patents
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Abstract
본 발명은 전반사를 이용한 직선 도파로열 파장 분할 광도파로 소자에 관한 것이다. 본 발명에 따른 광도파로 소자는 도파로열 부위를 전반사를 이용한 직선 도파로열을 이용하여 제작한다. 종래의 도파로열을 이용한 파장분할 광도파로 소자는 도파로열이 곡선 도파로로 구성되어 있어 소자의 전체 크기가 커지고 곡선 도파로 부위에서 도파광의 방사손실이 발생하고 이러한 방사손실은 인접한 도파로로의 도파광의 커플링이 발생하여 소자의 성능을 저하시키는 등의 문제점이 있다. 그러나 본 발명에 따라 전반사를 이용한 직선 도파로를 사용하면 평판 도파로에서 여기된 광파는 전반사 도파로 식각면 영역에서 모두 반사되고 전반사 도파로와 연결되는 직선 도파로로 광파가 도파되어 곡선 도파로에서 발생하는 방사손실이 최소화되고, 소자의 크기 또한 소형화시킬 수 있다. 또한 도파로열이 직선 도파로로 구성되어 있어 다른 기능을 갖는 광도파로 소자와의 집적이 용이하다.The present invention relates to a linear waveguide thermal wave splitting optical waveguide device using total reflection. The optical waveguide device according to the present invention is manufactured by using a straight waveguide column using total reflection of the waveguide column portion. The wavelength division optical waveguide device using the conventional waveguide string has a waveguide array composed of curved waveguides, so that the overall size of the device increases and radiation loss of the waveguide occurs at the curved waveguide portion, and the radiation loss is coupled to the waveguides of adjacent waveguides. This may cause problems such as deterioration of device performance. However, according to the present invention, when a straight waveguide using total reflection is used, the light waves excited from the flat waveguide are all reflected in the etch plane region of the total reflection waveguide and the light wave is guided by the straight waveguide connected to the total reflection waveguide, thereby minimizing radiation loss generated in the curved waveguide. In addition, the size of the device can be reduced in size. In addition, since the waveguide column is composed of a straight waveguide, integration with an optical waveguide device having another function is easy.
Description
본 발명은 반도체 및 광통신 분야에 관한 것으로, 특히 광통신 시스템을 구성하는 소자중 하나인 집적광학 광도파로 소자(Integrated-Optic Waveguide Devices)에 관한 것이며, 더 자세히는 직선적인 광도파로열 격자를 가진 파장분할 광도파로 소자에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to the field of semiconductors and optical communications, and more particularly to integrated-optic waveguide devices, one of the devices constituting an optical communication system, and more particularly to wavelength division with a linear optical waveguide grating. It relates to an optical waveguide device.
광도파로열 격자를 이용한 파장분할 다중화기, 역다중화기 및 라우터(router)의 기능을 가지는 광도파로 소자는 최근 파장을 기본 매개로 하는 광통신 시스템을 구성하는 가장 중요한 소자이다.Optical waveguide devices having the functions of wavelength division multiplexers, demultiplexers, and routers using optical waveguide thermal gratings are the most important components of an optical communication system based on wavelength.
종래의 일반적인 파장분할 광도파로 소자는 입/출력 도파로. 두 개의 평판 도파로 및 도파로열 격자로 구성된다. 입/출력 도파로는 1×N, N×1 또는 N×N으로 구성되어 입력 광신호의 다중화, 역다중화의 기능을 하게되고, 입/출력 도파로 사이의 상호간 신호의 규칙적 연결이 가능한 라우터의 기능을 갖는다.Conventional general wavelength division optical waveguide devices are input / output waveguides. It consists of two flat waveguides and a waveguide grating. Input / output waveguides are composed of 1 × N, N × 1 or N × N to function as multiplexing and demultiplexing of input optical signals, and the function of a router that enables regular connection of signals between input / output waveguides. Have
이를 자세히 살펴보면, 우선 입력 도파로를 통해 들어온 광신호는 입력 평판 도파로에서 퍼져나가 도파로열 격자에 여기된다. 도파로열 격자는 두 개의 평판 도파로 사이에 정렬되어 신호를 전달한다. 도파로열 격자의 이웃하는 도파로들은 일정한 길이 차이를 가져 입력 파장(λ1∼λn)에 따른 인접한 도파로간의 위상변위차를 일으키며, 이는 출력 평판 도파로에서 집속되는 광신호의 방향에 영향을 미친다. 따라서 같은 입력단자에서 여기된 다른 파장의 신호는 파장에 따라 다른 출력단자로 전달된다.In detail, first, an optical signal introduced through an input waveguide is spread out of an input plate waveguide and excited to a waveguide grating. The waveguide grating is aligned between two planar waveguides and transmits a signal. Neighboring waveguides of the waveguide grating have a constant length difference, causing a phase shift difference between adjacent waveguides according to the input wavelengths λ 1 to λ n, which affects the direction of the optical signal focused in the output plate waveguide. Therefore, signals of different wavelengths excited at the same input terminal are transferred to different output terminals according to the wavelength.
이러한 파장분할 기능을 갖는 광도파로 소자를 제작하는데 있어서, 가장 중요한 기술은 도파로열 격자 사이의 정확한 길이 차이를 유지시키는 정교한 패턴을 제작하는 것이다In fabricating an optical waveguide device having such a wavelength dividing function, the most important technique is to fabricate an elaborate pattern that maintains accurate length differences between the waveguide gratings.
광도파로열 격자를 이용한 파장분할 광도파로 소자는 리튬나이오베이트, III족-V족 반도체, 실리카(silica) 및 폴리머(polymer) 재료를 이용하여 많은 연구가 진행되어 왔다. 지금까지 연구되어 온 도파로열 격자를 이용한 파장분할 광도파로 소자는 도파로열 격자가 곡선 도파로로 구성되어 있다. 이하, 이에 관한 몇 가지 대표적인 예를 소개한다.The wavelength division optical waveguide device using the optical waveguide thermal lattice has been studied using lithium niobate, group III-V semiconductor, silica and polymer materials. In the wavelength division optical waveguide device using the waveguide thermal grating, which has been studied so far, the waveguide thermal grating is composed of curved waveguides. Here are some representative examples of this.
첫째로, 「Y. Hida et al., IEE Electron. Lett., Vol. 30, No. 12, pp. 959∼960, 1994」에서는 폴리머 재료를 이용하여 곡선 광도파로열 격자를 이용한 파장분할 광도파로 소자를 제작하였다. 둘째로, 「H. Okayama et al., IEEE J. Lightwave Technol., Vol. 14, No. 6, pp. 985∼990, 1996」에서는 리튬나이오베이트 기판에 곡선 광도파로열과 도파로열 격자 중간에 전체적인 전반사 거울을 사용한 파장분할 광도파로 소자를 제작하였다. 셋째로, 「M. Zirngible et al., IEEE Photon. Technol. Lett., Vol. 5, No. 11, pp. 1250∼1253, 1992」에서는 인듐포스파이트(InP) 기판에 곡선 광도파로열 격자를 이용하여 파장분할 광도파로 소자를 제작하였다. 넷째로, 「H. Takahashi et al., IEEE I. Lightwave Technol., Vol. 12, No. 6, pp. 989∼995, 1994」에서는 실리카를 이용한 광도파로 소자에서 곡선 광도파로열 격자를 이용하여 파장분할 광도파로 소자를 제작하였다.First of all, "Y. Hida et al., IEE Electron. Lett., Vol. 30, no. 12, pp. 959-960, 1994 ", a wavelength division optical waveguide device using a curved optical waveguide thermal grating using a polymer material was fabricated. Secondly, "H. Okayama et al., IEEE J. Lightwave Technol., Vol. 14, No. 6, pp. 985 to 990, 1996, which fabricate a wavelength-dividing optical waveguide device using a total optical reflection mirror in the middle of a curved optical waveguide column and a waveguide grating on a lithium niobate substrate. Third, `` M. Zirngible et al., IEEE Photon. Technol. Lett., Vol. 5, No. 11, pp. 1250-1253, 1992, which fabricated a wavelength-division optical waveguide device using a curved optical waveguide thermal grating on an indium phosphite (InP) substrate. Fourth, `` H. Takahashi et al., IEEE I. Lightwave Technol., Vol. 12, No. 6, pp. 989-995, 1994 ", a wavelength division optical waveguide device was fabricated using a curved optical waveguide thermal grating in an optical waveguide device using silica.
그런데, 상술한 종래 기술에서와 같이 곡선 도파로열 격자를 사용하면 곡선 도파로 부위에서의 도파광이 외부로 빠져나가는 방사손실이 발생하여 소자의 손실이 증가하고, 이를 줄이기 위해 큰 곡률반경을 가지는 곡선 도파로를 사용하면 제작된 소자의 전체 크기가 커지는 단점을 가지게 된다. 또한, 곡선 도파로 부위에서 발생된 도파광의 방사손실은 인접한 도파로로의 도파광 커플링이 유발하여 소자의 성능을 저하시키는 등의 문제점이 있다.However, when the curved waveguide thermal lattice is used as in the above-described conventional technique, radiation loss in which the waveguide light exits to the outside of the curved waveguide portion is generated, thereby increasing the loss of the device, and reducing the curved waveguide having a large curvature radius. Using has the disadvantage of increasing the overall size of the fabricated device. In addition, radiation loss of the waveguide generated in the curved waveguide portion causes problems such as waveguide coupling to adjacent waveguides, thereby degrading device performance.
본 발명은 종래의 곡선 광도파로열 격자를 이용하여 제작한 파장분할 광도파로 소자 보다 소자의 크기가 작고, 삽입 손실이 작으며 이웃하는 도파로로의 도파광의 커플링을 개선하는 전반사를 이용한 직선형 광도파로열 격자 파장분할 광도파로 소자를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is a linear optical waveguide using a total reflection to improve the coupling of the waveguide light to a smaller size, smaller insertion loss, and improve the coupling of the adjacent waveguides than the wavelength division optical waveguide device fabricated using a conventional curved optical waveguide thermal grating It is an object of the present invention to provide a thermal grating wavelength division optical waveguide device.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 전반사를 이용한 직선 광도파로열 격자 파장분할 광도파로 소자의 개략도.1 is a schematic diagram of a linear optical waveguide thermal lattice wavelength division optical waveguide device using total reflection according to an embodiment of the present invention.
도 2a 내지 도 2b는 본 발명의 일실시예에 따른 직선 광도파로열 격자 파장분할 광도파로 소자의 전반사형 직선 도파로 영역의 개요도.2A to 2B are schematic views of a total reflection type linear waveguide region of a linear optical waveguide thermal lattice wavelength division optical waveguide device according to an embodiment of the present invention.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 일실시예에 따른 직선 광도파로열 격자 파장분할 광도파로 소자의 제조 공정도.3a to 3c is a manufacturing process diagram of a linear optical waveguide thermal grating wavelength division optical waveguide device according to an embodiment of the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
10 : 입력 도파로 11 : 출력 도파로10: input waveguide 11: output waveguide
12 : 입력 평판 도파로 13 : 출력 평판 도파로12: input plate waveguide 13: output plate waveguide
14 : 도파로열 격자 15 : 전반사형 도파로 영역14: waveguide grating 15: total reflection waveguide region
16 : 전반사 도파로 식각면 17 : 입사광16: total reflection waveguide etching surface 17: incident light
18 : 반사광18: reflected light
본 발명으로부터 제공되는 특징적인 파장분할 광도파로 소자는 입력 평판 도파로와, 출력 평판 도파로와, 상기 입력 평판 도파로와 상기 출력 평탄 도파로 사이에 정렬되어 광신호를 전달하는 다수의 도파로열을 구비하는 파장분할 광도파로 소자에 있어서, 상기 다수의 도파로열이 각각 상기 입력 평판 도파로로부터 입사된 상기 광신호를 직선 도파로로 전반사하는 제1 전반사 도파로 식각면; 상기 직선 도파로; 및 상기 직선 도파로로부터 입사된 상기 광신호를 전반사하여 상기 출력 평판 도파로 전달하는 제2 전반사 도파로 식각면을 포함하여 이루어진다.A characteristic wavelength division optical waveguide device provided from the present invention includes a wavelength division having an input plate waveguide, an output plate waveguide, and a plurality of waveguide strings arranged between the input plate waveguide and the output flat waveguide to transmit an optical signal. An optical waveguide device, comprising: a first total reflection waveguide etching surface for totally reflecting the optical signal incident from the input plate waveguide into a linear waveguide, each of the plurality of waveguide columns; The straight waveguide; And a second total reflection waveguide etch surface that totally reflects the optical signal incident from the linear waveguide and transmits the optical signal to the output plate waveguide.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상술한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명에 따른 파장분할 광도파로 소자의 개략적인 구성을 첨부된 도 1에 도시하고 있는데, 도시된 바와 같이 기본적으로 입/출력 도파로(10, 11)와 입/출력 평판 도파로(12, 13) 및 이들을 연결시키는 전반사를 이용한 직선 도파로열 격자(14)로 구성된다.A schematic configuration of a wavelength division optical waveguide device according to the present invention is shown in FIG. 1, which basically shows input / output waveguides 10 and 11 and input / output flat waveguides 12 and 13 as shown. It consists of a linear waveguide grating 14 using total reflection connecting them.
입/출력 도파로(10, 11)는 1×N , N×1 또는 N×N으로 구성되어 입력 광신호의 다중화, 역다중화의 기능을 하게되고, 입/출력 도파로(10, 11) 사이에 상호간 신호의 규칙적 연결이 가능한 라우터의 기능을 갖는다. 입력 도파로(10)를 통해 들어온 광신호는 입력 평판 도파로(12)에서 퍼져나가 도파로열 격자에 여기된다. 도파로열 격자(14)는 두 개의 평판 도파로(12, 13) 사이에 정렬되어 신호를 전달한다. 도파로열 격자(14)의 이웃하는 도파로들은 일정한 길이 차이를 나게 하여 입력 파장(λ1∼λn)에 따른 인접한 도파로간의 위상변위차를 일으키며, 이는 출력 평판 도파로(13)에서 집속되는 광신호의 방향에 영향을 미친다. 따라서 같은 입력단자에서 여기된 다른 파장의 신호는 파장에 따라 다른 출력단자로 전달된다. 도 1의 하단의 원내에 입사광의 전반사를 발생하게 하는 전반사형 도파로 영역(15)을 따로 도시하였다. 전반사형 도파로 영역(15)은 도파로열 격자(14)의 앞 부분과 뒷 부분에 각각 제공된다. 도파로를 통해 입사된 입사광(17)은 도파로 식각면(16)에서 전반사되어 반사광(18)을 이룬다.The input / output waveguides 10 and 11 are composed of 1 × N, N × 1, or N × N to function as multiplexing and demultiplexing of input optical signals, and the input / output waveguides 10 and 11 are mutually interposed between the input / output waveguides 10 and 11. It has the function of a router capable of regular connection of signals. The optical signal introduced through the input waveguide 10 is spread out of the input plate waveguide 12 and excited in the waveguide column grating. The waveguide grating 14 is arranged between two planar waveguides 12 and 13 to transmit a signal. Adjacent waveguides of the waveguide grating 14 have a constant length difference, causing a phase shift difference between adjacent waveguides according to the input wavelengths λ 1 to λ n, which is dependent on the direction of the optical signal focused in the output plate waveguide 13. Affect Therefore, signals of different wavelengths excited at the same input terminal are transferred to different output terminals according to the wavelength. A total reflection waveguide region 15 is shown separately which causes total reflection of incident light in the circle at the bottom of FIG. 1. The total reflection waveguide region 15 is provided at the front and rear portions of the waveguide column grating 14, respectively. The incident light 17 incident through the waveguide is totally reflected by the waveguide etching surface 16 to form the reflected light 18.
첨부된 도면 도 2a는 본 발명의 일실시예에 따른 전반사형 도파로 영역(15)의 구성을 도시한 것이다.2A illustrates a configuration of a total reflection waveguide region 15 according to an exemplary embodiment of the present invention.
도시된 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 전반사형 도파로 영역(15)의 구성은 기판(20)과, 기판(20) 상부에 적층된 도파로 하부 클래드층(21), 도파로 코아층(22) 및 도파로 식각면 영역(23)으로 구성된다. 여기서, 도파로 식각면 영역(23)은 도파로 코아층(22)의 굴절률과 다른 굴절률을 가지는 공기(air)층을 제공하기 위하여 도파로 하부 클래드층(21)을 식각하여 형성된 것이다. 도면 부호 '22a'는 도파로 식각면을 나타낸 것이다.As shown, the configuration of the total reflection type waveguide region 15 according to the embodiment of the present invention includes a substrate 20, a waveguide lower clad layer 21 and a waveguide core layer 22 stacked on the substrate 20. And the waveguide etching surface region 23. Here, the waveguide etching surface region 23 is formed by etching the waveguide lower clad layer 21 to provide an air layer having a refractive index different from that of the waveguide core layer 22. Reference numeral '22a' represents a waveguide etching surface.
첨부된 도면 도 2b는 전반사가 발생하는 부분의 모식도를 나타낸 것으로, 도파로 코아층(22)과 전반사 도파로 식각면 영역(23)의 경계에서 도파광의 전반사가 일어나기 위한 조건은 전반사 도파로 식각면(22a)의 수직 방향으로부터 θ의 각도를 이루어 진행하는 입사광(24)의 각도가 sin-1(nair/nc)로 정의되는 θcr보다 클 경우이다. 여기서, nair는 공기의 굴절률, nc는 도파로 코아층(22)의 굴절률을 나타낸 것이다. 만약 입사광(24)의 각도 θ가 θcr보다 작을 경우에는 양 경계면을 통하여 방사된다. 도면 부호 '24'는 입사광, '25'는 반사광을 각각 나타낸 것이다.2B is a schematic view of a portion where total reflection occurs, and a condition for total reflection of the waveguide at the boundary between the waveguide core layer 22 and the total reflection waveguide etching surface region 23 is a total reflection waveguide etching surface 22a. This is the case where the angle of the incident light 24 which advances by making the angle of θ from the vertical direction of is greater than θ cr defined by sin −1 (n air / n c ). Here, n air represents the refractive index of air, n c represents the refractive index of the waveguide core layer 22. If the angle θ of the incident light 24 is smaller than θ cr , it is emitted through both boundary surfaces. Reference numeral '24' denotes incident light and '25' denotes reflected light.
첨부된 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 파장분할 광도파로 소자의 제조 공정을 상기한 전반사형 도파로 영역(15)에 국한하여 도시하였다. 준비된 기판(30) 상에 광도파로의 하부 클래드층(31)을 형성하고, 그 상부에 하부 클래드층(30) 보다 굴절률이 큰 코아층 재료(32)를 증착한다. 이때, 기판(30)으로는 리튬나이오베이트, III족-V족 반도체, 실리카 및 폴리머 재료를 이용할 수 있다. 계속하여 광식각 기술을 사용하여 증착된 코아층 재료를 식각하여 직선 광도파로(32a)를 패터닝한 다음, 다시 광식각 기술을 사용하여 전반사가 발생하는 도파로 식각면(32b)을 패터닝한다. 이어서 전반사가 발생하지 않는 부분을 제외한 전반사 도파로 식각면의 영역(33)은 도파로의 면에 수직인 방향으로 하부 클래드층(31)까지 식각해 낸다. 이때, 식각은 수직 식각 특성이 우수한 플라즈마를 이용한 건식식각 기술을 사용한다. 특히 본 발명에 따른 광도파로 소자의 광도파손실을 줄이기 위해서는 전반사 식각면에서의 식각후 거칠기가 매우 작아야 한다. 마지막으로 광파의 입출력을 위한 단면 형성을 위해 단면 절개법(cleaving) 또는 단면 연마 방법(polishing)을 사용하면 소자의 제작이 완료된다.FIG. 3 shows a process of manufacturing a wavelength division optical waveguide device according to an embodiment of the present invention limited to the total reflection waveguide region 15 described above. The lower cladding layer 31 of the optical waveguide is formed on the prepared substrate 30, and a core layer material 32 having a larger refractive index than the lower cladding layer 30 is deposited thereon. At this time, the substrate 30 may be a lithium niobate, a group III-V semiconductor, silica and a polymer material. Subsequently, the core layer material deposited using the optical etching technique is etched to pattern the linear optical waveguide 32a, and then the waveguide etching surface 32b in which total reflection occurs using the optical etching technique is patterned. Subsequently, the region 33 of the total reflection waveguide etch surface except for the portion where total reflection does not occur is etched to the lower clad layer 31 in a direction perpendicular to the plane of the waveguide. In this case, the etching is a dry etching technique using plasma having excellent vertical etching characteristics. In particular, in order to reduce the optical waveguide loss of the optical waveguide device according to the present invention, the roughness after etching in the total reflection etching surface should be very small. Finally, the use of end face cleaving or end face polishing to form a cross section for input and output of light waves completes the fabrication of the device.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면 전반사를 이용한 직선 도파로로 사용하면 평판 도파로에서 여기된 광파는 전반사 도파로 영역에서 모두 반사되고 전반사 도파로와 연결되는 직선 도파로로 광파가 도파되어 곡선 도파로를 사용함에 따라 피할 수 없는 방사손실이 최소화되고, 소자의 크기 또한 소형화시킬 수 있다. 아울러 이웃하는 도파로로의 도파광의 커플링이 발생하지 않기 때문에 출력단자에서 누화(cross-talk)율을 줄일 수 있다. 또한 도파로열이 직선 도파로로 구성되어 있어 다른 기능을 갖는 광도파로 소자와의 집적이 용이하다. 제안된 전반사를 이용한 도파로열 격자 파장분할 광도파로 소자는 소자의 소형화, 저손실, 고성능의 제품을 만들기에 유리하다.As described above, according to the present invention, when used as a straight waveguide using total reflection, the light waves excited in the planar waveguide are all reflected in the total reflection waveguide region, and the light waves are guided by the total waveguide and are avoided by using the curved waveguide. Missing radiation losses are minimized, and the size of the device can also be miniaturized. In addition, since the coupling of the waveguide light to neighboring waveguides does not occur, the cross-talk rate at the output terminal can be reduced. In addition, since the waveguide column is composed of a straight waveguide, integration with an optical waveguide device having another function is easy. The waveguide grating wavelength division optical waveguide device using the proposed total reflection is advantageous in making the device compact, low loss and high performance.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications, and changes can be made in the art without departing from the technical spirit of the present invention. It will be apparent to those of ordinary knowledge.
이상에서와 같이 본 발명의 전반사를 이용한 직선 도파로열 격자 파장분할 광도파로 소자는 종래의 도파로열 파장분할 광도파로 소자에 비해 소자의 크기를 대폭 줄일 수 있고, 곡선 도파로로의 방사 광도파손실을 막을 수 있어 광 손실이 작은 장점을 가지고 있다. 또한 단위 소자의 크기가 작고 도파로열이 직선 도파로로 구성되어 있어 다른 광도파로 소자들과 집적이 용이하여 새로운 형태의 광도파로 소자를 제작할 수도 있다.As described above, the linear waveguide thermal lattice wavelength division optical waveguide device using the total reflection of the present invention can significantly reduce the size of the device compared to the conventional waveguide thermal wavelength division optical waveguide device, and prevent the radiation optical waveguide loss of the curved waveguide. It has the advantage of small light loss. In addition, since the unit element is small in size and the waveguide column is composed of a straight waveguide, it is easy to integrate with other optical waveguide devices, thereby manufacturing a new type of optical waveguide device.
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970070566A KR100270320B1 (en) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | Straight arrayed waveguide grating wavelength division optical waveguide devices using total internal reflection |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970070566A KR100270320B1 (en) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | Straight arrayed waveguide grating wavelength division optical waveguide devices using total internal reflection |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR19990051282A true KR19990051282A (en) | 1999-07-05 |
| KR100270320B1 KR100270320B1 (en) | 2000-10-16 |
Family
ID=19527823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019970070566A KR100270320B1 (en) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | Straight arrayed waveguide grating wavelength division optical waveguide devices using total internal reflection |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100270320B1 (en) |
-
1997
- 1997-12-19 KR KR1019970070566A patent/KR100270320B1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100270320B1 (en) | 2000-10-16 |
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